JPH11260992A - リードフレーム、半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体チップがリードおよびアイランドに確
実に接続されて内部に接続不良のない小型の半導体装置
を容易に製造することが可能なリードフレームおよび半
導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 複数のリードとその１つの先端に設けら
れた半導体チップ載置用のアイランドを有するリードフ
レームにおいて、リードに平行なアイランドの側辺に突
起を形成し、アイランドへの半導体チップの載置および
半導体チップとリードやアイランドとのワイヤボンディ
ングに際して、突起を押し付けてアイランドのステージ
からの浮き上がりを防止する。突起はリードから遠い位
置に形成することが好ましく、リードに平行な２側辺の
いずれか一方または両方に形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体チップを載置
するためのリードフレーム、これを用いた半導体装置、
および半導体装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】トランジスタ、ダイオード、集積回路
（ＩＣ）等の種々の回路を内部に形成された半導体チッ
プは、一般に、製造の最終段階で必要な数のリードを取
り付けられ、保護のために樹脂でモールドされて、完成
品である半導体装置とされる。この工程では、リードの
原形と半導体チップ取り付け用の部位とを有する金属製
のリードフレームが用いられる。半導体チップ取り付け
用の部位はアイランドと呼ばれ、１本のリードの先端部
に形成される。他のリードは先端部がアイランド近傍に
位置するように形成される。

【０００３】半導体チップの上面には、入力または出力
のために、内部の回路に接続された複数のボンディング
パッドが設けられる。半導体チップは接着剤によりアイ
ランドに固着された後、ワイヤボンディングによってリ
ードの先端部と接続される。内部に形成される回路によ
っては、例えば入出力用の端子、電源用端子等を下面か
ら導出させた構成の半導体チップもあり、このような半
導体チップは、導電性の接着剤によりアイランドに固定
され、固定と同時に１本のリードに電気的に接続され
る。下面に露出した端子をもたない半導体チップの場
合、１つのボンディングパッドとアイランドの周辺部と
をワイヤで接続する場合もある。

【０００４】樹脂モールドは、半導体チップ、アイラン
ドおよびリードの先端部を内包するように形成される。
リードのうち、樹脂モールドの内部に存在する部位はイ
ンナーリード、樹脂モールドの外部に存在する部位はア
ウターリードと呼ばれる。

【０００５】量産性を高めるためには、半導体チップの
アイランドへの固着、半導体チップとリードの接続、お
よび樹脂モールドの形成の工程を半導体チップごとに個
別に行うのではなく、１つの工程を多くの半導体チップ
について連続してあるいは並行して行うことが望まし
い。このため、１つのリードフレームには、アイランド
とリードから成る組が多数、並列して規則正しく形成さ
れる。全てのリードは、基端部で連結されるとともに、
リードフレームの撓みとリード間の間隔の変動を防止す
るために、基端部と先端部の中間部でも連結される。こ
の中間部を連結する部位はタイバーと呼ばれる。

【０００６】樹脂モールドを形成した状態の従来のリー
ドフレームを図５に示す。図５において、２７は樹脂モ
ールド、２１ａおよび２１ｂは１本のリード２０のアウ
ターリード２１、２３はタイバーである。インナーリー
ドは樹脂モールド２７に埋没しており、図には現れてい
ない。また、ここではリードフレームの一部のみを示し
ており、左右に連なる部位およびリード２０の基端部は
省略している。この例では、１つの半導体装置は３本の
リード２０を有する。

【０００７】リード２０を連結するタイバー２３を切除
し、アウターリード２１を基端部側で切断することによ
り、個々の半導体装置が分離される。分離された半導体
装置のアウターリード２１は、必要に応じて、樹脂モー
ルド２７の外面に沿うように折曲げられる。完成品であ
る半導体装置は、他の部品とともに、基板に取り付けら
れる。基板への取り付けは、基板に形成されている配線
パターンとアウターリード２１を接続し、かつ半導体装
置を強固に固定するために半田が使用される。

