JPH11265792A - EL device - Google Patents
EL deviceInfo
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- JPH11265792A JPH11265792A JP10085118A JP8511898A JPH11265792A JP H11265792 A JPH11265792 A JP H11265792A JP 10085118 A JP10085118 A JP 10085118A JP 8511898 A JP8511898 A JP 8511898A JP H11265792 A JPH11265792 A JP H11265792A
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- organic
- electrode
- anode electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非発光時のコントラストを低くし、非発光不
良部分の発生、ショート、絶縁破壊などの不良が生じる
のを抑制した電界発光素子を提供する。
【解決手段】 ガラス基板11上にアノード電極12が
形成され、アノード電極12を覆うようにブラックマス
ク膜13が形成されている。このブラックマスク膜13
の開口部13Cに有機EL層15が形成され、この有機
EL層15を完全に覆うようにカソード電極16が形成
されている。このような構成により、有機EL層15が
露出することがなく、アノード電極12/有機EL層1
5の界面やカソード電極16/有機EL層15の界面か
ら水分や酸素が侵入するのを抑制することができる。こ
のため、有機EL層15の劣化を抑制して、非発光不良
が発生したり、ショート、絶縁破壊などの不良が生じる
のを抑制できる。
(57) [Problem] To provide an electroluminescent element in which the contrast at the time of non-light emission is reduced and the occurrence of a non-light-emission defective portion, short-circuit, insulation breakdown and the like are suppressed. SOLUTION: An anode electrode 12 is formed on a glass substrate 11, and a black mask film 13 is formed so as to cover the anode electrode 12. This black mask film 13
An organic EL layer 15 is formed in the opening 13C, and a cathode electrode 16 is formed to completely cover the organic EL layer 15. With such a configuration, the organic EL layer 15 is not exposed, and the anode electrode 12 / the organic EL layer 1 is not exposed.
5 and the interface between the cathode electrode 16 and the organic EL layer 15 can be prevented from entering moisture or oxygen. For this reason, deterioration of the organic EL layer 15 can be suppressed, and occurrence of non-light emission failure or short-circuit, insulation breakdown, and other defects can be suppressed.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、有機発光材料を
用いた電界発光素子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electroluminescent device using an organic luminescent material.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、電界発光素子である有機エレクト
ロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子という)
が、自己発光による視認性が高く、固体素子であるため
耐衝撃性に優れ、直流低電圧駆動素子を実現するものと
して注目を集めている。2. Description of the Related Art In recent years, an organic electroluminescent device (hereinafter, referred to as an organic EL device) which is an electroluminescent device.
However, attention is being paid to realizing a DC low-voltage drive element, which has high visibility due to self-emission, is excellent in shock resistance because it is a solid element, and is a solid-state element.
【0003】以下、図7〜図10を用いて従来の有機E
L素子の代表的な製造プロセスを説明する。まず、ガラ
ス基板1上に略全面に亙って、例えばITO(indium t
in oxide)などでなる透明導電膜を膜厚が約200nm
になるように成膜する。そして、フォトリソグラフィー
技術を用いて図7に示すように透明導電膜をパターニン
グしてアノード電極2を形成する。Hereinafter, a conventional organic E will be described with reference to FIGS.
A typical manufacturing process of an L element will be described. First, for example, an ITO (indium tint) is formed on the glass substrate 1 over almost the entire surface.
a transparent conductive film of about 200 nm in thickness
The film is formed so that Then, the transparent conductive film is patterned by using the photolithography technique to form the anode electrode 2 as shown in FIG.
【0004】次に、図8に示すように、アノード電極2
の所定箇所(発光領域とする部分)を幅方向に完全に覆
うように矩形状の有機EL層3を形成する。この有機E
L層3を形成するには、矩形状に窓開けされたハードマ
スクを用いて、有機正孔輸送層、有機発光層、有機電子
輸送層の順で、真空蒸着装置を用いて連続成膜してい
る。[0004] Next, as shown in FIG.
