JPH11271966A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

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JPH11271966A
JPH11271966A JP7637798A JP7637798A JPH11271966A JP H11271966 A JPH11271966 A JP H11271966A JP 7637798 A JP7637798 A JP 7637798A JP 7637798 A JP7637798 A JP 7637798A JP H11271966 A JPH11271966 A JP H11271966A
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JP7637798A
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Tatsuya Ichikawa
立也 市川
Tatsuo Chiba
達男 千葉
Masaki Endo
昌樹 遠藤
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 光感度、解像性、耐薬品性（耐メッキ性）、
密着性、等に優れた感光性樹脂組成物及びそれらの性質
ならびに環境性、作業性等に優れた感光性エレメントの
提供。 【解決手段】 （Ａ）バインダーポリマ、（Ｂ）分子内
に重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含み、（Ｂ）成分が下記一般式
（Ｉ）で示される化合物及び下記一般式（II）で表され
る化合物を必須成分として含む感光性樹脂組成物。 （式中、Ｒ１は炭素数１〜１０のアルキレン基を示し、
Ｒ２は次の一般式 （式中、Ｒ３は水素原子又はメチル基を、Ｘ１は炭素数
２〜６のアルキレン基を、ｎは１〜１４の整数である）
で表される基を示す。）で示される化合物及び一般式
（II） （式中Ｒ４及びＲ５は水素原子又はメチル基を、Ｘ２及
びＸ３は炭素数２〜６のアルキレン基を示し、ｋ及びｍ
はｋ＋ｍ＝８〜４０となる正の整数である）

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント回路板の製造分野におい
て、エッチング、メッキ等に用いられるレジスト材料と
しては、感光性樹脂組成物及びそれに支持体と保護フィ
ルムを用いて得られる感光性エレメントが広く用いられ
ている。プリント回路板は、感光性フィルムを銅基板上
にラミネートして、パターン露光した後、未露光部を現
像液で除去し、エッチング又はメッキ処理を施して、パ
ターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥離除去
する方法によって製造されている。
【０００３】この未露光部の除去を行う現像液として
は、炭酸水素ナトリウム溶液等を使用するアルカリ現像
型が主流になっており、現像液は、通常、ある程度感光
層を溶解する能力がある限り使用され、使用時には現像
液中に感光性樹脂組成物が溶解又は分散される。近年の
印刷配線板の高密度化に伴い、銅基板とパターン形成さ
れた感光層との接触面積が小さくなる為、現像、エッチ
ング又はメッキ処理工程で優れた接着力、機械強度、耐
薬品性、柔軟性等が要求される。この種の特性のうち、
耐薬品性を向上させるのにビスフェノールＡ骨格をもつ
光重合性化合物を使用する方法が、特公平７−２７２０
５号公報に記載されているが、硬化膜が脆くなる傾向が
ある。また、耐薬品性と柔軟性を両立させた光重合性組
成物が、特開平８−２８６３７２に記載されているが、
解像度が若干劣るり高密度化対応が必ずしも充分ではな
いという問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】請求項１、２及び３記
載の発明は、光感度、解像性、耐薬品性（耐メッキ
性）、密着性、機械強度、柔軟性等に優れた感光性樹脂
組成物を提供するものである。請求項４記載の発明は、
光感度、解像性、耐薬品性（耐メッキ性）、密着性、機
械強度、柔軟性、環境性、作業性等に優れた感光性エレ
メントを提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）バイン
ダーポリマ、（Ｂ）分子内に重合可能なエチレン性不飽
和基を有する化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含み、前
記（Ｂ）成分が一般式（Ｉ）
【化４】 （式中、Ｒ1は炭素数１〜１０のアルキレン基を示し、
３個のＲ1は同一であっても相異してもよく、Ｒ2は次の
一般式
【化５】 （式中、Ｒ3は水素原子又はメチル基を示し、Ｘ1は炭素
数２〜６のアルキレン基を示し、ｎは１〜１４の整数で
ある）で表される基を示し、３個のＲ2は同一であって
も相異してもよい）で示される化合物及び一般式（II）
【化６】 （式中Ｒ4及びＲ5は各々独立して水素原子又はメチル基
を示し、Ｘ2及びＸ3は各々独立して炭素数２〜６のアル
キレン基を示し、ｋ及びｍはｋ＋ｍ＝８〜４０となるよ
うに選ばれる正の整数である）で表される化合物を必須
成分として含む感光性樹脂組成物に関する。
【０００６】また、本発明は、（Ａ）バインダーポリマ
が、酸価が１００〜５００であり、重量平均分子量が２
０，０００〜３００，０００である前記の感光性樹脂組
成物に関する。また、本発明は、（Ａ）成分、（Ｂ）成
分及び（Ｃ）成分の使用割合が、（Ａ）成分及び（Ｂ）
成分の総量１００重量部に対し、（Ａ）成分が４０〜８
０重量部、（Ｂ）成分が２０〜６０重量部及び（Ｃ）成
分が０．１〜２０重量部であり、（Ｂ）成分中の上記一
般式（Ｉ）で表される化合物及び一般式（II）で表され
る化合物が各々３〜５０重量部以上含まれる前記の感光
