JPH11264404A - エアベアリングシリンダ、エアベアリングシリンダ用ロッド及びマニホールドシリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリンダブロックをスリム化することができ
るエアベアリングシリンダを提供すること。 【解決手段】 シリンダブロック１１にシリンダ室１２
及び挿通孔１３を設け、そのシリンダ室１２及び挿通孔
１３内に流体の給排により駆動されるロッド８を自身の
軸線方向に沿って出没可能に挿通した。前記シリンダ室
１２及び挿通孔１３の内壁面に対応する前記ロッド８の
外周面には、前記内壁面に対し加圧エアを噴出するエア
噴出部材２２，２５を設け、それによってロッド８を非
接触的に支承させた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エアベアリングシ
リンダ、それを使用したマニホールドシリンダ及びエア
ベアリングシリンダ用のロッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば半導体製造プロセスにおい
て使用される各種装置には、図７に示すようなエアベア
リングシリンダが用いられることがある。

【０００３】このエアベアリングシリンダ６１はシリン
ダブロック６２を備え、シリンダブロック６２内にはシ
リンダ室６３及びそれに挿通するロッド挿通孔６４が形
成されている。そして、シリンダ室６３の断面形状は、
ロッド挿通孔６４のそれよりも大きく形成されている。
ロッド６５は前記ロッド挿通孔６４に挿通され、その先
端がロッド挿通孔６４から外部に突出されている。ロッ
ド６５の基端部は前記シリンダ室６３内に配置され、そ
こにはロッド挿通孔６４よりも大径のストッパ６６が固
定されている。又、前記シリンダ室６３のヘッド側内壁
面及びロッド側内壁面には、クッション６７が一対設け
られている。このため、ロッド６５は同ストッパ６６が
前記一対のクッション６７と当接する範囲内で長手方向
に移動可能となっている。シリンダブロック６２にはシ
リンダ室６３に制御エアを供給するための推力ポート６
８が形成されている。推力ポート６８に供給された制御
エアは、ストッパ６６の外表面に作用し、ロッド６５全
体をシリンダブロック６２のロッド側端面方向に前進さ
せるための差圧を生じさせる。

【０００４】ロッド挿通孔６４の内壁面には、多孔質体
よりなる円環状の軸受け部材６９が設けられている。シ
リンダブロック６２には、この軸受け部材６９の外周面
に沿ってエアポケット７０が同じく円環状に設けられて
いる。更に、シリンダブロック６２の一側面には、この
エアポケット７０に連通し、同エアポケット７０に加圧
エアを供給するための給気ポート７１が設けられてい
る。このため、給気ポート７１より供給された加圧エア
が軸受け部材６９の内周面全体から噴出され、ロッド６
５が軸受け部材６９によって非接触的に支承される。
尚、真空引きポート７２は軸受け部材６９から噴出され
た加圧エアを外部に排出するために設けられている。

【０００５】従って、上記のエアベアリングシリンダ６
１によれば、推力ポート６８に供給された制御エアがス
トッパ６６の外表面に作用すると、ストッパ６６がヘッ
ド側面のクッション６７に当接するまでロッド６５全体
が前進する。このとき、前記ロッド６５は加圧エアが噴
出する軸受け部材６９によって非接触的に支承されてい
る。そして、前進して突出状態となったロッド６５によ
り、押圧や吸着等といった所望の作業が行われるように
なっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記したようなエアベ
アリングシリンダ６１を、例えば半導体製造プロセスに
おいて使用するような場合、ウェハを切断して得られた
チップのように非常に小さいものが作業対象となる。そ
して、このような非常に小さなものを作業対象としてい
ることに鑑み、エアベアリングシリンダ６１自体にも小
型化の要求、特に幅方向への小型化（即ちスリム化）の
要求が強まってきている。

【０００７】しかしながら、通常、ロッド６５の径は必
要とする推力によって決定されるため、ロッド６５の小
径化によるスリム化を図ることは適切ではない。又、シ
リンダブロック６１には、軸受け部材６９及びさらにそ
の外周側を取り巻くエアポケット７０を設けるスペース
が必要とされる。ゆえに、シリンダブロック６１を肉薄
に形成することによりスリム化を図ることも望めない。
又、図７においてストッパ６６の外周面と対向するシリ
ンダ室６３の内壁面Ｐ1 に、軸受け部材６９を設ける構
成を想定した場合には、装置全体のスリム化がいっそう
困難になることが予想される。

【０００８】本発明は上記の問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、シリンダブロックをスリム化す
ることができるエアベアリングシリンダを提供すること
にある。

【０００９】又、本発明の他の目的は、シリンダブロッ
クのスリム化と相俟って装置全体をスリム化することが
できるエアベアリングシリンダを提供することにある。
又、本発明の更に他の目的は、シリンダブロックのスリ
ム化に寄与することができるエアベアリングシリンダ用
のロッドを提供することにある。

【００１０】更に又、本発明の他の目的は、上記のエア
ベアリングシリンダによって構成され、複数並設された
作業対象に対して有効であるとともに、給気ポートに対
する配管作業が容易となるマニホールドシリンダを提供
することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の発明では、シリンダブロックにロ
ッド挿通孔を設け、そのロッド挿通孔内に流体の給排に
より駆動されるロッドを自身の軸線方向に沿って出没可
能に挿通し、前記ロッド挿通孔の内壁面に対応する前記
ロッドの外周面に、ロッド挿通孔の内壁面に対し加圧エ
アを噴出することによって前記ロッドを非接触的に支承
させるエア噴出部を設けた。

【００１２】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のエアベアリングシリンダにおいて、前記ロッドの外
周面にはエア噴出部を設けた部分とは異なる位置にロッ
ド内部に形成された通路を介してエア噴出部と連通する
開口部を設け、前記シリンダブロックにはその開口部と
対応する位置に開口し、同開口部に加圧エアを供給する
給気ポートを設けた。

【００１３】請求項３に記載の発明では、請求項１又は
２に記載のエアベアリングシリンダにおいて、前記エア
噴出部はエア噴出部材であり、そのエア噴出部材は前記
ロッド外周面の周方向に設けられた収容凹部に配設され
ている。

【００１４】請求項４に記載の発明では、シリンダブロ
ックにシリンダ室及び挿通孔を設け、その挿通孔内に流
体の給排により駆動されるロッドを自身の軸線方向に沿
って出没可能に挿通し、前記シリンダ室の断面形状より
も前記挿通孔の断面形状を小さく形成し、前記ロッド
を、前記シリンダ室よりも小径でかつ挿通孔よりも大径
の第１ロッド部と、該第１ロッド部の先端側に一体形成
され前記挿通孔よりも小径でかつ前記第１ロッド部より
も小径の第２ロッド部とから構成し、前記第１ロッド部
及び第２ロッド部の少なくとも一方の外周面に収容凹部
を設け、その収容凹部にはシリンダ室又は挿通孔の内壁
面に対し加圧エアを噴出することによって前記第１ロッ
ド部又は第２ロッド部を非接触的に支承させるエア噴出
部材を配設し、更に、前記ロッドの外周面にはエア噴出
部材を設けた部分とは異なる位置にロッド内部に形成さ
れた通路を介してエア噴出部材の内周側と連通する開口
部を設け、前記シリンダブロックにはその開口部と対応
する位置に開口し、同開口部に加圧エアを供給する給気
ポートを設けた。

