JPH11280967A - 流体継手 - Google Patents

流体継手

Info

Publication number
JPH11280967A
JPH11280967A JP10085807A JP8580798A JPH11280967A JP H11280967 A JPH11280967 A JP H11280967A JP 10085807 A JP10085807 A JP 10085807A JP 8580798 A JP8580798 A JP 8580798A JP H11280967 A JPH11280967 A JP H11280967A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
retainer
joint member
gasket
joint
annular
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10085807A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3965512B2 (ja
Inventor
Michio Yamaji
道雄 山路
Tsutomu Shinohara
努 篠原
Kosuke Yokoyama
光祐 横山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP08580798A priority Critical patent/JP3965512B2/ja
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Priority to EP99106366A priority patent/EP0947753B1/en
Priority to IL12921899A priority patent/IL129218A/en
Priority to DE69920311T priority patent/DE69920311T2/de
Priority to US09/280,014 priority patent/US6161875A/en
Priority to CA002267453A priority patent/CA2267453C/en
Priority to KR1019990010889A priority patent/KR100558104B1/ko
Priority to SG1999001569A priority patent/SG76603A1/en
Priority to TW088104993A priority patent/TW381204B/zh
Publication of JPH11280967A publication Critical patent/JPH11280967A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3965512B2 publication Critical patent/JP3965512B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L29/00Joints with fluid cut-off means
    • F16L29/02Joints with fluid cut-off means with a cut-off device in one of the two pipe ends, the cut-off device being automatically opened when the coupling is applied
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P95/00Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S285/00Pipe joints or couplings
    • Y10S285/906Equivalents

