JPH11261115A - P型熱電変換材料およびその製造方法 - Google Patents
P型熱電変換材料およびその製造方法Info
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- JPH11261115A JPH11261115A JP10065298A JP6529898A JPH11261115A JP H11261115 A JPH11261115 A JP H11261115A JP 10065298 A JP10065298 A JP 10065298A JP 6529898 A JP6529898 A JP 6529898A JP H11261115 A JPH11261115 A JP H11261115A
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Abstract
み、安定したP型を示すとともに高い性能を有し、電気
伝導度も高く、化学的にも安定で組成変動によるばらつ
きが小さいP型の熱電変換用材料を汎用的な焼成プロセ
スを用いて容易かつ効率良く製造する。 【解決手段】 主成分の化学組成が、CoSbx Sny (2.7<
x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)またはCoSbx Gey (2.7<
x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で表され、含有酸素量z
を、2(x+y-3)≧zに制限する。含有酸素量を、コバルト
1モルに対し酸素0.1 モル以下として電気伝導度を向上
する。主成分の化学組成が、CoSbx Sny (2.7<x <3.4,
0<y <0.4, x+y>3)またはCoSbx Gey (2.7<x <3.4,
0<y <0.4, x+y>3)で表される原料粉末を、水素ガス
のような還元性雰囲気中で焼成するか、原料粉末中の酸
素含有量zを、2(x+y-3)≧zに抑える場合には、不活性
ガスのような非酸化雰囲気中で焼成する。
Description
ルのP型半導体として使用される熱電変換材料およびそ
の製造方法、特に化学組成CoSb3 で表される主成分と、
導電型をP型に制御するための少量のSnまたはGeとを含
むP型の熱電変換材料およびその製造方法に関するもの
である。
Bi2Te3, Bi2Sb8Te15, BiTe2Se などのテルル系化合物が
知られている。また、TSb3(T:Co, Ir, Ru)などのアンチ
モン系化合物の内、例えばCoSb3 も熱電変換材料として
知られている。このCoSb3 熱電変換材料は、約600 ℃ま
での温度範囲において使用可能な熱電変換材料として知
られている。
テルル系化合物より成る熱電変換材料は、室温では比較
的高い性能指数Z(Z=3×10-3 1/K )を有しているが、30
0 ℃以上の高温では、特性が劣化するという問題点があ
った。また、テルル系化合物より成る熱電変換材料は、
融点が低く化学的安定性に欠けるともに組成変動による
特性のばらつきが生じやすいなどの問題点もあった。
物より成る熱電変換材料の内、CoSb 3 は使用可能な温度
範囲がBi-Te 系化合物に比較して大幅に広いという利点
があるが、P型導電型材料を得るのに以下の問題があ
る。すなわち、ドーピングを行わない化学量論組成のCo
Sb3 の場合、本来導電型はP型となるが、積極的なドー
ピングを行わない場合には、原料純度の影響を受けやす
くなり、安定な熱電特性が得られない。またさらには、
導電型の制御性までなくなる場合もあり得る。また、原
料不純物の問題の他、実際の材料作製工程では組成変動
が不可避的に起こり、特に化学量論組成からSbが欠損し
た組成が生じる場合においては、導電型が反転し、N型
となる。以上の理由から、高性能で安定な熱電特性を有
するP導電型のCoSb3 を得るには、積極的なドーピング
を行って原料不純物の影響をなくすことにより、P導電
型を制御することが必要であり、それとともに材料作製
工程における組成変動の影響をなくすことが必要とな
る。
電変換材料の上述した問題点を少なくとも軽減し、広い
温度範囲に亘って高い性能を有し、電気伝導度も高く、
化学的にも安定で組成変動によるばらつきの小さいP型
の熱電変換材料を提供しようとするものである。本発明
は、さらに、このように優れた特性を有するP型熱電変
