JPH112605A - レーザを用いたガスの直接分析方法 - Google Patents
レーザを用いたガスの直接分析方法Info
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- JPH112605A JPH112605A JP15624397A JP15624397A JPH112605A JP H112605 A JPH112605 A JP H112605A JP 15624397 A JP15624397 A JP 15624397A JP 15624397 A JP15624397 A JP 15624397A JP H112605 A JPH112605 A JP H112605A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 8
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- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 発電プラント等における被径側部の成分組
成、プラズマ温度及び微量成分濃度をオンラインで検出
できるレーザを用いたガスの直接分析方法を提供するに
ある。 【解決手段】 各種プラントの配管等１に光学窓６を設
けると共にプラズマ用レーザをレンズ４を通してミラー
１５で反射させた後、前記光学窓６より投射して、前記
配管等１内の被径側部２に集光し、前記被計測部２での
気体及び固体をプラズマ化する一方、プラズマ発光並び
に前記被計測部が発する蛍光をミラー１５、分光器１１
を介してＣＣＤカメラ１２にて検出し、検出されたプラ
ズマ信号により、前記被径側部の成分組成、プラズマ温
度及び微量成分濃度を検出することを特徴とする。
成、プラズマ温度及び微量成分濃度をオンラインで検出
できるレーザを用いたガスの直接分析方法を提供するに
ある。 【解決手段】 各種プラントの配管等１に光学窓６を設
けると共にプラズマ用レーザをレンズ４を通してミラー
１５で反射させた後、前記光学窓６より投射して、前記
配管等１内の被径側部２に集光し、前記被計測部２での
気体及び固体をプラズマ化する一方、プラズマ発光並び
に前記被計測部が発する蛍光をミラー１５、分光器１１
を介してＣＣＤカメラ１２にて検出し、検出されたプラ
ズマ信号により、前記被径側部の成分組成、プラズマ温
度及び微量成分濃度を検出することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、発電プラント等に
おけるレーザを用いたガスの直接分析方法に関する。
おけるレーザを用いたガスの直接分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、発電プラント等での配管及びダク
ト内のガス濃度の計測は、主要ガス成分についてはガス
クロマトグラフィーでオンラインで計測することが可能
であるが、微量なガス成分およびガス中に含まれる粉体
の組成については、ガス及び粉体を吸引した後に分析し
ており、オンラインでの計測は困難であった。
ト内のガス濃度の計測は、主要ガス成分についてはガス
クロマトグラフィーでオンラインで計測することが可能
であるが、微量なガス成分およびガス中に含まれる粉体
の組成については、ガス及び粉体を吸引した後に分析し
ており、オンラインでの計測は困難であった。
【０００３】また、配管内のガス及び粉体の分布に偏り
があった場合、得られた計測値が、正確な値を示してい
ない可能性がある。更に、配管及びダクト内の温度及び
濃度分布を計測するためには、配管及びダクト内のサン
プリング位置を複数にするか、あるいはサンプリング位
置をトラバースさせる方法しかなく、計測に時間がかか
るという問題点があった。
があった場合、得られた計測値が、正確な値を示してい
ない可能性がある。更に、配管及びダクト内の温度及び
濃度分布を計測するためには、配管及びダクト内のサン
プリング位置を複数にするか、あるいはサンプリング位
置をトラバースさせる方法しかなく、計測に時間がかか
るという問題点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術に鑑みてなされたものであり、発電プラント等におけ
る被計測部の成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度
をオンラインで検出できるレーザを用いたガスの直接分
析方法を提供するにある。
術に鑑みてなされたものであり、発電プラント等におけ
る被計測部の成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度
をオンラインで検出できるレーザを用いたガスの直接分
析方法を提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明は、各種プラントの配管等に光学窓を設けると共に
プラズマ用レーザをレンズを通してミラーで反射させた
後、前記光学窓より投射して、前記配管等内の被計測部
に集光し、前記被計測部での気体及び固体をプラズマ化
する一方、プラズマ発光並びに前記被計測部が発する蛍
光をミラー、分光器を介してＣＣＤカメラにて検出し、
検出されたプラズマ信号により、前記被計測部の成分組
成、プラズマ温度及び微量成分濃度を検出することを特
徴とする。
発明は、各種プラントの配管等に光学窓を設けると共に
プラズマ用レーザをレンズを通してミラーで反射させた
後、前記光学窓より投射して、前記配管等内の被計測部
に集光し、前記被計測部での気体及び固体をプラズマ化
する一方、プラズマ発光並びに前記被計測部が発する蛍
光をミラー、分光器を介してＣＣＤカメラにて検出し、
検出されたプラズマ信号により、前記被計測部の成分組
成、プラズマ温度及び微量成分濃度を検出することを特
徴とする。
【０００６】
〔実施倒１〕本発明の一実施例に係るレーザを用いた分
析装置の一例を図１に示す。同図に示すように、配管１
中の被計測場２にプラズマ用レーザ３（被計測場にレー
ザで誘起されたプラズマを生成させるためのレーザ）を
レンズ４を通し、ミラー１５で反射させた後、パージ５
付き光学窓６を通して、被計測部２に集光し、そこに存
在する気体及び固体をプラズマ化させる。
