JPH11255583A

JPH11255583A - 石英ルツボハンドリング装置及び石英ルツボハンドリング方法

Info

Publication number: JPH11255583A
Application number: JP8030798A
Authority: JP
Inventors: Junichi Matsubara; 順一松原; Hirotoshi Yamagishi; 浩利山岸
Original assignee: Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Current assignee: Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Priority date: 1998-03-12
Filing date: 1998-03-12
Publication date: 1999-09-21

Abstract

(57)【要約】【課題】限られたスペース内で、大重量かつ大径の石
英ルツボを反転し、カーボンルツボサセプタに収納する
動作を人力を用いずに、かつ汚染の影響を受けることな
く行うことのできる石英ルツボハンドリング装置及び石
英ルツボハンドリング方法を提供する。【解決手段】反転装置と収納装置を合体させ、これら
が同一位置に配置されるよう構成している。特に石英ル
ツボ５０を把持して回転させるためのハンド装置３２に
より、安定してかつスムースに石英ルツボを回転させ、
かつサセプタ６０に収納できる。石英ルツボはパレット
４０上に載置され、昇降可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶棒を成長さ
せつつ引き上げる単結晶成長装置に用いられる石英ルツ
ボを、使用前に洗浄したり、所定のサセプタに収納する
ためのハンドリング装置及び石英ルツボハンドリング方
法に関し、特に引上げＣＺ（Czochralski）法により大
径のＳｉ（シリコン）の単結晶を製造するための単結晶
成長装置に用いる石英ルツボの洗浄・収納に適した石英
ルツボハンドリング装置及び石英ルツボハンドリング方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、引上げＣＺ法による単結晶製造
装置では、高耐圧気密チャンバ内を１０torr程度に減圧
して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流すとともに、チャ
ンバ内の下方に設けられた石英ルツボ内の多結晶を加熱
して溶融し、この融液の表面に種結晶を上から浸漬し、
種結晶と石英ルツボを回転、上下移動させながら種結晶
を引き上げることにより、種結晶の下に上端が突出した
円錐形の上部コーン部と、円筒形のボディー部と下端が
突出した円錐形の下部コーン部より成る単結晶（いわゆ
るインゴット）を成長させるように構成されている。

【０００３】従来の１０数インチ程度の径の単結晶棒を
成長させるためには、口径が２４インチ程度の石英ルツ
ボが使用されている。かかる石英ルツボを結晶成長炉に
装填する前に、洗浄する必要があり、またその後、乾燥
させ、所定のカーボンルツボサセプタに収納する必要が
ある。従来のかかる石英ルツボの重量が約２０ｋｇ程度
であり、石英ルツボを洗浄し、乾燥し、その後天地を反
転して所定のカーボンルツボサセプタに収納するといっ
た、一連の動作を人間の手作業で行っていた。また、こ
れらの作業は、各々独立した工程として行う方式が採ら
れていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、単結晶
引上げ方法により製造される単結晶の直径を増加させ
た、いわゆる大径の単結晶インゴットが製造されようと
種々試みられている。かかる大径の単結晶棒を成長させ
る単結晶引上げ装置では、石英ルツボを大型化せざるを
得ず、例えば口径３６インチの石英ルツボの重量は約７
０ｋｇにもなる。このような大重量の石英ルツボを人間
の手により持ち上げたり、反転させたり、所定のカーボ
ンルツボサセプタに収納することは到底不可能であり、
洗浄・乾燥装置、反転装置、カーボンルツボサセプタへ
の収納装置をそれぞれ別個に設けると、全体としてのス
ペースが相当広く必要となり、工場建設の上で大きなコ
ストアップの原因となっていた。また、各工程が独立し
ていて、作業領域が異なると、せっかく洗浄した石英ル
ツボが使用前に汚染されてしまうという危険があった。

