JPH11259841A

JPH11259841A - ヘッドアッセンブリー

Info

Publication number: JPH11259841A
Application number: JP5689198A
Authority: JP
Inventors: Shinji Furuichi; 眞治古市; Gakuo Sasaki; 岳夫佐々木
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1998-03-09
Filing date: 1998-03-09
Publication date: 1999-09-24

Abstract

(57)【要約】【課題】ヘッドアセンブリーにおいて、トラッキング
を高速かつ正確に行うために、位置制御用のアクチュエ
ーターをスライダーに設けると、アクチュエーターから
発生する電磁ノイズによって、ＭＲヘッドの再生出力に
ノイズが発生して、Ｓ／Ｎ比が劣化しデータ再生エラー
が発生する。この電磁ノイズの影響を抑制したヘッドア
ッセンブリーを提供する。【解決手段】ＭＲヘッドを備えるスライダーと、電磁
駆動部を備えるアクチュエーターを有し、前記スライダ
ーと前記アクチュエーターの間に軟磁性膜の磁気シール
ドを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録などの分野
において使用するヘッドアッセンブリーに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録装置であるハードディス
クドライブ（以下、ＨＤＤと記す）の分野では記録密度
が急激に向上しており、より高い記録密度に対応するべ
く磁気ヘッドや記録媒体が開発されつつある。高記録密
度に対応した磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、ＭＲヘ
ッドと記す）は、トラック幅が１μｍ程度のものが製造
されている。

【０００３】また、記録密度は５ＧＢ／ｉｎ２に迫る勢
いで増大されつつある。このような状況において、ＭＲ
ヘッドを設けたスライダーを記録媒体上のトラックに移
動させて磁気信号を再生する動作すなわちトラッキング
には、スライダーを保持するサスペンションをボイスコ
イルモーターで駆動する方法が用いられてきた。

【０００４】まず、従来のヘッドアセンブリーについて
説明する。ヘッドアッセンブリーとは、ＭＲヘッドを設
けたスライダーにサスペンションを設けた組立体であ
る。ＨＤＤでは、このヘッドアセンブリーに接続したボ
イスコイルモーター（以下、ＶＣＭと記す）でスライダ
ーの位置を制御することにより、記録媒体（以下、ディ
スクと記す）のトラック上にヘッドアセンブリーの磁気
ヘッドを位置させる。

【０００５】ディスクには、数μｍ以下の幅を有するト
ラックが規定されており、トラック同士も互いに近接さ
れている。一方、スライダーは浮上面とＭＲヘッドを備
える。浮上面とは、ディスクに対向する部位であり、デ
ィスクの回転により発生する空気の流れを受け、スライ
ダーをディスクから浮上させる力を発生させる部位であ
る。ＭＲヘッドはディスクに磁気的に情報を記録した
り、磁気的に記録された情報を再生する機能を備えるも
のである。

【０００６】記録密度の向上に伴って、記録媒体のトラ
ック幅がさらに狭くなると、ヘッドアセンブリーをＶＣ
Ｍのみで駆動する方法では、トラッキングの精度を十分
に確保することが困難となる。従って、隣接するトラッ
クの信号の影響を受けノイズレベルが上がり、正しく記
録再生が行えないという問題を生ずることが考えられ
る。

【０００７】また、記録／再生周波数の高周波化に伴っ
て、ＶＣＭによるヘッドアッセンブリーの駆動速度が遅
いと、記録／再生信号を処理する電子回路の信号周波数
を高くしても、ＨＤＤ全体の記録／再生動作スピードの
向上が得られなくなる。ＭＲヘッドを搭載したスライダ
ーにジンバルまたはサスペンションを設けた構造で微小
なトラック領域にＭＲヘッドを移動させるトラッキング
動作を、サスペンションの付け根に設けたＶＣＭのみで
行うことは、困難になりつつある。

