JPH11267986A - シート吸着板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】多数の吸引穴を有し、吸引穴の大きさにバラツ
キが少なく、均一な吸着力を得ることが可能なシート吸
着板を提供する。 【解決手段】シート吸着板１は、表裏に貫通する多数の
吸引穴２ａが所定ピッチ間隔で分散形成された第１プレ
ート２と、表面の周囲に枠部３ａを有し、枠部３ａの内
側に吸引穴２ａと通じる格子状の通気溝３ｂが形成さ
れ、通気溝３ｂによって残された島状の凸部３ｃが枠部
３ａと同一高さに形成され、枠部３ａと凸部３ｃが第１
プレート２の裏面に接合され、かつ通気溝３ｂの底部に
裏面に通じる適数個の通気穴３ｄが形成された第２プレ
ート２と、表面に平坦面を有し、この表面が第２プレー
ト３の裏面に接合され、通気穴３ｄに対応する吸引通路
穴４ａが形成され、かつこれら吸引通路穴４ａが真空源
と接続された第３プレート４と備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はグリーンシートのよ
うな可撓性シートを吸着保持できるシート吸着板に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばセラミックグリーンシート
の積層工程などにおいて、グリーンシートを吸着板で真
空吸着し、積層するものが知られている。この場合、吸
着板としては多孔質材料で形成するのが通例である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
多孔質の吸着板を使用した場合、吸引穴の大きさにバラ
ツキがあるため、吸引によりシートに凹みが生じたり、
十分な吸着力が得られないことがあった。また、吸引穴
が必ずしも均一に分散していない場合があり、シート全
面で均一な吸着力が得られないことがあった。

【０００４】そこで、本発明の目的は、小径で多数の吸
引穴を有し、かつ吸引穴の大きさにバラツキが少なく、
均一な吸着力を得ることが可能なシート吸着板を提供す
ることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、表裏に貫通する多数の吸
引穴が所定ピッチ間隔で分散形成された第１プレート
と、表面の周囲に枠部を有し、枠部の内側に上記吸引穴
と通じる格子状の通気溝が形成され、通気溝によって残
された島状の凸部が上記枠部と同一高さに形成され、上
記枠部と凸部が第１プレートの裏面に接合され、かつ通
気溝の底部に裏面に通じる適数個の通気穴が形成された
第２プレートと、を備え、上記通気穴は真空源と接続さ
れていることを特徴とするシート吸着板を提供するもの
である。

【０００６】このように、真空源は、第２プレートの通
気穴、通気溝を経て第１プレートの吸引穴と連通するこ
とになり、真空源の吸引力は確実に吸引穴に作用するこ
とになる。吸引穴は第１プレートに均等に分散形成され
ており、しかも各吸引穴には格子状の通気溝を介して均
等な負圧が作用するので、シートに接触する表面に均一
な吸引力を作用させることができる。また、第１プレー
トの裏面は第２プレートの枠部と凸部とに接合されてい
るので、第１，第２プレートの貼り合わせ時に良好な平
面度を確保できる。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、表面に平坦面を有し、この表面が上記
第２プレートの裏面に接合され、上記通気穴に対応する
吸引通路穴が表面に形成され、かつこれら吸引通路穴が
真空源と接続された第３プレートを有することを特徴と
する。この場合には、請求項１の発明の特徴に加え、第
１，第２プレートの背後を第３プレートの平坦面によっ
て支持しているので、第３プレートを厚肉な部材あるい
は剛性の高い部材で形成すれば、第１，第２プレートの
撓みを防止することが可能である。

【０００８】請求項３に記載の発明は、表面に多数の吸
引穴が所定ピッチ間隔で分散形成され、裏面の周囲に枠
部を有し、枠部の内側に上記吸引穴と通じる格子状の通
気溝が形成され、通気溝によって残された島状の凸部が
上記枠部と同一高さに形成された第１プレートと、表面
に平坦面を有し、この表面が第１プレートの枠部と凸部
に接合され、上記表面に通気溝に対応する適数個の吸引
通路穴が形成され、かつこれら吸引通路穴が真空源と接
続された第２プレートと、を備えたシート吸着板を提供
する。この場合には、請求項２の発明と同様の機能を２
枚のプレートで構成しているので、構造が簡素となり、
吸引通路も短くて済む。

