JP2003294526A

JP2003294526A - レーザパワー検出装置

Info

Publication number: JP2003294526A
Application number: JP2002098371A
Authority: JP
Inventors: Takuo Shimada; 拓生嶋田; Yoshiteru Cho; 吉輝猪; Fumio Sugata; 文雄菅田; Yasuo Shibata; 泰夫柴田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-04-01
Filing date: 2002-04-01
Publication date: 2003-10-15

Abstract

(57)【要約】【課題】主として赤外線領域あるいは数W以上のレー
ザ光のパワーを測定するレーザパワー検出装置にあっ
て、レーザ受光直後から長時間にわたり精度よくパワー
測定する。【解決手段】受光板１上の２点の温度を非接触で検出
する第１の温度検出手段２の出力と第２の温度検出手段
３の出力との差分に基づきレーザパワーを算出する演算
手段５を備えたことにより、周囲温度の変動の影響を相
殺することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主として赤外線領
域あるいは数W以上のレーザ光のパワーを測定するレー
ザパワー検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、この種のレーザパワー検出装置と
しては、例えば特開平５−３３５３号公報に記載されて
いるようなものがあった。図４において、出力鏡４１と
対向する部分透過鏡４２の後に軸心に対して対称の４個
の素子４３Ａ〜４３Ｄにより構成される出力検出用セン
サ４３を平行に設け、加算増幅回路４４で素子４３Ａ〜
４３Ｄの出力電圧Ｖa〜Ｖdの和を増幅してパワーメータ
４８で表示し、差動増幅回路４５の一方でＹ軸方向に配
設された素子４３Ａ、４３Ｂの出力電圧Ｖａ、Ｖｂの差
を、他方でＸ軸方向に配設された素子４３Ｃ、４３Ｄの
出力電圧Ｖｃ、Ｖdの差をそれぞれ増幅してポジション
メータ９でレーザ光の位置を表示するものである。

【０００３】また特開平５−１８０６９４号公報に記載
されているものは、応答速度の遅いパワーセンサと応答
速度の速いパワーセンサの出力を合成することによって
レーザ光のパワー変動周波数が広帯域にわたっても測定
精度を均一に保つものである。

【０００４】一般にレーザパワー検出装置において、大
きなパワーのレーザ光を検出する場合、内壁面積の広い
積分球にレーザ光を入射させた後に取り出すか、大きな
熱容量を有する受光部でレーザ光を吸収し熱に変換する
構成となっている。また、レーザパワー検出素子には熱
電対やサーモパイルなどレーザ光を一旦、熱に変換する
熱形センサと結晶温度変化に伴う焦電効果を利用した焦
電形センサがある。

【０００５】しかしながら、このような従来のレーザパ
ワー検出装置ではレーザパワー検出素子がレーザ光によ
って熱せられた場合や周囲温度が変化した場合、測定誤
差が生じる。そして、パワー密度が高いレーザ光を一
旦、熱に変えてから検出する熱形センサは、応答速度が
遅く、レーザ光が入射しはじめてから出力が安定するま
で時間がかかる。

【０００６】一方、焦電形センサはチョッピングしなけ
ればパワー検出ができず、測定中にチョッパーが熱せら
れるため徐々に出力値が小さく見えるという課題があっ
た。チョッパーにはモータファン等の駆動手段が必要と
なるため、この駆動手段から発生する熱や風が測定誤差
の原因となったり、機械的故障を起こしやすくなったり
する課題もあり、実際には熱形センサが多く使われてい
る。

【０００７】また、熱容量の小さな受光板の裏側に熱電
対を貼り付け、レーザ光が入射しはじめてからの温度上
昇カーブを基にしてレーザパワーを推定する方法も考案
されているが、長時間にわたり連続的に検出することは
できず、また測定精度にも課題があった。すなわち、レ
ーザ光の出射直後から長時間にわたり精度よくレーザパ
ワーを測定することは困難であった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の問題
点に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、レーザ受
光直後から長時間にわたり精度よくパワー測定すること
を目的の１つとする。特に予めレーザ入射位置が定めら
れている装置組み込み型レーザパワー検出装置に関し、
Ｓ／Ｎ性能に優れた信号を取り出すことを目的の１つと
する。また、レーザパワー検出素子に直接、レーザを入
射させず、素子の長寿命化や出力特性を安定させること
を目的の１つとする。また、装置全体を大型化すること
なくレーザパワー検出素子の発熱等によって生じる測定
誤差を抑制することを目的の１つとする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のレーザパワー検出装置は、レーザ光を受光す
る受光板と、前記受光板上の複数点の温度を非接触で検
出する複数の温度検出手段と、前記複数の温度検出手段
の出力の差分に基づきレーザパワーを算出する演算手段
とを備えたものである。