【０００５】本発明者らは上記従来の問題点に鑑み、限
られたスペース内で、大重量かつ大径の石英ルツボを洗
浄し、反転し、カーボンルツボサセプタに収納する動作
を人力を用いずに、かつ汚染の影響を受けることなく行
うことを可能とすべく、洗浄装置、反転装置、収納装置
を密接に隣接して配置し、石英ルツボを載置したパレッ
トが隣接して配置された洗浄装置、反転装置、収納装置
間を移動可能なような構成を開発した。しかし、この構
成では、反転装置と収納装置は隣接して配置することが
できるが、それぞれ別個のスペースを必要としているた
め、さらなる省スペース化が求められることとなった。
したがって、本発明は、石英ルツボの反転装置と収納装
置の占めるスペースを各段と少なくし、かつ安定して石
英ルツボを反転して、サセプタに収納することができる
石英ルツボハンドリング装置及び石英ルツボハンドリン
グ方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、反転装置と収納装置を合体させ、これらが
同一位置に配置されるよう構成している。

【０００７】すなわち本発明によれば、石英ルツボを、
開口部が下方の状態から反転させ、開口部が上方とする
反転装置と、前記石英ルツボを所定のサセプタに収納す
る収納装置とを有する石英ルツボハンドリング装置であ
って、前記反転装置と前記反転装置とが同一位置に形成
された石英ルツボハンドリング装置が提供される。

【０００８】また本発明によれば、石英ルツボを、開口
部が下方の状態から反転させ、開口部が上方とする反転
装置と、前記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収
納装置とを有する石英ルツボハンドリング装置であっ
て、前記反転装置と前記反転装置とが同一位置に形成さ
れ、前記石英ルツボを載置可能なパレットを有する石英
ルツボハンドリング装置が提供される。

【０００９】また本発明によれば、パレット上に載置さ
れた石英ルツボを、開口部が下方の状態から反転させ、
開口部が上方とする反転装置と、前記石英ルツボを所定
のサセプタに収納する収納装置とを有する石英ルツボハ
ンドリング装置であって、前記反転装置と前記反転装置
とが同一位置に形成され、前記石英ルツボを外方から挟
み込んで把持する複数の手段と、前記把持する複数の手
段が取り付けられ、前記石英ルツボを囲む環状部を有す
る把持手段支持手段と、前記把持手段支持手段の１８０
度対向する位置に取り付けられた回転軸とを有する石英
ルツボハンドリング装置を用いた石英ルツボハンドリン
グ方法であって、前記石英ルツボを、その開口部近傍で
外方から保持するステップと、前記石英ルツボを前記パ
レットから相対的に離間させるステップと、前記回転軸
を１８０度回転させて前記石英ルツボの開口部が上方と
するステップと、前記石英ルツボを前記パレット上に載
置するステップと、前記環状部を下降させて前記石英ル
ツボを下降させ、サセプタ内に収納するステップとを、
有する石英ルツボハンドリング方法が提供される。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る石英ルツボハ
ンドリング装置の側面図である。図２は、図１中の線Ａ
−Ａ’で切断した断面図である。図３は、石英ルツボを
載置するパレットの平面図、図４は図３中の線Ｂ−Ｂ’
で切断した断面図である。図５はパレットに石英ルツボ
が、その開口部が下方の状態で載置された状態を示す側
面図であり、図６はパレットに石英ルツボが開口部が上
方の状態で載置された状態を示す側面図である。

【００１１】図１において、石英ルツボハンドリング装
置３０は反転装置と収納装置の機能を有するもので、堅
牢な金属製フレームにより、その外形が構成されてい
る。なお、この石英ルツボハンドリング装置は図示省略
の洗浄装置に隣接して配置することができる。石英ルツ
ボハンドリング装置３０には、ハンド装置３２が設けら
れている。ハンド装置３２は図１８、図１９に示すよう
に、石英ルツボ５０の開口部近傍、例えば開口部の淵か
ら３ｃｍ程度以内の部分を外方から確実に把持する複数
の把持部を半径方向に駆動するエアシリンダ１００Ａ、
１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄを有している。なお、図
１中に、石英ルツボ５０はパレット４０に載置された状
態で点線で示されている。