【００１５】請求項５に記載の発明では、請求項１乃至
４のいずれか１項に記載のエアベアリングシリンダにお
いて、前記エア噴出部又は前記エア噴出部材はロッド外
周面の周方向全体に亘って配設されている。

【００１６】請求項６に記載の発明では、請求項２乃至
５のいずれか１項に記載のエアベアリングシリンダにお
いて、前記ロッドの前記開口部を設けた部分をロッド外
周面の周方向全体に亘って前記ロッド挿通孔又はシリン
ダ室及び挿通孔よりも若干小径とした。

【００１７】請求項７に記載の発明では、シリンダブロ
ックに設けられたロッド挿通孔に自身の軸線方向に沿っ
て出没可能に挿通され、前記シリンダブロック側からの
加圧エアの供給により非接触的に支承されるエアベアリ
ングシリンダ用のロッドであって、外周面の所定位置に
設けられたエア噴出部と、外周面において前記エア噴出
部とは異なる位置に設けられた開口部と、その開口部と
前記エア噴出部とを連通する通路とを備えた。

【００１８】請求項８に記載の発明では、請求項１乃至
６のいずれか１項に記載のエアベアリングシリンダを、
各々のロッドが同一方向に突出するように複数並設した
マニホールドシリンダであるとした。

【００１９】請求項９に記載の発明では、共通給気ポー
ト及びそれに連通する連通路を備えるベースブロックの
載置面に、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のエア
ベアリングシリンダを各々のロッドが同一方向に突出す
るように複数並設し、前記各エアベアリングシリンダの
給気ポートに対して前記共通給気ポート及び連通路を介
して加圧エアが供給されるマニホールドシリンダである
とした。

【００２０】従って、請求項１に記載の発明によると、
ロッドの外周面に設けたエア噴出部からロッド挿通孔の
内壁面に対して加圧エアが噴出されることにより、ロッ
ドがそのロッド挿通孔の内壁面に対して非接触的に支承
される。この様に、エア噴出部をロッド側に設けている
ため、シリンダブロック側に軸受け部材等を設ける必要
がない。つまり、シリンダブロック側に軸受け部材等の
ための設置用スペースを確保する必要がなくなる。よっ
て、シリンダブロックを肉薄に形成することが可能とな
り、比較的容易にシリンダブロックのスリム化を図るこ
とができる。

【００２１】請求項２に記載の発明によると、給気ポー
トに加圧エアが供給されると、その加圧エアは、ロッド
に設けた開口部及びロッドの内部に設けた通路を介して
エア噴出部に供給される。このため、給気ポートに供給
された加圧エアをエア噴出部に供給するための通路をシ
リンダブロックに形成する必要はなく、シリンダブロッ
クのスリム化に寄与することができる。

【００２２】請求項３に記載の発明によると、収容凹部
の分だけエア噴出部材の内面側がロッドの外周面に埋め
込まれた状態となる。このため、エア噴出部材がロッド
の外周面から突出する量を小さくしたり、ロッドの外周
面から突出しないようにすることが可能である。従っ
て、シリンダブロックのスリム化と相俟ってエアベアリ
ングシリンダ全体をスリム化することができる。

【００２３】請求項４に記載の発明によると、エア噴出
部材が第１ロッド部又は第２ロッド部の少なくとも一方
に設けられた収容凹部に配設されており、エア噴出部材
からシリンダ室又は／及び挿通孔の内壁面に対して加圧
エアが噴出されて、第１ロッド部又は／及び第２ロッド
部が非接触的に支承される。このため、上記請求項１乃
至３に記載された作用と同様の作用が得られる。

【００２４】請求項５に記載の発明によると、加圧エア
はロッドの周方向全体に亘って均等に噴出される。この
ため、エア噴出部材を設けた部分におけるロッドの外周
全体が非接触的に支承される。従って、ロッドを確実に
支承させることができる。

【００２５】請求項６に記載の発明によると、ロッドに
おいて開口部を設けた部分は、ロッド挿通孔又はシリン
ダ室及び挿通孔よりも若干小径としたため、給気ポート
に供給された加圧エアをほとんど漏らすことなく通路に
供給することができる。

【００２６】請求項７に記載の発明によると、開口部に
加圧エアを供給した場合、その加圧エアを通路を介して
エア噴出部へと導き、そこから外部に噴出させることが
できる。このようなロッドをシリンダブロックのロッド
挿通孔に挿通した場合、ロッド挿通孔の内壁面に対して
加圧エアが噴出され、ロッドが前記内壁面に対して非接
触的に支承される。従って、軸受け部材をシリンダブロ
ック側に設けることが不要となり、シリンダブロック側
に軸受け部材等のための設置用スペースを確保する必要
がなくなる。よって、シリンダブロックを肉薄に形成す
ることが可能となり、比較的容易にシリンダブロックの
スリム化に寄与することができる。又、ロッド内部に通
路が形成されているため、その分ロッドを軽量化するこ
とができる。

【００２７】請求項８に記載の発明によると、マニホー
ルドシリンダを構成する各エアベアリングシリンダのロ
ッドが、それぞれ同一方向に突出するようになっている
ため、複数並設された作業対象に対して有効である。

【００２８】請求項９に記載の発明によると、請求項８
に記載の発明の作用に加えて、各エアベアリングシリン
ダの給気ポートが、ベースブロックに形成された連通路
を介して連通され、この連通路は共通給気ポートに連通
される。このため、共通給気ポートに加圧エアを供給す
ると、連通路を介して各給気ポートに加圧エアが供給さ
れる。つまり、給気ポートに対する配管作業が容易とな
るとともに、マニホールドシリンダに対する配管が寄り
集まって込み合うことを軽減できる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、実施形態を図１〜図４に従
って説明する。図２は、半導体製造プロセスにおいてウ
ェハを切断して得られたチップを研磨する工程で使用さ
れるチップ研磨装置１の概略を示している。このチップ
研磨装置１は、回転軸２を中心として回転可能に設けら
れた治具３、及び研磨フィルム４を介して治具３の先端
に固定されたチップ５を押圧するマニホールドシリンダ
６から構成されている。図３はマニホールドシリンダ６
の一部を示す斜視図である。このマニホールドシリンダ
６を構成する各シリンダは、エアベアリングシリンダ７
であり、そのロッド８が同一方向に突出するように連結
されている。又、図２において治具３はその各エアベア
リングシリンダ７のロッド８に対応して複数設けられて
いる。

【００３０】このチップ研磨装置１の動作の概略を説明
すると、治具３の先端にチップ５を固定した状態で治具
３を回転させる。そして、マニホールドシリンダ６を構
成する各エアベアリングシリンダ７のロッド８をチップ
５に向けて突出させ、所定の速度で順送りされる研磨フ
ィルム４を介してチップ５を所定の接合圧で押圧する。
これにより、複数個のチップ５が同時に研磨されるよう
になっている。