A rectangular organic EL layer 3 is formed so as to completely cover a predetermined portion (a portion to be a light emitting region) in the width direction. This organic E
In order to form the L layer 3, using a hard mask having a rectangular window, an organic hole transporting layer, an organic light emitting layer, and an organic electron transporting layer are sequentially formed using a vacuum evaporation apparatus in this order. ing.
【0005】その後、図9に示すように、有機EL層3
の幅寸法より幅の短い、例えばMg−Inなどの金属で
なるカソード電極4を、ハードマスクを用いて真空蒸着
装置によりパターン形成する。[0005] Thereafter, as shown in FIG.
The cathode electrode 4 having a width smaller than the width dimension of, for example, a metal such as Mg-In is patterned by a vacuum evaporation apparatus using a hard mask.
【0006】このようして製造された有機EL素子5
は、アノード電極2とカソード電極4とが有機EL層3
を介して直接接触しない構造となっている。The organic EL device 5 manufactured as described above
Means that the anode electrode 2 and the cathode electrode 4 are the organic EL layer 3
The structure is such that it does not directly contact via
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た電界発光素子5の構造では有機EL層3が露出した部
分が存在するため、水分や酸素の影響により、この露出
部分から、アノード電極2と有機EL層3との界面や、
カソード電極4と有機EL層3との界面で、酸化や剥離
さらには結晶化が進行し、局部的に非発光不良部分(ダ
ークエリア、ダークスポットなど)が発生し易くなると
いう問題があった。However, in the structure of the above-described electroluminescent element 5, there is a portion where the organic EL layer 3 is exposed. The interface with the EL layer 3,
At the interface between the cathode electrode 4 and the organic EL layer 3, oxidation, peeling, and crystallization progress, and there is a problem that a non-light emitting defective portion (dark area, dark spot, or the like) is easily generated locally.
【0008】また、アノード電極2とカソード電極4と
交差する部分では、図10に示すように、アノード電極
2の側壁の段差に対して有機EL層3のステップカバレ
ージが悪いため、有機EL層3の膜厚がアノード電極2
のエッジ部(肩部)で局所的に薄く、アノード電極2と
カソード電極4との間でショートや過電流による絶縁破
壊が起こり易いという問題があった。[0010] Further, as shown in FIG. 10, the step coverage of the organic EL layer 3 is poor at the intersection of the anode electrode 2 and the cathode electrode 4 with respect to the step on the side wall of the anode electrode 2. Thickness of anode electrode 2
At the edge portion (shoulder portion), there is a problem that insulation breakdown due to short-circuit or overcurrent easily occurs between the anode electrode 2 and the cathode electrode 4.
【0009】さらに、セグメント方式によるキャラクタ
表示を行う場合には、アノード電極2とカソード電極4
との電極双方に構造的な工夫を加えなくてはならず、設
計の自由度が制限され、微細化しにくいという問題があ
った。Further, when displaying a character by the segment method, the anode electrode 2 and the cathode electrode 4 are used.
In addition, there has been a problem that structural measures have to be added to both of the electrodes, the degree of freedom of design is limited, and miniaturization is difficult.
【0010】これらの問題が存在するため、上記した構
造の従来の有機EL素子5においては、無機発光素子
(有機絶縁膜分散型無機EL素子)に比較して、長期保
存信頼性(寿命)が低く(短く)実用化の障害となって
いる。そして、従来の有機EL素子5のアノード電極
2、有機EL層3、カソード電極4は、暗色ではないの
で、非発光時のコントラストが高いという問題があっ
た。Due to these problems, the conventional organic EL device 5 having the above-described structure has a long-term storage reliability (lifetime) as compared with an inorganic light emitting device (organic insulating film-dispersed inorganic EL device). It is low (short) and is an obstacle to practical application. In addition, since the anode electrode 2, the organic EL layer 3, and the cathode electrode 4 of the conventional organic EL element 5 are not dark, there is a problem that the contrast when light is not emitted is high.
