JPH11260299A - 試料ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課 題】 オリフラタイプのウエハ試料の場合、オ
リフラの向きを正確に決めて試料ホルダへ固定できるよ
うにすること。 【解決手段】 上面にウエハ試料Ｗを載置する試料載置
面２aを有するホルダ本体２の下面に配置されて先端部
が前記ホルダ本体２の外側に突出するとともに前記先端
部に前記ホルダ本体２上面側に突出するウエハ試料押圧
部材１３を支持し、且つ、前記ウエハ試料押圧部材１３
が前記試料載置面２aに接近および離隔する方向である
離隔・接近方向に移動可能に支持された複数のウエハ試
料押圧用移動部材１２と、複数のウエハ試料押圧用移動
部材１２を前記試料載置面２aに接近する側に移動させ
るように作用する押圧用バネ１６と、前記複数の各ウエ
ハ試料押圧用移動部材１２を前記離隔・接近方向に移動
させるように移動する操作用移動部材２２とを備えた試
料ホルダ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に対する精密
作業を行う装置（電子顕微鏡装置、電子、Ｘ線等を用い
た分析装置）で使用する試料ホルダに関する。本発明
は、シリコンウエハのような面積の大きいな薄い板状の
試料を保持して、顕微分析を行う試料ステージに搬送す
る試料ホルダに特に好適に使用することができる。

【０００２】

【従来の技術】前記試料ホルダとして、従来、下記（Ｊ
01）の技術が知られている。

【０００３】（Ｊ01）図６に示す技術 図６は試料に対して顕微分析作業を行う装置（電子顕微
鏡等）で使用される試料ホルダの一従来例の概略説明図
で、図６Ａは上面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶI
Ｂ線断面図、図６Ｃは前記図６ＡのＶIＣ−ＶIＣ線断面
図である。なお、以後の説明の理解を容易にするため
に、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ
軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，
−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前
方、後方、左方、右方、上方、下方、または、前側、後
側、左側、右側、上側、下側とする。また、図中、
「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表
に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載され
たものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものと
する。

【０００４】図６において、試料ホルダ０１はホルダ本
体０２を有している。ホルダ本体０２の上面には、試料
Ｗを載置する試料載置面０２aが形成されている。前記
ホルダ本体０２の後端部（−Ｘ端部）には搬送部材Ｈに
より保持される被保持部０３が一体的に形成されてい
る。被保持部０３下面は図６Ｃから分かるようにホルダ
本体０２の下面０２bよりも高い位置に形成されてい
る。前記被保持部０３の前端部（Ｘ側端部）には、試料
ホルダ０１を試料ステージ（図示せず）に搬送する搬送
部材Ｈの連結用ローラＲ1に係合する搬送用ローラ係合
凹部０４，０４が、左右両側（Ｙ軸方向両側）に形成さ
れている。前記被保持部０３の左右の側面（Ｙ軸方向両
端部の側面）は、その後端面０３aから前方に行くに従
って左右に広がる後側傾斜面０３bおよび、前記搬送用
ローラ係合凹部０４から後方に行くに従って左右に広が
る前側傾斜面０３cを有している。前記ホルダ本体０２
の左右両側面には試料ステージＳＴ上に固定する際に試
料ステージＳＴ上の固定用ローラＲ2に係合する固定用
ローラ係合凹部０６，０６が形成されている。前記ホル
ダ本体０２の前端部（Ｘ端部）には切除部０７が形成さ
れており、切除部材０７の後端には厚さの薄い被係止部
０８が形成されている。前記被係止部０８は、試料ステ
ージＳＴ上に固定された係止部材Ｋにより係止される。

【０００５】前記切除部０７の右側（−Ｙ側）の下面に
はピン支持面０９が形成されている。前記ピン支持面０
９には回動アーム０１１を回動可能に支持するアーム支
持ピン０１２およびバネ支持ピン０１３が支持されてい
る。前記回動アーム０１１の先端部には試料押圧部材０
１４が設けられており、前記試料押圧部材０１４と前記
バネ支持ピン０１３との間に引張バネ０１６が設けられ
ている。前記引張バネ０１６により前記回動アーム０１
１はアーム支持ピン０１２回りに図６Ａで時計方向の回
転力を受けている。

