JPH10340699A - ホルダ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課 題】 大気にさらすことなく試料を保持する試料
ホルダを、長い距離の搬送が可能で且つ試料ホルダの授
受が操作近くで行えるようにすること。 【解決手段】 第１の試料交換室６と第２の試料交換
室７の間を接続する真空パイプ８と、ガイド部材４１に
沿って、第１試料交換室６に接近した第１接近位置およ
び第２試料交換室７に接近した第２接近位置の間で移動
制御されるスライダ４２と、これに支持されて先端部に
ホルダ保持部を有し、第１接近位置で先端部が第１の試
料交換室６内に移動し且つ第２接近位置で真空パイプ８
の中間位置に移動する第１アームおよび、第２接近位置
で先端部が第２の試料交換室７内に移動し且つ前記第１
接近位置で真空パイプ８の中間位置に移動する第２アー
ムと、前記中間位置で各ホルダ保持部と試料ホルダＨの
授受を行うホルダ交換部材３７とから構成されるホルダ
搬送装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料ホルダに保持
された試料を大気にさらすことなく、移送するためのホ
ルダ搬送装置に関する。本発明のホルダ搬送装置は、内
部が真空に保持された真空パイプ内に配置され、真空パ
イプに接続された第１の試料交換室および第２の試料交
換室間において試料ホルダを搬送する際等に使用され
る。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ：Ｘ-ray Ｐh
otoelectron Ｓpectrometry）およびオージェ電子分光
法（ＡＥＳ：Ａuger Ｅlectron Ｓpectrometry）による
分析装置等、２つの高真空型分析装置により、１つの試
料に対して分析作業を行う場合、両分析装置を真空パイ
プで連結し、一方の分析装置において前記試料に対し分
析作業を行った後、大気にさらすことなく前記試料を他
方の分析装置へ搬送して分析作業を行う場合がある。そ
の際、前記試料を搬送する装置として使用されるホルダ
搬送装置としては従来下記の技術が知られている。

【０００３】（Ｊ01）（図５〜図８に示す技術） 図５は従来のホルダ搬送装置を備える高真空型分析装置
の説明図である。図６は前記高真空型分析装置の試料ホ
ルダおよび試料交換部材（試料交換棒）の先端部の斜視
図である。図７は試料ステージの拡大説明図である。図
８は前記試料ステージのホルダ支持部の部分断面図であ
る。なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面
において互いに直交する座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義
し、矢印Ｘ方向を前方、矢印Ｙ方向を左方、 矢印Ｚ方
向を上方とする。この場合、Ｘ方向と逆向き（−Ｘ方
向）は後方、Ｙ方向と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方
向と逆向き（−Ｚ方向）は下方となる。また、Ｘ方向及
び−Ｘ方向を含めて前後方向又はＸ軸方向といい、Ｙ方
向及び−Ｙ方向を含めて左右方向又はＹ軸方向といい、
Ｚ方向及び−Ｚ方向を含めて上下方向又はＺ軸方向とい
うことにする。さらに図中、「○」の中に「・」が記載
されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、
「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏
に向かう矢印を意味するものとする。

【０００４】図５において、高真空に保持されるＸＰＳ
（Ｘ線光電子分光法）分析装置の試料測定室である第１
試料測定室０１およびＡＥＳ（オージェ電子分光法）分
析装置の試料測定室である第２試料測定室０２は、それ
ぞれ前方（Ｘ方向）にゲートバルブ０３、０４を介して
円筒状の第１試料交換室０６および第２試料交換室０７
と接続されており、前記第１試料交換室０６と第２試料
交換室０７は真空パイプ０８により連結されている。図
５、図７において、前記第１試料測定室０１の底部に
は、モータおよびギア等で構成されるモータユニットＭ
yによりＹ軸方向に移動可能なＹ軸テーブルＴyが配置さ
れており、Ｙ軸テーブルＴy上にはモータユニットＭxに
よりＸ軸方向に移動可能なＸ軸テーブルＴxが支持され
ている。Ｘ軸テーブルＴx上面には、回転テーブルＴが
支持されている。回転テーブルＴの上面にはホルダ支持
部０１１が支持されている。前記Ｙ軸テーブルＴy、Ｘ
軸テーブルＴxおよびホルダ支持部０１１により試料ス
テージ０９が構成される。

