JPH11255487A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルームにおいても使用できる天井搬
送装置を提供する。 【解決手段】 ワーク１９昇降用のワイヤ１６の巻取り
装置１３が、ケーシング１４によって囲まれた密閉され
た空間１５内に設けられている。巻取り装置１３はモー
タ２１に連係された略水平に延びるスプライン軸２２
と、このスプライン軸２２に嵌合し、周壁に雄ネジ部２
４を有する巻取りドラム２５と、この巻取りドラム２５
の雄ネジ部２４に螺合すると共にケーシング１４に固定
される雌ネジ部材２６とを備えている。ケーシング１４
の下壁１７であって、ワイヤの１６の吊下位置には小孔
１８が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、搬送装置とりわ
け工場のクリーンルーム等で使用される天井配置型の搬
送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】工場等で使用される搬送装置の中には、
例えば図６に示す構造のものがある。この搬送装置は、
工場や倉庫の作業空間の上方、例えば天井付近に搬送経
路に沿ってレール１が配置され、このレール１に沿って
図示しない駆動モータを介して移動する走行装置２が設
けられたものである。

【０００３】前記走行装置２には、２つの巻取りドラム
３が図示しない駆動装置を介して回動可能に設けられて
いる。巻取りドラム３にはその周壁にネジ溝が形成さ
れ、このネジ溝に沿って２本のワイヤ４が巻取り可能に
取り付けられ、各ワイヤ４にはワーク５を把持開放する
チャック６が吊持されている。したがって、このワイヤ
４が巻取りドラム３に巻き取られることによりワーク５
が昇降可能に支持され、前記走行装置２によってワーク
５が所定の作業ステージに搬送されるのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の搬送
装置にあっては、その配置位置が作業空間の上方である
ため設置スペースを節約できるという点で有利である
が、例えばクリーンルーム等、ダストを嫌うような製造
環境（例えば、半導体製造工場等のような製造環境）で
は使用が困難であるという問題がある。

【０００５】すなわち、前記巻取りドラム３からワイヤ
４が吊下されている構造のため通常はこの巻取りドラム
３の下方が開放されており、したがって、この巻取りド
ラム３等の駆動部分からダストが発生した場合にこのダ
ストが下方に落下してしまい製品品質を低下させかねな
いからである。

【０００６】とりわけ、図７に示すように巻取りドラム
３の配置数が多く、ワイヤ４の本数を増加している構造
の場合には、付帯するギヤ、ベアリング等の摩耗部品の
数も増えるため、これらから発生するダストは無視でき
ないものとなってしまう。

【０００７】これに対して、図８に示すように巻取りド
ラム３の下方にダストを受け止める遮蔽板７を設けて下
方へのダストの飛散を抑えるようにすることはできる
が、巻取りドラム３の回転に伴ってワイヤ４がネジ溝に
沿って巻き取られてゆく際に、ワイヤ４の巻取り度合い
によってワイヤ４の吊下位置がａからｂへ移動してしま
うため、せっかく設けた遮蔽板７にワイヤ４と遮蔽板７
との干渉を避けるために長さＬの長孔８が必要になり、
この長孔８がダストの飛散を許してしまう。

【０００８】また、図９に示すようにワイヤ４に換えて
ベルト９を用いたとしても、ベルト９との干渉を防ぐ長
さＬの長孔８が同様に必要となってしまう。そこで、こ
の発明は巻取り装置の駆動部品等からダストが発生した
としても装置外への飛散を抑えることができ、クリーン
ルーム等の高い空気清浄度が要求される工場等でも使用
できる搬送装置を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】軌道に沿って移動する走
行装置が設けられ、この走行装置にひも状部材の巻取り
装置が支持され、この巻取り装置から送り出される複数
のひも状部材によってワーク保持部が昇降可能に吊持さ
れている搬送装置において、前記巻取り装置に、この巻
取り装置を取り囲み外部と隔絶する空間を形成するケー
シングが設けられ、このケーシングの下壁であって前記
ひも状部材の吊下位置に、ひも状部材を挿通する小孔が
設けられている。

【００１０】前記巻取り装置は、前記ひも状部材を案内
するらせん状の溝を有する巻取りドラムと、この巻取り
ドラムを前記ひも状部材の巻き出し位置の移動に応じて
軸線方向へ移動させる移動手段を有する構成であっても
よい。