【０００８】このような困難を解決しようと試みている
従来の発明について説明する。電磁駆動型アクチュエー
ターを用いた例としては、０２７２−１７０８／９４
ＩＥＥＥ５２〜５７頁「ＳＩＬＩＣＯＮＭＩＣＲ
ＯＳＴＲＵＣＴＵＲＥＳＡＮＤＭＩＣＲＯＡＣＴＵ
ＡＴＯＲＦＯＲＣＯＭＰＡＣＴＣＯＭＰＵＴＥＲＤ
ＩＳＫＤＲＩＶＥ」、静電駆動型アクチュエーターを
用いた例としては、ＩＥＥＥＣａｔａｌｏｇＮｕｍ
ｂｅｒ９７ＣＨ３６０２１の３７８〜３８２頁「ＩＮ
ＶＥＲＭＥＭＳＭＩＬＬＩＡＣＴＵＡＴＯＲＦＯ
ＲＨＡＲＤＤＩＳＫＤＲＩＶＥＡＰＰＬＩＣＡＴ
ＩＯＮ」４５４〜４５９頁「ＡＮＧＵＬＡＲＭＩＣ
ＲＯＰＯＳＩＴＩＯＮＥＲＦＯＲＤＩＳＫＤＲＩ
ＶＥＳ」には、浮上面９１１を備えるスライダー９０１
と、アクチュエーター９０２と、サスペンション９０３
を有するヘッドアッセンブリーが開示されている。図１
１は、この従来のヘッドアッセンブリーの概略を説明す
る立体図である。

【０００９】図１１では記載を省略したが、アクチュエ
ーター９０２は、基板の上に可動部を有するものであっ
て、可動部を回転もしくは直線移動させることによって
スライダーを回転もしくは直線移動させてトラッキング
を行う。この構造は、ボイスコイルモーターによるサス
ペンションの駆動精度の限界を、スライダーに設けたア
クチュエーターで補うことを試みるものである。

【００１０】図１２に、図１１のヘッドアッセンブリの
Ｃ−Ｃ’断面図を示す。アクチュエーターの駆動部９２
１はスライダー９０１に、可動部９２２はサスペンショ
ン９０３側に固定される構造となっている。可動部９２
２が回転もしくは直線移動することにより、スライダー
９０１が回転もしくは直線移動し、ＭＲヘッド１２を所
定の位置に精度良くトラッキング行うものである。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】このようなヘッドアッ
センブリーに搭載するアクチュエーターの駆動方式とし
て、静電力方式と電磁力方式が考えられる。続けて、両
者の特徴を比較して、ヘッドアッセンブリー技術に適し
た方式を実現する際に解決すべき問題点を述べる。

【００１２】静電力方式は、正の電荷を与えた電極と負
の電荷を与えた電極の間に働く電気的な引力を電荷量で
制御する方法である。この方式の長所は、電荷量の制御
からは電磁的なノイズを発生しないことである。一方、
短所は、電荷量を保持する駆動電圧が数十ボルト程度の
高い値を必要とするために、隣接させて設けたＭＲヘッ
ドで絶縁破壊を起こさせる恐れがある。また、高電圧を
スイッチングする事により発生する電気的なノイズの除
去が難しい。さらに、パソコンなどのコンピュータシス
テムは数ボルト程度の電源で駆動されているため、ＨＤ
Ｄやパソコン等に昇圧電源を付加する必要がある。

【００１３】電磁方式は、磁界を発生する手段（以下、
磁界発生手段と称す）と磁性体の間に働く磁気的な引力
を磁界の強さで制御する方法である。この方式の長所
は、磁界発生手段を駆動する電圧が数ボルト程度の低い
値でよいことであり、昇圧電源を必要としない。一方、
短所は、磁界発生手段から磁界が漏洩すること、即ち電
磁的なノイズが発生することである。

【００１４】ＨＤＤ本体も小型化／薄型化され、またこ
れを搭載したパソコンも小型化、薄型化、軽量化されつ
つあって昇圧電源を搭載する余裕がないこと等を考慮す
ると、ＭＲヘッドを用いたヘッドアッセンブリーには電
磁方式を用いることが望ましい。