【０００５】図７、図８において、前記ホルダ支持部０
１１はホルダ支持本体０１１aを有している。前記ホル
ダ支持部本体０１１aの左右方向（Ｙ軸方向）両側には
弾性部材で構成されたローラ支持部材０１１bの基端
（−Ｘ端）側が固定されている。前記ローラ支持部材０
１１bの先端側にはローラ０１１cが回転自在に支持され
ている。前記ホルダ支持部本体０１１a上面には、図
７、図８において前方向に（Ｘ方向）に開口するホルダ
嵌合部０１１dを有するホルダ支持板０１１eが固定され
ている。前記ホルダ嵌合部０１１dには後述する試料ホ
ルダＨが嵌合する。前記試料ホルダＨがホルダ嵌合部０
１１dに嵌合される際、試料ホルダＨがローラ０１１cお
よび弾性部材のローラ支持部材０１１bを、ホルダ嵌合
部０１１dから外方向に押し広げながら、ホルダ支持部
本体０１１a側に進み、ローラ支持部材０１１bの復元力
により試料ホルダＨがホルダ支持部本体０１１a側に保
持されるようになっている。前記第２試料測定室０２の
底部には、前記第１試料測定室０１と同様にＹ軸テーブ
ルＴy′、Ｘ軸テーブルＴx′およびホルダ支持部０１
１′から構成される試料ステージ０９′が配置されてい
る。また、ホルダ支持部０１１′も前記ホルダ支持部０
１１と同様に構成されている。

【０００６】前記第１試料交換室０６の前側の側壁には
試料交換部材０１２が支持されている。また、前記第２
試料交換室０７の前方向（Ｘ方向）側壁には試料交換部
材０１２′が支持されている。図５、図６において、前
記試料交換部材０１２は、前記第１試料交換室０６の前
側の側壁に装着された前方に延びる外筒０１３を有して
いる。前記外筒０１３には永久磁石（図示せず）を有す
る外側円筒スライダ部材０１４が、外筒０１３の外側面
上をスライド移動可能且つ回動可能に支持されている。
前記外筒０１３内側には試料交換棒０１５が前後軸（Ｘ
方向に延びる軸）に沿ってスライド移動可能且つ前後軸
回りに回転可能に支持されている。前記試料交換棒０１
５の前端部には永久磁石（図示せず）が固定されてい
る。前記外側円筒スライダ部材０１４を前後方向（Ｘ軸
方向）に動かすことにより、外側円筒スライダ部材０１
４の永久磁石（図示せず）の磁力により外筒０１３の内
部の試料交換棒０１５および操作ロッド０１６が前後方
向（Ｘ軸方向）にスライドする。そして、前記試料交換
棒０１５および操作ロッド０１６の内端側が第１試料交
換室０６内へ移動するようになっている。なお、この試
料交換部材０１２の外端側の詳細な構成は特願平７−７
３２６６号に記載されている。

【０００７】図６において、前記試料交換棒０１５の内
端側にはホルダ保持部材０１８が支持されており、ホル
ダ保持部材０１８にはＵ字状のホルダ保持部０１９が形
成されている。ホルダ保持部材０１８の上面には、Ｌ字
状部材０２０が回動可能に支持されており、前記Ｌ字状
部材０２０は、前記操作ロッド０１６内端側により当接
される被当接部０２１を有する。Ｌ字状部材０２０に
は、ホルダ保持部材０１８の上面に支持されたバネ０２
２が係止されており、バネ０２２がＬ字状部材０２０を
引っ張ることにより、Ｌ字状部材０２０が前記ホルダ保
持部０１９の先端側を閉じるようになっている。また、
Ｌ字状部材０２０の被当接部０２１に操作ロッド０１６
の内端側を当接させて、ホルダ保持部０１９の先端側へ
押圧することにより、Ｌ字状部材０２０が前記ホルダ保
持部０１９の先端側を開けるようになっている。前記操
作ロッド０１６の前後方向（Ｘ軸方向）の移動は、外側
円筒スライダ部材０１４を軸回りに回転させることによ
り可能となっている。試料交換部材０１２は前記符号０
１３〜０２２で示された要素により構成されている。な
お、前記試料交換部材０１２′も前記試料交換部材０１
２と同様に構成されている。