【００３１】次に、上記マニホールドシリンダ６を構成
するエアベアリングシリンダ７及びそのシリンダシステ
ムについて説明する。図１に示されるように、エアベア
リングシリンダ７を構成する金属製のシリンダブロック
１１には、ロッド挿通孔としてのシリンダ室１２及び挿
通孔１３が形成されている。シリンダ室１２と挿通孔１
３とはシリンダブロック１１内部において互いに連通さ
れている。シリンダ室１２は第１シリンダ室１２ａと第
２シリンダ室１２ｂとから構成されている。第１シリン
ダ室１２ａは、挿通孔１３よりも大径でかつ挿通孔１３
に連通している。第２シリンダ室１２ｂは、第１シリン
ダ室１２ａよりも大径でかつ第１シリンダ室１２ａに連
通している。シリンダブロック１１は複数のシリンダブ
ロック構成体（図示略）を一体化することにより構成さ
れている。なお、図１では便宜上これらを一体物として
描いている。

【００３２】挿通孔１３にはロッド８が挿通されてい
る。ロッド８の先端側は外部に突出されるとともに、そ
の基端側はシリンダ室１２内に配置されている。具体的
には、ロッド８は第１ロッド部１４と第２ロッド部１５
とを備えている。第１ロッド部１４は、第１シリンダ室
１２ａよりも小径に形成されている。第２ロッド部１５
は、第１ロッド部１４の先端側に一体形成されるととも
に、挿通孔１３よりも小径に形成されている。そして、
第１ロッド部１４がシリンダ室１２内に収容され、第２
ロッド部１５が挿通孔１３に挿通されている。より具体
的には、第１ロッド部１４は第１シリンダ室１２ａより
も若干小径の大径部１４ａと、大径部１４ａの基端側に
一体形成されるとともにその大径部１４ａよりも小径の
小径部１４ｂとから構成されている。前記第１ロッド部
１４は、この小径部１４ｂよりも小径に形成されてい
る。従って、ロッド８はその長手方向に沿って進退可能
であり、それによってロッド８の先端がシリンダブロッ
ク１１の先端側端面から出没する。なお、前記シリンダ
室１２にもロッド８が挿通されているため、このシリン
ダ室１２をロッド挿通孔として見なすことが可能であ
る。

【００３３】ロッド８の基端面（小径部１４ｂの基端
面）には、軸方向に延びるねじ孔１６が形成されてい
る。そして、その基端面にはストッパ１７がねじ孔１６
に螺合されるねじ部材１８によって一体的に設けられ、
第２シリンダ室１２ｂ内に配置されている。このストッ
パ１７は第１シリンダ室１２ａよりも大径で、第２シリ
ンダ室１２ｂよりも小径である。以下では、このストッ
パ１７もロッド８の一部として見なし、ストッパ１７の
基端面をロッド８の基端面として説明する。第２シリン
ダ室１２ｂの内壁面のうち、基端側内壁面にはクッショ
ン１９、先端側内壁面にはクッション２０が固定されて
いる。このため、ロッド８は両クッション１９，２０と
当接する一定の範囲内でその長手方向への移動が規制さ
れている。この一定の範囲とは、ストッパ１７が図１に
示すようにクッション１９に当接する位置と図４に示す
ようにクッション２０と当接する位置との間の範囲であ
る。

【００３４】第１ロッド部１４の第１シリンダ室１２ａ
と対応する外周面には、エア噴出部としてのエア噴出部
材２２が設けられている。具体的には、収容凹部２１が
第１ロッド部１４の外周面、より具体的には第１ロッド
部１４の小径部１４ｂの外周面に、同外周面の周方向に
形成されている。そして、この収容凹部２１にエア噴出
部材２２が配設されている。このエア噴出部材２２は本
実施形態では多孔質体からなり、具体的には固体潤滑機
能を有する多孔質焼結体からなっている。収容凹部２１
は外周面の周方向全体に亘って形成されている。エア噴
出部材２２の外周面は大径部１４ａの外周面と面一とな
るように形成されている。このため、エア噴出部材２２
は小径部１４ｂの外周面から僅かに突出している。

【００３５】又、第２ロッド部１５の挿通孔１３と対応
する外周面には、エア噴出部としてのエア噴出部材２５
が設けられている。具体的には、第２ロッド部１５の外
周面に同外周面の周方向に収容凹部２４が形成されてお
り、その収容凹部２４にエア噴出部材２５が配設されて
いる。このエア噴出部材２５は本実施形態では多孔質体
からなり、具体的には固体潤滑機能を有する多孔質焼結
体からなっている。収容凹部２４は第２ロッド部１５外
周面の周方向全体に亘って形成されており、その収容凹
部２４にエア噴出部材２５が配設されている。エア噴出
部材２５を設けた部分における外径は挿通孔１３より若
干小径となるように形成されている。このため、エア噴
出部材２５は第２ロッド部１５の外周面から僅かに突出
している。なお、本実施形態では第１ロッド部１４及び
第２ロッド部１５にそれぞれ設けたエア噴出部材２２，
２５は円環状に設けられている。

【００３６】第１ロッド部１４の外周面に設けられたエ
ア噴出部材２２の内周面と、第２ロッド部１５の外周面
に設けられたエア噴出部材２５の内周面とを連通する通
路２６がロッド８内部に形成されている。この通路２６
は軸方向に延びるように形成され、基端側は前記ねじ孔
１６に連通されている。このため、ロッド８の基端部に
ストッパ１７を設ける際にねじ部材１８がねじ孔１６に
螺合されることにより、通路２６の基端側が封止される
ようになっている。通路２６の基端側は複数に分岐して
小径部１４ｂの外周面に設けられたエア噴出部材２２の
内周面に連通されている。一方、通路２６の先端側は複
数に分岐して第２ロッド部１５の外周面に設けられたエ
ア噴出部材２５の内周面に連通されている。前記各エア
噴出部材２２，２５の内周面と接する各収容凹部２１，
２４の壁面には、エアポケット２７が形成されている。
前記通路２６はこのエアポケット２７に開口して各エア
噴出部材２２，２５の内周面に連通されている。

【００３７】又、通路２６はロッド８の外周面において
開口するようにロッド８の中間部で分岐されている。つ
まり、ロッド８の外周面にはエア噴出部材２２，２５と
異なる位置に開口部２８が設けられている。具体的に
は、第１ロッド部１４の大径部１４ａに対応する位置に
開口部２８が設けられている。シリンダブロック１１の
一側面には、この開口部２８と対応する位置に開口する
給気ポート２９が形成されている。シリンダブロック１
１において、給気ポート２９の開口部２８側の開口には
エアポケット３０が形成されている。このエアポケット
３０を介して給気ポート２９と通路２６とが連通されて
いる。エアポケット３０はロッド８が移動した際に開口
部２８と給気ポート２９との連通状態を常に維持すべく
軸線方向に少なくともロッド８の移動範囲と同じ長さを
有するように形成されている。又、エアポケット３０
は、ロッド８が中心軸線を中心として回転した場合にお
いても給気ポート２９と通路２６との連通状態を常に維
持すべく、ロッド８を包囲するように形成されている。

【００３８】給気ポート２９は配管Ｌ１を介してエア供
給源Ｐと接続されている。そして、給気ポート２９に加
圧エアが供給されると、その加圧エアは、通路２６を介
してエア噴出部材２２，２５に供給される。従って、エ
ア噴出部材２２から第１シリンダ室１２ａに向けて噴出
される加圧エア、及びエア噴出部材２５から挿通孔１３
に向けて噴出される加圧エアによってロッド８が非接触
的に支承される。

