JPH11274732A - 多層電子部品搭載用基板 - Google Patents

多層電子部品搭載用基板

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JPH11274732A
JPH11274732A JP10098555A JP9855598A JPH11274732A JP H11274732 A JPH11274732 A JP H11274732A JP 10098555 A JP10098555 A JP 10098555A JP 9855598 A JP9855598 A JP 9855598A JP H11274732 A JPH11274732 A JP H11274732A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高密度実装を実現でき,製造工程数を削減で
きる多層電子部品搭載用基板を提供する。 【解決手段】 導体パターン211,202,203,
214,205,216を有する複数の絶縁基板71〜
73を,プリプレグ6を介在させて積層してなる積層板
7と,電子部品搭載用の搭載用凹部3と,異層の導体パ
ターン同士を電気的に接続するための導通用孔11と,
外部と電気の導出入を行うための半田ボール8などの接
続端子とを有する。導通用孔11の底部は被覆パッド2
5により被覆されており,その内部には金属めっき膜2
6などの導電材料が供給されている。搭載用凹部は,多
層電子部品搭載用基板の接続端子が設けられている側に
開口していること,その内壁には導体パターンの一部が
配置されていることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,多層電子部品搭載用基板に関
し,特に高密度実装化を図ることができるものに関す
る。
【0002】
【従来技術】従来,多層プリント配線板の製造方法とし
ては,図13〜図20に示すごとく,絶縁基板の表面に
導体パターン及び絶縁層を順次形成しながらこれらを積
層するビルドアップ方法がある。即ち,まず,図13に
示すごとく,絶縁基板970に導通用孔910及び導体
パターン920を形成し,その表面にプリプレグ96を
介在させて銅箔92を積層する。次いで,図14に示す
ごとく,これらを熱圧着して積層板97となす。
【0003】次いで,図15に示すごとく,エッチング
により銅箔92の導通用孔形成部分に開口孔922を穿
設し,次いで該開口孔922に対してレーザーを照射し
てレーザー孔911を穿設する。次いで,図16に示す
ごとく,レーザー孔911の内壁に金属めっき膜912
を被覆して導通用孔91となすとともに,銅箔92をエ
ッチングして導体パターン921を形成する。
【0004】その後,積層板97に対して,上記と同様
に,プリプレグ96及び銅箔92の積層工程(図1
7),圧着工程(図18),開口孔922及びレーザー
孔911の穿設工程(図19),導通用孔91及び導体
パターン921のパターン形成工程(図20)を繰り返
して多層プリント配線板9を形成する。
【0005】上記の製造方法においては,レーザーを用
いて導通用孔を形成しているため,導通用孔を微小にす
ることができる。そのため,導通用孔及び導体パターン
の高密度実装に適している。
【0006】
【解決しようとする課題】しかしながら,上記従来の多
層電子部品搭載用基板の製造方法においては,1層の導
体パターンを形成するごとに,積層工程,熱圧着工程,
開口孔及びレーザー孔の穿設工程,導通用孔及び導体パ
ターンの形成工程を順次繰り返して行わなければならな
い。そのため,多層になればなるほど工程数が多くな
り,多層電子部品搭載用基板の製造コストが高くなる。
【0007】また,積層ごとに位置合わせを行わなけれ
ばならない。その位置合わせも,わずかな位置ずれが,
後の積層工程に大きな影響を与え,すべての層について
正確に位置合わせを行うことが困難である。特に,最後
の積層工程で形成される最表面の導体パターンには,多
層電子部品搭載用基板に流れるすべての電気情報が集約
されるため,非常に高密度に配線されることになる。そ
のため,わずかな位置ずれは,導体パターンの高密度実
装の妨げとなる。
【0008】本発明はかかる従来の問題点に鑑み,高密
度実装を実現でき,製造工程数を削減できる多層電子部
品搭載用基板を提供しようとするものである。
【0009】
【課題の解決手段】本発明は,導体パターンを有する複
