JPH11277350A

JPH11277350A - すべり案内装置

Info

Publication number: JPH11277350A
Application number: JP8563398A
Authority: JP
Inventors: Kazuhisa Sugiyama; 和久杉山; Toshiyuki Saito; 利幸齊藤
Original assignee: Toyoda Koki KK
Current assignee: Toyoda Koki KK
Priority date: 1998-03-31
Filing date: 1998-03-31
Publication date: 1999-10-12

Abstract

(57)【要約】【課題】ベッドの案内面とテーブルの滑動面の間に油
を介在させベッドとテーブルを接触状態で案内する案内
装置におけるテーブルの移動時の姿勢変化の抑制。【解決手段】テーブル３の滑動面３ａにターカイト１
６を貼付するとともに、テーブル３の滑動面３ａに面圧
軽減ポケット６を設け、この面圧調整ポケット６に圧油
供給路７中に設けられた絞り８を介して圧油を供給する
ようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械などに用
いられる移動体の滑り案内装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般にマシニングセンタなどの工作機械
のテーブル、コラム、サドルなどの案内装置としては、
動圧すべり案内と静圧案内とが代表的である。動圧すべ
り案内は、図９に示すようにベッドなどの支持体１００
の案内面１０１とテーブル、コラム、サドルなどの移動
体１０２の滑動面１０３との間に潤滑油を介在させ、支
持体１００の案内面１０１と移動体１０２の滑動面１０
３を接触状態で案内支持するものである。この動圧すべ
り案内は、剛性や減衰性が高いなどの長所がある反面、
スティックスリップによる所要送り力の変動や位置決め
精度の低下、案内面と滑動面の直接接触による所要送り
力過大や接触部の摩耗などという問題がある。

【０００３】一方、静圧案内は、図１０に示すようにテ
ーブル、コラム、サドルなどの移動体１１２の滑動面１
１３に静圧ポケット１１５を形成し、この静圧ポケット
１１５に絞り１１６を介して強制的に圧力流体を供給し
て、ベッドなどの支持体１１０の案内面１１１とテーブ
ル、コラム、サドルなどの移動体１１２の滑動面１１３
とを無接触状態で案内支持するものである。この静圧案
内は、所要送り力が小さい、位置決め精度が高いなどの
長所がある反面、剛性・減衰性の不足や加工・組付けに
高精度を必要とし、コスト高になるなどの問題がある。

【０００４】このように、動圧すべり案内および静圧案
内にはそれぞれに問題があるので、この問題を解決する
技術として、例えば特開平２−９５５２９号に開示され
ているように、無接触の案内支持である静圧案内を基本
とし、条件に応じて圧力流体の供給圧力を減少させ、移
動体の荷重の一部を案内面との直接接触により支持し、
残りを流体圧力により支持する技術がある。

【０００５】しかし、一般に静圧案内は図１０に示すよ
うに、静圧ポケット１１５に供給された圧力流体がラン
ド部１１４により絞られて外部に流出するときの流体の
絞り効果により移動体１１２を浮上させる構成になって
おり、静圧ポケット１１５やランド部１１４の形状誤差
および案内面１１１と滑動面１１３の表面粗さなど流体
の流れに影響を与える要因により、その静圧案内の性能
（剛性など）が大きく変化してしまうことがある。よっ
て支持体１１０の案内面１１１および移動体１１２の滑
動面１１３は、研磨仕上げよりも高精度な仕上げである
ラップ仕上げなどの精密仕上げ工程を経て、表面粗さが
１μｍ以下の精密仕上げ面となっているのが一般的であ
る。

【０００６】また、静圧案内の案内面１１１および滑動
面１１３は上記のように高精度な仕上げ面が要求されて
いるが、案内面１１１および滑動面１１３が金属面なら
ば要求精度を満足する高精度な加工を行うことができる
が、樹脂処理面などの場合は要求精度を満足する高精度
な加工を行うことができない。そのため、滑動面１１３
にはフッ素樹脂摺動材の貼付などの耐焼きつき対策を施
すことは不可能になっている。

