JPH07219221A

JPH07219221A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

Info

Publication number: JPH07219221A
Application number: JP6014298A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Furubayashi; 寛巳古林; Taku Kawaguchi; 卓川口; Jinko Kimura; 仁子木村
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1994-02-08
Filing date: 1994-02-08
Publication date: 1995-08-18

Abstract

(57)【要約】【目的】下地金属特にリードフレーム基材への密着
性、耐エッチング性、耐薬品性等に優れた感光性樹脂組
成物及び感光性フィルムを提供する。【構成】（Ａ）カルボキシル基含有バインダポリマ
ー、（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレ
ン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び（Ｃ）エポ
キシ変性自己架橋型アクリル樹脂を含有してなる感光性
樹脂組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣチップ搭載用リー
ドフレーム（以下リードフレームと略す）製造に好適で
優れた特性を有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた
感光性フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】リードフレームの製造方法にはスタンピ
ング（金型打ち抜き）による方法と、感光性液状レジス
ト又は感光性フィルムを用い、写真法にて像を形成した
後、エッチングにより加工するエッチング法がある。ス
タンピング法は金型代が高いため多品種少量対応ができ
にくく、また、ＩＣチップの高密度化に伴なう多ピン化
対応（細細、狭小ピッチ）ができない等の問題がある。
一方、光重合性液状レジスト及び感光性フィルムを用い
るエッチング法では、金型が不用になり、多品種少量生
産が可能となり、また多ピン化対応ができる利点があ
り、注目されつつある。

【０００３】エッチングレジストとして従来の感光性液
状レジスト（ＰＶＡ、ガゼイン等の水溶性高分子）を用
いる方法は塗工に手間がかかる、塗工用設備投資が大き
い、レジスト硬化にＣｒ⁶⁺を用いるため工程中に発生す
る廃液管理が必要となる、現像工程後に後加熱（８０〜
１２０℃、１０〜６０分）を必要とする等工程が煩雑で
ある。また、従来の感光性フィルムはアクリルポリマ及
びモノマを用いたものなので、下地金属が銅の場合、密
着性は良好であるが、下地金属が４２アロイ（Ｆｅ／Ｎ
ｉ＝５８／４２）の場合、密着性が悪くエッチング時に
もぐりが生じ易いと言う問題がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の問題を解決し、下地金属（特に４２アロイ）
への密着性、耐エッチング性、耐薬品性等に優れた感光
性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルムを提供す
るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）カルボ
キシル基含有バインダポリマー、（Ｂ）分子内に少なく
とも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光
重合性化合物及び（Ｃ）エポキシ変性自己架橋型アクリ
ル樹脂を含有してなる感光性樹脂組成物並びに支持体フ
ィルム上にこの感光性樹脂組成物の層を積層してなる感
光性フィルムに関する。

【０００６】次に本発明の感光性樹脂組成物に含まれる
成分について詳述する。本発明に（Ａ）成分として用い
られるカルボキシル基含有バインダポリマーとしては、
例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル〔（メ
タ）アクリル酸とはメタクリル酸及びアクリル酸を意味
する。以下同じ〕と（メタ）アクリル酸とこれらと共重
合しうるビニルモノマーとの共重合体等が挙げられる。
これらの共重合体は、単独で又は２種以上を組み合わせ
て用いられる。

【０００７】（メタ）アクリル酸アルキルエステルとし
ては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル
酸アルキルエステルや（メタ）アクリル酸と共重合しう
るビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル
酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル
酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸
ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジ
ルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）
アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピ
ル（メタ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ
る。

【０００８】本発明に（Ｂ）成分として用いられる分子
内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合
を有する光重合性化合物としては、例えば、ポリプロピ
レングリコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基
の数が２〜１４のもの）、ポリエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４のも
の）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレー
ト、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート
（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリ
スリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多価アルコ
ールにα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる
化合物、ビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）
アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジ
（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカオキシエ
チレンジ（メタ）アクリレート等のビスフェノールＡジ
オキシエチレンジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、
ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレート等
のグリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸
を付加して得られる化合物、無水フタル酸等の多価カル
ボン酸とβ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等
の水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質とのエス
テル化物、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メ
タ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブ
チルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル
エステル等の（メタ）アクリル酸のアルキルエステル、
ウレタン（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

