JPH11262765A - テトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理方法及びその再生方法 - Google Patents
テトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理方法及びその再生方法Info
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- JPH11262765A JPH11262765A JP6551898A JP6551898A JPH11262765A JP H11262765 A JPH11262765 A JP H11262765A JP 6551898 A JP6551898 A JP 6551898A JP 6551898 A JP6551898 A JP 6551898A JP H11262765 A JPH11262765 A JP H11262765A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨを低コストで
再生するとともに、ＴＡＡＨ再生設備の劣化を低減し、
安定してＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨの再生を行うこ
とができるＴＡＡＨ含有廃液の前処理方法及びその再生
方法を提供すること。 【解決手段】 ＴＡＡＨおよびフォトレジスト樹脂を含
有する廃液を中和槽２で中和処理した後、この処理液を
ポンプ４により振動型膜分離装置５に圧送して非透過成
分を分離除去し、ＴＡＡＨを含有する透過液を貯槽６に
貯留する。この透過液を真空蒸発器７で濃縮・減容化し
た後、ＴＡＡＨの濃縮液を電気透析法により再生する。
再生するとともに、ＴＡＡＨ再生設備の劣化を低減し、
安定してＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨの再生を行うこ
とができるＴＡＡＨ含有廃液の前処理方法及びその再生
方法を提供すること。 【解決手段】 ＴＡＡＨおよびフォトレジスト樹脂を含
有する廃液を中和槽２で中和処理した後、この処理液を
ポンプ４により振動型膜分離装置５に圧送して非透過成
分を分離除去し、ＴＡＡＨを含有する透過液を貯槽６に
貯留する。この透過液を真空蒸発器７で濃縮・減容化し
た後、ＴＡＡＨの濃縮液を電気透析法により再生する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、液晶、プ
リント基板等の電子部品製造工程で発生するテトラアル
キルアンモニウムハイドロオキサイド（以下「ＴＡＡ
Ｈ」という）含有廃液の前処理方法及びその再生方法に
関する。
リント基板等の電子部品製造工程で発生するテトラアル
キルアンモニウムハイドロオキサイド（以下「ＴＡＡ
Ｈ」という）含有廃液の前処理方法及びその再生方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】半導
体、液晶、プリント基板等の電子部品を製造するには、
Ｓｉウエハー等の基板上にネガ型またはポジ型のフォト
レジストの被膜を形成し、パターンマスクを通して光等
を照射し、次いで現像液により不要のフォトレジストを
溶解して現像し、さらにエッチング等の処理を行った
後、基板上の不溶性のフォトレジスト膜を剥離しなけれ
ばならない。上記現像液としては、ＴＡＡＨが通常用い
られている。従って、現像工程から排出される廃液に
は、溶解したフォトレジスト樹脂とＴＡＡＨが含まれて
いる。そこで、この廃液を処理する方法の一つとして、
電気透析法によりＴＡＡＨ含有廃液の処理を行う方法が
特開平７−３２８６４２号公報に開示されている。しか
し、同公報に記載された方法では、廃液中のフォトレジ
スト樹脂がカチオン膜またはアニオン膜表面での急激な
ｐＨ変化により析出する可能性があり、電気透析膜が劣
化する可能性がある。また、一般的にアニオン膜はアル
カリに対して脆いので、強アルカリ性であるＴＡＡＨ含
有廃液をそのまま電気透析すると、膜の劣化が著しくな