【００１２】これらのエアシリンダ１００Ａ、１００
Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは環状フレーム１０６に放射方
向に取り付けられている。エアシリンダ１００Ａ、１０
０Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄの各ピストン１０２Ａ、１０
２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄの先端には把持部１０４Ａ、
１０４Ｂ、１０４Ｃ、１０４Ｄが取り付けられている。
把持部１０４Ａ、１０４Ｂ、１０４Ｃ、１０４Ｄはそれ
ぞれ金属プレートとその表面に貼り付けられた図示省略
のシリコンゴムを有している。シリコンゴムは摩擦係数
が高く、これが石英ルツボ５０に接触するよう構成され
ている。また、これらのエアシリンダはその締め付け力
が可変であり、石英ルツボ５０を把持する力を適切に調
節することが可能である。

【００１３】ハンド装置３２の環状フレーム１０６に
は、１８０度対向する位置に回転軸１０８Ａ、１０８Ｂ
が取り付けられている。回転軸１０８Ａ、１０８Ｂは図
１に示すようにフレーム上部に位置する駆動装置３９か
ら伸長するアーム３４に取り付けられ、後述する図７〜
１７に示すように、石英ルツボ５０を反転させたり、昇
降させたりすることできる。すなわち、駆動装置３９に
は、ハンド装置３２がこれらの動きをするための駆動力
源がある。

【００１４】図２に示されているように、石英ルツボハ
ンドリング装置３０には、平行な２本のレール３６Ａ、
３６Ｂが設けられている。これらのレール３６Ａ、３６
Ｂは上下に昇降可能である。すなわち、レール３６Ａ、
３６Ｂは駆動装置３１にリンク３３を介して接続され、
図示省略の垂直ガイドに沿って移動可能である。

【００１５】これらのレール３６Ａ、３６Ｂ又は石英ル
ツボ５０の高さ位置を検出する位置センサ３８が設けら
れている。位置センサ３８の出力信号は、制御装置３７
に接続され、その出力信号が駆動装置３１にそれぞれ供
給され、よってレール３６Ａ、３６Ｂの高さ位置情報が
フィードバックされて高さ制御が行われる。なお、リン
ク３３は、１つのみが示されているが、１本のレールに
ついて、その両端近傍の２ヵ所に、石英ルツボハンドリ
ング装置３０内の４つのリンクが同一の駆動源により駆
動されてレール３６Ａ、３６Ｂを完全に水平な状態で昇
降させるよう構成することが好ましい。

【００１６】収納装置３０内のレール３６Ａ、３６Ｂ
は、エアシリンダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１
２Ｄのピストン７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄに取り
付けられ、ピストン７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄの
往復運動に従って、レール３６Ａ、３６Ｂ相互間の距離
が変化するように構成されている。なお、各エアシリン
ダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄは同期運転
されるよう、図示省略の制御装置により空気圧が制御さ
れる。なお、エアシリンダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２
Ｃ、１１２Ｄに代えて回転ネジシャフトとボールネジを
組み合わせた構成を用いることもできる。

【００１７】後述するように石英ルツボ５０は図５、図
６に示されるようにパレット４０に載置されて石英ルツ
ボハンドリング装置３０のレール３６Ａ、３６Ｂと共に
昇降可能であり、さらに洗浄装置が隣接して配置される
とき、相互間を移動可能であう。このパレット４０の構
造について図３、図４に沿って説明する。パレット４０
はフレーム４２と、このフレーム４２から内部に伸長す
る４本の外側ビーム４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄ
と、外側ビーム４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄに囲ま
れた四角形の内部に井げた状に組み合わされているＸ方
向とＹ方向のそれぞれ２本のビーム４４Ａ、４４Ｂ、４
６Ａ、４６Ｂを有している。４本の外側ビーム４３Ａ、
４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄには、石英ルツボ５０を載置す
る際の当接部となる当接部材４７が合計で８個設けられ
ている。