【０００６】前記ホルダ本体０２の外周部には前記搬送
用ローラ係合凹部０４，０４および固定用ローラ係合凹
部０６，０６の間に試料位置決め部材０１７，０１７が
設けられている。前記試料載置面０２a上に載置された
試料Ｗは前記押圧部材０１４により押圧され、前記試料
位置決め部材０１７，０１７に当接して位置決め保持さ
れる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】（前記（Ｊ01）の問題
点） （ａ）前記試料ホルダへのウエハ試料の位置決めはウエ
ハ試料の外周を基準に固定している。よって、オリフラ
タイプのウエハでは、オリフラの向きを正確に決めて試
料ホルダへ固定することができない。 （ｂ）試料ホルダから、ウエハ試料を着脱する場合、ウ
エハを固定しているテーパ状の位置決めプレートがウエ
ハ試料の上面にかぶっているので、ウエハ試料を単純に
上方へ取り出せない。よって、ウエハ試料を横方向に移
動させてから、ウエハ試料を着脱しなければならないた
め、作業性が悪く、ウエハ試料上面を傷付ける可能性が
ある。 （ｃ）試料ホルダへのウエハ試料の着脱を自動化する場
合、ウエハ試料を試料ホルダの位置決めプレートへ押し
当てる機構と、ウエハ試料を横方向に移動させる機構が
必要になるため、機構が複雑になる。

【０００８】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）オリフラタイプのウエハ試料の場合、オリフラ
の向きを正確に決めて試料ホルダへ固定できるようにす
ること。 （Ｏ02）試料ホルダに対するウエハ試料の着脱作業を容
易に行うことができる。 （Ｏ03）試料ホルダへのウエハ試料の着脱作業の自動化
が容易な試料ホルダを提供すること。

【０００９】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決し
た本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の
構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構
成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号であ
る。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対
応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするた
めであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではな
い。

【００１０】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の試料ホルダは、下記の要件（Ａ01）〜（Ａ05）を
備えたことを特徴とする、（Ａ01）上面にウエハ試料
（Ｗ）を載置する試料載置面（２a）を有するホルダ本
体（２）、（Ａ02）前記ホルダ本体（２）の下面に配置
されて先端部が前記ホルダ本体（２）の外側に突出する
とともに前記先端部に前記ホルダ本体（２）上面側に突
出するウエハ試料押圧部材（１３）を支持し、且つ、前
記ウエハ試料押圧部材（１３）が前記ホルダ本体（２）
に接近および離隔する方向である離隔・接近方向に移動
可能に支持された複数のウエハ試料押圧用移動部材（１
２）、（Ａ03）前記複数のウエハ試料押圧用移動部材
（１２）を前記ホルダ本体（２）に接近する側に移動さ
せるように作用する押圧用バネ（１６）、（Ａ04）前記
ホルダ本体（２）の下面に移動可能に支持されて前記複
数のウエハ試料押圧用移動部材（１２）に連結されると
ともに前記複数の各ウエハ試料押圧用移動部材（１２）
を前記離隔・接近方向に移動させるように移動する操作
用移動部材（２２）、（Ａ05）前記試料載置面（２a）
上に設けられ、試料載置面（２a）上に載置されたウエ
ハ試料（Ｗ）が前記ウエハ試料押圧部材（１３）により
押圧されたときに前記ウエハ試料（Ｗ）の位置決めを行
うウエハ試料位置決め部材（８，９）。

【００１１】（本発明の作用）前記構成を備えた本発明
の試料ホルダでは、ホルダ本体（２）上面の試料載置面
（２a）上に、ウエハ試料（Ｗ）が載置される。前記ホ
ルダ本体（２）の下面に移動可能に支持された複数のウ
エハ試料押圧用移動部材（１２）の先端部は前記ホルダ
本体（２）の外側に突出する。前記各ウエハ試料押圧用
移動部材（１２）の先端部は、前記ホルダ本体（２）上
面側に突出するウエハ試料押圧部材（１３）を支持す
る。前記ウエハ試料押圧用移動部材（１２）が移動した
とき、前記ウエハ試料押圧部材（１３）は、前記ホルダ
本体（２）に接近および離隔する方向である離隔・接近
方向に移動する。押圧用バネ（１６）は、前記複数のウ
エハ試料押圧用移動部材（１２）を前記ホルダ本体
（２）に接近する側に移動させるように作用する。前記
試料載置面（２a）上に設けられたウエハ試料位置決め
部材（８，９）は、試料載置面（２a）上に載置された
ウエハ試料（Ｗ）が前記ウエハ試料押圧部材（１３）に
より押圧されたときに前記ウエハ試料（Ｗ）の位置決め
を行う。

