JPH11271563A - 光ファイバアレイ - Google Patents
光ファイバアレイInfo
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- JPH11271563A JPH11271563A JP7709398A JP7709398A JPH11271563A JP H11271563 A JPH11271563 A JP H11271563A JP 7709398 A JP7709398 A JP 7709398A JP 7709398 A JP7709398 A JP 7709398A JP H11271563 A JPH11271563 A JP H11271563A
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】光ファイバの断線を生じることがなく、また、
光導波路の偏光クロストークの劣化の小さい光ファイバ
アレイを提供する。 【解決手段】基板１６ＡのＶ字状の溝３０ａ、３０ｂに
光ファイバ１０の２本の端部１０ａ及び１０ｂを這わせ
た後、光ファイバ１０の偏波保存面を光導波路２２を伝
搬する光の偏波面の方向に合わせる。その後、蓋基盤１
６Ｂの表面に熱硬化型樹脂を塗布しておき、基盤１６Ａ
に被せてＶ字状の溝３０ａ、３０ｂと光ファイバ１０と
の隙間に樹脂を充填し、６０℃に加熱して両者を接着、
固定し、アレイ１６の端面中、光ファイバ１０の自由端
側端面１６ａを研磨することによって光ファイバ１０へ
のアレイ１６の固着作業が終了する。
光導波路の偏光クロストークの劣化の小さい光ファイバ
アレイを提供する。 【解決手段】基板１６ＡのＶ字状の溝３０ａ、３０ｂに
光ファイバ１０の２本の端部１０ａ及び１０ｂを這わせ
た後、光ファイバ１０の偏波保存面を光導波路２２を伝
搬する光の偏波面の方向に合わせる。その後、蓋基盤１
６Ｂの表面に熱硬化型樹脂を塗布しておき、基盤１６Ａ
に被せてＶ字状の溝３０ａ、３０ｂと光ファイバ１０と
の隙間に樹脂を充填し、６０℃に加熱して両者を接着、
固定し、アレイ１６の端面中、光ファイバ１０の自由端
側端面１６ａを研磨することによって光ファイバ１０へ
のアレイ１６の固着作業が終了する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路チップと
光ファイバとを接続するための光ファイバアレイに関す
る。
光ファイバとを接続するための光ファイバアレイに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光導波路チップと光ファイバとを接続す
るために光ファイバアレイが一般的に用いられている。
この光導波路チップには、ＧａＡｓ系、ＩｎＰ系の半導
体導波路チップ、Ｓｉ上に酸化膜を形成したり、ガラス
基板を用いる誘電体（ガラス）導波路チップ、ＬｉＮｂ
Ｏ3 やＬｉＴａＯ3 結晶で構成した強誘電体結晶導波路
チップ等、多数の種類がある。その応用として、例え
ば、光ファイバジャイロ等のセンサ・計測関係、高速変
調器等の光ファイバ通信関係、Ａ／Ｄ変換器等の光情報
処理関係、レーザダイオードアレイ等の光源・光変換関
係での多岐にわたる用途が検討されている。
るために光ファイバアレイが一般的に用いられている。
この光導波路チップには、ＧａＡｓ系、ＩｎＰ系の半導
体導波路チップ、Ｓｉ上に酸化膜を形成したり、ガラス
基板を用いる誘電体（ガラス）導波路チップ、ＬｉＮｂ
Ｏ3 やＬｉＴａＯ3 結晶で構成した強誘電体結晶導波路
チップ等、多数の種類がある。その応用として、例え
ば、光ファイバジャイロ等のセンサ・計測関係、高速変
調器等の光ファイバ通信関係、Ａ／Ｄ変換器等の光情報
処理関係、レーザダイオードアレイ等の光源・光変換関
係での多岐にわたる用途が検討されている。
【０００３】前記のような光ファイバジャイロを製造す
る場合、長尺の光ファイバを円筒の物体に巻き付けて作
成したファイバコイルから導出された光ファイバの２本
の端部と位相変調器が組み込まれた光導波路チップと
を、偏波面を一定の方向に保持して接続するために、偏
波面保存光ファイバアレイが用いられている。
る場合、長尺の光ファイバを円筒の物体に巻き付けて作
成したファイバコイルから導出された光ファイバの２本
の端部と位相変調器が組み込まれた光導波路チップと
を、偏波面を一定の方向に保持して接続するために、偏
波面保存光ファイバアレイが用いられている。
【０００４】前記偏波面保存光ファイバアレイは、例え
ば、２枚の基板からなり、そのうちの１枚には溝部が形
成され、該溝部に光ファイバを偏波面を一定の方向に保