【００１０】また第２の技術手段は、レーザ光を受光す
る受光板と、前記受光板上の２点の温度を非接触で検出
する第１の温度検出手段および第２の温度検出手段と、
前記第１の温度検出手段の出力と前記第２の温度検出手
段の出力との差分に基づきレーザパワーを算出する演算
手段とを備えたものである。

【００１１】また第３の技術手段は、一方の温度検出手
段が受光板のレーザ光入射点近傍の温度を検出し、他方
の温度検出手段は受光板のレーザ光入射点から所定距離
離れた位置の温度を検出するものである。

【００１２】また第４の技術手段は、複数の温度検出手
段が、受光板のレーザ光入射面と反対側面の温度を検出
するものである。

【００１３】また第５の技術手段は、複数の温度検出手
段を、受光板から離れた金属製の取付台に設け、受光板
のレーザ光入射面と反対側面から放射される赤外線をそ
れぞれ検出するものである。

【００１４】また第６の技術手段は、複数の温度検出手
段が、サーモパイルからなるものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】上記した本発明の目的は、各請求
項に記載した構成を実施の形態とすることにより達成で
きるので、以下には各請求項の構成にその構成による作
用を併記し併せて請求項記載の構成のうち説明を必要と
する特定用語については詳細な説明を加えて、本発明の
実施の形態の説明とする。

【００１６】請求項１に記載の発明は、レーザ光を受光
する受光板上の複数点の温度を、非接触で検出する複数
の温度検出手段の出力差分に基づきレーザパワーを算出
する演算手段を備えたものである。

【００１７】また請求項２に記載の発明は、レーザ光を
受光する受光板の２点の温度を非接触で検出する第１の
温度検出手段および第２の温度検出手段との出力差分に
基づきレーザパワーを算出する演算手段を備えたもので
ある。

【００１８】上記各実施の形態により、レーザパワー検
出素子である複数の温度検出手段を取り巻く周囲温度が
受光板の温度上昇により高くなっても、複数の温度検出
手段の出力差分によって互いの影響を相殺することがで
きる。またレーザ光の受光板における裏側の複数点の温
度を検出するだけなので、別途温度補償を行うためのセ
ンサを温度変動しない場所に設ける必要がなく、装置全
体を大型化しなくてもよいようにできる。

【００１９】また請求項３に記載の発明は、特に予めレ
ーザ光入射位置が定められている場合、一方の温度検出
手段は受光板のレーザ光入射点近傍の温度を検出し、他
方の温度検出手段は受光板のレーザ光入射点から所定距
離離れた位置の温度を検出するような配置にすることに
より、受光板にレーザパワーに対応した熱流を複数点間
の温度差として効率よくＳ／Ｎ性能に優れた信号を取り
出すことができる。更に、受光板の熱容量や複数の温度
検出手段間の距離を適切に選択することによって、複数
の温度検出手段の応答遅れを相殺し、レーザ光の受光開
始や停止に対する立ち上がり、立ち下がり特性を大幅に
改善することができ、常に精度よくレーザパワーを測定
することができる。

【００２０】また請求項４に記載の発明は、複数の温度
検出手段が、受光板のレーザ光入射面と反対側面の温度
を離れて検出するので、レーザパワー検出素子である複
数の温度検出手段に直接レーザ光は入射しないため、素
子の長寿命化や出力特性を安定させることができる。

【００２１】また請求項５に記載の発明は、複数の温度
検出手段が、受光板から離れた金属製の取付台に設けて
いるので、複数の温度検出手段における周囲温度のずれ
を抑制することができて測定精度が更に向上する。この
金属製の取付台は銅やアルミニウム等熱伝導性に優れた
材質を用い、所定以上の体積（熱容量）を有する方が望
ましい。また複数の温度検出手段は、受光板のレーザ光
入射面と反対側面から放射される赤外線をそれぞれ検出
し、受光板そのものとは断熱されている。これによりレ
ーザパワー検出素子である温度検出手段全体が暖められ
ることによって生じる測定誤差を抑制でき、精度よくレ
ーザパワーを検出できることになる。

