JPH11263696A

JPH11263696A - 石英ルツボハンドリング装置用石英ルツボ載置パレット

Info

Publication number: JPH11263696A
Application number: JP8038998A
Authority: JP
Inventors: Junichi Matsubara; 順一松原; Hirotoshi Yamagishi; 浩利山岸
Original assignee: Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Current assignee: Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Priority date: 1998-03-12
Filing date: 1998-03-12
Publication date: 1999-09-28

Abstract

(57)【要約】【課題】石英ルツボハンドリング装置において石英ル
ツボを非反転状態及び反転状態の双方で安定して載置し
て搬送するために好適な石英ルツボハンドリング装置用
石英ルツボ載置パレットを提供する。【解決手段】石英ルツボ５０が非反転状態と反転状態
のいずれの状態においても、石英ルツボを安定して載置
可能なよう、パレット４０に径の異なる２つの同心円上
に沿って配された接触部材４７、４８Ａ、４８Ｂ、４９
Ａ、４９Ｂを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶棒を成長さ
せつつ引き上げる単結晶成長装置に用いられる石英ルツ
ボを、使用前に洗浄したり、所定のサセプタに収納する
ためのハンドリング装置に関し、特に引上げＣＺ（Czoc
hralski）法により大径のＳｉ（シリコン）の単結晶を
製造するための単結晶成長装置に用いる、石英ルツボの
洗浄・収納に適した石英ルツボハンドリング装置に好適
な石英ルツボ載置用パレットに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、引上げＣＺ法による単結晶製造
装置では、高耐圧気密チャンバ内を１０torr程度に減圧
して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流すとともに、チャ
ンバ内の下方に設けられた石英ルツボ内の多結晶を加熱
して溶融し、この融液の表面に種結晶を上から浸漬し、
種結晶と石英ルツボを回転、上下移動させながら種結晶
を引き上げることにより、種結晶の下に上端が突出した
円錐形の上部コーン部と、円筒形のボディー部と下端が
突出した円錐形の下部コーン部より成る単結晶（いわゆ
るインゴット）を成長させるように構成されている。

【０００３】従来の１０数インチ程度の径の単結晶棒を
成長させるためには、口径が２４インチ程度の石英ルツ
ボが使用されている。かかる石英ルツボを結晶成長炉に
装填する前に、洗浄する必要があり、またその後、乾燥
させ、所定のカーボンルツボサセプタに収納する必要が
ある。従来のかかる石英ルツボの重量が約２０ｋｇ程度
であり、石英ルツボを洗浄し、乾燥し、その後天地を反
転して所定のカーボンルツボサセプタに収納するといっ
た、一連の動作を人間の手作業で行っていた。また、こ
れらの作業は、各々独立した工程として行う方式が採ら
れていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、単結晶
引上げ方法により製造される単結晶の直径を増加させ
た、いわゆる大径の単結晶インゴットが製造されようと
種々試みられている。かかる大径の単結晶棒を成長させ
る単結晶引上げ装置では、石英ルツボを大型化せざるを
得ず、例えば口径３６インチの石英ルツボの重量は約７
０ｋｇにもなる。このような大重量の石英ルツボを人間
の手により持ち上げたり、反転させたり、所定のカーボ
ンルツボサセプタに収納することは到底不可能であり、
洗浄・乾燥装置、反転装置、カーボンルツボサセプタへ
の収納装置をそれぞれ別個に設けると、全体としてのス
ペースが相当広く必要となり、工場建設の上で大きなコ
ストアップの原因となっていた。また、各工程が独立し
ていて、作業領域が異なると、せっかく洗浄した石英ル
ツボが使用前に汚染されてしまうという危険があった。

【０００５】本発明者らは上記従来の問題点に鑑み、限
られたスペース内で、大重量かつ大径の石英ルツボを洗
浄し、反転し、カーボンルツボサセプタに収納する動作
を人力を用いずに、かつ汚染の影響を受けることなく行
うことのできる石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装
置を開発したが、本発明は、かかる石英ルツボハンドリ
ング装置において石英ルツボを非反転状態及び反転状態
の双方で安定して載置して搬送するために好適な石英ル
ツボハンドリング装置用石英ルツボ載置パレットを提供
することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、石英ルツボが非反転状態と反転状態のいず
れの状態においても、石英ルツボを安定して載置可能な
よう、パレットに径の異なる２つの同心円上に沿って配
された接触部材を設けたものである。

