JPH11281481A - 放射温度検出素子 - Google Patents

放射温度検出素子

Info

Publication number
JPH11281481A
JPH11281481A JP10080621A JP8062198A JPH11281481A JP H11281481 A JPH11281481 A JP H11281481A JP 10080621 A JP10080621 A JP 10080621A JP 8062198 A JP8062198 A JP 8062198A JP H11281481 A JPH11281481 A JP H11281481A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detecting element
temperature
infrared
stem
temperature detecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10080621A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Honda
由明 本多
Yoshifumi Watabe
祥文 渡部
Koichi Aizawa
浩一 相澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP10080621A priority Critical patent/JPH11281481A/ja
Publication of JPH11281481A publication Critical patent/JPH11281481A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 待機時間をなくし、雰囲気温度が変化が起こ
る状況下でも安定に非接触で温度を計測できる放射温度
検出素子を提供する。 【解決手段】 一方の面側から他方の面側に貫通して成
るリード2が一体成型されたステム1に、略凹型形状
の、例えば金属製のキャン3が接続され、ステム1とキ
ャン3とで空間を構成している。キャン3の凹部底面に
は開口部が形成され、該開口部には赤外線透過フィルタ
4が封止されている。空間内のステム1から立ち上がっ
たリード2上には、支持体5が設けられ、支持体5上に
は、赤外線検出素子6と、赤外線検出素子6の素子温度
を計測する接触式温度検出素子であるサーミスタ7が実
装されている。ここで、支持体5を持ち上げているリー
ド2は、赤外線検出素子6及びサーミスタ7の信号の出
力端子を兼ねている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、赤外線を利用して
非接触で温度を検出する放射温度計に用いる放射温度検
出素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の放射温度計、特に、例えば0〜500
℃のような中低温領域においては、主に熱型赤外線検出
素子が用いられ、熱型赤外線検出素子としては、チョッ
パーを用いた焦電素子やサーモパイル素子が使用されて
いる。
【0003】実際に赤外線を用いて、非接触で温度を計
測するためには、赤外線の検出と赤外線素子の素子温度
の計測が必要である。即ち、赤外線検出素子に入射され
る赤外線により、赤外線素子と対象物との温度差が算出
でき、この値に赤外線素子の素子温度を加えることによ
り、対象物の絶対温度を計測できるのである。
【0004】従来においては、サーモパイルのような赤
外線素子とサーミスタのような接触式温度検出素子を用
いて、対象物の絶対温度を計測していた。より具体的に
は、キャンパッケージタイプの赤外線素子に外付けでサ
ーミスタを接触させたり、キャンパッケージ内のステム
側にサーミスタを接着させることによって、赤外線素子
の温度をキャンパッケージの温度で代用していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記に示したように、
キャンパッケージの外側や、キャンパッケージ内のステ
ム側にサーミスタを接着させることで赤外線素子の温度
の計測を行った場合、上記の赤外線素子と接触式温度検
出素子から成る放射温度検出素子を使用する雰囲気温度
が変化すると、先ず、キャンパッケージ外周の温度が変
化し、特にパッケージの熱容量の小さいキャンが変化
し、その後、熱容量の大きなステムが外側及びキャンへ
の接着部から変化し、サーミスタ,赤外線素子の順で温
度が変化する。
【0006】このため、非常に大きな熱容量のメタル製
ブロックで放射温度検出素子を囲んだり、また、温度が
安定するまでの待機時間を必要とした。
【0007】この待機時間は、測定精度が上がれば上が
るほど大きくなり、赤外線より温度換算するまでの時間
が1秒以内であっても、待機時間が数十分にもおよんで
実使用上問題がある。
【0008】本発明は、上記の点に鑑みて成されたもの
であり、その目的とするところは、待機時間をなくし、
雰囲気温度が変化が起こる状況下でも安定に非接触で温
度を計測できる放射温度検出素子を提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
ステムと、赤外線を透過する開口を備えて成るキャンと
で構成される空間内に、該ステム及びキャンに接触しな
いように支持体が配置され、該支持体上に赤外線検出素
子及び接触式温度検出素子を実装したことを特徴とする
ものである。
【0010】請求項2記載の発明は、請求項1記載の放
射温度検出素子において、前記キャンの内部に空隙部を
設けたことを特徴とするものである。
【0011】請求項3記載の発明は、請求項1または請
求項2記載の放射温度検出素子において、前記空間内に
おける前記キャンに、接触式温度検出素子を設けたこと
を特徴とするものである。
【0012】請求項4記載の発明は、請求項3記載の放
射温度検出素子において、前記空間内における前記キャ
ンに、赤外線の放射率が一定な塗料を塗布したことを特
徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面に基づき説明する。
【0014】=実施の形態1= 図1は、本発明の一実施の形態に係る放射温度検出素子
の概略構成図である。本実施の形態に係る放射温度検出
素子は、一方の面側から他方の面側に貫通して成るリー
ド2が一体成型されたステム1に、略凹型形状の、例え
ば金属製のキャン3が接続され、ステム1とキャン3と
で空間を構成している。キャン3の凹部底面には開口部
が形成され、該開口部には赤外線透過フィルタ4が封止
されている。
【0015】空間内のステム1から立ち上がったリード
2上には、支持体5が設けられ、支持体5上には、赤外
線検出素子6と、赤外線検出素子6の素子温度を計測す
る接触式温度検出素子であるサーミスタ7が実装されて
いる。ここで、支持体5を持ち上げているリード2は、
赤外線検出素子6及びサーミスタ7の信号の出力端子を
兼ねている。
【0016】従って、本実施の形態においては、赤外線
検出素子6とサーミスタ7とを支持体5を用いてステム
1から離すことにより、ステム1及びキャン3から直接
伝わる温度変化を大幅に緩和することができ、このた
め、赤外線検出素子6及びサーミスタ7はステム1及び
キャン3の温度変化に比べ非常に長い時定数を持って変
化し、ステム1及びキャン3の温度が変化した場合にお
いても、安定に放射温度を検出することができる。
【0017】また、赤外線検出素子6及びサーミスタ7
は、1つの支持体5上に実装されているので、同じ温度
勾配で変化し、雰囲気温度の変化が起こる状況下でも安
定に非接触で温度を計測することができる。
【0018】=実施の形態2= 図2は、本発明の他の実施の形態に係る放射温度検出素
子の概略構成図である。本実施の形態に係る放射温度検
出素子は、実施の形態1として図1に示す放射温度検出
素子において、キャン3の代わりに、2重構造にして空
隙部を設け、該空隙部を空気層8aで満たしたキャン8
を用いた構成である。
【0019】なお、本実施の形態においては、キャン8
の内部に空気層8aを設けたが、これに限定されるもの
ではなく、その他の気体を充填したり、また真空にして
も良い。
【0020】通常、ステム1とキャン3とでは、厚さの
違いにより熱容量が異なり、雰囲気温度が変化した場
合、先ずキャン1側が温度変化を起こしやすいが、本実
施の形態においては、2重構造で、内部に空気層8aを
設けたキャン8を用いたので、ステム1とキャン8とで
構成される空間への温度変動を緩和することができる。
【0021】=実施の形態3= 図3は、本発明の他の実施の形態に係る放射温度検出素
子の概略構成図である。本実施の形態に係る放射温度検
出素子は、実施の形態1として図1に示す放射温度検出
素子において、キャン3の内面にサーミスタ9を接着し
た構成である。
【0022】従って、本実施の形態においては、サーミ
スタ9によりキャン3の温度を計測することで、赤外線
検出素子6がキャン3の温度変化により出力変化する度
合いを見積もることが可能となる。
【0023】=実施の形態4= 図4は、本発明の他の実施の形態に係る放射温度検出素
子の概略構成図である。本実施の形態に係る放射温度検
出素子は、実施の形態3として図3に示す放射温度検出
素子において、キャン3の内面における、赤外線検出素
子6の視野角に含まれる部分を、予め放射率のわかって
いる塗料10(例えば黒色塗料)を塗布した構成であ
る。
【0024】従って、本実施の形態においては、キャン
3の温度をより正確に求めることができ、キャン3の温
度が変化した場合においても安定に放射温度を検出する
ことができる。
【0025】なお、実施の形態3,4においては、キャ
ン3を用いたが、これに限定されるものではなく、キャ
ン8を用いても良い。
【0026】
【発明の効果】請求項1記載の発明は、ステムと、赤外
線を透過する開口を備えて成るキャンとで構成される空
間内に、該ステム及びキャンに接触しないように支持体
が配置され、該支持体上に赤外線検出素子及び接触式温
度検出素子を実装したので、ステム及びキャンの温度変
化の影響を受けず、このため赤外線検出素子と接触式温
度検出素子がステム及びキャンの温度変化に比べ非常に
長い時定数を持って変化し、さらに、赤外線検出素子と
接触式温度検出素子が1つの支持体上に実装されている
ので、同じ温度勾配で変化し、待機時間をなくし、雰囲
気温度が変化が起こる状況下でも安定に非接触で温度を
計測できる放射温度検出素子を提供することができた。
【0027】請求項2記載の発明は、請求項1記載の放
射温度検出素子において、キャンの内部に空隙部を設け
たので、請求項1記載の発明の効果に加えて、ステムと
キャンにより構成される空間内に伝わる温度変化を非常
に遅くすることができる。
【0028】請求項3記載の発明は、請求項1または請
求項2記載の放射温度検出素子において、空間内におけ
るキャンに、接触式温度検出素子を設けたので、請求項
1または請求項2記載の発明の効果に加えて、赤外線検
出素子の視野角に入るキャンの温度変化情報を得ること
ができ、ステム及びキャンの温度変化が起こった場合に
おいても、キャンより入る赤外線を信号処理によって除
去することができ、対象物からの赤外線のみを算出する
ことができる。
【0029】請求項4記載の発明は、請求項3記載の放
射温度検出素子において、空間内におけるキャンに、赤
外線の放射率が一定な塗料を塗布したので、請求項3記
載の発明の効果に加えて、キャンの温度変化情報をより
正確に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る放射温度検出素子
の概略構成図である。
【図2】本発明の他の実施の形態に係る放射温度検出素
子の概略構成図である。
【図3】本発明の他の実施の形態に係る放射温度検出素
子の概略構成図である。
【図4】本発明の他の実施の形態に係る放射温度検出素
子の概略構成図である。
【符号の説明】
1 ステム 2 リード 3 キャン 4 赤外線透過フィルタ 5 支持体 6 赤外線検出素子 7 サーミスタ 8 キャン 8a 空気層 9 サーミスタ 10 塗料