【０００８】図５、図６において、第１試料交換室０６
の左側の側壁にはホルダ搬送部材０２３が支持されてい
る。前記ホルダ搬送部材０２３は、外筒０２４、外側円
筒スライダ部材０２５、試料交換部材０２６を有してお
り、前記試料交換棒０２６の先端部には、ホルダ保持部
材０２７が支持されている。前記ホルダ支持部材０２７
はＵ字状のホルダ保持部０２８を有している。前記ホル
ダ搬送部材０２３の外筒０２４、外側円筒スライダ部材
０２５、試料交換部材０２６、ホルダ保持部材０２７等
は、前記試料交換部材０１２の外筒０１３、外側円筒ス
ライダ部材０１４、試料交換部材０１５、ホルダ保持部
材０１８等とほぼ同様に構成されている。

【０００９】図６において、前記高真空型分析装置で使
用される試料ホルダＨは円筒状の部材で、上面には試料
Ｓを保持する試料保持部０３２が形成されており、前記
試料保持部０３２内で試料Ｓは固定用ネジ０３３により
固定される。試料ホルダＨの外側面にはリング状の溝に
より形成された上側被支持部０３４aおよび下側被支持
部０３４bが形成されている。試料ホルダＨが試料ステ
ージ０９、０９′に載置される際、前記下側被支持部０
３４bはホルダ支持部０１１のホルダ嵌合部０１１eおよ
びホルダ支持部１１′のホルダ嵌合部０１１e′（図５
参照）と嵌合して、ホルダ支持板０１１d、０１１d′に
より支持される。前記試料交換部材０１２、０１２′の
ホルダ保持部０１９、０１９′（０１９′は図示せず）
は、前記上側被支持部０３４aを支持し、前記ホルダ搬
送部材０２３のホルダ保持部０２８は、および前記下側
被支持部０３４bを支持する。

【００１０】図５において、前述の構成により、真空状
態で試料交換部材０１２のホルダ把持部０１９により第
１試料測定室０１の測定位置Ｐ1上の試料ホルダＨを把
持して、試料ステージ０９から取り外す。試料交換部材
０１２に把持された状態で、前記試料ホルダＨを、ゲー
トバルブ０３を通過させて、第１試料交換室０６内の交
換位置Ｐ2上にまで移動させる。交換位置Ｐ2上では試料
ホルダＨを試料交換部材０１２からホルダ搬送部材０２
３に移し替える。移し替えられた試料ホルダＨはホルダ
搬送部材０２３により第２試料交換室０７内の交換位置
Ｑ1まで搬送され、第２試料測定室０２側の試料交換部
材０１２′へ移し替えられる。移し替えられた試料ホル
ダＨは試料交換部材０１２′により第２試料測定室０２
の測定位置Ｑ2上にあるホルダ支持部０１１′に支持さ
れ、試料Ｓの顕微分析作業が行なわれる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】

（前記（Ｊ01）の問題点）前記従来の技術（Ｊ01）の高
真空型分析装置の第１試料測定室側の試料交換部材０１
２および第２試料測定室０２側の試料交換部材０１２′
は離れている。このため、前記試料交換部材０１２、０
１２′間を搬送するためにはホルダ搬送部材０２３が長
くなる。したがって、ホルダ搬送部材０２３を手で操作
する時ホルダ搬送部材０２３の基端側である操作位置と
ホルダ搬送部材０２３の先端側である交換位置Ｑ1とが
離れていて、ホルダ搬送部材０２３の操作位置から交換
位置Ｑ1が見えないので、試料ホルダＨの確実な授受操
作が困難となるという問題点がある。また、ホルダ搬送
部材０２３が長いと、その長さ分だけホルダ搬送部材０
２３の外筒０２４の外端部が第１試料交換室０６から外
方に延びることになる。このため、オペレーションの際
観察者が装置の周囲を移動するときなどの邪魔になると
いう問題点があった。

【００１２】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）大気にさらすことなく試料を保持する試料ホル
ダを、長い距離の搬送が可能で且つ試料ホルダの授受が
操作場所の近くで行えるようにすること。

