JPH0545866A - 自動ペリクル貼付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 様々な形状のペリクルフレームについて対応
可能な自動ペリクル貼り付け装置を得る。 【構成】 レチクルライブラリ１００、ペリクルライブ
ラリ１０１、貼り付け部１０６、駆動系（１０９、１１
０、１１１）を備えた自動ペリクル貼り付け装置に、ペ
リクルフレーム９ｂをつめ８ｂで保持するとともに、ペ
リクル付フレーム（マスク保護部材）９をカバーする押
圧板８ｄを備えた治具８を複数収納する治具ライブラリ
１０２を設ける。貼り付けされるマスク保護部材９に最
も好適な治具８が装着されたマスク保護部材９を貼り付
け部１０６でレチクル１に貼り付ける。その後、治具８
を治具ライブラリ１０２に戻す。これら一連の貼り付け
動作はＭＰＵ１０７の統括下で自動で行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は自動ペリクル貼付装置に
関するものであり、特に半導体製造装置のフォトリソグ
ラフィ工程において利用されるフォトマスクにペリクル
付フレームをを装着する自動ペリクル貼付装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置のフォトリソグラフィ工
程において、原版として利用されるフォトマスクに異物
が付着するのを防止するために、ペリクルという保護膜
をペリクル枠を介してフォトマスク（レチクル）に装着
する作業がある。ペリクル付フレーム（マスク保護部
材）はマスクに設けられた回路パターンを囲むように形
成されたペリクル枠とペリクル枠に張設された薄膜（ペ
リクル）とからなる。このマスク保護部材をマスクに装
着する作業の一例を説明する。予めフォトマスクをペリ
クル貼り付け部で位置決めした後固定し、そしてペリク
ル枠に接着剤を塗布したマスク保護部材をフォトマスク
上の回路パターンを覆うように配置する。その後ペリク
ル枠に所定の押圧力を加え、所定時間その力を維持し、
貼り付けることにより、マスク保護部材がマスクに装着
される。

【０００３】従来、この貼り付け作業の多くは人手によ
り行われていた。また、一部では自動ペリクル貼付けが
行われており、マスク保護部材を収納するとともに、一
部が開閉可能な防塵ケースをストックするケースストッ
ク部とレチクルをストックする基板ストック部とケース
ストック部の防塵ケースからペリクル付フレームを取り
出すフレーム取り出し機構と基板ストック部からレチク
ルを取り出す基板取り出し機構と取り出されたペリクル
付フレームをレチクルに位置決めして貼り付ける貼り付
け機構とを有する自動ペリクル貼り付け装置を用いて、
一部の特定の形態のフォトマスクとペリクルフレームの
コーナに保持用の穴を設けたマスク保護部材に対して
は、自動で貼り付け処理が行われていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術では、マス
ク保護部材のレチクルへの貼り付けの殆どを人手で行っ
ていたため、人体から発生する微小異物がマスク保護部
材の内側に入り込み、貼り付け完了後にその微小異物が
マスクやレチクルのパターン領域に落着するといった不
都合が生じる。

【０００５】また一部の自動ペリクル貼りつけ装置で
も、フォトリソグラフィ工程においては様々な形態のフ
ォトマスクが存在するため様々な形態のマスク保護部材
が必要とされており、一台の自動ペリクル貼り付け装置
でこれら複数種のマスク保護部材に対応することは出来
なかった。また、マスクに異物を付着させることなく、
効率よく自動装着を行うことは従来の技術では困難であ
った。さらに、従来の装置ではマスク保護部材とレチク
ルとの位置決めが困難であるとともに、異物の付着防止
に多くの労力を費やしていたため貼り付けに多くの時間
を必要としていた。