【００１２】したがって、前記試料載置面（２a）上に
載置されたウエハ試料（Ｗ）は、前記ウエハ試料押圧部
材（１３）により、前記ウエハ試料位置決め部材（８，
９）に押圧されて位置決めされ、支持される。前記ホル
ダ本体（２）の下面に移動可能に支持されて前記複数の
ウエハ試料押圧用移動部材（１２）に連結された操作用
移動部材（２２）は、前記複数の各ウエハ試料押圧部材
（１３）を前記離隔・接近方向に移動させる。したがっ
て、前記操作用移動部材（２２）の移動に伴って、前記
ウエハ試料押圧部材（１３）が前記ホルダ本体（２）か
ら離隔する方向に移動した状態で、試料載置面（２a）
上への試料の着脱を行うことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】（発明の実施の形態１）本発明の
実施の形態１の試料ホルダは前記本発明において次の要
件（Ａ06）を備えたことを特徴とする、（Ａ06）前記操
作用移動部材（２２）と一体的に移動し且つ前記ホルダ
本体（２）の上面側に設けられた操作部（２２c）。

【００１４】（発明の実施の形態１の作用）前記構成を
備えた本発明の実施の形態１では、前記ホルダ本体
（２）の上面側に設けられた操作部（２２c）は前記操
作用移動部材（２２）と一体的に移動する。したがっ
て、前記ホルダ本体（２）の上面側に設けられた操作部
（２２c）を操作することにより前記操作用移動部材
（２２）を移動させることができるので、操作が容易で
ある。

【００１５】（発明の実施の形態２）本発明の実施の形
態２の試料ホルダは前記本発明または本発明の実施の形
態１において次の要件（Ａ07）を備えたことを特徴とす
る、（Ａ07）前記操作用移動部材（２２）が前記ウエハ
試料押圧用移動部材（１２）を離隔方向に移動させるよ
うに移動したときに前記ウエハ試料位置決め部材（８，
９）からウエハ試料（Ｗ）が離れるように前記ウエハ試
料（Ｗ）を移動させるウエハ試料移動用当接部（２２
c）。

【００１６】（発明の実施の形態１の作用）前記構成を
備えた本発明の実施の形態１では、前記操作用移動部材
（２２）が前記ウエハ試料押圧用移動部材（１２）を離
隔方向に移動させるように移動したとき、ウエハ試料移
動用当接部（２２c）は、前記ウエハ試料位置決め部材
（８，９）からウエハ試料（Ｗ）が離れるように前記ウ
エハ試料（Ｗ）を移動させる。ウエハ試料（Ｗ）が前記
ウエハ試料位置決め部材（８，９）から離れると、試料
載置面（２a）からのウエハ試料（Ｗ）の離脱が容易と
なる。

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施の形
態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実
施例に限定されるものではない。 （実施例１）図１は試料に対しする顕微分析作業を行う
装置（電子顕微鏡等）で使用される試料ホルダの実施例
１の説明図で、図１Ａは上面図、図１Ｂは前記図１Ａの
ＩＢ−ＩＢ線断面図である。図２は同実施例１の説明図
で図２Ａは前記図１Ｂの矢印IIＡから見た図、図２Ｂは
前記図２ＡのIIＢ−IIＢ線断面図、図２Ｃは前記図２Ａ
のIIＣ−IIＣ線断面図である。図３は同実施例１の説明
図で前記図１に示す試料ホルダが試料ステージ上に支持
された状態を示す図であり、図３Ａは平面図、図３Ｂは
前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。図４は電子
顕微鏡の試料ステージと試料交換室との間で試料を搬送
する際に使用する試料ホルダの使用方法を示す図であ
る。図５は試料ホルダが装着される前記図４に示す試料
ステージの回転テーブルの平面図である。