【０００７】よって、静圧案内を特開平２−９５５２９
号に開示されているように、条件に応じて圧力流体の供
給圧力を減少させ、移動体１１２の荷重の一部を案内面
１１１との直接接触により支持し、残りを流体圧力によ
り支持するように使用した場合、仕上げ面精度が高いた
めに案内面１１１と滑動面１１３の凹凸が少なく両者の
接触面積が大きくなるので、所要送り力の増大や送りモ
ータの過負荷などを招き、フッ素樹脂貼付などの耐焼き
つき対策を施すことができないので、案内面１１１と滑
動面１１３の焼き付きを起こす可能性も高くなる。つま
り、特開平２−９５５２９号に開示されている技術は移
動体１１２の静止時ならばともかく、移動体１１２が移
動している状態での使用には問題がある。そして、現実
の加工では刃具とワークが静止している状態での加工も
あるが、刃具とワークが相対移動する加工も多く存在す
るので、特開平２−９５５２９号に開示されている技術
は現実的には採用し難い。

【０００８】そこで、これら上記の問題を解決する技術
として、動圧すべり案内の移動体の滑動面に面圧調整ポ
ケットを設け、この面圧調整ポケットに圧油を供給する
ことで移動体の自重の一部を油圧力で支持し、残りを支
持体の案内面と移動体の滑動面との直接接触により支持
するようにして案内面と滑動面との接触面圧を軽減した
状態で案内面と滑動面を接触状態で案内支持し、剛性と
減衰性を維持しつつ所要送り力の減少、所要送り力変動
の抑制を図った案内技術がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】動圧すべり案内は、移
動体を移動させたときに案内面と滑動面の間に介在して
いる潤滑油の粘性による動圧効果により移動体の移動方
向における前方部が浮き上がり、移動体の姿勢が不安定
になることがある。この場合、上記のように滑動面に面
圧軽減ポケットを設けて案内面と滑動面の接触面圧の軽
減を図ると、移動体の移動時における前方部の浮き上が
りがより顕著になり、加工精度に影響を及ぼすという問
題があった。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたもので、請求項１の発明において
は、支持体の案内面と移動体の滑動面の間に潤滑油を介
在させて案内面と滑動面が接触した状態で移動体を案内
支持するすべり案内装置において、前記滑動面に形成さ
れた面圧軽減ポケットと、前記面圧軽減ポケットに圧油
を供給する圧油供給路中に設けられ、前記面圧軽減ポケ
ットに供給される圧油の圧力を減少させる絞りとを備
え、前記移動体は、前記面圧軽減ポケットに供給された
圧油により自重の一部が支持され、前記滑動面の面圧が
軽減された状態で支持案内されることを特徴とするもの
である。

【００１１】請求項２の発明においては、請求項１に記
載のすべり案内装置において、前記滑動面の面圧が０．
０２ＭＰａ〜０．０８ＭＰａに調整されることを特徴と
するものである。請求項３の発明においては、請求項１
または請求項２に記載のすべり案内装置において、前記
滑動面には摺動抵抗を減少させるためのフッ素樹脂処理
が施されているとともに、前記案内面およびフッ素樹脂
処理が施された前記滑動面は１μｍ〜７μｍの表面粗さ
を有することを特徴とするものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づいて説明する。図１に示すように、支持体である工
作機械のベッド１の上部両側には案内部２が図１の紙面
に垂直方向に延びて形成されており、この案内部２の上
面には案内面２ａが形成されている。

【００１３】ベッド１上には移動体であるテーブル３が
載置されており、このテーブル３の下面９の両側には、
この下面９よりも図１の下方向に突出した位置に滑動面
３ａが形成されている。滑動面３ａの更に外側のテーブ
ル３の下面９には側板４が固着され、側板４の下面には
裏板５が固着されており、ベッド１の案内部２はテーブ
ル３、側板４および裏板５によりコの字状に包囲されて
いる。側板４および裏板５は案内部２の側面および下面
との間に約１０μｍの隙間が開けて設けられており、テ
ーブル３の移動時に圧油の動圧効果によりテーブル３の
姿勢が変化した場合、この側板４および裏板５が案内部
２の側面および下面に当接することでテーブル３の過度
の姿勢変化を抑制し、加工精度への影響を少なくするよ
うになっている。