【０００７】すなわち本発明によれば、石英ルツボが非
反転状態と反転状態のいずれの状態においても、前記石
英ルツボを安定して載置可能なよう、径の異なる２つの
同心円上に沿って配された接触部材を有する石英ルツボ
ハンドリング装置用石英ルツボ載置パレットが提供され
る。

【０００８】また本発明によれば、石英ルツボを、開口
部が下方の状態で洗浄可能な洗浄装置と、前記洗浄装置
に隣接して配置され、前記石英ルツボを反転させ、開口
部が上方とする反転装置と、前記洗浄装置又は前記反転
装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを所定のサセ
プタに収納する収納装置と、前記石英ルツボが前記洗浄
装置から前記反転装置へ、前記反転装置から前記収納装
置へと移動可能なように、これら前記３つの装置間に配
されたレール手段とを、有する石英ルツボハンドリング
装置用パレットであって、石英ルツボが非反転状態と反
転状態のいずれの状態においても、前記石英ルツボを安
定して載置可能なよう、径の異なる２つの同心円上に沿
って配された接触部材を有し、前記レール手段上を滑走
するよう構成された石英ルツボハンドリング装置用石英
ルツボ載置パレットが提供される。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る石英ルツボハ
ンドリング装置用石英ルツボ載置パレットが用いられ
る、又はこれを構成要素の一部として含む石英ルツボ洗
浄・収納用ハンドリング装置（本明細書では、石英ルツ
ボハンドリング装置と略す）の側面図である。本発明の
石英ルツボハンドリング装置用石英ルツボ載置パレット
の実施の形態について説明する前に、それが用いられ
る、又はこれを構成要素の一部として含む石英ルツボハ
ンドリング装置について説明する。図２は、図１中の線
Ａ−Ａ’で切断した断面図である。図３は、石英ルツボ
を載置する本発明にかかるパレットの平面図、図４は図
３中の線Ｂ−Ｂ’で切断した断面図である。図５はパレ
ットに石英ルツボが、その開口部が下方の状態で載置さ
れた状態を示す側面図であり、図６はパレットに石英ル
ツボが開口部が上方の状態で載置された状態を示す側面
図である。

【００１０】図１において、洗浄装置１０、反転装置２
０、収納装置３０が順次隣接して、直列に配列されてい
る。これらの各装置１０、２０、３０は堅牢な金属製フ
レームにより、その外形が構成されている。洗浄装置１
０には、水と空気を吹き出すノズル１４が、その開口部
を上方に向けて、中央部に配置されている。また、水と
空気を吹き出すもう１つのノズル１３が、その開口部を
下方に向けて、中央部に配置されている。ノズル１３、
１４には圧縮ポンプ１２から水と空気が供給される。な
お、圧縮ポンプ１２は洗浄装置１０の外部に配置しても
よい。

【００１１】反転装置２０にはハンド装置２２が設けら
れている。ハンド装置２２は、駆動装置２９から伸長す
るアーム２４に回動可能に取り付けられ、後述する図１
０に示すように、石英ルツボ５０を外方から１８０度で
対向して挟み込むような２つの部材を有している。すな
わち、ハンド装置２２は、石英ルツボ５０に対して半径
方向に移動可能であり、かつ上下方向に昇降可能であ
る。さらに、ハンド装置２２はアーム２４に対して図１
中、矢印Ｒで示されるように、１８０度回転可能であ
る。すなわち、駆動装置２９は、ハンド装置２２がこれ
らの動きをするための駆動力源があり、石英ルツボ５０
を確実に保持するために、ハンド装置２２内のエアシリ
ンダに圧縮空気を送る機構を有している。

【００１２】収納装置３０にもハンド装置３２が設けら
れている。こちらのハンド装置３２は石英ルツボ５０の
開口部近傍、例えば開口部の淵から３ｃｍ程度以内の部
分を外方から確実に把持する複数の把持部を有してい
る。なお、図１中に、石英ルツボ５０はパレット４０に
載置された状態で点線で示されている。ハンド装置３２
は、駆動装置３９から伸長するアーム３４に取り付けら
れ、後述する図１４〜１８に示すように、石英ルツボ５
０を外方から放射方向、半径内方向に挟み込むような複
数（本実施の形態では６つが示されているが８つ程度と
することが好ましい）の部材を有している。ハンド装置
３２は、石英ルツボ５０に対して半径方向に移動可能で
あり、かつ上下方向に昇降可能である。駆動装置３９
は、ハンド装置３２がこれらの動きをするための駆動力
源があり、石英ルツボ５０を確実に保持するために、ハ
ンド装置３２内のエアシリンダに圧縮空気を送る機構を
有している。