【００１５】しかし、ＭＲヘッドでは、電気信号である
再生出力の振幅が0.2（ｍＶ）程度であり、外部からの
電磁的なノイズを受けると再生信号にノイズが重畳され
る。電磁方式を用いるアクチュエーターから漏洩した磁
界によって、ＭＲヘッドのＳ／Ｎ比（再生出力／ノイ
ズ）が容易に劣化するおそれがある。アクチュエーター
から漏洩した磁界によって発生するノイズの問題を解決
しないと、電磁方式を採用することは困難である。

【００１６】そこで、本発明はこの問題を解決して、Ｍ
Ｒヘッドの再生出力のＳ／Ｎ比を劣化させることなく、
かつ正確なトラッキングをすることが可能なヘッドアッ
センブリーを提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】以下に述べる本発明で
は、アクチュエーターを構成する磁界発生手段から漏洩
する磁界を、アクチュエーターの近傍に設けた磁気シー
ルドで効果的に吸収して、アクチュエーターを設けたス
ライダーのＭＲヘッドにおける再生出力のノイズの発生
を抑制できる。

【００１８】本発明のヘッドアッセンブリーは、ＭＲヘ
ッドを備えるスライダーと、電磁駆動部を備えるアクチ
ュエーターを有し、前記スライダーと前記アクチュエー
ターの間に、前記電磁駆動部から漏洩した磁界を吸収す
る磁気シールドを備え、前記アクチュエーターに接合し
たサスペンションを備えることを特徴とする。

【００１９】また、本発明のヘッドアッセンブリーは、
スライダー、磁気シールド、アクチュエーター、サスペ
ンションをそれぞれ導電性接着剤、もしくは絶縁性接着
剤を用いて組み立てたことを特徴とする。

【００２０】また、本発明はスライダーの反浮上面側
に、スパッタまたはめっき等で磁気シールド材を予め付
加したスライダーと、アクチュエーター、サスペンショ
ンをそれぞれ導電性接着剤もしくは絶縁性接着剤を用い
て組み立てたことを特徴とするヘッドアッセンブリーで
ある。

【００２１】また、本発明のヘッドアッセンブリーはア
クチュエーターの反電磁駆動部側に、スパッタまたはめ
っき等で磁気シールド材を予め付加したアクチュエータ
ーを、スライダー、アクチュエーター、サスペンション
の順にそれぞれ導電性接着剤もしくは絶縁性接着剤を用
いて組み立てたことを特徴とする。

【００２２】また、本発明のヘッドアッセンブリーは、
スライダーの反浮上面側の面に設けた段差部に、磁気シ
ールド、アクチュエーター、サスペンションをそれぞれ
導電性接着剤もしくは絶縁性接着剤を用いて組み立てた
ことを特徴とする。これは、組み立て体の厚みを実質的
に薄くしたヘッドアッセンブリーである。

【００２３】上記本発明では、前記磁気シールドが、ア
クチュエーターの電磁駆動部から発生した漏れ磁界を２
（Ｇ）以下にすることが好ましい。

【００２４】また、上記本発明では、前記磁気シールド
が１μｍ以上の厚さを有する軟磁性膜であることを特徴
とする。また、上記本発明では、前記磁気シールドが非
晶質もしくは結晶質の磁性膜であることを特徴とする。
また、上記本発明では、前記磁気シールドが５０００
（Ｇ）以上の飽和磁束密度ＢＳを有することを特徴とす
るヘッドアッセンブリーである。

【００２５】また、上記本発明では、スライダーとアク
チュエーターを接着する前記導電性接着剤もしくは前記
絶縁性接着剤に、軟磁性の粒子を含有させ磁気シールド
効果を持たせたことを特徴とする。

