JPH11259846A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPH11259846A
JPH11259846A JP353099A JP353099A JPH11259846A JP H11259846 A JPH11259846 A JP H11259846A JP 353099 A JP353099 A JP 353099A JP 353099 A JP353099 A JP 353099A JP H11259846 A JPH11259846 A JP H11259846A
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JP
Japan
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underlayer
magnetic
magnetic recording
recording medium
film
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Pending
Application number
JP353099A
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English (en)
Inventor
Kazunori Onami
一徳 大浪
Hiroshi Kanazawa
博 金澤
Hiroshi Sakai
浩志 酒井
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Resonac Holdings Corp
Original Assignee
Showa Denko KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 保磁力およびノイズ特性が共に優れた磁気記
録媒体を提供する。 【解決手段】 非磁性基板１上に非磁性下地膜２、磁性
膜３および保護膜４を備え、磁性膜３は、Ｃｏを主成分
とする材料からなるものであり、非磁性下地膜２は、第
１下地膜２Ａと第２下地膜２Ｂを備えた２層構造を有
し、第１下地膜２ＡはＣｒを主成分とする材料からなる
ものであり、第２下地膜２ＢはＣｒ／Ｎｂ系合金、Ｃｒ
／Ｗ系合金、Ｃｒ／Ｖ系合金、およびＣｒ／Ｍｏ系合金
のうちいずれかを主成分とする材料からなるものとされ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ドラム、磁気
テープ、磁気ディスク等の磁気記録媒体に係り、特に、
ノイズ特性および保磁力が共に優れた磁気記録媒体に関
する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスク装置等の高記録密度
化に伴い、磁気抵抗効果を利用した磁気ヘッド（以下、
ＭＲヘッドと略記する）が多く用いられている。このた
め、磁気記録媒体についても、ノイズ特性等の磁気特性
に優れたものが必要とされてきている。これは、ＭＲヘ
ッドが従来の電磁誘導型ヘッドに比べて再生感度が高
く、ヘッドノイズが低いものであるため、磁気ディスク
装置等のＳ／Ｎ比、記録密度等の特性を向上させるため
には、磁気記録媒体についてもノイズ特性等の磁気特性
が優れたものが必要となるためである。
【０００３】現在、一般に用いられている磁気記録媒体
としては、ＮｉＰメッキ膜を形成したＡｌ合金などから
なる基板上にＣｒ等からなる非磁性下地膜を形成し、そ
の上にＣｏを主成分とする材料などからなる磁性膜を形
成し、その上に保護膜および潤滑膜を形成したものがあ
る。
【０００４】この種の磁気記録媒体としては、特公平５
−２４５６４号公報に開示されたものが知られている。
該公報に開示された磁気記録媒体は、厚みを５０ないし
２００ÅとしたＣｒからなる非磁性下地膜を設けること
により、角型比を向上させたもである。また特開平１−
２３２５２２号公報には、非磁性下地膜として、Ｃｒ
に、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｔｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｚｎ、Ｗ、お
よびＴａのうち１種以上の金属を添加した合金からな
り、厚みを５００ないし３０００Åとしたものを用いる
ことによって、磁気特性、特に保磁力を高めた磁気記録
媒体が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
公平５−２４５６４号公報に開示された磁気記録媒体に
あっては、Ｃｒからなる非磁性下地膜内で結晶が十分に
（２００）方位となるように成長せず、その結果、この
下地膜に対しエピタキシャル成長する磁性膜内の結晶の