【0011】本発明は、このような事情に着目して創案
されたものであり、その目的とするところは、非発光時
のコントラストを低く抑え、非発光不良部分の発生、シ
ョート、絶縁破壊などの不良が生じるのを抑制すると共
に、さらにキャラクタ表示をする場合に設計の自由度を
向上させた電界発光素子を提供するものである。The present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to suppress the contrast at the time of non-light emission, to generate a non-light emission defective portion, short-circuit, insulation breakdown and the like. It is an object of the present invention to provide an electroluminescent device in which the occurrence of a defect is suppressed and the degree of freedom in design for displaying a character is improved.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
絶縁基板の上に所定パターンの第1電極が形成され、該
第1電極の上にEL層が形成され、該EL層の上に第2
電極が形成され、前記第1電極と前記第2電極とが前記
EL層を介して重なる領域が発光する電界発光素子であ
って、前記第1電極が、当該第1電極の上面の領域内に
位置する開口部が形成されたブラック絶縁膜で、覆われ
ると共に、前記開口部の内壁に沿って前記EL層が形成
され、前記EL層の露出部分を覆うように前記第2電極
が形成されていることを特徴としている。According to the first aspect of the present invention,
A first electrode having a predetermined pattern is formed on an insulating substrate, an EL layer is formed on the first electrode, and a second electrode is formed on the EL layer.
An electroluminescent element in which an electrode is formed and a region where the first electrode and the second electrode overlap with each other via the EL layer emits light, wherein the first electrode is located in a region on the upper surface of the first electrode. The EL layer is formed along the inner wall of the opening while being covered with a black insulating film having an opening formed therein, and the second electrode is formed so as to cover an exposed portion of the EL layer. It is characterized by having.
【0013】請求項1記載の発明では、ブラック絶縁膜
に形成された開口部が第1電極上面の領域範囲内に位置
するため、EL層と第1電極とが接触する領域が規定さ
れ、この領域が発光領域となる。また、開口部以外のブ
ラック絶縁膜が第1電極を覆っているため、EL層の発
光領域に第1電極側から水分や酸素が侵入するのを抑制
する作用がある。また、EL層は、第2電極で覆われて
いるため、第2電極とEL層との界面に水分や酸素が侵
入するのを抑制する作用がある。このため、EL層の劣
化を抑制でき、非発光不良部分の発生を抑制することが
できる。According to the first aspect of the present invention, since the opening formed in the black insulating film is located within the region of the upper surface of the first electrode, the region where the EL layer and the first electrode are in contact is defined. The area becomes a light emitting area. In addition, since the black insulating film other than the opening covers the first electrode, the black insulating film has an effect of preventing moisture and oxygen from entering the light emitting region of the EL layer from the first electrode side. Further, since the EL layer is covered with the second electrode, the EL layer has an effect of preventing moisture and oxygen from entering the interface between the second electrode and the EL layer. For this reason, the deterioration of the EL layer can be suppressed, and the occurrence of a non-light emitting defective portion can be suppressed.
【0014】請求項2記載の発明は、請求項1記載の電
界発光素子であって、前記ブラック絶縁膜は感光性を有
する合成樹脂で形成され、且つ前記開口部は露光・現像
により形成されたことを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, in the electroluminescent device of the first aspect, the black insulating film is formed of a photosensitive synthetic resin, and the opening is formed by exposure and development. It is characterized by:
【0015】請求項2記載の発明では、ブラック絶縁膜
を合成樹脂で形成することにより、形成に際してスピン
コーティングや他のウェットコーティング法を用いるこ
とが可能となり、平坦な絶縁膜を形成することができ
る。このため、第1電極のエッジ部と第2電極との絶縁
距離を確保でき、ショート、絶縁破壊などの不良が生じ
るのを抑制することができる。According to the second aspect of the present invention, by forming the black insulating film with a synthetic resin, it is possible to use spin coating or another wet coating method at the time of forming the black insulating film, so that a flat insulating film can be formed. . For this reason, the insulation distance between the edge portion of the first electrode and the second electrode can be secured, and occurrence of defects such as short circuit and dielectric breakdown can be suppressed.
【0016】請求項3記載の発明は、請求項1記載の電
界発光素子であって、前記ブラック絶縁膜は印刷法によ
り形成されたことを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, in the electroluminescent device according to the first aspect, the black insulating film is formed by a printing method.
