JPH11281584A - 検査方法およびその装置 - Google Patents
検査方法およびその装置Info
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- JPH11281584A JPH11281584A JP10083464A JP8346498A JPH11281584A JP H11281584 A JPH11281584 A JP H11281584A JP 10083464 A JP10083464 A JP 10083464A JP 8346498 A JP8346498 A JP 8346498A JP H11281584 A JPH11281584 A JP H11281584A
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
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- G—PHYSICS
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- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0633—Directed, collimated illumination
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- Pathology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透明または半透明材料からなる被検物の欠陥
を容易に検査できる検査方法およびこの方法を用いた検
査装置を提供する。 【解決手段】 光源から出た光により透明または半透明
な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物
の欠陥を検査する検査装置において、被検物を照明する
光が略平行光である。この検査装置によれば、被検物に
欠陥が存在する場合、略平行光で照射されるので、欠陥
に入射する光束の角度がほぼ同じとなり、散乱する方向
も揃うので、被検物を透過した光の中から欠陥部分を非
欠陥部分から明瞭に識別できる。よって、非常に小さな
欠陥も容易に各種光センサ・目視で検出できる。
を容易に検査できる検査方法およびこの方法を用いた検
査装置を提供する。 【解決手段】 光源から出た光により透明または半透明
な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物
の欠陥を検査する検査装置において、被検物を照明する
光が略平行光である。この検査装置によれば、被検物に
欠陥が存在する場合、略平行光で照射されるので、欠陥
に入射する光束の角度がほぼ同じとなり、散乱する方向
も揃うので、被検物を透過した光の中から欠陥部分を非
欠陥部分から明瞭に識別できる。よって、非常に小さな
欠陥も容易に各種光センサ・目視で検出できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明または半透明
の材料からなる、ハードディスク基板・液晶ディスプレ
イ基板・レンズ等の表面欠陥・内部欠陥・表面付着物を
検査する方法およびその装置に関する。
の材料からなる、ハードディスク基板・液晶ディスプレ
イ基板・レンズ等の表面欠陥・内部欠陥・表面付着物を
検査する方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】透明または半透明材料からなる、ハード
ディスク基板・液晶ディスプレイ基板・レンズ等の表面
欠陥（傷、窪み）・内部欠陥（気泡、混入物）・表面付
着物（付着微粉）（以下、これら表面欠陥・内部欠陥・
表面付着物を総称して「欠陥」という。）を検査できる
方法および装置が、特開平５-１１９４６８号公報、特
開平６-２５８２３６号公報、特開平７-２２５１９８号
公報および特開平８-２０１３１３号公報に開示されて
いる。
ディスク基板・液晶ディスプレイ基板・レンズ等の表面
欠陥（傷、窪み）・内部欠陥（気泡、混入物）・表面付
着物（付着微粉）（以下、これら表面欠陥・内部欠陥・
表面付着物を総称して「欠陥」という。）を検査できる
方法および装置が、特開平５-１１９４６８号公報、特
開平６-２５８２３６号公報、特開平７-２２５１９８号
公報および特開平８-２０１３１３号公報に開示されて
いる。
【０００３】これらの検査方法および検査装置は、検査
する対象物（以下「被検物」という。）の表面で反射し
た光に含まれる情報から欠陥を検査する反射式の検査方
法および検査装置と、被検物を透過した光に含まれる情
報から欠陥を検査する透過式の検査方法および検査装置
に区別できる。
する対象物（以下「被検物」という。）の表面で反射し
た光に含まれる情報から欠陥を検査する反射式の検査方
法および検査装置と、被検物を透過した光に含まれる情
報から欠陥を検査する透過式の検査方法および検査装置
に区別できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】反射式の検査方法およ
び検査装置では、透明または半透明の被検物は光の反射
率が低いので欠陥部分からの散乱光と非欠陥部分からの
反射光との間に十分なコントラストが出ず、満足のでき
る欠陥検査ができないという問題がある。また、被検物
からの反射光には、光源側にある被検物表面からの反射