換材料を、汎用的な焼成プロセスを用いて容易かつ効率
良く製造することができる方法を提供しようとするもの
である。
ュールにおけるP型半導体として使用される熱電変換材
料において、主成分の化学組成が、CoSbx Sny (2.7<x
<3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で表され、その含有酸素量
zが 2(x+y-3) ≧zで制限される値であることを特徴と
するものである。さらに、本発明は、熱電変換モジュー
ルにおけるP型半導体素子として使用される熱電変換材
料において、主成分の化学組成が、CoSbx Gey (2.7<x
<3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で表され、その含有酸素量
zが 2(x+y-1) ≧zで制限される値であることを特徴と
するものである。
においては、前記P型半導体の含有酸素量が、コバルト
1モルに対し酸素0.1 モル以下とするのが、電気伝導度
を向上する上で特に好適である。また、前記P型半導体
は、汎用的な焼成プロセスで容易かつ効率良く作製する
ことができる焼結体とするのが好適である。
は、化学組成CoSb3 で表される主成分と、導電型をP型
に制御するための少量のSnとを含むP型の熱電変換材料
を焼成法によって製造するに当たり、主成分の化学組成
が、CoSbx Sny (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で
表される原料粉末を、還元性雰囲気中で焼成することを
特徴とするものである。さらに、本発明による製造方法
は、化学組成CoSb3 で表される主成分と、導電型をP型
に制御するための少量のGeとを含むP型の熱電変換材料
を焼成法によって製造するに当たり、主成分の化学組成
が、CoSbx Gey (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で
表される原料粉末を、還元性雰囲気中で焼成することを
特徴とするものである。
は、化学組成CoSb3 で表される主成分と、導電型をP型
に制御するための少量のSnとを含むP型の熱電変換材料
を焼成法によって製造するに当たり、主成分の化学組成
が、CoSbx Sny (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で
表され、その酸素含有量zが、2(x+y-3)≧zである原料
粉末を、非酸化雰囲気中で焼成することを特徴とするも
のである。
成CoSb3 で表される主成分と、導電型をP型に制御する
ための少量のGeとを含むP型の熱電変換材料を焼成法に
よって製造するに当たり、主成分の化学組成が、CoSbx
Gey (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で表され、そ
の酸素含有量zが、2(x+y-3)≧zである原料粉末を、非
酸化雰囲気中で焼成することを特徴とするものである。
ここで、非酸化性雰囲気とは、窒素やアルゴンのような
不活性雰囲気のみならず、水素ガスのような還元性雰囲
気をも含むものである。
おいては、化学組成が、CoSbx Sny(2.7<x <3.4, 0<y
<0.4, x+y>3)またはCoSbx Gey (2.7<x <3.4, 0<y
<0.4, x+y>3)で表される主成分において、含有酸素
量zを、2(x+y-3)≧zに制限したものであるが、これは
酸素をこれ以上含有すると、ドーパントとして作用する
SnまたはGeが選択的に酸化されてしまうので安定してP
型とならないためである。すなわち、化学量論組成であ
るCoSb3 より、Sbが欠損した状態においてN導電型を示
す半導体材料においては、Sbの欠損サイトにドーパント
であるSnまたはGeが入ることによってP型となるが、酸
素含有量が上述した範囲を越えると、ドーパントが酸化
されてSnO2またはGeO2が生成され、このような酸化物は
Sbの欠損サイトに入ることができず、したがってP型と
はならないことを確かめた。また、Sbの量を2.7 <x <
3.4 とし、Snの量を0 <y <0.4 とするとともにこれら
の和を x+y>3 としているが、このような範囲を外れた
場合、電気伝導度またはゼーベック係数が低くなり、熱
電変換モジュールのP型半導体材料として良好な特性を
示さなくなるためである。
においては、上述したように酸素含有量を制限するため
