JPH11273605A - エネルギーフィルタ電子顕微鏡 - Google Patents
エネルギーフィルタ電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH11273605A JPH11273605A JP10073700A JP7370098A JPH11273605A JP H11273605 A JPH11273605 A JP H11273605A JP 10073700 A JP10073700 A JP 10073700A JP 7370098 A JP7370098 A JP 7370098A JP H11273605 A JPH11273605 A JP H11273605A
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- JP
- Japan
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- image
- filter
- operated
- electron microscope
- energy
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来、エネルギーフィルタ電子顕微鏡では、倍
率切替えで観察面での像の方向が回転し、また、フィル
タ稼動時と不稼動時で観察面の像の倍率や方向性が異な
っていたので、ゼロロス像，エネルギーロス像、通常の
ＴＥＭ像など様々な像の比較観察が困難であった。 【解決手段】エネルギーフィルタ電子顕微鏡の結像レン
ズ系に像回転補正用レンズを備え、フィルタ稼動時に像
が回転する方向と逆の方向に同様の回転量を加えるよ
う、光路に流す電流の極性と電流量を変化させて像の回
転防止を図る。
率切替えで観察面での像の方向が回転し、また、フィル
タ稼動時と不稼動時で観察面の像の倍率や方向性が異な
っていたので、ゼロロス像，エネルギーロス像、通常の
ＴＥＭ像など様々な像の比較観察が困難であった。 【解決手段】エネルギーフィルタ電子顕微鏡の結像レン
ズ系に像回転補正用レンズを備え、フィルタ稼動時に像
が回転する方向と逆の方向に同様の回転量を加えるよ
う、光路に流す電流の極性と電流量を変化させて像の回
転防止を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エネルギーフィル
タを装備した電子顕微鏡において、フィルタ稼動時にお
ける像の回転防止と、フィルタ稼動時と不稼動時の像の
倍率と、その方向を同一とする電子顕微鏡に関する。
タを装備した電子顕微鏡において、フィルタ稼動時にお
ける像の回転防止と、フィルタ稼動時と不稼動時の像の
倍率と、その方向を同一とする電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、エネルギーフィルタを装備した電
子顕微鏡においては、フィルタ不稼動時では二つの投影
レンズを用い、像の拡大と回転補正を行っていた。しか
し、フィルタ稼動時では、色消し像面とエネルギー分散
面の選択に投影レンズの一つが用いられるため、倍率切
替えによって生じる像の回転を補正することができなか
った。また、観察倍率についても、フィルタ稼動時と不
稼動時で像の拡大に使用されるレンズの数が異なるた
め、両者の倍率はそれぞれ異なっていた。
子顕微鏡においては、フィルタ不稼動時では二つの投影
レンズを用い、像の拡大と回転補正を行っていた。しか
し、フィルタ稼動時では、色消し像面とエネルギー分散
面の選択に投影レンズの一つが用いられるため、倍率切
替えによって生じる像の回転を補正することができなか
った。また、観察倍率についても、フィルタ稼動時と不
稼動時で像の拡大に使用されるレンズの数が異なるた
め、両者の倍率はそれぞれ異なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】エネルギーフィルタを
装備した電子顕微鏡において、低倍率広視野観察から高
分解能観察まで行う場合、フィルタを稼動させた状態で
倍率を切り替えていくと、像が回転する現象が生じてい
た。このため、目的の構造を見失ったり、物質の形状に
よってはフィルム撮影やシステムへの画像取り込みなど
で視野カットが起きるなど、形態観察を困難なものにし
ていた。
装備した電子顕微鏡において、低倍率広視野観察から高