【００１１】前記巻取りドラムは、回転駆動装置に連係
され略水平方向に配設されたスプライン軸に一体回転可
能かつ軸方向へ移動可能に支持されるとともに、外周に
雄ねじ部が形成され、この雄ねじ部が、前記ケーシング
固定された雌ねじ部材に螺合している構成であってもよ
い。

【００１２】前記らせん状の溝が前記雄ねじ部の一部を
占めている構成であってもよい。前記ケーシング内空間
が負圧状態に保持されると共に前記小孔にエアーガイド
部が設けられている構成でもよい。

【００１３】あるいは、前記小孔に、この小孔とひも状
部材との間に形成される間隙を閉塞するブッシュが取り
付けられている構成でもよい。

【００１４】前記ひも状部材が送り出されるケーシング
の下壁の挿通孔を小孔とすることで、巻取り装置の摩耗
部分等から発生したダストをケーシング内に封止し、発
生ダストのケーシング外への飛散を最小限に抑える。

【００１５】前記らせん状の溝における巻き出し位置を
移動させることにより、前記小孔に対応する位置に巻き
出し位置を維持することができる。

【００１６】前記巻取り装置が、スプライン軸と巻取り
ドラムと雌ネジ部材とを備えている構成では、回転駆動
装置によって巻取りドラムが回転すると、この巻取りド
ラムに対するひも状部材の吊下位置が長手方向に移動す
るが、雌ネジ部材によって巻取りドラムをケーシングに
対して前記とは逆方向に移動させ、ひも状部材のケーシ
ングに対する吊下位置が変位しないようにする。

【００１７】前記らせん状の溝を雄ねじ部の一部とする
ことにより、ドラムの構造を単純化することができる。

【００１８】前記ケーシング内空間が負圧状態に維持さ
れ、前記小孔にエアーガイド部が設けられることで、あ
るいは、前記小孔に前記ブッシュが取り付けられること
で、この小孔からのダストの飛散防止を完全なものとす
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
と共に説明する。図１〜４に示すのはこの発明の第1実
施形態である。図４において１０は搬送装置を示し、こ
の搬送装置１０には、軌道としてのレール１１に沿って
移動する走行装置１２が設けられている。尚、このレー
ル１１は半導体製造工場等のクリーンルーム内の天井付
近に配設されており、走行装置１２にはローラ駆動装
置、リニアインダクションモータ等、種々の駆動形式が
採用可能である。

【００２０】前記走行装置１２には、複数（例えば４
つ）の巻取り装置１３を内装するケーシング１４が取り
付けられ、このケーシング１４内に前記巻取り装置１３
を取り囲み外部と隔絶された空間１５が形成されてい
る。そして、各巻取り装置１３から送り出されるひも状
部材としてのワイヤ１６が前記ケーシング１４の下壁１
７であって前記ワイヤ１６の吊下位置に形成された小孔
１８から挿入され、このワイヤ１６によってワーク１９
を把持開放するワーク保持部としてのチャック２０が昇
降可能に吊持されている。

【００２１】図１〜３に示すように前記巻取り装置１３
は回転駆動装置としてのモータ２１に連係され、略水平
方向に配設された断面角型のスプライン軸２２を備えて
おり、このスプライン軸２２はベアリング２３を介して
ケーシング１４に回転可能に支持されている。図２に示
すようにスプライン軸２２には、周壁に前記ワイヤ１６
を案内するらせん状の溝としての機能をも果たす雄ネジ
部２４を有する巻取りドラム２５が嵌着されており、こ
れによって巻取りドラム２５がスプライン軸２２に対し
て一体回転可能でかつスライド可能に支持されることと
なる。

【００２２】前記巻取りドラム２５の端部であってモー
タ２１寄りの端部には、この巻取りドラム２５の雄ネジ
部２４に螺合する雌ネジ部材２６が設けられ、この雌ネ
ジ部材２６は前記ケーシング１４の下壁１７に固定され
ている。

【００２３】そして、前記巻取りドラム２５の雄ネジ部
２４に巻付けられたワイヤ１６の吊下位置に対応するケ
ーシング１４の下壁１７に前記小孔１８が形成されてい
る。ここで、この小孔１８は、ワイヤ１６が小孔１８の
周縁に接触しない程度に十分に小さな直径となってい
る。