【００１３】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【００１４】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明のホルダ搬送装置は、下記の要件を備えたことを特
徴とする、（Ａ01）第１の試料交換室（６）および第２
の試料交換室（７）の間を接続する内部が真空に保持さ
れる真空パイプ（８）、（Ａ02）前記真空パイプ（８）
内に配置されたガイド部材（４１）に沿って、前記第１
試料交換室（６）に接近した第１接近位置および前記第
２試料交換室（７）に接近した第２接近位置の間で移動
制御されるスライダ（４２）、（Ａ03）先端部に試料ホ
ルダ（Ｈ）を着脱自在に保持するホルダ保持部（４７
a，４８a）を有し、且つ前記スライダ（４２）に支持さ
れた第１アーム（４４a）および第２アーム（４４b）、
（Ａ04）前記スライダ（４２）が前記第１接近位置に移
動したときに前記アーム先端が前記第１の試料交換室
（６）内に移動し且つ前記スライダ（４２）が前記第２
接近位置に移動したときに前記アーム先端部が前記真空
パイプ（８）の中間位置に移動する前記第１アーム（４
４a）、（Ａ05）前記スライダ（４２）が前記第２接近
位置に移動したときに前記アーム先端が前記第２の試料
交換室（７）内に移動し且つ前記スライダ（４２）が前
記第１接近位置に移動したときに前記アーム先端部が前
記真空パイプ（８）の中間位置に移動する前記第２アー
ム（４４b）、（Ａ06）前記真空パイプ（８）の中間位
置に設けられ、前記第１アーム（４４a）および第２ア
ーム（４４b）の先端部の前記各ホルダ保持部（４７a，
４８a）との間で試料ホルダ（Ｈ）の授受を行うホルダ
交換部材（３７）。

【００１５】（本発明の作用）前述の特徴を備えた本発
明のホルダ搬送装置では、真空パイプ（８）は、第１の
試料交換室（６）および第２の試料交換室（７）の間を
接続して、内部が真空に保持される。前記真空パイプ
（８）内に配置されたガイド部材（４１）に沿って、移
動制御されるスライダ（４２）が前記第１接近位置に移
動したときに、前記スライダ（４２）に支持された第１
アーム（４４a）の先端部が前記第１の試料交換室
（６）内に移動し、前記スライダ（４２）に支持された
第２アーム（４４b）の先端部が前記真空パイプ（８）
の中間位置に移動する。前記第１の試料交換室（６）内
に移動した第１アーム（４４a）の先端部のホルダ保持
部（４７a）には試料ホルダ（Ｈ）が着脱自在に保持さ
れる。この状態で、前記スライダ（４２）が前記第２接
近位置に移動したときに前記第１アーム（４４a）のア
ーム先端部が前記真空パイプ（８）の中間位置に移動
し、第２アーム（４４b）のアーム先端が前記第２の試
料交換室（７）内に移動する。

【００１６】前記第１アーム（４４a）先端部の試料保
持部（４７a）が前記真空パイプ（８）の中間位置に移
動した際、真空パイプ（８）の中間位置に設けられたホ
ルダ交換部材（３７）が前記第１アーム（４４a）のホ
ルダ保持部（４７a）に着脱自在に保持された試料ホル
ダ（Ｈ）を受取る。この状態で、前記スライダ（４２）
が前記第１接近位置に移動したときに前記第２アーム
（４４b）のアーム先端部が前記真空パイプ（８）の中
間位置に移動し、第１アーム（４４a）のアーム先端が
前記第１の試料交換室（６）内に移動する。この状態
で、前記ホルダ交換部材（３７）から前記試料ホルダ
（Ｈ）を保持していない第２アーム（４４b）のホルダ
保持部（４８a）へ試料ホルダ（Ｈ）を授ける。

【００１７】このように内部が真空に保持され２つの試
料交換室を接続する真空パイプ（８）内で、スライダ
（４２）が移動する際、各アームの先端部が試料交換室
内に移動するので、スライダ（４２）は２つの各試料交
換室間を移動しなくて済む。このため、スライダ（４
２）の移動距離はスライダ（４２）からアームの先端部
までの長さだけ短くて済み、スライダ（４２）の移動を
ガイドするガイド部材（３９）は両試料交換室の距離よ
り短くて済む。したがって、大気にさらすことなくスラ
イダ（４２）の移動距離より長い距離の試料ホルダ
（Ｈ）の搬送が可能となる。