分解能観察まで行う場合、フィルタを稼動させた状態で
倍率を切り替えていくと、像が回転する現象が生じてい
た。このため、目的の構造を見失ったり、物質の形状に
よってはフィルム撮影やシステムへの画像取り込みなど
で視野カットが起きるなど、形態観察を困難なものにし
ていた。
【０００４】また、フィルタ稼動時のみ像が回転するた
め、不稼動との像の方向性が異なり、互いの像を比較検
討することが困難であった。さらに、フィルタ稼動と不
稼動の切り替えで倍率がそれぞれ異なるため、オペレー
タは同様の倍率にするための操作を余儀なくされてい
た。
め、不稼動との像の方向性が異なり、互いの像を比較検
討することが困難であった。さらに、フィルタ稼動と不
稼動の切り替えで倍率がそれぞれ異なるため、オペレー
タは同様の倍率にするための操作を余儀なくされてい
た。
【０００５】特に、エネルギーフィルタ電子顕微鏡は、
ゼロロス像，エネルギーロス像、通常のＴＥＭ像など様
々な像の比較観察を行うため、像回転の問題は観察効率
を大きく低下させていた。
ゼロロス像，エネルギーロス像、通常のＴＥＭ像など様
々な像の比較観察を行うため、像回転の問題は観察効率
を大きく低下させていた。
【０００６】本発明は、フィルタ稼動時において倍率切
替えによる像回転を防ぎ、フィルタ稼動時と不稼動時で
倍率および観察面での像の方向を同一にして、それぞれ
の像の比較観察を容易にすること。また、操作性を向上
させることにある。
替えによる像回転を防ぎ、フィルタ稼動時と不稼動時で
倍率および観察面での像の方向を同一にして、それぞれ
の像の比較観察を容易にすること。また、操作性を向上
させることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、エネルギー
フィルタを装備した電子顕微鏡の結像レンズ系に像回転
補正用レンズを設け、フィルタの稼動および不稼動状態
に応じて像回転補正用レンズの励磁電流を制御すること
によって達成できる。すなわち、フィルタ稼動時におい
ては、倍率切り替えによって回転した像の方向と逆方向
に同じ角度だけ回転を与えるため、像回転補正用レンズ
の光路に流す電流の極性と電流量を変化させて像回転を
打ち消す。
フィルタを装備した電子顕微鏡の結像レンズ系に像回転
補正用レンズを設け、フィルタの稼動および不稼動状態
に応じて像回転補正用レンズの励磁電流を制御すること
によって達成できる。すなわち、フィルタ稼動時におい
ては、倍率切り替えによって回転した像の方向と逆方向
に同じ角度だけ回転を与えるため、像回転補正用レンズ
の光路に流す電流の極性と電流量を変化させて像回転を
打ち消す。
【０００８】フィルタ不稼動時には、当初備えている結
像レンズ系で像の回転を防止し、本発明の補正用レンズ
は磁電流制御回路により励磁電流をゼロにして、その作
用を解除する。
像レンズ系で像の回転を防止し、本発明の補正用レンズ
は磁電流制御回路により励磁電流をゼロにして、その作
用を解除する。
【０００９】これにより、フィルタの稼動および不稼動
のいずれの状態においても、倍率切替えによって生じる
像の回転を防止することができるため、稼動時と不稼動
時の像の方向は同一となる。また、像の拡大に使用する
レンズ構成数がフィルタ稼動と不稼動で同じになるた
め、それぞれの倍率も同様とすることができる。
のいずれの状態においても、倍率切替えによって生じる
像の回転を防止することができるため、稼動時と不稼動
時の像の方向は同一となる。また、像の拡大に使用する
レンズ構成数がフィルタ稼動と不稼動で同じになるた
め、それぞれの倍率も同様とすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例で、像回
転補正用レンズを備えたエネルギーフィルタ電子顕微鏡
において、フィルタを稼動させたときの結像光学系を示
したものである。
転補正用レンズを備えたエネルギーフィルタ電子顕微鏡
において、フィルタを稼動させたときの結像光学系を示
したものである。
【００１１】フィルタ稼動時では、試料１を透過した電
子線２は対物レンズ３，制限視野絞り４，第一中間レン
ズ５，第二中間レンズ６を経てエネルギーフィルタ７内
に入射する。入射した電子線２はエネルギーフィルタ７
の磁場によって、ガンマ(γ)状の軌道を描いてエネルギ
ー分散される。次いで、エネルギーフィルタ７前方にク
ロスオーバー状に収束した回折像面８を後方のエネルギ