る。さらに、廃液に含まれているＴＡＡＨの濃度が低い
ため、再生時のＴＡＡＨの濃度を高めるためには、膜面
積を大きくしなければならない。その結果、設備コスト
およびエネルギーコスト（電気消費量）が増加する。
体、液晶、プリント基板等の電子部品を製造するには、
Ｓｉウエハー等の基板上にネガ型またはポジ型のフォト
レジストの被膜を形成し、パターンマスクを通して光等
を照射し、次いで現像液により不要のフォトレジストを
溶解して現像し、さらにエッチング等の処理を行った
後、基板上の不溶性のフォトレジスト膜を剥離しなけれ
ばならない。上記現像液としては、ＴＡＡＨが通常用い
られている。従って、現像工程から排出される廃液に
は、溶解したフォトレジスト樹脂とＴＡＡＨが含まれて
いる。そこで、この廃液を処理する方法の一つとして、
電気透析法によりＴＡＡＨ含有廃液の処理を行う方法が
特開平７−３２８６４２号公報に開示されている。しか
し、同公報に記載された方法では、廃液中のフォトレジ
スト樹脂がカチオン膜またはアニオン膜表面での急激な
ｐＨ変化により析出する可能性があり、電気透析膜が劣
化する可能性がある。また、一般的にアニオン膜はアル
カリに対して脆いので、強アルカリ性であるＴＡＡＨ含
有廃液をそのまま電気透析すると、膜の劣化が著しくな
る。さらに、廃液に含まれているＴＡＡＨの濃度が低い
ため、再生時のＴＡＡＨの濃度を高めるためには、膜面
積を大きくしなければならない。その結果、設備コスト
およびエネルギーコスト（電気消費量）が増加する。
【０００３】本発明は従来の技術の有するこのような問
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、ＴＡ
ＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨを低コストで再生することが
できるとともにＴＡＡＨ再生設備の劣化を低減し、安定
してＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨの再生を行うことが
できるＴＡＡＨ含有廃液の前処理方法及びその再生方法
を提供することにある。
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、ＴＡ
ＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨを低コストで再生することが
できるとともにＴＡＡＨ再生設備の劣化を低減し、安定
してＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨの再生を行うことが
できるＴＡＡＨ含有廃液の前処理方法及びその再生方法
を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のＴＡＡＨ含有廃液の前処理方法は、ＴＡＡＨ
含有廃液を適切な酸で中和し、廃液中のフォトレジスト
樹脂を析出させる。次いで、そのＴＡＡＨ含有廃液を膜
分離装置に導入して固形分（主としてフォトレジスト樹
脂）を分離・除去する。膜分離装置で固形分を除去され
たＴＡＡＨ含有液を濃縮することにより、ＴＡＡＨ含有
液を濃縮・減容化する。このようにＴＡＡＨ含有液は固
形分を含まず、中性化・減容化されているので、電気透
析装置の膜面積を増大することなく、しかも膜を劣化さ
せることなく、安定して低コストでＴＡＡＨの再生を行
うことができる。
に本発明のＴＡＡＨ含有廃液の前処理方法は、ＴＡＡＨ
含有廃液を適切な酸で中和し、廃液中のフォトレジスト
樹脂を析出させる。次いで、そのＴＡＡＨ含有廃液を膜
分離装置に導入して固形分（主としてフォトレジスト樹
脂）を分離・除去する。膜分離装置で固形分を除去され
たＴＡＡＨ含有液を濃縮することにより、ＴＡＡＨ含有
液を濃縮・減容化する。このようにＴＡＡＨ含有液は固
形分を含まず、中性化・減容化されているので、電気透
析装置の膜面積を増大することなく、しかも膜を劣化さ
せることなく、安定して低コストでＴＡＡＨの再生を行
うことができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】すなわち、本発明の要旨は、テト