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
  • Joints With Pressure Members (AREA)
  • Valve Housings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 継手部材の雄型・雌型の区別をなくすととも
に、ずれによるシール性の悪化を防止した流体継手を提
供する。 【解決手段】 各継手部材5 の突き合わせ端面にリテー
ナ収納凹所45,46 が設けられ、各リテーナ収納凹所45,4
6 の底面に環状突起47a,48a 付きのガスケット押さえ用
環状突出部47,48 が設けられている。リテーナ42が、ガ
スケット41の外周面を保持して一方の継手部材5 の環状
突出部47外周に取り付けられるリテーナ本体43と、両継
手部材5,12突き合わせ時に他方の継手部材12のリテーナ
収納凹所46周面を案内するガイドリング部44とよりな
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、流体継手に関
し、特に、半導体製造用流体制御装置において、マスフ
ローコントローラ、開閉弁およびこれらの間に介在され
る連結ブロックなどを連結するさいに有用な流体継手に
関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造用流体制御装置は、流量を調
整するマスフローコントローラや圧力を調整するプレッ
シャーレギュレータ等の調整器と開閉弁等とが組み合わ
されて構成されるものであるが、本出願人は、このさい
の好ましい構成として、マスフローコントローラと開閉
弁とが適切な連結ブロックを介して連結されるようにな
されているものを提案している(特開平8−32694
3号公報参照)。これに開示されている流体継手の構成
を図6に示す。
【0003】図6において、流体継手は、突き合わせ端
面にそれぞれガスケット押さえ用環状突起(98)(99)が設
けられた雄型および雌型の継手部材(91)(92)と、両継手
部材(91)(92)の突合わせ端面に介在させられる円環状ガ
スケット(93)と、ガスケット(93)の外周面を保持してガ
スケット(93)を雌型の継手部材(92)に保持させるリテー
ナ(94)とを備えている。ここで、各継手部材(91)(92)
は、連結ブロックであったり、マスフローコントローラ
本体であったり、開閉弁に接続されたブロックであった
りする。そして、これらの継手部材(91)(92)の突き合わ
せ端面のいずれか一方が雄型、他方が雌型とされ、雌型
の継手部材(92)の突き合わせ端面に設けられた嵌合凹部
(96)に、雄型の継手部材(91)の突き合わせ端面に軸方向
に突出して設けられた嵌合凸部(95)が嵌め合わされるこ
とによって継手部材(91)(92)同士の径方向へのずれが防
止されている。そして、雌型の継手部材(92)の突合わせ
端面に、リテーナ保持用円筒部(97)が形成され、リテー
ナ(94)はこのリテーナ保持用円筒部(97)を保持すること
により、ガスケット(93)を雌型の継手部材(92)に保持さ
せる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体継手で
は、継手部材が雄型および雌型の2種類あるので、部材
同士を連結するさいには、その接続方向を区別する必要
があり、そのため、連結に手間がかかり、しかも、接続
方向を逆にするさいに雄・雌が逆になった別途の継手部
材が必要になる場合が生じるという問題があった。
【0005】雄型・雌型の区別をなくすと、嵌め合わせ
による径方向へのずれの防止効果がなくなり、リテーナ
(94)が保持していないほうの継手部材(91)では、そのガ
スケット押さえ用環状突起(98)がガスケット(93)に対し
て径方向にずれやすくなり、この結果、ガスケット(93)
の端面からガスケット押さえ用環状突起(98)が外れて、
シール性が悪化するという問題が生じる。
【0006】この発明の目的は、継手部材の雄型・雌型
の区別をなくすとともに、ずれによるシール性の悪化を
防止した流体継手を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による流体継手は、互いに連通する流体通路を有して
いる第1および第2の継手部材と、両継手部材の突き合
わせ端面間に介在させられる円環状ガスケットと、ガス
ケットを保持するリテーナとを備えている流体継手にお
いて、各継手部材の突き合わせ端面にリテーナ収納凹所
が設けられ、各リテーナ収納凹所の底面に環状突起付き
のガスケット押さえ用環状突出部が設けられており、リ
テーナが、ガスケットの外周面を保持していずれか一方
の継手部材の環状突出部外周に取り付けられるリテーナ
本体と、両継手部材突き合わせ時に同他方の継手部材の
リテーナ収納凹所周面を案内するガイドリング部とより
なることを特徴とするものである。
【0008】リテーナ本体とガイドリング部とは別部材
であってもよく、リテーナ本体とガイドリング部とが一
体に形成されていてもよい。
【0009】この発明の流体継手によると、リテーナ
は、第1および第2の継手部材のどちらでも保持できる
から、継手部材の突き合わせ端面が雄型か雌型かを区別
せずに、継手部材を順次連結していくことができる。ま
た、リテーナが、リテーナが取り付けられていない方の
継手部材の凹所周面を両継手部材突き合わせ時に案内す
るガイドリング部を有しているから、一方の継手部材に
対する他方の継手部材の径方向のずれが小さく抑えられ
る。
【0010】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。
【0011】この明細書において、上下・左右は、図2
の上下・左右をいうものとし、前値は、同図表側、後と
は、同図裏側をいうものとする。なお、この上下は、便
宜的なものであり、上下が逆になったり、横になったり
することもある。
【0012】図1および図2は、この発明の流体継手が
使用される流体制御装置の一部を示している。流体制御
装置(1) は、基板(11)に取り付けられた複数のブロック
継手(5)(6)(7)(8)(9)(10) と、これらのブロック継手
(5)(6)(7)(8)(9)(10) に取り付けられた複数種類の流体
制御器(2)(3)(4) により構成されている。
【0013】流体制御器(2)(3)(4) は、左から順に、第
1ブロック弁(2) 、マスフローコントローラ(調整器)
(3) および第2ブロック弁(4) であり、ブロック継手
(5)(6)(7)(8)(9)(10) は、左から順に、それぞれ上向き
の左部開口および右部開口を有する第1V字状通路(5a)