配向性が乱れ、得られる磁気記録媒体の保磁力等の磁気
特性が不十分となる不都合があった。また、特開平１−
２３２５２２号公報に開示された磁気記録媒体では、Ｃ
ｒ合金からなる非磁性下地膜を形成する際に、膜内でＣ
ｒ合金からなる結晶が粗大化し、非磁性下地膜上に形成
される磁性膜内の磁性粒子が、上記粗大化Ｃｒ合金結晶
を含む非磁性下地膜に対しエピタキシャル成長して粗大
化し、その結果、得られる磁気記録媒体がノイズ特性等
の磁気特性に劣るものとなってしまう問題があった。本
発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、保磁力およ
びノイズ特性が共に優れた磁気記録媒体を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題は、磁性膜を、
Ｃｏを主成分とする材料からなるものとし、非磁性下地
膜を、第１下地膜上に第２下地膜を形成した２層構造を
有し、第１下地膜をＣｒを主成分とする材料からなるも
のとし、第２下地膜をＣｒ／Ｎｂ系合金、Ｃｒ／Ｗ系合
金、Ｃｒ／Ｖ系合金、およびＣｒ／Ｍｏ系合金のうちい
ずれかを主成分とする材料からなるものとした磁気記録
媒体によって解決される。上記第２下地膜を、Ｃｒ／Ｎ
ｂ系合金を主成分とする材料からなるものとする場合に
は、この第２下地膜中のＮｂ含有量を５〜２０ａｔ％と
するのが好ましい。また第２下地膜を、Ｃｒ／Ｗ系合金
を主成分とする材料からなるものとする場合には、この
第２下地膜中のＷ含有量を５〜６０ａｔ％、さらに好ま
しくは１０〜６０ａｔ％とするのが望ましい。また第２
下地膜を、Ｃｒ／Ｖ系合金を主成分とする材料からなる
ものとする場合には、この第２下地膜中のＶ含有量を２
〜３０ａｔ％とするのが好ましい。また第２下地膜を、
Ｃｒ／Ｍｏ系合金を主成分とする材料からなるものとす
る場合には、この第２下地膜中のＭｏ含有量を２〜２５
ａｔ％とするのが好ましい。また、第１下地膜の膜厚は
２５〜６００Åとするのが好ましく、第２下地膜の膜厚
は１〜２００Åとするのが好ましい。また、非磁性基板
としては、表面にＮｉＰメッキを施したアルミニウム合
金からなるもの、またはガラスからなるものを用いるの
が好ましい。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の磁気記録媒体の
一実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、
非磁性基板１上に、非磁性下地膜２、磁性膜３および保
護膜４が順次形成されたもので、非磁性下地膜２は、第
１下地膜２Ａ上に第２下地膜２Ｂを形成した２層構造を
有するものとされている。
【０００８】非磁性基板１としては、磁気記録媒体用基
板として一般に用いられるＮｉＰメッキＡｌ合金、すな
わち表面にＮｉＰメッキが施されたアルミニウム合金に
加え、ガラス、セラミック、カーボン、シリコン、シリ
コンカーバイドなどからなるものを用いることができ
る。
【０００９】中でも特に、ＮｉＰメッキＡｌ合金、また
はガラスからなるものを用いるのが好ましい。これは、
ＮｉＰメッキＡｌ合金には、安価であり磁気記録媒体の
製造コストを低く抑えることが可能となるという利点が
あり、ガラスには、表面平滑性に優れ、得られる磁気記
録媒体がＣＳＳ特性に優れたものとなるという利点があ
るためである。また非磁性基板１は、その表面にテクス
チャ加工を施すことによって、平均表面粗さＲａを２０
Å以下とするのが好ましい。この平均表面粗さＲａが２
０Åを越えると、磁気記録媒体のグライドハイト特性が
低下するため好ましくない。
【００１０】非磁性下地膜２の第１下地膜２Ａは、その
上に形成される第２下地膜２Ｂ内の結晶配向性を良好な
ものとするためのもので、Ｃｒを主成分とする材料から
なるものとされる。なお、ここで主成分とは当該成分を
５０ａｔ％以上、好ましくは７０ａｔ％以上含むことを
指す。
【００１１】この第１下地膜２Ａの膜厚は、２５〜６０
０Å、好ましくは２５〜５００Å、さらに好ましくは２
５〜３００Åとするのが望ましい。この膜厚が２５Å未
満であると、膜２Ａ内での結晶成長が不十分となり、こ
れにより膜２Ａに対しエピタキシャル成長する第２下地
膜２Ｂ内の結晶、および膜２Ｂに対しエピタキシャル成
長する磁性膜３内の結晶の配向性が悪化し、得られる磁
気記録媒体の保磁力等の磁気特性が低下する。また上記
膜厚が６００Åを越えると、この膜２Ａ内で成長する結
晶が粗大化し、これにより第２下地膜２Ｂおよび磁性膜
３内で成長する結晶の粗大化が起こり、得られる磁気記
録媒体のノイズ特性等の磁気特性が低下する。特に、上
記膜厚を２５〜３００Åとすると、第１下地膜２Ａ内の
結晶を粗大化させることなく結晶配向性を良好なものと
する効果を十分なものとし、磁気記録媒体の保磁力、ノ