【００２２】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態におけるレーザパワー検出装置の構成図である。１
はレーザ光を受光するアルミニウムからなる円板状の受
光板で、表面は黒色塗装してあり、入射したレーザ光を
反射することなく熱に変換するとともに、ちょうど受光
板１の中心点にレーザ光が垂直に入射するように配設し
てある。

【００２３】受光板１は想定されるレーザパワーの最大
値が入射した場合でも、速やか（数秒以内）に熱平衡に
達するよう設計している。すなわち、受光板１の外周に
おいて受光板１を保持する保持手段１ａは、常に周囲温
度と熱交換して自然冷却される構造である。このような
受光板１は、レーザ光が垂直に入射すると、中心から周
辺に向けてレーザパワーに応じた熱流が生じ、同心円状
の温度勾配分布が形成される。

【００２４】２は第１の温度検出手段で、３は第２の温
度検出手段であり、これらはサーモパイル素子からな
る。そして、第１の温度検出手段１は受光板１のレーザ
光入射面と反対側面から放射される点線で示す赤外線を
非接触で検出する。第２の温度検出手段３は、受光板１
のレーザ光入射面と反対側面の中心から所定距離離れた
点から放射される点線で示す赤外線を非接触で検出す
る。

【００２５】また第１の温度検出手段２と第２の温度検
出手段３は、熱伝導性に優れたアルミニウム製の取付台
４に取り付けるとともに、第１の温度検出手段２と第２
の温度検出手段３における各出力のうち、各々の冷接点
側は電気的に接続され、更に取付台４に対し電気的にも
熱的にも接続されている。５は第１の温度検出手段２の
出力である熱起電力と第２の温度検出手段３の出力であ
る熱起電力との差分である電圧差に基づきレーザパワー
を算出するマイクロコンピュータおよびその周辺回路か
らなる演算手段である。

【００２６】演算手段５は、それぞれ第１の感度補正手
段５ａ、第２の感度補正手段５ｂ、そして差動増幅手段
５ｃ、直線化手段５ｄを有する。第１の感度補正手段５
ａ、第２の感度補正手段５ｂは、各温度検出手段２、３
の固有の出力電圧感度Ｋ１、Ｋ２を補正するものであ
る。差動増幅手段５ｃは、第１の感度補正手段５ａ、第
２の感度補正手段５ｂを介して補正された第１の温度検
出手段２と第２の温度検出手段３との出力の差分である
電圧差を増幅する。

【００２７】直線化手段５ｄは、そのままではレーザパ
ワーに対し非線形カーブとなる差分信号を比例出力とな
るよう直線化変換を行う。６は演算手段５から出力され
たレーザパワーに対応する信号を表示する表示手段であ
る。７は受光板１と取付台４の間に空気の断熱層８を形
成するとともに、受光板１に閉蓋されて各温度検出手段
２、３に埃が溜まらないようにするため、受光板１と取
付台４の外周を連結した環状の連結体である。

【００２８】なお、第１の温度検出手段２および第２の
温度検出手段３を構成するサーモパイル素子は、通常の
放射温度計で用いられているものと同様、赤外線を透過
するシリコン窓が設けられ、ゼーベック効果により熱起
電力を生じるよう異種金属が１００対以上接合されてい
る。温接点側は中心部に設けられた吸熱材（金黒）と熱
接触し、入射した赤外線に応じて瞬時に温度上昇する。
冷接点側は周囲に配設されＴＯ−５形状のキャン筐体と
熱接触している。キャン筐体内部は不活性ガスで封止さ
れており、経年変化による出力特性の劣化を防止してい
る。

【００２９】上記実施の形態において、図１に示すよう
にレーザ光が受光板１上に入射すると、その視点温度
（すなわち、第１の温度検出手段２の温接点側温度）を
Ｔa（Ｋ）、第１の温度検出手段２の周囲温度（すなわ
ち、第１の温度検出手段２の冷接点側温度）をＴb
（Ｋ）とすれば、第１の温度検出手段２が出力する熱起
電力Ｖ１はステファン＝ボルツマンの法則に従い次に示
す式、（数１）となる。