【００１８】また、ビーム４４Ａ、４４Ｂ、４６Ａ、４
６Ｂにはそれぞれ、石英ルツボ５０を載置する際の当接
部となる当接部材４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂが４
個設けられている。当接部材４７は、図５に示すように
石英ルツボ５０の開口部が下方の状態で、載置する際に
用いられ、一方当接部材４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９
Ｂは、図６に示すように石英ルツボ５０の開口部が上方
の状態で載置する際に用いられる。なお、これらの当接
部材４７、４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂは他の図で
は省略され、石英ルツボ５０がパレット４０上に直接載
置されているように示されている。

【００１９】パレット４０のフレーム４２は、レール３
６Ａ、３６Ｂ上に回転可能に取り付けられた車輪の上を
滑走するよう構成されている。なお、レール３６Ａ、３
６Ｂに車輪を設ける代りに、パレット４０のフレーム４
２の底面に車輪を設けてもよい。なお、このパレット４
０は主要部がフレーム４２と棒状のビームにより構成さ
れているので、洗浄装置１０での洗浄時やその後の乾燥
工程で、水分が容易に落下でき、水はけがよい。また、
中央部には、パレット４０が洗浄装置１０内にあると
き、ノズル１４を挿入するための中央開口部７０が設け
られている。

【００２０】次に本実施の形態の石英ルツボハンドリン
グ装置の動作について説明する。なお、図７から図１７
は図１、図２に対応しているが、動作説明上不要な要素
は図示省略している。いま、図示省略の洗浄装置での洗
浄・乾燥工程が完了し、パレット４０が洗浄装置から石
英ルツボハンドリング装置３０内へと引き出されたもの
とする。パレット４０が石英ルツボハンドリング装置３
０内のＸ方向上の所定位置にて停止するよう、図示省略
のストッパが設けられている。なお、ストッパに代えて
位置決めセンサを用いるようにしてもよい。

【００２１】パレット４０のＸ方向上の位置が決まる
と、ハンド装置３２を下降させ、エアシリンダにより石
英ルツボ５０の外周部の開口近傍を複数箇所で半径内方
向に押圧しつつ挟み込むように保持する。なお、上記把
持動作の開始前に、把持部１０４Ａ、１０４Ｂ、１０４
Ｃ、１０４Ｄが石英ルツボ５０の開口部近傍を把持する
よう、環状フレーム１０６の高さが調節される。石英ル
ツボ５０の外周部の開口近傍とは、サセプタ６０に収納
したときに露出する部分、例えば開口端から３ｃｍ程度
の領域であり、この部部で把持する。ハンド装置３２が
確実に石英ルツボ５０を保持した後、レール３６Ａ、３
６Ｂを図８の矢印Ｍ５で示すように、所定距離だけ下降
させる。したがって、パレット４０はレール３６Ａ、３
６Ｂと共に下降し、石英ルツボ５０から離間することと
なる。

【００２２】またハンド装置３２を図８の矢印Ｍ６で示
すように、所定距離だけ上昇させるようにしてもよい。
矢印Ｍ５、Ｍ６で示すこの下降と上昇動作は、石英ルツ
ボ５０を図８に示す矢印Ｒで示すように回転させる際、
パレット４０が邪魔にならないようにするためであり、
よってこの２つの動作を双方とも行うかあるいは、いず
れか一方だけでもよい。ただし、パレット４０を下降さ
せることにより石英ルツボ５０の回転のための空間を提
供することは、石英ルツボハンドリング装置３０の全高
を大きくせずにこの空間を得ることができるという利点
がある。

【００２３】なお、石英ルツボ５０を図８に示すように
回転させるとき、できるだけ石英ルツボ５０の高さ方向
の重心位置を回転中心に一致させるために、ハンド装置
３２の製造時に、その回転軸１０８Ａ、１０８Ｂの環状
フレーム１０６における高さ位置を石英ルツボ５０の高
さ情報からあらかじめ演算して、定めておく。