イズ特性をいっそう優れたものとすることができるため
好ましい。
【００１２】第２下地膜２Ｂは、Ｃｒ／Ｎｂ系合金、Ｃ
ｒ／Ｗ系合金、Ｃｒ／Ｖ系合金、およびＣｒ／Ｍｏ系合
金のうちいずれかを主成分とする材料からなるものとさ
れる。ここで主成分とは、当該成分（Ｎｂ、Ｗ、Ｖ、Ｍ
ｏのうちいずれかと、Ｃｒとの和）を５０ａｔ％以上、
好ましくは８０ａｔ％以上含むことを指す。
【００１３】第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｎｂ系合金を主
成分とする材料からなるものとする場合には、第２下地
膜２Ｂ中のＮｂの含有量を、５〜２０ａｔ％とするのが
好ましい。この含有量が５ａｔ％未満、または２０ａｔ
％を越える場合には、得られる磁気記録媒体の保磁力、
ノイズ特性等の磁気特性が低下する。上記Ｎｂ含有量
は、５〜１５ａｔ％、さらに好ましくは５〜１０ａｔ％
とすると、上記磁気特性をいっそう向上させることが可
能となる。
【００１４】第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｗ系合金を主成
分とする材料からなるものとする場合には、第２下地膜
２Ｂ中のＷの含有量を、５〜６０ａｔ％とするのが好ま
しい。この含有量が５ａｔ％未満、または６０ａｔ％を
越える場合には、得られる磁気記録媒体の保磁力、ノイ
ズ特性等の磁気特性が低下する。上記Ｗの含有量は、１
０〜６０ａｔ％、さらに好ましくは２０〜５０ａｔ％と
すると、上記磁気特性をいっそう向上させることが可能
となる。
【００１５】第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｖ系合金を主成
分とする材料からなるものとする場合には、第２下地膜
２Ｂ中のＶの含有量を、２〜３０ａｔ％とするのが好ま
しい。この含有量が２ａｔ％未満、または３０ａｔ％を
越える場合には、得られる磁気記録媒体の保磁力、ノイ
ズ特性等の磁気特性が低下する。上記Ｖの含有量は、５
〜２５ａｔ％、さらに好ましくは１５〜２５ａｔ％とす
ると、上記磁気特性をいっそう向上させることが可能と
なる。
【００１６】第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｍｏ系合金を主
成分とする材料からなるものとする場合には、第２下地
膜２Ｂ中のＭｏの含有量を、２〜２５ａｔ％とするのが
好ましい。この含有量が２ａｔ％未満、または２５ａｔ
％を越える場合には、得られる磁気記録媒体の保磁力、
ノイズ特性等の磁気特性が低下する。上記Ｍｏの含有量
は、５〜２０ａｔ％、さらに好ましくは１０〜２０ａｔ
％とすると、上記磁気特性をいっそう向上させることが
可能となる。
【００１７】第２下地膜２Ｂの膜厚は、１〜２００Å、
好ましくは５〜１００Å、さらに好ましくは１０〜５０
Åとするのが望ましい。この膜厚が１Å未満であると、
膜２Ｂ内での結晶成長が不十分となり、この膜２Ｂ上に
形成される磁性膜３内の結晶配向性が悪化し、得られる
磁気記録媒体の保磁力等の磁気特性が低下する。また上
記膜厚が２００Åを越えると、この膜２Ｂ内で成長する
結晶が粗大化し、これによって磁性膜３内で成長する結
晶の粗大化が起こり、得られる磁気記録媒体のノイズ特
性等の磁気特性が低下する。
【００１８】磁性膜３は、Ｃｏを主成分とする材料から
なるものとされ、この材料としては、例えばＣｏと、Ｃ
ｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｂ、Ｔｉ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、
Ｗ、およびＭｏのうち１種または２種以上との合金を含
むものを用いることができる。上記材料の好適な具体例
としては、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｔａ、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ、Ｃｏ
／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｔａ系の合金を主成分とするものを挙げ
ることができる。中でも特に、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｔａ
系合金を用いることが好ましい。磁性膜３の膜厚は、１
５０〜４００Åとするのが好適である。
【００１９】保護膜４の材料としては、カーボン、酸化
シリコン、窒化シリコンなどを用いることができ、その
厚みは、５０〜２００Åとするのが好ましい。また、保
護膜４上に、パーフルオロポリエーテルなどからなる潤
滑膜を設けることも可能である。
【００２０】上記磁気記録媒体にあっては、磁性膜３