【００１８】

【発明の実施の形態】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施の形
態の例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例
に限定されるものではない。 （実施例）図１は本発明のホルダ搬送装置の実施例を備
えた高真空型分析装置の平面図である。図２は前記実施
例を備えた高真空型分析装置の横断面図で、図２Ａは前
記図１のIIＡ−IIＡ線断面図、図２Ｂは前記図１のIIＢ
−IIＢ線断面図である。図３は前記図１のIII−III線断
面図である。図４は前記実施例のホルダ搬送部材の斜視
図である。図１、図２、図３に示す本発明のホルダ搬送
装置の実施例の説明において、前記図５および図６に示
す従来の高真空型分析装置の構成要素と同一の構成要素
には、前記図５および図６で使用した符号の最初の０を
除いた符号を付して、その詳細な説明は省略する。

【００１９】図１、図２、図３において、第１試料交換
室６と第２試料交換室７を連結する真空パイプ８の上側
面（Ｚ方向面）には覗き用開口部８a（図２Ｂ参照）が
形成されており、前側面（Ｘ方向面）の中間位置にはホ
ルダ交換部材装着孔８b（図２Ｂ参照）が形成されてお
り、その両側には作動部材装着孔８c，８c（図２Ａ参
照）が形成されている。さらに、前記真空パイプ８の下
側面（−Ｚ方向面）には支持部材支持部８d，８d（図２
Ａ参照）が形成されている。前記覗き用開口部８aは覗
き用閉塞部材３６により閉塞されており、観察者が前記
真空パイプ８内を覗くことができるようになっている。
前記ホルダ交換部材装着孔８bの外端にはホルダ交換部
材３７が装着されており、ホルダ交換部材３７の構成
は、従来の前記試料交換部材０１２、０１２′と同様で
ある。前記作動部材装着孔８c，８cの外端には、後述の
スライダを移動させるために回転操作する回転導入部材
３８が支持される。回転導入部材３８は、外端側に回転
可能な操作部３８aを有しており、内端側には操作部３
８aと一体的に回転するシャフト３８bを有している。前
記シャフト３８bにはギアＧ0が固定されている。

【００２０】図２、図３において、前記支持部材支持部
８d，８dの下端面にはスライダ支持部材３９の脚部３９
a，３９aが支持されており、前記脚部３９a，３９a上端
面には、前記真空パイプ８の長手方向（Ｙ軸方向）に延
びる支持部材本体３９bが支持されている。支持部材本
体３９bの長手方向（Ｙ軸方向）両端には上方（Ｚ方
向）に延びるシャフト支持部３９c（図３参照）が一体
的に形成されている。シャフト支持部３９cには、前後
方向（Ｘ軸方向）に離れた２つのシャフト嵌合孔３９d
が形成されている。前記各シャフト嵌合孔３９dには２
本のガイドシャフト（ガイド部材）４１が嵌合して、固
定される。

【００２１】図４において、前記ガイドシャフト４１に
支持されるスライダ４２には、２つのシャフト貫通孔４
２aが形成されており、前記シャフト貫通孔４２aを貫通
するガイドシャフト４１に沿って滑らかにスライド移動
するようになっている。なお、前記シャフト貫通孔４２
a内部にはリニアモーションベアリング等を配置するこ
とにより、前記ガイドシャフト４１上をスライド移動す
るスライダ４２の移動をより滑らかにすることが可能で
ある。スライダ４２の上端面には支持部材固定溝４２b
が形成されており、スライダ４２の短手方向片側面には
ラック４３が一体的に結合されている。前記ラック４３
は真空パイプ８内で前記回転導入部材３８のギアＧ0と
噛み合うようになっている。