【００１４】テーブル３の下面９の形状は図２に示すよ
うになっている。すなわち、テーブル３の下面９には図
１においてベッド１の案内面２ａと対向する位置（図２
においては上下方向）にテーブル３の進行方向に向かっ
て帯状の滑動面３ａがそれぞれ形成されている。滑動面
３ａの表面には滑動面３ａと案内面２ａの固体接触によ
る焼付きを防止するためのフッ素樹脂摺動材である厚さ
約１ｍｍのターカイト１６（商品名）が貼付されてい
る。なお、滑動面３ａにはフッ素樹脂摺動材であるター
カイト１６が貼付されているが、貼付に限定されるもの
ではなく、コーティングなどにより表面をフッ素樹脂処
理してもよい。

【００１５】また、滑動面３ａにはテーブル３の移動方
向に垂直方向に形成された排出溝１０により両端が区切
られた面圧調整部１１が形成され、この面圧調整部１１
には周囲に適宜の幅のランド部１２を残して長方形凹状
の面圧調整ポケット６が形成されている。本実施の形態
では、面圧調整部１１はテーブル３の移動方向に沿って
移動方向の両端に２箇所形成されているが、テーブル３
の重量が重く、長さが長い場合には、適宜面圧調整部１
１の数を増加させればよい。

【００１６】そして、テーブル３の移動方向の両端に形
成された２つの面圧調整部１１，１１の中間の滑動面３
ａには、図２に示すように、Ｎ字凹状の油溝１３が形成
されている。この油溝１３は滑動面３ａの潤滑性を向上
させるために適宜形成されるものであるので、テーブル
３の移動方向の長さが短い場合などは形成されないこと
もある。

【００１７】また、図１に示すように、テーブル３には
図略のポンプなどの圧油供給源により面圧調整ポケット
６に供給される圧油が流通する圧油供給路７が形成され
ている。この圧油供給路７は先端部が絞り８を介して面
圧調整ポケット６に開口部１４として開口しており、こ
の絞り８により圧油供給路７から面圧調整ポケット６に
供給される圧油の圧力を減少させるようになっている。
そして、この面圧調整ポケット６に供給される圧油によ
りテーブル３の自重の一部を支持し、ベッド１の案内面
２ａとテーブル３の滑動面３ａ間に作用する面圧を軽減
するようになっている。

【００１８】ここで面圧Ｐとは、滑動面３ａの単位面積
当たりの圧力のことであり、滑動面３ａに働く力をＦ、
滑動面３ａの面積をＳとすると、Ｐ＝Ｆ／Ｓ・・・式１で表される。そして、滑動面３ａに働く力Ｆは、テーブ
ル３の自重をＷ、圧油の供給圧力をＰｒ、面圧軽減ポケ
ットの面積をＡとするとＦ＝Ｗ−Ｐｒ×Ａ・・・式２で表されるので、（１）式は、Ｐ＝（Ｗ−Ｐｒ×Ａ）／Ｓ・・・式３となる。よって、圧油の供給圧力Ｐｒと面圧軽減ポケッ
トの面積Ａを変化させることで、テーブル３の滑動面３
ａの面圧を調整することができる。

【００１９】本明細書において面圧とは式３のことを表
すこととする。なお、図示は省略したが、テーブル３に
は前記油溝１３に潤滑油を供給する供給路が圧油供給路
７とは別個に形成されており、この供給路は油溝１３に
開口部１５として開口している。本発明の案内装置は従
来の動圧すべり案内よりも面圧が軽減されており、案内
面２ａと滑動面３ａとの接触圧力が小さく、焼き付きの
可能性が少ないので、面圧軽減ポケット６に供給される
圧油は従来の動圧すべり案内に使用される油よりも同程
度以下の粘度のものを使用している。また、本発明の案
内装置は案内面２ａと滑動面３ａが接触状態で案内され
るので、使用される圧油には、案内面２ａと滑動面３ａ
の表面に油膜を形成して摺動抵抗を減少させるための極
圧添加剤が付加されている。