持するように埋設した後２枚の基板を重ね合わせ、該溝
部と光ファイバとの隙間にエポキシ等の室温硬化型、若
しくは熱硬化型樹脂、または、アクリル系等の紫外線硬
化型樹脂を充填して硬化することにより樹脂層を形成
し、光ファイバをアレイの溝部に固定することによって
形成される。
ば、２枚の基板からなり、そのうちの１枚には溝部が形
成され、該溝部に光ファイバを偏波面を一定の方向に保
持するように埋設した後２枚の基板を重ね合わせ、該溝
部と光ファイバとの隙間にエポキシ等の室温硬化型、若
しくは熱硬化型樹脂、または、アクリル系等の紫外線硬
化型樹脂を充填して硬化することにより樹脂層を形成
し、光ファイバをアレイの溝部に固定することによって
形成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の光フ
ァイバアレイにおいて、樹脂の充填量のばらつきや樹脂
層各部での硬化の進行度のばらつき等によって、樹脂層
に空洞部が生じることがある。このような空洞部がある
と、光ファイバを取り扱う際の曲げやねじれによる応力
が発生し易く、これによって光ファイバが断線するおそ
れがある。
ァイバアレイにおいて、樹脂の充填量のばらつきや樹脂
層各部での硬化の進行度のばらつき等によって、樹脂層
に空洞部が生じることがある。このような空洞部がある
と、光ファイバを取り扱う際の曲げやねじれによる応力
が発生し易く、これによって光ファイバが断線するおそ
れがある。
【０００６】本発明はこのような課題を考慮してなされ
たものであり、光ファイバの断線を生じることがなく、
また、光導波路の偏光クロストークの劣化の小さい光フ
ァイバアレイを提供することを目的とする。
たものであり、光ファイバの断線を生じることがなく、
また、光導波路の偏光クロストークの劣化の小さい光フ
ァイバアレイを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光ファイバ
アレイは、光導波路チップと光ファイバとを接続するた
めの光ファイバアレイにおいて、前記光ファイバを挟持
して配設するための２枚の基板を有し、前記２枚の基板
のうちの少なくとも１枚には前記光ファイバを保持して
固定するための溝部が形成され、前記溝部に前記光ファ
イバが樹脂層により固着され、該樹脂層には、直径の総
和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある１または２以
上の空洞部を有することを特徴とする。
アレイは、光導波路チップと光ファイバとを接続するた
めの光ファイバアレイにおいて、前記光ファイバを挟持
して配設するための２枚の基板を有し、前記２枚の基板
のうちの少なくとも１枚には前記光ファイバを保持して
固定するための溝部が形成され、前記溝部に前記光ファ
イバが樹脂層により固着され、該樹脂層には、直径の総
和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある１または２以
上の空洞部を有することを特徴とする。
【０００８】これにより、光ファイバの断線を生じるこ
とがなく、また、光導波路の偏光クロストークの劣化の
小さい光ファイバアレイを得ることができる。ここで、
空洞部の直径の総和が１０μｍ未満では、樹脂層の残留
応力によって光導波路の偏光クロストークの劣化が大き
くなり、一方、空洞部の直径の総和が５００μｍを超え
ると、光ファイバの断線を生じることが多くなる。な
お、空洞部の直径の総和は、１００μｍ〜４５０μｍの
範囲内にあると一層好適である。したがって、本発明に
係る光ファイバアレイは、光導波路チップと光ファイバ
とを偏波面を一定の方向に保持して接続するための偏波
面保存光ファイバアレイであって、前記２枚の基板のう
ちの少なくとも１枚には前記光ファイバの偏波面を一定
の方向に保持して固定するための溝部が形成されている
と一層好適である。
とがなく、また、光導波路の偏光クロストークの劣化の
小さい光ファイバアレイを得ることができる。ここで、
空洞部の直径の総和が１０μｍ未満では、樹脂層の残留
応力によって光導波路の偏光クロストークの劣化が大き
くなり、一方、空洞部の直径の総和が５００μｍを超え
ると、光ファイバの断線を生じることが多くなる。な
お、空洞部の直径の総和は、１００μｍ〜４５０μｍの
範囲内にあると一層好適である。したがって、本発明に
係る光ファイバアレイは、光導波路チップと光ファイバ
とを偏波面を一定の方向に保持して接続するための偏波
面保存光ファイバアレイであって、前記２枚の基板のう
ちの少なくとも１枚には前記光ファイバの偏波面を一定