【００２６】また、本発明はスライダーとアクチュエー
ターを接着する導電性接着剤もしくは絶縁性接着剤に、
軟磁性の粒子を含有させ磁気シールド効果を持たせ、ス
ライダーの反浮上面側もしくはアクチュエーターの反電
磁駆動部側に、スパッタまたはめっき等で磁気シールド
材を付加したと同様の磁気シールド効果を持たせること
を特徴とするヘッドアッセンブリーである。

【００２７】また、上記本発明のヘッドアッセンブリー
では、前記スライダーと前記磁気シールドと前記アクチ
ュエーターを合わせた厚さが０．３〜０．６５ｍｍの範
囲であることを特徴とする。また、このヘッドアッセン
ブリーを使用したＨＤＤは、ディスク間隔を狭め薄型化
や高容量化を図ることができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明の構成について、図面を参
照しながら以下に説明する。まず、図１、図２で本発明
を説明する。

【００２９】［実施例１］図１に本発明のヘッドアッセ
ンブリの一実施形態を組立図で示す。図１のヘッドアッ
センブリは、スライダー１と、磁気シールド４と、アク
チュエータ２と、サスペンション３を接合して構成され
る。さらに各部品の詳細を説明する。スライダー１は浮
上面１１と、保護部材１４に囲われたＭＲヘッド１２
と、ＭＲヘッドの電極であるパッド１５を有する。アク
チュエータ２は基板２０の上に、電磁駆動部２１、電磁
駆動部によって回転させられる可動部２２、電磁駆動部
に電流を供給する端子２３を有する。サスペンション３
は、電極である端子３１と、この端子に接続されたプリ
ント配線３２を有する。スライダー１と磁気シールド４
とアクチュエータ２を合わせた厚さは０．６２ｍｍ、ア
クチュエータ２の厚さは０．１５ｍｍとした。

【００３０】図１では、構造を分かり易く示すために各
部品を離して記載するが、実際のヘッドアッセンブリと
しては、４個の部品を接合して用いる。接合の際には、
スライダー１と磁気シールド４の間、磁気シールド４と
アクチュエータ２の間と、可動部２２とサスペンション
３の間には、各々接着剤を局所的に塗布しておく。この
ように接合した本発明のヘッドアッセンブリの断面図を
図２に示す。図２は図１に鎖線で示したＡ−Ａ’に沿っ
た断面を表す。接着剤の記載は省略したが、端子とパッ
ドをワイヤーで電気的に接続する様子を示すためにワイ
ヤー３３の一部を記載した。

【００３１】［実施例２］図３に本発明のスライダとア
クチュエータの組立図を断面で示す。図３は、保護部材
１４に囲われたＭＲヘッド１２と浮上面１１を有するス
ライダー１の反浮上面側に、接着剤を介して磁気シール
ド４を接合し、さらに磁気シールド４に接着剤を介して
アクチュエータ２を接合するものである。ここで、磁気
シールド４としては、軟磁性の金属箔、磁性粒子を含有
する有機物のフィルム、導電性および軟磁性を備えるフ
ィルム、またはこれらの少なくとも２つ以上を組み合わ
せたものが挙げられる。スライダー１と磁気シールド４
とアクチュエータ２を合わせた厚さは０．６２ｍｍ、ア
クチュエータ２の厚さは０．１５ｍｍとした。また、接
着剤は導電性、熱硬化性、紫外線硬化性などの性質のう
ち、少なくとも一つの性質を備えることが好ましい。図
３では磁気シールド４はアクチュエータ２と略同寸法と
しているが、図４の様にスライダー１と略同寸法として
も良いものである。