光（表面反射光）だけでなく、光源と反対側にある被検
物表面からの反射光（裏面反射光）が含まれ、この裏面
反射光が検査結果に及ぼす影響をどのように解消するか
が問題である。
び検査装置では、透明または半透明の被検物は光の反射
率が低いので欠陥部分からの散乱光と非欠陥部分からの
反射光との間に十分なコントラストが出ず、満足のでき
る欠陥検査ができないという問題がある。また、被検物
からの反射光には、光源側にある被検物表面からの反射
光（表面反射光）だけでなく、光源と反対側にある被検
物表面からの反射光（裏面反射光）が含まれ、この裏面
反射光が検査結果に及ぼす影響をどのように解消するか
が問題である。
【０００５】他方、透過式の検査方法および検査装置で
は、反射式の検査方法および検査装置における前者の問
題はないが、従来の検査方法および検査装置では光源か
らの光を被検物の検査位置に集光（収束）する構成を採
用しているために、換言すれば種々の角度から検査位置
に光が入射される構成を採用しているため、散乱光があ
らゆる方向に分散する。そのために、欠陥部分からの散
乱光と非欠陥部分からの透過光との間に十分なコントラ
ストが得られず、欠陥の検査が容易でないという問題が
ある。
は、反射式の検査方法および検査装置における前者の問
題はないが、従来の検査方法および検査装置では光源か
らの光を被検物の検査位置に集光（収束）する構成を採
用しているために、換言すれば種々の角度から検査位置
に光が入射される構成を採用しているため、散乱光があ
らゆる方向に分散する。そのために、欠陥部分からの散
乱光と非欠陥部分からの透過光との間に十分なコントラ
ストが得られず、欠陥の検査が容易でないという問題が
ある。
【０００６】そこで、本発明は、透明または半透明材料
からなる被検物の欠陥を容易に検査できる新たな検査方
法およびこの方法を用いた検査装置を提供することを目
的とする。
からなる被検物の欠陥を容易に検査できる新たな検査方
法およびこの方法を用いた検査装置を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本願発明は、透明または半透明な材料からなる被検
物を照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検
査方法において、被検物を照明する光が略平行光である
ことを特徴とする。なお、本願明細書において、略平行
光とは、完全な平行光だけでなく、この完全な平行光に
みなすことができる光を含む概念である。
に、本願発明は、透明または半透明な材料からなる被検
物を照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検
査方法において、被検物を照明する光が略平行光である
ことを特徴とする。なお、本願明細書において、略平行
光とは、完全な平行光だけでなく、この完全な平行光に
みなすことができる光を含む概念である。
【０００８】本発明に係る検査方法の他の形態は、略平
行光の進行方向と略平行な方向から被検物を観察する。
行光の進行方向と略平行な方向から被検物を観察する。
【０００９】本発明の検査装置は、上記検査方法を具体
化したもので、光源から出た光により透明または半透明
な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物
の欠陥を検査する検査装置において、被検物を照明する
光が略平行光であることを特徴とする。
化したもので、光源から出た光により透明または半透明
な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物
の欠陥を検査する検査装置において、被検物を照明する
光が略平行光であることを特徴とする。
【００１０】本発明の検査装置の別の形態は、光源から
出た光により透明または半透明な材料からなる被検物を
照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検査装
置において、光源と被検物を、光源から出た光が被検物
の位置で略平行光となる関係に設定したことを特徴とす
る。
出た光により透明または半透明な材料からなる被検物を
照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検査装
置において、光源と被検物を、光源から出た光が被検物
の位置で略平行光となる関係に設定したことを特徴とす
る。
【００１１】これらの検査装置の他の形態は、被検物の
欠陥を検出する検出部を、略平行光の進行方向と略平行
な方向から被検物を観察するように配置したことを特徴
とする。
欠陥を検出する検出部を、略平行光の進行方向と略平行
な方向から被検物を観察するように配置したことを特徴
とする。
【００１２】また、検査装置の別の形態は、被検物の欠
陥を検出する検出部を、被検物を透過した光が直接入射
しない位置に配置したことを特徴とする。
陥を検出する検出部を、被検物を透過した光が直接入射
しない位置に配置したことを特徴とする。
【００１３】さらに、検査装置の他の形態は、被検物の
欠陥を検出する検出部に被検物を透過した光が直接入射
しないように、光源と被検物との間または被検物と検出
部の間に遮光部材を設けたことを特徴とする。
欠陥を検出する検出部に被検物を透過した光が直接入射
しないように、光源と被検物との間または被検物と検出
部の間に遮光部材を設けたことを特徴とする。
【００１４】さらにまた、検査装置の別の形態は、遮光
部材と被検物を相対的に移動させることを特徴とする。