【０００９】請求項４に記載の発明は、表面に多数の吸
引穴が所定ピッチ間隔で分散形成され、裏面の周囲に枠
部を有し、枠部の内側に上記吸引穴と通じる格子状の通
気溝が形成され、通気溝によって残された島状の凸部が
上記枠部と同一高さに形成された第１プレートと、表面
が第１プレートの裏面に接合され、表面の周囲に第１プ
レートの枠部と接合される枠部を有し、枠部の内側に上
記通気溝と通じる格子状の通気溝が形成され、通気溝に
よって残された島状の凸部が上記枠部と同一高さに形成
され、かつ通気溝の底部に裏面に通じる適数個の通気穴
が形成された第２プレートと、表面に平坦面を有し、こ
の表面が第２プレートの裏面に接合され、上記表面に通
気穴に対応する吸引通路穴が形成され、かつこれら吸引
通路穴が真空源と接続された第３プレートと、を備えた
シート吸着板を提供する。この場合には、第１プレート
の通気溝と第２プレートの通気溝とを対向させること
で、吸引通路の通路面積を大きくとり、管路抵抗を小さ
くできる。したがって、圧力損失が小さくなり、吸引穴
に真空吸引力を効果的に作用させることができる。

【００１０】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、上記第１プレートの表面に、上記吸引
穴と対応し、かつ表裏に貫通する多数の吸引穴が分散形
成された第４プレートを接合したものである。この場合
は、第４プレートが第１プレートを補強し、耐久性を向
上させることができる。

【００１１】上記吸引穴の加工方法としては、シェイパ
ーやサンドブラスト法などがあるが、エッチング加工を
用いれば、直径０．１〜０．２ｍｍ程度の微小な穴を狭
ピッチ間隔で精度よくかつ安価に加工することができ
る。また、上記通気溝は機械加工などで加工することも
可能であるが、ハーフエッチング加工により加工すれ
ば、微小な幅の通気溝を精度よくかつ安価に加工するこ
とができる。第１プレート〜第３プレートの接合、また
は第１〜第４プレートの接合方法としては、接着剤によ
る接合や、溶接、ネジ止めなどの公知の方法を用いるこ
とができるが、各プレートに変形や歪みを与えずに、か
つ空気漏れなく密着接合する方法として、熱拡散接合が
望ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１，図２は本発明にかかるシー
ト吸着板の第１実施例を示す。図において、１はシート
吸着板であり、第１プレート２と第２プレート３と第３
プレート４とで構成され、３者が相互に熱拡散接合など
によって接合されている。

【００１３】第１プレート２は、例えば厚さ０．２ｍｍ
程度の薄肉な金属板よりなり、表裏に貫通する多数の吸
引穴２ａが所定ピッチ間隔で分散形成されている。この
実施例では、吸引穴２ａの穴径は０．２ｍｍ、ピッチ間
隔は０．４ｍｍに設定されている。吸引穴２ａはエッチ
ング加工により形成される。

【００１４】第２プレート３は、例えば厚さ０．２ｍｍ
程度の薄肉な金属板よりなり、その表面の周囲に方形の
枠部３ａを有し、枠部３ａの内側に格子状の通気溝３ｂ
が形成されている。そして、通気溝３ｂによって残され
た島状の凸部３ｃが上記枠部３ａと同一高さに形成され
ている。通気溝３ｂの底部には、裏面に通じる通気穴３
ｄが吸引穴２ａより大きなピッチ間隔で形成されてい
る。上記枠部３ａと凸部３ｃは第１プレート２の裏面に
接合されている。そのため、第１プレート２と第２プレ
ート３との間には、通気溝３ｂによって格子状の空間が
形成される。上記通気溝３ｂは第１プレート２の吸引穴
２ａと対応しており、上記のように第１，第２プレート
２，３を接合することにより、通気溝３ｂと吸引穴２ａ
とが連通することになる。この実施例では、通気溝３ｂ
の溝幅は０．２ｍｍ、溝深さは０．１ｍｍ、凸部３ｃの
幅は０．２ｍｍ、通気穴３ｄの穴径は０．３５ｍｍ、通
気穴３ｄのピッチ間隔は４ｍｍに設定されている。上記
通気溝３ｂはハーフエッチング加工により形成され、通
気穴３ｄはエッチング加工により形成される。

【００１５】第３プレート４は、例えば厚さ８ｍｍ以上
の厚肉な金属板よりなり、その平坦な表面は第２プレー
ト３の裏面に接合されている。第３プレート４の表面に
は、第２プレート３の通気穴３ｄと接続される吸引通路
穴４ａが表裏方向に貫通形成されており、吸引通路穴４
ａの裏面側が真空源（図示せず）と接続されている。な
お、この実施例では、吸引通路穴４ａの裏面側は図２に
示すように大径に形成されている。例えば、吸引通路穴
４ａの表面側の穴径は０．５ｍｍ、ピッチ間隔は４ｍｍ
に設定されている。上記吸引通路穴４ａはドリルや放電
加工などによって機械加工される。