数の絶縁基板を,プリプレグを介在させて積層してなる
積層板と,電子部品搭載用の搭載用凹部と,異層の導体
パターン同士を電気的に接続するための導通用孔と,外
部と電気の導出入を行うための接続端子とを有する多層
電子部品搭載用基板であって,上記導通用孔の底部は被
覆パッドにより被覆されており,該導通用孔の内部には
導電材料が供給されていることを特徴とする多層電子部
品搭載用基板である。
【0010】本発明において,絶縁基板とは,フィラー
を含浸させた樹脂基板である。絶縁基板には,予め導体
パターンが形成されていたり導通用孔が形成されていて
もよい。積層板とは,複数の絶縁基板を,プリプレグを
介在させて積層,圧着して一体化した多層板をいう。
【0011】本発明の多層電子部品搭載用基板は,導体
パターンを有する複数の絶縁基板を,プリプレグを介在
させて積層したものである。そのため,従来のように1
層ずつ積み重ねながら導体パターンを形成する手間が省
け製造工数を大幅に削減できる。また,各絶縁基板間の
位置ずれも最小限に留めることができる。そのため,導
体パターンを積層間で正確な位置に配置することがで
き,高密度実装が実現できる。
【0012】また,多層電子部品搭載用基板は,電子部
品を搭載するための搭載用凹部を有する。搭載用凹部
は,底部及び内壁により囲まれている。そのため,搭載
用凹部に,導体パターンとの接続面積を広範囲に設ける
ことができる。このため,搭載用凹部周辺に高密度に導
体パターンを形成することができる。
【0013】また,多層電子部品搭載用基板は,上記導
体パターン及び搭載用凹部だけでなく,外部接続用の接
続端子を有している。そのため,多層電子部品搭載用基
板に伝達された電流は,自在に電子部品及び外部材との
間を流れ,優れた電気特性を発揮する。
【0014】更に,多層電子部品搭載用基板は,異層の
導体パターン同士を,導通用孔により接続している。導
通用孔は,その片面が被覆パッドにより被覆されてい
る。このため,導通用孔内の導電材料と被覆パッドとの
接続面積が広い。したがって,微小な直径を有する導通
用孔であっても,導通用孔内の導電材料と被覆パッドと
の間を確実に接続できる。被覆パッドは,同一層の導体
パターンと接続させることができるため,導通用孔及び
被覆パッドを介して異層の導体パターン同士を確実に電
気的に接続できる。
【0015】また,上記搭載用凹部は,上記多層電子部
品搭載用基板の上記接続端子が設けられている側に開口
していることが好ましい。この多層電子部品搭載用基板
は,一般にキャビティダウン型といわれ,相手部材に配
置したときに搭載用凹部が相手部材に対面することにな
る。このため,電子部品と接続端子との間を,外部材に
対面する最表面の導体パターンを通じて高密度に導電さ
せることができる。
【0016】上記搭載用凹部は,その内壁又は底部に導
体パターンの一部が配置されていることが好ましい。こ
れにより,搭載用凹部周辺に高密度に導体パターンを設
けることができる。また,接続端子は,例えば,半田ボ
ール,導体ピンである。導通用孔内に供給される導電材
料は,金属めっき膜,半田,導電性フィラーを含浸させ
た樹脂などがある。
【0017】また,本発明の多層電子部品搭載用基板
は,被覆パッドにより被覆された導通用孔だけでなく,
上下端が開口しランドにより周囲を囲まれているスルー
ホールを設けることができる。また,搭載用凹部の底部
は,放熱板により被覆されていていることが好ましい。
これにより,電子部品から発する熱を放熱板に直接伝達
できるため,放熱性が高くなる。
【0018】上記多層電子部品搭載用基板を製造する方
法としては,例えば,複数の絶縁基板を,プリプレグを
介在させて積層してなる積層板を有するとともに,該積
層板の表面に設けた表面パターンと,積層板の内部に設
けた内部パターンと,上記表面パターンと上記内部パタ
ーンとを電気的に接続する導通用孔と,電子部品を搭載
するための搭載用凹部と,外部との電気の導出入を行な
うための接続端子とを有する多層電子部品搭載用基板の
製造方法において,絶縁基板の表面に表面パターンを形
成するとともに,積層板を形成したときに表面パターン
と内部パターンとの間を導通させる導通用孔の形成部分
の底部を被覆パッドにより被覆する工程と,上記各絶縁
基板に搭載用凹部を形成するための搭載用穴を形成する
工程と,積層板を形成したときに少なくとも最表面に位
置する絶縁基板とその内部に配置されるプリプレグとを
貫通する導通用孔の形成部分に,ドリルを用いてドリル