【０００６】本発明はこの様な従来の問題点に鑑みてな
されたもので、異物の付着が少なく、かつ位置決めが容
易で、複数種のマスク保護部材に対応可能な自動ペリク
ル貼付装置を得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題の解決の為に本
発明では、マスク（１）に塵埃等が付着するのを防止す
るためにペリクル（９ａ）が張設された枠部材（９ｂ）
を有するマスク保護部材（９）をマスクに自動的に貼付
ける装置において、マスクの複数個を保管するマスク保
管部（１００）と、マスク保護部材の互いに異なる外形
のものを保管する保護部材保管部（１０１）と、互いに
異なる外形のマスク保護部材の夫々に対応して予め用意
された保持部材（８）の複数個を保管する保持部材保管
部（１０２）と、枠部材（９ｂ）の外形に対応した保持
部材を保護部材保管部から選択し、選択された保持部材
によってマスク保護部材を保持した状態で、マスクへ押
圧する貼付け機構（１１２）とを設けた。

【０００８】

【作用】上記の如き構成においては、様々な形態のフォ
トマスクとマスク保護部材に対して、一台の装置で自動
装着が可能となり、かつ異物の付着が少ない自動ペリク
ル貼付装置を得ることができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は本発明の一実施例によるペリクル貼付け
装置の概略を上面より見た図である。装置本体ＡＭの内
部は適当な密封度が保たれるようにほぼ密閉され、空調
される。装置本体ＡＭの正面側には、ペリクル付フレー
ム（マスク保護部材）を１個ずつ密閉状態で収納したフ
レームケースの複数をセットするためのペリクルライブ
ラリ１０１とレチクルを１枚ずつ密閉状態で収納したレ
チクルケースを複数個セットするためのレチクルライブ
ラリ１００とが設けられている。このレチクルライブラ
リ１００とレチクルケースとの構成は、例えば特開昭５
７−６４９２８号公報や特開昭５８−９５８１２号公報
に開示されている。レチクルライブラリ１００にはレチ
クル１を収納したケースが装着され、ＸＹ平面内及びＺ
（紙面と垂直な方向）に移動する回転式の搬送部１０９
によりケース内のレチクル１が取りだされ、ペリクル貼
り付け部１０６まで運ばれる。搬送部１０９のアーム１
０９Ａはその間隔が可変な構造となっており、大きさの
違う複数のレチクルを搬送可能である。

【００１０】一方、ペリクルライブラリ１０１にセット
されるフレームケース１０は図２に示すような構造を有
し、ペリクル付フレーム（マスク保護部材）９を載置す
るトレイ部１０ｂとトレイ部１０ｂを上からふさぐ蓋部
１０ａとで構成される。トレイ部１０ｂの下面にはリブ
１０ｃがトレイ部外形に対して所定の位置に設けられて
おり、マスク保護部材９を取り出すときの搬送アーム等
との位置合わせを容易にしている。

【００１１】図３は自動搬送に適したマスク保護部材の
具体的な構造の一例を示したものである。図３（Ａ）は
正面図、図３（Ｂ）は側面図である。ペリクルフレーム
９ｂはほぼ矩形状の枠で構成され、ペリクルフレーム９
ｂの互いに平行な２辺の隅部分（４箇所）には図３
（Ｂ）に示すような円錐形の凹部９ｄが設けられてい
る。この４隅の凹部９ｄはペリクル貼り付け用の治具
（詳細後述）によって挟持する際の位置決め、及び固定
の機能を持たせるためのものである。尚、凹部は隅部に
設けられたものに限定されるものではなく、隅部より内
側に入った部分に凹部を設けてもよい。このような位置
に凹部を設けるようにすると、凹部の製造が容易にな
る。また、凹部はペリクルフレーム９ｂの剥離用の工具
穴で兼用するようにしてもよい。