【0017】請求項3記載の発明では、印刷法によりブ
ラック絶縁膜を平坦に形成できるため、ショート、絶縁
破壊などの不良が生じるのを抑制することができる。According to the third aspect of the present invention, since the black insulating film can be formed flat by the printing method, occurrence of defects such as short circuit and dielectric breakdown can be suppressed.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下、この発明に係る電界発光素
子の詳細を図1〜図6に示す実施形態に基づいて説明す
る。なお、電界発光素子の構造の説明に先駆けて、電界
発光素子の製造プロセスを説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the electroluminescent device according to the present invention will be described below with reference to the embodiments shown in FIGS. Prior to the description of the structure of the electroluminescent device, a manufacturing process of the electroluminescent device will be described.
【0019】まず、図1に示すように、ガラス基板11
の上に膜厚約200nmのITOでなる透明導電膜を成
膜し、フォトリソグラフィー技術を用いて、第1電極と
してのアノード電極12を所望のパターンに形成する。
なお、本実施形態においては、説明の便宜上、2本のア
ノード電極2を有する例を用いて説明する。First, as shown in FIG.
A transparent conductive film made of ITO having a thickness of about 200 nm is formed thereon, and an anode electrode 12 as a first electrode is formed in a desired pattern by using a photolithography technique.
In this embodiment, for convenience of explanation, an example having two anode electrodes 2 will be described.
【0020】その後、図2に示すように、アノード電極
12が形成されたガラス基板11上の略全面に、カーボ
ンブラック等の顔料系又は染料系の感光性を有する樹脂
材料でなる絶縁膜としてのブラックマスク膜13を、ス
ピンコーティング法や印刷法により、膜厚が0.5〜
1.5μmになるように形成する。ブラックマスク膜1
3は黒色であり、後述する有機EL層15の発光する波
長域に対して不透明である。Thereafter, as shown in FIG. 2, an insulating film made of a pigment-based or dye-based photosensitive resin material such as carbon black is formed on substantially the entire surface of the glass substrate 11 on which the anode electrode 12 is formed. The thickness of the black mask film 13 is set to 0.5 to 0.5 by spin coating or printing.
It is formed to have a thickness of 1.5 μm. Black mask film 1
Reference numeral 3 denotes black, which is opaque to a wavelength range in which the organic EL layer 15 emits light, which will be described later.
【0021】次に、図3(a)〜(c)及び図4を用い
て有機EL層15を形成するための工程を説明する。な
お、図3(a)〜(c)は、図2のA−A断面に相当す
る部分を示している。Next, a process for forming the organic EL layer 15 will be described with reference to FIGS. 3 (a) to 3 (c) and FIG. 3 (a) to 3 (c) show portions corresponding to the AA cross section in FIG.
【0022】まず、図3(a)に示すように、上記した
工程で形成されたブラックマスク膜13の上方に所定パ
ターンのフォトマスク14を配置して、露光を行う。同
図中符号13A、13Bはブラックマスク膜13におけ
る露光部分を示している。その後、図3(b)に示すよ
うに、現像を行って露光部分13A、13Bを除去す
る。このようにして、同図に示すように、後記する有機
EL層15を埋め込むための、アノード電極12が露出
する凹部13Cと、端子部12Aとを形成する。そし
て、図3(c)に示すように、上記した凹部13Cの内
壁に沿って有機EL層15を形成する。この有機EL層
15は、凹部13Cの開口周辺まで覆うように形成す
る。なお、有機EL層15の形成方法は、凹部13Cの
平面的な輪郭よりやや大きい開口部を有するメタルハー
ドマスク(図示省略する)を用いて、順次、有機正孔輸
送層、有機発光層、有機電子輸送層(いずれの層も図示
省略する)が真空蒸着装置により連続成膜されて形成さ
れている。First, as shown in FIG. 3A, a photomask 14 having a predetermined pattern is arranged above the black mask film 13 formed in the above-described steps, and exposure is performed. In the figure, reference numerals 13A and 13B indicate exposed portions of the black mask film 13. Thereafter, as shown in FIG. 3B, development is performed to remove the exposed portions 13A and 13B. In this way, as shown in the figure, a concave portion 13C for embedding an organic EL layer 15 to be described later, in which the anode electrode 12 is exposed, and a terminal portion 12A are formed. Then, as shown in FIG. 3C, the organic EL layer 15 is formed along the inner wall of the recess 13C. The organic EL layer 15 is formed so as to cover the periphery of the opening of the recess 13C. The organic EL layer 15 is formed by using a metal hard mask (not shown) having an opening slightly larger than the planar contour of the recess 13C, and sequentially using an organic hole transport layer, an organic light emitting layer, and an organic light emitting layer. An electron transport layer (all layers are not shown) is formed by continuous film formation using a vacuum evaporation apparatus.