に、焼成前の原料粉末の含有酸素量を低くして非酸化性
雰囲気中で焼成を行うか、焼成を還元性雰囲気中で行な
うことによって酸素を除くようにしたものである。この
ような方法によれば、ドーパントであるSnまたはGeが酸
化されることがなく、したがってドーピングの制御性が
高くなり、所望の特性を有するP型の熱電変換材料が得
られることを確かめた。
料の幾つかの実施例を比較例とともに示すが、これらの
実施例および比較例とも以下のプロセスによって製作し
た。粒状のCo, Sb, Snを出発原料として用い、所定量を
秤量した後、アーク溶解装置によって溶融し、冷却して
溶製材の合金インゴットを作製した。この合金インゴッ
トを乳鉢にて粗粉砕した後、遊星回転ボールミルを用い
て乾式粉砕を行い、平均粒径が100 μm 以下となるまで
微粉砕した。このようにして作製した合金粉末を、成形
圧7Ton/cm2 で成形した後、600 〜800 ℃の範囲で非酸
化性雰囲気である窒素雰囲気中または還元性雰囲気であ
る水素雰囲気中で48時間の熱処理を施し、焼結体を得
た。
変換材料をP型とするためのドーパントとして作用する
元素であるが、このSnの代わりにGeを用いても同じくP
型の熱電変換材料が得られるものである。また、焼成前
の原料粉末としては、上述したように単体の原料を溶
融、粉砕したものだけに限られるものではなく、例えば
目的の比率となるように上記単体元素から成る原料粉末
を所定量秤量した後に混合したものや、あるいは元素含
有比が目的の比率となるように、溶融、粉砕した粉末と
単体元素粉末とを混合したものなどを用いることもでき
る。
組成比を、Coを1として種々に変化させた場合に得られ
た焼結体の組成比、焼成温度および雰囲気を示すもので
ある。この表1には、本発明の条件から外れるものもあ
り、これは比較例として示した。すなわち、試料1〜7
および16〜18は本発明による実施例であり、試料8
〜15は比較例である。
は勿論のこと非酸化性の窒素雰囲気中においても、焼結
体における酸素含有量は、焼成前における原料粉末での
酸素含有量よりも僅かに低くなっている。これは、非酸
化性雰囲気中で焼成した場合には、粉末成分に新たな酸
素が混入することがないためと、成形体表面に吸着され
ている酸素が焼成中にある程度除去されるためであると
考えられる。成形体の表面に吸着する酸素の量は、粉末
の粒度や表面積などに依存するが、焼成が非酸化性雰囲
気中で行われる限りにおいては、焼結体中の酸素含有量
が成形体中の酸素含有量を越えることはない。したがっ
て、本発明によるP型熱電変換材料の製造方法を実施す
るに当たっては、目標とする化学組成と同等の化学組成
を有する粉末を用意し、これを成形した後、非酸化性雰
囲気中で焼成すれば良いことが分かる。このような非酸
化性雰囲気としては、本実施例で使用した窒素の他に、
アルゴンなどの不活性ガス雰囲気や超高真空雰囲気など
が考えられる。勿論、非酸化性雰囲気として還元性雰囲
気を採用することもできる。また、このような事実は、
ドーパントとしてGeを用いる場合にも何ら変わらないも
のである。
の粉末試料の化学組成と、これを還元性雰囲気である水
素雰囲気中で焼成して得られた焼結体の化学組成との関
係を示したものである。これにより、本発明のように酸
素含有量が制限されたP型熱電変換材料を焼成によって
製造するに当たっては、水素などの還元性雰囲気中で焼
成を行なうことがより確実な方法であることが分かっ
た。すなわち、試料17および18のように、出発原料
粉末中の酸素含有量zが、2(x+y-3)≧zなる条件から外
れる場合にも、還元性雰囲気中で焼成を行なうことによ
って、得られる焼結体の酸素含有量は、本発明の範囲内
に入ることになる。このことは、ドーパントとしてSnの
代わりにGeを使用する場合にも何ら変わらないものであ
る。
おけるSnの化学結合状態についてX線光電子分光法(XP
S) による解析を行った結果を示すものである。図2
は、表1に示した種々の焼結体試料におけるSnの存在形
態についてX線光電子分光法により解析した結果を示す
ものである。
曲線Bは試料8および曲線Cは試料16についてSnの3d
状態のスペクトルを示すものである。図1から、焼結体
中に酸素が存在している場合、焼結体中のSnは金属状態
と酸化物状態とが存在することが明らかとなった。ここ
で、比較例である試料8の場合には、金属状態のSnが完
全に消失していることが明らかである。また、図2から