【００１３】図２に示されているように、上記各装置１
０、２０、３０には、平行な２本のレール１６Ａ、１６
Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、３６Ｂがそれぞれ設けら
れている。これらのレールはレール手段を構成するが、
各装置１０、２０、３０毎に分離して設けられている。
洗浄装置１０内の２本のレール１６Ａ、１６Ｂは洗浄装
置１０のフレームに固定されている。一方、反転装置２
０内のレール２６Ａ、２６Ｂは上下に昇降可能であり、
また、収納装置３０内のレール３６Ａ、３６Ｂも上下に
昇降可能である。すなわち、レール２６Ａ、２６Ｂは駆
動装置２１にリンク２３を介して接続され、図示省略の
垂直ガイドに沿って移動可能である。また、レール３６
Ａ、３６Ｂも駆動装置３１にリンク３３を介して接続さ
れ、図示省略の垂直ガイドに沿って移動可能である。

【００１４】これらのレール２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、
３６Ｂ又は石英ルツボ５０の高さ位置を検出する位置セ
ンサ２８、３８がそれぞれ反転装置２０と収納装置３０
に設けられている。これらの位置センサ２８、３８の出
力信号は、それぞれ制御装置２７、３７に接続され、そ
の出力信号が駆動装置２１、３１にそれぞれ供給され、
よってレール２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、３６Ｂの高さ位
置情報がフィードバックされて高さ制御が行われる。な
お、リンク２３、３３は、１つずつ示されているが、反
転装置２０内の１本のレールについて、その両端近傍の
２ヵ所に、また同様に収納装置３０内の１本のレールに
ついて、その両端近傍の２ヵ所に設け、反転装置２０内
の４つのリンクが同一の駆動源により駆動されてレール
２６Ａ、２６Ｂを完全に水平な状態で昇降させ、同様に
収納装置３０内の４つのリンクが同一の駆動源により駆
動されてレール３６Ａ、３６Ｂを完全に水平な状態で昇
降させるよう構成することが好ましい。

【００１５】収納装置３０内のレール３６Ａ、３６Ｂ
は、エアシリンダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１
２Ｄのピストン７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄに取り
付けられ、ピストン７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄの
往復運動に従って、レール３６Ａ、３６Ｂ相互間の距離
が変化するように構成されている。なお、各エアシリン
ダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄは同期運転
されるよう、図示省略の制御装置により空気圧が制御さ
れる。なお、エアシリンダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２
Ｃ、１１２Ｄに代えて回転ネジシャフトとボールネジを
組み合わせた構成を用いることもできる。

【００１６】後述するように石英ルツボ５０は図５、図
６に示されるようにパレット４０に載置されて石英ルツ
ボ洗浄・収納用ハンドリング装置のレール手段上を移動
する。このパレット４０の構造について図３、図４に沿
って説明する。パレット４０はフレーム４２と、このフ
レーム４２から内部に伸長する４本の外側ビーム４３
Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄと、外側ビーム４３Ａ、４
３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄに囲まれた四角形の内部に井げた
状に組み合わされているＸ方向とＹ方向のそれぞれ２本
のビーム４４Ａ、４４Ｂ、４６Ａ、４６Ｂを有してい
る。４本の外側ビーム４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄ
には、石英ルツボ５０を載置する際の当接部となる接触
部材４７が合計で８個設けられている。各接触部材４７
は、図２２の分解斜視図に示されるように、固定部４７
Ａと固定部４７Ａに着脱可能な支持部４７Ｂにより構成
される。すなわち、支持部４７Ｂは矢印Ｍ１５で示すよ
うに固定部４７Ａの凹部に一部が挿入されて保持され
る。固定部４７Ａが４本の外側ビーム４３Ａ、４３Ｂ、
４３Ｃ、４３Ｄにそれぞれ取り付けられ、支持部４７Ｂ
が着脱可能なので、石英ルツボ５０のサイズの数ｍｍ程
度のバラツキに合わせて、あらかじめ上部の切込み部４
７Ｃのサイズの異なる複数の支持部４７Ｂを用意してお
くことにより、最も安定した状態で支持可能な支持部４
７Ｂを選択して用いることができる。さらに、支持部４
７Ｂが着脱可能なので、必要に応じてこの部分を取り外
して洗浄することが可能である。