孔を穿設する工程と,上記複数の絶縁基板を,隣接する
絶縁基板に設けられた搭載用穴に対応した開口穴を有す
るプリプレグを介在させて積層するとともにその最外層
に金属箔を積層し,これらを圧着して積層板を得る工程
と,上記ドリル孔に対してレーザーを照射して被覆パッ
ドを底部とするレーザー孔を穿設する工程と,該レーザ
ー孔の内部に導電材料を供給して導通用孔となす工程
と,上記積層板の最外層の金属箔をエッチングして表面
パターンを形成する工程と,上記表面パターンに接続端
子を接続する工程とからなることを特徴とする多層電子
部品搭載用基板の製造方法がある。
【0019】この製造方法において,表面パターンと
は,積層板の最外層に形成される導体パターンをいう。
内部パターンとは,積層板の内部に形成される導体パタ
ーンをいう。また,絶縁基板とは,フィラーを含浸させ
た樹脂基板をいう。絶縁基板には,予め内部パターンが
形成されていたり導通用孔が形成されていてもよい。プ
リプレグとは,フィラーを含浸したBステージの樹脂を
いう。絶縁基板及びプリプレグに含まれているフィラー
は,例えば,ガラスクロス,ガラスファイバー等があ
る。
【0020】また,積層板とは,内部パターンを有する
複数の絶縁基板をプリプレグを介在させて積層,圧着し
て一体化した多層板をいう。レーザー孔の内部に供給さ
れる導電材料は,例えば,金属めっき膜,半田,導電材
料を含浸した樹脂材料などがある。
【0021】この製造方法においては,積層すべき複数
の絶縁基板に予めパターン形成を行い,これらを,プリ
プレグを介在させて一括して積層,圧着している。その
ため,従来のように1層ずつ積み重ねる手間が省け製造
工数を大幅に削減できる。また,絶縁基板の枚数が多少
にかかわらず,最小限の工数にとどめることができる。
【0022】また,絶縁基板の導通用孔形成部分には積
層前に予めドリル孔を穿設し,積層圧着している。圧着
時には,ドリル孔の中にプリプレグの樹脂が圧入され
て,フィラーのない樹脂充填部が形成される。樹脂充填
部は,レーザー加工性が悪いフィラーを含んでいない。
そのため,導通用孔形成部分のフィラー密度が低減し,
導通用孔のレーザー加工性が高くなる。また,レーザー
孔を精度良く穿設できるため,これより形成される導通
用孔の電気特性も優れている。
【0023】また,導通用孔形成部分には,その底部に
被覆パッドを配置している。この被覆パッドは,レーザ
ーを反射して,そこで孔形成を停止させる。そのため,
レーザー照射により,表面パターンと被覆パッドとの間
に,レーザー孔が形成されるかかるレーザー法によれ
ば,微小のレーザー孔を形成できる。また,さらに,レ
ーザー孔は,表面パターンのように高密度配線が要求さ
れる部分に開口するため,表面パターンの高密度配線化
を実現できる。
【0024】また,最表面の絶縁基板の表面と上記表面
パターンを形成すべき金属箔との間には,プリプレグを
介在させることができる。これにより,製造工程の組み
合わせが多様化し,各パターン間の導通関係を多様にす
ることができる。
【0025】この場合,上記ドリル孔の直径は,上記導
通用孔の直径よりも50〜300μm大きいことが好ま
しい。これにより,絶縁基板に積層ずれが発生しても,
導通用孔形成部分に,レーザー加工性が悪いフィラーを
含浸した絶縁基板が配置することにはならない。そのた
め,多少の積層ずれが生じても,導通用孔形成部分のレ
ーザー加工性を確保できる。
【0026】一方,50μm未満の場合には,絶縁基板
の積層ずれにより導通用孔形成部分にフィラーを含むフ
ィラー入り樹脂部分が形成されることになり,レーザー
孔の加工性が低下するおそれがある。また,300μm
を超える場合には,配線密度が低下するおそれがある。
【0027】この製造方法において,レーザー照射によ
る微小の導通用孔によって,内部パターン間を導通させ
る場合には,表面パターン形成工程の後に,さらにその
表面パターンの表面にプリプレグを介して他の表面パタ
ーンを積層すればよい。
【0028】
【発明の実施の形態】実施形態例1 本発明の実施形態例にかかる多層電子部品搭載用基板に
ついて,図1〜図12を用いて説明する。本例の多層電
子部品搭載用基板70は,図1に示すごとく,6層の導
体パターン211,202,203,214,205,
216を積層した多層基板である。この多層電子部品搭
載用基板70は,これらの導体パターンを有する複数の
絶縁基板71〜73を,プリプレグ6を介在させて積層
してなる積層板7を有する。また,多層電子部品搭載用
