JP2012206247A - シート吸着装置およびシート積層装置 - Google Patents

Abstract

【課題】薄いシートでも吸着性に優れ、しかも低コストで、剛性が高いシート吸着装置およびシート積層装置を提供すること。
【解決手段】吸着すべき対象シート１６と接する吸着面１３が形成され、吸着面１３に複数の吸着貫通孔２１ｈが形成された第１プレート２１と、少なくとも一部の吸着貫通孔２１ｈ同士を接続する連通溝２４が形成された第２プレート２２と、連通溝２４に接続され、連通溝２４に吸引力を伝達する集中流路２５が形成された第３プレート２３と、が少なくとも積層されている積層体を有することを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、シート吸着装置およびシート積層装置に関する。

小型部品、例えば積層セラミックコンデンサを製造する際に、真空装置が接続されたシート吸着装置によって、グリーンシートを吸着した状態で搬送し、グリーンシートをプレスする工程がある。近年、積層セラミックコンデンサ等の小型化に伴い、グリーンシートの薄層化が進んでいる。従来のシート吸着装置としては、平面加工を施した金属塊に、ドリル等を用いて、真空吸着のための貫通孔を形成したものや、多孔質体を用いて真空吸着を行うものが知られている（特許文献１参照）。

しかしながら、金属塊にドリルで貫通孔を空ける作業は手間がかかり、コストが上昇してしまう。特に、薄層化が進んだグリーンシートにダメージを与えることなく、グリーンシートを吸着するためには、貫通孔の直径を小さくする必要がある。直径の小さい貫通孔を金属塊に形成することは困難である。また、シート吸着装置に多孔質体を用いると、多孔質体が、プレスの際の加圧力に耐えられない虞がある。さらに、グリーンシート全面を真空吸着するために、吸引によるグリーンシートの変形が生じる場合がある。

特開２００９−２３７７７号公報

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、薄いシートでも吸着性に優れ、しかも低コストで、剛性が高いシート吸着装置およびシート積層装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明に係るシート吸着装置は、
吸着すべき対象シートと接する吸着面が形成され、前記吸着面に複数の吸着貫通孔が形成された第１プレートと、
少なくとも一部の前記吸着貫通孔同士を接続する連通溝が形成された第２プレートと、
前記連通溝に接続され、前記連通溝に吸引力を伝達する集中流路が形成された第３プレートと、が少なくとも積層されている積層体を有することを特徴とする。

本発明では、それぞれのプレートは、細い溝や、直径の小さな孔を容易に加工可能な程度に十分に薄くなっている。このような溝や孔は、例えばプレート毎にエッチング加工することなどによって、低コストで容易に形成することができる。本発明のシート吸着装置では、このようなプレートを積層するため、積層方向の孔や、積層方向と垂直な溝などを、容易に形成することができる。また、例えば、第２プレートを、複数の積層板で構成することで、シート吸着装置の厚みが増し、シート吸着装置全体としての剛性を高めることができる。溝や孔のパターンはプレート単位で規定することができるため、設計の自由度が増す。

また、本発明のシート吸着装置は、プレートの積層体なので、分解が可能であり、メンテナンスを行いやすい。さらに、特定の箇所が劣化した場合に、その箇所を含むプレートのみ交換することができるため、交換コストを低減させることができる。

さらにまた、本発明のシート吸着装置では、吸着面の中央部を吸着貫通孔を設けない非開口部とし、シートを直接吸着しないエリアを第一プレートに設けたので、薄い対象シートであっても吸引による変形を回避でき、対象シートのプレス時などのために積層体に荷重が作用した場合でも、吸着貫通孔の転写を回避することができる。

吸着すべき対象シートの面積を前記吸着面の面積とし、開口部に設けた吸着貫通孔の外端を結んだ線を開口部と非開口部の境界とするときに、好ましくは、前記吸着面における非開口部の面積は、前記吸着面面積の２５〜９５％である。２５％未満であれば、吸引によるシートの変形を回避できるエリアが十分に確保できず、９５％超であればシートの良好な吸着が困難となる。