は、比較例である試料8においてはSbの酸化が起こって
いるが、本発明の実施例である試料2および16では、
Sbの酸化は起こっていないことが明らかとなった。
している場合、ドーパントであるSnの酸化が起こり、次
いでSbの酸化が起こることが明らかとなった。したがっ
て、本発明による化学組成範囲を外れた酸素濃度を有す
る焼結体の場合には、SnのみならずSbの酸化が起こるた
め、Sbの欠損サイトにドーパントが入り込まないのでN
型化が引き起こされ、目的とするP型の熱電変換材料を
得ることができないことになる。そして、この際にはSn
は二酸化物となることが分かっている。これに対し、本
発明のように、主成分の化学組成が、CoSbx Sny (2.7<
x <3.4, 0<y<0.4, x+y>3)で表され、含有酸素量z
が、2(x+y-3)≧zで制限される値に規定する場合には、
Snの酸化が生じてもSbの酸化が生じ得ないため、Sbサイ
トの欠損は生じず、P導電型を維持することができる。
Snの代わりにGeとし、かつ焼結体中に酸素が存在してい
る場合には、Geの二酸化物が生成することが分かってい
る。本発明では、主成分の化学組成が、CoSbx Gey (2.7
<x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で表され、含有酸素量
zが、2(x+y-1)≧zで制限される値とすることにより、
Geの酸化が生じてもSbの酸化が生じ得ないのでSbサイト
の欠損は生じず、P導電型を維持することができる。
電効率を表すゼーベック係数の温度依存性を示すもので
あり、図4は、本発明の実施例である幾つかの焼結体の
ゼーベック係数の温度依存性を示すものであり、これら
の図面においては、各曲線で表される焼結体の化学組成
と、酸素含有量とを示してある。これらのグラフにおい
て、ゼーベック係数が正の値の場合は、焼結体がP導電
型であることを示し、負の場合にはN導電型であること
を示している。図3および4に示した結果から、比較例
の焼結体の場合には、温度域によって導電型が反転して
いる現象が生じているのに対し、本発明による焼結体の
場合には、測定した全温度範囲において安定なP型とな
っているおり、しかも大きなゼーベック係数が得られて
いることが分かる。
象との関係については、導電型を制御するためのドーパ
ント元素がGeである場合にも同様に生じるものであるこ
とを確かめた。図5は、ドーパント元素をGeとした比較
例の焼結体のゼーベック係数の温度依存性と、ドーパン
ト元素をGeとした本発明の実施例の焼結体のゼーベック
係数の温度依存性とを示すものである。すなわち、○印
で示す曲線は本発明の実施例による焼結体のゼーベック
係数の温度依存性を示し、それ以外は比較例を示すもの
である。これから、本発明による焼結体では、全温度範
囲において安定してP導電型を示すのに対し、比較例で
は温度域によって導電型の反転が生じていることが分か
る。
成において、酸素濃度を限定したものでは、導電型を制
御するドーパント元素であるSnおよびGeが金属状態で存
在するために、或いは存在しなくてもSbサイトの欠損が
ないために、広い温度範囲において優れたP型の熱電変
換材料が得られることが分かった。
体の含有酸素量を、コバルト1モルに対し酸素0.1 モル
以下とすることのよりP型の熱電変換材料として特に優
れた特性を有するものが得られることを確かめた。図6
は、O/Coモル比と電気伝導度との関係を示すものであ
り、O/Coモル比を0.1 以下とすることにより電気伝導度
が急激に高くなっていることが分かる。これは、母材で
あるCoSb3 へのSnまたはGeの固溶度が増加してドーピン
グ効率が向上すること、並びに電気伝導度の阻害因子と
なり得るSnまたはGeの酸化物が減少することとの2つの
現象の相乗効果によるものである。
るような焼結体を得るためには、焼成を還元性雰囲気中
で行なうことが望ましい。その理由は、表1に示したよ
うに、還元性雰囲気中での焼成の場合には、原料粉末の
成形体での酸素含有量に拘らず焼結体中の酸素含有量を
O/Coモル比において0.1 以下とすることが容易であるか
らである。
変換材料においては、CoSb3 にSnまたはGeを添加したP
型熱電変換材料において、その酸素含有量をSb, Snまた
はGeの含有量に対して制限したことによって、広い温度
範囲に亘って安定なP型の半導体を得ることができ、ま
たCoに対する酸素の含有量を限定したことにより熱電特