の方向に保持して固定するための溝部が形成されている
と一層好適である。
【０００９】また、本発明に係る光ファイバアレイにお
いて、前記溝部はＶ字状の所定長に形成されるととも
に、該溝部に延在して溝部より幅広の座繰り部が形成さ
れ、前記光ファイバが樹脂層により前記溝部に固着され
ることを特徴とする。ここで、座繰り部は、ファイバ被
覆コート部を逃がすための逃げ溝をいう。
いて、前記溝部はＶ字状の所定長に形成されるととも
に、該溝部に延在して溝部より幅広の座繰り部が形成さ
れ、前記光ファイバが樹脂層により前記溝部に固着され
ることを特徴とする。ここで、座繰り部は、ファイバ被
覆コート部を逃がすための逃げ溝をいう。
【００１０】ファイバ芯線部を固定することにより、フ
ァイバの偏波面を固定することができる。
ァイバの偏波面を固定することができる。
【００１１】またさらに、本発明に係る光ファイバアレ
イにおいて、前記光ファイバは、楕円コアファイバ、パ
ンダファイバ、楕円ジャケットファイバ、棒帯ファイバ
のうちのいずれか１つであることを特徴とする。
イにおいて、前記光ファイバは、楕円コアファイバ、パ
ンダファイバ、楕円ジャケットファイバ、棒帯ファイバ
のうちのいずれか１つであることを特徴とする。
【００１２】これにより、前記した本発明の効果を好適
に発揮することができる。
に発揮することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光ファイバア
レイを、例えば、光導波路チップと光ファイバとを偏波
面を一定の方向に保持して接続するための偏波面保存光
ファイバアレイに適用した実施の形態例を図１〜図４を
参照しながら以下に説明する。
レイを、例えば、光導波路チップと光ファイバとを偏波
面を一定の方向に保持して接続するための偏波面保存光
ファイバアレイに適用した実施の形態例を図１〜図４を
参照しながら以下に説明する。
【００１４】本実施の形態に係る光ファイバアレイは、
図１に示すように、光ファイバ１０、１２と光導波路チ
ップ１４とが接合方向を規制するように固着される第１
および第２のアレイ１６、１８から構成される。この光
導波路チップ１４は、例えばＬｉＮｂＯ3 基板２０に所
定形状の光導波路（例えば、Ｙ字光導波路）２２が形成
されて構成され、該光導波路２２上には位相変調器２４
と偏光子２６とが配設されている。
図１に示すように、光ファイバ１０、１２と光導波路チ
ップ１４とが接合方向を規制するように固着される第１
および第２のアレイ１６、１８から構成される。この光
導波路チップ１４は、例えばＬｉＮｂＯ3 基板２０に所
定形状の光導波路（例えば、Ｙ字光導波路）２２が形成
されて構成され、該光導波路２２上には位相変調器２４
と偏光子２６とが配設されている。
【００１５】図２に示すように、光ファイバ１０の２つ
の端部（例えば、光ファイバジャイロのファイバコイル
に接続される始端部１０ａと終端部１０ｂ）は、光導波
路チップ１４との接合方向を規制する第１のアレイ１６
に固着され、また、図３に示すように、光ファイバ１２
の１つの端部（例えば、光源に接続される光ファイバ１
２の端部１２ａ）は、光導波路チップ１４との接合方向
を規制する第２のアレイ１８に固着され、これら第１及
び第２のアレイ１６、１８を通じて上記各光ファイバ１
０、１２のそれぞれの端部１０ａ、１０ｂ及び１２ａが
光導波路チップ１４と光学的に結合されるようになって
いる。
の端部（例えば、光ファイバジャイロのファイバコイル
に接続される始端部１０ａと終端部１０ｂ）は、光導波
路チップ１４との接合方向を規制する第１のアレイ１６
に固着され、また、図３に示すように、光ファイバ１２
の１つの端部（例えば、光源に接続される光ファイバ１
２の端部１２ａ）は、光導波路チップ１４との接合方向
を規制する第２のアレイ１８に固着され、これら第１及
び第２のアレイ１６、１８を通じて上記各光ファイバ１
０、１２のそれぞれの端部１０ａ、１０ｂ及び１２ａが
光導波路チップ１４と光学的に結合されるようになって
いる。
【００１６】具体的には、上記第１のアレイ１６は、図
２に示すように、一主面に一方の端面に向かって延びる
２本のＶ字状の溝３０ａ、３０ｂと他方の端面に向かっ
て延びる幅広の座繰り部（接着用の逃げ溝）３２が連続
して形成された基板１６Ａと、該基板１６Ａの各溝３０
ａ、３０ｂ、３２を塞ぐための蓋基板１６Ｂとで構成さ
れている。上記２本のＶ字状の溝３０ａ、３０ｂは、そ
の間隔が図１に示す光導波路２２における２本の分岐路
の光軸に合致する間隔と同じとされている。