【００１２】さらに、ペリクルフレーム９ｂには異物の
付着を防止するための薄膜（ペリクル）９ａが設けられ
ており、またペリクルフレーム９ｂのレチクル貼り付け
面には、図３（Ｂ）に示すように、粘着性の接着剤９ｃ
が設けられている。さらに、この接着剤９ｃを保護する
ため、ペリクルフレーム９ｂの外形とほぼ同一形状の保
護シート９ｅが設けられている。この保護シート９ｅは
ペリクルフレーム９ｂをレチクル１に貼り付ける直前に
剥がされる。これはシート剥がし部１１２が保護シート
９ｅの突出部分９ｅ１を掴むことによって行われる。

【００１３】さて、このようなペリクル付フレーム（マ
スク保護部材）９を収納したフレームケース１０は図１
のペリクルライブラリ１０１にほぼ水平状態で積み重ね
るような配置でセットされる。マスク保護部材ストック
部１０１については特開平１−９７９６１号公報に開示
されている。簡単に説明すると、ストック部１０１には
フレームケース１０のトレイ部１０ｂの下側面を保持す
る段部が設けられており、各フレームケース間には搬送
部１１１のアーム１０１Ａが進入可能な所定の空間がで
きるように、各段部で各フレームケースを支える。

【００１４】ところで図１において、フレームケース１
０はＸＹ平面内、及びＺ方向に移動可能な搬送部１１１
によりマスクライブラリ１０１から取り出され、治具ラ
イブラリ１０２まで運ばれる。ここには、図４に示すよ
うに、治具８がほぼ水平状態で積み重ねるような配置で
セットされる。治具８はマスク保護部材９を保持すると
ともに、レチクル１に押圧する際に使用される。治具ラ
イブラリ１０２には治具８を保持する段部が設けられて
おり、各治具間には搬送部１１１、１１０のアーム１１
１Ａ、１１０Ａの進入のための所定の空間ができるよう
に各段部で治具８を支える。

【００１５】図５はこの治具８の構成図を示している。
図５に示すように、治具８はマスク保護部材９を位置決
めする機構と異物の付着を避けるためにマスク保護部材
９を覆って保持する押圧板８ｄとを有し、貼り付け時に
はペリクルフレーム９ｂをレチクル１に押し当てる機能
を合わせ持つ。治具８はつめ８ｂとピン８ａと押圧板８
ｄとレバー８ｃと辺８ｅ１と辺８ｅ２とからなる。つめ
８ｂはペリクルフレーム９ｂを位置決めするものであ
り、ピン８ａはペリクルフレーム９ｂに設けられた凹部
９ｄに挿入され、ペリクルフレーム９ｂの落下を防止す
るものであり、押圧板８ｄは貼り付け時にペリクルフレ
ーム９ｂを押圧するとともに異物の付着を防止するため
のものであり、レバー８ｃは外部からつめ８ｂを駆動す
るためのものである。また、辺８ｅ２にはピン８ａが設
けられおり、辺８ｅ１にはつめ８ｂが設けられている。
さらに押圧板８ｄはピン８ａ、つめ８ｂとともに本体８
と一体に構成されており、辺８ｅ２と辺８ｅ１とはレバ
ー８ｃに連動しており、平行リンク機構を成している。
つまりレバー８ｃをレバー駆動部１０８で動かすことで
辺８ｅ１と８ｅ２が同時に開閉され、２辺のピン、２辺
のつめが同時に開閉する。このため、つめ８ｂがペリク
ルフレーム９ｂをｘ軸方向で位置決めするとともに、辺
８ｅ２がペリクルフレーム９ｂをｙ軸方向で位置決めす
る。これと同時にピン８ａをペリクルフレーム９ｂの凹
部９ｄに挿入し、保持を確実にする。尚、ピン径は、ピ
ン８ａがｘｙ平面上でペリクルフレーム９ｂを拘束しな
いよう、凹部９ｄの穴径に比べて充分小さくする。