【０００８】半導体チップは小さく、また半導体装置は
小さいことが望ましく、インナーリードの配列ピッチ
（図５のＡ）は小さく設定される。一方、基板への取り
付けに際しては半田を用いることから、短絡を防止する
ために、アウターリード２１のアイランドから遠い部位
２１ｂの配列ピッチ（図５のＢ）は広く設定する必要が
ある。したがって、全てのリード２０を直線状に形成す
るのではなく、少なくとも外側に位置するリードは屈曲
部を有するように形成される。

【０００９】リードフレームは金属板を所望の形状に打
ち抜くことにより形成されるが、従来は、図５に示した
ように、リード２０を連結するタイバー２３の一部をリ
ード２０の屈曲部２１ｃとして兼用することにより、構
成を簡素化している。その結果、アウターリード２１の
配列ピッチはタイバー２３を境として変化し、部位２１
ａではインナーリードのピッチＡに等しく、部位２１ｂ
ではより大きなピッチＢとなっている。タイバー２３を
切除した後のリード２０を拡大して図６に示す。タイバ
ー２３のうち、隣合うリードを連結している部位のみが
切除され、一部は外側の２本のリードの屈曲部２１ｃと
して残存している。

【００１０】半導体チップに取り付けるリードが３本程
度と少ない場合、リードを屈曲させても、隣合うリード
間でピッチの大きい部位２１ｂとピッチの小さい部位２
１ａが接近することはない。したがって、タイバー２３
をリード２０の辺縁に平行に切断して、切除部位のリー
ド間の間隔を広く保つことができる。

【００１１】ところが、半導体チップに取り付けるリー
ドが多くなると、リードを屈曲させることにより、１本
のリードのピッチの大きい部位が、隣のリードのピッチ
の小さい部位に接近する。４本のリードを取り付ける場
合のリードフレームを図７に示し、そのタイバー２３を
切除した後のリード２０を拡大して図８に示す。この場
合、外側の２本のリードのみならず、内側の２本のリー
ドも屈曲部２１ｃを有しており、内側の２本のリードの
部位２１ｂは外側の２本のリードの部位２１ａに接近し
ている。したがって、タイバー２３を切除した後のリー
ドの間隔をできるだけ広くするためには、図８に示した
如く、タイバー２３をリード２０の辺縁に平行ではなく
斜めに切断しなければならない。

【００１２】しかしながら、斜めに切断してもタイバー
切除部のリードの間隔を広くするには限界がある。しか
も、斜めに切断するためには厳密な位置合わせが必要で
あり、位置合わせが正確になされないとリード間の間隔
が一様でなくなって、所定の間隔に達しない個所が生じ
る。リード間の間隔が狭いと、基板への取り付けに際
し、半田が盛り上がって隣合うリードが接触し、短絡す
るという不都合が生じ易い。

【００１３】このリード間の短絡を防止するために、タ
イバーを切除した部位のリードの表面に電気絶縁性の樹
脂を塗着して、絶縁コートを形成することが行われてい
る。図８の例では破線で囲った部位に絶縁コートが形成
される。

【００１４】タイバー切除部に絶縁コートを形成する方
法は、リード間の絶縁を確保するのに有用である。しか
しながら、絶縁コートの形成はタイバーを切除した後に
行わなければならず、換言すれば、半導体装置ごとに個
別に行わなければならない。このため、単なる工程数の
増加にとどまらず、半導体装置の製造効率の大きな低下
が避けられない。しかも、発光ダイオード、受光ＩＣ、
フォトインタラプタ等の光−電気変換素子を使用した半
導体装置の場合には、絶縁コートの樹脂がはみ出して光
の出入口を塞ぐ恐れもある。

【００１５】さらに、タイバーを斜めに切断するために
厳密な位置合わせをする必要があり、これを可能にする
ためにリードフレームの加工精度を高くする必要もあ
る。このような理由により、従来のリードフレームの構
造は、半導体装置製造のコストの低減や歩留まりの向上
の障害の要因となっている。