を、Ｃｏを主成分とする材料からなるものとし、非磁性
下地膜２を、第１下地膜２Ａ上に第２下地膜２Ｂを形成
した２層構造を有するものとし、第１下地膜２ＡをＣｒ
を主成分とする材料からなるものとし、第２下地膜をＣ
ｒ／Ｎｂ系合金、Ｃｒ／Ｗ系合金、Ｃｒ／Ｖ系合金、お
よびＣｒ／Ｍｏ系合金のうちいずれかを主成分とする材
料からなるものとしたので、保磁力およびノイズ特性が
共に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
【００２１】上記構成によって上記磁気特性向上効果が
得られる理由は明らかでないが、この理由は次に示すも
のであると推察することができる。非磁性下地膜２を第
１下地膜２Ａ上に第２下地膜２Ｂを形成した２層構造と
し、第１および第２下地膜２Ａ、２Ｂを上記材料からな
るものとすることによって、膜２Ａ上に形成される上記
４種のＣｒ合金のいずれかからなる第２下地膜２Ｂ内の
結晶が、Ｃｒを主成分とする第１下地膜２Ａに対しエピ
タキシャル成長し、配向性が良好なものとなる。このた
め、第２下地膜２Ｂを、結晶配向性を乱すことなく、結
晶の粗大化が生じない範囲まで薄膜化することが可能と
なる。また、第２下地膜２Ｂを上記４種のＣｒ合金のう
ちいずれかからなるものとすることによって、第２下地
膜２Ｂ内の結晶の格子定数が、Ｃｏを主成分とする材料
からなる磁性膜３内で成長する結晶の格子定数に近いも
のとなる。このように、第２下地膜２Ｂ内の結晶が、粗
大化せずかつ配向性に優れ、しかも格子定数が磁性膜３
内の結晶のものに近いものとなることによって、膜２Ｂ
に対しエピタキシャル成長する磁性膜３内の結晶が粗大
化することなく配向性が良好なものとなり、得られる磁
気記録媒体が保磁力およびノイズ特性が共に優れたもの
となる。
【００２２】なお、上記実施形態では、非磁性下地膜２
を、第１下地膜２Ａ上に第２下地膜２Ｂを形成した２層
構造を有するものとしたが、本発明の磁気記録媒体はこ
れに限らず、非磁性下地膜２を、第１下地膜２Ａの下層
側に１または複数の膜を設けた３層以上の構造を有する
ものとすることも可能である。また、上記実施形態で
は、第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｎｂ系合金、Ｃｒ／Ｗ系
合金、Ｃｒ／Ｖ系合金、およびＣｒ／Ｍｏ系合金のうち
いずれかを主成分とする材料からなるものとしたが、本
発明の磁気記録媒体はこれに限らず、第２下地膜２Ｂ
を、これら４種のうち２種以上の合金を主成分とする材
料からなるものとすることもできる。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の実施例を示す。ただし、本発
明は以下の実施例に限定されるものでなく、本発明の範
囲内で任意に変更可能である。 （実施例１〜４）図１に示すものと同様の磁気記録媒体
を以下に示すようにして作製した。表面粗さＲａが１５
Åとなるようにテクスチャリングを施したＮｉＰメッキ
Ａｌ基板１（温度２２０℃）を、ＤＣマグネトロンスパ
ッタ装置（アネルバ製３１００）のチャンバ内に収容
し、チャンバ内の真空到達度を２×１０-7Torrとした
後、Ｃｒからなるターゲットを用いたスパッタリングに
より、非磁性基板１上にＣｒからなる第１下地膜２Ａ
を、膜厚が１００Åとなるよう形成した。
【００２４】次いで、第１下地膜２Ａ上に、Ｃｒ／Ｎｂ
系合金からなるターゲットを用いて、この合金からなる
第２下地膜２Ｂを、膜厚が１５０Åとなるよう形成し
た。ここで用いたＣｒ／Ｎｂ系合金としては、いずれも
ＣｒおよびＮｂからなり、成分比（ａｔ％）がＣｒ95Ｎ
ｂ5、Ｃｒ90Ｎｂ10、Ｃｒ80Ｎｂ20、およびＣｒ75Ｎｂ
25である４種類のものを用いた。次いで、第２下地膜２
Ｂ上に、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｔａ系合金（Ｃｏ75Ｃｒ16
Ｐｔ6Ｔａ3）からなるターゲットを用いて、この合金か
らなる磁性膜３を形成した。
【００２５】次いで、磁性膜３上に、カーボンからなる
保護膜４を膜厚１５０Åとなるよう形成した。なお、上
記各膜を形成する操作においてはスパッタガスとしてＡ
ｒを用い、その圧力は３mTorrとした。上記磁性膜３の
膜厚は残留磁化膜厚積（ＢｒＴ）で１４０Ｇμｍとなっ
た。
【００２６】（比較例１）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｎ
ｂ系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は実
施例１〜４と同様にして磁気記録媒体を作製した。
【００２７】上記実施例１〜４および比較例１の磁気記
録媒体の記録再生特性を、再生部に磁気抵抗（ＭＲ）素