【００１７】また、ビーム４４Ａ、４４Ｂ、４６Ａ、４
６Ｂにはそれぞれ、石英ルツボ５０を載置する際の当接
部となる接触部材４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂが４
個設けられている。接触部材４７は、図５に示すように
石英ルツボ５０の開口部が下方の状態で、載置する際に
用いられ、一方接触部材４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９
Ｂは、図６に示すように石英ルツボ５０の開口部が上方
の状態で載置する際に用いられる。なお、これらの接触
部材４７、４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂは他の図で
は省略され、石英ルツボ５０がパレット４０上に直接載
置されているように示されている。パレット４０のフレ
ーム４２は、レール１６Ａ、１６Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、
３６Ａ、３６Ｂ上に回転可能に取り付けられた車輪の上
を滑走するよう、車輪と接する部分を有している。な
お、レール１６Ａ、１６Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、
３６Ｂに車輪を設ける代りに、パレット４０のフレーム
４２の底面に車輪を設けてもよい。なお、このパレット
４０は主要部がフレーム４２と棒状のビームにより構成
されているので、洗浄装置１０での洗浄時やその後の乾
燥工程で、水分が容易に落下でき、水はけがよい。ま
た、中央部には、パレット４０が洗浄装置１０内にある
とき、ノズル１４を挿入するための中央開口部７０が設
けられている。

【００１８】次に本実施の形態の石英ルツボ洗浄・収納
用ハンドリング装置の動作について説明する。まず、図
７に示すように収納装置３０のレール３６Ａ、３６Ｂを
最下位置に移動させ、石英ルツボ５０を開口部が下にな
る状態で、レール３６Ａ、３６Ｂ上に移動可能に載置さ
れたパレット４０上に載置する。このとき、図５に示す
ように８個の接触部材４７により石英ルツボ５０の開口
部の周辺が支持される。次に、図７中の矢印Ｍ１で示す
ように、レール３６Ａ、３６Ｂを上昇させ、図８に示す
基準位置とする。ここで基準位置とは、洗浄装置１０内
のレール１６Ａ、１６Ｂの高さ位置と同一高さをいうも
のとする。なお、このとき、反転装置２０内のレール２
６Ａ、２６Ｂは基準位置にあるものとする。次に、図８
の矢印Ｍ２で示すようににパレット４０を収納装置３０
から反転装置２０内へ、さらに図９の矢印Ｍ３で示すよ
うに洗浄装置１０内へと手動で移動させる。手動に代え
て駆動モータなどを用いることもできる。

【００１９】図９の状態で、ノズル１３、１４から噴出
する水と空気により、石英ルツボ５０の内外を洗浄す
る。洗浄時間は必要に応じ２０分から２時間程度であ
る。洗浄が完了すると、図示省略の熱風供給装置によ
り、熱風を石英ルツボ５０に与えて乾燥を約２時間程度
行う。乾燥工程が完了すると、図１０の矢印Ｍ４で示す
ようにパレット４０が洗浄装置１０から反転装置２０内
へと引き出される。パレット４０が反転装置２０内のＸ
方向上の所定位置にて停止するよう、図示省略のストッ
パが設けられている。なお、ストッパに代えて位置決め
センサを用いるようにしてもよい。

【００２０】パレット４０のＸ方向上の位置が決まる
と、ハンド装置２２により石英ルツボ５０の外周部を１
８０度で対向する両側から挟み込むように保持する。こ
のとき、できるだけ石英ルツボ５０の高さ方向の重心位
置で挟み込むために、石英ルツボ５０の高さ情報から重
心高さをあらかじめ演算して、自動的にその位置にハン
ド装置２２の中心がくるように必要な情報を駆動装置２
９の制御装置内のメモリに与えておく。ハンド装置２２
が確実に石英ルツボ５０を保持した後、レール２６Ａ、
２６Ｂを図１１の矢印Ｍ５で示すように、所定距離だけ
下降させる。したがって、パレット４０はレール２６
Ａ、２６Ｂと共に下降し、石英ルツボ５０から離間する
こととなる。

【００２１】またハンド装置２２を図１１の矢印Ｍ６で
示すように、所定距離だけ上昇させる。矢印Ｍ５、Ｍ６
で示すこの下降と上昇動作は、石英ルツボ５０を図１１
に示す矢印Ｒで示すように回転させる際、パレット４０
が邪魔にならないようにするためであり、よってこの２
つの動作を双方とも行うかあるいは、いずれか一方だけ
でもよい。ただし、パレット４０を下降させることによ
り石英ルツボ５０の回転のための空間を提供すること
は、反転装置２０の全高を大きくせずにこの空間を得る
ことができるという利点がある。