ラアルキルアンモニウムハイドロオキサイドおよびフォ
トレジスト樹脂を含有する廃液を中和処理してフォトレ
ジスト樹脂を析出させた後、この処理液を加圧して透過
性膜で仕切られた膜分離装置の一方側に供給し、透過液
を他方側に透過させて一方側から非透過成分を取り出
し、他方側から取り出した透過液を貯槽に導入し、この
貯槽内の透過液を濃縮してテトラアルキルアンモニウム
ハイドロオキサイドの濃縮液を得ることを特徴とするテ
トラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液
の前処理方法を第一の発明とし、上記第一の発明におい
て、透過性膜を振動させることを特徴とするテトラアル
キルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理
方法を第二の発明とし、上記第一または第二の発明にお
いて、一方側から取り出した非透過成分を加圧して再び
膜分離装置の一方側に供給して同上処理を施す操作を繰
り返して行うことを特徴とするテトラアルキルアンモニ
ウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理方法を第三の
発明とし、上記第一、第二または第三の発明の方法によ
って得たテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイ
ドの濃縮液を電気透析し、テトラアルキルアンモニウム
ハイドロオキサイドを濃縮分離することを特徴とするテ
トラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液
の再生方法を第四の発明とする。
ラアルキルアンモニウムハイドロオキサイドおよびフォ
トレジスト樹脂を含有する廃液を中和処理してフォトレ
ジスト樹脂を析出させた後、この処理液を加圧して透過
性膜で仕切られた膜分離装置の一方側に供給し、透過液
を他方側に透過させて一方側から非透過成分を取り出
し、他方側から取り出した透過液を貯槽に導入し、この
貯槽内の透過液を濃縮してテトラアルキルアンモニウム
ハイドロオキサイドの濃縮液を得ることを特徴とするテ
トラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液
の前処理方法を第一の発明とし、上記第一の発明におい
て、透過性膜を振動させることを特徴とするテトラアル
キルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理
方法を第二の発明とし、上記第一または第二の発明にお
いて、一方側から取り出した非透過成分を加圧して再び
膜分離装置の一方側に供給して同上処理を施す操作を繰
り返して行うことを特徴とするテトラアルキルアンモニ
ウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理方法を第三の
発明とし、上記第一、第二または第三の発明の方法によ
って得たテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイ
ドの濃縮液を電気透析し、テトラアルキルアンモニウム
ハイドロオキサイドを濃縮分離することを特徴とするテ
トラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液
の再生方法を第四の発明とする。
【０００６】上記のように構成される本発明によれば、
次のようにしてＴＡＡＨ含有廃液の処理をしてＴＡＡＨ
濃縮液を得、そのＴＡＡＨ濃縮液を電気透析法により再
生することができる。ＴＡＡＨ含有廃液は強アルカリ性
（ｐＨ＝１２〜１３）であり、この廃液にはＴＡＡＨで
現像を行った際に基板から溶出するフォトレジスト樹脂
が溶解している。そこで、ＣＯ2、Ｈ2ＳＯ4、ＨＣｌ、
ＨＮＯ3等の酸を用いて中和し、フォトレジスト樹脂を
固形分として析出する。中和により発生した固形分（濃
度１％以下）とＴＡＡＨを含んだ溶液を膜分離装置の一
方側に供給すると、透過液（ＴＡＡＨ含有液）は透過性
膜を透過して他方側に達し、貯槽に導入される。そのと