【００２４】前記第１実施形態によれば、モータ２１の
回転によって巻取りドラム２５がワーク１９上昇方向に
回転すると、ワイヤ１６は雄ネジ部２４に案内されなが
ら、巻取りドラム２５に巻き取られ、巻取りドラム２５
の端部寄りにあった吊下部分は巻取りドラム２５の中央
寄りに移動してゆく（図1中鎖線矢印で示す）。しか
し、この間巻取りドラム２５は雌ネジ部材２６によって
ワイヤ１６の吊下部分の移動ストロークと同様のストロ
ークでケーシング１４に対し図１中実線矢印方向（前記
鎖線矢印とは逆方向）に移動する。

【００２５】したがって、ワイヤ１６のケーシング１４
に対する吊下位置は常に一定となるためワイヤ１６は小
孔１８内を上下するだけとなり、従来のようにワイヤ１
６の変位を許容する長孔を設ける必要がなくなる。よっ
て、ケーシング１４内の空間１５の密閉性が確保でき、
ケーシング１４内でベアリング２３等の摩耗によってダ
ストが発生したとしても、ダストが作業空間に飛散する
のを最小限に抑えることができる。

【００２６】しかも、ワイヤ１６を案内するための雄ネ
ジ部２４に、巻取りドラム２５をスライドさせるための
機能を併せ持たせているため、別の駆動装置により巻取
りドラム２５をスライドさせる構造を採用した場合に比
較して構造が簡単となりコストダウンを図ることができ
るメリットがある。

【００２７】また、この実施形態においてケーシング１
４のダストの飛散防止を徹底するため、ケーシング１４
内空間１５を負圧状態に保持し、吸引されたダストを排
出処理するようにしてもよく、このように吸引ダストを
排出する場合には、図１に鎖線で示すように前記小孔１
８の下壁１７の下面にエアーガイド部としてのパイプ２
７を設けることで、小孔１８を通過する空気を層流にし
て吸入効率を高めることもできる。

【００２８】次に、図５に示すのはこの発明の第２実施
形態である。この実施形態は前記実施形態における小孔
１８に、この小孔１８とワイヤ１６との間隙を閉塞する
金属製等のブッシュ２８が取り付けられたものである。
この実施形態によれば、ワイヤ１６小孔１８とワイヤ１
６との間が閉塞されるため、ケーシング１４へのダスト
の飛散を完全に防止することができる。

【００２９】尚、この発明は前記実施形態に限られるも
のではなく、例えば巻取りドラムの数は４つ、６つ等自
由に設定でき、また１つのスプライン軸２２に複数の巻
取りドラム２５を装着したり、１つの巻取りドラム２５
に複数本のワイヤ１６を取り付けるようにしてもよい。

【００３０】また、実施形態では、雄ねじ部を巻取り用
のらせん状溝として用いるとともに、この雄ねじ部と雌
ねじ部材とを螺合させることにより巻き出し位置を移動
させる構成としたが、このようなねじの螺合により巻取
りドラムを軸方向へ移動させる機構に限定されるもので
はない。すなわち、この機構に代えて、巻取り用のらせ
ん状の溝とは別個に巻取りドラムを軸線方向へ移動させ
る往復動機構を用い、この往復動機構による移動量を巻
き出し位置の移動量の検出データによって電気的あるい
は機械的に制御する方式であってもよい。

【００３１】

【発明の効果】以上説明してきたように請求項１に記載
した発明によれば、ひも状部材が送り出されるケーシン
グの下壁の挿通孔を小孔とすることで、巻取り装置の摩
耗部分等から発生したダストのケーシング外への飛散を
最小限に抑えることができる。したがって、クリーンル
ーム内等の搬送作業にも使用することができるという効
果がある。

【００３２】請求項２に記載した発明によれば、巻取り
装置は、前記ひも状部材を案内するらせん状の溝を有す
る巻取りドラムと、この巻取りドラムを前記ひも状部材
の巻き出し位置の移動に応じて軸線方向へ移動させる移
動手段を有するから、巻き出し位置を前記小孔に対応す
る一定の位置に維持することができる。