【００１６】半導体チップのアイランドへの固着やワイ
ヤボンディングは、リードフレームを平坦なステージに
載置し、インナーリードのタイバー側をピンで上方から
押し付けて行われる。ワイヤボンディングを行うときの
アイランドを側方から見た様子を図９に示す。図９にお
いて、３１はアイランド、３２はインナーリード、３３
は半導体チップ、３４はボンディングパッド、３５はワ
イヤ、３６はステージ、３７はキャピラリツール、３８
は押し付け用のピンである。通常の場合、アイランド３
１、リード３２はともにステージ３６の上面に密接し、
半導体チップ３３もアイランド３１の上面に密接する。

【００１７】この状態で、キャピラリツール３７を降下
させて、その先端から突出するワイヤ３５を、半導体チ
ップ３３を損傷しない程度の力で、ボンディングパッド
３４に押し当てる。そしてキャピラリツール３７よりワ
イヤ３５の先端に超音波を作用させて、ワイヤ３５をボ
ンディングパッド３４に固定する。次いで、キャピラリ
ツール３７を移動させてリード３２上に降下させ、同様
に力と超音波を加えてワイヤ３５をリード３２に固定
し、切断する。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、アイランド
は他のどのリードの先端部よりもタイバーから遠い位置
にあるため、アイランドの先端は浮き上がり易くステー
ジの上面から離間し易い。アイランド３１の先端がステ
ージ３６から離間した状態を図９に鎖線で示す。この状
態で半導体チップ３３をアイランド３１に固着しても両
者が密接せず、強固な固定をすることはできない。

【００１９】また、アイランド３１の先端がステージ３
６から離間した状態でワイヤボンディングを行うと、ア
イランド３１が撓むため、十分な力がワイヤ３５に加わ
らなくなり、超音波も散逸してしまう。したがって、ボ
ンディングパッド３４とワイヤ３５を良好に接続するこ
とはできなくなる。アイランド３１の周辺部にワイヤ３
５を接続する場合も同様に、アイランド３１とワイヤ３
５を良好に接続することはできない。

【００２０】浮き上がりを防止するために、半導体チッ
プのアイランドへの固着やワイヤボンディングに際して
は、アイランドの先端部を別のピンによって上方から押
さえ付けることが行われている。図９において３９がそ
のピンであり、アイランド３１の先端部をステージ３６
に押さえ付ける。このため、アイランド３１の面積は、
半導体チップを載置するのに必要な面積より大きく設定
されており、その分樹脂モールドが大きくなって、完成
品である半導体装置も大型化している。

【００２１】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、半導体チップがリードおよびアイランドに確実に
接続されて内部に接続不良のない小型の半導体装置を容
易に製造することが可能なリードフレームおよび半導体
装置の製造方法を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、半導体チップを載置するための略矩形
のアイランド、アイランドの第１の辺縁に連なりこの第
１の辺縁に対して略垂直な方向に延びる第１のリード、
およびアイランドに接近した端部を有し第１のリードと
略同じ方向に延びる複数の第２のリードより成るリード
フレームにおいて、アイランドは第１のリードに略平行
な第２の辺縁に突起部を有するものとする。

【００２３】突起部は、半導体チップのアイランドへの
固着またはワイヤボンディングに際して、アイランドの
浮き上がりを防止するためにピンで押さえ付ける部位と
して利用することができる。また、ワイヤと接続する部
位としても利用可能である。したがって、突起部を除く
アイランドを、半導体チップを載置するに足る最小限の
大きさとすることができる。

【００２４】通常の場合、第２のリードの一部はアイラ
ンドの第２の辺縁に沿うように設けられるから、突起部
を含むアイランドの幅すなわち第１の辺縁方向の長さ
を、外側の２つの第２のリードの距離以下とすることが
できる。したがって、アイランドの第２の辺縁に突起部
を設けることは樹脂モールドの大きさに影響を及ぼさ
ず、半導体装置の大型化を招くことがない。