部材と被検物を相対的に移動させることを特徴とする。
【００１５】
【発明の作用および効果】以上のように構成した本発明
の検査方法および検査装置によれば、被検物に欠陥が存
在する場合、この欠陥に入射する光の角度がほぼ同じな
ので、散乱する方向もそろい、被検物を透過した光の中
から欠陥部分を非欠陥部分から明瞭に識別できる。よっ
て、非常に小さな欠陥も容易に各種光センサ・目視で検
出できる。また、略平行光の進行方向と略平行な方向か
ら観察することにより、散乱光を無駄なく検出器で捕ら
えることができるので、欠陥部分からの散乱光とそれ以
外の非欠陥部分の透過光との間のコントラストが強調さ
れる。さらに、遮光部材を設けることにより、検出器ま
たは観察者の目に直接光が入射しないようにしたもので
は、光源を明るくして欠陥部分の散乱光と非欠陥部分透
過光とのコントラストをさらに強調できるし、特に目視
検査する場合には観察者の疲労を著しく軽減できる。
の検査方法および検査装置によれば、被検物に欠陥が存
在する場合、この欠陥に入射する光の角度がほぼ同じな
ので、散乱する方向もそろい、被検物を透過した光の中
から欠陥部分を非欠陥部分から明瞭に識別できる。よっ
て、非常に小さな欠陥も容易に各種光センサ・目視で検
出できる。また、略平行光の進行方向と略平行な方向か
ら観察することにより、散乱光を無駄なく検出器で捕ら
えることができるので、欠陥部分からの散乱光とそれ以
外の非欠陥部分の透過光との間のコントラストが強調さ
れる。さらに、遮光部材を設けることにより、検出器ま
たは観察者の目に直接光が入射しないようにしたもので
は、光源を明るくして欠陥部分の散乱光と非欠陥部分透
過光とのコントラストをさらに強調できるし、特に目視
検査する場合には観察者の疲労を著しく軽減できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１において、被検物の欠陥有無
を検査する装置（検査装置）１０は光源１２を有する。
光源１２は、ハロゲンランプとライトガイド（共に図示
せず）を備えており、ハロゲンランプの発射した光をラ
イトガイドにより案内し、第１のレンズ系１４に投射す
る。レンズ系１４は、一つまたは複数のレンズを備えて
おり、光源１２からの投射光１６を略平行光１８の形で
被検物２０に照明するように構成されている。本実施形
態では、被検物２０は透明または半透明の材料からなる
板材で、レンズ系１４の光軸２２に対して直交方向に配
置されている。欠陥を検出するための検出器（ＣＣＤカ
メラ）２４は、その光軸をレンズ系１４の光軸２２にほ
ぼ一致させ、被検物２０を挟んでレンズ系１４の反対側
に配置されており、被検物２０を通過する光を捕らえる
ように設定されている。検出器２４は表示装置（モニ
タ）２６に接続されており、検出器２４の撮影した被検
物２０の画像が表示装置２６に映し出されるようにして
ある。なお、被検物２０と検出器２４との間には、被検
物２０の透過光を検出器２４に集光するために、第２の
レンズ系を設けてもよい。
を検査する装置（検査装置）１０は光源１２を有する。
光源１２は、ハロゲンランプとライトガイド（共に図示
せず）を備えており、ハロゲンランプの発射した光をラ
イトガイドにより案内し、第１のレンズ系１４に投射す
る。レンズ系１４は、一つまたは複数のレンズを備えて
おり、光源１２からの投射光１６を略平行光１８の形で
被検物２０に照明するように構成されている。本実施形
態では、被検物２０は透明または半透明の材料からなる
板材で、レンズ系１４の光軸２２に対して直交方向に配
置されている。欠陥を検出するための検出器（ＣＣＤカ
メラ）２４は、その光軸をレンズ系１４の光軸２２にほ
ぼ一致させ、被検物２０を挟んでレンズ系１４の反対側
に配置されており、被検物２０を通過する光を捕らえる
ように設定されている。検出器２４は表示装置（モニ
タ）２６に接続されており、検出器２４の撮影した被検
物２０の画像が表示装置２６に映し出されるようにして
ある。なお、被検物２０と検出器２４との間には、被検
物２０の透過光を検出器２４に集光するために、第２の
レンズ系を設けてもよい。
【００１７】この検査装置１０によれば、光源１２から
の投射光１６がレンズ系１４で略平行光１８に変換され
て被検物２０に照射される。検出器２４は被検物２０の
透過光を捕らえ、この光により構成される画像を表示装
置２６が表示する。
の投射光１６がレンズ系１４で略平行光１８に変換され
て被検物２０に照射される。検出器２４は被検物２０の
透過光を捕らえ、この光により構成される画像を表示装
置２６が表示する。
【００１８】表示装置２６に映し出される画像につい
て、図２を参照して説明する。被検物２０に欠陥２８が
無い場合、表示装置２６に映し出された画像は均一の光
強度を有する。被検物２０に欠陥２８が存在する場合、
略平行光で照射されるので、欠陥２８に入射する光束の
角度がほぼ同じとなり、散乱する方向も揃ってくる。そ
のため、表示装置２６に映し出された画像は、欠陥２８
に対応する散乱光の光強度が局部的に増加している（実
線３０で表示）。参考のために、図２において点線で表
された曲線３２は、従来の技術の欄で説明したように光
源からの光をレンズ系で検査位置に集光した場合に、欠
陥の散乱光に対応して表示装置に現れる光強度分布を示
し、そこでは散乱光の光強度が僅かに増加しているが、
必ずしも十分に認識可能程度に明瞭ではない。このよう
に、略平行光で被検物を照明する検査装置１０によれ
ば、従来の検査装置よりも欠陥を容易に検査できる。な