さらに本発明のシート吸着装置では、集中流路から連通溝を介して吸着面の全面に形成された全ての吸着貫通孔に吸引力を伝えるので、薄い対象シートであっても良好に吸着することができる。また、集中流路から吸着貫通孔に空気を送り込めば、薄い対象シートであっても良好に吸着面から剥離させることができる。

好ましくは、前記第１プレートが、薄い構造体シートの積層板である。これにより、第１プレートの積層方向の厚みを稼ぐことができ、吸着貫通孔の詰まりを防止することができる。

好ましくは、前記吸着貫通孔の数に比較して、前記連通溝の数が少なく、前記連通溝の数に比較して、前記集中流路の数が少なくなっている。これにより、経路を集約することができ、簡易な構成で吸引力を伝達することができる。しかも、吸着貫通孔の数を多数形成することができ、シートを安定して吸着することができる。

好ましくは、前記吸着貫通孔の直径は、前記第１プレートの厚みより大きい。このようにすることで、孔径を安定させることができる。

好ましくは、前記吸着面に形成された前記吸着貫通孔の総面積は、前記吸着面の総面積に対して５０％以下である。このように設定することで、対象シートのプレス時などのために積層体に荷重が作用した場合でも、積層体が変形するおそれが少ない。

好ましくは、前記吸着面における単位面積あたりの前記吸着貫通孔の数は、少なくとも１個／ｃｍ２である。好ましくは、前記吸着貫通孔の直径が２００μｍ以下である。このような孔が多数形成されているので、対象シートへの負荷が少なく、安定して対象シートを吸着することができる。また、プレスの際に、対象シートと接する吸着面（対象シートへ直接圧力を伝達する部分の面積）を大きく確保することができ、対象シートに加わる圧力を均一にできる。

前記連通溝は、貫通孔であっても良い。

本発明に係るシート積層装置は、
上記に記載のシート吸着装置と、
前記シート吸着装置に吸引力を伝達する真空装置と、
前記シート吸着装置に加圧力を与える加圧装置と、を有するシート積層装置であって、
前記シート吸着装置が、前記真空装置と前記加圧装置との間を移動自在であることを特徴とする。

図１は、本発明の一実施形態に係るシート積層装置の説明図である。 図２（Ａ）は、図１のシート吸着装置をＩＩＡ方向から見た平面図、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＩＩＢ−ＩＩＢ断面図、図２（Ｃ）は、図２（Ａ）のＩＩＣ−ＩＩＣ断面図である。 図３（Ａ）は、図２（Ｂ）の第３プレートをＩＩＩＡ方向から見た分解平面図、図３（Ｂ）は、図２（Ｂ）の第３プレートをＩＩＩＢ方向から見た分解平面図、図３（Ｃ）は、図２（Ｂ）の第３プレートをＩＩＩＣ方向から見た分解平面図、図３（Ｄ）は、図２（Ｂ）の第２プレートをＩＩＩＤ方向から見た分解平面図、図３（Ｅ）は、図２（Ｂ）の第１プレートをＩＩＩＥ方向から見た平面図、図３（Ｆ）は、図２（Ｂ）の第１プレートを、吸着面が形成された面から見た平面図である。 図４は、図３に示す第１プレートおよび第２プレートが積層された状態を示す平面図である。 図５は、第１プレートの厚みと吸着貫通孔との大きさの関係を示す説明図である。 図６Ａは、図１に示すシート積層装置を用いて対象シートを吸着・加圧する工程を示す説明図である。 図６Ｂは、図６Ａに示すシート積層装置を用いて対象シートを吸着・加圧する工程を示す説明図である。 図６Ｃは、図６Ａに示すシート積層装置を用いて対象シートを吸着・加圧する工程を示す説明図である。 図６Ｄは、図６Ａに示すシート積層装置を用いて対象シートを吸着・加圧する工程を示す説明図である。 図６Ｅは、図６Ａに示すシート積層装置を用いて対象シートを吸着・加圧する工程を示す説明図である。 図６Ｆは、図６Ａに示すシート積層装置を用いて対象シートを吸着・加圧する工程を示す説明図である。 図６Ｇは、図６Ａに示すシート積層装置を用いて対象シートを吸着・加圧する工程を示す説明図である。 図７（Ａ）は、シート吸着装置の第２プレートの変形例を示す平面図、図７（Ｂ）は、シート吸着装置の第２プレートの変形例を示す平面図、図７（Ｃ）は、シート吸着装置の第１プレートの変形例を示す平面図である。 図８（Ａ）は、第１プレートに非開口部が設けられた場合の、図２（Ｂ）の第３プレートをＩＩＩＡ方向から見た分解平面図、図８（Ｂ）は、図２（Ｂ）の第３プレートをＩＩＩＢ方向から見た分解平面図、図８（Ｃ）は、図２（Ｂ）の第３プレートをＩＩＩＣ方向から見た分解平面図、図８（Ｄ）は、図２（Ｂ）の第２プレートをＩＩＩＤ方向から見た分解平面図、図８（Ｅ）は、図２（Ｂ）の第１プレートをＩＩＩＥ方向から見た非開口部と開口部を設けた平面図、図８（Ｆ）は、図２（Ｂ）の第１プレートを、非開口部と開口部を設けた平面図である。 図９は、図８に示す第１プレートおよび第２プレートが積層された状態を示す平面図である。 図１０は、シート吸着装置が真空吸着することによってグリーンシートが変形した跡を示す写真である。