【００２５】本発明ではまた、上記のリードフレームを
用い、上面に入力または出力のためのボンディングパッ
ドを有する半導体チップをアイランドに固着し、アイラ
ンドおよび第２のリードの端部をステージに載置して突
起部を上方から押さえて、ボンディングパッドと第２の
リードの端部または突起部とをワイヤで接続することに
より半導体装置を製造する。ボンディングパッドとリー
ドとのワイヤボンディングまたはアイランドと半導体チ
ップとの接続を確実に行うことができるから、信頼性の
高い半導体装置を製造することができる上、アイランド
が小さいため、得られる半導体装置が小型になる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。図１に、本発明の一実
施形態であるリードフレーム１に樹脂モールド７を形成
した状態を示す。リードフレーム１は、電気導電性の金
属板から不必要な部位をパンチングまたはエッチング処
理により除去して形成されている。

【００２７】このリードフレーム１は、多数の半導体チ
ップの各々に４本のリードを取り付けるためのものであ
り、４本で１群の帯状のリード１０を多数有している。
全てのリード１０は同じ方向に向けて配列されており、
基端部においてこれらと直交する幅広の連結部１５によ
り連結されている。全てのリード群は一定のピッチで規
則正しく配列されており、連結部１５には各群の位置を
示すための貫通孔１５ａが上記一定のピッチで形成され
ている。

【００２８】リード１０の先端部は樹脂モールド７に埋
没しており、全てのリード１０は、先端部と基端部の中
間部において、それらと直交する直線状のタイバー１３
によって連結されている。タイバー１３は、連結部１５
によるリード１０の連結を補強して、リードフレーム１
の撓みとリード１０の間隔の変動を防止するためのもの
である。タイバー１３は、リード１０の一部を成すもの
ではなく、後に切除される。

【００２９】リードフレーム１のうち１つの半導体装置
となる一部分を拡大して図２に示し、これに樹脂モール
ド７を形成した後の状態を図３に示す。図２に示したよ
うに、４本のリード１０のうちの１本の先端部は半導体
チップを載置するためのアイランド１４として大きく形
成されている。４本のリード１０のうちの他の先端部
は、いずれもアイランド１４の近傍に位置する。各リー
ド１０のうち、図２の破線より上方に位置する部位１２
が図３の樹脂モールド７に覆われるインナーリード、破
線よりも下方の部位１１が樹脂モールド７の外部に位置
するアウターリードとなる。

【００３０】図示しないが、アイランド１４に載置され
る半導体チップは入出力端子を含む４つの端子を有して
おり、そのうちの１つは下面として露出し、残りの３つ
は上面に形成された３つのボンディングパッドに接続さ
れている。半導体チップは導電性の接着剤によりアイラ
ンド１４に固着され、ボンディングパッドとインナーリ
ード１２が例えば金製のワイヤによって接続される。こ
れにより、４つの端子がそれぞれ異なるリード１０に電
気的に接続される。

【００３１】４本のリード１０のどの先端部にアイラン
ド１４を形成するかは任意であり、ワイヤとインナーリ
ード１２のどの部位を接続するかも任意である。これら
は、ワイヤボンディングを容易に行い得るように、半導
体チップのボンディングパッドの位置に応じて定めると
よい。特に、インナーリード１２の接続部位は、樹脂モ
ールド形成時にワイヤを損傷することなく樹脂を注入す
ることができるように、樹脂の注入方向を考慮して定め
るのが好ましい。

【００３２】なお、リードフレーム１は、３つの端子の
みを有し各端子が上面に形成されたボンディングパッド
に連なっている半導体チップ、すなわち下面をリード１
０と接続する必要のない半導体チップにも適用可能であ
る。その場合、アイランド１４に連なるリードは、樹脂
モールド７を形成するまでアイランド１４を固定するた
めの単なる支持部材として機能することになる。したが
って、導電性の接着剤ではなく絶縁性の接着剤で半導体
チップをアイランドに固着してもよく、アイランド１４
に連なるリードのアウターリード１１は切断して除去す
る。