付きブロック継手(5) 、上向きの開口および後向きの開
口を有する第1L字状通路(6a)付きブロック継手(6) 、
それぞれ上向きの左部開口および右部開口を有する第2
V字状通路(7a)付きブロック継手(7) 、それぞれ上向き
の左部開口および右部開口を有する第3V字状通路(8a)
付きブロック継手(8) 、上向きの開口および後向きの開
口を有する第2L字状通路(9a)付きブロック継手(9) 並
びに上向きの開口および右向きの開口を有する第3L字
状通路(10a) 付きブロック継手(10)である。
【0014】各ブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10) の所
定箇所には、貫通孔(25)およびねじ孔(26)が設けられて
おり、貫通孔(25)に通されたボルト(図示略)が基板(1
1)のねじ孔(図示略)にねじ込まれることにより基板(1
1)に固定されている。各流体制御器(2)(3)(4) は、上方
より通されたボルト(27)がブロック継手(5)(6)(7)(8)
(9)(10) のねじ孔(26)にねじ込まれることにより対応す
るブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10) に固定されてい
る。
【0015】第1ブロック弁(2) は、左右に長い直方体
ブロック状本体(12)と、本体(12)上面に取り付けられた
第1アクチュエータ(13)および第2アクチュエータ(14)
と、本体(12)右側面に取り付けられた逆L字状通路(15
a) 付き右ブロック(15)と、本体後側面に取り付けられ
た逆L字状通路(図示略)付き後ブロック(16)とよりな
り、本体(12)左端部が第1V字状通路(5a)付きブロック
継手(5) の右半部に、右ブロック(15)が第2V字状通路
(7a)付きブロック継手(7) の左半部に、後ブロック(16)
が第1L字状通路(6a)付きブロック継手(6) にそれぞれ
取り付けられている。
【0016】第1ブロック弁(2) の本体(12)には、左端
部において下向きに開口し第1V字状通路(5a)付きブロ
ック継手(5) の右部開口に通じている第1流入路(31)
と、第1流入路(31)と第1アクチュエータ(13)を介して
連なるとともに右ブロック(15)の逆L字状通路(15a) の
右向き通路に通じる流出路(32)と、流出路(32)と第2ア
クチュエータ(14)を介して連なるとともに第1L字状通
路(6a)付きブロック継手(6) の上向き開口に通じる下向
きの第2流入路(33)とが設けられている。右ブロック(1
5)の逆L字状通路(15a) の下向き通路が第2V字状通路
(7a)付きブロック継手(7) の左部開口に通じている。
【0017】調整器(3) の左側面の下端部には、調整器
(3) の流入路(図示略)に連通する逆L字状通路(17a)
を有する左ブロック(17)が左方に張り出して設けられて
おり、調整器(3) の右側面の下端部には、調整器の流出
路(図示略)に連通する逆L字状通路(18a) を有する右
ブロック(18)が右方に張り出して設けられている。そし
て、左通路ブロック(17)が第2V字状通路付きブロック
継手(7) の右半部に取り付けられることにより、左ブロ
ック(17)の逆L字状通路(17a) と第1ブロック弁(2) の
右ブロック(15)の逆L字状通路(15a) とが、第2V字状
通路(7a)付きブロック継手(7) を介して連通させられて
いる。調整器(3) の右ブロック(18)は、第3V字状通路
(8a)付きブロック継手(8) の左半部に取り付けられてい
る。
【0018】第2ブロック弁(4) は、左右に長い直方体
ブロック状本体(19)と、本体(19)上面に取り付けられた
第3アクチュエータ(20)および第4アクチュエータ(21)
と、本体(19)右側面に取り付けられた逆L字状通路(22
a) 付き右ブロック(22)と、本体後側面に取り付けられ
た逆L字状通路付き後ブロック(23)とよりなり、本体(1
9)左端部が第3V字状通路(8a)付きブロック継手(8) の
右半部に、右ブロック(22)が第3L字状通路(10a) 付き
ブロック継手(10)に、後ブロック(23)が第2L字状通路
(9a)付きブロック継手(9) にそれぞれ取り付けられてい
る。第3L字状通路(10a) 付きブロック継手(10)の右向
き開口には流体流出部(24)が設けられている。
【0019】第2ブロック弁(4) の本体(19)には、左端
部において下向きに開口し第3V字状通路(8a)付きブロ
ック継手(8) の右部開口に通じている流入路(34)と、流
入路(34)と第3アクチュエータ(20)を介して連なるとと
もに右ブロック(22)の逆L字状通路(22a) の右向き通路
に通じる第1流出路(35)と、第1流出路(35)と第4アク
チュエータ(21)を介して連なるとともに第2L字状通路
(9a)付きブロック継手(9) の上向き開口に通じる下向き
の第2流出路(36)とが設けられている。そして、第2ブ
ロック弁(4) の逆L字状通路(22a) 付き右ブロック(22)
と第3L字状通路(10a) 付きブロック継手(10)とが連通
させられている。
【0020】各部材(5)(2)(6)(15)(7)(17)(18)(8)(4)
(9)(22)(10) 同士の連結部には、それぞれこの発明の流
体継手(30)が設けられている。
【0021】図3を参照して、第1V字状通路(5a)付き
ブロック継手(5) (以下、第1継手部材と称す)と第1
ブロック弁(2) の本体(12)(以下、第2継手部材と称
す)との間に設けられたこの発明による流体継手の第1
の実施形態について説明する。
【0022】流体継手は、第1の流路(5a)を有する第1
継手部材(5) と第1の流路(5a)に通じる第2の流路(31)
を有する第2継手部材(12)とを流体密に連結するための
構成であって、両継手部材(5)(12) と、両継手部材(5)
(12) の突合わせ端面間に介在させられている円環状ガ
スケット(41)と、ガスケット(41)を保持してガスケット
を図示した例では第1の継手部材(5) に保持させている
リテーナ本体(43)およびリテーナ本体(43)の外側に取り
付けられたガイドリング(44)よりなるリテーナ(42)と、
両継手部材(5)(12) を連結するねじ手段とよりなる。
【0023】第1継手部材(5) および第2継手部材(12)
の各突き合わせ端面には、流体通路(5a)(31)開口を囲む
環状のリテーナ収納凹所(45)(46)が設けられ、リテーナ
収納凹所(45)(46)の底面に、環状突起(47a)(48a)付きの
ガスケット押さえ用環状突出部(47)(48)が設けられてい