【００２４】石英ルツボ５０が図８の矢印Ｒで示すよう
に回転できる空間ができた後、ハンド装置３２により矢
印Ｒ方向に１８０度回転させて図９の状態とする。次に
図９の矢印Ｍ７で示すように、石英ルツボハンドリング
装置３０内のレール３６Ａ、３６Ｂを上昇させ、図１０
に示すようにパレット４０上に石英ルツボ５０が載置さ
れるところまで上昇させる。ここでハンド装置３２を石
英ルツボ５０から離して、石英ルツボ５０をパレット４
０上に載せる。

【００２５】この状態で図１１の矢印Ｍ１０で示すよう
にハンド装置３２を上昇させる。次いで、パレット４０
を図１１の右側の開口部から取り去るなどして石英ルツ
ボハンドリング装置３０から除去する。次いで図１２の
断面図に示すように、石英ルツボハンドリング装置３０
内のレール３６Ａ、３６ＢをＹ軸に沿って矢印Ｍ１１で
示すようにそれぞれ移動させ、両者の間隔を広げる。こ
の状態で、図示省略のフォークリフトを用いて図１３に
示すようにサセプタとしての黒鉛ルツボ６０を、その架
台６２と共に石英ルツボハンドリング装置３０の下方の
台座７８上に載置する。

【００２６】台座７８にはボールベアリング７６が回転
可能に取り付けられていて、黒鉛ルツボ６０の架台６２
は、ボールベアリング７６上でＸ、Ｙ方向（図１２参
照）に移動可能であり、黒鉛ルツボ６０を上方の石英ル
ツボ５０と同軸とするための位置決めを行うことができ
る。位置決めが完了すると、図１４の矢印Ｍ１２で示す
ようにハンド装置３２を下降させ、石英ルツボ５０を黒
鉛ルツボ６０内に収納する。図１５は石英ルツボ５０が
黒鉛ルツボ６０内に収納された状態を示している。石英
ルツボ５０の黒鉛ルツボ６０内への受入れの完了はハン
ド装置３２又は黒鉛ルツボ６０への荷重の変化を検知す
るか、あるいは目視にて確認する。その後、ハンド装置
３２を開放し、図１６の矢印Ｍ１３で示すように上昇さ
せる。その後、フォークリフトにより図１７の矢印Ｍ１
４で示すように架台６２と、その上の黒鉛ルツボ６０及
びその内部の石英ルツボ５０を外部へ取り出す。

【００２７】なお、本発明の石英ルツボハンドリング装
置は、全体がクラス１０００以下のクリーンルームに設
置される。上記実施の形態では、洗浄装置に隣接して石
英ルツボハンドリング装置３０が配置されるものとして
説明したが、洗浄装置とは別個に配置することもでき
る。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、反
転装置と収納装置の機能を有機的結合させ、同一位置に
これらの機能を実現する各手段を配置したので、限られ
たスペース内で、大重量かつ大径の石英ルツボを反転
し、カーボンルツボサセプタに収納する動作を人力を用
いずに、かつ汚染の影響を受けることなく行うことが可
能である。よって、石英ルツボハンドリング装置を少な
いコストで組み立てることができ、自動化と省スペース
を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る石英ルツボハンドリング装置の側
面図である。

【図２】図１中の線Ａ−Ａ’で切断した断面図である。

【図３】石英ルツボを載置するパレットの平面図であ
る。

【図４】図３中の線Ｂ−Ｂ’で切断した断面図である。

【図５】パレットに石英ルツボが開口部を下にして載置
された状態を示す側面図である。

【図６】パレットに石英ルツボが開口部を上にして載置
された状態を示す側面図である。

【図７】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図８】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図９】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１０】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１１】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１２】本発明の実施の形態の動作を示す断面図であ
る。

【図１３】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１４】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１５】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１６】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１７】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１８】本発明の実施の形態におけるハンド装置が石
英ルツボを把持している状態の斜視図である。