ー分散面９に結像し、フィルタ入口手前の入射像面１０
は、出口後方の色消し像１１に結像される。
子線２は対物レンズ３，制限視野絞り４，第一中間レン
ズ５，第二中間レンズ６を経てエネルギーフィルタ７内
に入射する。入射した電子線２はエネルギーフィルタ７
の磁場によって、ガンマ(γ)状の軌道を描いてエネルギ
ー分散される。次いで、エネルギーフィルタ７前方にク
ロスオーバー状に収束した回折像面８を後方のエネルギ
ー分散面９に結像し、フィルタ入口手前の入射像面１０
は、出口後方の色消し像１１に結像される。
【００１２】ここで、第一投影レンズ１２は、色消し像
面１１かエネルギー分散面９のどちらに焦点を合わせる
かの選択に使用され、色消し像面１１に焦点を合せた場
合は、エネルギー選択スリット１３で選択されたフィル
タ像が得られ、エネルギー分散面９に焦点を合せた場合
は、エネルギーロススペクトルが得られる。したがっ
て、次の第二投影レンズ１４は、必要な拡大率を得るた
めの像の拡大のみに使用されることになる。
面１１かエネルギー分散面９のどちらに焦点を合わせる
かの選択に使用され、色消し像面１１に焦点を合せた場
合は、エネルギー選択スリット１３で選択されたフィル
タ像が得られ、エネルギー分散面９に焦点を合せた場合
は、エネルギーロススペクトルが得られる。したがっ
て、次の第二投影レンズ１４は、必要な拡大率を得るた
めの像の拡大のみに使用されることになる。
【００１３】このまま像を観察スクリーン１５に投影さ
せると、倍率切替えで回転した像がそのまま結像される
ことになるため、フィルタ稼動時には、倍率切替えによ
って回転した像の方向と回転角度に応じて補正用レンズ
１６に流す電流の極性および励磁電流を変化させて像の
回転を打ち消し、無回転の像を観察スクリーン１５に結
像させる。
せると、倍率切替えで回転した像がそのまま結像される
ことになるため、フィルタ稼動時には、倍率切替えによ
って回転した像の方向と回転角度に応じて補正用レンズ
１６に流す電流の極性および励磁電流を変化させて像の
回転を打ち消し、無回転の像を観察スクリーン１５に結
像させる。
【００１４】次に、フィルタを不稼動にしたときの結像
光学系を図２に示す。フィルタを不稼動にしたときは、
試料１を透過した電子線２は、対物レンズ３，制限視野
絞り４，第一中間レンズ５，第二中間レンズ６を経たの
ち、第一投影レンズ１２で拡大され第二投影レンズ１４
で像の回転補正を行う。フィルタ稼動時に使用している
回転補正用レンズ１６の励磁電流はゼロにして補正作用
を無効とし、観察スクリーン１５に結像させる。
光学系を図２に示す。フィルタを不稼動にしたときは、
試料１を透過した電子線２は、対物レンズ３，制限視野
絞り４，第一中間レンズ５，第二中間レンズ６を経たの
ち、第一投影レンズ１２で拡大され第二投影レンズ１４
で像の回転補正を行う。フィルタ稼動時に使用している
回転補正用レンズ１６の励磁電流はゼロにして補正作用
を無効とし、観察スクリーン１５に結像させる。
【００１５】以上述べたように、フィルタ稼動時には像
回転補正用レンズの極性および励磁電流を制御し、不稼
動時には電流をゼロにして無効化させることにより、フ
ィルタの稼動，不稼動における両者の像の方向を一致さ
せることができる。また、像の拡大に使用するレンズ構
成数が同様になるため、両者の像の倍率も一致させるこ
とができる。
回転補正用レンズの極性および励磁電流を制御し、不稼
動時には電流をゼロにして無効化させることにより、フ
ィルタの稼動，不稼動における両者の像の方向を一致さ
せることができる。また、像の拡大に使用するレンズ構
成数が同様になるため、両者の像の倍率も一致させるこ
とができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、結像レンズ系に像回転
補正用レンズを加え、稼動状態認識回路と励磁電流制御
回路となることで、フィルタ稼動時の倍率切替えによる
像回転を防ぐことができ、観察面での終像の方向をフィ
ルタを稼動させない場合と同一にすることができる。こ
のことにより、目的物質の見失いやフィルム上あるいは
システムへの画像取り込みでの視野カットを防ぐことが
でき、さらに、様々な形態の像の比較観察が容易となっ
て、観察効率を大きく向上させることができる。
補正用レンズを加え、稼動状態認識回路と励磁電流制御
回路となることで、フィルタ稼動時の倍率切替えによる