【００３９】第１ロッド部１４において、エア噴出部材
２２と小径部１４ｂとの段差部、小径部１４ｂ、及び大
径部１４ａと小径部１４ｂとの段差部によって形成され
る空間を集気空間３１として利用している。集気空間３
１はシリンダブロック１１の一側面に形成された排気ポ
ート３２に接続されている。この排気ポート３２は大気
に開放されている配管Ｌ２に接続されている。従って、
エア噴出部材２２から噴出した加圧エア、及び給気ポー
ト２９から通路２６に加圧エアを供給する際に漏れた加
圧エアは、まず集気空間３１に集められる。その後、加
圧エアは排気ポート３２及び配管Ｌ２を介して大気中に
排出される。又、シリンダブロック１１において第２ロ
ッド部１５のエア噴出部材２５の先端側は、挿通孔１３
よりも大径で外部に連通する開放孔３３が形成されてい
る。このため、エア噴出部材２５から噴出した加圧エア
は、この開放孔３３から大気中に排出される。

【００４０】シリンダブロック１１の一側面には、第２
シリンダ室１２ｂに連通する第１の推力ポート３４及び
第１のシリンダ室１２ａに連通する第２の推力ポート３
５がそれぞれ形成されている。この内、第２の推力ポー
ト３５は図４に示すロッド８が退避した位置において、
ロッド８の第１ロッド部１４と第２ロッド部１５との段
差部３６よりも先端側で開口されている。

【００４１】第１の推力ポート３４から供給される制御
エアはロッド８の基端面に作用し、ロッド８をシリンダ
ブロック１１から突出させる推力をもたらす。即ち、ロ
ッド８の基端面のうち、小径部１４ｂの断面積Ｓ１に相
当する面積が有効受圧面積となっている。又、第２の推
力ポート３５から供給される制御エアはロッド８の前記
段差部３６に作用し、ロッド８をシリンダブロック１１
から突出した位置から退避させる推力をもたらす。即
ち、小径部１４ｂの断面積Ｓ１から第２ロッド部１５の
断面積Ｓ２を引いた面積が有効受圧面積となっている。
ロッド８基端面の有効受圧面積は段差部３６の有効受圧
面積よりも大きく設定されており、両推力ポート３４，
３５から同圧の制御エアが供給された場合には、ロッド
８基端面の有効受圧面積から段差部３６の有効受圧面積
を引いた面積に基づく推力によってロッド８は突出され
る。なお、エアベアリングシリンダ７を設計する際に
は、ロッド８が突出する場合と退避する場合のそれぞれ
において必要とされる推力に応じて第１ロッド部１４及
び第２ロッド部１５の径が設定される。

【００４２】第１の推力ポート３４に接続された配管Ｌ
３と第２の推力ポート３５に接続された配管Ｌ４は、そ
れらに共通の配管Ｌ５に接続されている。この配管Ｌ５
はエア供給源Ｐに接続されている。第１の推力ポート３
４及び第２の推力ポート３５に共通の配管Ｌ５には、エ
ア供給源Ｐからの加圧エアを所定圧力にするレギュレー
タＲ１が接続され、その下流側にはレギュレータＲ１に
より所定圧力にされた加圧エアを減圧した制御エアとす
るための電空レギュレータＲ２が接続されている。従っ
て、第１の推力ポート３４及び第２の推力ポート３５に
はそれぞれ配管Ｌ３，Ｌ４を介して同圧の制御エアが供
給される。なお、レギュレータＲ１の設定圧は手動にて
適宜調節可能であり、電空レギュレータＲ２の設定圧力
は外部の図示しないコントローラにより適宜調節可能と
なっている。

【００４３】第１の推力ポート３４側の配管Ｌ３には、
配管Ｌ３を開放する位置と閉鎖する位置との２位置切換
可能な電磁切換弁Ｂが接続されている。従って、電磁切
換弁Ｂの切換に基づいて、第１の推力ポート３４への制
御エアの供給又は遮断を切り換えることができるように
なっている。なお、電磁切換弁Ｂは前記コントローラに
接続されていて同コントローラにより自動的に切り換え
られる。

【００４４】従って、図１に示すように、電磁切換弁Ｂ
が配管Ｌ３を閉鎖している場合には、第１の推力ポート
３４への制御エアの供給は遮断され、第２の推力ポート
３５へのみ制御エアが供給される。この制御エアは段差
部３６に作用し、ロッド８をシリンダブロック１１から
突出した位置から退避させる。

【００４５】一方、図４に示されるように、電磁切換弁
Ｂが配管Ｌ３を開放している場合には、第１の推力ポー
ト３４及び第２の推力ポート３５へそれぞれ同圧の制御
エアが供給される。この制御エアはロッド８の基端面に
作用するとともに、段差部３６に作用する。既述の通
り、ロッド８基端面の有効受圧面積は段差部３６の有効
受圧面積よりも大きく設定されているため、ロッド８基
端面の有効受圧面積から段差部３６の有効受圧面積を引
いた面積に基づく推力によってロッド８は突出される。

【００４６】次に、上記のように構成されたエアベアリ
ングシリンダ７及びシリンダシステムの作用について説
明する。エア供給源Ｐから供給される加圧エアは常時給
気ポート２９に供給されている。このため、加圧エアは
ロッド８内部の通路２６を介して常時エア噴出部材２
２，２５に供給されている。従って、エア噴出部材２２
から第１シリンダ室１２ａに対して噴出される加圧エ
ア、及びエア噴出部材２５から挿通孔１３に対して噴出
される加圧エアの圧力により、ロッド８は非接触的に支
承されている。エア噴出部材２２から噴出された加圧エ
アは集気空間３１に集められた後、排気ポート３２及び
配管Ｌ２を介して外部に排出される。又、エア噴出部材
２５から噴出された加圧エアは開放孔３３から外部に排
出される。

【００４７】図１に示すように、電磁切換弁Ｂが配管Ｌ
３を閉鎖している場合には、第１の推力ポート３４への
制御エアの供給は遮断され、第２の推力ポート３５への
み制御エアが供給される。この制御エアは段差部３６に
作用し、ロッド８をシリンダブロック１１から突出した
位置から退避させる。

【００４８】このロッド８を退避させた状態からロッド
８を突出させようとする場合、図４に示すように、コン
トローラにより電磁切換弁Ｂを切り換えて配管Ｌ３を開
放する。すると、第１の推力ポート３４及び第２の推力
ポート３５へそれぞれ同圧の制御エアが供給される。こ
れにより、制御エアはロッド８の基端面に作用するとと
もに、段差部３６に作用する。既述の通り、ロッド８基
端面の有効受圧面積は段差部３６の有効受圧面積よりも
大きく設定されているため、ロッド８基端面の有効受圧
面積から段差部３６の有効受圧面積を引いた面積に基づ
く推力によってロッド８は突出される。

【００４９】なおここで、エア噴出部材２２，２５から
噴出した加圧エア、及び給気ポート２９から通路２６に
加圧エアを供給する際に漏れた加圧エアがどのように排
出されるかについて詳述する。