【００１７】図１において、試料ホルダ１はホルダ本体
２を有している。ホルダ本体２の上面には、試料Ｗを載
置する試料載置面２aが形成されており、その前端部は
凹部が形成されて上面高さの低い被係止部２a1が形成さ
れている。前記ホルダ本体２の下面２bは、前端部下面
２b1、左端部下面２b2、右端部下面２b3が下方に突出し
ており、前記各下面２b1〜２b3が試料ステージ（後述）
上面に支持されるように構成されている。前記ホルダ本
体２の下面２bは、前記下面２b2および２b3の内側にそ
れぞれ移動部材支持面２b4（図２参照）を有し、後端部
（−Ｘ端部）に操作部材支持面２b5（図２Ａ、図２Ｂ参
照）を有し、ホルダ本体２の中央部にピン支持面２b6を
有している。前記ホルダ本体２の中央部には円孔２cが
形成されている。また、ホルダ本体２の左右の側部の前
端部分には傾斜したローラガイド面２dが形成されてい
る。前記ローラガイド面２dは後述の試料ステージ上の
固定用ローラをガイドする面である。

【００１８】前記ホルダ本体２の後端部（−Ｘ端部）に
は搬送部材Ｈにより保持される被保持部３が一体的に形
成されている。被保持部３の下面は前記操作部材支持面
２bと同一平面に形成されている。前記被保持部３の前
端部（Ｘ端部）には、試料ホルダ１を試料ステージ（後
述）に搬送する搬送部材Ｈの連結用ローラＲ1に係合す
る搬送用ローラ係合凹部４，４が、左右両側（Ｙ軸方向
両側）に形成されている。前記被保持部３の左右の側面
（Ｙ軸方向両端部の側面）は、その後端面３aから前方
（Ｘ方向）に行くに従って左右（Ｙ軸方向）に広がる後
側傾斜面３bおよび、前記搬送用ローラ係合凹部４から
後方に行くに従って左右に広がる前側傾斜面３cを有し
ている。ホルダ本体２の後端部（−Ｘ端部）には切除部
５が形成されており、前記被保持部３を左右に分断して
いる。また、前記ホルダ本体２の左右両側面には固定用
ローラ係合凹部６，６が形成されている。

【００１９】図１においてホルダ本体２上面の試料載置
面２aには、オリフラタイプのウエハ試料Ｗのオリフラ
の位置決めを行う左右一対のオリフラ位置決めピン８が
設けられ、また、ウエハ試料Ｗの円周部の位置決めを行
う左右一対の円周位置決めピン９が設けられている。図
１Ｂから分かるように前記オリフラ位置決めピン８は傾
斜して配置されており、ウエハ試料Ｗの浮き上がりを防
止するようになっている。

【００２０】図２において、前記左右の移動部材支持面
２b4にはそれぞれ、一対のガイドピン１１，１１が支持
され、前記ガイドピン１１，１１に、移動部材（ウエハ
試料押圧用移動部材）１２の一対の長孔１２a，１２aが
スライド移動可能に係合している。前記移動部材１２の
前端にはウエハ試料押圧部材としてのウエハ試料押圧ロ
ーラ１３が回転自在に支持されている。前記ウエハ試料
押圧ローラ１３は、図２Ｃに示すように下部より上部の
外径が大きい円錐面（テーパ面）を有しており、ウエハ
試料Ｗの浮き上がりを防止するように構成されている。
図２Ｂ、図２Ａにおいて、移動部材１２の後端には、連
結ローラ１４が回転自在に支持されている。図２Ａ、図
２Ｃにおいて、ピン支持面２b6には３本の固定ピン１５
が支持されており、前記移動部材１２は、引張バネによ
り構成された押圧用バネ１６を介して前記固定ピン１５
に連結されている。したがって、移動部材１２は前記押
圧用バネ１６により常時ホルダ本体２の中心部に引っ張
られている。すなわち、前記押圧用バネ１６は、前記移
動部材１２前端に支持された前記ウエハ試料押圧ローラ
１３を、前記ホルダ本体２に接近する側に移動させるよ
うに作用する。