２に示すように、一主面に一方の端面に向かって延びる
２本のＶ字状の溝３０ａ、３０ｂと他方の端面に向かっ
て延びる幅広の座繰り部（接着用の逃げ溝）３２が連続
して形成された基板１６Ａと、該基板１６Ａの各溝３０
ａ、３０ｂ、３２を塞ぐための蓋基板１６Ｂとで構成さ
れている。上記２本のＶ字状の溝３０ａ、３０ｂは、そ
の間隔が図１に示す光導波路２２における２本の分岐路
の光軸に合致する間隔と同じとされている。
【００１７】そして、第１のアレイ１６を組み立てる場
合は、まず、図２に示すように、上記基板１６ＡのＶ字
状の溝３０ａ、３０ｂに光ファイバ１０の２本の端部１
０ａ及び１０ｂを這わせた後、光ファイバ１０の偏波保
存面を光導波路２２を伝搬する光の偏波面の方向に合わ
せる。その後、上方から蓋基板１６Ｂを被せてエポキシ
樹脂をＶ字状の溝３０ａ、３０ｂと光ファイバ１０との
隙間に充填し、６０℃の温度で加熱して両者を接着・固
定し、上記第１のアレイ１６の端面中、光ファイバ１０
の自由端側端面１６ａを研磨することによって光ファイ
バ１０への第１のアレイ１６の固着作業が終了すること
となる。
合は、まず、図２に示すように、上記基板１６ＡのＶ字
状の溝３０ａ、３０ｂに光ファイバ１０の２本の端部１
０ａ及び１０ｂを這わせた後、光ファイバ１０の偏波保
存面を光導波路２２を伝搬する光の偏波面の方向に合わ
せる。その後、上方から蓋基板１６Ｂを被せてエポキシ
樹脂をＶ字状の溝３０ａ、３０ｂと光ファイバ１０との
隙間に充填し、６０℃の温度で加熱して両者を接着・固
定し、上記第１のアレイ１６の端面中、光ファイバ１０
の自由端側端面１６ａを研磨することによって光ファイ
バ１０への第１のアレイ１６の固着作業が終了すること
となる。
【００１８】第２のアレイ１８は、図３に示すように、
一主面の一方の端面に向かって延びる１本のＶ字状の溝
３４と他方の端面に向かって延びる幅広の座繰り部（接
着用の逃げ溝）３６が連続して形成された基板１８Ａ
と、該基板１８Ａの各溝３４、３６を塞ぐための蓋基板
１８Ｂとで構成されている。
一主面の一方の端面に向かって延びる１本のＶ字状の溝
３４と他方の端面に向かって延びる幅広の座繰り部（接
着用の逃げ溝）３６が連続して形成された基板１８Ａ
と、該基板１８Ａの各溝３４、３６を塞ぐための蓋基板
１８Ｂとで構成されている。
【００１９】そして、この第２のアレイ１８を組み立て
る場合は、まず、上記基板１８ＡのＶ字状の溝３４に光
ファイバ１２の１本の端部１２ａを這わせた後、光ファ
イバ１２の偏波保存面を光導波路２２を伝搬する光の偏
波面の方向に合わせる。その後、その上方から蓋基板１
８Ｂを被せて接着剤にて接着し第２のアレイ１８の端面
中、光ファイバ１２の自由端側端面１８ａを研磨するこ
とによって光ファイバ１２への第２のアレイ１８の固着
作業が終了する。
る場合は、まず、上記基板１８ＡのＶ字状の溝３４に光
ファイバ１２の１本の端部１２ａを這わせた後、光ファ
イバ１２の偏波保存面を光導波路２２を伝搬する光の偏
波面の方向に合わせる。その後、その上方から蓋基板１
８Ｂを被せて接着剤にて接着し第２のアレイ１８の端面
中、光ファイバ１２の自由端側端面１８ａを研磨するこ
とによって光ファイバ１２への第２のアレイ１８の固着
作業が終了する。
【００２０】上記した光ファイバ１０、１２を第１およ
び第２のアレイ１６、１８に樹脂を用いて固着する際、
樹脂としてエポキシ樹脂（セメダイン社製 商品名ＥＰ
００１）を使用し、固化して形成した樹脂層に下記の所
定条件の空洞部が形成されるように、ディスペンサの吐
出速度として０．００１６ｇ／ｓｅｃ以下の速度で樹脂
を吐出し、光ファイバ１０、１２の偏波面を調整してア
レイ１６、１８で固定し、室温で１時間放置した後６０
℃の温度で樹脂を加熱、硬化させた。
び第２のアレイ１６、１８に樹脂を用いて固着する際、
樹脂としてエポキシ樹脂（セメダイン社製 商品名ＥＰ
００１）を使用し、固化して形成した樹脂層に下記の所
定条件の空洞部が形成されるように、ディスペンサの吐
出速度として０．００１６ｇ／ｓｅｃ以下の速度で樹脂
を吐出し、光ファイバ１０、１２の偏波面を調整してア
レイ１６、１８で固定し、室温で１時間放置した後６０
℃の温度で樹脂を加熱、硬化させた。
【００２１】前記した所定条件の空洞部とは、直径の総
和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある１または２以
上の空洞部であり、この空洞部の作用効果については以
下の実験により見出した。
和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある１または２以