【００１６】上記のように、第３プレート４の吸引通路
穴４ａは、第２プレート３の通気穴３ｄ、通気溝３ｂを
経て第１プレート２の吸引穴２ａと連通している。吸引
穴２ａは第１プレート２に均等に分散形成されており、
しかも各吸引穴２ａには格子状の通気溝３ｂを介して均
等な真空圧が作用するので、第１プレート２の表面に均
一な吸着力を作用させることができる。また、第１プレ
ート２の裏面は第２プレート３の枠部３ａと凸部３ｃと
に接合されているので、第１，第２プレート２，３の貼
り合わせ時に良好な平面度を確保できる。第１プレート
２および第２プレート３の板厚は薄く、撓みやすいが、
その背後を厚肉な第３プレート４で支持しているので、
第１プレート２の表面に撓みが発生しない。

【００１７】上記構成のシート吸着板１は、例えば図３
のようなセラミックグリーンシートＳを積層する際の移
載手段として用いられる。この際、第１プレート２の表
面がシート吸着面となる。図３のように、１枚ずつ供給
されたシートＳをシート吸着板１で吸着し、積層された
シートＳの上へ運び、積層する。シートＳを吸着保持す
る時、均一に分散形成された吸引穴２ａにより均一に吸
引しているので、シートＳに垂れや皺が生じない。しか
も、吸引穴２ａの穴径が小さいので、吸引保持時のシー
トの凹み量（吸引穴２ａへのシートＳの引込み量）を小
さくすることができる。

【００１８】上記実施例では、第１プレート２を１枚の
プレートで構成したが、剛性を高めるため、複数枚重ね
て構成してもよい。この場合、互いの吸引穴２ａが一致
するように接合すればよい。また、第２プレート３の板
厚を厚くできる場合には、第３プレート４を省略するこ
とが可能である。すなわち、第２プレート３を例えば１
０ｍｍ程度の板厚の金属板で構成し、その表面に枠部３
ａ、格子状の通気溝３ｂ、島状の凸部３ｃ、通気穴３ｄ
を形成できる場合には、通気穴３ｄを真空源に直接接続
してもよい。

【００１９】図４，図５は本発明にかかるシート吸着板
の第２実施例を示す。このシート吸着板５は、第１プレ
ート６と第２プレート７とで構成され、両者は熱拡散接
合などによって接合されている。第１プレート６は薄肉
な金属板よりなり、その裏面の周囲に方形の枠部６ａを
有し、枠部６ａの内側に格子状の通気溝６ｂが形成され
ている。そして、通気溝６ｂによって残された島状の凸
部６ｃが上記枠部６ａと同一高さに形成されている。各
通気溝６ｂの底部には、表面に通じる吸引穴６ｄが微小
ピッチ間隔で分散形成されている。なお、上記通気溝６
ｂはハーフエッチング加工により形成され、吸引穴６ｄ
はエッチング加工により形成される。通気溝６ｂの溝幅
や深さ，吸引穴６ｄの穴径やピッチ間隔は第１実施例と
同様である。

【００２０】第２プレート７は第１実施例の第３プレー
ト４と同様な厚肉な金属板よりなり、その平坦な表面は
第１プレート６の裏面に接合されている。第２プレート
７には、第１プレート６の通気溝６ｂと接続される吸引
通路穴７ａが表裏方向に貫通形成されており、吸引通路
穴７ａの裏面側は真空源（図示せず）と接続されてい
る。吸引通路穴７ａは機械加工される穴であり、その穴
径およびピッチ間隔は第１実施例の吸引通路穴４ａと同
様に設定されている。

【００２１】上記構成のシート吸着板５の場合、第１実
施例と同様の効果に加え、第１プレート６と第２プレー
ト７との２枚で構成されるので、構造が簡単となり、接
合作業も簡単である。

【００２２】図６，図７は本発明にかかるシート吸着板
の第３実施例を示す。このシート吸着板８は、第１プレ
ート９と第２プレート１０と第３プレート１１と第４プ
レート１２とで構成され、４者が相互に熱拡散接合など
によって接合されている。

【００２３】第１プレート９は、第１実施例の第１プレ
ート２と同様の構造を有するプレートであり、表裏に貫
通する多数の吸引穴９ａが所定ピッチ間隔で分散形成さ
れている。