【0023】なお、有機正孔輸送層は、下記の構造式The organic hole transporting layer has the following structural formula
【化1】 で表されるN,N'-ジ(α-ナフチル)-N,N'-ジフェニル-
1,1'-ビフェニル-4,4'-ジアミン(以下、α−NPDと
いう)で形成されている。Embedded image N, N'-di (α-naphthyl) -N, N'-diphenyl-
It is formed of 1,1'-biphenyl-4,4'-diamine (hereinafter referred to as α-NPD).
【0024】また、有機発光層は、下記の構造式The organic light emitting layer has the following structural formula
【化2】 で表される4,4'-ビス(2,2'-ジフェニルビニレン)ビフ
ェニル(以下、DPVBiという)を96wt%と、下
記の構造式Embedded image 4,4′-bis (2,2′-diphenylvinylene) biphenyl (hereinafter referred to as DPVBi) represented by the formula:
【化3】 で表される4,4'-ビス(2-カルバゾールビニレン)ビフ
ェニル(以下、BCzVBiという)を4wt%と、共
蒸着してなる。Embedded image And 4,4′-bis (2-carbazolevinylene) biphenyl (hereinafter, referred to as BCzVBi) by co-evaporation with 4 wt%.
【0025】さらに、有機電子輸送層は、下記の構造式Further, the organic electron transporting layer has the following structural formula
【化4】 で表されるトリス(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウ
ム(以下、Alq3という)からなる。因に、この有機
EL層15の総膜厚は、約100nmに設定している。
なお、図4は有機EL層15が形成された状態を示す平
面図である。Embedded image Of tris (8-hydroxyquinoline) aluminum (hereinafter referred to as Alq3). Incidentally, the total thickness of the organic EL layer 15 is set to about 100 nm.
FIG. 4 is a plan view showing a state where the organic EL layer 15 is formed.
【0026】上記のように有機EL層15を形成した
後、図5に示すように、有機EL層15の幅より長い幅
を有するカソード電極15をアノード電極12と交差す
るように形成して、有機EL層15を完全に覆うように
する。なお、このカソード電極15の形成方法として
は、有機EL層15の幅より長い幅を有する開口パター
ンが形成されたメタルハードマスク(図示省略する)を
用いて、例えばMg−Inなどの金属を真空蒸着装置に
より成膜して形成する。このようにして、電界発光素子
17の製造が終了する。なお、必要に応じて素子表面を
覆うように保護膜を適宜形成してもよい。After forming the organic EL layer 15 as described above, as shown in FIG. 5, a cathode electrode 15 having a width longer than the width of the organic EL layer 15 is formed so as to intersect with the anode electrode 12. The organic EL layer 15 is completely covered. In addition, as a method for forming the cathode electrode 15, for example, a metal such as Mg—In is vacuum-evacuated using a metal hard mask (not shown) in which an opening pattern having a width longer than the width of the organic EL layer 15 is formed. A film is formed by a vapor deposition device. Thus, the manufacture of the electroluminescent device 17 is completed. Note that a protective film may be appropriately formed to cover the element surface as needed.