【００２０】なお、テーブル３は図略のボールねじ機構
やリニアモータ機構などによりベッド１の案内面２ａ上
を案内移動されるようになっている。次に上記構成に案
内装置の動作原理について説明する。本実施の形態の案
内装置は静止時には、図略の圧油供給源により面圧調整
ポケット６に圧油が供給されてテーブル３の自重の一部
を支持し、滑動面３ａの面圧を軽減した状態にある。な
お、この時滑動面３ａの面圧は軽減されているが、滑動
面３ａと案内面２ａは接触状態にある。そして、図略の
ボールねじ機構やリニアモータ機構の作動によりテーブ
ル３が移動されるとテーブル３は圧油の動圧効果により
全体的に数μｍ浮き上がった状態で案内移動され、面圧
調整ポケット６に流入した圧油は案内面２ａと滑動面３
ａとの間にできた隙間からランド部１２を通過し、排出
溝１０を介して滑動面３ａの外部へ流出する。

【００２１】このとき、テーブル３の移動方向の前方は
更に浮き上がろうとする。つまり、微視的に見てテーブ
ル３の移動方向の前方の面圧調整ポケット６では案内面
２ａとの距離が長くなり、後方の面圧調整ポケット６で
は案内面２ａとの距離が短くなる。これにより、前方の
面圧調整ポケット６からランド部１２を通過して外部に
流出する圧油の流量が増加するが面圧調整ポケット６に
流入する圧油の流量は絞り８により制限されているので
その結果、面圧調整ポケット６内の圧力は静止時よりも
減少する。

【００２２】一方、後方の面圧調整ポケット６からラン
ド部１２を通過して外部に流出する圧油の流量が減少す
るので面圧調整ポケット６内の圧力は静止時よりも増加
する。これにより前方の面圧調整ポケット６の内圧が下
降し、後方の面圧調整ポケット６の内圧が上昇するの
で、テーブル３には前方が沈み込んで後方が浮き上がる
力が働き、姿勢が水平に保たれる。

【００２３】次に、本発明者は本実施の形態の案内装置
に基づいて実験装置を作成し、滑動面３ａの面圧、案内
面２ａと滑動面３ａの表面粗さ、ランド部１２の幅、絞
り８の径、圧力比の最適値について検討を行った。まず
テーブル３の滑動面３ａの面圧について検討する。本実
験装置は、テーブル３の自重が９７８ｋｇｆ、各面圧軽
減ポケット６の面積が４８ｃｍ²、面圧軽減ポケットの
数が４、滑動面３ａの面積が４２０ｃｍ²に設定されて
いる。

【００２４】図３は図１に示すテーブル３において、側
板４および裏板５を取り外し、絞り８を設けない状態で
圧油の供給圧力を変化させることで滑動面３ａの面圧を
変化させ、テーブル３の静止時における面圧と所要送り
力と浮き上がりの関係を表したグラフである。また、図
４は図３の実験と同じ条件において面圧と所要送り力と
減衰比の関係を表したグラフである。

【００２５】これらのグラフから、面圧が高いと剛性や
減衰性の面で有利になるが所要送り力の面で不利にな
り、逆に面圧が低いと所要送り力の面では有利になるが
剛性や減衰性の面では不利になり、浮き上がりが顕著に
なって姿勢悪化につながることがわかる。減衰比は経験
的に０．２以下がよいことと、従来のすべり案内が面圧
０．１ＭＰａ以上に設定されていることを考慮して、面
圧は０．０８ＭＰａ〜０．０２ＭＰａに設定することが
望ましい。なお、好適には０．０５ＭＰａ前後である。

【００２６】次に、ベッド１の案内面２ａとテーブル３
の滑動面３ａの表面粗さについて検討する。なお、本実
験装置は、案内面２ａは金属面のままの状態で、滑動面
３ａは焼き付き対策としてフッ素樹脂摺動材である厚さ
約１ｍｍのターカイト１６が貼付された状態で、６．３
μｍの表面粗さに仕上げられている。