【図１９】図１８に示したハンド装置と石英ルツボの平
面図である。

【符号の説明】

３０石英ルツボハンドリング装置３２ハンド装置３４アーム３６Ａ、３６Ｂレール３７制御装置３８高さ位置センサ３９駆動装置４０パレット５０石英ルツボ６０黒鉛ルツボ（サセプタ）６２架台７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄレール駆動用エアシ
リンダのピストン７８台座１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄエアシリン
ダ１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄエアシリン
ダのピストン１０４Ａ、１０４Ｂ、１０４Ｃ、１０４Ｄ把持部１０６環状フレーム（把持手段支持手段）１０８Ａ、１０８Ｂ回転軸１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄレール駆動
用エアシリンダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】石英ルツボを、開口部が下方の状態から
反転させ、開口部が上方とする反転装置と、前記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収納装置と
を有する石英ルツボハンドリング装置であって、前記反転装置と前記反転装置とが同一位置に形成された
石英ルツボハンドリング装置。
【請求項２】石英ルツボを、開口部が下方の状態から
反転させ、開口部が上方とする反転装置と、前記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収納装置と
を有する石英ルツボハンドリング装置であって、前記反転装置と前記反転装置とが同一位置に形成され、前記石英ルツボを載置可能なパレットを有する石英ルツ
ボハンドリング装置。
【請求項３】前記パレットが走行可能な２本の平行な
レールを有し、前記２本の平行なレールは、その間隔が
広がるよう、少なくとも１本が外方へ移動可能であるこ
とを特徴とする請求項１記載の石英ルツボハンドリング
装置。
【請求項４】前記２本のレールを昇降させる手段をさ
らに有することを特徴とする請求項３記載の石英ルツボ
ハンドリング装置。
【請求項５】前記パレットが前記石英ルツボが非反転
状態と反転状態のいずれの状態においても、前記石英ル
ツボを安定して載置可能なよう、径の異なる２つの同心
円上に沿って配された接触部材を有することを特徴とす
る請求項２記載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項６】前記２本の平行なレール又は前記石英ル
ツボの高さ位置を検出する手段と、前記高さ位置を検出
する手段の出力信号に応じて前記２本の平行なレールの
高さ位置を制御する手段をさらに有することを特徴とす
る請求項３記載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項７】前記石英ルツボを外方から挟み込んで把
持する複数の手段と、前記把持する複数の手段が取り付
けられ、前記石英ルツボを囲む環状部を有する把持手段
支持手段と、前記把持手段支持手段の１８０度対向する
位置に取り付けられた回転軸とを有することを特徴とす
る請求項１記載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項８】前記把持手段支持手段が、前記石英ルツ
ボの外周面から、前記石英ルツボが収納されるサセプタ
の厚みに相当する距離以上離れた場所に位置するような
形状、寸法を有することを特徴とする請求項７記載の石
英ルツボハンドリング装置。
【請求項９】前記回転軸が前記石英ルツボの高さ方向
の重心位置に合致する位置に取り付けられたことを特徴
とする請求項７記載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項１０】前記２本のレールを昇降させる手段
が、駆動力源と、前記駆動力源の駆動力を前記２本のレ
ールの各端部近傍に同時に伝達する手段とを有すること
を特徴とする請求項４記載の石英ルツボハンドリング装
置。
【請求項１１】前記同時に伝達する手段が、前記駆動
力源の回転軸に連結され、同一ギヤ比にて回転力を複数
の回転軸に分配する手段を有することを特徴とする請求
項１０記載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項１２】前記把持する複数の手段が複数のエア