第１実施形態
図１に示すように、本発明の一実施形態に係るシート積層装置２は、真空装置４と、第１弁６と、圧空装置８と、第２弁１０と、シート吸着装置１２と、シート設置台１４と、加圧装置１８とを有している。

真空装置４は、流路１１の途中に配置された第１弁６を介してシート吸着装置１２に接続されており、シート吸着装置１２に吸引力としての負圧を伝達することが可能になっている。圧空装置８は、流路１１の途中に配置された第２弁１０を介してシート吸着装置１２に接続されており、シート吸着装置１２に剥離力としての正圧を伝達することが可能になっている。

シート設置台１４には、例えば所定サイズに切断された一枚毎のセラミックグリーンシート（対象シート）１６が設置されるようになっている。加圧装置１８は、プレス本体１８ａとプレス受け平板１８ｂとを有している。加圧装置１８は、シート設置台１４から所定距離だけ離れて配置されている。

シート吸着装置１２は、シート設置台１４の上部と加圧装置１８との間を移動可能になっている（移動動作の詳細は、後述する）。シート吸着装置１２は、シート設置台１４の上部に位置している時にシート設置台１４と対向する平坦面に、セラミックグリーンシート１６を吸着可能な吸着面１３を有している。図２（Ａ）〜図２（Ｃ）に示すように、シート吸着装置１２は、第１プレート２１、第２プレート２２、第３プレート２３ａ〜２３ｃとの積層体である。それぞれのプレート同士は、熱圧着されている。

図３（Ｆ）に示すように、吸着面１３の方向から見た第１プレート２１には、ｎ×ｎ個で、行列状に等間隔に吸着貫通孔２１ｈが形成されている。吸着貫通孔２１ｈは、図２（Ｂ）および図２（Ｃ）に示すように、吸着面１３に垂直に貫通形成されているため、図３（Ｅ）に示すように、第１プレート２１の吸着面１３と反対側から見ても、吸着貫通孔２１ｈが、同様に行列状に等間隔に形成されている。

図２（Ｂ）に示すように、第１プレート２１の上側には、第２プレート２２が積層されている。第２プレート２２には、表裏面を貫通する連通溝２４が形成されている。図３（Ｄ）に示すように、第２プレート２２を積層方向の上から見ると、連通溝２４は、十字状に形成された第１連通溝２４ａおよび第２連通溝２４ｂを有する。第１連通溝２４ａと第２連通溝２４ｂの交点２４ｏから、第１連通溝２４ａに沿って、所定間隔で、徐々に長さが長くなるように、しかも第１連通溝２４ａに対して直交するように、第３連通溝２４ｃ、第４連通溝２４ｄ、第５連通溝２４ｅ、第６連通溝２４ｆが形成されている。第２連通溝２４ｂにも、同様に第３連通溝〜第６連通溝が形成されている。