上の空洞部であり、この空洞部の作用効果については以
下の実験により見出した。
【００２２】すなわち、光ファイバをアレイに樹脂を用
いて固着する際のディスペンサの吐出速度あるいは室温
での放置時間を変化させて、固化した樹脂層に種々のサ
イズの空洞部が形成されたアレイを作製した。アレイ
は、樹脂層の空洞部のサイズが同一のものについてそれ
ぞれ１０個ずつ作製した。作製したアレイの座繰り部を
透過顕微鏡で観察することにより、個々の空洞（部）の
円相当直径を計測し、空洞部の直径の総和を求めた。
いて固着する際のディスペンサの吐出速度あるいは室温
での放置時間を変化させて、固化した樹脂層に種々のサ
イズの空洞部が形成されたアレイを作製した。アレイ
は、樹脂層の空洞部のサイズが同一のものについてそれ
ぞれ１０個ずつ作製した。作製したアレイの座繰り部を
透過顕微鏡で観察することにより、個々の空洞（部）の
円相当直径を計測し、空洞部の直径の総和を求めた。
【００２３】これら種々のサイズの空洞部が形成された
樹脂層によってアレイに接合された光ファイバについ
て、光ファイバの断線率と偏光クロストークとを求め
た。その結果を図４に示す。ここで、断線率（単位％）
は、温度が−４０℃と８０℃の熱衝撃試験機内へ交互に
６０分間毎にアレイ１６、１８を投入し、このサイクル
を１００回繰り返した後、樹脂の熱応力により断線した
試料数の同一条件の全試料数に対する比率である。な
お、図４中、断線率が０％のものではサイクルを１３０
０回繰り返しても断線を生じなかった。また、偏光クロ
ストーク（単位ｄＢ）は、後述する光軸調整と同様の方
法により、光軸に対して横方向の偏波（Ｐｘ）と縦方向
の偏波（Ｐｙ）とを測定し、−１０×ｌｏｇ（Ｐｙ／Ｐ
ｘ）で表したものである。
樹脂層によってアレイに接合された光ファイバについ
て、光ファイバの断線率と偏光クロストークとを求め
た。その結果を図４に示す。ここで、断線率（単位％）
は、温度が−４０℃と８０℃の熱衝撃試験機内へ交互に
６０分間毎にアレイ１６、１８を投入し、このサイクル
を１００回繰り返した後、樹脂の熱応力により断線した
試料数の同一条件の全試料数に対する比率である。な
お、図４中、断線率が０％のものではサイクルを１３０
０回繰り返しても断線を生じなかった。また、偏光クロ
ストーク（単位ｄＢ）は、後述する光軸調整と同様の方
法により、光軸に対して横方向の偏波（Ｐｘ）と縦方向
の偏波（Ｐｙ）とを測定し、−１０×ｌｏｇ（Ｐｙ／Ｐ
ｘ）で表したものである。
【００２４】図４に示すように、断線率は、空洞部の直
径の総和が４５０μｍまでは０％であり、５００μｍを
超えると断線が発生するとともにその後急激に断線率が
増加し、空洞部の直径の総和が１０００μｍのものでは
断線率が４０％に達した。一方、偏光のクロストーク
は、空洞部の直径の総和が１００μｍ以上であれば約２
５ｄＢ程度が確保されるが、空洞部の直径の総和が１０
０μｍより小さくなると急激に劣化して１０μｍで約２
０ｄＢ程度となり、空洞部の直径の総和が１０μｍより
小さくなると空洞部のないものを含めて偏光のクロスト
ークは１５ｄＢまで劣化した。したがって、断線率と偏
光クロストークのバランスを考慮して、空洞部の直径の
総和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内に収まるように、
前記した条件で光ファイバ１０、１２を第１および第２
のアレイ１６、１８に樹脂を用いて固着した。
径の総和が４５０μｍまでは０％であり、５００μｍを
超えると断線が発生するとともにその後急激に断線率が
増加し、空洞部の直径の総和が１０００μｍのものでは
断線率が４０％に達した。一方、偏光のクロストーク
は、空洞部の直径の総和が１００μｍ以上であれば約２
５ｄＢ程度が確保されるが、空洞部の直径の総和が１０
０μｍより小さくなると急激に劣化して１０μｍで約２
０ｄＢ程度となり、空洞部の直径の総和が１０μｍより
小さくなると空洞部のないものを含めて偏光のクロスト
ークは１５ｄＢまで劣化した。したがって、断線率と偏
光クロストークのバランスを考慮して、空洞部の直径の
総和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内に収まるように、
前記した条件で光ファイバ１０、１２を第１および第２
のアレイ１６、１８に樹脂を用いて固着した。
【００２５】一方、光導波路チップ１４は、以下のよう
にして作製する。まず、例えば３ｉｎｃｈウェーハ（例
えば、ＬｉＮｂＯ3 基板）の一主面（機能面）に、例え
ば真空蒸着等によって所定形状の光導波路２２を形成す