基板70は,電子部品搭載用の搭載用凹部3と,異層の
導体パターン同士を電気的に接続するための導通用孔1
0,11a,bと,外部と電気の導出入を行うための半
田ボール8とを有する。
【0029】導通用孔11a,bの底部は被覆パッド2
0により被覆されている。導通用孔10,11a,bの
内壁は,金属めっき膜26により被覆されている。搭載
用凹部3は,多層電子部品搭載用基板70の接続端子8
が設けられている側に開口している。搭載用凹部3は,
階段形状を有する内壁を有する。この内壁には,上記導
体パターンの一部が配置されている。搭載用凹部3の底
部は,放熱板76により被覆されている。
【0030】次に,多層電子部品搭載用基板の製造方法
について説明する。まず,図2に示すごとく,絶縁基板
71〜73としてガラスエポキシ基板を準備する。次い
で,絶縁基板71〜73の両面に銅箔2を貼着する。絶
縁基板71〜73に,順に拡大開口する搭載用穴31〜
33をドリルにて穿設する。次いで,絶縁基板71,7
2の搭載用穴31,32の内壁全面に壁面パターン24
を形成する。
【0031】次いで,図3に示すごとく,絶縁基板71
〜73の表面に,銅箔2のエッチングにより導体パター
ン202,203,205を形成する。これらの導体パ
ターン202,203,205は,後工程のレーザー孔
に金属めっき膜を被覆する際に内部に埋設されているパ
ターンである。導体パターン202,203には,その
導通用孔形成部分110a,bの底部に位置する部分に
被覆パッド25を設ける。被覆パッド25は,導通用孔
形成部分110a,bの底部全体を被覆させる。 ま
た,導通用孔形成部分110a,bのうち,絶縁基板7
2とその下部に配置されるプリプレグ6とを貫通する導
通用孔形成部分110aに,ドリルを用いて,ドリル孔
111を穿設する。
【0032】次いで,図4に示すごとく,絶縁基板7
1,72の間に,プリプレグ6を介在させて積層する。
プリプレグ6としては,ガラスクロスを含浸させたBス
テージのエポキシ系の樹脂を用いる。プリプレグ6に
は,あらかじめ絶縁基板72の搭載用穴32と同一形状
の開口穴62を開口させておく。
【0033】次いで,これらを圧着して,図5に示すご
とく,一体化した積層板7aを得る。このとき,図6に
示すごとく,ドリル孔111の中に,プリプレグ6の中
の樹脂が進入して,樹脂充填部206が形成される。次
いで,図7に示すごとく,導通用孔形成部分110a,
bにレーザーを照射して,その底部を被覆する被覆パッ
ド25にまで至るレーザー孔を開口させる。次いで,こ
のレーザー孔の内壁に金属めっき膜26を施して導通用
孔11a,bとなす。
【0034】次いで,図8に示すごとく,積層板7aの
最上層に配置されている銅箔2にエッチングを施して導
体パターン214を形成する。次いで,この積層板7a
の上に,さらにプリプレグ6を介して上記の絶縁基板7
3を積層する。プリプレグ6は,上記と同様のものを用
い,予め絶縁基板73の搭載用穴33と同一形状の開口
穴63を開口させておく。次いで,これらを圧着して,
図9に示すごとく,積層板7を得る。
【0035】次いで,図10に示すごとく,ドリルによ
りドリル孔を穿設しその内壁に金属めっき膜26を施し
て導通用孔10となす。次いで,図11に示すごとく,
積層板7の最表面に配置されている銅箔2にエッチング
を施して導体パターン211,216を形成する。
【0036】次いで,図1に示すごとく,積層板7の表
面へのレジスト膜79の被覆,導体パターン211,2
16への半田ボール8の接合を行う。また,積層板7の
下面に,絶縁性の樹脂接着材77により放熱板76を接
着する。以上により多層電子部品搭載用基板70が得ら
れる。
【0037】その後,多層電子部品搭載用基板70に
は,図1に示すごとく,放熱板76及び搭載用穴31〜
33により囲まれた搭載用凹部3に,電子部品39を銀
ペースト等の接着材34により接着し,電子部品39と
搭載用凹部3の内壁に露出した導体パターン202,2
14とボンディングワイヤー38により電気的に接続す
る。次いで,搭載用凹部3の内部に封止用樹脂37を充
填して電子部品39及びボンディングワイヤー38を埋
設する。その後,半田ボール8の頭部をマザーボード4
と接合させる。
【0038】次に,本例の作用及び効果について説明す
る。本例の多層電子部品搭載用基板70は,導体パター
ン211,202,203,214,205,216を
有する複数の絶縁基板71〜73を,プリプレグ6を介