【００１６】以上のように、つめ８ｂがペリクルフレー
ム９ｂを拘束して位置決めするので、アライメントが容
易になる。これは、ペリクルフレーム９ｂの位置決め基
準が凹部９ｄではなく、ペリクルフレーム９ｂの縦横の
２辺が基準だからである。ここで、治具ライブラリ１０
２周辺にはフレームケース１０の蓋部１０ａを開閉する
蓋開閉手段１０３が設けられており（ここを蓋開閉部１
０３Ａと呼ぶ）、蓋が開いた状態でペリクルケース１０
が治具ライブラリ１０２に搬入される。蓋開閉手段１０
３はフレームケース１０の蓋部１０ａを吸着パッドで真
空吸着し、蓋部１０ａを上方に持ち上げる。これにより
フレームケース１０が開かれることになる。蓋部１０ａ
の上面には搬入されるマスク保護部材９の形状等の情報
が記入されたバーコードが設けられている。このバーコ
ード情報はリーダ１０５で読みとられ、この情報に基づ
き搬送手段１１１は所定の治具８のところまでペリクル
ケース１０を移動する。そして、マスク保護部材９は治
具ライブラリ１０２で所定の治具８によって保持され
る。その後、ペリクルケース１０は蓋を閉じられ、ペリ
クルライブラリ１０１に戻される。尚、蓋開閉手段１０
３が設けられている位置近傍には接着剤９ｃを加熱する
ための加熱手段１０４が設けられている。加熱手段１０
４は、例えば電磁誘導を利用してフレーム９ｂを加熱す
ることにより、接着材９ｃに加熱するものである。電磁
誘導を利用しているため、レチクルケース１０の上にマ
スク保護部材９を載せたまま加熱可能である。但し、蓋
部１０ａの自重により接着剤９ｃがはみ出す可能性があ
るので、加熱は蓋部１０ａがとり除かれたあとに行うの
が望ましい。加熱はマスク保護部材９をレチクル１に貼
り付けるための押圧を最適化するためのものである。こ
の効果として加熱しない場合に比べて加圧量が少なくて
すむとともに、均一な貼り付けが実現できる。加熱量は
貼り付け時に接着剤９ｃの温度が最適となるように定め
られ、この最適な温度は接着剤の性質や加熱時と貼り付
け時との時間差による温度低下量を考慮して定める。こ
うして加熱処理された後、治具８によって保持されたマ
スク保護部材９は搬送手段１１０によって貼り付け部１
０６に搬送される。搬送手段１１０はＸＹ平面内、及び
Ｚ方向に移動可能な回転式の搬送手段であり、アーム１
１０ＡはＹＺ平面内で回転可能になっている。

【００１７】図６は組立テーブルの全体的な構造を示す
斜視図であり、レチクル１が載置される上段テーブル１
１ａ、治具８によって保持されたマスク保護部材９が載
置される下段テーブル１１ｂ、底部１１ｃが所定の空間
をもって上下に配置されている。この空間の間隔はレチ
クル１や治具付マスク保護部材９が載置されている場合
でも、アーム１０９Ａや１１０Ａが進入可能になってい
る。

【００１８】また、貼り付け部１０６の周辺にはシート
材９ｅの突出部９ｅ１を掴むシート剥がし部１１２が設
けられており、突出部９ｅ１を掴んだままで、アーム１
１０が回転することによって、保護シート９ｅが剥がさ
れる。図７は貼り付け部１０６中に設けられた加圧機構
１２の構造の一例を示す斜視図であり、上下に配置され
た２枚の加圧プレート１２ａ、１２ｂは互いに近づく方
向と離れる方向とに可動し、加圧パッド部１２ｃが治具
付マスク保護部材９とレチクル１に上下から当接し、マ
スク保護部材９を所定の圧力でレチクル１に密着させ
る。前述のごとく接着剤９ｃには加熱処理がなれてお
り、良好な密着が行われる。尚、良好な密着を行うため
の手段は前述のような電磁誘導を使った加熱手段に限ら
ない。ペリクルフレーム９ｂに超音波を加えたり、ヒー
タで直接温めたりする手段を貼り付け部１０６に設け
て、接着剤９ｃによる良好な密着を行うようにしてもよ
い。また貼り付け終了後、治具８をマスク保護部材９か
ら離脱させるため、レバー駆動部１０８が貼り付け部１
０６にも設けられている。