【００２４】第２プレート１０は、第２実施例の第１プ
レート６と同様の構造を有するプレートであり、その裏
面の周囲に方形の枠部１０ａを有し、枠部１０ａの内側
に格子状の通気溝１０ｂが形成されている。そして、通
気溝１０ｂによって残された島状の凸部１０ｃが枠部１
０ａと同一高さに形成されている。各通気溝１０ｂの底
部には、表面に通じる吸引穴１０ｄが上記吸引穴９ａと
同一ピッチ間隔で形成されている。第１プレート９と第
２プレート１０とを接合することにより、吸引穴１０ｄ
は第１プレート９の吸引穴９ａと接続される。

【００２５】第３プレート１１は、第１実施例の第２プ
レート３と同様の構造を有するプレートであり、その表
面の周囲に方形の枠部１１ａを有し、枠部１１ａの内側
に第２プレート１０の通気溝１０ｂと対応する格子状の
通気溝１１ｂが形成されている。通気溝１１ｂによって
残された島状の凸部１１ｃが上記枠部１１ａと同一高さ
に形成され、これら凸部１１ｃも第２プレート１０の凸
部１０ｃと対応している。通気溝１１ｂの底部には、裏
面に通じる通気穴１１ｄが吸引穴９ａより大きなピッチ
間隔で形成されている。第２プレート１０と第３プレー
ト１１とを接合すると、第２プレート１０の通気溝１０
ｂと第３プレート１１の通気溝１１ｂとが対向して、両
者の間に通気溝１０ｂ，１１ｂの溝深さの和に相当する
厚みの空間が形成される。

【００２６】第４プレート１２は、第１実施例の第３プ
レート４、第２実施例の第２プレート７と同様な厚肉な
金属板よりなり、その平坦な表面は第３プレート１１の
裏面に接合されている。第４プレート１２の表面には、
第３プレート１１の通気穴１１ｄと接続される吸引通路
穴１２ａが表裏方向に貫通形成されており、吸引通路穴
１２ａの裏面側は図７に示すように大径に形成されてい
る。この大径部が真空源（図示せず）と接続されてい
る。

【００２７】この実施例では、第２プレート１０と第３
プレート１１とを接合することで、両者の間に通気溝１
０ｂ，１１ｂの溝深さの和に相当する厚みの空間が形成
されるので、真空吸引通路の通路面積を大きくとること
ができ、管路抵抗を小さくできる。したがって、真空吸
引力を吸引穴９ａに効果的に作用させることができると
いう特徴がある。

【００２８】図８は本発明にかかるシート吸着板の第４
実施例を示す。この実施例のシート吸着板１３は、第３
実施例における第１プレート９を省略したものであり、
他の構成は図６，図７と全く同一のため、同一符号を付
して説明を省略する。この場合は、第２プレート１０が
第１プレート９を兼ねるので、構成が簡単となる。

【００２９】なお、本発明は、上記実施例のようにセラ
ミックグリーンシートなどを積層する際に用いられる移
送手段に限るものではなく、例えばウエーハなどのダイ
シング工程において、ウエーハを保持した粘着シートを
吸着保持するテーブルや、シートに印刷を行なう際のス
テージなど、広い用途に使用できる。また、吸引穴の配
列や、通気溝の形状は実施例に限るものではない。例え
ば、格子状の通気溝は必ずしも直交方向に限るものでは
なく、斜め格子状であってもよい。したがって、吸引穴
の配列方向も直交方向に限るものではない。さらに、第
２プレート３の通気穴３ｄおよび第３プレート４の吸引
通路穴４ａは丸穴に限らず、長孔などの他の形状であっ
てもよい。第１実施例における第３プレート４、第２実
施例における第２プレート７、第３実施例における第４
プレート１２は、板状である必要はなく、少なくとも平
坦な表面を有し、この表面に真空源と接続された吸引通
路穴が開口形成されたものであればよい。したがって、
これらプレートの裏面側に単一の空洞を備え、この空洞
に全ての吸引通路穴の裏面側が接続されたものでもよ
い。

【００３０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
に記載の発明によれば、シートを吸着する吸引穴は第１
プレートに均等に分散形成されており、しかも各吸引穴
には格子状の通気溝を介して均等な真空負圧が作用する
ので、シートに接触する第１プレートの表面に均一な吸
引力を作用させることができる。また、第１プレートの
裏面は第２プレートの枠部と凸部とに接合されているの
で、第１，第２プレートの貼り合わせ時に良好な平面度
を確保でき、吸着時にシートの撓みや凹凸を発生させな
い。