き透過性膜を振動させると、振動効果によって膜表面の
汚染が防止されるので好ましい。また、一方側から取り
出した非透過成分を加圧して再び膜分離装置の一方側に
供給して透過処理を行い、その透過液（ＴＡＡＨ含有
液）を貯槽に導入することもできる。このような処理を
繰り返して行うことにより、ＴＡＡＨ含有廃液中から非
透過成分（固形分＝フォトレジスト樹脂）を分離する。
この透過液を蒸発器を用いて濃縮することにより、ＴＡ
ＡＨ含有液を濃縮・減容化する。
次のようにしてＴＡＡＨ含有廃液の処理をしてＴＡＡＨ
濃縮液を得、そのＴＡＡＨ濃縮液を電気透析法により再
生することができる。ＴＡＡＨ含有廃液は強アルカリ性
（ｐＨ＝１２〜１３）であり、この廃液にはＴＡＡＨで
現像を行った際に基板から溶出するフォトレジスト樹脂
が溶解している。そこで、ＣＯ2、Ｈ2ＳＯ4、ＨＣｌ、
ＨＮＯ3等の酸を用いて中和し、フォトレジスト樹脂を
固形分として析出する。中和により発生した固形分（濃
度１％以下）とＴＡＡＨを含んだ溶液を膜分離装置の一
方側に供給すると、透過液（ＴＡＡＨ含有液）は透過性
膜を透過して他方側に達し、貯槽に導入される。そのと
き透過性膜を振動させると、振動効果によって膜表面の
汚染が防止されるので好ましい。また、一方側から取り
出した非透過成分を加圧して再び膜分離装置の一方側に
供給して透過処理を行い、その透過液（ＴＡＡＨ含有
液）を貯槽に導入することもできる。このような処理を
繰り返して行うことにより、ＴＡＡＨ含有廃液中から非
透過成分（固形分＝フォトレジスト樹脂）を分離する。
この透過液を蒸発器を用いて濃縮することにより、ＴＡ
ＡＨ含有液を濃縮・減容化する。
【０００７】このようにして固形分を含まず、中性・減
容化されたＴＡＡＨ含有液を電気透析法により再生す
る。その結果得たＴＡＡＨ濃縮液に純水あるいは新たな
ＴＡＡＨを加えて濃度を調整し、電子部品用現像液とし
て再利用することができる。
容化されたＴＡＡＨ含有液を電気透析法により再生す
る。その結果得たＴＡＡＨ濃縮液に純水あるいは新たな
ＴＡＡＨを加えて濃度を調整し、電子部品用現像液とし
て再利用することができる。
【０００８】電気透析装置としては一般的に使用されて
いるものを用いることができ、次のようにして電気透析
を行い、ＴＡＡＨ濃縮液を再生することができる。すな
わち、陰極と陽極の間にカチオン交換膜とアニオン交換
膜が交互に並べられて複数のセルが形成された電気透析
装置にＴＡＡＨ含有液を通入することにより、セルに送
られたＴＡＡＨ含有液中のＴＡＡＨはテトラアルキルア
ンモニウムカチオンとヒドロニウムアニオンに解離する
ため、陰極と陽極に直流電流が印加されると、テトラア
ルキルアンモニウムカチオンはカチオン交換膜を通って
陰極側に移動するが次のアニオン交換膜で阻止され、一
方、ヒドロニウムアニオンはアニオン交換膜を通って陽
極側に移動するが次のカチオン交換膜で阻止されるた
め、あるセルではＴＡＡＨが濃縮され、このセルに隣接
するセルではＴＡＡＨが減少することになる。すなわ
ち、アニオン交換膜を陰極に面した側に持つセルは濃縮
セルとして機能し、ここでは、ＴＡＡＨが濃縮されて濃
縮液となり、アニオン交換膜を陽極に面した側に持つセ
ルは脱塩セルとして機能し、ここではＴＡＡＨ電解質が
減少する。
いるものを用いることができ、次のようにして電気透析
を行い、ＴＡＡＨ濃縮液を再生することができる。すな
わち、陰極と陽極の間にカチオン交換膜とアニオン交換
膜が交互に並べられて複数のセルが形成された電気透析
装置にＴＡＡＨ含有液を通入することにより、セルに送
られたＴＡＡＨ含有液中のＴＡＡＨはテトラアルキルア
ンモニウムカチオンとヒドロニウムアニオンに解離する
ため、陰極と陽極に直流電流が印加されると、テトラア
ルキルアンモニウムカチオンはカチオン交換膜を通って
陰極側に移動するが次のアニオン交換膜で阻止され、一
方、ヒドロニウムアニオンはアニオン交換膜を通って陽
極側に移動するが次のカチオン交換膜で阻止されるた
め、あるセルではＴＡＡＨが濃縮され、このセルに隣接
するセルではＴＡＡＨが減少することになる。すなわ
ち、アニオン交換膜を陰極に面した側に持つセルは濃縮