【００５０】エア噴出部材２２から噴出した加圧エア
は、第１シリンダ室１２ａと第１ロッド部１４（小径部
１４ｂ）との間の隙間を介して第２シリンダ室１２ｂに
も流入する。電磁切換弁Ｂが配管Ｌ３を閉鎖している場
合には、この加圧エアは第１の推力ポート３４を介して
大気中に排出される。一方、電磁切換弁Ｂが配管Ｌ３を
開放している場合には、配管Ｌ３を介して第１の推力ポ
ート３４に供給されている制御エアに加圧エアが加わ
る。このため、配管Ｌ３，Ｌ４及び共通の配管Ｌ５の圧
力が上昇するが、この圧力上昇分は電空レギュレータＲ
２の排気ポートから排出されるため、前記制御エアの圧
力は一定に保たれるようになっている。

【００５１】又、エア噴出部材２５から噴出した加圧エ
アは、挿通孔３と第２ロッド部１５との間の隙間を介し
て第２の推力ポート３５の開口と対応する空間にも流入
する。この空間には給気ポート２９から通路２６に加圧
エアを供給する際に漏れた加圧エアも流入する。このた
め、配管Ｌ４を介して第２の推力ポート３５に供給され
ている制御エアに加圧エアが加わり、配管Ｌ３，Ｌ４及
び共通の配管Ｌ５の圧力が上昇する。この圧力上昇分は
電空レギュレータＲ２の排気ポートから排出されるた
め、制御エアの圧力は一定に保たれるようになってい
る。

【００５２】次に、上記のような構成及び作用を備えた
エアベアリングシリンダ７を用いて図３に示すようなマ
ニホールドシリンダ６を構成した場合について説明す
る。図１に示すように、シリンダブロック１１の一側面
は、ベースブロック４１の載置面４２に載置されてい
る。つまり、複数のエアベアリングシリンダ７は、全て
のポート２９，３２，３４，３５が形成されるシリンダ
ブロック１１の一側面をベースブロック４１の載置面４
２に載置し、各ロッド８が同一方向に突出するように並
設されている。なお、エアベアリングシリンダ７をベー
スブロック４１上に載置する際には図示しない位置決め
部材によってエアベアリングシリンダ７の位置決めがな
されている。ベースブロック４１には同ベースブロック
４１上に載置される各エアベアリングシリンダ７の各給
気ポート２９に連通する連通路４３が設けられている。
連通路４３はベースブロック４１のエアベアリングシリ
ンダ７並設方向の端面において開口し、この開口によっ
て共通給気ポート４４が形成されている（図３参照）。
このため、前記配管Ｌ１は共通給気ポート４４に接続さ
れ、各給気ポート２９は連通路４３、共通給気ポート４
４及び配管Ｌ１を介してエア供給源Ｐに接続される。従
って、エア供給源Ｐから加圧エアが配管Ｌ１を介して共
通給気ポート４４に供給されると、その加圧エアは、連
通路４３を介して各給気ポート２９に供給される。これ
により、マニホールドシリンダ６を構成する全てのエア
ベアリングシリンダ７のロッド８が非接触的に支承され
る。

【００５３】又、ベースブロック４１には前記連通路４
３と同様に各エアベアリングシリンダ７の排気ポート３
２を連通する連通路４５が設けられている。そして、連
通路４５はベースブロック４１のエアベアリングシリン
ダ７並設方向の端面において開口し、この開口によって
共通排気ポート４６が形成されている（図３参照）。こ
のため、前記配管Ｌ２は共通排気ポート４６に接続さ
れ、各排気ポート３２は連通路４５、共通排気ポート４
６を介して大気に開放されている配管Ｌ２に接続され
る。従って、集気空間３１に集められた加圧エアは各排
気ポート３２から連通路４５に排出され、更にその連通
路４５から共通排気ポート４６及び配管Ｌ２を介して大
気中に排出される。

【００５４】更に、シリンダブロック１１には第１の推
力ポート３４に連通する第１の供給ポート４７及び第２
の推力ポート３５に連通する第２の供給ポート４８が各
々のエアベアリングシリンダ７に対応して形成されてい
る。このため、第１の推力ポート３４にはそのエアベア
リングシリンダ７に対応する第１の供給ポート４７から
制御エアが供給される。又、第２の推力ポート３５には
そのエアベアリングシリンダ７に対応する第２の供給ポ
ート４８から制御エアが供給される。

【００５５】以下、上記のような実施形態における特徴
的な作用効果を述べる。 （１）ロッド８（第１ロッド部１４、第２ロッド部１
５）の外周面に設けたエア噴出部としてのエア噴出部材
２２，２５からロッド挿通孔としてのシリンダ室１２及
び挿通孔１３に対してぞれぞれ加圧エアを噴出すると、
ロッド８は非接触的に支承される。この様に、エア噴出
部材２２，２５をロッド８に設けているため、シリンダ
ブロック１１に軸受け部材等を設ける必要がない。つま
り、シリンダブロック１１に軸受け部材等のための設置
用スペースを確保する必要がなくなる。よって、シリン
ダブロック１１を肉薄に形成することが可能となり、比
較的容易にシリンダブロック１１のスリム化を図ること
ができる。

【００５６】（２）給気ポート２９に加圧エアが供給さ
れると、その加圧エアは、ロッド８に設けた開口部２８
及びロッド８の内部に設けた通路２６を介してエア噴出
部としてのエア噴出部材２２，２５に供給される。この
ため、給気ポート２９に供給された加圧エアをエア噴出
部材２２，２５に供給するための通路をシリンダブロッ
ク１１に形成する必要はなく、シリンダブロック１１の
スリム化に寄与することができる。

【００５７】（３）ロッド８において開口部２８を設け
た部分は、ロッド挿通孔としてのシリンダ室１２、即ち
第１シリンダ室１２ａよりも若干小径となっている。こ
のため、給気ポート２９に供給された加圧エアをほとん
ど漏らすことなく通路２６に供給することができる。

【００５８】（４）ロッド８を非接触的に支承すべくシ
リンダ室１２及び挿通孔１３に対してそれぞれ加圧エア
を噴出するエア噴出部をエア噴出部材２２，２５とし、
このエア噴出部材２２，２５をロッド８外周面の周方向
に設けられた収容凹部２１，２４に配設した。これによ
り、収容凹部２１，２４の分だけエア噴出部材２２，２
５の内面側がロッド８の外周面に埋め込まれた状態とな
る。このため、エア噴出部材２２，２５がロッド８の外
周面から突出する量を小さくしたり、ロッド８の外周面
から突出しないようにすることができる。従って、シリ
ンダブロック１１のスリム化と相俟ってエアベアリング
シリンダ７全体をスリム化することができる。

【００５９】（５）前記エア噴出部材２２，２５を多数
の微細な孔を有する多孔質体により形成しているため、
加圧エアはエア噴出部材２２，２５の内面からシリンダ
室１２及び挿通孔１３に対してそれぞれムラなく均等に
噴出される。このため、エア噴出部材２２とシリンダ室
１２とのクリヤランス及びエア噴出部材２５と挿通孔１
３とのクリヤランスが小さくても、ロッド８がシリンダ
室１２及び挿通孔１３と摺接する可能性は低い。又、ロ
ッド８の偏心を抑えることができる。