【００１９】さて、マイクロコンピュータユニット（Ｍ
ＰＵ）１０７は装置本体ＡＭを総括的に制御する。例え
ば、駆動手段（１０９、１１０、１１１）、貼り付け部
１０６、シート剥がし部１１２、蓋開閉手段１０４、レ
バー駆動部１０８の制御や、レチクルライブラリ１００
に搭載されたレチクルやペリクルライブラリに搭載され
たマクス保護部材９、治具ライブラリ１０２に搭載され
た治具８の配置位置等の情報をメモリしたり、リーダ１
０５からのマスク保護部材９の形状等の情報を入力し、
最適な治具８のところまで搬送手段１１１のアーム１１
１Ａを駆動させたりする。尚、以上のように搬送手段を
回転式にすると、ゴミの発生する駆動系の接触部分（回
転部分）のシールドが簡単なため、容易にゴミの発生を
防止することができる。

【００２０】また、搬送機構部の作業空間を大きくと
り、汎用性のあるロボット等を使用すれば装置の機構を
単純化することができる。これは、レチクルやフレーム
毎に異なる処理に対して融通がきくからである。次に、
この自動貼り付け装置の動作の一例を図１に基づいて説
明する。 (1)まず初めにレチクルの搬送動作を説明する。自動セ
ットの場合、レチクル１はレチクルケースに収納され、
これらのケースを複数段重ねたレチクルライブラリ１０
０が所定位置にセットされる。レチクル１を搬送する順
番は予めＭＰＵ１０７に記憶されており、レチクルライ
ブラリ１００からは必要とするレチクルが予め決められ
た位置から搬送手段１０９によって貼り付け部まで自動
搬送される。前述のごとく搬送手段１０９のアーム１０
９Ａの幅は可変となっており、アダプタを交換すること
でレチクル１の様々な大きさに対応可能である。 (2)次にマスク保護部材９の搬送動作を説明する。