セルとして機能し、ここでは、ＴＡＡＨが濃縮されて濃
縮液となり、アニオン交換膜を陽極に面した側に持つセ
ルは脱塩セルとして機能し、ここではＴＡＡＨ電解質が
減少する。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図１は、本発明のＴＡＡＨ含有廃液の処理プ
ロセスを示す図である。図１において、１はＴＡＡＨ含
有廃液の貯槽、２はＴＡＡＨ含有廃液を中和するための
中和槽、３は中和処理後のＴＡＡＨ含有廃液の貯槽、４
はポンプ、５は中和により析出したフォトレジスト樹脂
を分離除去するための振動型膜分離装置、６は膜分離装
置５で分離された透過液を貯留する貯槽、７は貯槽６内
の透過液（ＴＡＡＨ含有液）から水分を蒸発させるため
の真空蒸発器である。
説明する。図１は、本発明のＴＡＡＨ含有廃液の処理プ
ロセスを示す図である。図１において、１はＴＡＡＨ含
有廃液の貯槽、２はＴＡＡＨ含有廃液を中和するための
中和槽、３は中和処理後のＴＡＡＨ含有廃液の貯槽、４
はポンプ、５は中和により析出したフォトレジスト樹脂
を分離除去するための振動型膜分離装置、６は膜分離装
置５で分離された透過液を貯留する貯槽、７は貯槽６内
の透過液（ＴＡＡＨ含有液）から水分を蒸発させるため
の真空蒸発器である。
【００１０】図２は上記振動型膜分離装置を備えた濾過
装置の一例を示す概略構成図である。図２において、中
和処理後のＴＡＡＨ含有廃液は貯槽３からポンプ４によ
り多数の透過性膜を積層したフィルターパック８（振動
型膜分離装置の本体）に圧送される。９はフィルターパ
ック８内の透過性膜に水平面内の円周方向に微小振幅
（５〜１０度）の往復運動を与えるトーションバーであ
る。フィルターパック８の内部には、図３に示すよう
に、上下の透過性膜１０の間に複数枚の不織布のドレイ
ンクロス１１と金属板１２が積層されたものが水平方向
に配置され、かつ、鉛直方向に所定間隔を隔てて多段に
設けられている。図中、上位の透過性膜１０の上側が一
方側であり、下側が他方側である。この一方側に処理対
象液を供給すると、一方側の内圧は他方側より高圧（約
２〜４０ｋｇ／ｃｍ2） に設定されているため、処理対
象液中の透過成分（透過液）が、図４に示すように、膜
の微小孔１３を通過し、他方側へ達する。当該透過性膜
を一定量の透過液が透過してやや濃度が増加した処理液
（非透過成分）は、図３の次の段の透過性膜１０の一方
側に送られ、透過液は微小孔を通過する。この透過処理
の間、図２に示すフィルターパック８内の透過性膜はト
ーションバー９の作用により、水平面内の円周方向に微
小振幅の往復運動を続けるため、透過性膜と処理対象液
の界面にはせん断力が働き、微小孔が凝集物等によって
汚染されることはなく、ポンプ４により適正な圧力を処
理対象液に加えることにより、高い透過流束を得ること
ができる。透過性膜は、透過流束１０〜１０００Ｌ／ｍ
2 ／ｈｒの精密濾過膜、限外濾過膜、ナノフィルトレー
ション膜のいずれかから処理量、透過水水質、濃縮倍率
等を考慮して選択するが、ＴＡＡＨが阻止されないよう
な分画を選択する必要がある。
装置の一例を示す概略構成図である。図２において、中
和処理後のＴＡＡＨ含有廃液は貯槽３からポンプ４によ
り多数の透過性膜を積層したフィルターパック８（振動
型膜分離装置の本体）に圧送される。９はフィルターパ
ック８内の透過性膜に水平面内の円周方向に微小振幅
（５〜１０度）の往復運動を与えるトーションバーであ
る。フィルターパック８の内部には、図３に示すよう
に、上下の透過性膜１０の間に複数枚の不織布のドレイ
ンクロス１１と金属板１２が積層されたものが水平方向
に配置され、かつ、鉛直方向に所定間隔を隔てて多段に
設けられている。図中、上位の透過性膜１０の上側が一
方側であり、下側が他方側である。この一方側に処理対
象液を供給すると、一方側の内圧は他方側より高圧（約
２〜４０ｋｇ／ｃｍ2） に設定されているため、処理対
象液中の透過成分（透過液）が、図４に示すように、膜
の微小孔１３を通過し、他方側へ達する。当該透過性膜
を一定量の透過液が透過してやや濃度が増加した処理液
（非透過成分）は、図３の次の段の透過性膜１０の一方