図３（Ｃ）に示すように、最下層第３プレート２３ａには、十字状に表裏面を貫通する第１連通溝（集中流路）２５ａと第２連通溝（集中流路）２５ｂが形成されている。このため、図３（Ｄ）に示す第２プレート２２の上に図３（Ｃ）に示す最下層第３プレート２３ａを積層すると、第１貫通溝２５ａおよび第２貫通溝２５ｂは、第２プレート２２に形成された連通溝２４の中心付近で、全ての連通溝２４ａ〜２４ｆと連通している。

図２（Ｂ）に示すように、最下層第３プレート２３ａの上側には、中層第３プレート２３ｂが積層されている。図３（Ｂ）に示すように、中層第３プレート２３ｂの中心位置には、第３連通溝（孔）２５ｃが形成されている。このため、図３（Ｃ）に示す最下層第３プレート２３ａの上側に、図３（Ｂ）に示す中層第３プレート２３ｂを積層すると、最下層第３プレート２３ａの中心位置で、第３貫通溝（孔）２５ｃは、全ての連通溝２５ａ，２５ｂと連通している。

このため、図３（Ｅ）に示す第１プレート２１の上に図３（Ｄ）に示す第２プレート２２を積層すると、図４に示すように、連通溝２４は、第１プレート２１に形成された全ての吸着貫通孔２１ｈ同士を接続している。

図２（Ｂ）に示すように、第２プレート２２の上側には、第３プレート２３が積層されている。第３プレート２３は、第２プレート２２上に積層される最下層第３プレート２３ａと、最下層第３プレート２３ａ上に積層される中層第３プレート２３ｂと、中層第３プレート２３ｂ上に積層される最上層第３プレート２３ｃとを有している。第３プレート２３は、集中流路２５（２５ａ〜２５ｄ）を有している。

図３（Ｃ）に示すように、最下層第３プレート２３ａには、十字状に表裏面を貫通する第１連通溝（集中流路）２５ａと第２連通溝（集中流路）２５ｂが形成されている。このため、図３（Ｄ）に示す第２プレート２２の上に図３（Ｃ）に示す最下層第３プレート２３ａを積層すると、第１貫通溝２５ａおよび第２貫通溝２５ｂは、第２プレート２２に形成された連通溝２４の中心付近で、全ての連通溝２４ａ〜２４ｆと連通している。

図２（Ｂ）に示すように、最下層第３プレート２３ａの上側には、中層第３プレート２３ｂが積層されている。図３（Ｂ）に示すように、中層第３プレート２３ｂの中心位置には、第３連通溝（孔）２５ｃが形成されている。このため、図３（Ｃ）に示す最下層第３プレート２３ａの上側に、図３（Ｂ）に示す中層第３プレート２３ｂを積層すると、最下層第３プレート２３ａの中心位置で、第３貫通溝（孔）２５ｃは、全ての連通溝２５ａ，２５ｂと連通している。

図２（Ｂ）に示すように、中層第３プレート２３ｂの上側には、最上層第３プレート２３ｃが積層されている。最上層第３プレート２３ｃを、中層第３プレート２３ｂ側から見た場合に、図３（Ａ）に示すように、最上層第３プレート２３ｃの中心位置２３ｏと、最上層第３プレート２３ｃの外周に位置する接続部２６とを結ぶ第４溝２５ｄが形成されている。このため、図３（Ｂ）に示す中層第３プレート２３ｂの上側に、図３（Ａ）に示す最上層第３プレート２３ｃを積層すると、第３貫通溝（孔）２５ｃと、第４溝２５ｄの中心位置２３ｏと反対側に位置する接続部２６とが連通する。なお、第４溝２５ｄは、最上層第３プレート２３ｃの表裏面を貫通させずに形成することで、容易に形成することができる。

図１に示すように、接続部２６には、真空装置４および圧空装置８が接続してある。このため、上述した多数の吸着貫通孔２１ｈから、単一の第４溝２５ｄへ、流路を集中させることができる。また、第４溝２５ｄから吸着貫通孔２１ｈへ、立体的に、対象シートの吸引力としての負圧、および対象シートの剥離力としての正圧を伝達することが可能になっている。