ると同時に、該光導波路２２上に偏光子２６及び位相変
調器２４を形成して１枚のウェーハ上に多数の光ＩＣパ
ターンを形成する（図示せず）。次いで、数個の光ＩＣ
パターンを一組として、ウェーハから組単位に光ＩＣパ
ターンを例えばダイヤモンドカッターを有するダイシン
グ装置を用いて切り出した後、各組の端面、特に上記第
１及び第２のアレイ１６、１８が接合される面を研磨処
理する。その後各組から各々光ＩＣパターンを同じくダ
イシング装置を用いて切断して多数の光導波路チップに
分離した後、個々に分離された１つの光導波路チップ１
４が得られる（図１参照）。
にして作製する。まず、例えば３ｉｎｃｈウェーハ（例
えば、ＬｉＮｂＯ3 基板）の一主面（機能面）に、例え
ば真空蒸着等によって所定形状の光導波路２２を形成す
ると同時に、該光導波路２２上に偏光子２６及び位相変
調器２４を形成して１枚のウェーハ上に多数の光ＩＣパ
ターンを形成する（図示せず）。次いで、数個の光ＩＣ
パターンを一組として、ウェーハから組単位に光ＩＣパ
ターンを例えばダイヤモンドカッターを有するダイシン
グ装置を用いて切り出した後、各組の端面、特に上記第
１及び第２のアレイ１６、１８が接合される面を研磨処
理する。その後各組から各々光ＩＣパターンを同じくダ
イシング装置を用いて切断して多数の光導波路チップに
分離した後、個々に分離された１つの光導波路チップ１
４が得られる（図１参照）。
【００２６】そして、１つの光導波路チップ１４に対し
て、すでに光ファイバ１０、１２が固着された第１及び
第２のアレイ１６、１８がそれぞれ接合される。光導波
路チップ１４の両端面のうち、偏光子２６近傍の端面に
第２のアレイ１８が、位相変調器２４近傍の端面に第１
のアレイ１６が光軸を合わせてそれぞれ接合される。
て、すでに光ファイバ１０、１２が固着された第１及び
第２のアレイ１６、１８がそれぞれ接合される。光導波
路チップ１４の両端面のうち、偏光子２６近傍の端面に
第２のアレイ１８が、位相変調器２４近傍の端面に第１
のアレイ１６が光軸を合わせてそれぞれ接合される。
【００２７】各アレイ１６、１８の接合においては、光
出力が最も強くなるように光軸調整がとられながら接着
剤による接着が行われる。
出力が最も強くなるように光軸調整がとられながら接着
剤による接着が行われる。
【００２８】具体的には、まず、光導波路チップ１４に
おける一方の端面に第２のアレイ１８が例えば接着剤に
て接着される。このとき、光ファイバ１２の開放端側に
光源を設け、一方、光導波路２２の他の端面側に光検出
器を配置し（図示せず）、該光導波路２２の２本の分岐
路を通じて出力される光源からの光を上記光検出器にて
計測しながら光ファイバ１２の偏波保存面が光導波路２
２の偏波方向と一致するように、図１中、ＸＹＺの直交
３軸方向についての光軸調整を行う。該光軸調整が済ん
だ段階で、これら第２のアレイ１８と光導波路チップ１
４とが接着剤により接合される。
おける一方の端面に第２のアレイ１８が例えば接着剤に
て接着される。このとき、光ファイバ１２の開放端側に
光源を設け、一方、光導波路２２の他の端面側に光検出
器を配置し（図示せず）、該光導波路２２の２本の分岐
路を通じて出力される光源からの光を上記光検出器にて
計測しながら光ファイバ１２の偏波保存面が光導波路２
２の偏波方向と一致するように、図１中、ＸＹＺの直交
３軸方向についての光軸調整を行う。該光軸調整が済ん
だ段階で、これら第２のアレイ１８と光導波路チップ１
４とが接着剤により接合される。
【００２９】上記第２のアレイ１８と光導波路チップ１
４との接合が終了すると、今度は、光導波路チップ１４
の他方の端面に第１のアレイ１６が例えば接着剤にて接
着される。このとき、光導波路２２を通じて伝搬される
光源からの光を光検出器（図示せず）にて計測しながら
光ファイバ１０の偏波保存面が光導波路２２の偏波方向
と一致するように、図１中、ＸＹＺの直交３軸方向と光
ファイバ１０の２芯（始端部１０ａと終端部１０ｂ）の
回転方向についての光軸調整を行う。該光軸調整が済ん
だ段階で、これら第１のアレイ１６と光導波路チップ１
４とが接着剤により接合される。これにより、本実施の
形態に係る光ファイバアレイ１６、１８および該光ファ
イバアレイ１６、１８によって接合された光導波路チッ
プ１４および光ファイバ１０、１２が完成する。
４との接合が終了すると、今度は、光導波路チップ１４
の他方の端面に第１のアレイ１６が例えば接着剤にて接
着される。このとき、光導波路２２を通じて伝搬される
光源からの光を光検出器（図示せず）にて計測しながら