【0027】次に、このようにして製造された本実施形
態の電界発光素子17の構成を、図5及び図6を用いて
説明する。なお、図6は図5のB−B断面図である。本
実施形態の電界発光素子17は、図5及び図6に示すよ
うに、ガラス基板11上にパターン形成されたアノード
電極12の、発光領域に対応する部分及び端子部12A
以外の部分が、完全にブラックマスク膜13で覆われて
いる。また、ブラックマスク膜13に形成された凹部1
3Cを覆うように形成された有機EL層15をカソード
電極16で完全に覆われた構成となっている。そして、
アノード電極12とカソード電極16とで挟まれた部分
の有機EL層15が発光領域となる。Next, the structure of the electroluminescent device 17 of the present embodiment manufactured as described above will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a sectional view taken along line BB of FIG. As shown in FIG. 5 and FIG. 6, the electroluminescent element 17 of the present embodiment includes a portion of the anode electrode 12 patterned on the glass substrate 11 corresponding to the light emitting region and the terminal portion 12A.
The other parts are completely covered with the black mask film 13. Also, the concave portion 1 formed in the black mask film 13
The organic EL layer 15 formed so as to cover 3C is completely covered with the cathode electrode 16. And
The portion of the organic EL layer 15 sandwiched between the anode electrode 12 and the cathode electrode 16 becomes a light emitting region.
【0028】このような構成としたことにより、本実施
形態の電界発光素子17では、有機EL層15がアノー
ド電極12とブラックマスク膜13とカソード電極16
とに囲まれているため、有機EL層15が直接外気に晒
されることがない。このため、有機EL層15が水分や
酸素の影響を受けにくく、局部的に非発光不良(ダーク
エリア、ダークスポットなど)が発生するのを抑制する
ことができる。With such a configuration, in the electroluminescent device 17 of this embodiment, the organic EL layer 15 is formed by the anode electrode 12, the black mask film 13, and the cathode electrode 16
Therefore, the organic EL layer 15 is not directly exposed to the outside air. For this reason, the organic EL layer 15 is hardly affected by moisture or oxygen, and it is possible to suppress the occurrence of non-light emission failure (dark area, dark spot, etc.) locally.
【0029】また、本実施形態の電界発光素子17にお
いては、アノード電極12のエッジ部をブラックマスク
膜13で覆う構造であるため、アノード電極12/カソ
ード電極16間のショートや過電流による絶縁破壊が起
こりにくいという効果がある。In the electroluminescent device 17 of this embodiment, since the edge of the anode electrode 12 is covered with the black mask film 13, a short circuit between the anode electrode 12 and the cathode electrode 16 or a dielectric breakdown due to an overcurrent occurs. The effect is that it is difficult to occur.
【0030】さらに、ブラックマスク膜13のパターニ
ング工程において、有機EL層15の発光領域とアノー
ド電極12の端子部12A以外の領域にブラックマスク
膜13を配置することによって、発光領域以外の反射光
や透過光が抑えられるため、視認性(コントラスト)の
良い電界発光素子となる。Further, in the patterning step of the black mask film 13, the black mask film 13 is arranged in a region other than the light emitting region of the organic EL layer 15 and the terminal portion 12 A of the anode electrode 12, so that reflected light other than the light emitting region can be reduced. Since transmitted light is suppressed, an electroluminescent element having good visibility (contrast) is obtained.
【0031】またさらに、セグメント方式によるキャラ
クタ表示を行う場合は、ブラックマスク膜13のパター
ニング工程でキャラクタ形状のパターン化ができ、アノ
ード電極12とカソード電極15の設計の自由度を大き
くできるという利点がある。Further, in the case of performing the character display by the segment method, the character shape can be patterned in the patterning step of the black mask film 13, and the degree of freedom in designing the anode electrode 12 and the cathode electrode 15 can be increased. is there.
【0032】以上、実施形態について説明したが、本発
明はこれに限定されるものではなく、構成の要旨に付随
する各種の変更が可能である。例えば、上記した実施形
態では、アノード電極12をガラス基板11上に形成し
カソード電極16を有機EL層15上に形成したが、ア
ノード電極12とカソード電極16とを入れ替えた構成
としてもよい。この場合、基板は、ガラス基板11のよ
うに透明な基板でなくともよい。Although the embodiment has been described above, the present invention is not limited to this, and various changes accompanying the gist of the configuration are possible. For example, in the embodiment described above, the anode electrode 12 is formed on the glass substrate 11 and the cathode electrode 16 is formed on the organic EL layer 15, but the anode electrode 12 and the cathode electrode 16 may be replaced. In this case, the substrate need not be a transparent substrate such as the glass substrate 11.