お、光源１２とレンズ系１４で照明できる領域が被検物
２０の一部に限られる場合、この被検物２０を光軸と直
交する面内で移動させながらその全面について欠陥検査
を行う。しかし、被検物が比較的小さい場合、この被検
物と略同一口径のレンズを使用することにより被検物の
ほぼ全面を照明できるので、被検物を光軸と直交方向に
移動することなく検査できる。
て、図２を参照して説明する。被検物２０に欠陥２８が
無い場合、表示装置２６に映し出された画像は均一の光
強度を有する。被検物２０に欠陥２８が存在する場合、
略平行光で照射されるので、欠陥２８に入射する光束の
角度がほぼ同じとなり、散乱する方向も揃ってくる。そ
のため、表示装置２６に映し出された画像は、欠陥２８
に対応する散乱光の光強度が局部的に増加している（実
線３０で表示）。参考のために、図２において点線で表
された曲線３２は、従来の技術の欄で説明したように光
源からの光をレンズ系で検査位置に集光した場合に、欠
陥の散乱光に対応して表示装置に現れる光強度分布を示
し、そこでは散乱光の光強度が僅かに増加しているが、
必ずしも十分に認識可能程度に明瞭ではない。このよう
に、略平行光で被検物を照明する検査装置１０によれ
ば、従来の検査装置よりも欠陥を容易に検査できる。な
お、光源１２とレンズ系１４で照明できる領域が被検物
２０の一部に限られる場合、この被検物２０を光軸と直
交する面内で移動させながらその全面について欠陥検査
を行う。しかし、被検物が比較的小さい場合、この被検
物と略同一口径のレンズを使用することにより被検物の
ほぼ全面を照明できるので、被検物を光軸と直交方向に
移動することなく検査できる。
【００１９】検査装置１０を用いて行った欠陥検査例を
説明する。検査条件は以下の通りである。 光源：ハロゲンランプを使用し、その光をライトガイ
ドで導いた。ライトガイドの照射端部口径はφ４ｍｍと
した。被検物入射光の照度は１５０ルクスであった。 第１のレンズ系：一つの集光レンズを使用した。この
集光レンズは、口径φ５０ｍｍ、焦点距離８０ｍｍであ
る。集光レンズと被検物との距離を３００ｍｍに設定
し、被検物上での照明円の口径がφ４０ｍｍとなるよう
に調整した（レンズの最外縁部を透過した光と光軸との
なす角度α：約１度）。 第２のレンズ系：被検物と検出器との間に０．５倍の
レンズ系を設けた。 検出器：ＣＣＤカメラ（１／２インチ、４１万画素）
を使用した。 被検物：ガラス板（厚さ１ｍｍ）を使用した。
説明する。検査条件は以下の通りである。 光源：ハロゲンランプを使用し、その光をライトガイ
ドで導いた。ライトガイドの照射端部口径はφ４ｍｍと
した。被検物入射光の照度は１５０ルクスであった。 第１のレンズ系：一つの集光レンズを使用した。この
集光レンズは、口径φ５０ｍｍ、焦点距離８０ｍｍであ
る。集光レンズと被検物との距離を３００ｍｍに設定
し、被検物上での照明円の口径がφ４０ｍｍとなるよう
に調整した（レンズの最外縁部を透過した光と光軸との
なす角度α：約１度）。 第２のレンズ系：被検物と検出器との間に０．５倍の
レンズ系を設けた。 検出器：ＣＣＤカメラ（１／２インチ、４１万画素）
を使用した。 被検物：ガラス板（厚さ１ｍｍ）を使用した。
【００２０】欠陥検査の結果、３ミクロン程度の表面窪
み（Pit）・付着物（Particle）と、幅２ミクロン程度
の表面傷(Scratch)が検出できた。
み（Pit）・付着物（Particle）と、幅２ミクロン程度
の表面傷(Scratch)が検出できた。
【００２１】なお、被検物に入射する光は完全な平行光
であるのが望ましいが略平行光であれば本発明の目的は
達成できる。本発明者の行った実験から、第１のレンズ
系における最も被検物寄りにあるレンズの最外縁部を透
過した光と光軸とのなす角度αにより欠陥検査精度は以
下の通り変わることが判明した。なお、欠陥検査精度は
以下の表１に示すランク付けにしたがって評価した。
であるのが望ましいが略平行光であれば本発明の目的は
達成できる。本発明者の行った実験から、第１のレンズ
系における最も被検物寄りにあるレンズの最外縁部を透
過した光と光軸とのなす角度αにより欠陥検査精度は以
下の通り変わることが判明した。なお、欠陥検査精度は
以下の表１に示すランク付けにしたがって評価した。
【００２２】
【表１】
【００２３】実験の結果、角度αが１０度以下ではラン
クＢの精度が得られ、角度αが１０度を超えるものでは
ランクＣの精度が得られた。角度αが５度以下のときは
ランクＡの精度が得られた。
クＢの精度が得られ、角度αが１０度を超えるものでは
ランクＣの精度が得られた。角度αが５度以下のときは
ランクＡの精度が得られた。
【００２４】光源の大きさが大きくなると、この光源の
各点から出射された光がそれぞれ異なる角度から被検物
に入射して略平行光の条件が失われる。したがって、光
源の大きさは小さい方が望ましい（口径φ８ｍｍ以
下）。ただし、検出器に到達する光の光量を確保するた
めにはある程度の大きさが必要である。また、必要な光
量が確保できる限りにおいて、光源はピンホール光源で
あってもよく、この場合は光源・第１のレンズ系・被検
物の距離を調整することで、被検物に対して略平行光を
入射することができる。さらに、第１のレンズ系にピン
ホール、絞り等を設けて被検物への入射領域を調整して
もよい。ピンホール等を用いて実質的な光源の大きさを
小さくすれば、光源の各点から出る光が異なる角度で欠
陥部分に入射する弊害がなくなるので、略平行の条件は