光ファイバ１０の偏波保存面が光導波路２２の偏波方向
と一致するように、図１中、ＸＹＺの直交３軸方向と光
ファイバ１０の２芯（始端部１０ａと終端部１０ｂ）の
回転方向についての光軸調整を行う。該光軸調整が済ん
だ段階で、これら第１のアレイ１６と光導波路チップ１
４とが接着剤により接合される。これにより、本実施の
形態に係る光ファイバアレイ１６、１８および該光ファ
イバアレイ１６、１８によって接合された光導波路チッ
プ１４および光ファイバ１０、１２が完成する。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光フ
ァイバアレイは、光導波路チップと光ファイバとを接続
するための光ファイバアレイにおいて、前記光ファイバ
を挟持して配設するための２枚の基板を有し、前記２枚
の基板のうちの少なくとも１枚には前記光ファイバを保
持して固定するための溝部が形成され、前記溝部に前記
光ファイバが樹脂層により固着され、前記樹脂層は、直
径の総和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある１また
は２以上の空洞部を有する。
ァイバアレイは、光導波路チップと光ファイバとを接続
するための光ファイバアレイにおいて、前記光ファイバ
を挟持して配設するための２枚の基板を有し、前記２枚
の基板のうちの少なくとも１枚には前記光ファイバを保
持して固定するための溝部が形成され、前記溝部に前記
光ファイバが樹脂層により固着され、前記樹脂層は、直
径の総和が１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある１また
は２以上の空洞部を有する。
【００３１】このため、光ファイバの断線を生じること
がなく、また、光導波路の偏光クロストークの劣化の小
さい光ファイバアレイを得ることができる。
がなく、また、光導波路の偏光クロストークの劣化の小
さい光ファイバアレイを得ることができる。
【図１】本実施の形態に係る光ファイバアレイにより接
続された光ファイバと光導波路チップの斜視図である。
続された光ファイバと光導波路チップの斜視図である。
【図２】端部が分岐した光ファイバが光ファイバアレイ
に固着された状態を示す分解斜視説明図である。
に固着された状態を示す分解斜視説明図である。
【図３】端部が１本である光ファイバが光ファイバアレ
イに固着された状態を示す分解斜視説明図である。
イに固着された状態を示す分解斜視説明図である。
【図４】光ファイバアレイの樹脂層の空洞部の直径の総
和と、光ファイバの断線率および偏光のクロストークと
の関係を示す図である。
和と、光ファイバの断線率および偏光のクロストークと
の関係を示す図である。
１０、１２…光ファイバ １４…光導波路チップ １６、１８…アレイ ２０…ＬｉＮｂＯ3 基
板 ２２…光導波路 ２４…位相変調器 ２６…偏光子 ３０ａ、３０ｂ、３４
…Ｖ字状の溝 ３２、３６…座繰り部
板 ２２…光導波路 ２４…位相変調器 ２６…偏光子 ３０ａ、３０ｂ、３４
…Ｖ字状の溝 ３２、３６…座繰り部
Claims (4)
- 【請求項１】光導波路チップと光ファイバとを接続する
ための光ファイバアレイにおいて、 前記光ファイバアレイは、前記光ファイバを挟持して配
設するための２枚の基板を有し、 前記２枚の基板のうちの少なくとも１枚には前記光ファ
イバを保持して固定するための溝部が形成され、 前記溝部に前記光ファイバが樹脂層により固着され、 前記樹脂層には、直径の総和が１０μｍ〜５００μｍの
範囲内にある１または２以上の空洞部を有することを特
徴とする光ファイバアレイ。 - 【請求項２】請求項１記載の光ファイバアレイにおい
て、 前記光ファイバアレイは、光導波路チップと光ファイバ
とを偏波面を一定の方向に保持して接続するための偏波
面保存光ファイバアレイであり、 前記２枚の基板のうちの少なくとも１枚には前記光ファ
イバの偏波面を一定の方向に保持して固定するための溝
部が形成されていることを特徴とする光ファイバアレ
イ。 - 【請求項３】請求項１または２のいずれかに記載の光フ
ァイバアレイにおいて、 前記溝部はＶ字状の所定長に形成されるとともに、該溝
部に延在して溝部より幅広の座繰り部が形成され、 前記光ファイバが樹脂層により前記溝部に固着されるこ
とを特徴とする光ファイバアレイ。 - 【請求項４】請求項３記載の光ファイバアレイにおい
て、 前記光ファイバは、楕円コアファイバ、パンダファイ
バ、楕円ジャケットファイバ、棒帯ファイバのうちのい