【００３２】ヘッドアッセンブリーの製造工程の手順を
図３を使って説明をおこなう。治具の上に浮上面を下に
してスライダーを固定し、接着剤をスライダー１の反浮
上面側に塗布し、１０μｍの厚みを持つＮｉＦｅ合金
（Ｎｉ４５ｗｔ％、Ｆｅ５５ｗｔ％）薄膜を貼り付け、
１２０℃ｘ１時間空気中で硬化した。その後同様に接着
剤を磁気シールドであるＮｉＦｅ合金薄膜に塗布しアク
チュエー２を所定の位置に固定し、１２０℃ｘ１時間空
気中で硬化した。樹脂接着工程を２回に分けて行った
が、スライダーと磁気シールド、アクチュエータの３部
品を一度に接着することも可能であることは言うまでも
ない。

【００３３】スライダーは、円形もしくは角形の基板に
フォトリソグラフィーと製膜技術を用いてＭＲヘッド１
２や保護部材１４を形成したのち、ローと呼ばれる短冊
状に切断し、浮上面１１の加工を行った後、切断し得る
ことが出来る。基板の厚み方向がスライダーの長さＬと
なる。ローの状態で磁気シールドを接着剤で貼り付け、
スライダーに切断しても良いが、切断後の洗浄等で磁気
シールドが剥がれたり、めくれたりの不具合が発生した
ため、磁気シールドの接着はスライダーで行った。

【００３４】［実施例３］図４に本発明のスライダとア
クチュエータの組立図を断面で示す。図４は、保護部材
１４に囲われたＭＲヘッド１２と浮上面１１と磁気シー
ルド４を有するスライダー１に、アクチュエータ２を接
合するものである。スライダー１とアクチュエータ２を
合わせた厚さは６．２ｍｍ、アクチュエータ２の厚さは
０．１５ｍｍとした。このスライダー１は、反浮上面側
のほぼ全面に磁気シールド４を有するために、アクチュ
エータ２から発生する電磁ノイズを効果的に吸収するこ
とができる。ただし、ＭＲヘッド１２の電極であるパッ
ド１５と、磁気シールド４は互いに接触させることな
く、絶縁させることが好ましい。また、磁気シールド３
をスライダー１の反浮上面側に設け、かつ保護部材１４
には接触させない形態でもよい。なお、図３から図５と
図８ではサスペンションの記載を省略した。

【００３５】スライダー１の反浮上面側の磁気シールド
は、前述したローの段階でスパッタによりＮｉＦｅ合金
（Ｎｉ４５ｗｔ％，Ｆｅ５５ｗｔ％）を、６μｍの厚さ
で付加した。スパッタを用いるとスライダーの反浮上面
側に直接磁気シールドを形成できるので、樹脂を用いる
必要がない。ローの状態で行わず、スライダーの状態で
スパッタを用い磁気シールドを付加することも可能であ
る。めっきはスパッタに比べ約１０倍の製膜速度が得ら
れるが、ローやスライダーの状態では電極の取り方の難
しさ、ＭＲヘッド部のめっき液からの保護等問題がある
ため、スパッタもしくは蒸着等の方法を採用した方が、
製造が容易である。この様にスライダーに磁気シールド
が予め付加されているので、スライダーとアクチュエー
タを接着剤で接合するだけで良く、工程の短縮が計れる
事と取り扱い等も容易になる。

【００３６】［実施例４］図５に本発明のスライダとア
クチュエータの組立図を断面で示す。図５は、保護部材
１４に囲われたＭＲヘッド１２と浮上面１１を有するス
ライダー１の反浮上面側に、接着剤を介してアクチュエ
ータ２を接合するものである。ここで接着剤と、アクチ
ュエータの端子の記載は省略する。アクチュエータ２
は、基板２０の下側の面に磁気シールド４を設け、基板
２０の上側の面に電磁駆動部２１と可動部２２を設け
る。スライダー１とアクチュエータ２を接合した領域の
厚さは約０．６２ｍｍとした。