性樹脂組成物に関する。また、本発明は、前記感光性樹
脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメ
ントに関する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の感光性樹脂組成物は、
（Ａ）バインダーポリマ、（Ｂ）分子内に重合可能なエ
チレン性不飽和基を有する化合物及び（Ｃ）光重合開始
剤を含み、前記（Ｂ）成分が、上記一般式（Ｉ）及び一
般式（II）で表される化合物を必須成分として含むもの
である。
【０００８】本発明における（Ａ）バインダーポリマと
しては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、これらと
共重合しうるビニルモノマ等を共重合させて得られるの
ビニル共重合体等が挙げられ、これらの共重合体は、単
独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。前記ビ
ニルモノマとしては、特に制限はなく、例えばアクリル
酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、アクリ
ル酸ブチルエステル、アクリル酸２−エチルヘキシルエ
ステル、アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、
アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、アクリル酸
ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジ
ルエステル、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレ
ート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリ
レート、以上に対応するメタクリル酸エステル、アクリ
ルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニ
ルトルエン等が挙げられる。
【０００９】（Ａ）バインダーポリマは、アルカリ水溶
液（例えば、１〜３重量％の炭酸ナトリウム又は炭酸カ
リウム水溶液等）に可溶又は膨潤可能であることが、現
像性、環境保全性等の点で好ましく、そのような性質を
具備するためにカルボキシル基を有していることが好ま
しい。また、（Ａ）バインダーポリマを、アルカリ水溶
液（例えば、１〜３重量％の炭酸ナトリウム又は炭酸カ
リウム水溶液等）に可溶又は膨潤可能なものとする場
合、その酸価は、１００〜５００であることが好まし
い。酸価が１００未満では、現像時間が遅くなる傾向が
あり、５００を超えると、光硬化したレジストの耐現像
液性が低下する傾向がある。また、（Ａ）バインダーポ
リマの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマト
グラフィーにより測定し、標準ポリスチレン換算したも
の）は、２０，０００〜３００，０００であることが好
ましい。重量平均分子量が、３０，０００未満では、耐
現像液性が低下する傾向があり、３００，０００を超え
ると、現像時間が長くなる傾向がある。
【００１０】本発明における（Ｂ）分子内に少なくとも
一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合化
合物に、必須成分として含まれる上記一般式（Ｉ）で表
される化合物において、上記一般式（Ｉ）中、Ｒ1であ
る炭素数１〜１０のアルキレン基としては、例えば、メ
チレン基、エチレン基、プロピレン基、イソプロピレン
基、ブチレン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ネオ
ペンチレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレ
ン基、２−エチル−ヘキシレン基、ノニレン基、デシレ
ン基等が挙げられる。また、Ｘ1である炭素数２〜６の
アルキレン基としては、例えば、エチレン基、プロピレ
ン基、イソプロピレン基、ブチレン基、イソブチレン
基、ペンチレン基、ネオペンチレン基、ヘキシレン基等
が挙げられ、解像性、耐メッキ性の点からエチレン基が
好ましい。また、Ｒ2である上記一般式中のｎは、１〜
１４の整数であり、２〜１４であることが好ましい。ｎ
が１４を超えると耐薬品性が低下する。
【００１１】上記一般式（Ｉ）で示される化合物の市販
品としては例えば、ＵＡ−２１（上記一般式（Ｉ）でＲ
1が−Ｃ6Ｈ12−、Ｒ2におけるｎが４、Ｘ1が−ＣＨ2Ｃ
Ｈ2−、Ｒ3が−ＣＨ3の化合物、新中村化学工業(株)商
品名）がある。一般式（Ｉ）で表される化合物は、単独
で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００１２】また、本発明における（Ｂ）成分中に、必
須成分として含まれる上記一般式（II）で表される化合
物において、上記一般式（II）中、Ｘ2、Ｘ3である炭素
数２〜６のアルキレン基としては、上記Ｘ1について例
示したのと同様のものが挙げられ、解像性、耐メッキ性
の点からエチレン基が好ましい。上記一般式（II）中、
ｋ＋ｍは８〜４０であるが、ｋ＋ｍが７以下の場合は、
（Ａ）バインダポリマとの相溶性が低下し、基板に感光
性エレメントをラミネートした際はがれ易い。又はｋ＋
ｍが４１以上の場合、親水性が増加し、現像時にレジス
ト像がはがれやすく、耐メッキ性（特に半田メッキ）も
低下する。
【００１３】上記一般式（II）で表される化合物として
は、例えば、２，２−ビス〔４−（メタクリロキシペン
タエトキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔４−