シリンダであることを特徴とする請求項７記載の石英ル
ツボハンドリング装置。
【請求項１３】前記把持手段支持手段を昇降させる手
段をさらに有することを特徴とする請求項７記載の石英
ルツボハンドリング装置。
【請求項１４】前記把持手段支持手段を昇降させる手
段が、駆動力源と、前記駆動力源の駆動力を前記ハンド
装置の対向する各把持部に同時に伝達する手段とを有す
ることを特徴とする請求項１３記載の石英ルツボハンド
リング装置。
【請求項１５】前記同時に伝達する手段が、前記駆動
力源の回転軸に連結され、同一ギヤ比にて回転力を複数
の回転軸に分配する手段を有することを特徴とする請求
項１４記載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項１６】前記レール手段又は石英ルツボの高さ
位置を検出する手段と、前記高さ位置を検出する手段の
出力信号に応じて前記レール手段の高さ位置を制御する
手段をさらに有することを特徴とする請求項２記載の石
英ルツボハンドリング装置。
【請求項１７】前記レール手段又は石英ルツボの高さ
位置を検出する手段が、可動部と静止部の間に設けられ
た光学式エンコーダであることを特徴とする請求項６記
載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項１８】前記把持する複数の手段の各々がエア
シリンダと前記エアシリンダのピストンの先端に取り付
けられた把持部とを有することを特徴とする請求項７記
載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項１９】前記把持部が金属プレートの表面にシ
リコンゴムを貼り付けたものであることを特徴とする請
求項１８記載の石英ルツボハンドリング装置。
【請求項２０】前記エアシリンダの締め付け力が可変
であることを特徴とする請求項１８記載の石英ルツボハ
ンドリング装置。
【請求項２１】前記石英ルツボを把持するために必要
な力を得るために、前記エアシリンダの断面積及び空気
圧、前記把持部の前記石英ルツボとの接触部の摩擦係数
を考慮し、かつ安全率を考慮して前記把持部の接触面積
が定められていることを特徴とする請求項１８記載の石
英ルツボハンドリング装置。
【請求項２２】前記複数の回転軸が回転したとき、機
械接触により生じる可能性のある分塵を飛散させないよ
う、前記複数の回転軸をエアータイトに覆う手段とを有
することを特徴とする請求項１１又は１５記載の石英ル
ツボハンドリング装置。
【請求項２３】パレット上に載置された石英ルツボ
を、開口部が下方の状態から反転させ、開口部が上方と
する反転装置と、前記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収納装置と
を有する石英ルツボハンドリング装置であって、前記反転装置と前記反転装置とが同一位置に形成され、
前記石英ルツボを外方から挟み込んで把持する複数の手
段と、前記把持する複数の手段が取り付けられ、前記石
英ルツボを囲む環状部を有する把持手段支持手段と、前
記把持手段支持手段の１８０度対向する位置に取り付け
られた回転軸とを有する石英ルツボハンドリング装置を
用いた石英ルツボハンドリング方法であって、前記石英ルツボを、その開口部近傍で外方から保持する
ステップと、前記石英ルツボを前記パレットから相対的に離間させる
ステップと、前記回転軸を１８０度回転させて前記石英ルツボの開口
部が上方とするステップと、前記石英ルツボを前記パレット上に載置するステップ
と、前記環状部を下降させて前記石英ルツボを下降させ、サ
セプタ内に収納するステップとを、有する石英ルツボハンドリング方法。
【請求項２４】前記石英ルツボを前記パレットから相
対的に離間させるステップが、前記石英ルツボを上昇させるステップと、前記パレットの載置された前記レール手段を下降させる
ステップとの双方又は一方を有する請求項２３記載の石
英ルツボハンドリング方法。
【請求項２５】前記石英ルツボを下降させ、サセプタ
内に収納するステップとの前に、前記石英ルツボをいっ
たん上昇させるステップと、前記サセプタを前記石英ルツボの下方部に挿入するステ
ップとを、有することを特徴とする請求項２３記載の石英ルツボハ
ンドリング方法。
【請求項２６】前記サセプタのＸ、Ｙ位置を制御し
て、前記石英ルツボとほぼ同軸な状態とするステップを
更に有することを特徴とする請求項２３記載の石英ルツ
ボハンドリング方法。