【００６０】（６）前記エア噴出部材２２，２５を形成
する多孔質体を固体潤滑機能を有する多孔質焼結体とし
たため、金属製のシリンダブロック１１に形成されたシ
リンダ室１２及び挿通孔１３とエア噴出部材２２，２５
とが接触する場合があったとしても、エア噴出部材２
２，２５によってシリンダ室１２及び挿通孔１３を形成
するシリンダブロックの内壁面を削ってしまうことな
い。このため、シリンダ室１２及び挿通孔１３内に削り
かす等が発生することがなく、ロッド８を移動させても
その削りかす等によってロッド８の移動を妨げられるこ
とはない。

【００６１】（７）ロッド８外周面の周方向全体に亘っ
て形成された収容凹部２１，２４に、エア噴出部材２
２，２５をロッド８外周面の周方向全体に亘って配設し
たため、加圧エアはロッド８の周方向全体に亘って均等
に噴出される。このため、エア噴出部材２２，２５を設
けた部分におけるロッド８の外周全体が非接触的に支承
される。従って、ロッド８を確実に支承させることがで
きる。なお、本実施形態では、ロッド８に設けたエア噴
出部材２２，２５を円環状としているため、ロッド８を
より確実に支承させることができる。

【００６２】（８）第１ロッド部１４に設けたエア噴出
部材２２を、小径部１４ｂの外周面に設けたため、エア
噴出部材２２は小径部１４ｂの外周面から突出してい
る。又、第２ロッド部１５においてエア噴出部材２５を
設けた部分の外径は挿通孔１３よりも若干小径となるよ
うに形成した。つまり、ロッド８外周面の周方向全体に
亘って設けたエア噴出部材２２，２５をロッド８の外周
面から突出させるようにした。このため、エア噴出部材
２２，２５を設けた部分におけるロッド８は、エア噴出
部材２２，２５のみによって支承されることになり、ロ
ッド８の偏心を極力抑えることができる。

【００６３】（９）第１ロッド部１４において、小径部
１４ｂの外周面にエア噴出部材２２をその外周面から突
出するように設け、このエア噴出部材２２と小径部１４
ｂとの段差部、小径部１４ｂ、及び大径部１４ａと小径
部１４ｂとの段差部によって形成される空間を集気空間
３１として利用している。このため、集気空間３１を形
成するための溝をシリンダブロック１１側に設ける必要
がなく、シリンダブロック１１を簡単に製造することが
できる。

【００６４】（１０）ロッド８の内部に形成され、ロッ
ド８の外周面に設けた開口部２８とエア噴出部材２２，
２５とを連通する通路２６を、ロッド８の軸方向に延び
るように形成するとともに、ロッド８の基端面に軸方向
に延びるように形成されたねじ孔１６と連通するように
した。即ち、ねじ孔１６を利用して通路２６を形成する
ようにした。このため、通路２６を形成する際には、ね
じ孔１６の形成と併せてロッド８の基端面から通路２６
を形成することができる。従って、通路２６の形成を容
易に行うことができる。

【００６５】（１１）全てのポート２９，３２，３４，
３５がシリンダブロック１１の一側面に集中して配置さ
れているため、エアベアリングシリンダ７に対して集中
配管を行うことができる。このため、配管作業が容易と
なるとともに、配管が寄り集まって込み合うことを防止
することができ、更には省スペース化を図ることもでき
る。又、ロッド８の突出方向が同一となるように複数の
エアベアリングシリンダ７を並設してマニホールドシリ
ンダ６を構成することができる。

【００６６】（１２）ロッド８の開口部２８に加圧エア
を供給した場合、その加圧エアを通路２６を介してエア
噴出部材２２，２５へと導き、そこから外部に噴出させ
ることができる。このようなロッド８がシリンダブロッ
ク１１のシリンダ室１２及び挿通孔１３に挿通されてい
る。このため、シリンダ室１２及び挿通孔１３を形成す
るシリンダブロック１１の内壁面に対して加圧エアが噴
出され、ロッド８が前記内壁面に対して非接触的に支承
される。従って、軸受け部材をシリンダブロック１１側
に設けることが不要となり、シリンダブロック１１側に
軸受け部材等のための設置用スペースを確保する必要が
なくなる。よって、シリンダブロック１１を肉薄に形成
することが可能となり、比較的容易にシリンダブロック
１１のスリム化に寄与することができる。又、ロッド８
内部に通路２６が形成されているため、その分ロッド８
を軽量化することができる。それにより、ロッド８が制
御し易くなって精度の高い制御を行うことができる。従
って、マニホールドシリンダ６においては、各エアベア
リングシリンダ７のロッド８を均一に制御させることが
できるようになる。

【００６７】（１３）エアベアリングシリンダ７を各々
のロッド８が同一方向に突出するように複数並設したマ
ニホールドシリンダ６によれば、例えば複数並設された
作業対象に対して有効である。特に、図２において研磨
フィルム４を介して複数並設された治具３の先端に固定
したチップ５を押圧しようとする場合に好適である。そ
して、各ロッド８を同時に突出させるような制御を行え
ば、複数の作業対象に対して同時に作業を行うことがで
き、効率的な作業を行うことができる。

【００６８】（１４）各エアベアリングシリンダ７の給
気ポート２９が、ベースブロック４１に形成された連通
路４３を介して連通され、この連通路４３は共通給気ポ
ート４４に連通される。このため、共通給気ポート４４
に加圧エアを供給すると、連通路４３を介して各給気ポ
ート２９に加圧エアが供給される。つまり、給気ポート
２９に対する配管作業が容易となるとともに、マニホー
ルドシリンダ６に対する配管が寄り集まって込み合うこ
とを軽減することができる。

【００６９】（１５）エア噴出部材２２，２５がロッド
８に設けられているため、シリンダブロック１１の内面
を加工する際にその加工対象はシリンダブロック１１を
形成している金属材料のみとなる。通常、シリンダブロ
ック１１の内面加工は旋盤加工により行っている。その
際用いるシャンクとしてはシリンダブロック１１の内径
によってはφ６ｍｍ以下となる場合がある。このように
細い径のシャンクであっても、その加工対象がシリンダ
ブロック１１を形成している金属材料のみであれば、加
工は行いやすい。一方、シリンダブロック１１の内面に
軸受け部材を設けている場合、シリンダブロック１１と
軸受け部材との機械的強度の相違のため、シャンクの剛
性の低さと相俟って加工が難しくなり正確に加工するこ
とができない。この問題は、軸受け部材としてシリンダ
ブロック１１を形成する材質より硬い材質からなる多孔
質体を用いた場合に顕著となる。従って、ロッド８にエ
ア噴出部材２２，２５を設けたことにより、シリンダブ
ロック１１の内面に軸受け部材を設けている場合に比べ
て、シリンダブロック１１の加工を容易に行うことがで
きる。

【００７０】しかも、エア噴出部材２２，２５がロッド
８に設られていても、ロッド８及びエア噴出部材２２，
２５の加工は外面加工であるため、その加工が難しくな
ることはほとんどない。従って、エア噴出部材２２，２
５をロッド８に設けたことにより、エアベアリングシリ
ンダ７全体の加工を容易に行うことができる。