【００２２】石英ルツボ５０が図１１の矢印Ｒで示すよ
うに回転できる空間ができた後、ハンド装置２２により
矢印Ｒ方向に１８０度回転させて図１２の状態とする。
次に図１２の矢印Ｍ７で示すように、反転装置２０内の
レール２６Ａ、２６Ｂを上昇させ、図１３に示すように
パレット４０上に石英ルツボ５０が載置されるところま
で上昇させる。ここでハンド装置２２を石英ルツボ５０
から離して、石英ルツボ５０をパレット４０上に載せ
る。その後、反転装置２０のレール２６Ａ、２６Ｂの高
さ位置を収納装置３０のレール３６Ａ、３６Ｂの高さ位
置に合わせるべく図１３の矢印Ｍ８で示すように、上昇
又は下降させる。高さ位置が一致したら、図１４の矢印
Ｍ９で示すようにパレット４０を反転装置２０から収納
装置３０内へ移動させる。この移動も先程のように手動
で行うか、あるいはモータなどを用いて自動的に行うこ
とができる。パレット４０が収納装置３０内のＸ方向上
の所定位置にて停止するよう、図示省略のストッパが設
けられている。なお、ストッパに代えて位置決めセンサ
を用いるようにしてもよい。

【００２３】石英ルツボ５０の位置決めが完了すると、
図１４に示すようにハンド装置３２により石英ルツボ５
０の開口部近傍を外周から把持する。すなわち、サセプ
タ６０に収納したときに露出する部分、例えば開口端か
ら３ｃｍ程度の領域を把持する。この状態で図１５の矢
印Ｍ１０で示すようにハンド装置３２を上昇させる。次
いで、パレット４０を図１５の右側から取り去るか、あ
るいは反転装置２０内に移動させることにより、収納装
置３０から除去する。次いで図１６の断面図に示すよう
に、収納装置３０内のレール３６Ａ、３６ＢをＹ軸に沿
って矢印Ｍ１１で示すようにそれぞれ移動させ、両者の
間隔を広げる。この状態で、図示省略のフォークリフト
を用いて図１７に示すようにサセプタとしての黒鉛ルツ
ボ６０を、その架台６２と共に収納装置３０の下方の台
座７８上に載置する。

【００２４】台座７８にはボールベアリング７６が回転
可能に取り付けられていて、黒鉛ルツボ６０の架台６２
は、ボールベアリング７６上でＸ、Ｙ方向に移動可能で
あり、黒鉛ルツボ６０を上方の石英ルツボ５０と同軸と
するための位置決めを行うことができる。位置決めが完
了すると、図１８の矢印Ｍ１２で示すようにハンド装置
３２を下降させ、石英ルツボ５０を黒鉛ルツボ６０内に
収納する。図１９は石英ルツボ５０が黒鉛ルツボ６０内
に収納された状態を示している。石英ルツボ５０の黒鉛
ルツボ６０内への受入れの完了はハンド装置３２又は黒
鉛ルツボ６０への荷重の変化を検知するか、あるいは目
視にて確認する。その後、ハンド装置３２を開放し、図
２０の矢印Ｍ１３で示すように上昇させる。その後、フ
ォークリフトにより図２１の矢印Ｍ１４で示すように架
台６２と、その上の黒鉛ルツボ６０及びその内部の石英
ルツボ５０を外部へ取り出す。

【００２５】なお、本発明の石英ルツボ洗浄・収納用ハ
ンドリング装置は、全体がクラス１０００以下のクリー
ンルームに設置されるか、あるいは、少なくとも石英ル
ツボ５０の通る部分がクラス１０００以下のクリーンル
ームに設置される。上記実施の形態では、洗浄装置１０
に隣接して反転装置２０が配置され、反転装置に隣接し
て収納装置３０が配置されているが、本発明はこの配置
態様に限定されるものではない。すなわち、洗浄装置を
反転装置と収納装置の間に配置することもできる。ま
た、さらに反転装置と収納装置のレールの上昇・下降の
駆動装置やハンド装置の駆動装置を共用する構成とする
こともできる。さらに、反転装置と収納装置をそれぞれ
別個に設けるのではなく、単一の装置に反転装置と収納
装置の機能を持たせるよう構成してもよい。このように
構成すれば、上記実施の形態より、Ｘ方向の寸法を短く
設計することが可能である。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、石
英ルツボを載置するパレットに径の異なる２つの同心円
上に沿って配された接触部材を設けたので、石英ルツボ
が非反転状態と反転状態のいずれの状態においても、石
英ルツボを安定して載置下状態で洗浄、反転、サセプタ
への収納などのために搬送することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る石英ルツボハンドリング装置用石
英ルツボ載置パレットが用いられる、又は構成要素とし
て含む石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置の側面
図である。