【００３７】アクチュエータの基板の下面への、磁気シ
ールドの付加はスパッタ、蒸着、及びめっきを用いて行
った。この場合は、スパッタ、蒸着よりめっきを用いる
方が有利であった。まずめっきは約１０倍製膜速度が速
いことである。もう一つは、アクチュエータの厚み方向
が、アクチュエータ用基板の厚み方向と一致するため、
ローや単品に機械加工する前に磁気シールドを付加する
ことが出来ると言うことである。アクチュエータ用基板
に磁気シールドをめっきするのは、電磁駆動部２１と可
動部２２を設ける前でも後でも構わないが、取り扱い等
を考慮すると、早い工程段階で磁気シールドを付加した
方がよい。磁気シールド４、電磁駆動部２１と可動部２
２が設けられたアクチュエータ基板を機械加工で切断
し、アクチュエータ２を得た。この様にアクチュエータ
に磁気シールドが予め付加されているので、スライダー
とアクチュエータを接着剤で接合するだけで良く、工程
の短縮が計れる事と取り扱い等も容易になる。

【００３８】［実施例５］図６に本発明のヘッドアッセ
ンブリの断面図に示す。図６は、ＭＲヘッド１２と浮上
面１１を有するスライダー１の反浮上面側に段差１３１
を作製して、この段差による平坦面１３４上にアクチュ
エータ２を設け、さらにアクチュエータ２にサスペンシ
ョン３を設けたヘッドアッセンブリである。アクチュエ
ータ２は、基板２０の下側の面に磁気シールド４を接合
し、上側の面に電磁駆動部２１を埋設し、さらに電磁駆
動部２１に可動部２２を設けた構造である。スライダー
の厚みは０．４７ｍｍで段差部を設けた部分のスライダ
ー厚みは０．２５ｍｍとした。磁気シールド厚みを含め
たアクチュエータの厚みは０．１６ｍｍであり、スライ
ダー、磁気シールド及びアクチュエータ合計の厚みが
０．４１ｍｍと薄くすることが出来る。本図のように、
スライダーの厚さを薄くした領域にアクチュエータを接
合することで、磁気シールドの膜厚を増加しても、ヘッ
ドアッセンブリ全体の厚さを薄くすることができる。ま
た、磁気シールドが吸収できる電磁ノイズの許容値を高
くすることもできる。アクチュエータに予め磁気シール
ドを付加したが、スライダーに予め磁気シールドを付加
しても良いし、磁気シールドを単独に製作し組み立てて
も良い。

【００３９】［実施例６］図７に本発明のヘッドアッセ
ンブリの断面図に示す。図７は、ＭＲヘッド１２と浮上
面１１を有するスライダー１の反浮上面側に溝１３０を
作成して、この溝１３０にアクチュエータ２を設け、さ
らにアクチュエータ２にサスペンション３を設けたヘッ
ドアッセンブリである。アクチュエータ２は、基板２０
の下側の面に磁気シールド４を接合し、上側の面に電磁
駆動部２１を埋設し、さらに電磁駆動部２１に可動部２
２を設けた構造である。本図は、図６の構造と同様の効
果を得ることができるたけでなく、アクチュエータの接
合領域を溝とすることで、スライダーの強度を確保でき
る。即ち、溝を形成しない部分が梁の役割を果たす構造
である。

【００４０】［実施例７］図８に本発明のスライダとア
クチュエータの組立図を断面で示す。図８は、保護部材
１４に囲われたＭＲヘッド１２と浮上面１１を有するス
ライダー１の反浮上面側に、磁気シールド４を接合し、
さらに磁気シールド４にアクチュエータ２を接合するも
のである。ここで、磁気シールド４としては、磁性粒子
を含有する接着剤、導電性および軟磁性の物質を含有す
る接着剤、またはこれらの少なくとも２つ以上を組み合
わせたものが挙げられる。スライダー１と磁気シールド
４とアクチュエータ２を合わせた厚さは０．６２ｍｍ、
アクチュエータ２の厚さは０．１５ｍｍとした。接着剤
に磁気シールド効果をもたせる構造であるため、個別に
磁気シールドを準備する必要がないことから、工程の簡
略化が計れる。