【０００９】（Ｂ）光重合性化合物が一般式（Ｉ）

【化２】（一般式（Ｉ）中、Ｒ¹及びＲ²は互いに独立して水素原
子又はメチル基を表し、ｎは２〜１４の整数を表す）で
示される化合物を含有することが４２アロイへの密着性
の点から好ましい。一般式（Ｉ）で示される化合物とし
ては、例えば、ＡＰＧ−２００（ｎ＝４、新中村化学工
業（株）製）、ＡＰＧ−４００（ｎ＝７、新中村化学工
業（株）製）、ＡＰＧ−７００（ｎ＝１４、新中村化学
工業（株）製）等が挙げられる。これらの一般式（Ｉ）
で示される化合物の使用量は、（Ｂ）光重合性化合物１
００重量部に対して２０〜５０重量部であることが好ま
しい。２０重量部未満であると４２アロイへの密着性向
上効果が小さい傾向があり、５０重量部を越えても特に
利点はない。

【００１０】本発明に（Ｃ）成分として用いられるエポ
キシ変性自己架橋型アクリル樹脂として用いられるもの
は、例えば、ヒタロイド２６３２Ｅ（日立化成工業
（株）製）、ヒタロイド２６７２Ｄ（日立化成工業
（株）製）、ヒタロイド７８００Ｊ−２１（日立化成工
業（株）製）等が挙げられ、ヒタロイド２６３２Ｅが好
ましい。

【００１１】本発明において、成分（Ａ）の配合量は、
成分（Ａ）及び成分（Ｂ）の総和１００重量部に対して
４０〜８０重量部の範囲とすることが好ましい。４０重
量部未満では光硬化物が脆くなり易く、また感光性フィ
ルムとして用いた場合、塗膜性に劣る傾向があり、８０
重量部を越えると感度が不充分となる傾向がある。

【００１２】また、成分（Ｃ）の配合量は、成分（Ａ）
及び成分（Ｂ）の総和１００重量部に対し、０．１〜５
重量部の範囲とすることが好ましい。この配合量が０．
１重量部未満では効果がなく、５重量部を越えると現像
残りによる不良及び安定性が極めて悪くなる等の不具合
が起こりやすくなる傾向にある。

【００１３】本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ
て可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、密着
性付与剤等を配合して使用することができる。

【００１４】本発明の感光性樹脂組成物は、金属面、例
えば、銅、ニッケル、クロム等の表面、好ましくは銅及
び４２アロイ表面上に、感光性フィルムとして用いられ
る。感光性フィルム中の感光性樹脂組成物層の厚みは用
途により異なるが、乾燥後の厚みで１〜１００μｍ程度
であることが好ましい。液状レジストの場合は、保護フ
ィルムとしてポリエチレン、ポリプロピレン等の不活性
なポリオレフィンフィルムなどが用いられる。

【００１５】感光性フィルムは、ポリエステル等の支持
体フィルム上に感光性樹脂組成物を塗布乾燥することに
より積層し、必要に応じてポリオレフィン等の保護フィ
ルムを積層して得られる。感光性樹脂組成物は、必要に
応じてアセトン、メチルエチルケトン、塩化メチレン、
トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブ
タノール、メチルグリコール、エチルグリコール、プロ
ピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエー
テル等の溶剤又はこれらの混合溶剤と混合して溶液とし
て塗布してもよい。

【００１６】前記の感光性樹脂組成物層は、アートワー
クと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性
光線が照射された後、現像液で現像され、レジストパタ
ーンとされる。この際用いられる活性光線としては、例
えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、
キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用い
られる。