側に送られ、透過液は微小孔を通過する。この透過処理
の間、図２に示すフィルターパック８内の透過性膜はト
ーションバー９の作用により、水平面内の円周方向に微
小振幅の往復運動を続けるため、透過性膜と処理対象液
の界面にはせん断力が働き、微小孔が凝集物等によって
汚染されることはなく、ポンプ４により適正な圧力を処
理対象液に加えることにより、高い透過流束を得ること
ができる。透過性膜は、透過流束１０〜１０００Ｌ／ｍ
2 ／ｈｒの精密濾過膜、限外濾過膜、ナノフィルトレー
ション膜のいずれかから処理量、透過水水質、濃縮倍率
等を考慮して選択するが、ＴＡＡＨが阻止されないよう
な分画を選択する必要がある。
【００１１】このようにして順次透過処理が行われ、得
られた透過液は管路１４を経て貯槽６に送られ、管路１
５内にある懸濁物質等の非透過成分を含有する濃縮液は
貯槽３に戻される。かくして、貯槽３内の処理対象液は
振動型膜分離装置により効率的に透過液と非透過成分
（濃縮液）に分離される。濃縮倍率は、被処理液中の初
期固形分濃度により異なるが、１０〜１０００倍が好ま
しい。
られた透過液は管路１４を経て貯槽６に送られ、管路１
５内にある懸濁物質等の非透過成分を含有する濃縮液は
貯槽３に戻される。かくして、貯槽３内の処理対象液は
振動型膜分離装置により効率的に透過液と非透過成分
（濃縮液）に分離される。濃縮倍率は、被処理液中の初
期固形分濃度により異なるが、１０〜１０００倍が好ま
しい。
【００１２】次に、以上のようなプロセスに従って実際
にＴＡＡＨ含有廃液を処理したので、その結果について
説明する。
にＴＡＡＨ含有廃液を処理したので、その結果について
説明する。
【００１３】図１の貯槽１内のテトラメチルアンモニウ
ムハイドロオキサイド（以下「ＴＭＡＨ」という）含有
廃液１ｍ3 （ｐＨ＝１２．８６）を中和槽２に移して、
圧力＝１ｋｇ／ｃｍ2、 温度＝２０℃、流量＝２０〜２
５ＮＬ／min.（総量３Ｎｍ3）のＣＯ2 ガスによりｐＨ
＝６．９６まで中和し、フォトレジスト樹脂を析出させ
た。中和処理後のＴＡＡＨ含有廃液は、図２に示す構成
の振動型膜分離装置において透過液と非透過成分（主と
してフォトレジスト樹脂）に分離した。この場合、透過
性膜として限外濾過膜（分画分子量１０００００）を用
い、濾過圧力を４ｋｇ／ｃｍ2 、処理温度を２０℃と
し、フィルターパック８をトーションバー９により水平
面内の円周方向に約５度の振幅ならびに周波数約６０Ｈ
ｚで往復運動させた。この場合の透過流束は５００Ｌ／
ｍ2／ｈｒ であり、透過液の回収率は９９％（１００倍
濃縮）であった。その透過処理の結果、透過液へのフォ
トレジスト樹脂の混入はなく、フォトレジスト樹脂は完
全に限外濾過膜で阻止できることが分かった。次に、振
動型膜分離装置で分離した透過液を真空蒸発器７に導い
て水分を蒸発させ、約３６倍に濃縮させたＴＭＡＨ含有
液を得た。蒸発水中のＴＭＡＨの指標となるＴＯＣを測
定すると、約０．６％であり、蒸発水へのＴＭＡＨの混
入は極めて少なく、約９９．６％が濃縮液側に導かれた
と判断され、ＴＭＡＨをロスすることなく濃縮できたこ
とが分かった。真空蒸発器７による濃縮倍率は初期ＴＭ
ＡＨ濃度によって異なるが、３０〜１００倍程度が好ま
しい。すなわち、本発明の処理プロセスを経ることによ
りＴＭＡＨ含有廃液の量を１／３０〜１／１００に減容
化することができるので、引き続くＴＭＡＨ再生プロセ
スの処理コストを大幅に低減することが可能である。こ
のようにして得たＴＭＡＨ濃縮液を経路１６を経て電気
透析装置（図示せず）に送り、ＴＭＡＨ濃縮液を上記電
気透析法により再生した。この電気透析装置による再生
処理において、ＴＭＡＨ含有液はあらかじめ中和されて
いるので、アルカリに対して脆弱であるアニオン膜が損
傷することはなく、フォトレジスト樹脂が膜面に析出す
ることもなく、ＴＭＡＨは濃縮・減容化されているの
で、膜面積を小さくすることができ、設備費およびエネ
ルギーコストを大幅に低減することができた。
ムハイドロオキサイド（以下「ＴＭＡＨ」という）含有
廃液１ｍ3 （ｐＨ＝１２．８６）を中和槽２に移して、