析装置の一例を図１に示す。同図に示すように、配管１
中の被計測場２にプラズマ用レーザ３（被計測場にレー
ザで誘起されたプラズマを生成させるためのレーザ）を
レンズ４を通し、ミラー１５で反射させた後、パージ５
付き光学窓６を通して、被計測部２に集光し、そこに存
在する気体及び固体をプラズマ化させる。
【０００７】プラズマ用レーザ３と同期させて、成分励
起用レーザ７（物質中の被計測成分の励起波長に対応す
る波長を発信するレーザ）の出力をミラー８、レンズ４
及びミラー１５を介してレーザ誘起されたプラズマ中に
入射する。プラズマ発光、ならびに成分励起用レーザ光
により励起された被計測成分が発する蛍光は、ミラー１
５及びミラー９を介してレンズ１０で集光され、分光器
１１に入射され、ＣＣＤカメラ１２にてそれぞれ検出さ
れる。
起用レーザ７（物質中の被計測成分の励起波長に対応す
る波長を発信するレーザ）の出力をミラー８、レンズ４
及びミラー１５を介してレーザ誘起されたプラズマ中に
入射する。プラズマ発光、ならびに成分励起用レーザ光
により励起された被計測成分が発する蛍光は、ミラー１
５及びミラー９を介してレンズ１０で集光され、分光器
１１に入射され、ＣＣＤカメラ１２にてそれぞれ検出さ
れる。
【０００８】それぞれの信号はコンピュータ１３に転送
され、プラズマ発光の信号より、被計測場２の成分組成
及びプラズマ温度を求め、その情報から蛍光強度の補正
を行い、被計測場に存在する微量成分の濃度を検出す
る。尚、１４はプラズマ用レーザ３及び成分励起用レー
ザ７の発信とＣＣＤカメラ１２を同期させるラインであ
る。
され、プラズマ発光の信号より、被計測場２の成分組成
及びプラズマ温度を求め、その情報から蛍光強度の補正
を行い、被計測場に存在する微量成分の濃度を検出す
る。尚、１４はプラズマ用レーザ３及び成分励起用レー
ザ７の発信とＣＣＤカメラ１２を同期させるラインであ
る。
【０００９】上記構成を有する本実施例の分析装置にお
いて、レンズ４の位置を図中矢印で示すように光軸方向
に調整する事により、被計測部２内におけるレーザ光の
焦点位置までの距離を変化させることができる。また、
ミラー１５の角度を図中矢印で示すように前後に調整す
ることにより、被計測場２におけるレーザ光の焦点位置
を変えることができる。
いて、レンズ４の位置を図中矢印で示すように光軸方向
に調整する事により、被計測部２内におけるレーザ光の
焦点位置までの距離を変化させることができる。また、
ミラー１５の角度を図中矢印で示すように前後に調整す
ることにより、被計測場２におけるレーザ光の焦点位置
を変えることができる。
【００１０】これにより、レーザ光の位置を変えながら
計測を行い、それらの計測結果を平均することにより、
配管１内の、より精度の高い温度及び濃度を求めること
ができる。また、被計測場２における計測位置を、配管
１の流れ方向に垂直な断面内で変化させることにより、
配管１の同断面での濃度分布、温度分布を短時間で計測
することが可能となる。
計測を行い、それらの計測結果を平均することにより、
配管１内の、より精度の高い温度及び濃度を求めること
ができる。また、被計測場２における計測位置を、配管
１の流れ方向に垂直な断面内で変化させることにより、
配管１の同断面での濃度分布、温度分布を短時間で計測
することが可能となる。
【００１１】このように本実施例によれば、レーザ光の
焦点位置を変化させることにより、被計測場２における
計測位置を変えることができ、その領域での平均温度及
び平均濃度を求めることができる。また、被計測場２に
おける計測位置を、配管１の流れ方向に垂直な断面内で
変化させて計測することにより、温度分布および濃度分
布を短時間で計測することができる。
焦点位置を変化させることにより、被計測場２における
計測位置を変えることができ、その領域での平均温度及
び平均濃度を求めることができる。また、被計測場２に
おける計測位置を、配管１の流れ方向に垂直な断面内で
変化させて計測することにより、温度分布および濃度分
布を短時間で計測することができる。
【００１２】〔実施倒２〕本発明の他の実施例に係るレ
ーザを用いた装置の概要を図２に示す。同図に示すよう
に、レーザ３をレーザ光の入射方向と平行な方向に動か
す機構を持つレンズ４を通し、入射方向に対する反射方
向を変える機構を持つミラー１５で反射させた後、位置
２に集光する。
ーザを用いた装置の概要を図２に示す。同図に示すよう
に、レーザ３をレーザ光の入射方向と平行な方向に動か
す機構を持つレンズ４を通し、入射方向に対する反射方
向を変える機構を持つミラー１５で反射させた後、位置
２に集光する。
【００１３】レンズ４の位置を前後に動かすことによ
り、レーザ３から焦点である位置２までの距離を変える
事ができる。また、ミラー１５のレーザ３に対する角度
を変化させることにより、レーザ光の照射位置を変える
ことができる。このように本実施例に係る装置によれ
ば、レーザ光の焦点位置を目的の位置にあわせることが
でき、また、ある範囲で焦点位置を自由に動かす事がで
きる。
り、レーザ３から焦点である位置２までの距離を変える
事ができる。また、ミラー１５のレーザ３に対する角度
を変化させることにより、レーザ光の照射位置を変える
ことができる。このように本実施例に係る装置によれ
ば、レーザ光の焦点位置を目的の位置にあわせることが
でき、また、ある範囲で焦点位置を自由に動かす事がで
きる。
【００１４】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明は、各種プラントの配管等に光学窓を
設けると共にプラズマ用レーザをレンズを通してミラー
で反射させた後、前記光学窓より投射して、前記配管等
内の被計測部に集光し、前記被計測部での気体及び固体
をプラズマ化する一方、プラズマ発光並びに前記被計測
部が発する蛍光をミラー、分光器を介してＣＣＤカメラ
にて検出し、検出されたプラズマ信号により、前記被計
測部の成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度をオン
ラインで検出できる。
たように、本発明は、各種プラントの配管等に光学窓を
設けると共にプラズマ用レーザをレンズを通してミラー
で反射させた後、前記光学窓より投射して、前記配管等
内の被計測部に集光し、前記被計測部での気体及び固体
をプラズマ化する一方、プラズマ発光並びに前記被計測