る。リテーナ収納凹所(45)(46)、環状突起(47a)(48a)お
よび環状突出部(47)(48)は、互いに同心とされている。
環状突出部(47)(48)の先端面は、突き合わせ端面よりガ
スケット(41)の厚みの半分より若干浅く凹まされてお
り、環状突起(47a)(48a)は、環状突出部(47)(48)の先端
面の径方向ほぼ中央に設けられている。これらのリテー
ナ収納凹所(45)(46)およびガスケット押さえ用環状突出
部(47)(48)は、第1継手部材(5) と第2継手部材(12)と
で同一形状となるように形成されている。
【0024】ガスケット(41)は、ステンレス鋼製で、両
継手部材(5)(12) の流路径に等しい内径を有し、ガスケ
ット押さえ用環状突出部(47)(48)の外径より若干大きい
外径を有している。ガスケット(41)の第1継手部材(5)
に接する部分には、ガスケット押さえ用環状突出部(47)
(48)の外径に等しい小径部(41a) が設けられている。
【0025】リテーナ本体(43)は、ステンレス鋼板で一
体的に形成されたもので、ガスケット小径部(41a) の外
径と同じ内径を有する小径部(43a) と、これより大径の
大径部(43b) と、小径部(43a) の一端部と大径部(43b)
の他端部とを連結する連結部(43c) とよりなる。ステン
レス鋼板は薄板であり、小径部(43a) および大径部(43
b) は、いずれも径方向の弾性を若干有している。そし
て、小径部(43a) の連結部側の部分がガスケット小径部
(41a) に嵌め合わせられ、小径部(43a) の残りの部分が
第1継手部材(5) の環状突出部(47)外周に嵌め合わせら
れている。大径部(43b) は、これとガスケット(41)の外
周およびリテーナ収納凹所(45)(46)周面との間にそれぞ
れ間隙ができるような寸法に形成されている。
【0026】ガイドリング(44)は、ステンレス鋼製で、
第1継手部材(5) のリテーナ収納凹所(45)の周面の径に
ほぼ等しい外径を有し同凹所(45)に嵌め入れられている
嵌入部(51)と、第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所(4
6)の周面の径より若干小さい外径を有し同凹所にゆるく
嵌め入れられている案内部(52)とよりなる。案内部(52)
の内径は、リテーナ本体(43)の大径部(43b) の外径にほ
ぼ等しくされている。嵌入部(51)の内周面上部は、案内
部(52)の内周面に面一であり、同下部には、リテーナ本
体(43)の連結部(43c) の径方向外側部分に下から当接す
る環状内方突出部(53)が設けられている。また、案内部
(52)の上端部には、リテーナ本体(43)の大径部(43b) 上
端に上から当接する環状小突起(54)が設けられている。
リテーナ本体(43)およびガイドリング(44)の上下方向の
全幅は、第1継手部材(5) のリテーナ収納凹所(45)の深
さと第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所(46)の深さと
を合わせた値より若干小さくなされている。
【0027】この実施形態では、リテーナ本体(43)とガ
イドリング(44)とは、別々に形成されており、ガイドリ
ング(44)にリテーナ本体(43)が上から嵌め入れられるこ
とにより、両者(43)(44)が結合されてリテーナ(42)が形
成されている。そして、さらに、リテーナ(42)のリテー
ナ本体(43)にガスケット(41)が嵌め合わされた状態でリ
テーナ(42)およびガスケット(41)が第1継手部材(5) に
保持され、ガスケット(41)の位置決めが行われている。
第2継手部材(12)は、リテーナ(42)およびガスケット(4
1)を保持した第1継手部材(5) に突き合わされ、このと
き、第2継手部材(12)は、ガイドリング(44)の案内部(5
2)に案内される。
【0028】図3の(a)は、第2継手部材(12)が第1
継手部材(5) に正常に突き合われた状態を示している。
この状態で、ガイドリング(44)の案内部(52)の外周面と
第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所(46)の周面との間
には、どの位置でも0.15mmの間隙(G) が形成され
るようになされている。第1継手部材(5) のリテーナ収
納凹所(45)内では、ガイドリング(44)の嵌入部(51)が同
凹所(45)周面に嵌め合わせられ、リテーナ本体(43)の小
径部(43a) が環状突出部(47)外周に嵌め合わせられてお
り、リテーナ(42)およびガスケット(41)は径方向へ移動
することはない。図3の(b)は、第2継手部材(12)の
第1継手部材(5) に対する突き合わせが径方向に最もず
れた状態を示している。すなわち、ガイドリング(44)の
案内部(52)の外周面と第2継手部材(12)のリテーナ収納
凹所(46)の周面との間には、ある位置で0.3mmの間
隙(G1)が形成され、この位置と180°離れた位置での
両者の間隙(G2)がゼロとなっている。しかしながら、ガ
スケット(41)を強く押圧する環状突起(48a) が環状突出
部(48)の先端面の径方向ほぼ中央に設けられているの
で、この程度のずれでは、環状突起(48a) がガスケット
(41)から外れることはなく、シール性が低下するなどの
問題は全く生じない。なお、最もずれた状態での環状突
起(48a) の内周とガスケット(41)の内周との距離は、た
とえば、一方で0.56mm、他方で0.26mmとな
される。
【0029】上記流体継手によると、リテーナ(42)は、
第1および第2の継手部材(5)(12)のどちらでも保持で
きるから、図1および図2に示す流体制御装置(1) を組
立てるさいに、各構成部材(2)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)
(15)(17)(18)(22) の突き合わせ端面が雄型か雌型かを
区別せずに、これらを順次連結していくことができる。
そして、第2継手部材(12)が、ガイドリング(44)の案内
部(52)に案内されて第1継手部材(5) に突き合わされる
ので、組立てが容易に行え、しかも、第2継手部材(12)
の第1継手部材(5) に対する径方向への移動量は、極め
て小さい値に抑えられる。また、ガスケット(41)は、環
状突起(47a)(48a)に接する位置で最も変形が大きくなる
が、この位置は、ガスケット(41)端面の内縁ではなく
て、内縁より外寄りであるから、ガスケット(41)の最も
変形する部分は内縁部よりも外側にずれる。したがっ
て、ガスケット(41)の内周部にしわが生じることがない
ので、ごみが溜まるという心配はない。