子を有する複合型薄膜磁気ヘッドを用い、線記録密度１
４８．５ＫＦＣＩにて測定した。測定項目はＳＮＲ（Si
gnal to Noise Ratio）、およびノイズ（Noise）とし
た。また、上記磁気記録媒体の保磁力（Hc）を振動式磁
気特性装置（ＶＳＭ）を用いて測定した。結果を図２に
示す。図２において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＮｂ含
有量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μＶ）、
および保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図２中、第２下地膜
２Ｂ中のＮｂ含有量が０ａｔ％であるものは、上記比較
例１に相当する。
【００２８】（実施例５〜１１）第２下地膜２Ｂを、Ｃ
ｒ／Ｗ系合金からなるものとすること以外は実施例１〜
４と同様にして磁気記録媒体を作製した。ここで用いた
Ｃｒ／Ｗ系合金としては、いずれもＣｒおよびＷからな
り、成分比がＣｒ95Ｗ5、Ｃｒ85Ｗ15、Ｃｒ80Ｗ20、Ｃ
ｒ65Ｗ35、Ｃｒ55Ｗ45、Ｃｒ45Ｗ5 5、およびＣｒ35Ｗ65
である７種類のものを用いた。
【００２９】（比較例２）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｗ
系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は実施
例５〜１１と同様にして磁気記録媒体を作製した。
【００３０】上記実施例５〜１１および比較例２の磁気
記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例１〜４に
おいて示したものと同様の方法で測定した結果を図３に
示す。図３において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＷ含有
量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μＶ）、お
よび保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図３中、第２下地膜２
Ｂ中のＷ含有量が０ａｔ％であるものは、上記比較例２
に相当する。
【００３１】（実施例１２〜１８）第２下地膜２Ｂを、
Ｃｒ／Ｖ系合金からなるものとすること以外は実施例１
〜４と同様にして磁気記録媒体を作製した。ここで用い
たＣｒ／Ｖ系合金としては、いずれもＣｒおよびＶから
なり、成分比がＣｒ98Ｖ2、Ｃｒ94Ｖ6、Ｃｒ85Ｖ15、Ｃ
ｒ80Ｖ20、Ｃｒ75Ｖ25、Ｃｒ70Ｖ30、およびＣｒ65Ｖ35
である７種類のものを用いた。
【００３２】（比較例３）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｖ
系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は実施
例１２〜１８と同様にして磁気記録媒体を作製した。
【００３３】上記実施例１２〜１８および比較例３の磁
気記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例１〜４
において示したものと同様の方法で測定した結果を図４
に示す。図４において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＶ含
有量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μＶ）、
および保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図４中、第２下地膜
２Ｂ中のＶ含有量が０ａｔ％であるものは、上記比較３
に相当する。
【００３４】（実施例１９〜２３）第２下地膜２Ｂを、
Ｃｒ／Ｍｏ系合金からなるものとすること以外は実施例
１〜４と同様にして磁気記録媒体を作製した。ここで用
いたＣｒ／Ｍｏ系合金としては、いずれもＣｒおよびＭ
ｏからなり、成分比がＣｒ95Ｍｏ5、Ｃｒ90Ｍｏ10、Ｃ
ｒ85Ｍｏ15、Ｃｒ80Ｍｏ20、およびＣｒ75Ｍｏ25である
５種類のものを用いた。
【００３５】（比較例４）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｍ
ｏ系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は実
施例１９〜２３と同様にして磁気記録媒体を作製した。
【００３６】上記実施例１９〜２３および比較例４の磁
気記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例１〜４