【００２７】本発明の案内装置は静圧案内のような完全
浮上ではなく、案内面２ａと滑動面３ａとが接触状態を
維持して案内されるので、この両面の表面粗さが粗い
と、接触が過大になり所要送り力と両面の摩耗の増大を
招くとともに、テーブル３の静止状態では両面の接触状
態によってはテーブル３の姿勢が悪化することがある。
また、本発明の案内装置は面圧軽減ポケット６に供給さ
れる圧油により面圧が軽減されているので、テーブル３
の移動時に浮き上がりが顕著になる。そこで、通常はテ
ーブル３の静止時や定速領域など、移動による姿勢変化
が安定してから加工するようにしているが、テーブル３
の移動ストロークと加工範囲の関係によってはテーブル
３の加減速領域で加工を行うこともあり、この場合送り
速度の変化によってテーブル３の浮き上がりも変化す
る。そして、浮き上がりの最大値が大きいと速度変化に
対する浮き上がりの変化も大きくなるので、浮き上がり
の最大値（早送り時）が１２μｍ程度を越えると加工精
度に問題が生じる可能性が高くなる。よって、両面の表
面粗さの合計がこの１２μｍ程度以下になることが望ま
しいので、案内面２ａおよび滑動面３ａのそれぞれの表
面粗さの上限値は７μｍとすることが望ましい。

【００２８】また、下限値については、静圧案内の場合
は１μｍ以下の表面粗さになっているが、静圧案内のよ
うに１μｍよりも細かい表面粗さになると通常の研磨加
工では要求精度を得られないので、ラップ加工などの特
別な加工を必要とし加工コストが高くなるという問題が
ある。また、あまり表面粗さが良いと供給された油が滑
動面３ａの表面に保持されにくくなり、静圧案内のよう
に無接触状態での案内では問題はないが、本実施の形態
では案内面２ａおよび滑動面３ａが接触状態で案内され
るので、本実施の形態では潤滑性が問題になる可能性を
考慮して、下限値は１μｍとすることが望ましい。

【００２９】次にランド部１２の幅について検討する。
なお、本実験装置ではランド部１２の幅は１０ｍｍに設
定されている。本発明の案内装置は案内面２ａと滑動面
３ａとが接触状態で案内されることと、テーブル３の静
止時には滑動面３ａと案内面２ａとの直接接触でテーブ
ル３の自重の一部を支持することを考慮すると、ランド
部１２の幅を余り狭くするとランド部１２が変形してし
まう可能性が高くなるので、ランド部１２の幅は余り狭
くすることはできない。ランド部１２の幅は静圧案内の
場合は一般に５ｍｍ程度に設定されるが、本発明は静圧
とは異なり案内面２ａと滑動面３ａが接触状態で案内さ
れることから、静圧案内よりも広い幅に設定する必要が
ある。また、本発明では滑動面３ａには焼き付き対策と
してフッ素樹脂摺動材のターカイト１６が貼付されてい
るが、ランド部１２の幅が余り狭いとこのターカイト１
６が剥離する可能性が高くなることを考慮して、ランド
部１２の幅は１０ｍｍ以上とすることが望ましい。

【００３０】次に絞り８の径について検討する。なお、
本実験装置では、絞り８の径は０．４ｍｍに設定されて
いる。図５は図１に示すテーブル３において側板４およ
び裏板５を取り外し、絞り８が設けられた状態でこの絞
り８の径と圧油の供給圧力を変化させ、テーブル３の静
止時における圧油の供給圧力と浮き上がりの関係を、絞
り８の径毎に表したグラフである。このグラフから絞り
無しと絞り径１．０ｍｍ〜０．８ｍｍの場合は、圧油の
供給圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ²を越えた辺りで急激な浮き
上がりを示しており、テーブル３の姿勢安定には効果が
ほとんどないことが分かる。また、絞り８の径を余り小
さくすると圧油内のゴミなどが詰まる可能性が高くな
り、案内装置の信頼性に問題が出るので、絞り８の径は
０．４ｍｍ〜０．６ｍｍに設定することが望ましい。