【００２１】図２Ａ、図２Ｂにおいて、前記操作部材支
持面２b5には一対のガイドピン２１，２１が支持され、
前記ガイドピン２１，２１に、操作部材２２の前後方向
に延びる一対の長孔２２a，２２aがスライド移動可能に
係合している。前記操作部材２２には左右に延びる一対
の長孔２２b，２２bが形成されており、前記長孔２２b
には前記連結ローラ１４が左右方向（Ｙ軸方向）に移動
可能に嵌合している。図１Ｂにおいて、前記操作部材２
２の後端部分は上方に折り曲げられて、ホルダ本体２の
下面側から前記切除部５（図２Ａ、図１Ａ参照）を通っ
て上面側に延びており、その上端部には、操作部材２２
を作業者が手で操作するため操作部２２cが設けられて
いる。なお本実施例１では、前記操作部２２cは、ウエ
ハ試料Ｗに当接するウエハ試料移動用当接部２２cと兼
用である。しかし、操作部２２cとウエハ試料移動用当
接部２２cとは別々に構成することが可能である。

【００２２】前記操作部材２２は、引張バネ２３を介し
て前記固定ピン１５に連結されている。したがって、操
作部材２２は前記引張バネ２３により常時ホルダ本体２
の中心部に引っ張られている。前記引張バネ２３の強さ
は前記押圧用バネ１６の力よりも弱く設定されている。
前記引張バネ２３は、試料載置面２aにウエハ試料Ｗが
載置された状態では、前記ウエハ試料移動用当接部（す
なわち、操作部）２２cを、前記試料載置面２a上の試料
のオリフラに当接させるように作用する。前記符号２〜
２３で示された要素により、前記試料ホルダ１が構成さ
れている。

【００２３】図３、図４において、前記試料ホルダ１を
搬送する搬送部材Ｈは、搬送部材本体２５と試料搬送棒
２６を有している。前記試料搬送棒２６は、その内端部
が前記搬送部材本体２５にネジで着脱自在に連結され、
外端部には操作ハンドル２６aが設けられている。前記
試料搬送棒２６の内端部と前記搬送部材本体２５との着
脱は、操作ハンドル２６aの回転により行われる。図３
において、前記搬送部材本体２５の上面には、前記被保
持部３上面を押さえる被保持部押さえ部材２５aが設け
られている。また、搬送部材本体２５の上面には一対の
回動レバー２７，２７が回動軸２７a，２７a回りに回動
可能に支持されている。前記回動レバー２７の一端（前
端）には搬送用係止ローラＲ1が回転自在に支持されて
いる。前記回動レバー２７の他端（後端）と前記搬送部
材本体２５上面に設けたバネ支持ピン２８との間には引
張バネ２９が設けられている。したがって、前記回動レ
バー２７は前記引張バネ２９により前記回動軸２７a回
りに常時回転力を受けているが、回転位置規制ピン３０
により、回転位置が規制される。前記符号２５〜３０で
示された要素により搬送部Ｈが構成されている。

【００２４】図４において、真空試料室（真空作業室）
Ａ1内には、試料ステージＳＴが配置されている。試料
ステージＳＴは、Ｙ軸方向（左右方向）に延びる軸３１
周りに傾斜可能な傾斜テーブル３３を有している。この
傾斜テーブル３３にはＹ軸方向に平行移動するＹ軸移動
テーブル３４、Ｘ軸方向に移動するＸ軸移動テーブル３
６、および上下軸（Ｚ軸）回りに回転可能な回転テーブ
ル３７が順次支持されている。前記回転テーブル３７上
面には、前記ホルダ本体２の被係止部２a1（図３参照）
を押さえる被係止部押さえ部材３８が設けられている。
また、回転テーブル３７の上面には一対の回動レバー３
９，３９が回動軸３９a，３９a回りに回動可能に支持さ
れている。前記回動レバー３９の一端（前端）には固定
用係止ローラＲ2が回転自在に支持されている。前記回
動レバー３９の他端（後端）と前記回転テーブル３７上
面に設けたバネ支持ピン４２との間には引張バネ４３が
設けられている。したがって、前記回動レバー３９は前
記引張バネ４３により前記回動軸３９a回りに常時回転
力を受けているが、回転位置規制ピン４４により、回転
位置が規制される。前記引張バネ４３は前記引張バネ２
９よりも弱いバネが使用されており、図３において、２
６を後方（−Ｘ方向）に移動させたときに、試料ホルダ
１を回転テーブル３７上から取り出せるようになってい
る。前記符号３１〜４４で示された要素により、前記試
料ステージＳＴが構成されている。