【００７１】尚、上記した各実施形態は、例えば次のよ
うに変更することも可能である。 ◎第２ロッド部１５に設けられるエア噴出部材２５を、
図５に示すように挿通孔１３の内壁面側に設けてもよ
い。この場合、エア噴出部材２５に加圧エアを供給する
ための給気ポート５１がシリンダブロック１１の一側面
に設けられてもよい。又、この場合においても、エア噴
出部材２５を挿通孔１３の内壁面から突出させるように
することが好ましい。ところで、このように第２ロッド
部１５に設けられるエア噴出部材２５をシリンダブロッ
ク１１の内壁面側に設けてもよい理由は次のとおりであ
る。即ち、挿通孔１３はシリンダ室１２よりも小径であ
るため、挿通孔１３が形成される部分のシリンダブロッ
ク１１はシリンダ室１２に対応する部分よりも厚みがあ
る。このため、シリンダ室１２に対応している第１ロッ
ド部１４に設けたエア噴出部材２２をシリンダブロック
１１側に設けるのに比べれば、シリンダブロック１１を
スリム化することが可能であるからである。なお、給気
ポート２９をシリンダブロック１１内部で分岐させて、
エア噴出部材２５に加圧エアを供給するようにしてもよ
い。

【００７２】◎ロッド８の内部には加圧エアをエア噴出
部材２２，２５に供給するための通路２６だけでなく、
例えば図６に示すようにロッド８の先端部に被吸着物を
吸着させるべく真空引き用の通路５２を形成してもよ
い。この構成の場合、シリンダブロック１１の大径部１
４ａに対応する部分に真空引き用のポート５３を形成
し、そのポート５３に対応するように大径部１４ａには
開口部５４が設けられている。この開口部５４はロッド
８の移動に対応するべく幅広に形成されている。なお、
この構成におけるロッド８はその周方向での断面形状が
楕円や角形状等のような非円形状であることが好まし
い。又、図６に示したロッド８は、その軸線方向での断
面が図１及び図４において示した断面とは異なってい
る。

【００７３】◎前記実施形態では、ロッド８の往復動制
御が可能ないわゆる往復動型のエアベアリングシリンダ
７を例示して説明したが、いわゆる単動型のものとして
具体化してもよい。

【００７４】◎ロッド８の周方向での断面は、円形状を
想定して説明したが、円形状に限らず例えば楕円形状、
角形状等であってもよい。このように、非円形状である
場合にはロッド８の周方向の回転が規制される。

【００７５】◎エア噴出部材２２，２５をロッド８の外
周面から突出させるように設けたが、ロッド８の外周面
と面一になるように設けてもよい。なお、このような構
成とする場合、第１ロッド部１４を大径部１４ａと同じ
外径を備えたロッドのみから構成し、又、第２ロッド部
１５の外径は挿通孔１３よりも若干小径であるとするこ
とが好ましい。

【００７６】◎収容凹部２１，２４に配設したエア噴出
部材２２，２５をエア噴出部であるとして説明したが、
エア噴出部としてはこれ以外の構成であってもよい。例
えば、ロッド８全体を多孔質体で形成し、一部を除いて
マスクするような構成とした場合、この一部がエア噴出
部となり得る。

【００７７】◎多孔質体からなるエア噴出部材２２，２
５の材質として固体潤滑機能を有する多孔質焼結体を例
示したが、樹脂、金属、セラミックス等の材質からなる
多孔質体であってもよい。又、多孔質体でなくても、例
えば複数の貫通孔を有する部材で構成することも可能で
ある。

【００７８】◎エアベアリングシリンダ７によってマニ
ホールドシリンダ６を構成することについて説明した
が、エアベアリングシリンダ７を単体で使用することも
勿論可能である。又、複数のエアベアリングシリンダ７
から構成されるマニホールドシリンダ６の使用形態とし
て、半導体製造プロセスにおいて研磨フィルム４を介し
て治具３の先端に固定されたチップ５を押圧することを
示したが、これ以外の各種使用形態が可能である。勿
論、半導体製造プロセスにおいてのみ使用されるもので
もない。

【００７９】◎ロッド８の基端面にストッパ１７を設け
るように構成したが、このストッパ１７はロッド８と一
体に形成してもよい。それにより、ねじ部材１８が必要
なくなるため、部品点数を少なくすることができる。

【００８０】◎エア噴出部材２２，２５は円環状に設け
られているとしたが、必ずしも円環状に設ける必要はな
い。例えば、複数のエア噴出部材を所定間隔を隔てて周
方向に設けるようにしてもよい。

【００８１】◎ベースブロック４１において、各エアベ
アリングシリンダ７の第１の推力ポート３４及び第２の
推力ポート３５にそれぞれ連通する第１の供給ポート４
７及び第２の供給ポート４８を設けているが、供給ポー
トはそれぞれにおいて共通化してもよい。

【００８２】◎第１の推力ポート３４、第２の推力ポー
ト３５及び給気ポート２９に接続されるエア回路は、例
えば給気ポート２９に供給される加圧エアのみを別の圧
力供給源から供給するように構成する等、他の回路構成
を用いてもよい。

【００８３】次に、上記各実施の形態から把握できる請
求項以外の技術思想について、以下にその効果とともに
記載する。 ・請求項２において、前記ロッドの基端面に同ロッドの
軸線方向に沿ってねじ孔を形成し、そのねじ孔にねじ部
材を螺合させることによりロッドの長手方向の移動を規
制するストッパを設け、前記通路を前記ねじ孔を利用し
て形成した。この構成によれば、エア噴出部と開口部と
を連通する通路をロッド内部に形成する際に、その通路
の形成を容易に行うことができる。

【００８４】・請求項３において、前記ロッドに大径部
とその大径部よりも小径の小径部とを形成し、その小径
部に収容凹部を形成するとともにその収容凹部に小径部
の外周面から突出するようにエア噴出部材を配設し、エ
ア噴出部材と小径部との段差部、小径部、及び大径部と
小径部との段差部によって形成される空間を集気空間と
して利用した。この構成は、請求項４において第１ロッ
ド部に適用しても有効である。このような構成により、
エア噴出部材から噴出した加圧エアを集める集気空間を
形成するため、シリンダブロック側に溝を設ける必要が
なくなり、シリンダブロックを簡単に製造することがで
きる。

【００８５】・請求項５において、前記エア噴出部材を
ロッドの外周面から突出させるように設けた。この構成
により、エア噴出部材を設けた部分におけるロッドは、
エア噴出部材のみによって支承されることになり、ロッ
ドの偏心を極力抑えることができる。

【００８６】・請求項２乃至６のいずれか１項におい
て、前記ロッドを所定の範囲内で移動可能に設け、前記
開口部の周囲又は前記給気ポートに対応するシリンダブ
ロックの内壁面のいずれか一方に、ロッドが移動した際
に開口部と給気ポートとの連通状態を常に維持すべく軸
線方向に少なくともロッドの移動範囲と同じ長さを備え
たエアポケットを設けた。この構成によれば、ロッドが
移動しても開口部と給気ポートとの連通状態が維持され
るため、エア噴出部又はエア噴出部材には常に加圧エア
を供給することができる。

【００８７】・請求項１乃至６のいずれか１項におい
て、前記エア噴出部又は前記エア噴出部材は円環状であ
るとした。この構成によれば、より確実にロッドを支承
させることができる。