【００１７】現像液としては、安全かつ安定であり、操
作性が良好なものが用いられ、アルカリ現像型のフォト
レジストでは炭酸ナトリウムの希薄溶液等が用いられ
る。現像の方法には、ディップ方式、スプレー方式等が
あり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適
している。

【００１８】現像後に行われるエッチングには塩化第二
銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング液及び過
酸化水素−硫酸素エッチング液等を用いることができる
が、エッチファクターが良好な点から塩化第二鉄溶液が
好ましい。

【００１９】

【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明する
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。

【００２０】実施例１〜３及び比較例１〜３メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル
共重合体（重量比２５／４５／３０、重量平均分子量２
５万）の２５重量％メチルセロソルブ／トルエン（重量
比８／２）溶液２２０ｇ（固形分５５ｇ）（（Ａ）成
分）、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン０．
５ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベ
ンゾフェノン０．１ｇ、シリコン系レベリング剤（ＳＨ
−１９３、トーレシリコン（株））０．０４ｇ、マラカ
イトグリーン０．１ｇ、トリブロモメチルフェニルスル
フォン１．０ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１．０
ｇ、アセトン１０ｇ、トルエン１０ｇ及びメタノール３
ｇを配合し溶液を得た。

【００２１】この溶液に表１に示す（Ｂ）成分及び
（Ｃ）成分を溶解させて感光性樹脂組成物の溶液を得
た。次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を２５μｍ厚
のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布
し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して
感光性フィルムを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の
膜厚は、１５μｍであった。０．２５mm厚４２アロイ基
材上に前記感光性樹脂組成物層を１２０℃に加熱しなが
らラミネートした。

【００２２】次いで、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に、ネガフィルムを載置し、３kW高圧水銀灯（オ
ーク製作所社製、ＨＭＷ−５９０）で３０mJ/cm²の露光
を行った。この際、光感度を評価できるように、ネガフ
ィルムに光透過量が段階的に少なくなる領域（光学密度
０．０５を１段目とし、１段ごとに光学密度が０．１５
ずつ増加するステップタブレット）を設けた。

【００２３】次いで、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを除去し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液
を３０秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去
し、その際、現像残りを目視観察した。さらに、４２ア
ロイ基材上に形成された光硬化膜のステップタブレット
の段数を測定することにより、感光性樹脂組成物の光感
度を評価した。その結果を表１に示す。光感度は、ステ
ップタブレットの段数で示され、このステップタブレッ
トの段数が高いほど、光感度が高いことを示す。

【００２４】次いで現像処理したものを、塩化第二鉄溶
液６０℃２４０秒エッチングを行い、次いで３重量％Ｎ
ａＯＨ、５０℃のシャワーを行い、レジストはくりし、
エッチングもぐりの程度を観察した。結果を表１に示
す。

【００２５】

【表１】

【００２６】表１から明らかなように、エポキシ変性自
己架橋型アクリル樹脂を用いることにより、エッチング
もぐりが改善され、更に、ポリプロピレングリコールジ
アクリレートを用いることでエッチングもぐりが改良さ
れることが分かる。

【００２７】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用
いた感光性フィルムは、下地金属への密着性、耐エッチ
ング性、耐薬品性等に優れたものである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/033 Ｈ０１Ｌ 21/027

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）カルボキシル基含有バインダポリ
マー、（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチ
レン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び（Ｃ）エ
ポキシ変性自己架橋型アクリル樹脂を含有してなる感光
性樹脂組成物。
【請求項２】（Ｂ）光重合性化合物が一般式（Ｉ）【化１】（一般式（Ｉ）中、Ｒ¹及びＲ²は互いに独立して水素原
子又はメチル基を表し、ｎは２〜１４の整数を表す）で
示される化合物を含有する請求項１記載の感光性樹脂組
成物。
【請求項３】支持フィルム上に請求項１記載の感光性
樹脂組成物の層を積層してなる感光性フィルム。