【００３３】リードフレーム１は、また、上面に４つの
ボンディングパッドを有し、４つの端子の全てがボンデ
ィングパッドに接続されている半導体チップにも適用す
ることができる。この場合、導電性または絶縁性の接着
剤で半導体チップをアイランド１４に固着し、ボンディ
ングパッドの１つをアイランド１４に連なるリードにワ
イヤで接続する。このリードは、当然、樹脂モールド７
を形成した後も保存する。

【００３４】アイランド１４は略矩形であり、インナー
リード１２に平行な２つの辺縁には突起部１４ａ、１４
ｂが形成されている。突起部１４ａ、１４ｂを除くアイ
ランド１４の大きさは、半導体チップを載置するために
必要な最小限の大きさに設定されている。突起部１４
ａ、１４ｂはリードに連なる辺縁に対向する辺縁の近傍
に設けられている。

【００３５】一方の突起部１４ａは真っ直ぐで、その辺
縁はアイランド１４の辺縁に連続している。他方の突起
部１４ｂはリード１０から遠ざかる方向に向かって屈曲
している。突起部１４ｂの先端部および突起部１４ａは
半導体チップをアイランド１４に固着する際および／ま
たはワイヤボンディングを行う際に、ピンで押し付ける
部位として利用される。突起部１４ｂの基端部はワイヤ
と接続するための部位としても使用することができる。

【００３６】４本のインナーリード１２のうち外側の２
本は、突起部１４ａまたは１４ｂの近傍にまで達してお
り、突起部１４ａ、１４ｂを形成したアイランド１４の
辺縁に沿っている。このように、インナーリード１２を
アイランド１４に沿わせると、ワイヤと接続する部位を
自由に選択することができる。したがって、ボンディン
グパッドの位置が異なる種々の半導体チップにリードフ
レーム１を用いることが可能になり、また、樹脂モール
ド形成時の樹脂の注入方向を考慮してワイヤとの接続部
位の位置を決定することができる。

【００３７】インナーリード１２は等しいピッチＡで互
いに平行に形成されている。このピッチＡは、リード１
０の先端部がアイランド１４の近傍に位置するように、
小さく設定されている。これにより、樹脂モールド７を
半導体チップとリード１０の先端部の保護に必要な最小
の大きさに形成することが可能になっている。アウター
リード１１のうち樹脂モールド７に近い部位１１ａ（以
下、近部位という）はインナーリード１２の延長上に形
成されており、インナーリード１２と同じピッチＡを有
する。

【００３８】一方、アウターリード１１のうち樹脂モー
ルド７から遠い部位１１ｂ（以下、遠部位という）は、
基板への取り付けを容易にするとともにその際の半田に
よる短絡を防止するために、インナーリード１２のピッ
チＡよりも大きいピッチＢにする必要がある。このた
め、アウターリード１１には途中に屈曲部１１ｃが形成
されている。屈曲部１１ｃによるアウターリード１１の
近部位１１ａと遠部位１１ｂの位置のずれは、外側の２
本の方が内側の２本よりも大きい。４本のアウターリー
ド１１は左右対称に設定されており、このように対称関
係をもたせることで、内側の２本のリードの遠部位１１
ｂを外側にずらす量を等しくして最小にすることができ
る。

【００３９】全てのリード１０の屈曲部１１ｃはアイラ
ンド１４から等距離に形成されており、したがって、隣
合うリードの間隔は屈曲部１１ｃ近傍で他のどの部位よ
りも小さくなる。ただし、相互の間隔が最も狭くなる屈
曲部１１ｃは、基板への取り付けに際し半田が盛り上が
ったとしても互いに接触することがないように、十分な
大きさに設計されている。具体的には、間隔の減少を最
小限に抑えるために、屈曲部１１ｃの向かい合う辺縁
を、他の部位の辺縁に対して斜めにして、互いに略平行
になるように設定している。リードフレーム１はパンチ
ングまたはエッチングによって一度に全体が形成される
から、リード１０の間隔にばらつきが生じることはな
く、屈曲部１１ｃの間隔も設計どおりとなる。