ゆるくなる。φ１００μｍのピンホールを用いた場合、
角度αが１０度を越えてもランクＢの検査精度が得られ
た。
各点から出射された光がそれぞれ異なる角度から被検物
に入射して略平行光の条件が失われる。したがって、光
源の大きさは小さい方が望ましい（口径φ８ｍｍ以
下）。ただし、検出器に到達する光の光量を確保するた
めにはある程度の大きさが必要である。また、必要な光
量が確保できる限りにおいて、光源はピンホール光源で
あってもよく、この場合は光源・第１のレンズ系・被検
物の距離を調整することで、被検物に対して略平行光を
入射することができる。さらに、第１のレンズ系にピン
ホール、絞り等を設けて被検物への入射領域を調整して
もよい。ピンホール等を用いて実質的な光源の大きさを
小さくすれば、光源の各点から出る光が異なる角度で欠
陥部分に入射する弊害がなくなるので、略平行の条件は
ゆるくなる。φ１００μｍのピンホールを用いた場合、
角度αが１０度を越えてもランクＢの検査精度が得られ
た。
【００２５】図３は他の実施形態の検査装置１１０を示
す。この検査装置１１０では、レンズ系１４を通過した
光が僅かに拡散して被検物に照射されるように構成され
ている。この検査装置１１０は、被検物２０の大きな領
域を照明できるという利点がある。なお、レンズの最外
縁部を透過した光と光軸とのなす角度βは、好ましくは
１０度以下、さらに好ましくは５度以下とする。
す。この検査装置１１０では、レンズ系１４を通過した
光が僅かに拡散して被検物に照射されるように構成され
ている。この検査装置１１０は、被検物２０の大きな領
域を照明できるという利点がある。なお、レンズの最外
縁部を透過した光と光軸とのなす角度βは、好ましくは
１０度以下、さらに好ましくは５度以下とする。
【００２６】検査装置１１０を用いて被検物２０の欠陥
を検査した。検査条件は、被検物２０上での照明円の口
径がφ６０ｍｍとなるように調整した（レンズの最外縁
部を透過した光と光軸２２とのなす角度β：約１度）の
点を除いて、上述した検査装置１０の検査条件と同一で
ある。検査の結果、表１に示すランクＡの検査精度が得
られた。
を検査した。検査条件は、被検物２０上での照明円の口
径がφ６０ｍｍとなるように調整した（レンズの最外縁
部を透過した光と光軸２２とのなす角度β：約１度）の
点を除いて、上述した検査装置１０の検査条件と同一で
ある。検査の結果、表１に示すランクＡの検査精度が得
られた。
【００２７】図４は他の実施形態の検査装置２１０を示
す。この検査装置２１０では、レンズ系１４の光軸２２
と直交する平面に対して被検物２０が所定の角度γだけ
傾けてある。検出器２４は、その光軸が被検物２０に対
して直角となるように設定してある。角度γを１度に設
定し、検査装置１１０で用いた検査条件と同一の条件
で、検査装置２１０で欠陥検査を行った。その結果、表
１に示すランクＡの検査精度が得られた。なお、検査装
置２１０によれば、光源１２からの光が直接検出器２４
に入射するのを防止できるので、光源１２の明るさをさ
らに上げて表示装置に写し出される欠陥散乱光の光強度
と非欠陥部分透過光の光強度とのコントラストを高め、
それにより欠陥検査精度をさらに向上できる。
す。この検査装置２１０では、レンズ系１４の光軸２２
と直交する平面に対して被検物２０が所定の角度γだけ
傾けてある。検出器２４は、その光軸が被検物２０に対
して直角となるように設定してある。角度γを１度に設
定し、検査装置１１０で用いた検査条件と同一の条件
で、検査装置２１０で欠陥検査を行った。その結果、表
１に示すランクＡの検査精度が得られた。なお、検査装
置２１０によれば、光源１２からの光が直接検出器２４
に入射するのを防止できるので、光源１２の明るさをさ
らに上げて表示装置に写し出される欠陥散乱光の光強度
と非欠陥部分透過光の光強度とのコントラストを高め、
それにより欠陥検査精度をさらに向上できる。
【００２８】被検物２０および検出器２４の傾斜角度γ
は、好ましくは１０度以下、さらに好ましくは５度以下
である。また、光源１２と検出器２４はそれぞれ光軸２
２と直交する方向に平行に移動してもよい。さらに、検
出器２４を、略平行光１８の延長領域外に設け、この検
出器２４に光源１２の光が入らないようにすることもで
きる。
は、好ましくは１０度以下、さらに好ましくは５度以下
である。また、光源１２と検出器２４はそれぞれ光軸２
２と直交する方向に平行に移動してもよい。さらに、検
出器２４を、略平行光１８の延長領域外に設け、この検
出器２４に光源１２の光が入らないようにすることもで
きる。
【００２９】図５は他の実施形態の検査装置３１０を示
す。この検査装置３１０では、被検物２０のレンズ系１
４と被検物２０の間の光路の一部に遮光部材３４を設
け、被検物２０の透過光が検出器２４に直接入射しない
ようにしてある。遮光部材３４としては、光の透過しな
い部材であれば何でもよく、例えば黒色の金属板・プラ
スチック板を利用できる。この検査装置３１０によれ
ば、光源１２からの光が直接検出器２４に入射するのを
防止できるので、光源１２の明るさをさらに上げて表示
装置２６に写し出される欠陥散乱光の光強度と非欠陥部
分透過光の光強度とのコントラストを高め、それにより
欠陥検査精度をさらに向上できる。
す。この検査装置３１０では、被検物２０のレンズ系１
４と被検物２０の間の光路の一部に遮光部材３４を設
け、被検物２０の透過光が検出器２４に直接入射しない
ようにしてある。遮光部材３４としては、光の透過しな
い部材であれば何でもよく、例えば黒色の金属板・プラ