次に、吸着面１３に形成された吸着貫通孔２１ｈについて、詳細に説明を行う。図３（Ｆ）に示すように、吸着貫通孔２１ｈは、吸着面１３の全面に渡って形成されている。全ての吸着貫通孔２１ｈの総面積は、吸着面１３の総面積に対して５０％以下であることが好ましい。吸着面１３における単位面積（１ｃｍ２）あたりの吸着貫通孔２１ｈの数は、少なくとも１個／ｃｍ２であることが好ましい。図５に示すように、吸着貫通孔２１ｈの直径Ｄは、Ｄ≦２００μｍであることが好ましく、第１プレート２１の厚みＴより大きいことが好ましい。

次に、図６Ａ〜図６Ｇに基づき、上述したシート吸着装置１２を有するシート積層装置２を用いて、対象シート（セラミックグリーンシート）を吸着・加圧する工程について説明を行う。

まず、図６Ａに示すように、シート設置台１４の上に、所定サイズに切断された一枚のグリーンシート１６が設置される。次に、図６Ｂに示すように、シート吸着装置１２の吸着面１３がグリーンシート１６の表面に接するように、シート吸着装置１２が移動すると共に、第１弁６が開状態となり、真空装置４からシート吸着装置１２に吸引力としての負圧が吸着面１３に伝達され、グリーンシート１６がシート吸着装置１２の吸着面１３に吸着保持される。

次に、図６Ｃに示すように、第１弁６が開状態を維持し、グリーンシート１６の吸着保持状態を維持したまま、シート吸着装置１２が、加圧装置１８の位置に移動し、プレス受け平板１８ｂの上に配置される。次に、図６Ｄに矢印で示す方向に、プレス本体１８ａが、シート吸着装置１２を加圧する。これにより、グリーンシート１６が圧着される。

次に、図６Ｅに矢印で示す方向に、プレス本体１８ａが、シート吸着装置１２から離れると共に、第１弁６は閉状態となり、第２弁１０が開状態となり、圧空装置８からシート吸着装置１２に剥離力としての正圧が吸着面１３に伝達されて吸着面１３に形成された吸着貫通孔２１ｈからエアが吹き出され、グリーンシート１６は、吸着面１３から剥離する。そのため、図６Ｆに示すように、シート吸着装置１２がプレス受け平板１８ｂから離れても、グリーンシート１６は、プレス受け平板１８ｂの上に配置されたままとなる。最後に、図６Ｇに示すように、シート吸着装置１２が、図６Ａに示す元の位置に戻る。

なお、図７（Ｃ）に示すように、第３プレート２１には、図３（Ｅ）に示した吸着貫通孔２１ｈより孔径の小さな吸着貫通孔２１ｈ’が、図３（Ｅ）に示すよりも密に形成されても良い。この場合には、図７（Ｂ）に示すように、連通溝２４’を構成するそれぞれの溝同士の間隔が狭くなり、図７（Ｃ）に示す第１プレート２１の上に、図７（Ｂ）に示す第２プレートを積層した場合に、連通溝２４’は、第１プレート２１に形成された全ての吸着貫通孔２１ｈ’同士を接続する。

なお、上述した実施形態では、最終的に単一の集中流路（第４溝２５ｄ）に流路が集約される場合について述べたが、最終的な集中流路の数は、特に限定されない。例えば、最終的に２本の集中流路に集約されると共に、シート吸着装置１２の内部で、エア流路が２つの領域に分かれていても良い。また、最終的な集中流路は、３本以上であっても良い。

また、各プレート同士は熱圧着されるように説明を行ったが、これに限定されない。例えば、各プレートを積層した後に、ボルトで積層体を固定しても良い。

また、上述した実施形態では、第３プレート２３が３枚で構成される場合について説明を行ったが、構成枚数は特に限定されない。また、複数枚で構成されるプレートは、第３プレートに限定されず、第２プレート２２が複数枚で構成されても良いし、第１プレート２１が複数枚のプレートで構成されても良い。

本実施形態では、第１プレート２１、第２プレート２２、第３プレート２３ａ〜２３ｃの積層体でシート吸着装置１２を構成するため、それぞれのプレートは、細い溝や、直径の小さな孔を容易に加工可能な程度に薄くなっている。このような溝や孔は、例えばプレート毎にエッチング加工を行うことなどによって、低コストで容易に形成することができる。本実施形態のシート吸着装置１２では、このようなプレートを積層するため、積層方向の孔（吸着貫通孔２１ｈ，連通溝２４，集中流路２５ａ〜２５ｃ）や、積層方向と垂直な溝（第４溝２５ｄ）なども、容易に形成することができる。また、例えば、第２プレート２２を、複数の積層板で構成することで、シート吸着装置１２の厚みが増し、シート吸着装置１２全体としての剛性を高めることができる。溝や孔のパターンはプレート単位で規定することができるため、設計の自由度が増す。