【００２５】図４において、前記真空試料室（真空作業
室）Ａ1には、試料交換室（予備排気室）Ａ2が接続され
ている。前記真空試料室Ａ1および試料交換室は図示し
ない真空装置により真空にされる。また、前記試料交換
室Ａ2は、外部仕切弁（図示せず）を介して外部の試料
を導入可能である。真空試料室Ａ1と試料交換室Ａ2の間
には内部仕切弁４６が設けられている。内部仕切弁４６
は、断面くさび型部材４７，４８およびそれらを連結す
る引張バネ４９，４９により構成されている。くさび型
部材４７上面には仕切弁開閉用シャフト５１が接続され
ている。仕切弁開閉用シャフト５１上端部には油圧シリ
ンダのピストン５２が連結されている。ピストン５２
は、油圧により上下方向に移動可能になっている。

【００２６】前記くさび型部材４７上方には押圧バネ５
３が設けられている。くさび型部材４７は通常押圧バネ
５３により下方に押圧されおり、くさび型部材４７が下
方に押圧される押圧力は、くさび型部材４７とくさび型
部材４８との接触面においてくさび型部材４８を前方
（Ｘ方向）に押圧するように作用する。このとき、くさ
び型部材４８は前記真空試料室Ａ1の外壁５４に圧接
し、内部仕切弁４６が閉塞状態になる。ピストン５２を
図４の位置から上方へ移動させると前記くさび型部材４
７が上方へ移動される。このとき、引張バネ４９，４９
により連結されているくさび型部材４８も上方へ移動
し、内部仕切弁４６が開放状態になる。

【００２７】前記試料搬送棒２６は、前記試料交換室Ａ
2の外壁５６に着脱可能な交換棒支持部材５７により、
スライド可能に支持されている。前記試料搬送棒２６の
内端部に連結された前記搬送部材本体２５は前記試料交
換室Ａ2内に配置され、その外端部の前記操作ハンドル
２６aは試料交換室Ａ2外側に配置されている。前記試料
交換室Ａ2内には、前記試料ホルダ１をスライド移動可
能に支持する支持プレート５８が配置されている。ま
た、前記真空試料室Ａ1内には前記試料ホルダ１を前記
試料ステージＳＴに搬送する際に試料ホルダ１下面をガ
イドするためのガイドプレート５９が配置されている。

【００２８】（実施例１の作用）前記実施例１では、ホ
ルダ本体２上面の試料載置面２a上に、ウエハ試料Ｗが
載置される。前記ホルダ本体２の下面に移動可能に支持
された複数のウエハ試料押圧用移動部材１２の先端部は
前記ホルダ本体２の外側に突出する。前記各ウエハ試料
押圧用移動部材１２の先端部は、前記ホルダ本体２上面
側に突出するウエハ試料押圧ローラ（ウエハー試料押圧
部材）１３を支持する。前記ウエハ試料押圧用移動部材
１２が移動したとき、前記円錐面を有するウエハ試料押
圧ローラ１３は、前記ホルダ本体２に接近および離隔す
る方向である離隔・接近方向に移動する。押圧用バネ１
６は、前記複数のウエハ試料押圧用移動部材１２を前記
ホルダ本体２に接近する側に移動させるように作用す
る。前記試料載置面２a上に設けられたウエハ試料位置
決め部材８，９は、試料載置面２a上に載置されたウエ
ハ試料Ｗが前記ウエハ試料押圧ローラ１３により押圧さ
れたときに前記ウエハ試料Ｗに当接してウエハ試料Ｗの
位置決めを行う。

【００２９】したがって、前記試料載置面２a上に載置
されたウエハ試料Ｗは、前記ウエハ試料押圧ローラ１３
により、前記ウエハ試料位置決め部材８，９に押圧され
て位置決めされ、支持される。前記ホルダ本体２の下面
に移動可能に支持されて前記複数のウエハ試料押圧用移
動部材１２に連結された操作用移動部材２２は、前記複
数の各ウエハ試料押圧ローラ１３を前記離隔・接近方向
に移動させる。したがって、前記操作用移動部材２２の
移動に伴って、前記ウエハ試料押圧ローラ１３が前記ホ
ルダ本体２から離隔する方向に移動した状態で、試料載
置面２a上への試料の着脱を行うことができる。