【0033】また、上記した実施形態では、ブラックマ
スク膜13を感光性を有する材料を用いて露光・現像を
行うことにより、ブラックマスク膜13のパターニング
を行ったが、感光性を有しない材料でブラックマスク膜
13を印刷法により、凹部13Cやアノード電極12の
端子部を露出させるパターンに形成しても勿論よい。In the above-described embodiment, the black mask film 13 is patterned by exposing and developing the black mask film 13 using a photosensitive material. Of course, the black mask film 13 may be formed in a pattern that exposes the concave portion 13C and the terminal portion of the anode electrode 12 by a printing method.
【0034】さらに、上記した実施形態では、有機EL
層15を、有機正孔輸送層、有機発光層、有機電子輸送
層の3層を積層する構成、即ち有機正孔輸送層をα−N
PDで形成し、有機発光層をDPVBi(96wt%)
とBCzVBiを(4wt%)とを共蒸着して形成し、
有機電子輸送層をAlq3で形成したが、実質的にキャ
リア注入に伴い正孔・電子の再結合により発光を行う有
機膜であれば、これに限定されるものではない。例え
ば、アノード電極12上に、α−NPDでなる有機正孔
輸送層を成膜し、この有機正孔輸送層の上に、下記の構
造式Further, in the above embodiment, the organic EL
The layer 15 is formed by stacking three layers of an organic hole transport layer, an organic light emitting layer, and an organic electron transport layer, that is, the organic hole transport layer is formed of α-N
Formed with PD and organic light emitting layer is DPVBi (96 wt%)
And BCzVBi are formed by co-evaporation of (4 wt%)
Although the organic electron transporting layer is formed of Alq3, the organic electron transporting layer is not limited to this as long as it is an organic film that emits light by the recombination of holes and electrons substantially with carrier injection. For example, an organic hole transport layer made of α-NPD is formed on the anode electrode 12 and the following structural formula is formed on the organic hole transport layer.
【化5】 で表されるビス(10-ヒドロキシベンゾ[h]キノリン)化
ベリリウム(Bebq2という)でなる、発光層と電子
輸送層との機能を兼ね備えた有機層を積層した2層構造
の有機EL層15としてもよい。また上記した実施形態
では単純マトリックス構造であったが、各画素毎にアノ
ード電極12を分割し、アノード電極12間においてX
−Y方向に延在するゲートライン及びドレインラインに
接続された選択薄膜トランジスタと、選択トランジスタ
のソース電極にそのゲート電極が接続され、そのソース
・ドレイン電極の一方をアノード電極12に接続された
駆動トランジスタと、からなるアクティブ駆動回路を、
ブラックマスク膜13の下方に設けても良い。Embedded image As an organic EL layer 15 having a two-layer structure in which organic layers having a function of both a light emitting layer and an electron transport layer are formed of beryllium bis (10-hydroxybenzo [h] quinoline) represented by the following formula: Is also good. In the above-described embodiment, the simple matrix structure is used. However, the anode electrode 12 is divided for each pixel, and X
A selection thin film transistor connected to a gate line and a drain line extending in the -Y direction, a driving transistor having its gate electrode connected to the source electrode of the selection transistor, and one of its source and drain electrodes connected to the anode electrode 12 And an active drive circuit consisting of
It may be provided below the black mask film 13.
【0035】[0035]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明によれば、非発光時のコントラストを低く抑え、非発
光不良部分の発生、ショート、絶縁破壊などの不良が生
じるのを抑制した電界発光素子を実現するという効果が
ある。また、本発明によれば、キャラクタ表示をする場
合に設計の自由度を向上させるという効果がある。As is apparent from the above description, according to the present invention, the electric field in which the contrast during non-light emission is suppressed to a low level and the occurrence of non-light-emission defective portions, short-circuit, insulation breakdown and other defects is suppressed. There is an effect of realizing a light emitting element. Further, according to the present invention, there is an effect that the degree of freedom of design is improved when displaying characters.