また、本実施形態のシート吸着装置１２は、プレートの積層体なので、分解が可能であり、メンテナンスを行いやすい。さらに、特定の箇所が劣化した場合に、その箇所を含むプレートのみ交換することができるため、交換コストを低減させることができる。

さらに本実施形態のシート吸着装置１２では、集中流路（第４溝２５ｄ）から連通溝２４を介して吸着面の全面に形成された全ての吸着貫通孔２１ｈに吸引力を伝えるので、薄いグリーンシート１６であっても良好に吸着することができる。また、集中流路（第４溝２５ｄ）から吸着貫通孔２１ｈに空気を送り込めば、薄いグリーンシート１６であっても良好に吸着面１３から剥離させることができる。

本実施形態では、経路を集約することができ、簡易な構成で吸引力を伝達することができる。しかも、吸着貫通孔２１ｈの数を多数形成することができ、グリーンシート１６を安定して吸着することができる。また、吸着貫通孔２１の直径Ｄは、第１プレート２１の厚みＴより大きいため、孔径を安定させることができる。

本実施形態では、グリーンシート１６のプレス時などのために積層体に荷重が作用した場合でも、積層体が変形するおそれが少ない。

本実施形態では、直径Ｄが２００μｍ以下の吸着貫通孔２１ｈが吸着面１３に多数形成されているので、グリーンシート１６への負荷が少なく、安定してグリーンシート１６を吸着することができる。また、プレスの際に、グリーンシート１６と接する吸着面１３（グリーンシート１６へ直接圧力を伝達する部分の面積）を大きく確保することができ、グリーンシート１６に加わる圧力を均一にできる。

第２実施形態
以下に述べる以外は、上述した第１実施形態と同様であり、重複する説明を省略する。図８（Ｆ）に示すように、吸着面１３の方向から見た第１プレート２１には、外縁部に開口部２１ｋが設けてあり、この開口部の内側に吸着貫通孔が形成されない非開口部２１ｎが設けてある。図９に示すように開口部には、格子状に等間隔に吸着貫通孔２１ｈが形成されている。吸着貫通孔２１ｈは、図２（Ｂ）および図２（Ｃ）に示すように、吸着面１３に垂直に貫通形成されているため、図８（Ｅ）に示すように、第１プレート２１の吸着面１３と反対側から見ても、吸着貫通孔２１ｈが、同様に格子状に等間隔に形成されている。

図２（Ｂ）に示すように、第１プレート２１の上側には、第２プレート２２が積層されている。第２プレート２２には、表裏面を貫通する連通溝２４が形成されている。図８（Ｄ）に示すように、第２プレート２２を積層方向の上から見ると、連通溝２４は、十字状に形成された第１連通溝２４ａおよび第２連通溝２４ｂを有する。第１連通溝２４ａと第２連通溝２４ｂの交点２４ｏから、第１連通溝２４ａに沿って、所定間隔で、徐々に長さが長くなるように、しかも第１連通溝２４ａに対して直交するように、第３連通溝２４ｃ、第４連通溝２４ｄが形成されている。第２連通溝２４ｂにも、同様に第３連通溝〜第４連通溝が形成されている。

図８（Ｃ）に示すように、最下層第３プレート２３ａには、十字状に表裏面を貫通する第１連通溝（集中流路）２５ａと第２連通溝（集中流路）２５ｂが形成されている。このため、図８（Ｄ）に示す第２プレート２２の上に図８（Ｃ）に示す最下層第３プレート２３ａを積層すると、第１貫通溝２５ａおよび第２貫通溝２５ｂは、第２プレート２２に形成された連通溝２４の中心付近で、全ての連通溝２４ａ〜２４ｄと連通している。