【００８８】・請求項１乃至７のいずれか１項におい
て、前記ロッドの内部に該ロッドの先端に開口する開放
通路を形成し、前記シリンダブロックの前記給気ポート
とは異なる位置に排気ポートを設け、その排気ポートと
前記開放通路とを連通した。この構成によれば、開放通
路が開口するロッドの先端部に被吸着物を吸着させるこ
とができる。又、ロッドの軽量化を図ることもできる。

【００８９】・請求項４において、第１ロッド部及び第
２ロッド部の両方にエア噴出部材を設け、更にその両エ
ア噴出部材を前記開口部を介して離間した状態で設け
た。この構成によれば、離間した位置でロッドが支承さ
れるため、より確実にロッドを支承させることができ
る。

【００９０】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１乃至６に
記載の発明によれば、シリンダブロックを肉薄に形成す
ることが可能となり、比較的容易にシリンダブロックの
スリム化を図ることができる。

【００９１】特に、請求項２に記載の発明によれば、給
気ポートに供給された加圧エアをエア噴出部に供給する
ための通路をシリンダブロックに形成する必要はなく、
シリンダブロックのスリム化に寄与することができる。

【００９２】請求項３に記載の発明によれば、シリンダ
ブロックのスリム化と相俟ってエアベアリングシリンダ
全体をスリム化することができる。請求項４に記載の発
明によっても、上記請求項２及び３に記載された効果と
同様の効果を得ることができる。

【００９３】請求項５に記載の発明によれば、エア噴出
部材を設けた部分におけるロッドの外周全体が非接触的
に支承されるため、ロッドを確実に支承させることがで
きる。

【００９４】請求項６に記載の発明によれば、給気ポー
トに供給された加圧エアをほとんど漏らすことなく通路
に供給することができる。又、請求項７に記載の発明に
よれば、シリンダブロックに形成されたロッド挿通孔に
挿通すると、シリンダブロックを肉薄に形成することが
可能となり、比較的容易にシリンダブロックのスリム化
を図ることができる。又、軽量化を図ることもできる。

【００９５】更に、請求項８及び９に記載の発明によれ
ば、複数並設された作業対象に対して有効である。特
に、請求項９に記載の発明によれば、給気ポートに対す
る配管作業が容易となるとともに、マニホールドシリン
ダに対する配管が寄り集まって込み合うことを軽減する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本実施形態のエアベアリングシリンダ及びそ
のエアベアリングシリンダを使用したマニホールドシリ
ンダを示す断面図。

【図２】 チップ研磨装置を示す概略図。

【図３】 マニホールドシリンダを示す斜視図。

【図４】 本実施形態のエアベアリングシリンダ及びそ
のエアベアリングシリンダを使用したマニホールドシリ
ンダを示す断面図。

【図５】 エアベアリングシリンダの別例を示す断面
図。

【図６】 エアベアリングシリンダの別例を示す断面
図。

【図７】 従来のエアベアリングシリンダを示す断面
図。

【符号の説明】

８…ロッド、１１…シリンダブロック、１２…ロッド挿
通孔としてのシリンダ室、１３…ロッド挿通孔としての
挿通孔、１４…第１ロッド部、１５…第２ロッド部、２
１，２４…収容凹部、２２，２５…エア噴出部としての
エア噴出部材、２６…通路、２８…開口部、２９…給気
ポート、４１…ベースブロック、４２…載置面、４３…
連通路、４４…共通給気ポート。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シリンダブロックにロッド挿通孔を設
   け、そのロッド挿通孔内に流体の給排により駆動される
   ロッドを自身の軸線方向に沿って出没可能に挿通し、前
   記ロッド挿通孔の内壁面に対応する前記ロッドの外周面
   に、ロッド挿通孔の内壁面に対し加圧エアを噴出するこ
   とによって前記ロッドを非接触的に支承させるエア噴出
   部を設けたエアベアリングシリンダ。
2. 【請求項２】 前記ロッドの外周面にはエア噴出部を設
   けた部分とは異なる位置にロッド内部に形成された通路
   を介してエア噴出部と連通する開口部を設け、前記シリ
   ンダブロックにはその開口部と対応する位置に開口し、
   同開口部に加圧エアを供給する給気ポートを設けた請求
   項１に記載のエアベアリングシリンダ。
3. 【請求項３】 前記エア噴出部はエア噴出部材であり、
   そのエア噴出部材は前記ロッド外周面の周方向に設けら
   れた収容凹部に配設されている請求項１又は２に記載の
   エアベアリングシリンダ。
4. 【請求項４】 シリンダブロックにシリンダ室及び挿通
   孔を設け、その挿通孔内に流体の給排により駆動される
   ロッドを自身の軸線方向に沿って出没可能に挿通し、前
   記シリンダ室の断面形状よりも前記挿通孔の断面形状を
   小さく形成し、前記ロッドを、前記シリンダ室よりも小
   径でかつ挿通孔よりも大径の第１ロッド部と、該第１ロ
   ッド部の先端側に一体形成され前記挿通孔よりも小径で
   かつ前記第１ロッド部よりも小径の第２ロッド部とから
   構成し、前記第１ロッド部及び第２ロッド部の少なくと
   も一方の外周面に収容凹部を設け、その収容凹部にはシ
   リンダ室又は挿通孔の内壁面に対し加圧エアを噴出する
   ことによって前記第１ロッド部又は第２ロッド部を非接
   触的に支承させるエア噴出部材を配設し、更に、前記ロ
   ッドの外周面にはエア噴出部材を設けた部分とは異なる
   位置にロッド内部に形成された通路を介してエア噴出部
   材の内周側と連通する開口部を設け、前記シリンダブロ
   ックにはその開口部と対応する位置に開口し、同開口部
   に加圧エアを供給する給気ポートを設けたエアベアリン
   グシリンダ。
5. 【請求項５】 前記エア噴出部又は前記エア噴出部材は
   ロッド外周面の周方向全体に亘って配設されている請求
   項１乃至４のいずれか１項に記載のエアベアリングシリ
   ンダ。
6. 【請求項６】 前記ロッドの前記開口部を設けた部分を
   ロッド外周面の周方向全体に亘って前記ロッド挿通孔又
   はシリンダ室及び挿通孔よりも若干小径とした請求項２
   乃至５のいずれか１項に記載のエアベアリングシリン
   ダ。
7. 【請求項７】 シリンダブロックに設けられたロッド挿
   通孔に自身の軸線方向に沿って出没可能に挿通され、前
   記シリンダブロック側からの加圧エアの供給により非接
   触的に支承されるエアベアリングシリンダ用のロッドで
   あって、 外周面の所定位置に設けられたエア噴出部と、外周面に
   おいて前記エア噴出部とは異なる位置に設けられた開口
   部と、その開口部と前記エア噴出部とを連通する通路と
   を備えたエアベアリングシリンダ用のロッド。
8. 【請求項８】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
   エアベアリングシリンダを、各々のロッドが同一方向に
   突出するように複数並設したマニホールドシリンダ。
9. 【請求項９】 共通給気ポート及びそれに連通する連通
   路を備えるベースブロックの載置面に、請求項１乃至６
   のいずれか１項に記載のエアベアリングシリンダを各々
   のロッドが同一方向に突出するように複数並設し、前記
   各エアベアリングシリンダの給気ポートに対して前記共
   通給気ポート及び連通路を介して加圧エアが供給される
   マニホールドシリンダ。