【００３０】

【数１】もちろん、第１の温度検出手段２が検出する受光板１上
の視点温度Ｔaはレーザ光入射点の真後ろとなり、レー
ザ光入射面と反対側面上では最も高い温度となるが、非
接触なので第１の温度検出手段２に直接、レーザ光を当
ててサーモパイル素子を劣化させることなく効率よく信
号を検出することができる。一般的にレーザ光はパワー
密度が非常に高く、受光板１を介さずに直接に第１の温
度検出手段２がレーザ光を受けてしまうと、特定位置だ
けが異常に過熱され故障や特性劣化にいたるケースがあ
り得るので、これを防止するため非接触にしてある。ま
た、サーモパイル素子に設けられた赤外線透過窓は波長
による透過率のずれがあり、単色光であるレーザ光を直
接入射させた場合、素子ごとに出力感度がばらつくとい
う課題を受光板１で受け止め一旦、熱に変換することで
解消している。

【００３１】第１の温度検出手段２と第２の温度検出手
段３は熱伝導性に優れたアルミニウム製の取付台４に取
り付けられているため、両者の周囲温度Ｔｂは常に共通
であると考えられる。そして、取付台４は受光板１と直
接は接触せず、断熱層８としての空気を介在しているた
め、レーザ光の入射によって第１の温度検出手段２にお
ける受光板１の視点温度Ｔａが急激に上昇しても、第１
の温度検出手段２と第２の温度検出手段３の周囲温度Ｔ
ｂが急に上昇することはない。

【００３２】第２の温度検出手段３において、受光板１
上の視点温度（すなわち、第２の温度検出手段３の温接
点側温度）をＴｃ（Ｋ）、第２の温度検出手段３の周囲
温度（すなわち、第２の温度検出手段３の冷接点側温
度）をＴｂ（Ｋ）とすれば、第２の温度検出手段３が出
力する熱起電力Ｖ２は、第１の温度検出手段２と同様に
次に示す式、（数２）となる。

【００３３】

【数２】そして、第１の温度検出手段２の熱起電力Ｖ１は第１の
感度補正手段５ａに、第２の温度検出手段３の熱起電力
Ｖ２は第２の感度補正手段５ｂにそれぞれ入力されて各
温度検出手段の固有の出力電圧感度Ｋ1、Ｋ2が補正され
る。これにより前述した第１の温度検出手段２の熱起電
力Ｖ１と第２の温度検出手段３の熱起電力Ｖ２はそれぞ
れ次に示す式、（数３）、（数４）に変換できる。

【００３４】

【数３】

【００３５】

【数４】そして、この変換された第１の温度検出手段２の熱起電
力Ｖ１’、第２の温度検出手段３の熱起電力Ｖ２’は差
動増幅手段５ｃに取り込まれ、熱起電力Ｖ１’と熱起電
力Ｖ２’の電圧差、すなわち、Ｋ×（Ｔａ⁴−Ｔｃ⁴）は
入射したレーザ光のパワーに対応する。これにより、第
１の温度検出手段２と第２の温度検出手段３は、その周
囲温度Ｔｂには依存せず精度よくレーザパワーを検出で
きることになる。更に、熱起電力Ｖ１’と熱起電力Ｖ
２’の電圧差である差分信号を比例出力となるよう直線
化手段５ｄで変換を行ない、レーザパワーに対応する信
号を表示手段６で表示するのである。