【００４１】接着剤に略５μｍ径のカルボニール鉄粉を
２０ｖｏｌ％混合して、スライダーの反浮上面側に約１
５μｍの厚みに塗布しアクチュエータを所定の位置に配
置し、１２０℃ｘ１時間窒素雰囲気中で硬化接合を行っ
た。樹脂に混合する軟磁性体は、センダストやＮｉＦｅ
の様な合金やＭｎＺｎフェライトの様な酸化物でも良
い。

【００４２】［実施例８］図９に本発明のヘッドアッセ
ンブリの立体図を示す。図９は、保護部材１４に囲われ
たＭＲヘッド１２と浮上面１１を有するスライダー１の
反浮上面側に、磁気シールド４を接合し、さらに磁気シ
ールド４にアクチュエータとサスペンションが一体化さ
れた部材を２５を接合するものである。さらに図９の鎖
線Ｂ−Ｂ’における断面を図１０に示す。図１０は本発
明のヘッドアッセンブリの断面図であり、サスペンショ
ンとアクチュエータの基板を一体化した構造に特徴があ
る。サスペンションに電磁駆動部と可動部と作り込むこ
とで、部品数の低減と、ヘッドアッセンブリの工程短縮
さらに厚さの低減を実現できる。磁気シールドはスライ
ダーに予めスパッタか蒸着で付加した構造が望ましい。
図８に示した様な接着剤が磁気シールドを兼ねる構造と
する事もできるが、アクチュエータの可動部２２以外の
箇所に樹脂が付着し硬化すると、アクチュエータ可動部
の動きが阻害され機能を果たさないばかりでなく、スラ
イダーがディスク上を浮上するときの浮上特性が得られ
ない事となる。可動部以外の部位に樹脂の付着を完全に
防ぐことが出来れば問題とはならないが、作業的には難
しいためスライダーの反浮上面側に予め磁気シールド材
を付加しておくことが望ましい。

【００４３】本発明のヘッドアッセンブリにおいて、ア
クチュエータを設けるスライダーの形態としては、浮上
型、半接触型、接触型のいずれのタイプにも用いること
が可能である。ここで浮上型は非接触型ともいう。ま
た、半接触型はニアコンタクト型とも言い、トラッキン
グまたは信号再生のときに、スライダーがディスクと接
触状態あるいは非接触状態である。接触型は、スライダ
ーの一部がディスクと接触するものである。これらの中
でも、特に浮上型スライダーとして用いることが望まし
い。

【００４４】接触型よりも浮上型のほうが、スライダー
をトラッキングする際にアクチュエータに係る摩擦力の
負荷が小さい。従って、浮上型は接触型よりも小さい力
でスライダーを回転または直進運動させることができる
ために、アクチュエータの電磁駆動部に供給する電力ま
たは電圧を低くく抑えることができる。またアクチュエ
ーターの厚みを薄くすることも可能となる。スライダー
がトラック間を高速で移動する（以下シークと呼ぶ）
時、スライダーの重心が高くなるとスライダーの沈み込
みが大きくなり、ＭＲヘッドとディスクの間の距離であ
る浮上量を一定に保つことが困難になる。この事からス
ライダー、磁気シールド、アクチュエーターそれぞれの
厚みを薄くすることと軽量化することは重要である。ま
た、ヘッドアッセンブリーの厚みを薄くすることで、デ
ィスク間隔を狭めることが可能となり、ＨＤＤの高容量
化が実現できる。これらのことから、スライダー１、磁
気シールド４、アクチュエータ２を合わせた厚みが０．
３〜０．６５ｍｍの範囲にあることが望ましい。

【００４５】

【発明の効果】以上で説明したように、スライダーとア
クチュエーター間に軟磁性体で構成された磁気シールド
を挿入することにより、アクチュエーターからの漏洩磁
界を吸収して、スライダーに設けたＭＲヘッドにおける
Ｓ／Ｎ比の劣化を効果的に抑制することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のヘッドアッセンブリーの組立図。