【0030】図4は、この発明による流体継手の第2の
実施形態を示している。この流体継手は、第1実施形態
のものに比べて、リテーナのガイドリングの構成と第2
継手部材のリテーナ収納凹所の構成とが異なっている。
これらを除く第2実施形態の構成は、第1実施形態のも
のと同じであり、同じものには同じ符号を付して説明を
省略する。
【0031】第2実施形態のリテーナ(61)のガイドリン
グ(62)は、ステンレス鋼製で、第1継手部材(5) のリテ
ーナ収納凹所(45)の周面の径にほぼ等しい外径を有し同
凹所(45)に嵌め入れられている嵌入部(63)と、第2継手
部材(12)のリテーナ収納凹所(67)の周面の径より若干小
さい外径を有し同凹所(67)にゆるく嵌め入れられている
案内部(64)とよりなる。
【0032】第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所(67)
は、同図に示すように、第1継手部材(5) のリテーナ収
納凹所(45)よりも径が大きく、かつその深さも深くなさ
れている。
【0033】案内部(64)の内径は、リテーナ本体(43)の
大径部(43b) の外径にほぼ等しくされており、その外径
は、嵌入部(63)の外径よりも大きくなされている。嵌入
部(63)の内周面上部は、案内部(64)の内周面に面一であ
り、同下部には、リテーナ本体(43)の連結部(43c) の径
方向外側部分に下から当接する環状内方突出部(65)が設
けられている。また、案内部(64)の上端部には、リテー
ナ本体(43)の大径部(43b) 上端に上から当接する環状内
方突出部(66)が設けられている。案内部(64)上端の環状
内方突出部(66)の高さは、ガイドリング(62)へのリテー
ナ本体(43)の嵌め入れを妨げないように低いものとされ
ている。ガイドリング(62)の上下方向の全幅は、第1継
手部材(5) のリテーナ収納凹所(45)の深さと第2継手部
材(12)のリテーナ収納凹所(67)の深さとを合わせた値よ
り若干小さくなされている。
【0034】図4の(a)は、第2継手部材(12)が第1
継手部材(5) に正常に突き合われた状態を示している。
この状態で、ガイドリング(62)の案内部(64)の外周面と
第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所(67)の周面との間
には、どの位置でも0.25mmの間隙(G) が形成され
るようになされている。第1継手部材(5) のリテーナ収
納凹所(45)内では、ガイドリング(62)の嵌入部(63)が同
凹所(45)周面に嵌め合わせられ、リテーナ本体(43)の小
径部(43a) が環状突出部(47)外周に嵌め合わせられてお
り、リテーナ(61)およびガスケット(41)は径方向へ移動
することはない。図4の(b)は、第2継手部材(12)の
第1継手部材(5) に対する突き合わせが径方向に最もず
れた状態を示している。すなわち、ガイドリング(62)の
案内部(64)の外周面と第2継手部材(12)のリテーナ収納
凹所(67)の周面との間には、ある位置で0.5mmの間
隙(G1)が形成され、この位置と180°離れた位置での
両者の間隙(G2)がゼロとなっている。しかしながら、ガ
スケット(41)を強く押圧する環状突起(48a) が環状突出
部(48)の先端面の径方向ほぼ中央に設けられているの
で、この程度のずれでは、環状突起(48a) がガスケット
(41)から外れることはなく、シール性が低下するなどの
問題は全く生じない。なお、最もずれた状態での環状突
起(48a) の内周とガスケット(41)の内周との距離は、た
とえば、一方で0.65mm、他方で0.15mmとな
される。
【0035】第2実施形態の継手は、第1実施形態のも
のと比べて、リテーナ(61)が第1継手部材(5) しか保持
できない点と、ガイドリング(62)が径方向および軸方向
の両方向に拡大されている点とで異なっており、ガイド
リング(62)の剛性がアップしているという利点を有して
いる。
【0036】図5は、この発明による流体継手の第3の
実施形態を示している。この流体継手は、第1実施形態
のものに比べて、リテーナの構成だけが異なっている。
これらを除く第3実施形態の構成は、第1実施形態のも
のと同じであり、同じものには同じ符号を付して説明を
省略する。
【0037】第3実施形態のリテーナ(71)は、リテーナ
本体部(72)とガイドリング部(73)とがステンレス鋼で一
体に形成されたものである。
【0038】リテーナ本体部(72)は、ガスケット小径部
(41a) の外径と同じ内径を有しガスケット小径部(41a)
の外周面を保持して第1継手部材(5) の環状突出部(47)
外周に取り付けられる部分であり、ガイドリング部(73)
は、リテーナ本体部(72)の外周に連なりかつ第1継手部
材(5) のリテーナ収納凹所(45)の周面の径にほぼ等しい
外径を有し同凹所(45)に嵌め入れられている嵌入部(74)
および第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所(46)の周面
の径より若干小さい外径を有し同凹所(46)にゆるく嵌め
入れられている案内部(75)よりなる。
【0039】案内部(75)の内径は、ガスケット(41)の外
径より大きくなされている。また、ガイドリング部(73)
の上下方向の全幅は、第1継手部材(5) のリテーナ収納
凹所(45)の深さと第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所
(67)の深さとを合わせた値より若干小さくなされてい
る。
【0040】図5の(a)は、第2継手部材(12)が第1
継手部材(5) に正常に突き合われた状態を示している。
この状態で、ガイドリング部(73)の案内部(75)の外周面
と第2継手部材(12)のリテーナ収納凹所(67)の周面との
間には、どの位置でも0.25mmの間隙(G) が形成さ
れるようになされている。第1継手部材(5) のリテーナ
収納凹所(45)内では、ガイドリング部(73)の嵌入部(63)
が同凹所(45)周面に嵌め合わせられ、リテーナ本体(43)
の小径部(43a) が環状突出部(47)外周に嵌め合わせられ
ており、リテーナ(71)およびガスケット(41)は径方向へ
移動することはない。図5の(b)は、第2継手部材(1
2)の第1継手部材(5) に対する突き合わせが最もずれた
状態を示している。すなわち、ガイドリング部(73)の案
内部(75)の外周面と第2継手部材(12)のリテーナ収納凹
所(46)の周面との間には、ある位置で0.3mmの間隙
(G1)が形成され、この位置と180°離れた位置での両
者の間隙(G2)がゼロとなっている。しかしながら、ガス