【００３１】次に圧力比について検討する。一般に圧力
比とは静圧案内において用いられている用語であり、圧
力流体の供給圧力に対するポケット内圧の比のことであ
るが、本実施の形態ではテーブル３の静止時にはテーブ
ル３は全く浮上しておらず、面圧軽減ポケット６に供給
された圧油は外部には漏洩しないことから面圧軽減ポケ
ット６の内圧は低下しない。よって、本実施の形態で
は、テーブル３の移動時にテーブル３が数μｍ浮き上が
り、面圧軽減ポケット６内に供給された圧油が面圧軽減
ポケット６の外部に漏洩した状態における圧力比のこと
を表すこととする。

【００３２】この圧力比は、移動時における移動体の浮
き上がり（テーブル３の自重、面圧軽減ポケット６の面
積と数、圧油の供給圧力、圧油の種類で決まる）、面圧
調整部１１の寸法（面圧軽減ポケット６とランド部１２
の寸法関係で決まる）、絞り８の毛細管定数（絞り８の
長さと径で決まる）から計算でき、本実験装置について
この圧力比を前述した面圧、絞り径などの設定数値に従
い計算すると、０．９５という値になる。なお、０．６
ｍｍの径の絞りを使用した場合は、０．９８となる。

【００３３】一般に静圧案内の圧力比と剛性の関係は図
６に示すような関係になっている（１９９０年２月発行
の青山藤詞郎著、静圧軸受の第１４１頁に記載）。な
お、図中の毛細管、オリフィス、定流量弁、ダイアフラ
ム弁は形状から見た絞りの種類を表しており、本実施の
形態に使用している絞り８は、その形状から見ると毛細
管絞りに分類されるので、図６の毛細管のグラフをもと
に説明する。毛細管絞りを使用した静圧案内の場合は、
図６からその圧力比が０．６〜０．７辺りが最も剛性が
高いことが分かるので、一般の静圧案内の圧力比は０．
６〜０．７程度に設計されることが多い。これは本実験
装置についても同様なことが言えるが、本実験装置の圧
力比は０．９５という静圧案内としては問題外の値にな
っており、このことが本実験装置が静圧案内と異なる大
きな特徴の１つであると言える。

【００３４】そして、前述したように圧力比とは、圧力
流体の供給圧力に対するポケット内圧の比を表している
ので、圧力比を調整するには、ポケットに供給される圧
力流体流量とポケットから流出する圧力流体の流量の差
を調整すればよい。本実施の形態においては、絞り８の
径を調整する、ランド部１２の幅を調整する、案内面２
ａと滑動面３ａ間に作用する面圧を調整する（浮き上が
りが変化するので流体の流出量も変化する）などの方策
が考えられる。

【００３５】しかし、絞り８の径、ランド部１２の幅お
よび滑動面３ａの面圧について、現在の０．９５という
圧力比を小さい値にする方向の設計数値の設定に関して
はほぼ限界であると考えられる。このことを考慮して、
圧力比は、０．９〜０．９８になるように案内装置を構
成する各要素の設計値を決定することが望ましい。次
に、絞り８の効果を確認するために本発明者が行った実
験について説明する。

【００３６】図７は図１に示す側板４および裏板５を取
り付けた状態で、０．４ｍｍの径の絞りを使用した場合
と、従来のノズル無しの案内装置について、送り速度と
浮き上がり量の関係を表したグラフである。なお、この
実験では圧油の供給圧力を４ｋｇｆ／ｃｍ²に設定する
ことで、滑動面３ａの面圧は０．０４９ＭＰａ（０．５
ｋｇｆ／ｃｍ²）に調整されている。ちなみにこの場
合、前述した面圧軽減ポケット６の面積と数から計算上
では、油圧力によって、４×４８ｃｍ²×４ｋｇｆ／ｃ
ｍ²＝７６８ｋｇｆの力が発生しており、テーブル３の
自重である９７８ｋｇｆの約７９％を支持していること
になる。

