JPH11258792A5 - - Google Patents

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、光デバイス用保護膜形成材料として好適な感放射線性樹脂組成物、保護膜およびその形成方法に関する。

【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、保護膜として従来から要求される諸特性、具体的には、密着性、表面硬度、透明性、耐熱性、耐光性、耐薬品性、耐水性などを備えた保護膜を与えることのできる感放射線性樹脂組成物を提供することにある。
本発明の他の目的は、下地基板であるカラーフィルターの段差を平坦化することが可能であり、さらに放射線照射および現像によって不要な部分（例えばカラーフィルター以外の部分）を容易に除去することができる感放射線性樹脂組成物を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、光デバイス用保護膜形成材料として好適な感放射線性樹脂組成物を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は本発明の感放射線性樹脂組成物から保護膜を形成する方法および形成された保護膜を提供することにある。
本発明のさらに他の目的および利点は、以下の説明から明らかになろう。

本発明によれば、本発明の上記目的および利点は、第２に、
以下の工程を以下に記載順で実施することを特徴とする保護膜の形成方法によって達成される。
（１）本発明の感放射線性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、
（２）該塗膜に所定パターンマスクを介して放射線を照射する工程、
（３）現像工程、および
（４）加熱工程。
本発明によれば、本発明の上記目的および利点は、第３に、
本発明の感放射線性樹脂組成物から形成された保護膜によって達成される。
以下、本発明の感放射線性樹脂組成物について詳述する。
本発明の感放射線性樹脂組成物は、共重合体［Ａ］、重合性化合物［Ｂ］および重合開始剤［Ｃ］からなることを特徴とする。

Claims (4)

1. ［Ａ］（ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物、
   （ａ２）エポキシ基含有不飽和化合物、
   （ａ３）前記（ａ１）および（ａ２）以外のオレフィン系不飽和化合物
   の共重合体、
   ［Ｂ］下記式（１）
   ここで、Ｒ₁およびＲ₂は、同一もしくは異なり、下記式
   で表される基であり、Ｒ₃、Ｒ₄およびＲ₅は水素原子、炭素数１〜５の炭化水素基またはハロゲン原子である、
   で示されるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、ならびに
   ［Ｃ］感放射線重合開始剤
   を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
2. 保護膜形成用である請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物。
3. 以下の工程を以下に記載順で実施することを特徴とする保護膜の形成方法。
   （１）請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、
   （２）該塗膜に所定パターンマスクを介して放射線を照射する工程、
   （３）現像工程、および
   （４）加熱工程。
4. 請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物から形成された保護膜。