（アクリロキシペンタエトキシ）フェニル〕プロパン、
２，２−ビス〔４−（メタクリロキシペンタデカエトキ
シ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔４−（アクリ
ロキシペンタデカエトキシ）フェニル〕プロパン、２，
２−ビス〔４−（メタクリロキシジエトキシ）フェニ
ル〕プロパン、２，２−ビス〔４−（アクリロキシジエ
トキシ）フェニル〕プロパン等が挙げられ、市販品とし
ては例えばＢＰＥ−５００、ＢＰＥ−１３００（いずれ
も新中村化学工業(株)商品名）がある。一般式（II）で
表される化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせ
て使用される。
【００１４】また、本発明において（Ｂ）成分には、
（Ｂ）成分中の必須成分である上記の一般式（Ｉ）で表
される化合物及び一般式（II）で表される化合物以外の
化合物を使用でき、そのような化合物としては、例え
ば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応
させて得られる化合物（ポリエチレングリコールジアク
リレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメ
チロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロ
パントリアクリレート、テトラメチロールメタントリア
クリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレー
ト、ポリプロピレングリコールジアクリレート（プロピ
レン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトー
ルペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
アクリレート等）、グリシジル基含有化合物に、α，β
−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物（トリメ
チロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレ
ート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレ
ート等）、ウレタンアクリレート（β位にＯＨ基を有す
るアクリルモノマ又はメタクリルモノマとイソホロンジ
イソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、
２，４−トルエンジイソシアネート、又は、１，６−メ
キサメチレンジイソシアネートの付加反応物）、ノニル
フェニルジオキシレンアクリレート、γ−クロロ−β−
ヒドロキシプロピル−β′−アクリロイルオキシエチル
−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β′−アク
リロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、以上に対応す
るメタクリレート、アクリル酸のアルキルエステル（ア
クリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、
アクリル酸ブチルエステル、アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等）、以上に対応するメタリル酸のアルキ
ルエステル等が挙げられる。
【００１５】本発明における（Ｃ）光重合開始剤として
は、例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、４，４′
−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４′−
ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−メトキシ
−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルア
ントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベンゾイン
（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテ
ル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテ
ル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等）、ベンジ
ル誘導体（ベンジルジメチルケタール等）、２，４，５
−トリアリールイミダゾール二量体（２−ｏ−クロロフ
ェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２
−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシ
フェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフ
ェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２
−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，
５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−
メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量
体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジ
フェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカ
プトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体等）、アクリジン誘導体（９−フェニルアクリジン、
１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等）
などが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。
【００１６】本発明における（Ａ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、４０〜８０重量部とすることが好ましい。この配合
量が、４０重量部未満では、光硬化物が脆くなり易く、
感光性エレメントとして用いた場合に、塗膜性が劣る傾
向があり、８０重量部を超えると、感度が不充分となる
傾向がある。
【００１７】本発明における（Ｂ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、２０〜６０重量部とすることが好ましい。この配合
量が、２０重量部未満では、感度が不充分となる傾向が
あり、６０重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向
がある。
【００１８】また、本発明における（Ｂ）成分中の必須
成分である一般式（Ｉ）で表される化合物の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、３〜５０重量部であることが好ましく、５〜４０重
量部であることがより好ましい。この配合量が、３重量
部未満では、感度、密着性、耐メッキ性等が劣る傾向が
あり、５０重量部を超えると、レジストの剥離時間が長
くなりすぎる傾向がある。
【００１９】また、本発明における（Ｂ）成分中の必須
成分である一般式（II）で表される化合物の配合量は
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、３〜５０重量部であることが好ましく、５〜４０重
量部であることが好ましい。この配合量が、３重量部未
満では解像性が劣る傾向があり、５０重量部を超える
と、レジストの剥離時間が長くなりすぎる傾向がある。
【００２０】本発明における（Ｃ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、０．１〜２０重量部であることが好ましい。この配
合量が、０．１重量部未満では、感度が不充分となる傾
向があり、２０重量部を超えると、露光の際に組成物の
表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となる傾
向がある。
【００２１】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて、マラカイトグリーン等の染料、ロイコクリスタル
バイオレット等の発色剤、ｐ−トルエンスルホン酸等の
可塑剤、顔料、難燃剤、熱重合禁止剤、密着性付与剤等
を添加することができる。
【００２２】本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分
を、これらを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセト
ン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチル
ケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロ
ホルム、塩化メチレン、メタノール、エタノール等に溶
解、混合させることにより、均一な溶液とすることがで
きる。
【００２３】本発明の感光性エレメントは、前記本発明
の感光性樹脂組成物を、支持体上に塗布、乾燥し、支持
体上に厚さ５〜１００μｍ程度の感光層を形成すること
により作製できる。上記塗布は、公知の方法で行える
が、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコ
ータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等
により行える。乾燥は、８０〜１５０℃、５〜３０分程
度とされる。
【００２４】支持体としては、厚さ５〜１００μｍ、好
ましくは１０〜３０μｍ程度の重合体フィルム、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リエチレン等からなるフィルムが挙げられ、なかでも、
ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。ま
た、これらの重合体フィルムは、感光層の保護フィルム
として感光層の上に積層することができる。
【００２５】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造する方法としては、前記の保護フィ
ルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、
感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層
する方法等が挙げられる。積層される表面は、通常、金
属面であるが、特に制限はない。
【００２６】感光層の加熱温度は、特に制限はなく、９
０〜１３０℃とすることが好ましい。また、感光層の圧
着圧力は、特に制限はなく、１〜１０kgf/cm2とするこ
とが好ましい。なお、感光層を前記のように加熱すれ
ば、予め基板を予熱処理することは必要ではないが、積
層性をさらに向上させるために、基板の予熱処理を行う
こともできる。
【００２７】このようにして積層が完了した感光層は、