【００４０】タイバー１３は、アウターリード１１のう
ちアイランド１４と屈曲部１１ｃの間、すなわちインナ
ーリード１２とピッチが等しい近部位１１ａを連結する
ように形成されている。タイバー１３は樹脂モールドを
形成した後に切除する。切除されるタイバー１３の領域
を図３に斜線で示す。タイバー１３は、アウターリード
１１の近部位１１ａの辺縁に平行に、かつその辺縁に近
い位置で切断することが可能であり、そのように切断す
る。タイバー１３切除後の近部位１１ａには僅かに幅広
の部位１１ｄが形成されることになるが、隣合う部位１
１ｄの間隔は、隣合う屈曲部１１ｃの間隔と同程度また
はそれ以上になる。

【００４１】基板への取り付けに際し半田が盛り上がっ
た場合でも、タイバー切除後の部位１１ｄは、屈曲部１
１ｃと同様に、相互に接触することがなく、基板上での
リード１０の短絡は防止される。

【００４２】タイバー１３をリード１０の辺縁に対して
平行に切断することで、切断用の装置の刃先とリードフ
レーム１をあまり厳密に位置合わせする必要がなくな
る。例えば、リード１０に沿う方向（図３の上下方向）
に多少の位置ずれがあったとしても、タイバー１３の切
断される位置はその影響を全く受けず、切除されるタイ
バー１３の長さすなわち部位１１ｄ間の間隔は設計どお
りとなる。また、リード１０に垂直な方向（図３の左右
方向）に多少の位置ずれがあったとしても、そのずれは
タイバーの両方の切断位置に等しく影響するから、その
場合も、切除されるタイバー１３の長さすなわち部位１
１ｄ間の間隔は設計どおりとなる。

【００４３】位置合わせが簡略化されると、タイバー１
３の切除に要する時間が短縮されて、半導体装置の製造
効率が向上する。また、リードフレーム１を特に高い加
工精度で形成する必要がなくなり、リードフレームの製
造自体も容易になる。

【００４４】なお、タイバー１３は、切除に際し切断用
装置の刃先が樹脂モールド７や屈曲部１１ｃに触れるの
を避けるために、アウターリード１１の近部位１１ａの
中央付近に形成するのが好ましい。近部位１１ａを長く
形成するときは、樹脂モールド７と屈曲部１１ｃの双方
からある程度離れていれば、タイバー１３を近部位１１
ａの何処に形成してもよい。

【００４５】全てのアイランド１４への半導体チップの
固着、各半導体チップとリード１０とのワイヤボンディ
ング、全ての半導体チップの樹脂モールド７による封止
をこの順に行った後、上述のようにタイバー１３を切除
し、アウターリード１１を樹脂モールド７から適切な距
離で切断して、一度に多数の半導体装置を得る。必要に
応じてアウターリード１１を樹脂モールド７の下面に沿
うように折曲げて、半導体装置を完成させる。

【００４６】半導体チップの固着および／またはワイヤ
ボンディングを行う際には、リードフレーム１を載置し
たステージに突起部１４ａ、１４ｂをピンによって押し
付けることで、アイランド１４の先端の浮き上がりを防
止する。したがって、半導体チップはアイランド１４に
強固に固定され、半導体チップとリード１０のワイヤボ
ンディングも確実になされる。

【００４７】こうして製造した半導体装置は、リードの
数が多いにもかかわらずアウターリードが相互に十分な
間隔で離間し、タイバーを切除した部位や屈曲部に絶縁
コートを形成しなくても、基板に固定する際にリード同
士が接触して短絡するという不都合が防止される。基板
への固定および基板上に形成した配線パターンへの接続
には、手作業による半田付けのみならず、ディプソルダ
リング、フローソルダリング等の能率の良い半田付けの
方法も採用することができる。