において示したものと同様の方法で測定した結果を図５
に示す。図５において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＭｏ
含有量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μ
Ｖ）、および保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図５中、第２
下地膜２Ｂ中のＭｏ含有量が０ａｔ％であるものは、上
記比較４に相当する。
【００３７】（実施例２４〜２７）第１下地膜２Ａを実
施例１〜４と同様のものとし、第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ
／Ｎｂ系合金（成分比：Ｃｒ95Ｎｂ5）、Ｃｒ／Ｗ系合
金（成分比：Ｃｒ85Ｗ15）、Ｃｒ／Ｖ系合金（成分比：
Ｃｒ85Ｖ15）、またはＣｒ／Ｍｏ系合金（成分比：Ｃｒ
85Ｍｏ15）からなり、膜厚が１５０Åであるものとした
磁気記録媒体を作製した。
【００３８】（比較例５〜８）第１下地膜２Ａを設けな
いこと以外は実施例２４〜２７と同様にして磁気記録媒
体を作製した。
【００３９】実施例２４〜２７、および比較例５〜８の
磁気記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例１〜
４において示したものと同様の方法で測定した結果を表
１に示す。
【００４０】
【表１】
【００４１】（実施例２８〜３１）図１に示すものと同
様の磁気記録媒体を、第１下地膜２Ａの膜厚を２００
Å、第２下地膜２Ｂの膜厚を３０Åとすること以外は実
施例１〜４と同様にして作製した。第２下地膜２Ｂに用
いたＣｒ／Ｎｂ系合金としては、いずれもＣｒおよびＮ
ｂからなり、成分比（ａｔ％）がＣｒ95Ｎｂ5、Ｃｒ90
Ｎｂ10、Ｃｒ80Ｎｂ20、およびＣｒ75Ｎｂ25である４種
類のものを用いた。次いで、第２下地膜２Ｂ上に、Ｃｏ
／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｔａ系合金（Ｃｏ75Ｃｒ16Ｐｔ6Ｔａ3）
からなるターゲットを用いて、この合金からなる磁性膜
３を形成した。
【００４２】（比較例９）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／Ｎ
ｂ系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は実
施例２８〜３１と同様にして磁気記録媒体を作製した。
【００４３】上記実施例２８〜３１および比較例９の磁
気記録媒体の保磁力、および記録再生特性を実施例１〜
４において示したものと同様の方法で測定した結果を図
６に示す。図６において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＮ
ｂ含有量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μ
Ｖ）、および保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図６中、第２
下地膜２Ｂ中のＮｂ含有量が０ａｔ％であるものは、上
記比較例９に相当する。
【００４４】（実施例３２〜３８）第２下地膜２Ｂを、
Ｃｒ／Ｗ系合金からなるものとすること以外は実施例２
８〜３１と同様にして磁気記録媒体を作製した。ここで
用いたＣｒ／Ｗ系合金としては、いずれもＣｒおよびＷ
からなり、成分比がＣｒ95Ｗ5、Ｃｒ85Ｗ15、Ｃｒ80Ｗ
20、Ｃｒ65Ｗ35、Ｃｒ55Ｗ45、Ｃｒ45Ｗ5 5、およびＣｒ
35Ｗ65である７種類のものを用いた。
【００４５】（比較例１０）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／
Ｗ系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は実
施例３２〜３８と同様にして磁気記録媒体を作製した。
【００４６】上記実施例３２〜３８および比較例１０の
磁気記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例１〜
４において示したものと同様の方法で測定した結果を図
７に示す。図７において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＷ
含有量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μ
Ｖ）、および保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図７中、第２
下地膜２Ｂ中のＷ含有量が０ａｔ％であるものは、上記