【００２２】支持部材固定溝４２bにはアーム４４が配
置されており、前記アーム４４は、支持部材固定溝４２
bに螺合する固定用ネジ４６により固定されている。前
記アーム４４は、左側（Ｙ側）部分の第１アーム４４a
および右側（−Ｙ側）部分の第２アーム４４bにより構
成されている。なお、前記第１アーム４４aおよび右側
（−Ｙ側）部分の第２アーム４４bは一体に構成する変
わりに別体に構成することが可能である。前記各アーム
４４a、４４bの先端部には第１ホルダ保持部４７、第２
ホルダ保持部４８が固定されている。前記第１、第２ホ
ルダ保持部４７、４８は先端側にＵ字状のホルダ支持部
４７a、４８aを有しており、前記ホルダ支持部４７a、
４８aは試料ホルダＨの下側被支持部３４b（図６参照）
を保持可能となっている。

【００２３】（本実施例の作用）図１において、前述の
構成を備えた本実施例のホルダ搬送装置では、第１試料
測定室１および第２試料測定室２を真空にした状態で、
ゲートバルブ３を開け、試料交換部材１２を操作して、
第１試料測定室１の測定位置Ｐ1上の試料ホルダＨを交
換位置Ｐ2上に移送し、前記ゲートバルブ３を閉じる。
前記回転導入部材３８を回転させて、スライダ４２を第
１試料交換室６側に移動させ、スライダ４２の第１アー
ム４４aを交換位置Ｐ2にまで移動させる（第１接近位
置）。第１アーム４４aのホルダ支持部４７aが、前記試
料交換部材１２が把持している試料ホルダＨの下側被支
持部３４bを支持するようにして、試料ホルダＨを前記
試料交換部材１２から第１アーム４４aに移し替える。

【００２４】試料ホルダＨを第１アーム４４aのホルダ
保持部４７に保持した状態で前記回転導入部材３８を回
転させて、スライダ４２を第２試料交換室７側に移動さ
せ、第１アーム４４aのホルダ保持部４７が真空パイプ
８の中間位置に支持されたホルダ交換部材３７の位置に
来るようにする。ホルダ交換部材３７により前記試料ホ
ルダＨの上側被支持部３４aを把持してホルダ保持部４
７から取り外す。試料ホルダＨを取り外した後、前記ス
ライダ４２を第１試料交換室６側に移動させて、スライ
ダ４２に固定された第２アーム４４bを前記ホルダ交換
部材３７の支持された位置にまで移動させる。前記第２
アーム４４bのホルダ支持部４８aに試料ホルダＨの下側
被支持部３４bを支持するようにして、試料ホルダＨを
前記ホルダ交換部材３７から第２アーム４４bに移し替
える。

【００２５】第２アーム４４bのホルダ保持部４８に試
料ホルダＨを保持した状態で、前記回転導入部材３８を
回転させて、スライダ４２を第２試料交換室７側に移動
させ、スライダ４２の第２アーム４４bを交換位置Ｑ1に
まで移動させる（第２接近位置）。移動した第２アーム
４４bのホルダ保持部４８に保持された試料ホルダＨ
を、第２試料交換室７側の回転導入部材３８および試料
交換部材１２′を操作しながら第２試料交換室７の試料
交換部材１２′に移し替える。前記第２試料交換室７側
の回転導入部材３８および試料交換部材１２′は近い位
置に配置されており、前記回転導入部材３８の操作位置
と試料ホルダＨの交換位置が見やすく、試料ホルダＨの
移し替え作業が容易に行える。

【００２６】前記試料ホルダＨを第２試料交換室７の試
料交換部材１２′に移し替えた後、ゲートバルブ４を開
け、試料ホルダＨを第２試料測定室２の試料ステージ
９′に装着する。試料ホルダＨを前記試料ステージ９′
に装着後、第２試料交換室７の試料交換部材１２′をも
との位置に戻し、ゲートバルブ４を閉じて、試料Ｓの顕
微分析作業を開始する。なお、前記第２試料測定室２か
ら第１試料測定室１へ試料ホルダＨを搬送する際は前述
と逆の操作が行われる。