【００３７】図７により、本実施形態の案内装置は従来
の絞りが設けられていな案内装置に比べて浮き上がりは
半分以下になっており、圧力比が０．９５という静圧案
内では考えられない圧力比でも姿勢安定の効果が得られ
ることが確認できた。図８は図１に示す側板４および裏
板５を取り付けた状態で、０．４ｍｍの径の絞りを使用
した場合と、従来のノズル無しの案内装置について、送
り速度と所要送り力の関係を表したグラフである。

【００３８】図８により、本実施の形態の絞りを設けた
案内装置の方が従来の絞りが無い案内装置に比べて全て
の速度領域で所要送り力の減少効果が見られることが確
認できた。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、支持体の案内面と移動
体の滑動面の間に潤滑油を介在させて案内面と滑動面が
接触した状態で移動体を案内支持するすべり案内装置に
おいて、前記滑動面に形成された面圧軽減ポケットと、
前記面圧軽減ポケットに圧油を供給する圧油供給路中に
設けられ、前記面圧軽減ポケットに供給される圧油の圧
力を減少させる絞りとを備え、前記移動体は、前記面圧
軽減ポケットに供給された圧油により自重の一部が支持
され、前記滑動面の面圧が０．０２ＭＰａ〜０．０８Ｍ
Ｐａに軽減された状態で支持案内されるので、剛性と減
衰性を維持しつつ、移動体の滑動面の面圧が軽減され、
所要送り力の減少と所要送り力変動の抑制することがで
きるとともに、絞りの効果により移動体の移動時におけ
る姿勢変化を抑制することができる。

【００４０】また、移動体の滑動面には摺動抵抗を減少
させるためのフッ素樹脂処理が施されているとともに、
支持体の案内面および前記フッ素樹脂処理が施された移
動体の滑動面は１μｍ〜７μｍの表面粗さを有している
ので、潤滑性の保持と摺動抵抗の減少ができ、円滑な送
り案内ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態におけるすべり案内装置の
横断面図である。

【図２】本発明の実施の形態におけるすべり案内装置の
移動体下面の構造を表す平面図および部分断面図であ
る。

【図３】本発明のすべり案内装置の面圧と所要送り力お
よび浮き上がりの関係を表すグラフである。

【図４】本発明のすべり案内装置の面圧と所要送り力お
よび減衰比の関係を表すグラフである。

【図５】本発明のすべり案内装置の圧油の供給圧力と浮
き上がりの関係を絞り径毎に表したグラフである。

【図６】静圧案内における圧力比と剛性の関係を表すグ
ラフである。

【図７】本発明のすべり案内装置の送り速度と浮き上が
りの関係を絞り有りと絞り無しで比較したグラフであ
る。

【図８】本発明のすべり案内装置の送り速度と所要送り
力の関係を絞り有りと絞り無しで比較したグラフであ
る。

【図９】動圧すべり案内の概略説明図である。

【図１０】静圧案内の概略説明図である。

【符号の説明】

１ベッド２案内部２ａ案内面３テーブル３ａ滑動面５裏板６面圧調整ポケット７圧油供給路８絞り１１面圧調整部１２ランド部１６ターカイト（フッ素樹脂処
理）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体の案内面と移動体の滑動面の間に潤
滑油を介在させて案内面と滑動面が接触した状態で移動
体を案内支持するすべり案内装置において、前記滑動面
に形成された面圧軽減ポケットと、前記面圧軽減ポケッ
トに圧油を供給する圧油供給路中に設けられ、前記面圧
軽減ポケットに供給される圧油の圧力を減少させる絞り
とを備え、前記移動体は、前記面圧軽減ポケットに供給
された圧油により自重の一部が支持され、前記滑動面の
面圧が軽減された状態で支持案内されることを特徴とす
るすべり案内装置。
【請求項２】請求項１に記載のすべり案内装置におい
て、前記滑動面の面圧が０．０２ＭＰａ〜０．０８ＭＰ
ａに調整されることを特徴とするすべり案内装置。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載のすべり案
内装置において、前記滑動面には摺動抵抗を減少させる
ためのフッ素樹脂処理が施されているとともに、前記案
内面およびフッ素樹脂処理が施された前記滑動面は１μ
ｍ〜７μｍの表面粗さを有することを特徴とするすべり
案内装置。