スチック板を利用できる。この検査装置３１０によれ
ば、光源１２からの光が直接検出器２４に入射するのを
防止できるので、光源１２の明るさをさらに上げて表示
装置２６に写し出される欠陥散乱光の光強度と非欠陥部
分透過光の光強度とのコントラストを高め、それにより
欠陥検査精度をさらに向上できる。
【００３０】図６は他の実施形態の検査装置４１０を示
す。この検査装置４１０では、検出器に代えて観察者３
６が目視で欠陥を検出するようにしてある。特に本実施
形態では、被検物２０のレンズ系１４と被検物２０の間
の光路の一部に遮光部材３８を設け、この遮光部材３８
で被検物２０の透過光が観察者３６の目に入らないよう
にするのが望ましい。このようにすれば観察者３６の目
の疲れが軽減し、検査精度もよくなる。遮光部材３８を
設けた場合と除いた場合について目視で欠陥検査をした
ところ、遮光部材３８を設けた場合はランクＡの検査精
度が得られたが、遮光部材３８を除いた場合は光源１２
の光が眩しく、ランクＤの検査精度しか得られなかっ
た。
す。この検査装置４１０では、検出器に代えて観察者３
６が目視で欠陥を検出するようにしてある。特に本実施
形態では、被検物２０のレンズ系１４と被検物２０の間
の光路の一部に遮光部材３８を設け、この遮光部材３８
で被検物２０の透過光が観察者３６の目に入らないよう
にするのが望ましい。このようにすれば観察者３６の目
の疲れが軽減し、検査精度もよくなる。遮光部材３８を
設けた場合と除いた場合について目視で欠陥検査をした
ところ、遮光部材３８を設けた場合はランクＡの検査精
度が得られたが、遮光部材３８を除いた場合は光源１２
の光が眩しく、ランクＤの検査精度しか得られなかっ
た。
【００３１】遮光部材３８の大きさは限定的でなく、図
７に示すより大きな遮光部材４０を用い、被検物２０の
上半分、下半分、右半分または左半分を覆ってもよい。
あるいは観察部分のみ開口となっている遮光板でもよ
い。この場合、観察者３６がその視線または目の位置を
移動させることにより、または目の位置は一定に保った
状態で被検物２０と遮光部材４０とを相対的に移動（平
行移動または回転）させることにより、被検物２０の全
面について欠陥検査が行える。
７に示すより大きな遮光部材４０を用い、被検物２０の
上半分、下半分、右半分または左半分を覆ってもよい。
あるいは観察部分のみ開口となっている遮光板でもよ
い。この場合、観察者３６がその視線または目の位置を
移動させることにより、または目の位置は一定に保った
状態で被検物２０と遮光部材４０とを相対的に移動（平
行移動または回転）させることにより、被検物２０の全
面について欠陥検査が行える。
【００３２】以上に説明した実施形態は本発明の具体例
に過ぎず、検査条件に応じて種々改変可能である。例え
ば、光源にはスリット光源を用い、第１のレンズ系にシ
リンドリカルレンズを用い、これにより帯状に被検物を
照明してもよい。この変形例は目視で欠陥検査する場合
に特に有効で、帯状透過光の中から容易に欠陥を確認で
きるという利点がある。
に過ぎず、検査条件に応じて種々改変可能である。例え
ば、光源にはスリット光源を用い、第１のレンズ系にシ
リンドリカルレンズを用い、これにより帯状に被検物を
照明してもよい。この変形例は目視で欠陥検査する場合
に特に有効で、帯状透過光の中から容易に欠陥を確認で
きるという利点がある。
【００３３】また、被検物を挟んで第１のレンズ系と反
対側に設ける第２のレンズ系は拡大投影光学系とするの
が好ましく、これによりさらに微小な欠陥の検査が可能
である。また、光源としてレーザを用いてもよい。
対側に設ける第２のレンズ系は拡大投影光学系とするの
が好ましく、これによりさらに微小な欠陥の検査が可能
である。また、光源としてレーザを用いてもよい。
【図１】 本発明に係る検査装置の概略構成を示す側面
図で、そこではレンズ系を通過した光が僅かに収束した
略平行光として被検物に入射されている。
図で、そこではレンズ系を通過した光が僅かに収束した
略平行光として被検物に入射されている。
【図２】 被検物を通過した光の強度分布図。
【図３】 本発明に係る他の検査装置の概略構成を示す
側面図で、そこではレンズ系を通過した光が僅かに拡散
した略平行光として被検物に入射されている。
側面図で、そこではレンズ系を通過した光が僅かに拡散
した略平行光として被検物に入射されている。
【図４】 本発明に係る他の検査装置の概略構成を示す
側面図で、レンズ系の光軸と直交する方向に対して被検
物を僅かに傾けた状態を示す。
側面図で、レンズ系の光軸と直交する方向に対して被検
物を僅かに傾けた状態を示す。
【図５】 本発明に係る他の検査装置の概略構成を示す
側面図で、そこでは被検物を挟んで検出器の反対側に遮
光部材を設けてある。
側面図で、そこでは被検物を挟んで検出器の反対側に遮
光部材を設けてある。
【図６】 本発明に係る他の検査装置の概略構成を示す
側面図で、そこでは検出器に代えて、人が目視で欠陥を
検査している状態が示してある。
側面図で、そこでは検出器に代えて、人が目視で欠陥を
検査している状態が示してある。
【図７】 遮光部材として大きな板を使用した検査装置
の斜視図。
の斜視図。
１０，１１０，２１０，３１０，４１０…検査装置、１
２…光源、１４…第１のレンズ系、１８…略平行光、２
０…被検物、２４…検出器、２６…表示装置、３４，３
８，４０…遮光部材。
２…光源、１４…第１のレンズ系、１８…略平行光、２
０…被検物、２４…検出器、２６…表示装置、３４，３