【図２】図１中の線Ａ−Ａ’で切断した断面図である。

【図３】本発明にかかるパレットの実施の形態の平面図
である。

【図４】図３中の線Ｂ−Ｂ’で切断した断面図である。

【図５】本発明にかかるパレットに石英ルツボが開口部
を下にして載置された状態を示す側面図である。

【図６】本発明にかかるパレットに石英ルツボが開口部
を上にして載置された状態を示す側面図である。

【図７】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装置
の動作を示す側面図である。

【図８】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装置
の動作を示す側面図である。

【図９】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装置
の動作を示す側面図である。

【図１０】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１１】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１２】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１３】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１４】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１５】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１６】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す断面図である。

【図１７】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１８】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図１９】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図２０】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図２１】図１、図２に示す石英ルツボハンドリング装
置の動作を示す側面図である。

【図２２】パレットの外側ビームに設けられた接触部材
の分解斜視図である。

【符号の説明】

１０洗浄装置１２圧縮ポンプ１３、１４ノズル１６Ａ、１６Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、３６Ｂレ
ール２０反転装置２１、３１、２９、３９駆動装置２２、３２ハンド装置２７、３７制御装置２８、３８高さ位置センサ３０収納装置４０パレット４１Ａ、４１Ｂ、４２Ｃ、４１Ｄ車輪ボックス４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃ、４５Ｄ車輪４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄ、４４Ａ、４４Ｂ、４
６Ａ、４６Ｂビーム４７、４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂ接触部材５０石英ルツボ６０黒鉛ルツボ（サセプタ）６２架台７０中央開口部７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄピストン７８台座１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄエアシリン
ダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】石英ルツボが非反転状態と反転状態のい
ずれの状態においても、前記石英ルツボを安定して載置
可能なよう、径の異なる２つの同心円上に沿って配され
た接触部材を有する石英ルツボハンドリング装置用石英
ルツボ載置パレット。
【請求項２】水分を下方に落下させるため、開口部を
有することを特徴とする請求項１記載の石英ルツボハン
ドリング装置用石英ルツボ載置パレット。
【請求項３】中央部分に洗浄装置のノズルが挿入可能
な貫通孔を有することを特徴とする請求項１記載の石英
ルツボハンドリング装置用石英ルツボ載置パレット。
【請求項４】主要構成部材として、金属製フレームと
前記フレームに直接又は間接に接続された金属製ビーム
が用いられ、前記金属製フレームと前記金属製ビームが
合成樹脂被膜により覆われていることを特徴とする請求
項１記載の石英ルツボハンドリング装置用石英ルツボ載
置パレット。
【請求項５】前記接触部材中、前記石英ルツボが反転
状態のときに当接する接触部材が、固定部と前記固定部
に着脱可能な支持部により構成されていることを特徴と
する請求項１記載の石英ルツボハンドリング装置用石英
ルツボ載置パレット。
【請求項６】石英ルツボハンドリング装置に設けられ
たレール手段上の車輪に接する部分が設けられているこ
とを特徴とする請求項１記載の石英ルツボハンドリング
装置用石英ルツボ載置パレット。
【請求項７】石英ルツボを、開口部が下方の状態で洗
浄可能な洗浄装置と、前記洗浄装置に隣接して配置さ
れ、前記石英ルツボを反転させ、開口部が上方とする反
転装置と、前記洗浄装置又は前記反転装置に隣接して配
置され、前記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収
納装置と、前記石英ルツボが前記洗浄装置から前記反転
装置へ、前記反転装置から前記収納装置へと移動可能な
ように、これら前記３つの装置間に配されたレール手段
とを有する石英ルツボハンドリング装置用パレットであ
って、石英ルツボが非反転状態と反転状態のいずれの状
態においても、前記石英ルツボを安定して載置可能なよ
う、径の異なる２つの同心円上に沿って配された接触部
材を有し、前記レール手段上を滑走するよう構成された
石英ルツボハンドリング装置用石英ルツボ載置パレッ
ト。