本実施形態では、薄い構造体プレートの製品吸引部分に非開口部を設けることにより、製品部分に生じる図１０に示すようなシート変形が回避され、シートがより薄くなってもダメージを受けないように工夫することができる。このように、構造体プレートが薄いため、より簡単に、搬送されるシートに合わせた、貫通孔や溝を、エッチングなどにより容易に形成することができる。

第３実施形態
以下に述べる以外は、上述した第１実施形態と同様であり、重複する説明を省略する。図示していないが、第１プレート２１は、薄い構造体プレートが複数枚積層されることで構成されている。貫通孔や溝は、プレート単位で形成されている。

好ましくは、第１プレート２１を構成する構造体プレートの積層枚数は、１枚〜２０枚である。好ましくは、第１プレート２１を構成する構造体プレートの一枚あたりの厚みが、５０〜５００μｍである。

また、第２プレート２２も、同様に、薄い構造体プレートが複数枚積層されることで構成されていても良い。第３プレート２３も、同様に、薄い構造体プレートが複数枚積層されることで構成されていても良い。

本実施形態では、薄い構造体プレートが複数枚積層されたプレートの積層方向の厚みを稼ぐことができ、吸着貫通孔の詰まりを防止することができる。また、特定の箇所が劣化した場合に、その箇所を含むプレートのみ交換することができるため、より交換コストを低減できる。さらに、構造体プレートが薄いため、より簡単に、貫通孔や溝を、エッチングなどにより容易に形成することができる。

以上のように、本発明に係るシート吸着装置およびシート積層装置は、積層セラミックコンデンサのような小型部品の製造に有用である。特に、プレートの形状を工夫することにより、製品に使用される部分のシートの表面に傷が付かないようにすることができるため、積層するシートが薄く傷が欠陥につながるような場合でも、歩留まりよく積層品を製造することができる。

２…シート積層装置
４…真空装置
８…加圧装置
１２…シート吸着装置
１３…吸着面
１６…グリーンシート
２１…第１プレート
２１ｈ…吸着貫通孔
２１ｋ・・・開口部
２１ｎ・・・非開口部
２２…第２プレート
２３…第３プレート
２４…連通溝
２５…集中流路

Claims (11)

1. 吸着すべき対象シートと接する吸着面が形成され、前記吸着面に複数の吸着貫通孔が形成された第１プレートと、
   少なくとも一部の前記吸着貫通孔同士を接続する連通溝が形成された第２プレートと、
   前記連通溝に接続され、前記連通溝に吸引力を伝達する集中流路が形成された第３プレートと、が少なくとも積層されている積層体を有することを特徴とするシート吸着装置。
2. 前記第１プレートの開口部の内側に吸着貫通孔が形成されない非開口部を有することを特徴とする請求項１に記載のシート吸着装置
3. 前記第１プレートの非開口部の面積が、前記吸着面全体の２５〜９５％であることを特徴とする請求項２に記載のシート吸着装置
4. 前記第１プレートが、金属プレートの積層板であることを特徴とする請求項１〜３に記載のシート吸着装置。
5. 前記吸着貫通孔の数に比較して、前記連通溝の数が少なく、前記連通溝の数に比較して、前記集中流路の数が少なくなっていることを特徴とする請求項１〜４に記載のシート吸着装置。
6. 前記連通溝が、貫通孔であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のシート吸着装置。
7. 前記吸着貫通孔の直径は、前記第１プレートの厚みより大きいことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のシート吸着装置。
8. 前記吸着貫通孔の直径が２００μｍ以下であることを特徴とする請求項７に記載のシート吸着装置。
9. 前記吸着面に形成された前記吸着貫通孔の総面積は、前記吸着面の総面積に対して５０％以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のシート吸着装置。
10. 前記吸着面における単位面積あたりの前記吸着貫通孔の数は、少なくとも１個／ｃｍ２であることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のシート吸着装置。
11. 請求項１〜１０のいずれかに記載のシート吸着装置と、
    前記シート吸着装置に吸引力を伝達する真空装置と、
    前記シート吸着装置に加圧力を与える加圧装置と、を有するシート積層装置であって、
    前記シート吸着装置が、前記真空装置と前記加圧装置との間を移動自在であることを特徴とするシート積層装置。