像回転を防ぐことができ、観察面での終像の方向をフィ
ルタを稼動させない場合と同一にすることができる。こ
のことにより、目的物質の見失いやフィルム上あるいは
システムへの画像取り込みでの視野カットを防ぐことが
でき、さらに、様々な形態の像の比較観察が容易となっ
て、観察効率を大きく向上させることができる。
【図１】本発明の像回転補正用レンズを備えたエネルギ
ーフィルタ電子顕微鏡の結像光学系を示す構成図。
ーフィルタ電子顕微鏡の結像光学系を示す構成図。
【図２】像回転補正用レンズを備えたエネルギーフィル
タ電子顕微鏡において、フィルタ不稼動時の結像光学系
を示す構成図。
タ電子顕微鏡において、フィルタ不稼動時の結像光学系
を示す構成図。
１…試料、２…電子線、３…対物レンズ、４…制限視野
絞り、５…第一中間レンズ、６…第二中間レンズ、７…
エネルギーフィルタ、８…回折像面、９…エネルギー分
散面、１０…入射像面、１１…色消し像面、２…第一投
影レンズ、１３…エネルギー選択スリット、１４…第二
投影レンズ、１５…観察スクリーン、１６…像回転補正
用レンズ。
絞り、５…第一中間レンズ、６…第二中間レンズ、７…
エネルギーフィルタ、８…回折像面、９…エネルギー分
散面、１０…入射像面、１１…色消し像面、２…第一投
影レンズ、１３…エネルギー選択スリット、１４…第二
投影レンズ、１５…観察スクリーン、１６…像回転補正
用レンズ。
Claims (3)
- 【請求項１】エネルギーフィルタを装備した電子顕微鏡
において、フィルタ稼動時の観察面での終像の方向がフ
ィルタを稼動させない場合と同一になるよう、結像レン
ズ系に像回転補正用レンズを備えたことを特徴とする電
子顕微鏡。 - 【請求項２】エネルギーフィルタ稼動時と不稼動時にお
ける像の倍率が同一になるような結像レンズ系を備えた
ことを特徴とする請求項１の電子顕微鏡。 - 【請求項３】エネルギーフィルタ稼動時と不稼動時の像
の倍率および像の方向を同一にするため、フィルタ稼動
時と不稼動時でそれぞれ任意に像の倍率と回転量を制御
できることを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10073700A JPH11273605A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | エネルギーフィルタ電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10073700A JPH11273605A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | エネルギーフィルタ電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11273605A true JPH11273605A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13525763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10073700A Pending JPH11273605A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | エネルギーフィルタ電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11273605A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013096900A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡および透過電子顕微鏡像の観察方法 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP10073700A patent/JPH11273605A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013096900A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡および透過電子顕微鏡像の観察方法 |
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