【００４８】図２に示したように、突起部１４ａ、１４
ｂを含むアイランド１４の横幅すなわちインナーリード
１２に垂直な方向（図２の左右方向）の長さは、最も外
側の２つインナーリード１２の間隔と略同じに設定され
ており、また、アイランド１４のインナーリード１２に
沿う方向（図２の上下方向）の長さは、半導体チップを
載置するに足る最小限に抑えられている。したがって、
樹脂モールド７を小さく形成することができ、半導体装
置も必要最小限の大きさとなる。

【００４９】形状を一部変更したアイランド１４’に半
導体チップ８を取り付けた状態を図４に示す。このアイ
ランド１４’を有するリードフレームの他の部位は上記
のリードフレーム１の対応各部と同じであり、重複する
説明は省略する。アイランド１４’は、リードフレーム
１のアイランド１４の突起部１４ｂに代えて、突起部１
４ｃを備えている。突起部１４はインナーリード１２に
近づく方向に向かって屈曲しており、その基端部の辺縁
はアイランド１４’の辺縁１４ｄの延長上にあり辺縁１
４ｄに連続している。

【００５０】８ａは半導体チップ８の上面に形成された
ボンディングパッドであり、９はボンディングパッド８
ａとインナーリード１２や突起部１４ｃの先端部とを接
続するワイヤである。例えばこの半導体チップ８は４つ
の端子を有するフォトＩＣであり、全ての端子は上面の
ボンディングパッド８ａに接続されている。４つのボン
ディングパッド８ａのうち、１つは突起部１４ｃの先端
部に接続されており、他の３つはそれぞれ異なるインナ
ーリード１２に接続されている。

【００５１】斜線を付した部位は半導体チップ８の固着
やワイヤボンディングの際に、ピンによって押さえられ
る部位である。このように、突起部１４ｃの基端部をア
イランド１４’の先端に連続させると、アイランド１
４’に対するピンの横方向（図４の左右方向）の相対的
な位置をあまり厳密に合わせる必要がなくなり、それだ
け半導体チップの固着やワイヤボンディングが容易にな
る。

【００５２】突起部１４ｃの先端部を半導体チップ８の
上面のボンディングパッド８ａとワイヤで接続する場合
には、アイランドの浮きが生じるとワイヤボンディング
の不良が生じる危険性が格段に高くなるが、本発明のよ
うに突起部１４ａ、１４ｃを押さえてワイヤボンディン
グすることにより、超音波を良好に作用させて確実なワ
イヤボンディングを実現し得る。

【００５３】なお、ここでは、半導体チップに４本のリ
ードを取り付けるためのリードフレームの例について説
明したが、本発明は、より多くのリードを取り付ける場
合にも適用することができる。切除されるタイバーの長
さはインナーリードの間隔によって定まり、屈曲部の間
隔には依存しないから、リードが多くなっても本発明の
リードフレームによる短絡防止の効果は減殺されること
がない。前述のように、アウターリードは左右対称に形
成することが望ましく、奇数本のリードを半導体チップ
に取り付けるときは、中央のリードには屈曲部を設けず
直線とするのがよい。

【００５４】上記実施形態では、全てのリードの屈曲部
をアイランドから略等しい距離に形成したが、これはア
ウターリードが過度に長くなるのを回避するためであ
る。アウターリードを長くしてもかまわないときは、ア
イランドからの距離が異なる位置に屈曲部を形成するこ
とができる。その場合、隣合うリードの屈曲部間の距離
が長くなって、多数のリードを有する半導体装置を製造
する場合でも、短絡が確実に防止される。しかも、アイ
ランドとタイバーとの距離は一定であり、タイバーの切
断は、リードが少ない場合と同様に容易である。