８，４０…遮光部材。
Claims (8)
- 【請求項１】 透明または半透明な材料からなる被検物
を照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検査
方法において、 上記被検物を照明する光が略平行光であることを特徴と
する検査方法。 - 【請求項２】 上記略平行光の進行方向と略平行な方向
から上記被検物を観察することを特徴とする請求項１の
検査方法。 - 【請求項３】 光源から出た光により透明または半透明
な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物
の欠陥を検査する検査装置において、 上記被検物を照明する光が略平行光であることを特徴と
する検査装置。 - 【請求項４】 光源から出た光により透明または半透明
な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物
の欠陥を検査する検査装置において、上記光源と被検物
を、上記光源から出た光が被検物の位置で略平行光とな
る関係に設定したことを特徴とする検査装置。 - 【請求項５】 上記被検物の欠陥を検出する検出部は、
上記略平行光の進行方向と略平行な方向から上記被検物
を観察するように配置したことを特徴とする請求項３ま
たは４の検査装置。 - 【請求項６】 上記被検物の欠陥を検出する検出部は、
上記被検物を透過した光が直接入射しない位置に配置し
たことを特徴とする請求項３または４の検査装置。 - 【請求項７】 上記被検物の欠陥を検出する検出部に上
記被検物を透過した光が直接入射しないように、上記光
源と被検物との間または被検物と検出部の間に遮光部材
を設けたことを特徴とする請求項３または４の検査装
置。 - 【請求項８】 上記遮光部材と被検物を相対的に移動さ
せることを特徴とする請求項７の検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10083464A JPH11281584A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 検査方法およびその装置 |
| US09/280,990 US6184977B1 (en) | 1998-03-30 | 1999-03-30 | Inspection method and inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10083464A JPH11281584A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 検査方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281584A true JPH11281584A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13803199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10083464A Pending JPH11281584A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 検査方法およびその装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6184977B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11281584A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000333047A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-11-30 | Rohm Co Ltd | 光学的撮像装置および光学的撮像方法 |
| JP2002189001A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Kao Corp | 半透明成形体の表面検査方法 |
| JP2010171119A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Laser Solutions Co Ltd | 観察装置、位置決め装置、レーザー加工装置および観察方法 |
| JP2011117951A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-06-16 | Ohara Inc | 光学材料の内部状態の検査方法及び光学素子の製造方法 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2002338353B2 (en) * | 2001-04-06 | 2006-05-25 | Akzo Nobel Coatings International B.V. | Method and device for surface evaluation |
| US7138022B2 (en) * | 2003-03-07 | 2006-11-21 | Au Optronics Corp. | Method for assembling a component of a liquid crystal display device |