比較例１０に相当する。
【００４７】（実施例３９〜４５）第２下地膜２Ｂを、
Ｃｒ／Ｖ系合金からなるものとすること以外は実施例２
８〜３１と同様にして磁気記録媒体を作製した。ここで
用いたＣｒ／Ｖ系合金としては、いずれもＣｒおよびＶ
からなり、成分比がＣｒ98Ｖ2、Ｃｒ94Ｖ6、Ｃｒ
85Ｖ15、Ｃｒ80Ｖ20、Ｃｒ75Ｖ25、Ｃｒ70Ｖ30、および
Ｃｒ65Ｖ35である７種類のものを用いた。
【００４８】（比較例１１）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／
Ｖ系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は実
施例３９〜４５と同様にして磁気記録媒体を作製した。
【００４９】上記実施例３９〜４５および比較例１１の
磁気記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例１〜
４において示したものと同様の方法で測定した結果を図
８に示す。図８において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＶ
含有量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μ
Ｖ）、および保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図８中、第２
下地膜２Ｂ中のＶ含有量が０ａｔ％であるものは、上記
比較例１１に相当する。
【００５０】（実施例４６〜５０）第２下地膜２Ｂを、
Ｃｒ／Ｍｏ系合金からなるものとすること以外は実施例
２８〜３１と同様にして磁気記録媒体を作製した。ここ
で用いたＣｒ／Ｍｏ系合金としては、いずれもＣｒおよ
びＭｏからなり、成分比がＣｒ95Ｍｏ5、Ｃｒ90Ｍ
ｏ10、Ｃｒ85Ｍｏ15、Ｃｒ80Ｍｏ20、Ｃｒ75Ｍｏ25であ
る５種類のものを用いた。
【００５１】（比較例１２）第２下地膜２Ｂを、Ｃｒ／
Ｍｏ系合金に代えてＣｒからなるものとしたこと以外は
実施例４６〜５０と同様にして磁気記録媒体を作製し
た。
【００５２】上記実施例４６〜５０および比較例１２の
磁気記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例１〜
４において示したものと同様の方法で測定した結果を図
９に示す。図９において、横軸は第２下地膜２Ｂ中のＭ
ｏ含有量を示し、縦軸はＳＮＲ（ｄＢ）、ノイズ（μ
Ｖ）、および保磁力（Ｏｅ）を示す。なお図９中、第２
下地膜２Ｂ中のＭｏ含有量が０ａｔ％であるものは、上
記比較１２に相当する。
【００５３】（実施例５１〜５４）第１下地膜２Ａを、
実施例２８〜３１と同様のものとし、第２下地膜２Ｂ
を、Ｃｒ／Ｎｂ系合金（成分比：Ｃｒ95Ｎｂ5）、Ｃｒ
／Ｗ系合金（成分比：Ｃｒ85Ｗ15）、Ｃｒ／Ｖ系合金
（成分比：Ｃｒ85Ｖ15）、またはＣｒ／Ｍｏ系合金（成
分比：Ｃｒ85Ｍｏ15）からなり、膜厚が３０Åであるも
のとした磁気記録媒体を作製した。
【００５４】（比較例１３〜１６）第１下地膜２Ａを設
けないこと以外は実施例５１〜５４と同様にして磁気記
録媒体を作製した。
【００５５】実施例５１〜５４、および比較例１３〜１
６の磁気記録媒体の保磁力および記録再生特性を実施例
１〜４において示したものと同様の方法で測定した結果
を表２に示す。
【００５６】
【表２】
【００５７】図２および図６より、非磁性下地膜２の第
２下地膜２ＢをＣｒ／Ｎｂ系合金からなるものとし、第
２下地膜２Ｂ中のＮｂ含有量を５〜２０ａｔ％とした実
施例の磁気記録媒体は、比較例の磁気記録媒体に比べノ
イズ特性および保磁力に優れたものとなったことがわか
る。特に、第２下地膜２Ｂ中のＮｂ含有量を５〜１０ａ
ｔ％としたものは、ノイズ特性、保磁力が共に優れたも
のとなったことがわかる。
【００５８】図３および図７より、非磁性下地膜２の第
２下地膜２ＢをＣｒ／Ｗ系合金からなるものとし、第２
下地膜２Ｂ中のＷ含有量を５〜６０ａｔ％とした実施例
の磁気記録媒体は、比較例の磁気記録媒体に比べノイズ
特性に優れたものとなったことがわかる。特に、第２下
地膜２Ｂ中のＷ含有量を１０〜６０ａｔ％としたもの
は、ノイズ特性、保磁力が共に優れたものとなったこと
がわかる。
【００５９】図４および図８より、非磁性下地膜２の第
２下地膜２ＢをＣｒ／Ｖ系合金からなるものとし、第２
下地膜２Ｂ中のＶ含有量を２〜３０ａｔ％とした実施例
の磁気記録媒体は、比較例の磁気記録媒体に比べノイズ
特性および保磁力に優れたものとなったことがわかる。
特に、第２下地膜２Ｂ中のＶ含有量を５〜２５ａｔ％と
したものは、ノイズ特性、保磁力が共に優れたものとな
ったことがわかる。
【００６０】図５および図９より、非磁性下地膜２の第