【図1】本発明に係る電界発光素子の実施形態の製造工
程を示す工程平面図。FIG. 1 is a process plan view showing a manufacturing process of an embodiment of an electroluminescent device according to the present invention.
【図2】実施形態の製造工程を示す工程平面図。FIG. 2 is a process plan view showing a manufacturing process of the embodiment.
【図3】(a)〜(c)は図2のA−A断面における製
造工程を示す工程断面図。3 (a) to 3 (c) are process cross-sectional views showing a manufacturing process in an AA cross section in FIG. 2;
【図4】実施形態の製造工程を示す工程平面図。FIG. 4 is a process plan view showing a manufacturing process of the embodiment.
【図5】実施形態の製造工程を示す工程平面図。FIG. 5 is a process plan view showing a manufacturing process of the embodiment.
【図6】図5のB−B断面図。FIG. 6 is a sectional view taken along line BB of FIG. 5;
【図7】従来の電界発光素子の製造工程を示す工程平面
図。FIG. 7 is a process plan view showing a manufacturing process of a conventional electroluminescent element.
【図8】従来の電界発光素子の製造工程を示す工程平面
図。FIG. 8 is a process plan view showing a manufacturing process of a conventional electroluminescent element.
【図9】従来の電界発光素子の製造工程を示す工程平面
図。FIG. 9 is a process plan view showing a manufacturing process of a conventional electroluminescent device.
【図10】図9のC−C断面図。FIG. 10 is a sectional view taken along line CC of FIG. 9;
11 ガラス基板 12 アノード電極 13 ブラックマスク膜 13C 凹部 15 有機EL層 16 カソード電極 17 電界発光素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Glass substrate 12 Anode electrode 13 Black mask film 13C Depression 15 Organic EL layer 16 Cathode electrode 17 Electroluminescent element
Claims (3)
が形成され、該第1電極の上に有機エレクトロルミネッ
センス層が形成され、エレクトロルミネッセンス層の上
に第2電極が形成され、前記第1電極と前記第2電極と
が前記エレクトロルミネッセンス層を介して重なる領域
が発光する電界発光素子であって、 前記第1電極が、当該第1電極の上面の領域内に位置す
る開口部が形成されたブラックマスク絶縁膜で、覆われ
ると共に、前記開口部の内壁に沿って前記エレクトロル
ミネッセンス層が形成され、前記エレクトロルミネッセ
ンス層の露出部分を覆うように前記第2電極が形成され
ていることを特徴とする電界発光素子。A first electrode having a predetermined pattern formed on an insulating substrate; an organic electroluminescent layer formed on the first electrode; a second electrode formed on the electroluminescent layer; An electroluminescent device in which a region where one electrode and the second electrode overlap with each other via the electroluminescent layer emits light, wherein the first electrode has an opening formed in a region on an upper surface of the first electrode. The electroluminescent layer is formed along the inner wall of the opening, and the second electrode is formed so as to cover an exposed portion of the electroluminescent layer. An electroluminescent element characterized by the following.
する合成樹脂で形成され、且つ前記開口部は露光・現像
により形成されたことを特徴とする請求項1記載の電界
発光素子。2. The electroluminescent device according to claim 1, wherein the black mask insulating film is formed of a photosensitive synthetic resin, and the opening is formed by exposure and development.
より形成されたことを特徴とする請求項1記載の電界発
光素子。3. The electroluminescent device according to claim 1, wherein the black mask insulating film is formed by a printing method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10085118A JPH11265792A (en) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | EL device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10085118A JPH11265792A (en) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | EL device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11265792A true JPH11265792A (en) | 1999-09-28 |
Family
ID=13849724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10085118A Abandoned JPH11265792A (en) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | EL device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11265792A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015076262A (en) * | 2013-10-09 | 2015-04-20 | ソニー株式会社 | Display device and electronic device |
-
1998
- 1998-03-17 JP JP10085118A patent/JPH11265792A/en not_active Abandoned
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015076262A (en) * | 2013-10-09 | 2015-04-20 | ソニー株式会社 | Display device and electronic device |
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