【００３０】すなわち、前記操作用移動部材２２の操作
部２２cを前方に押して、前記ウエハ試料押圧用移動部
材１２を離隔方向に移動させたとき、最初に前記ウエハ
試料押圧ローラ１３が前方且つ左右いずれかの外方に移
動してウエハ試料Ｗから離れ、さらに前記操作部２２c
を移動させると前記操作部２２cと兼用のウエハ試料移
動用当接部２２cは、前記ウエハ試料位置決め部材８，
９からウエハ試料Ｗが離れるように前記ウエハ試料Ｗを
移動させる。前述のようにして前記ウエハ試料押圧ロー
ラ１３がウエハー試料Ｗから離隔し、且つ前記ウエハ試
料Ｗが前記ウエハ試料位置決め部材８，９から離れる
と、試料載置面２aからのウエハ試料Ｗの離脱が容易と
なる。

【００３１】前記試料載置面２a上にウエハ試料Ｗが装
着された状態で、試料ホルダ１の後端に、図３に示す搬
送部材Ｈの前端を押し当てると、搬送部材Ｈの搬送用係
止ローラＲ1が、試料ホルダ１の傾斜面３bにガイドされ
て外側に回動し、凹部４に係合する。このとき、搬送部
材Ｈの被保持部押さえ部材２５aが試料ホルダ１の被保
持部３の上面に係合し、図３Ｂに示すように、搬送部材
本体２５は前記被保持部３を上下から挟持する。この状
態で、図４に示す操作ハンドル２６aを前方（Ｘ方向）
に押し出して、前記試料交換室Ａ2内の試料ホルダ１
を、支持プレート５８およびガイドプレート５９上で滑
らせて前記真空試料室Ａ1内の回転テーブル３７上に移
動させる。

【００３２】図５において、回転テーブル３７上に移動
した試料ホルダ１の傾斜したローラガイド面２dが固定
用係止ローラＲ2に押圧される。このとき、固定用係止
ローラＲ2は前記ローラガイド面２dにより外側に回転す
る。この状態でさらに試料ホルダ１を前進させると、前
記固定用ローラ係合凹部６に前記固定用係止ローラＲ2
が係合し、位置が固定される。また、このとき、前記ホ
ルダ本体２の被係止部２a1（図３参照）上面は、前記回
転テーブル３７上面の被係止部押さえ部材３８により押
さえられる。

【００３３】前記試料ホルダ１を試料ステージＳＴの回
転テーブル上に装着した状態で、前記操作ハンドル２６
aを回転させて試料搬送棒２６を前記搬送部材本体２５
から外して、操作ハンドル２６を試料交換室Ａ2内に移
動させ、前記内部仕切弁４６を閉塞してウエハ試料Ｗに
対する観察、または顕微分析を行う。前記ウエハ試料Ｗ
が載置された試料ホルダ１を前記試料ステージＳＴから
試料交換室Ａ2に移動させる場合は、前記と逆の順序で
作業を行う。

【００３４】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）前記実施例１において搬送部材本体２５を試料
ホルダ１に対して着脱可能に構成したが、搬送部材本体
２５を試料ホルダ１に対して着脱不能に構成することが
可能である。その際、搬送部材本体２５を試料ホルダ１
と一体に成形することが可能である。 （Ｈ02）搬送部材Ｈの構成は従来公知の種々の構成を採
用することが可能である。 （Ｈ03）実施例１では、試料ホルダ１の中央部に円孔２
cが形成されていたが、円孔２cは省略可能である。その
場合、試料ホルダ１の下面２bの前端部下面２b1、左右
の端部下面２b2，２b3が試料ステージＳＴ上に支持され
るように構成する代わりに、下面中央部に円筒状の下方
突出部を形成して、その下方突出部下面が試料ステージ
ＳＴ上に支持されるように構成することが可能である。 （Ｈ04）ウエハ試料移動用当接部２２cは前記操作用移
動部材２２と一体に構成する代わりに、操作用移動部材
２２の移動に連動して移動する構成とすることも可能で
ある。 （Ｈ05）前記搬送部材Ｈに、前記ウエハ試料移動用当接
部２２cを前方押圧するロッドを設け、前記ロッドを試
料交換室Ａ2の外部から手動で操作したり、またはソレ
ノイドもしくはモータ等により自動的に操作するように
構成することが可能である。 （Ｈ06）前記試料ホルダ１の中心部に円孔２cが形成さ
れているので、前記円孔２cを貫通する昇降テーブル
（図示せず）を設けることにより、試料ホルダ１に対す
るウエハー試料Ｗの着脱を容易に自動化することができ
る。