【００３１】また、請求項２に記載の発明によれば、請
求項１の発明における第１，第２プレートの背後を第３
プレートの平坦面によって支持しているので、第１，第
２プレートの撓みを防止することが可能となる。

【００３２】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
の発明と同様の機能を２枚のプレートで構成でき、構造
が簡素となり、吸引通路も短くて済み、圧力損失が少な
い。

【００３３】請求項４に記載の発明によれば、第２プレ
ートの通気溝と第３プレートの通気溝とを対向させるこ
とで、管路抵抗を小さくでき、吸引穴に真空吸引力を効
果的に作用させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるシート吸着板の第１実施例の分
解斜視図である。

【図２】図１のシート吸着板の一部拡大断面図である。

【図３】図１のシート吸着板の使用例を示す斜視図であ
る。

【図４】本発明にかかるシート吸着板の第２実施例の分
解斜視図である。

【図５】図４のシート吸着板の一部拡大断面図である。

【図６】本発明にかかるシート吸着板の第３実施例の分
解斜視図である。

【図７】図６のシート吸着板の一部拡大断面図である。

【図８】本発明にかかるシート吸着板の第４実施例の一
部断面図である。

【符号の説明】

１ シート吸着板（第１実施例） ２ 第１プレート ２ａ 吸引穴 ３ 第２プレート ３ａ 枠部 ３ｂ 通気溝 ３ｃ 凸部 ３ｄ 通気穴 ４ 第３プレート ４ａ 吸引通路穴

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表裏に貫通する多数の吸引穴が所定ピッチ
   間隔で分散形成された第１プレートと、 表面の周囲に枠部を有し、枠部の内側に上記吸引穴と通
   じる格子状の通気溝が形成され、通気溝によって残され
   た島状の凸部が上記枠部と同一高さに形成され、上記枠
   部と凸部が第１プレートの裏面に接合され、かつ通気溝
   の底部に裏面に通じる適数個の通気穴が形成された第２
   プレートと、を備え、 上記通気穴は真空源と接続されていることを特徴とする
   シート吸着板。
2. 【請求項２】請求項１に記載のシート吸着板において、 表面に平坦面を有し、この表面が上記第２プレートの裏
   面に接合され、上記通気穴に対応する吸引通路穴が表面
   に形成され、かつこれら吸引通路穴が真空源と接続され
   た第３プレートを有することを特徴とするシート吸着
   板。
3. 【請求項３】表面に多数の吸引穴が所定ピッチ間隔で分
   散形成され、裏面の周囲に枠部を有し、枠部の内側に上
   記吸引穴と通じる格子状の通気溝が形成され、通気溝に
   よって残された島状の凸部が上記枠部と同一高さに形成
   された第１プレートと、 表面に平坦面を有し、この表面が第１プレートの枠部と
   凸部に接合され、上記表面に通気溝に対応する適数個の
   吸引通路穴が形成され、かつこれら吸引通路穴が真空源
   と接続された第２プレートと、を備えたシート吸着板。
4. 【請求項４】表面に多数の吸引穴が所定ピッチ間隔で分
   散形成され、裏面の周囲に枠部を有し、枠部の内側に上
   記吸引穴と通じる格子状の通気溝が形成され、通気溝に
   よって残された島状の凸部が上記枠部と同一高さに形成
   された第１プレートと、 表面が第１プレートの裏面に接合され、表面の周囲に第
   １プレートの枠部と接合される枠部を有し、枠部の内側
   に上記通気溝と通じる格子状の通気溝が形成され、通気
   溝によって残された島状の凸部が上記枠部と同一高さに
   形成され、かつ通気溝の底部に裏面に通じる適数個の通
   気穴が形成された第２プレートと、 表面に平坦面を有し、この表面が第２プレートの裏面に
   接合され、上記表面に通気穴に対応する吸引通路穴が形
   成され、かつこれら吸引通路穴が真空源と接続された第
   ３プレートと、を備えたシート吸着板。
5. 【請求項５】請求項４に記載のシート吸着板において、 上記第１プレートの表面に、上記吸引穴と対応し、かつ
   表裏に貫通する多数の吸引穴が分散形成された第４プレ
   ートが接合されていることを特徴とするシート吸着板。
6. 【請求項６】上記吸引穴はエッチング加工により形成さ
   れたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記
   載のシート吸着板。
7. 【請求項７】上記通気溝はハーフエッチング加工により
   形成されたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれ
   かに記載のシート吸着板。