性、特に電気伝導度の優れたP型熱電変換材料を得るこ
とができる。
な焼結法を用いて、高い熱電特性を有する安定なP型の
半導体を製造することができるので、高性能なP型熱電
変換材料を安価に効率良く生産でき、その工業的な価値
は非常に大きいものである。
3 の結晶構造を基本骨格としているため、P型とN型の
不純物を含有する個々の材料は同一の結晶構造を有して
いる。したがって、その熱的安定性、熱膨張率とも同一
の材料と見做せるので、粉末成形によってもP−N接合
の形成が容易であり、さらに室温から300 ℃以上の広い
温度範囲において化学的にも安定であり、熱的特性の劣
化が起こらず、耐熱性、成形性に優れたまた経済的にも
優れたものである。
例および比較例におけるSnの化学的結合状態を表すX線
光電子分光スペクトルを示すグラフである。
例および比較例におけるSbの存在形態を表すX線光電子
分光スペクトルを示すグラフである。
ク係数の温度依存性を表すグラフである。
ベック係数の温度依存性を表すグラフである。
較例におけるP型熱電変換材料のゼーベック係数の温度
依存性を表すグラフである。
すグラフである。
Claims (8)
- 【請求項1】 熱電変換モジュールのP型半導体として
使用される熱電変換材料において、主成分の化学組成
が、CoSbx Sny (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で
表され、その含有酸素量zが 2(x+y-3) ≧zで制限され
る値であることを特徴とするP型熱電変換材料。 - 【請求項2】 熱電変換モジュールのP型半導体として
使用される熱電変換材料において、主成分の化学組成
が、CoSbx Gey (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x+y>3)で
表され、その含有酸素量zが 2(x+y-3) ≧zで制限され
る値であることを特徴とするP型熱電変換材料。 - 【請求項3】 前記P型半導体の含有酸素量が、コバル
ト1モルに対し酸素0.1 モル以下であることを特徴とす
る請求項1または2に記載のP型熱電変換材料。 - 【請求項4】 前記P型半導体が、焼結体から成ること
を特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のP型熱電変
換材料。 - 【請求項5】 化学組成CoSb3 で表される主成分と、導
電型をP型に制御するための少量のSnとを含むP型の熱
電変換材料を焼成法によって製造するに当たり、主成分
の化学組成がCoSbx Sny (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x
+y>3)で表される原料粉末を、還元性雰囲気中で焼成す
ることを特徴とするP型熱電変換材料の製造方法。 - 【請求項6】 化学組成CoSb3 で表される主成分と、導
電型をP型に制御するための少量のGeとを含むP型の熱
電変換材料を焼成法によって製造するに当たり、主成分
の化学組成がCoSbx Gey (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x
+y>3)で表される原料粉末を、還元性雰囲気中で焼成す
ることを特徴とするP型熱電変換材料の製造方法。 - 【請求項7】 化学組成CoSb3 で表される主成分と、導
電型をP型に制御するための少量のSnとを含むP型の熱
電変換材料を焼成法によって製造するに当たり、主成分
の化学組成がCoSbx Sny (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x
+y>3)で表され、その酸素含有量zが、2(x+y-3)≧zで
ある原料粉末を、非酸化雰囲気中で焼成することを特徴
とするP型熱電変換材料の製造方法。 - 【請求項8】 化学組成CoSb3 で表される主成分と、導
電型をP型に制御するための少量のGeとを含むP型の熱
電変換材料を焼成法によって製造するに当たり、主成分
の化学組成がCoSbx Gey (2.7<x <3.4, 0<y <0.4, x
+y>3)で表され、その酸素含有量zが2(x+y-3)≧zであ
る原料粉末を、非酸化雰囲気中で焼成することを特徴と
するP型熱電変換材料の製造方法。
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