【００３５】

【発明の効果】前述の本発明の試料ホルダは、下記の効
果を奏することができる。 （Ｅ01）オリフラタイプのウエハ試料の場合、オリフラ
の向きを正確に決めて試料ホルダへ固定することができ
る。 （Ｅ02）試料ホルダに対するウエハ試料の着脱作業を容
易に行うことができる。 （Ｅ03）試料ホルダへのウエハ試料の着脱作業の自動化
が容易な試料ホルダを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は試料に対しする顕微分析作業を行う装
置（電子顕微鏡等）で使用される試料ホルダの実施例１
の説明図で、図１Ａは上面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩ
Ｂ−ＩＢ線断面図である。

【図２】 図２は同実施例１の説明図で図２Ａは前記図
１Ｂの矢印IIＡから見た図、図２Ｂは前記図２ＡのIIＢ
−IIＢ線断面図、図２Ｃは前記図２ＡのIIＣ−IIＣ線断
面図である。

【図３】 図３は同実施例１の説明図で前記図１に示す
試料ホルダが試料ステージ上に支持された状態を示す図
であり、図３Ａは平面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ
−IIIＢ線断面図である。

【図４】 図４は電子顕微鏡の試料ステージと試料交換
室との間で試料を搬送する際に使用する試料ホルダの使
用方法を示す図である。

【図５】 図５は試料ホルダが装着される前記図４に示
す試料ステージの回転テーブルの平面図である。

【図６】 図６は試料に対しする顕微分析作業を行う装
置（電子顕微鏡等）で使用される試料ホルダの一従来例
の概略説明図で、図６Ａは上面図、図６Ｂは前記図６Ａ
のＶIＢ−ＶIＢ線断面図、図６Ｃは前記図６ＡのＶIＣ
−ＶIＣ線断面図である。

【符号の説明】

Ｗ…ウエハ試料、 ２a…試料載置面、 ２…ホルダ本体、 １３…ウエハ試料押圧部材、 １２…ウエハ試料押圧用移動部材、 １６…押圧用バネ、 ２２…操作用移動部材、 ８，９…ウエハ試料位置決め部材、 ２２c…ウエハ試料移動用当接部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた
   ことを特徴とする試料ホルダ、（Ａ01）上面にウエハ試
   料を載置する試料載置面を有するホルダ本体、（Ａ02）
   前記ホルダ本体の下面に配置されて先端部が前記ホルダ
   本体の外側に突出するとともに前記先端部に前記ホルダ
   本体上面側に突出するウエハ試料押圧部材を支持し、且
   つ、前記ウエハ試料押圧部材が前記ホルダ本体に接近お
   よび離隔する方向である離隔・接近方向に移動可能に支
   持された複数のウエハ試料押圧用移動部材、（Ａ03）前
   記複数のウエハ試料押圧用移動部材を前記ホルダ本体に
   接近する側に移動させるように作用する押圧用バネ、
   （Ａ04）前記ホルダ本体の下面に移動可能に支持されて
   前記複数のウエハ試料押圧用移動部材に連結されるとと
   もに前記複数の各ウエハ試料押圧用移動部材を前記離隔
   ・接近方向に移動させるように移動する操作用移動部
   材、（Ａ05）前記試料載置面上に設けられ、試料載置面
   上に載置されたウエハ試料が前記ウエハ試料押圧部材に
   より押圧されたときに前記ウエハ試料の位置決めを行う
   ウエハ試料位置決め部材。
2. 【請求項２】 下記の要件（Ａ06）を備えたことを特徴
   とする請求項１記載の試料ホルダ、（Ａ06）前記操作用
   移動部材と一体的に移動し且つ前記ホルダ本体の上面側
   に設けられた操作部。
3. 【請求項３】 下記の要件（Ａ07）を備えたことを特徴
   とする請求項１または２記載の試料ホルダ、（Ａ07）前
   記操作用移動部材が前記ウエハ試料押圧用移動部材を離
   隔方向に移動させるように移動したときに前記ウエハ試
   料位置決め部材からウエハ試料が離れるように前記ウエ
   ハ試料を移動させるウエハ試料移動用当接部。