圧力＝１ｋｇ／ｃｍ2、 温度＝２０℃、流量＝２０〜２
５ＮＬ／min.（総量３Ｎｍ3）のＣＯ2 ガスによりｐＨ
＝６．９６まで中和し、フォトレジスト樹脂を析出させ
た。中和処理後のＴＡＡＨ含有廃液は、図２に示す構成
の振動型膜分離装置において透過液と非透過成分（主と
してフォトレジスト樹脂）に分離した。この場合、透過
性膜として限外濾過膜（分画分子量１０００００）を用
い、濾過圧力を４ｋｇ／ｃｍ2 、処理温度を２０℃と
し、フィルターパック８をトーションバー９により水平
面内の円周方向に約５度の振幅ならびに周波数約６０Ｈ
ｚで往復運動させた。この場合の透過流束は５００Ｌ／
ｍ2／ｈｒ であり、透過液の回収率は９９％（１００倍
濃縮）であった。その透過処理の結果、透過液へのフォ
トレジスト樹脂の混入はなく、フォトレジスト樹脂は完
全に限外濾過膜で阻止できることが分かった。次に、振
動型膜分離装置で分離した透過液を真空蒸発器７に導い
て水分を蒸発させ、約３６倍に濃縮させたＴＭＡＨ含有
液を得た。蒸発水中のＴＭＡＨの指標となるＴＯＣを測
定すると、約０．６％であり、蒸発水へのＴＭＡＨの混
入は極めて少なく、約９９．６％が濃縮液側に導かれた
と判断され、ＴＭＡＨをロスすることなく濃縮できたこ
とが分かった。真空蒸発器７による濃縮倍率は初期ＴＭ
ＡＨ濃度によって異なるが、３０〜１００倍程度が好ま
しい。すなわち、本発明の処理プロセスを経ることによ
りＴＭＡＨ含有廃液の量を１／３０〜１／１００に減容
化することができるので、引き続くＴＭＡＨ再生プロセ
スの処理コストを大幅に低減することが可能である。こ
のようにして得たＴＭＡＨ濃縮液を経路１６を経て電気
透析装置（図示せず）に送り、ＴＭＡＨ濃縮液を上記電
気透析法により再生した。この電気透析装置による再生
処理において、ＴＭＡＨ含有液はあらかじめ中和されて
いるので、アルカリに対して脆弱であるアニオン膜が損
傷することはなく、フォトレジスト樹脂が膜面に析出す
ることもなく、ＴＭＡＨは濃縮・減容化されているの
で、膜面積を小さくすることができ、設備費およびエネ
ルギーコストを大幅に低減することができた。
【００１４】なお、振動型膜分離装置５で分離除去され
た非透過成分（濃縮液）は経路１７を経て排出し、真空
蒸発器７から蒸発した蒸発水は経路１８を経て排出し、
所定の処理を施した。
た非透過成分（濃縮液）は経路１７を経て排出し、真空
蒸発器７から蒸発した蒸発水は経路１８を経て排出し、
所定の処理を施した。
【００１５】
【発明の効果】本発明は上記のとおり構成されているの
で、ＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨを低コストで再生す
ることができる。また、ＴＡＡＨ再生設備を劣化させる
ことなく安定してＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨの再生
を行うことができる。
で、ＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨを低コストで再生す
ることができる。また、ＴＡＡＨ再生設備を劣化させる
ことなく安定してＴＡＡＨ含有廃液中のＴＡＡＨの再生
を行うことができる。
【図１】本発明のＴＡＡＨ含有廃液の処理プロセスを示
す図である。
す図である。
【図２】振動型膜分離装置を備えた濾過装置の一例を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
【図３】振動型膜分離装置の一部を示す断面図である。
【図４】振動型膜分離装置による透過処理の概念を示す
図である。
図である。
１…ＴＡＡＨ含有廃液の貯槽 ２…中和槽 ３…ＴＡＡＨ含有廃液（中和後）の貯槽 ５…振動型膜分離装置 ６…透過液の貯槽 ７…真空蒸発器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷田 克義 兵庫県神戸市須磨区南落合１−13−８− 282 (72)発明者 高田 一貴 兵庫県神戸市垂水区高丸７−４ Ｂ−104 (72)発明者 小西 嘉雄 兵庫県伊丹市安堂寺町３−18 (72)発明者 竹尾 由重 兵庫県神戸市須磨区菅の台１−１−79