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ステムと、赤外線を透過する開口を備え
    て成るキャンとで構成される空間内に、該ステム及びキ
    ャンに接触しないように支持体が配置され、該支持体上
    に赤外線検出素子及び接触式温度検出素子を実装したこ
    とを特徴とする放射温度検出素子。
  2. 【請求項2】 前記キャンの内部に空隙部を設けたこと
    を特徴とする請求項1記載の放射温度検出素子。
  3. 【請求項3】 前記空間内における前記キャンに、接触
    式温度検出素子を設けたことを特徴とする請求項1また
    は請求項2記載の放射温度検出素子。
  4. 【請求項4】 前記空間内における前記キャンに、赤外
    線の放射率が一定な塗料を塗布したことを特徴とする請
    求項3記載の放射温度検出素子。
JP10080621A 1998-03-27 1998-03-27 放射温度検出素子 Pending JPH11281481A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10080621A JPH11281481A (ja) 1998-03-27 1998-03-27 放射温度検出素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10080621A JPH11281481A (ja) 1998-03-27 1998-03-27 放射温度検出素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11281481A true JPH11281481A (ja) 1999-10-15

Family

ID=13723432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10080621A Pending JPH11281481A (ja) 1998-03-27 1998-03-27 放射温度検出素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11281481A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011021519A1 (ja) * 2009-08-17 2011-02-24 パナソニック電工株式会社 赤外線センサ
WO2020084811A1 (ja) * 2018-10-24 2020-04-30 三菱マテリアル株式会社 赤外線センサ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011021519A1 (ja) * 2009-08-17 2011-02-24 パナソニック電工株式会社 赤外線センサ
CN102625907A (zh) * 2009-08-17 2012-08-01 松下电器产业株式会社 红外线传感器
JP5492213B2 (ja) * 2009-08-17 2014-05-14 パナソニック株式会社 赤外線センサ
US9074935B2 (en) 2009-08-17 2015-07-07 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Infrared sensor
WO2020084811A1 (ja) * 2018-10-24 2020-04-30 三菱マテリアル株式会社 赤外線センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6129673A (en) Infrared thermometer
US10436647B2 (en) Non-contact temperature measurement sensor
US7385199B2 (en) Microbolometer IR focal plane array (FPA) with in-situ mirco vacuum sensor and method of fabrication
JP2826337B2 (ja) 放射体温計
JP3743394B2 (ja) 赤外線センサおよびそれを用いた電子装置
JP5054523B2 (ja) センサ
US6043493A (en) Infrared sensor and method for compensating temperature thereof
US6152595A (en) Measuring tip for a radiation thermometer
US20090207882A1 (en) Temperature Sensor Module
JPH09329499A (ja) 赤外線センサ及び赤外線検出器
JPH11337415A (ja) 放射温度検出素子
JP5564681B2 (ja) 赤外線センサ
JP2008145133A (ja) 放射温度計
JPH1164111A (ja) 赤外線検出素子
JPH11281481A (ja) 放射温度検出素子
JPH11281483A (ja) 放射温度検出素子
JP3750340B2 (ja) 放射温度検出素子
JP2003294526A (ja) レーザパワー検出装置
KR20170135153A (ko) 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈
JPS63286729A (ja) サ−モパイル検出装置
JP3855458B2 (ja) 放射温度検出素子
JPS5866028A (ja) 光−抵抗値変換素子を用いた測定回路
JPH0634448A (ja) 放射温度計
JPH11337416A (ja) 放射温度検出素子
JPH07140008A (ja) 放射温度計

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040618

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041027

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041102

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050308