次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて、活性
光に画像的に露光される。この際、感光層上に存在する
支持体が透明の場合には、そのまま露光してもよく、ま
た、不透明の場合には、当然除去する必要がある。
【００２８】感光層の保護という点からは、支持体は透
明で、この支持体を残存させたまま、それを通して露光
することが好ましい。
【００２９】活性光は、公知の活性光源、例えば、カー
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、写真用
フラッド電球、太陽ランプ等から発生する光が用いられ
る。
【００３０】次いで、露光後、感光層上に重合体フィル
ム等が存在している場合には、これを除去した後、アル
カリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブ
ラッシング、スクラッピング等の公知方法により未露光
部を除去して現像する。アルカリ性水溶液の塩基として
は、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウ
ムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナトリウ
ム若しくはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、アルカ
リ金属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム
等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウ
ム、ピロリン酸カリウム等）などが挙げられ、炭酸ナト
リウムの水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水溶
液のpHは、９〜１１の範囲とすることが好ましく、その
温度は、感光層の現像性に合わせて調節される。また、
アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促
進させるための少量の有機溶剤等を混入させることもで
きる。現像性の点等から、０．１〜５重量％の炭酸ナト
リウム水溶液が好ましい。
【００３１】さらに、印刷配線板を製造する方法として
は、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして基板
の表面を、エッチング、メッキ等の公知方法で処理する
方法等が挙げられる。次いで、フォトレジスト画像は、
通常、現像に用いたアルカリ水溶液よりさらに強アルカ
リ性の水溶液で剥離することができる。この強アルカリ
性の水溶液としては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナ
トリウム水溶液等が用いられる。
【００３２】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明する。 実施例１〜４及び比較例１〜３ 表１及び表２に示す材料を配合し、溶液を得た。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【表２】
【００３５】得られた溶液に、表３に示す（Ｂ）成分を
溶解させて、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００３６】
【表３】
【００３７】なお、表３中、使用した化合物を下記に示
す。 *1：一般式（Ｉ）で、Ｒ1が−Ｃ6Ｈ12−、Ｒ3が−Ｃ
Ｈ3、Ｘ1が−ＣＨ2ＣＨ2−、ｎが４（平均値）の化合
物、新中村化学工業(株)製 *2：一般式（II）で、Ｒ4及びＲ5が−ＣＨ3、Ｘ2及びＸ
3が−ＣＨ2ＣＨ2−、ｋ＋ｍ＝１０（平均値）の化合
物、新中村化学工業(株)製 *3：一般式（II）で、Ｒ4及びＲ5が−ＣＨ3、Ｘ2及びＸ
3が−ＣＨ2ＣＨ2−、ｋ＋ｍ＝３０（平均値）の化合
物、新中村化学工業(株)製 *4：ポリプロピレングリコールジアクリレート（新中村
化学工業(株)製） *5：γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−メタ
クリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート
【００３８】次いで、得られた感光性樹脂組成物の溶液
を、２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム
上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１
０分間乾燥して、感光性エレメントを得た。感光性樹脂
組成物層の乾燥後の膜厚は、５０μｍであった。
【００３９】一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層
したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工
業(株)製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、＃６
００相当のブラシを持つ研磨機（三啓(株)製）を用いて
研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層
板を８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組
成物層を１２０℃に加熱しながらラミネートした。
【００４０】次に、高圧水銀灯ランプを有する露光機
（オーク(株)製）ＨＭＷ−２０１Ｂを用いて、ネガとし
てストーファー２１段ステップタブレットを試験片の上
に置いて、６０mJ/cm2で露光した。次に、ポリエチレン
テレフタレートフィルムを剥離し、３０℃で１重量％炭