【００２７】このように前記第１試料交換室６から第２
試料交換室７に試料ホルダＨを搬送する場合、前記第１
試料交換室６の交換位置Ｐ1で第１アーム４４aが試料ホ
ルダＨを受取るので、第１アーム４４aを支持するスラ
イダ４２が前記交換位置Ｐ1まで移動しなくてすむ。ま
た、受渡し側の前記第２試料交換室７の交換位置Ｑ1に
も試料ホルダＨを保持する第２アーム４４bがとどけば
よいので、スライダ４２が前記交換位置Ｑ1まで移動し
なくてすむ。したがって、真空に保持された真空パイプ
８内で移動するスライダ４２の移動距離が前記第１アー
ム４４aおよび第２アーム４４bの長さ分だけ短くてす
む。これにより、大気にさらすことなくスライダ４２の
移動距離より長い距離の試料ホルダＨの搬送が可能とな
り、試料ホルダＨの搬送距離よりも小さなホルダ搬送装
置が得られる。また、本発明のホルダ搬送装置は真空パ
イプ８内に配置されているので、前記図５〜図８に示す
従来技術のようにホルダ搬送部材０２３が外方に突出
し、オペレーションの際観察者の邪魔にならない。

【００２８】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。（Ｈ01）前記ラック４３およ
びギアＧ0の代わりにミニワイヤロープとプーリーを用
い前記回転導入部材３８に連結して、スライダ４２を動
かすことも可能である。 （Ｈ02）本実施例ではＸＰＳ（Ｘ線光電子分光法）分析
装置およびＡＥＳ（オージェ電子分光法）分析装置のホ
ルダ搬送装置の場合を例示したが、本発明は走査電子顕
微鏡など他の荷電粒子線装置のホルダ搬送装置、その
他、種々ホルダ搬送装置に適応可能である。

【００２９】

【発明の効果】前述の本発明のホルダ搬送装置は、下記
の効果を奏することができる。 （Ｅ01）大気にさらすことなく試料を保持する試料ホル
ダを、長い距離の搬送が可能となり且つ試料ホルダの授
受が操作近くで行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明のホルダ搬送装置の実施例を備
えた高真空型分析装置の平面図である。

【図２】 図２は前記実施例を備えた高真空型分析装置
の横断面図で、図２Ａは前記図１のIIＡ−IIＡ線断面
図、図２Ｂは前記図１のIIＢ−IIＢ線断面図である。

【図３】 図３は前記図１のIII−III線断面図である。

【図４】 図４は前記実施例のホルダ搬送部材の斜視図
である。

【図５】 図５は従来のホルダ搬送装置を備える高真空
型分析装置の説明図である。

【図６】 図６は前記高真空型分析装置の試料ホルダお
よび試料交換部材（試料交換棒）の先端部の斜視図であ
る。

【図７】 図７は試料ステージの拡大説明図である。

【図８】 図８は前記試料ステージのホルダ支持部の部
分断面図である。

【符号の説明】

Ｈ…試料ホルダ ６…第１の試料交換室、７…第２の試料交換室、８…真
空パイプ、３７…ホルダ交換部材、４１…ガイド部材、
４２…スライダ、４４a…第１アーム、４４b…第２アー
ム、（４７a，４８a）…ホルダ保持部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたホルダ搬送装置（Ａ
   01）第１の試料交換室および第２の試料交換室の間を接
   続する内部が真空に保持される真空パイプ、（Ａ02）前
   記真空パイプ内に配置されたガイド部材に沿って、前記
   第１試料交換室に接近した第１接近位置および前記第２
   試料交換室に接近した第２接近位置の間で移動制御され
   るスライダ、（Ａ03）先端部に試料ホルダを着脱自在に
   保持するホルダ保持部を有し、且つ前記スライダに支持
   された第１アームおよび第２アーム、（Ａ04）前記スラ
   イダが前記第１接近位置に移動したときに前記アーム先
   端が前記第１の試料交換室内に移動し且つ前記スライダ
   が前記第２接近位置に移動したときに前記アーム先端部
   が前記真空パイプの中間位置に移動する前記第１アー
   ム、（Ａ05）前記スライダが前記第２接近位置に移動し
   たときに前記アーム先端が前記第２の試料交換室内に移
   動し且つ前記スライダが前記第１接近位置に移動したと
   きに前記アーム先端部が前記真空パイプの中間位置に移
   動する前記第２アーム、（Ａ06）前記真空パイプの中間
   位置に設けられ、前記第１アームおよび第２アームの先
   端部の前記各ホルダ保持部との間で試料ホルダの授受を
   行うホルダ交換部材。