在させて積層したものである。そのため,従来のように
1層ずつ積み重ねながら導体パターンを形成する手間が
省け製造工数を大幅に削減できる。また,各絶縁基板間
の位置ずれも最小限に留めることができる。そのため,
導体パターンを積層間で正確な位置に配置することがで
き,高密度実装が実現できる。
【0039】また,多層電子部品搭載用基板70は,電
子部品39を搭載するための搭載用凹部3を有する。搭
載用凹部3は,底部及び内壁により囲まれている。その
ため,搭載用凹部3に,ボンディングワイヤー38によ
る,導体パターン202,214との電気的接続面積を
広範囲に設けることができる。このため,搭載用凹部周
辺に高密度に導体パターンを形成することができる。
【0040】また,多層電子部品搭載用基板70は,上
記導体パターン及び搭載用凹部だけでなく,外部接続用
の半田ボール8を有している。そのため,多層電子部品
搭載用基板70に伝達された電流は,自在に電子部品3
9及びマザーボード4との間を流れ,優れた電気特性を
発揮する。
【0041】更に,多層電子部品搭載用基板70は,異
層の導体パターン同士を,導通用孔11a,bにより接
続している。導通用孔11a,bは,その片面が被覆パ
ッド25により被覆されている。このため,導通用孔1
1a,b内の金属めっき膜26と被覆パッド25との接
続面積が広い。したがって,レーザーで開口された微小
な直径を有する導通用孔11a,bであっても,導通用
孔内の金属めっき膜26と被覆パッド25との間を確実
に接続できる。被覆パッド25は,同一層の導体パター
ンと接続させることができるため,導通用孔及び被覆パ
ッドを介して異層の導体パターン同士を確実に電気的に
接続できる。
【0042】また,多層電子部品搭載用基板70は,一
般にキャビティダウン型といわれ,マザーボード4に配
置したときに搭載用凹部3がマザーボード4に対面する
ことになる。このため,電子部品39と半田ボール8と
の間を,マザーボード4に対面する最表面の導体パター
ン216を通じて高密度に導電させることができる。
【0043】搭載用凹部3は,その内壁に導体パターン
202,214の一部が配置されている。そのため,搭
載用凹部3の周辺に高密度に導体パターン202,21
4を設けることができる。
【0044】次に,多層電子部品搭載用基板の製造方法
においては,図6に示すごとく,絶縁基板72の導通用
孔形成部分110aには積層前に予めドリル孔111を
穿設し,積層圧着時にドリル孔111の中にプリプレグ
6の樹脂を圧入してフィラーのない樹脂充填部206を
形成している。樹脂充填部206は,レーザー加工性が
悪いフィラーを含んでいない。そのため,導通用孔形成
部分110aのフィラ−密度が低減し,レーザー孔の加
工性が高くなる。また,レーザー孔を精度良く穿設でき
るため,これより形成される導通用孔11aの電気特性
も優れている。
【0045】なお,本例においては,図1に示すごと
く,絶縁基板71,72の搭載用穴31,32に壁面パ
ターン24を形成しているが,壁面パターンを形成しな
い場合もある。また,搭載用凹部3は,多層電子部品搭
載用基板70における,半田ボール8が配置されている
側に開口しているが,その反対側に開口していてもよ
い。
【0046】実施形態例2 本例は,図12に示すごとく,3層の導体パターン20
2,203,214を積層した多層電子部品搭載用基板
70である。この多層電子部品搭載用基板70は,2枚
の絶縁基板71,72の表面にプリプレグ6を介在させ
て積層してなる積層板7を有している。積層板70の内
部には導体パターン202,203が,片表面には導体
パターン214が設けられている。導体パターン20
2,203,214の間は,導通用孔11a,bにより
電気的に接続されている。電子部品39を搭載するため
の搭載用凹部3の周囲には,封止用樹脂37をせき止め
るためのダム枠89が設けられている。
【0047】本例の多層電子部品搭載用基板を製造する
に当たっては,実施形態例1と同様に絶縁基板71,7
2を積層した積層板70aを形成する。但し,積層板7
0aの片面には導体パターンを形成しないでおく。この
導体パターン未形成の側の積層板70aの表面に放熱板
76を接着し,他方の導体パターン214を有する側に
は半田ボール8及びダム枠89を接合する。その他は,
実施形態例1と同様である。本例においても,実施形態
例1と同様の効果を得ることができる。
【0048】
【発明の効果】本発明によれば,高密度実装を実現で