【００３６】図２（ａ）、図２（ｂ）は受光板１の熱伝
達系の等価回路である。よく知られているように熱伝達
系における熱抵抗を抵抗、熱容量をコンデンサとすれ
ば、電気回路上、温度は電圧に、熱流は電流に置換でき
る。一般的には図２（ａ）のような分布定数系で熱伝達
モデルが記述されるが、図２（ｂ）のように簡略化して
説明する。今、受光板１の中心へパルス状のレーザ光を
入射させると、当該点は周囲温度から瞬時に温度上昇す
る。これに伴いレーザ光入射面の反対側面点の視点温度
Ｔａは、熱容量に応じた応答遅れを持って上昇する。さ
らに、その点から所定距離離れた視点温度Ｔｃ（第２の
温度検出手段３の温接点側温度）は、その距離や熱容量
に応じた応答遅れを生じながら平衡温度に達するまで上
昇を続ける。レーザ光の入射を停止した場合は、同様の
応答遅れを生じながら元の周囲温度に落ち着いていく。
図３は受光板１上の温度Ｔａ、ＴｃおよびＴａとＴｃの
差分の温度変化カーブを示したものである。図３から明
らかなように温度ＴａとＴｃの差分は温度Ｔａや温度Ｔ
ｃより立ち上がり、立ち下がりの応答が速い。つまり、
受光板１の熱容量や検出位置を適切に選択すれば、レー
ザ光入射直後の温度Ｔａ、Ｔｃの上昇中や、レーザ光入
射停止直後の温度Ｔａ、Ｔｃの下降中といった過渡状態
にあっても、レーザパワーの絶対値に関わらずに応答特
性に優れたレーザパワー検出装置を得ることができる。
更に、２個の温度検出手段２、３は受光板１で蓋をされ
る構造となっているため、サーモパイル素子に埃が付着
して感度特性がずれる等、経年劣化しにくいという効果
もある。

【００３７】以上のように本実施の形態では、第１の温
度検出手段と第２の温度検出手段を熱伝導性に優れた取
付台に取り付けることで両方の温度検出手段の周囲温度
Ｔbを同一にすることができるとともに、第１の温度検
出手段と第２の温度検出手段との出力の差分を演算手段
でとるため、仮に両方の温度検出手段の周囲温度Ｔbが
変動してもその影響を相殺でき、レーザパワーをレーザ
受光直後から長時間にわたり高い精度で測定できる。

【００３８】また本実施の形態では、第１の温度検出手
段は受光板上の最高温度点を、非接触である、受光板か
ら離れた位置で検出するので、より大きな熱起電力を発
生させＳ／Ｎ性能に優れた信号を取り出すことができる
とともに、温度検出手段は暖められにくい配置構造にし
ているので、測定誤差も抑制できる。

【００３９】また本実施の形態では、差分によって第１
の温度検出手段と第２の温度検出手段の出力応答遅れを
相殺することで、立ち上がり、立ち下がり特性に優れた
高精度なパワー測定を行うことができる。

【００４０】また本実施の形態では、レーザパワー検出
素子である温度検出手段に直接にレーザ光が入射しない
ため、素子の長寿命化や出力特性を安定させることがで
きるとともに、受光板の裏側における２点の温度を検出
するだけなので、別途温度補償を行うためのセンサを温
度変動しない場所に設ける必要がなく装置全体を大型化
しないようにもできる。

【００４１】なお、上記実施の形態における第１の感度
補正手段５ａ、第２の感度補正手段５ｂの最も簡便な構
成方法は、第１の温度検出手段２が持つ出力電圧感度Ｋ
１と第２の温度検出手段３が持つ出力電圧感度Ｋ２のう
ち、感度の高い方のみをその比率分だけ抵抗分割し、差
動増幅手段５ｃに入力するものであるが、２系統の独立
した入力増幅回路を持ち、デジタル信号処理によって感
度補正や差分、直線化を行っても良い。

【００４２】また、上記実施の形態では直線化手段５ｄ
を設けてレーザパワーに対し非線形カーブとなる差分信
号を比例出力となるようにしたが、レーザパワーが比較
的小さい場合は、信号出力はそのままレーザパワーに比
例すると見なし直線化変換を行わなくても良い。

【００４３】また、上記実施の形態における温度検出手
段としてはサーモパイル素子を用いるものとしたが、例
えば赤外線を熱に変換する感熱フィルムを設け、その感
熱フィルムに温度を検知する薄膜サーミスタを貼り付
け、抵抗値変化から温度を測定してもよい。熱電対や白
金測温体を用いても差し支えない。

【００４４】また本実施の形態では、周囲温度や各温度
検出手段２、３の周囲温度Ｔbの変動要因を無視した
が、考慮に入れても同等の作用効果を期待することがで
きる。また、受光板１のレーザ光入射面の反対側面から
放射される赤外線を非接触で検出するものとしたが、レ
ーザ光入射面の温度を斜め側方から検出しても良いし、
更に反射板を構成して別の角度から検出しても良い。受
光板１の保持手段１ａと２個の温度検出手段２、３を取
り付けた取付台４は一体のものではなく完全に分離した
構造でも良い。

