JPH11257968A - 振動アーム、振動子および振動型ジャイロスコープ - Google Patents

振動アーム、振動子および振動型ジャイロスコープ

Info

Publication number
JPH11257968A
JPH11257968A JP10059348A JP5934898A JPH11257968A JP H11257968 A JPH11257968 A JP H11257968A JP 10059348 A JP10059348 A JP 10059348A JP 5934898 A JP5934898 A JP 5934898A JP H11257968 A JPH11257968 A JP H11257968A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
vibrating
vibrator
value adjusting
vibrating arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10059348A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH11257968A5 (2
Inventor
Yukihisa Osugi
幸久 大杉
Takayuki Kikuchi
菊池　　尊行
Shiyousaku Gouji
庄作 郷治
Takao Soma
隆雄 相馬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP10059348A priority Critical patent/JPH11257968A/ja
Publication of JPH11257968A publication Critical patent/JPH11257968A/ja
Publication of JPH11257968A5 publication Critical patent/JPH11257968A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)
JP10059348A 1998-03-11 1998-03-11 振動アーム、振動子および振動型ジャイロスコープ Pending JPH11257968A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10059348A JPH11257968A (ja) 1998-03-11 1998-03-11 振動アーム、振動子および振動型ジャイロスコープ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10059348A JPH11257968A (ja) 1998-03-11 1998-03-11 振動アーム、振動子および振動型ジャイロスコープ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11257968A true JPH11257968A (ja) 1999-09-24
JPH11257968A5 JPH11257968A5 (2) 2004-11-04

Family

ID=13110707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10059348A Pending JPH11257968A (ja) 1998-03-11 1998-03-11 振動アーム、振動子および振動型ジャイロスコープ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11257968A (2)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009085715A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Tdk Corp 振動ジャイロセンサ
JP2011522573A (ja) * 2008-05-08 2011-08-04 ソナベーション， インコーポレイテッド マルチモード機械的共振器のための方法およびシステム
JP2021069076A (ja) * 2019-10-28 2021-04-30 国立大学法人東北大学 振動子におけるｑ値のトリミング方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009085715A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Tdk Corp 振動ジャイロセンサ
JP2011522573A (ja) * 2008-05-08 2011-08-04 ソナベーション， インコーポレイテッド マルチモード機械的共振器のための方法およびシステム
JP2021069076A (ja) * 2019-10-28 2021-04-30 国立大学法人東北大学 振動子におけるｑ値のトリミング方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4305623B2 (ja) 振動子および振動型ジャイロスコープ
EP0427177B1 (en) Vibrator
JP3694160B2 (ja) 振動型ジャイロスコープおよびその調整方法
JP3942762B2 (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法
JP4364385B2 (ja) 振動型ジャイロスコープおよびその製造方法
JP4107768B2 (ja) 振動子および振動型ジャイロスコープ
JPH11248465A (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法
JP4356881B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP4305625B2 (ja) 振動子および物理量測定用信号発生素子
JP4281345B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP4035264B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP3720563B2 (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法
JP4361174B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP4364390B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JPH10160477A (ja) 振動子、振動子の調整方法およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ
JPH10160478A (ja) 振動子、振動子の調整方法およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ
JP3958455B2 (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計
JPH10221087A (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープ、その製造方法、振動子を励振する方法および振動子の振動を検出する方法
JP3701785B2 (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法
JPH10170270A (ja) 振動子およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ
JP4067044B2 (ja) 振動子および振動型ジャイロスコープ
JP4297251B2 (ja) 回転角速度測定装置
JPH10318756A (ja) 振動ジャイロ
JPH10153432A (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP2008141307A (ja) 圧電振動子及びその製造方法ならびに物理量センサー

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20040109

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050628

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050830

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060110