ずれか１つであることを特徴とする光ファイバアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07709398A JP3679602B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 光ファイバアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07709398A JP3679602B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 光ファイバアレイ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271563A true JPH11271563A (ja) | 1999-10-08 |
| JP3679602B2 JP3679602B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=13624180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07709398A Expired - Fee Related JP3679602B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 光ファイバアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3679602B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002055253A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Fujikura Ltd | 光合分波器 |
| WO2002039168A1 (en) * | 2000-11-07 | 2002-05-16 | Zenastra Photonics Inc. | Method of preparing optical fibers for connection to other fibers or to planar waveguides and a device for such a connection |
| US6961504B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-11-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical fiber array |
| JP2009192847A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Ntt Electornics Corp | 光部品及び光ファイバ保持方法 |
-
1998
- 1998-03-25 JP JP07709398A patent/JP3679602B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6961504B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-11-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical fiber array |
| JP2002055253A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Fujikura Ltd | 光合分波器 |
| WO2002039168A1 (en) * | 2000-11-07 | 2002-05-16 | Zenastra Photonics Inc. | Method of preparing optical fibers for connection to other fibers or to planar waveguides and a device for such a connection |
| JP2009192847A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Ntt Electornics Corp | 光部品及び光ファイバ保持方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3679602B2 (ja) | 2005-08-03 |
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