ケット(41)を強く押圧する環状突起(48a) が環状突出部
(48)の先端面の径方向ほぼ中央に設けられているので、
この程度のずれでは、環状突起(48a) がガスケット(41)
から外れることはなく、シール性が低下するなどの問題
は全く生じない。なお、最もずれた状態での環状突起(4
8a) の内周とガスケット(41)との内周との距離は、たと
えば、一方で0.56mm、他方で0.26mmとなさ
れる。
【0041】第3実施形態の継手は、第1実施形態のも
のと比べて、リテーナ本体部(72)とガイドリング部(73)
とが一体である点で異なっており、流体継手を構成する
部品数を減少でき、ガイドリングにリテーナ本体を嵌め
入れる作業を無くすことができるという利点を有してい
る。これに対して、第1実施形態のものは、ガイドリン
グ(44)を強度重視の材料に、リテーナ本体(43)を弾性重
視の材料にというような仕様の微調整ができるという利
点を有している。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による流体継手を使用する流体制御装
置の分解斜視図である。
【図2】図1に示された制御装置の縦断面図である。
【図3】流体継手の第1実施形態を示す拡大断面図であ
る。
【図4】流体継手の第2実施形態を示す拡大断面図であ
る。
【図5】流体継手の第3実施形態を示す拡大断面図であ
る。
【図6】従来の流体継手の断面図である。
【符号の説明】
(5) 第1継手部材 (5a) 流体通路 (12) 第2継手部材 (31) 流体通路 (41) ガスケット (42) リテーナ (43) リテーナ本体 (44) ガイドリング部 (45) リテーナ収納凹所 (46) リテーナ収納凹所 (47) 環状突出部 (47a) 環状突起 (48) 環状突出部 (48a) 環状突起 (61) リテーナ (62) ガイドリング部 (67) リテーナ収納凹所 (71) リテーナ (72) リテーナ本体 (73) ガイドリング部 (33) リテーナ (38)(39) ガスケット押さえ用環状突起 (61) 小径部 (62) 大径部 (108)(109) ガスケット押さえ用環状突起 (108a)(109a)直線部 (108b)(109b)円弧部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに連通する流体通路(5a)(31)を有し
    ている第1および第2の継手部材(5)(12) と、両継手部
    材(5)(12) の突き合わせ端面間に介在させられる円環状
    ガスケット(41)と、ガスケット(41)を保持するリテーナ
    (42)(61)(71)とを備えている流体継手において、各継手
    部材(5)(12) の突き合わせ端面にリテーナ収納凹所(45)
    (46)(45)(67)が設けられ、各リテーナ収納凹所(45)(46)
    (45)(67)の底面に環状突起(47a)(48a)付きのガスケット
    押さえ用環状突出部(47)(48)が設けられており、リテー
    ナ(42)(61)(71)が、ガスケット(41)の外周面を保持して
    いずれか一方の継手部材(5) の環状突出部(47)外周に取
    り付けられるリテーナ本体(43)(72)と、両継手部材(5)
    (12) 突き合わせ時に同他方の継手部材(12)のリテーナ
    収納凹所(46)(67)周面を案内するガイドリング部(44)(6
    2)(73)とよりなることを特徴とする流体継手。
  2. 【請求項2】 リテーナ本体(43)とガイドリング部(44)
    (62)とが、別部材とされている請求項1の流体継手。
  3. 【請求項3】 リテーナ本体(72)とガイドリング部(73)
    とが、一体に形成されている請求項1の流体継手。
  4. 【請求項4】 突き合わせ端面にリテーナ収納凹所(45)
    (46)(45)(67)が、リテーナ収納凹所(45)(46)(45)(67)の
    底面に環状突起(47a)(48a)付きのガスケット押さえ用環
    状突出部(47)(48)がそれぞれ設けられている第1および
    第2の継手部材(5)(12) と、両継手部材(5)(12) の環状
    突出部(47)(48)間に介在させられる円環状ガスケット(4
    1)とを備えている流体継手において使用されるガスケッ
    ト保持用リテーナであって、ガスケット(41)の外周面を
    保持していずれか一方の継手部材(5) の環状突出部(47)
    外周に取り付けられるリテーナ本体(43)(72)と、両継手
    部材(5)(12) 突き合わせ時に同他方の継手部材(12)のリ
    テーナ収納凹所(46)(67)周面を案内するガイドリング部
    (44)(62)(73)とよりなる流体継手用リテーナ。
JP08580798A 1998-03-31 1998-03-31 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ Expired - Lifetime JP3965512B2 (ja)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08580798A JP3965512B2 (ja) 1998-03-31 1998-03-31 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ
IL12921899A IL129218A (en) 1998-03-31 1999-03-29 Fluid coupling
DE69920311T DE69920311T2 (de) 1998-03-31 1999-03-29 Flüssigkeitskupplung
US09/280,014 US6161875A (en) 1998-03-31 1999-03-29 Fluid coupling
EP99106366A EP0947753B1 (en) 1998-03-31 1999-03-29 Fluid coupling
CA002267453A CA2267453C (en) 1998-03-31 1999-03-30 Fluid coupling
KR1019990010889A KR100558104B1 (ko) 1998-03-31 1999-03-30 유체 커플링
SG1999001569A SG76603A1 (en) 1998-03-31 1999-03-30 Fluid coupling
TW088104993A TW381204B (en) 1998-03-31 1999-03-30 Fluid coupling