酸ナトリウム水溶液を６０秒間スプレーし、未露光部分
を除去した後、銅張り積層板上に形成された光硬化膜の
ステップタブレットの段数を測定することにより、感光
性樹脂組成物の光感度を評価し、その結果を表４に示し
た。光感度は、ステップタブレットの段数で示され、こ
のステップタブレットの段数が高いほど、光感度が高い
ことを示す。
【００４１】また、解像性は、ライン／スペース＝１で
段階的にライン幅が狭くなるネガを用い、２１段ステッ
プタブレットで８段を示す露光量で露光し、上記条件で
現像後、ラインのかぶり（ラインとラインのつながり）
がない部分の線幅を測定し、その結果を表４に示した。
この解像性の数字が小さい程、細いラインを解像できる
ことを示し、解像性が高いことを示す。
【００４２】耐メッキ性は、上記のようにラミネート
し、所定の露光量により露光を行い、次いで、上記現像
液により現像後、脱脂（ＰＣ−４５５（メルテックス社
製）２５重量％）５分浸漬→水洗→ソフトエッチ（過硫
酸アンモニウム１５０ｇ／リットル）２分浸漬→水洗→
１０重量％硫酸１分浸漬の順に前処理を行い、硫酸銅メ
ッキ浴（硫酸銅７５ｇ／リットル、硫酸１９０ｇ／リッ
トル、塩素イオン５０ppm、カパーグリームＰＣＭ（メ
ルテックス社製）５ml／リットル）に入れ、硫酸銅メッ
キを室温下、３A/dm2で４０分間行った。その後、水洗
して、１０重量％ホウフッ化水素酸に１分浸漬し、ハン
ダメッキ浴（４５重量％ホウフッ化スズ６４ml／リット
ル、４５重量％ホウフッ化鉛２２ml／リットル、４２重
量％ホウフッ化水素酸２００ml／リットル、プルティン
ＬＡコンダクティビティーソルト（メルテックス社製）
２０ｇ／リットル、プルティンＬＡスターター（メルテ
ックス社製）４１ml／リットル）に入れ、半田メッキを
室温下、１．５A/dm2で１５分間行った。
【００４３】水洗、乾燥後耐メッキ性を調べるために、
直ちにセロテープを貼り、これを垂直方向に引き剥がし
て（９０°ピールオーフ試験）、レジストの剥がれの有
無を観察し、結果を表４に示した。また、レジスト剥離
後、上方から光学顕微鏡で、半田メッキのもぐりの有無
を観察し、結果を表４に示した。半田メッキのもぐりを
生じた場合、透明なレジストを介して、その下部にメッ
キにより析出した半田が観察される。
【００４４】また、別の試験片を、ストーファー２１段
ステップタブレットで８段を示す露光量で、露光、現像
後、クロスカット試験（ＪＩＳ−Ｋ−５４００）を行
い、結果を表４に示した。
【００４５】
【表４】
【００４６】表４から明らかなように、本発明の範囲内
の実施例１〜４は、耐メッキ性が良好であり、解像性及
びクロスカット性も優れている。
【００４７】
【発明の効果】請求項１、２及び３記載の感光性樹脂組
成物は、光感度、解像性、耐薬品性（耐メッキ性）、密
着性、機械強度、柔軟性等に優れたものである。請求項
４記載の感光性エレメントは、光感度、解像性、耐薬品
性（耐メッキ性）、密着性、機械強度、柔軟性、環境
性、作業性等に優れたものである。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ 7/028 7/028 7/033 7/033 // Ｃ０９Ｄ 4/06 Ｃ０９Ｄ 4/06 171/00 171/00 Ｂ Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 3/18 3/18 Ｄ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 （Ａ）バインダーポリマ、（Ｂ）分子内
    に重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物及び
    （Ｃ）光重合開始剤を含み、前記（Ｂ）成分が一般式
    （Ｉ） 【化１】 （式中、Ｒ1は炭素数１〜１０のアルキレン基を示し、
    ３個のＲ1は同一であっても相異してもよく、Ｒ2は次の
    一般式 【化２】 （式中、Ｒ3は水素原子又はメチル基を示し、Ｘ1は炭素
    数２〜６のアルキレン基を示し、ｎは１〜１４の整数で
    ある）で表される基を示し、３個のＲ2は同一であって
    も相異してもよい）で示される化合物及び一般式（II） 【化３】 （式中Ｒ4及びＲ5は各々独立して水素原子又はメチル基
    を示し、Ｘ2及びＸ3は各々独立して炭素数２〜６のアル
    キレン基を示し、ｋ及びｍはｋ＋ｍ＝８〜４０となるよ
    うに選ばれる正の整数である）で表される化合物を必須
    成分として含む感光性樹脂組成物。
  2. 【請求項２】 （Ａ）バインダーポリマが、酸価が１０
    ０〜５００であり、重量平均分子量が２０，０００〜３
    ００，０００である請求項１記載の感光性樹脂組成物。
  3. 【請求項３】 （Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分
    の使用割合が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００
    重量部に対し、（Ａ）成分が４０〜８０重量部、（Ｂ）
    成分が２０〜６０重量部及び（Ｃ）成分が０．１〜２０
    重量部であり、（Ｂ）成分中の上記一般式（Ｉ）で表さ
    れる化合物及び一般式（II）で表される化合物が各々３
    〜５０重量部以上含まれる請求項１又は２記載の感光性
    樹脂組成物。
  4. 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の感光性樹脂組
    成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメン
    ト。
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