き,製造工程数を削減できる多層電子部品搭載用基板を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例1の多層電子部品搭載用基板の断面
図。
【図2】実施形態例1における,多層電子部品搭載用基
板の製造方法を示す,絶縁基板の断面図。
【図3】図2に続く,導体パターン及びドリル孔を形成
した絶縁基板の断面図。
【図4】図3に続く,2枚の絶縁基板を,プリプレグを
介して積層する方法を示す説明図。
【図5】図4に続く,2枚の絶縁基板からなる積層板の
断面図。
【図6】図5の導通用孔形成部分の断面説明図。
【図7】図5に続く,導通用孔を形成した積層板の断面
図。
【図8】図7に続く,積層板の上に更に,プリプレグを
介して絶縁基板を積層する方法を示す説明図。
【図9】図8に続く,3枚の絶縁基板からなる積層板の
断面図。
【図10】図9に続く,ドリルを用いて導通用孔を形成
した積層板の断面図。
【図11】図10に続く,最表面に導体パターンを形成
した積層板の断面図。
【図12】実施形態例2の多層電子部品搭載用基板の断
面図。
【図13】従来例の多層プリント配線板の製造方法にお
ける,積層工程を示す,絶縁基板,プリプレグ及び銅箔
の断面図。
【図14】図13に続く,圧着工程を示す積層板の断面
図。
【図15】図14に続く,穿設工程を示す積層板の断面
図。
【図16】図15に続く,パターン形成工程を示す積層
板の断面図。
【図17】図16の積層板の表面に更にプリプレグ及び
銅箔を積層する積層工程を示す説明図。
【図18】図17に続く,圧着工程を示す説明図。
【図19】図18に続く,穿設工程を示す説明図。
【図20】図19に続く,パターン形成工程を示す説明
図。
【符号の説明】
10,11a,11b...導通用孔, 110a,110b...導通用孔形成部分, 111...ドリル孔, 2...銅箔, 211,202,203,214,205,21
6...導体パターン, 24...壁面パターン, 25...被覆パッド, 26...金属めっき膜, 3...搭載用凹部, 31〜33...搭載用穴, 37...封止用樹脂, 38...ボンディングワイヤー, 39...電子部品, 4...マザーボード, 5...ガラスクロス, 6...プリプレグ, 62,63...開口穴, 7,7a...積層板, 70...多層電子部品搭載用基板, 71〜73...絶縁基板, 76...放熱板, 79...レジスト膜, 8...半田ボール,

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導体パターンを有する複数の絶縁基板
    を,プリプレグを介在させて積層してなる積層板と,電
    子部品搭載用の搭載用凹部と,異層の導体パターン同士
    を電気的に接続するための導通用孔と,外部と電気の導
    出入を行うための接続端子とを有する多層電子部品搭載
    用基板であって,上記導通用孔の底部は被覆パッドによ
    り被覆されており,該導通用孔の内部には導電材料が供
    給されていることを特徴とする多層電子部品搭載用基
    板。
  2. 【請求項2】 請求項1において,上記搭載用凹部は,
    上記多層電子部品搭載用基板の上記接続端子が設けられ
    ている側に開口していることを特徴とする多層電子部品
    搭載用基板。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2において,上記搭載用凹
    部は,その内壁に導体パターンの一部が配置されている
    ことを特徴とする多層電子部品搭載用基板。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか一項において,
    上記接続端子は,半田ボールであることを特徴とする多
    層電子部品搭載用基板。
  5. 【請求項5】 請求項1〜3のいずれか一項において,
    上記接続端子は,導体ピンであることを特徴とする多層
    電子部品搭載用基板。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2003243565A (ja) * 2002-02-07 2003-08-29 Motorola Inc パッケージ化半導体装置およびその製作方法

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