【００５５】アウターリードのアイランドから遠い部位
の配列ピッチは、基板に形成する配線パターンの間隔を
一定にするために一定にすることが望ましいが、基板の
配線パターンの間隔に応じて変えるようにしても構わな
い。インナーリードおよびその延長であるアウターリー
ドのアイランドに近い部位の配列ピッチは一定にする必
要がなく、半導体チップに形成されているボンディング
パッドの位置に応じて、リード間で異なるように設定す
ることができる。ただし、これらの部位は、タイバーの
切除を容易にするために、相互に平行または平行に近く
形成すべきである。

【００５６】また、上記の説明ではアイランドのリード
に平行な２つの辺縁のそれぞれに１つの突起部、すなわ
ち２つの突起部を設けた例を示したが、突起部は少なく
とも全体として１つあればよい。ただし、上記のように
２つの突起部を設ける方が、アイランドの浮きをより確
実に防止することができる。

【００５７】

【発明の効果】請求項１のリードフレームによるとき
は、突起部を押さえてアイランドをステージに密接させ
ることができるから、半導体チップのアイランドへの固
着および／またはワイヤボンディングが確実になる。し
たがって、接続不良のない半導体装置が得られる。しか
も、アイランドを半導体チップ載置のために必要最小限
の大きさにすることができるから、得られる半導体装置
も小型化される。

【００５８】請求項２の半導体装置は、内部に接続不良
のない小型の半導体装置となる。

【００５９】請求項３の半導体装置の製造方法では、内
部に接続不良がなくしかも小型の半導体装置が容易に得
られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態のリードフレームに樹脂
モールドを形成した状態を示す図。

【図２】 図１のリードフレームの１つの半導体装置と
なる一部分を示す図。

【図３】 図２のリードフレームのアイランドとその周
囲に樹脂モールドを形成した状態を示す図。

【図４】 アイランドの一部の形状を変更したリードフ
レームの一部分を示す図。

【図５】 従来のリードフレームに樹脂モールドを形成
した状態を示す図。

【図６】 図５のリードフレームのタイバー切除後のリ
ードを示す図。

【図７】 従来の他のリードフレームに樹脂モールドを
形成した状態を示す図。

【図８】 図７のリードフレームのタイバー切除後のリ
ードを示す図。

【図９】 ワイヤボンディングを行うときのアイランド
を側方から見た様子を示す図。

【符号の説明】

１ リードフレーム ７ 樹脂モールド １０ リード １１ アウターリード １１ａ アウターリード近部位 １１ｂ アウターリード遠部位 １１ｃ 屈曲部 １２ インナーリード １３ タイバー １４ アイランド １４’ アイランド １４ａ 突起部 １４ｂ 突起部 １４ｃ 突起部 １５ 連結部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体チップを載置するための略矩形の
   アイランド、前記アイランドの第１の辺縁に連なり該第
   １の辺縁に対して略垂直な方向に延びる第１のリード、
   および前記アイランドに接近した端部を有し前記第１の
   リードと略同じ方向に延びる複数の第２のリードより成
   るリードフレームにおいて、 前記アイランドは前記第１のリードに略平行な第２の辺
   縁に突起部を有することを特徴とするリードフレーム。
2. 【請求項２】 上面に入力または出力のためのボンディ
   ングパッドを有し前記アイランドに載置された半導体チ
   ップ、前記ボンディングパッドと前記第２のリードまた
   は前記突起部を接続するワイヤ、ならびに前記半導体チ
   ップ、前記アイランドおよび前記第２のリードの端部を
   封止する樹脂モールドより成ることを特徴とする請求項
   １に記載のリードフレームを用いた半導体装置。
3. 【請求項３】 上面に入力または出力のためのボンディ
   ングパッドを有する半導体チップを前記アイランドに固
   着し、前記アイランドおよび前記第２のリードの端部を
   ステージに載置して前記突起部を上方から押さえて、前
   記ボンディングパッドと前記第２のリードの端部または
   前記突起部とをワイヤで接続することを特徴とする請求
   項１に記載のリードフレームを用いた半導体装置の製造
   方法。