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08580798A JP3965512B2 (ja) 1998-03-31 1998-03-31 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007037523A Division JP4721010B2 (ja) 2007-02-19 2007-02-19 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11280967A true JPH11280967A (ja) 1999-10-15
JP3965512B2 JP3965512B2 (ja) 2007-08-29

Family

ID=13869153

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08580798A Expired - Lifetime JP3965512B2 (ja) 1998-03-31 1998-03-31 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ

Country Status (9)

Country Link
US (1) US6161875A (ja)
EP (1) EP0947753B1 (ja)
JP (1) JP3965512B2 (ja)
KR (1) KR100558104B1 (ja)
CA (1) CA2267453C (ja)
DE (1) DE69920311T2 (ja)
IL (1) IL129218A (ja)
SG (1) SG76603A1 (ja)
TW (1) TW381204B (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002115760A (ja) * 2000-10-05 2002-04-19 Tadahiro Omi 流体継手
JP2010096329A (ja) * 2008-10-20 2010-04-30 Tokyo Electron Ltd 継手用シール装置およびこれを備えた流体継手
WO2014181527A1 (ja) * 2013-05-09 2014-11-13 国立大学法人徳島大学 原料流体濃度検出器
WO2014181522A1 (ja) * 2013-05-09 2014-11-13 株式会社フジキン 脆性破壊性板材の固定構造及びこれを用いた脆性破壊性板材から成る光透過窓板の固定方法
US9371946B2 (en) 2012-10-19 2016-06-21 Tokyo Electron Limited Pipe joint
JP2019152234A (ja) * 2018-02-28 2019-09-12 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2022046791A (ja) * 2016-04-04 2022-03-23 アイコール・システムズ・インク 液体送達システム
JP2022172163A (ja) * 2021-01-15 2022-11-15 アイコール・システムズ・インク 液体送達システム
US12183597B2 (en) 2021-11-24 2024-12-31 Ichor Systems, Inc. Fluid delivery system

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3965512B2 (ja) * 1998-03-31 2007-08-29 株式会社フジキン 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ
JP3360133B2 (ja) * 1998-11-11 2002-12-24 株式会社フジキン 流体制御装置用継手部材およびその製造方法
US6318734B1 (en) * 1999-12-21 2001-11-20 Dana Corporation Gasket with integral support
US6431229B1 (en) 2001-08-24 2002-08-13 Air Products And Chemicals, Inc. Solventless purgeable diaphragm valved manifold for low vapor pressure chemicals
KR100861973B1 (ko) 2002-03-18 2008-10-07 다다히로 오미 유체 커플링
US6966348B2 (en) * 2002-05-23 2005-11-22 Air Products And Chemicals, Inc. Purgeable container for low vapor pressure chemicals
US6648034B1 (en) 2002-05-23 2003-11-18 Air Products And Chemicals, Inc. Purgeable manifold for low vapor pressure chemicals containers
DE10261887B4 (de) * 2002-12-20 2005-05-12 Visteon Global Technologies, Inc., Dearborn Rohrkupplung
US7748750B2 (en) * 2004-08-19 2010-07-06 Flow International Corporation High fatigue life fittings for high-pressure fluid systems
JP5020758B2 (ja) * 2007-09-25 2012-09-05 東京エレクトロン株式会社 ガス供給装置、半導体製造装置及びガス供給装置用部品
US20110133415A1 (en) * 2009-12-07 2011-06-09 Kim Ngoc Vu Ring seal and retainer assembly
DE102010002125A1 (de) 2010-02-18 2011-08-18 ZF Friedrichshafen AG, 88046 Dichtungsanordnung
US9074686B2 (en) 2010-12-06 2015-07-07 Microflex Technologies Llc Ring seal retainer assembly and methods
TW201239222A (en) * 2010-12-06 2012-10-01 Microflex Technologies Llc Ring seal retainer assembly and methods
NO334004B1 (no) * 2012-03-20 2013-11-11 Fmc Kongsberg Subsea As Tetningssammenstilling for rørforbindelse
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
WO2015160336A1 (en) * 2014-04-15 2015-10-22 Kim Ngoc Vu Ez-seal gasket for joining fluid pathways
JP1528532S (ja) * 2014-09-30 2015-07-13
US10571055B2 (en) * 2015-08-26 2020-02-25 Ti Group Automotive Systems, Llc Block fitting and seal structure
US10983538B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3127196A (en) * 1964-03-31 Wedged gasket coupling utilizing differential
US4838583A (en) * 1982-08-23 1989-06-13 Cajon Company Fluid coupling
FR2645940B1 (fr) * 1989-04-12 1991-10-04 Sabatier Andre Raccord perfectionne pour conduits de fluide, notamment de gaz de grande purete
US5163721A (en) * 1990-10-24 1992-11-17 Cajon Company Fluid coupling with gasket retainer having interlocking portions
EP0646747A1 (en) * 1993-09-17 1995-04-05 Ck Metals, Ltd. Pipe connecting structure
JP3388291B2 (ja) * 1993-10-28 2003-03-17 忠弘 大見 管継手
US5423580A (en) * 1994-01-26 1995-06-13 Cajon Company Fluid coupling with gasket retainer
JP3517719B2 (ja) * 1995-05-18 2004-04-12 忠弘 大見 管継手
JP3661040B2 (ja) 1995-05-31 2005-06-15 忠弘 大見 流体制御装置
US5681064A (en) * 1995-07-07 1997-10-28 Ewal Manufacturing Co., Inc. Gasket retainer
US5673946A (en) * 1995-07-07 1997-10-07 Ewal Manufacturing Co., Inc. Gasket assembly for a fluid coupling
IL118267A (en) * 1995-08-09 2000-02-17 Ohmi Tadahiro Pipe joint
US5829796A (en) * 1997-03-11 1998-11-03 Robinson; Eric R. Protection of sealing surfaces of metal face seals in tubing fittings
JP3965512B2 (ja) * 1998-03-31 2007-08-29 株式会社フジキン 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ
GB9820445D0 (en) * 1998-09-18 1998-11-11 Beckswift Ltd A holder for a gasket a gasket for recieving a holder and a holdeer and gasket combination