【図２】本発明のヘッドアッセンブリーの断面図。

【図３】本発明のスライダーとアクチュエーターの組立
図。

【図４】本発明のスライダーとアクチュエーターの組立
図。

【図５】本発明のスライダーとアクチュエーターの組立
図。

【図６】本発明のヘッドアッセンブリーの断面図。

【図７】本発明のヘッドアッセンブリーの断面図。

【図８】本発明のスライダーとアクチュエーターの組立
図。

【図９】本発明のヘッドアッセンブリーの立体図。

【図１０】本発明のヘッドアッセンブリーの断面図。

【図１１】従来のヘッドアッセンブリーの立体図。

【図１２】従来のヘッドアッセンブリーの断面図。

【符号の説明】

１スライダー、２アクチュエーター、３サスペン
ション、４磁気シールド、１１浮上面、１２ＭＲ
ヘッド、１４保護部材、１５パッド、２０基板、２
１電磁駆動部、２２可動部、２３端子、２５ア
クチュエーターとサスペンションが一体化された部材、
３１端子、３２プリント配線、３３ワイヤー、４
２接着剤、１３０溝、１３１段差、１３４平坦
面、９０１スライダー、９０２アクチュエーター、
９０３サスペンション、９１１浮上面、９２１駆
動部、９２２可動部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＭＲヘッドを備えるスライダーと、電磁
駆動部を備えるアクチュエーターを有し、前記スライダ
ーと前記アクチュエーターの間に、前記電磁駆動部から
漏洩した磁界を吸収する磁気シールドを備え、前記アク
チュエーターに接合したサスペンションを備える事を特
徴とするヘッドアッセンブリー。
【請求項２】スライダー、磁気シールド、アクチュエ
ーター、サスペンションをそれぞれ導電性接着剤、もし
くは絶縁性接着剤を用いて組み立てたことを特徴とする
ヘッドアッセンブリー。
【請求項３】スライダーの反浮上面側に、スパッタま
たはめっき等で磁気シールド材を付加したスライダー
と、アクチュエーター、サスペンションをそれぞれ導電
性接着剤もしくは絶縁性接着剤を用いて組み立てたこと
を特徴とするヘッドアッセンブリー。
【請求項４】アクチュエーターの反電磁駆動部側に、
スパッタまたはめっき等で磁気シールド材を付加したア
クチュエーターを、スライダー、アクチュエーター、サ
スペンションの順にそれぞれ導電性接着剤もしくは絶縁
性接着剤を用いて組み立てたことを特徴とするヘッドア
ッセンブリー。
【請求項５】スライダーの反浮上面側の面に設けた段
差部に、磁気シールド、アクチュエーター、サスペンシ
ョンをそれぞれ導電性接着剤もしくは絶縁性接着剤を用
いて組み立てたことを特徴とするヘッドアッセンブリ
ー。
【請求項６】スライダーとアクチュエーターを接着す
る前記導電性接着剤もしくは前記絶縁性接着剤に、軟磁
性の粒子を含有させ磁気シールド効果を持たせたことを
特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載のヘッドア
ッセンブリー。
【請求項７】前記磁気シールドが１μｍ以上の厚さを
有する軟磁性膜であることを特徴とする請求項１乃至６
のいずれかに記載のヘッドアッセンブリー。
【請求項８】前記磁気シールドが非晶質もしくは結晶
質の磁性膜であることを特徴とする請求項１乃至７のい
ずれかに記載のヘッドアッセンブリー。
【請求項９】前記磁気シールドが５０００（Ｇ）以上
の飽和磁束密度ＢＳを有する事を特徴とする請求項１乃
至８に記載のヘッドアッセンブリー。
【請求項１０】前記スライダーと前記磁気シールドと
前記アクチュエーターを合わせた厚さが０．３〜０．６
５ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項１乃至９の
いずれかに記載のヘッドアッセンブリー。