【００２１】マスク保護部材９が収納されたペリクルケ
ース１０を搬送手段１１１により、蓋開閉部１０３Ａを
介してペリクルライブラリ１０１から治具ライブラリ１
０２まで搬送する。複数のマスク保護手段９は種々の形
態を有しているが、それらは皆同一形状のペリクルケー
ス１０に収納されており、搬送手段１１１により治具ラ
イブラリ１０２まで搬送可能となる。ＭＰＵ１０７には
レチクル１の夫々に最適なマスク保護部材９の情報（例
えば収納の順番に関する情報）が予め記憶されており、
搬送手段１１１は最適なマスク保護部材９が予め装填さ
れたペリクルケース１０をペリクルライブラリ１０１か
ら搬出する。 (3)マスク保護部材９が装填されたペリクルケース１０
はまず蓋開閉部１０３Ａに搬送される。ここで、ペリク
ルケース１０の蓋部１０ａに設けられたバーコードをリ
ーダ１０５によって読み取り、マスク保護部材９の形状
等に関する情報を得る。この情報はＭＰＵ１０７に送ら
れ、蓋開閉部１０３において、蓋部１０ａを吸着パッド
などで吸着し取り除いた後、加熱手段１０４によりマス
ク保護部材９が加熱される。 (4)ＭＰＵ１０７内に送られたマスク保護部材９の情報
に基づいて、ＭＰＵ１０７は図４に示すようにマスク保
護部材９を載せたトレイ１０ｂを搬送手段１１１で治具
ライブラリ部５に搬送し、マスク保護部材９の形態に応
じた治具８の下にマスク保護部材９を待機させる。複数
の治具８の収納位置に関する情報は予めＭＰＵ１０７内
にメモリされている。 (5)送られてくるマスク保護部材９の情報に基づいて、
治具ライブラリ部１０２に設けられたレバー駆動部１０
３により、選択された治具８のレバー８ｃを引き、ピン
８ａとつめ８ｂを広げる。尚、レバー８ｃの駆動は選択
された治具８だけのレバー８ｃを駆動することに限ら
ず、ペリクルライブラリー１０１からペリクルケース１
０が搬出された時点で一律に全部の治具８のレバー８ｃ
を駆動するような簡単な構造にしてもよい。 (6)搬送手段１１１によって、マスク保護部材９のペリ
クルフレーム９ｂが押圧板８ｄと係合するとともに、治
具８のつめ８ｂ、ピン８ａでマスク保護部材９の位置合
わせ、及び保持が可能な位置まで上昇させた後、レバー
８ｃを戻し、ピン８ａ、つめ８ｂを閉じてマスク保護部
材９を治具８に固定する。このように治具８の押圧板８
ｄでマスク保護部材９を覆うように保持すればマスク保
護部材９に異物が付着することを避けることができる。 (7)搬送手段１１０はマスク保護部材９を固定した治具
８を治具ライブラリ１０２から取り出し、貼り付け部１
０６に搬送する。複数の治具８のピン８ａ、つめ８ｂは
夫々異なるが、搬送アーム１１０Ａが係合する治具８の
部分は同一形状となっており、１つのアーム１１０Ａで
対応可能となっているものとする。 (8)空になったトレイ１０ｂを搬送手段１１１で蓋部１
０ａの下に搬送し、ふた１０ａの吸着を解除し、トレイ
１０ｂにふた１０ａをかぶせる。 (9)ペリクルケース１０をペリクルライブラリ１０１に
戻す。 (10)そして、マスク保護部材９を固定した治具８をレチ
クル１の下方に搬送し、ペリクルフレーム９ｂの接着剤
９ｃがレチクル１に向くように、治具８を回転させる。
この際、接着剤９ｃを覆っているシート９ｅの突出部分
９ｅ１をシート剥がし部１１２で挟みながら、回転させ
ることによりシート９ｅが剥がされる。 (11)搬送手段１１０を退避させた後、加圧機構１２によ
り所定の圧力でペリクルフレーム９ｂを押圧し、ペリク
ルフレーム９ｂをレチクル１に貼り付ける。 (12)貼り付けが終了したら、マスク保護部材９を固定し
ている治具８のつめ８ｂをレバー駆動部１０８で開き、
マスク保護部材９を固定していた治具８を下降させる。 (13)搬送手段１０９はマスク保護部材９の貼り付いたレ
チクル１をレチクルライブラリ１００まで搬送し、搬送
手段１１０は治具８を治具ライブラリ１０２に戻す。

【００２２】尚、レチクル１の反対側にもマスク保護部
材９を貼り付ける場合、反対側貼り付け用のマスク保護
部材９−２を用いる。マスク保護部材９−２の取り出し
や治具８を治具ライブラリ１０２から取り出すまでの動
作は前述のマスク保護部材９と同じ処理を行う。そし
て、マスク保護部材９−２を固定した治具８を搬送手段
１１０によって貼り付け部１０６に搬送し、もう一方の
マスク保護部材を搬送するために搬送手段１１０は治具
ライブラリ１０２に戻る。次に搬送手段１０９はレチク
ル１をマスク保護部材９−２の下に搬入する。そしてマ
スク保護部材９をレチクル１の下方に搬送し、ペリクル
枠９ｂの接着面９ｃがフォトマスク１１に向くように、
治具８を反転させる。そして加圧機構１２によりマスク
保護部材９−２、９をレチクル１に同時に貼りつける。

【００２３】以上の実施例ではレチクル１やマスク保護
部材９を水平方向（横）に置く横型の装置について述べ
てきたが、各ライブラリ、貼り付け部を縦型の装置とし
てもよい。縦型とすると異物が付着しにくいという利点
がある。また、レチクルライブラリと貼り付け部、もし
くは貼り付け部のみを縦型とするようにしてもよい。ま
た、以上の実施例では搬送系は回転式の搬送手段につい
て述べたが、回転式に限らずレール等のガイドに沿って
アームが移動するレール式の搬送系でもよい。