Claims (4)
- 【請求項１】 テトラアルキルアンモニウムハイドロオ
キサイドおよびフォトレジスト樹脂を含有する廃液を中
和処理してフォトレジスト樹脂を析出させた後、この処
理液を加圧して透過性膜で仕切られた膜分離装置の一方
側に供給し、透過液を他方側に透過させて一方側から非
透過成分を取り出し、他方側から取り出した透過液を貯
槽に導入し、この貯槽内の透過液を濃縮してテトラアル
キルアンモニウムハイドロオキサイドの濃縮液を得るこ
とを特徴とするテトラアルキルアンモニウムハイドロオ
キサイド含有廃液の前処理方法。 - 【請求項２】 透過性膜を振動させることを特徴とする
請求項１記載のテトラアルキルアンモニウムハイドロオ
キサイド含有廃液の前処理方法。 - 【請求項３】 一方側から取り出した非透過成分を加圧
して再び膜分離装置の一方側に供給して同上処理を施す
操作を繰り返して行うことを特徴とする請求項１または
２記載のテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイ
ド含有廃液の前処理方法。 - 【請求項４】 請求項１、２または３記載の方法によっ
て得たテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド
の濃縮液を電気透析し、テトラアルキルアンモニウムハ
イドロオキサイドを濃縮分離することを特徴とするテト
ラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の
再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6551898A JPH11262765A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | テトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理方法及びその再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6551898A JPH11262765A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | テトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理方法及びその再生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11262765A true JPH11262765A (ja) | 1999-09-28 |
Family
ID=13289341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6551898A Pending JPH11262765A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | テトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド含有廃液の前処理方法及びその再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11262765A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6875359B2 (en) | 2001-06-01 | 2005-04-05 | Nagase & Co., Ltd. | Developer waste liquid regenerating apparatus and method |
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-
1998
- 1998-03-16 JP JP6551898A patent/JPH11262765A/ja active Pending
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