【００４５】また本実施の形態では、第１と第２の温度
検出手段２、３を使用しているが、この２個だけでなく
多く組み合わせ、受光板１上に生じた熱流、温度勾配を
より高分解能となるように測定しても良い。また、各温
度検出手段２、３は１点の検出素子ではなく、線上に並
べた多数の素子を１単位とする１次元的のラインセンサ
あるいは２次元的のエリアセンサを用いて測定誤差を軽
減しても良い。また、２個の温度検出手段を設けるので
なく、１個のラインセンサまたはエリアセンサの異なる
画素間から得られる温度情報の差分によってレーザパワ
ーを検出しても良い。

【００４６】また本実施の形態では、片方の温度検出手
段が万一断線またはショート故障していないかどうか確
認するために、差分信号だけを取り出しているが、そう
ではなく、各温度検出手段から信号を独立して入力して
も良い。そして、受光板１の形状は円板に限らず棒状で
も良いとともに、レーザ光入射面には反射を抑制するた
めにＶ字型の同心円状の溝を多数設けても良い。また、
検出したレーザパワーを表示手段６に表示するようにし
たが、表示手段６を持たず、検出したレーザパワー測定
値に基づき、何らかの機器制御を行っても良い。

【００４７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば次のような
効果を有する。

【００４８】（１）温度検出手段の周囲温度が変動して
もその影響を相殺できる。

【００４９】（２）Ｓ／Ｎ性能に優れた信号を取り出す
ことができる。

【００５０】（３）温度検出手段は暖められにくく、測
定誤差を抑制できる。

【００５１】（４）応答特性に優れ、短時間測定にも長
時間測定にも高精度を維持できる。

【００５２】（５）検出素子の長寿命化や出力特性を安
定させることができる。

【００５３】（６）装置全体を大型化しないようにもで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１におけるレーザパワー検
出装置の構成図

【図２】（ａ）同レーザパワー検出装置における受光板
の熱伝達系の等価回路を分布定数系で示す熱伝達モデル
図（ｂ）同レーザパワー検出装置における受光板の熱伝
達系の等価回路を分布定数系で示す熱伝達モデルを簡略
化した図

【図３】同受光板の温度Ｔａ、ＴｃおよびＴａとＴｃの
差分の温度変化カーブを示した図

【図４】従来のレーザパワー検出装置の構成図

【符号の説明】

１受光板２第１の温度検出手段３第２の温度検出手段４取付台５演算手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者菅田文雄大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者柴田泰夫大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 2G065 AA04 AB09 BA11 BA14 CA30 DA05 2G066 AC20 BA08 CA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ光を受光する受光板と、前記受光
板上の複数点の温度を非接触で検出する複数の温度検出
手段と、前記複数の温度検出手段の出力の差分に基づき
レーザパワーを算出する演算手段とを備えたレーザパワ
ー検出装置。
【請求項２】レーザ光を受光する受光板と、前記受光
板上の２点の温度を非接触で検出する第１の温度検出手
段および第２の温度検出手段と、前記第１の温度検出手
段の出力と前記第２の温度検出手段の出力との差分に基
づきレーザパワーを算出する演算手段とを備えたレーザ
パワー検出装置。
【請求項３】一方の温度検出手段は受光板のレーザ光
入射点近傍の温度を検出し、また他方の温度検出手段は
前記受光板のレーザ光入射点から所定距離離れた位置の
温度を検出する請求項１または請求項２に記載のレーザ
パワー検出装置。
【請求項４】複数の温度検出手段は、受光板のレーザ
光入射面と反対側面の温度を検出することを特徴とする
請求項１から請求項３のいずれかに記載のレーザパワー
検出装置。
【請求項５】複数の温度検出手段は、受光板から離れ
た金属製の取付台に設け、前記受光板のレーザ光入射面
と反対側面から放射される赤外線を検出することを特徴
とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のレーザ
パワー検出装置。
【請求項６】複数の温度検出手段は、サーモパイルか
らなることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれ
かに記載のレーザパワー検出装置。