【００２４】

【発明の効果】以上の様に本発明によれば、様々な形態
の部材に対して一台の装置で効率よく自動ペリクル貼り
付けを行うことが可能となる。またマスク保護部材（ペ
リクル）の搬送、組立作業の間、治具が部材を覆うこと
により部材への異物の付着を避けることができるので、
ペリクルを貼りつけたマスク使用する半導体製造のフォ
トリソグラフィ工程の生産性を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例による自動ペリクル貼り付
装置の全体構成を概略的に示す図、

【図２】 本発明の一実施例によるマスク保護部材用の
防塵ケースを示す図、

【図３】（Ａ）、（Ｂ）本発明の一実施例による自動搬
送に好適なペリクルフレームの構造を示す図、

【図４】 本発明の一実施例によるマスク保護部材を保
持、搬送する治具のストック部を示す図、

【図５】 本発明の一実施例によるマスク保護部材を保
持、搬送する治具の構造を示す図、

【図６】 本発明の一実施例による組立テーブルの構造
を示す図、

【図７】 本発明の一実施例による加圧機構の構造を示
す図である

【符号の説明】

１ レチクル ８ 治具 ８ａ 支持ピン ８ｂ つめ ８ｃ レバー ８ｄ 押圧板 ９ ペリクル付フレーム（マスク保護部材） ９ａ ペリクル膜 ９ｂ ペリクルフレーム ９ｃ 接着剤 ９ｅ シート材 １０ ペリクルケース １０ａ 蓋部 １０ｂ トレイ １１ 組立テーブル １２ 加圧機構 ＡＭ 装置本体 １００ レチクルライブラリ １０１ ペリクルライブラリ １０２ 治具ライブラリ １０３ 蓋開閉手段 １０４ 加熱手段 １０５ バーコートリーダ １０６ 貼り付け部 １０７ マイクロコンピュータユニット（ＭＰＵ） １０８ レバー駆動部 １０９、１１０、１１１ 駆動手段 １０９Ａ、１１０Ａ、１１１Ａ アーム １１２ シート剥がし部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクに塵埃等が付着するのを防止する
   ためにペリクルが張設された枠部材を有するマスク保護
   部材を前記マスクに自動的に貼付ける装置において、 前記マスクの複数個を保管するマスク保管部と；前記マ
   スク保護部材の互いに異なる外形のものを保管する保護
   部材保管部と；前記互いに異なる外形のマスク保護部材
   の夫々に対応して予め用意された保持部材の複数個を保
   管する保持部材保管部と；前記枠部材の外形に対応した
   前記保持部材を前記保護部材保管部から選択し、該選択
   された保持部材によって前記マスク保護部材を保持した
   状態で、前記マスクへ押圧する貼付け機構と；を備えた
   ことを特徴とする自動ペリクル貼付装置。
2. 【請求項２】 前記マスク保護部材を保持するのに最適
   な保持部材を選択する保持部材選択手段とを有すること
   を特徴とする請求項１に記載の自動ペリクル貼付装置。
3. 【請求項３】 前記保持部材は前記マスク保護部材の枠
   部材を保持するための保持部と前記マスク保護部材と少
   なくともほぼ同じ大きさの押圧部分を有し、前記マスク
   保護部材を保持する間に粉塵等の付着を防止することを
   特徴とする請求項１に記載の自動ペリクル貼付装置。
4. 【請求項４】 マスクに塵埃等が付着するのを防止する
   ためにペリクルが張設されるとともに、接着部材を有す
   る枠部材を備えたマスク保護部材を自動的に貼付ける装
   置において、 前記接着部材を加熱する加熱手段を設けたことを特徴と
   する自動ペリクル貼付装置。