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002115760A (ja) * 2000-10-05 2002-04-19 Tadahiro Omi 流体継手
CN1307381C (zh) * 2000-10-05 2007-03-28 株式会社富士金 流体接头
JP2010096329A (ja) * 2008-10-20 2010-04-30 Tokyo Electron Ltd 継手用シール装置およびこれを備えた流体継手
US9371946B2 (en) 2012-10-19 2016-06-21 Tokyo Electron Limited Pipe joint
CN105247344A (zh) * 2013-05-09 2016-01-13 国立大学法人德岛大学 原料流体浓度检测器
US9983051B2 (en) 2013-05-09 2018-05-29 Fujikin Incorporated Fastening structure for brittle-fracturable panel, and method for fastening light transmission window panel comprising brittle-fracturable panel employing same
JP2014238391A (ja) * 2013-05-09 2014-12-18 国立大学法人徳島大学 原料流体濃度検出器
KR20150093232A (ko) 2013-05-09 2015-08-17 토쿠시마 대학 원료 유체 농도 검출기
WO2014181522A1 (ja) * 2013-05-09 2014-11-13 株式会社フジキン 脆性破壊性板材の固定構造及びこれを用いた脆性破壊性板材から成る光透過窓板の固定方法
WO2014181527A1 (ja) * 2013-05-09 2014-11-13 国立大学法人徳島大学 原料流体濃度検出器
US9651467B2 (en) 2013-05-09 2017-05-16 Tokushima University Raw material fluid density detector
JP2014219294A (ja) * 2013-05-09 2014-11-20 株式会社フジキン 脆性破壊性板材の固定構造及びこれを用いた脆性破壊性板材から成る光透過窓板の固定方法
CN105247344B (zh) * 2013-05-09 2018-11-13 国立大学法人德岛大学 原料流体浓度检测器
JP2022046791A (ja) * 2016-04-04 2022-03-23 アイコール・システムズ・インク 液体送達システム
US11990354B2 (en) 2016-04-04 2024-05-21 Ichor Systems, Inc. Method of manufacturing semiconductors using fluid delivery system
US12062553B2 (en) 2016-04-04 2024-08-13 Ichor Systems, Inc. Method of manufacturing semiconductors using fluid delivery system
JP2019152234A (ja) * 2018-02-28 2019-09-12 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2022172163A (ja) * 2021-01-15 2022-11-15 アイコール・システムズ・インク 液体送達システム
US12183597B2 (en) 2021-11-24 2024-12-31 Ichor Systems, Inc. Fluid delivery system

Also Published As

Publication number Publication date
TW381204B (en) 2000-02-01
EP0947753A3 (en) 2001-03-14
EP0947753A2 (en) 1999-10-06
JP3965512B2 (ja) 2007-08-29
SG76603A1 (en) 2000-11-21
KR19990078376A (ko) 1999-10-25
DE69920311T2 (de) 2005-10-06
DE69920311D1 (de) 2004-10-28
CA2267453A1 (en) 1999-09-30
US6161875A (en) 2000-12-19
EP0947753B1 (en) 2004-09-22
CA2267453C (en) 2008-05-13
KR100558104B1 (ko) 2006-03-10
IL129218A (en) 2002-08-14
IL129218A0 (en) 2000-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11280967A (ja) 流体継手
JP3605705B2 (ja) 流体制御器
KR100465385B1 (ko) 유체연결구
US7000633B2 (en) Flow amount control device
CN107429853B (zh) 止回阀及阀芯
EP0745918B1 (en) Fluid control device
CN1318788C (zh) 阀芯
US8246087B1 (en) Fluid coupling
JP5213636B2 (ja) 継手用シール装置およびこれを備えた流体継手
US8141585B2 (en) Rocker type diaphragm valve
EP1996850B1 (en) Valve with a springy diaphragm
US8695636B2 (en) One piece double membrane diaphragm valve
JP2007147084A (ja) 流体継手および流体継手において使用されるガスケット保持用リテーナ
JP2015187471A (ja) マニホールド電磁弁
CN111065852A (zh) 接头块和其制造方法
JP4501022B2 (ja) 流体継手
JP3928092B2 (ja) 流体継手
JPS632707Y2 (ja)
JPH0135017Y2 (ja)
JP2002195019A (ja) Pcvシステム用チェックバルブの取付構造
JPH11184533A (ja) 圧力制御弁
JP2001146902A (ja) アキュムレータピストン
JP2003097742A (ja) シャトル弁

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061219

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070219

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070417

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070514

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term