２下地膜２ＢをＣｒ／Ｍｏ系合金からなるものとし、第
２下地膜２Ｂ中のＭｏ含有量を２〜２５ａｔ％とした実
施例の磁気記録媒体は、比較例の磁気記録媒体に比べノ
イズ特性および保磁力に優れたものとなったことがわか
る。特に、第２下地膜２Ｂ中のＭｏ含有量を５〜２０ａ
ｔ％としたものは、ノイズ特性、保磁力が共に優れたも
のとなったことがわかる。
【００６１】表１および表２より、非磁性下地膜２を、
第１下地膜２Ａと第２下地膜２Ｂからなる２層構造を有
するものとした実施例の磁気記録媒体は、単層構造の非
磁性下地膜を有する比較例のものに比べ、ノイズ特性に
優れたものとなったことがわかる。
【００６２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体にあっては、保磁力およびノイズ特性が共に優れた
ものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の磁気記録媒体の一実施形態を示す一
部断面図である。
【図２】 試験結果を示すグラフである。
【図３】 試験結果を示すグラフである。
【図４】 試験結果を示すグラフである。
【図５】 試験結果を示すグラフである。
【図６】 試験結果を示すグラフである。
【図７】 試験結果を示すグラフである。
【図８】 試験結果を示すグラフである。
【図９】 試験結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１・・・非磁性基板、２・・・非磁性下地膜、２Ａ・・・第１下
地膜、２Ｂ・・・第２下地膜、３・・・磁性膜、４・・・保護膜

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 非磁性基板上に非磁性下地膜、磁性膜お
    よび保護膜を備え、 磁性膜は、Ｃｏを主成分とする材料からなるものであ
    り、 非磁性下地膜は、第１下地膜上に第２下地膜を形成した
    ２層構造を有し、第１下地膜はＣｒを主成分とする材料
    からなるものであり、第２下地膜はＣｒ／Ｎｂ系合金、
    Ｃｒ／Ｗ系合金、Ｃｒ／Ｖ系合金、およびＣｒ／Ｍｏ系
    合金のうちいずれかを主成分とする材料からなるもので
    あることを特徴とする磁気記録媒体。
  2. 【請求項２】 第２下地膜が、Ｃｒ／Ｎｂ系合金を主成
    分とする材料からなるものであり、この第２下地膜中の
    Ｎｂ含有量が５〜２０ａｔ％であることを特徴とする請
    求項１記載の磁気記録媒体。
  3. 【請求項３】 第２下地膜が、Ｃｒ／Ｗ系合金を主成分
    とする材料からなるものであり、この第２下地膜中のＷ
    含有量が５〜６０ａｔ％であることを特徴とする請求項
    １記載の磁気記録媒体。
  4. 【請求項４】 第２下地膜中のＷ含有量が１０〜６０ａ
    ｔ％であることを特徴とする請求項３記載の磁気記録媒
    体。
  5. 【請求項５】 第２下地膜が、Ｃｒ／Ｖ系合金を主成分
    とする材料からなるものであり、この第２下地膜中のＶ
    含有量が２〜３０ａｔ％であることを特徴とする請求項
    １記載の磁気記録媒体。
  6. 【請求項６】 第２下地膜が、Ｃｒ／Ｍｏ系合金を主成
    分とする材料からなるものであり、この第２下地膜中の
    Ｍｏ含有量が２〜２５ａｔ％であることを特徴とする請
    求項１記載の磁気記録媒体。
  7. 【請求項７】 第１下地膜の膜厚が２５〜６００Åであ
    ることを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか１項記
    載の磁気記録媒体。
  8. 【請求項８】 第２下地膜の膜厚が１〜２００Åである
    ことを特徴とする請求項１〜７のうちいずれか１項記載
    の磁気記録媒体。
  9. 【請求項９】 非磁性基板が、表面にＮｉＰメッキを施
    したアルミニウム合金からなるものであることを特徴と
    する請求項１〜８のうちいずれか１項記載の磁気記録媒
    体。
  10. 【請求項１０】 非磁性基板が、ガラスからなるもので
    あることを特徴とする請求項１〜８のうちいずれか１項
    記載の磁気記録媒体。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6689496B1 (en) 2000-04-07 2004-02-10 Fujitsu Limited Magnetic recording medium, method of producing magnetic recording medium, and magnetic storage apparatus

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