【００３３】請求項３に記載した発明によれば、回転駆
動装置によって巻取りドラムが回転すると、この巻取り
ドラムに対するひも状部材の吊下位置が長手方向に移動
するが、雌ネジ部材によって巻取りドラムをケーシング
に対して前記とは逆方向に移動させ、ひも状部材のケー
シングに対する吊下位置が変位しないようにできる。し
たがって、ケーシングの下壁には小孔を設けるだけでよ
いため、ケーシング外へのダストの飛散を最小限に抑え
ることができる。

【００３４】また、ひも状部材を案内する雄ネジ部を有
効利用して、巻取りドラムをスライドさせてひも状部材
の吊下位置変化を相殺しているため、巻取りドラムのス
ライド移動のために別途駆動装置を設けた場合に比較し
て構造が簡単となりでコストダウンを図ることができる
と共に重量増加を抑えることができ搬送速度に悪影響を
与えることがないという効果がある。

【００３５】請求項４に記載した発明によれば、ひも状
部材が巻き取られるらせん状の溝をそのまま雄ねじ部と
して利用するから、移動手段として格別な機構を設ける
ことなく、巻取りドラム自体が本質的に有するらせん状
の溝をそのまま利用して前記巻き出し位置を一定に維持
する機能を果たすことができる。

【００３６】請求項５に記載された発明によれば、ケー
シング内空間が負圧状態に維持され、前記小孔にエアー
ガイド部が設けられることで、小孔からスムーズに空気
を吸引することができ、したがって、小孔から飛散しよ
うとするダストを確実に排出処理して作業空間へのダス
ト飛散を確実に防止できるという効果がある。

【００３７】請求項６に記載した発明によれば、ブッシ
ュによって小孔からのダスト飛散を確実に阻止すること
ができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第一実施形態を示す要部断面図。

【図２】図１の要部詳細図。

【図３】図２の側面説明図。

【図４】この発明の第１実施形態の全体図。

【図５】この発明の第２実施形態の説明図。

【図６】従来技術の斜視図。

【図７】従来技術の説明図。

【図８】従来技術のワイヤ巻取り状態を示す斜視図。

【図９】従来技術のベルト巻取り状態を示す斜視図。

【符号の説明】

１０…搬送装置 １１…レール（軌道） １２…走行装置 １３…巻取り装置 １４…ケーシング １５…空間 １６…ワイヤ（ひも状部材） １７…下壁 １８…小孔 １９…ワーク ２０…チャック（ワーク保持部材） ２１…モータ（回転駆動装置） ２２…スプライン軸 ２４…雄ネジ部 ２５…巻取りドラム ２６…雌ネジ部材 ２７…パイプ（エアーガイド部） ２８…ブッシュ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軌道に沿って移動する走行装置が設けら
   れ、この走行装置にひも状部材の巻取り装置が支持さ
   れ、この巻取り装置から送り出される複数のひも状部材
   によってワーク保持部が昇降可能に吊持されている搬送
   装置において、前記巻取り装置に、この巻取り装置を取
   り囲み外部と隔絶する空間を形成するケーシングが設け
   られ、このケーシングの下壁であって前記ひも状部材の
   吊下位置に、ひも状部材を挿通する小孔が設けられてい
   ることを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】 前記巻取り装置は、前記ひも状部材を案
   内するらせん状の溝を有する巻取りドラムと、この巻取
   りドラムを前記ひも状部材の巻き出し位置の移動に応じ
   て軸線方向へ移動させる移動手段を有することを特徴と
   する請求項１に記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記巻取りドラムは、回転駆動装置に連
   係され略水平方向に配設されたスプライン軸に一体回転
   可能かつ軸方向へ移動可能に支持されるとともに、外周
   に雄ねじ部が形成され、この雄ねじ部が、前記ケーシン
   グ固定された雌ねじ部材と螺合していることを特徴とす
   る請求項２に記載の搬送装置。
4. 【請求項４】 前記らせん状の溝が前記雄ねじ部の一部
   を占めていることを特徴とする請求項３に記載の搬送装
   置。
5. 【請求項５】 前記ケーシング内空間が負圧状態に保持
   されると共に前記小孔にエアーガイド部が設けられてい
   ることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載
   の搬送装置。
6. 【請求項６】前記小孔に、この小孔とひも状部材との間
   に形成される間隙を閉塞するブッシュが取り付けられて
   いることを特徴とする請求項１又は２記載の搬送装置。