部が発する蛍光をミラー、分光器を介してＣＣＤカメラ
にて検出し、検出されたプラズマ信号により、前記被計
測部の成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度をオン
ラインで検出できる。
【図１】本発明のレーザを用いた分析装置の一実施例を
示す概念図である。
示す概念図である。
【図２】本発明のレーザを用いた装置の他の実施例の概
念図である。
念図である。
１ 配管 ２ 被計測場 ３ プラズマ用レーザ ４ レンズ ５ パージ ６ 光学窓 ７ 成分励起用レーザ ８ ミラー ９ ミラー １０ レンズ １１ 分光器 １２ ＣＣＤカメラ １３ コンピュータ １４ 同期ライン １５ ミラー
Claims (1)
- 【請求項１】 各種プラントの配管等に光学窓を設ける
と共にプラズマ用レーザをレンズを通してミラーで反射
させた後、前記光学窓より投射して、前記配管等内の被
計測部に集光し、前記被計測部での気体及び固体をプラ
ズマ化する一方、プラズマ発光並びに前記被計測部が発
する蛍光をミラー、分光器を介してＣＣＤカメラにて検
出し、検出されたプラズマ信号により、前記被計測部の
成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度を検出するこ
とを特徴とするレーザを用いたガスの直接分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15624397A JPH112605A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | レーザを用いたガスの直接分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15624397A JPH112605A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | レーザを用いたガスの直接分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112605A true JPH112605A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=15623513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15624397A Pending JPH112605A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | レーザを用いたガスの直接分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH112605A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5635743A (en) * | 1979-08-30 | 1981-04-08 | Taiho Kogyo Co Ltd | Aluminum bearing alloy |
| WO2003023378A1 (fr) * | 2001-09-06 | 2003-03-20 | Japan Science And Technology Agency | Procede permettant d'evaluer a l'aide d'une pompe sonde la concentration d'ozone photochimique genere et appareil d'evaluation de la concentration d'ozone photochimique genere a l'aide de ce procede |
| JP2010133800A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス成分計測装置 |
| CN110895235A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-03-20 | 美时美克(上海)汽车电子有限公司 | 一种双通道空气质量检测模块 |
-
1997
- 1997-06-13 JP JP15624397A patent/JPH112605A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5635743A (en) * | 1979-08-30 | 1981-04-08 | Taiho Kogyo Co Ltd | Aluminum bearing alloy |
| WO2003023378A1 (fr) * | 2001-09-06 | 2003-03-20 | Japan Science And Technology Agency | Procede permettant d'evaluer a l'aide d'une pompe sonde la concentration d'ozone photochimique genere et appareil d'evaluation de la concentration d'ozone photochimique genere a l'aide de ce procede |
| US7425452B2 (en) | 2001-09-06 | 2008-09-16 | Japan Science And Technology Agency | Pump-and-probe method for estimating strength of forming photochemical ozone and apparatus therefor |
| JP2010133800A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス成分計測装置 |
| CN110895235A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-03-20 | 美时美克(上海)汽车电子有限公司 | 一种双通道空气质量检测模块 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040803 |