| TW200417770A (en) * | 2003-03-07 | 2004-09-16 | Au Optronics Corp | Method for assembling a component of a liquid crystal display device |
| US7283227B2 (en) * | 2005-11-21 | 2007-10-16 | Corning Incorporated | Oblique transmission illumination inspection system and method for inspecting a glass sheet |
| US8164818B2 (en) | 2010-11-08 | 2012-04-24 | Soladigm, Inc. | Electrochromic window fabrication methods |
| US9885934B2 (en) | 2011-09-14 | 2018-02-06 | View, Inc. | Portable defect mitigators for electrochromic windows |
| US9507232B2 (en) * | 2011-09-14 | 2016-11-29 | View, Inc. | Portable defect mitigator for electrochromic windows |
| US9341912B2 (en) | 2012-03-13 | 2016-05-17 | View, Inc. | Multi-zone EC windows |
| ES2683188T3 (es) | 2012-03-13 | 2018-09-25 | View, Inc. | Mitigación estenopeica para dispositivos ópticos |
| HK1208403A1 (en) | 2012-05-18 | 2016-03-04 | View, Inc. | Circumscribing defects in optical devices |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3202043A (en) * | 1964-10-02 | 1965-08-24 | Pittsburgh Plate Glass Co | Method and apparatus for photoelectrically inspecting glass |
| US4456375A (en) * | 1981-11-23 | 1984-06-26 | Discovision Associates | Optical disc measurement by refraction |
| US4989973A (en) * | 1988-10-03 | 1991-02-05 | Nissan Motor Co., Ltd. | Surface condition estimating apparatus |
| JPH05119468A (ja) | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Nikon Corp | マスク検査装置 |
| JPH06258236A (ja) | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Canon Inc | 異物検査方法 |
| JPH07225198A (ja) | 1994-02-14 | 1995-08-22 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラス基板のライン検査方法 |
| JP3436326B2 (ja) | 1995-01-31 | 2003-08-11 | 旭硝子株式会社 | 透明板状体の欠点検査方法及び装置 |
| US5726749A (en) * | 1996-09-20 | 1998-03-10 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method and apparatus for inspection and evaluation of angular deviation and distortion defects for transparent sheets |
-
1998
- 1998-03-30 JP JP10083464A patent/JPH11281584A/ja active Pending
-
1999
- 1999-03-30 US US09/280,990 patent/US6184977B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000333047A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-11-30 | Rohm Co Ltd | 光学的撮像装置および光学的撮像方法 |
| JP2002189001A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Kao Corp | 半透明成形体の表面検査方法 |
| JP2010171119A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Laser Solutions Co Ltd | 観察装置、位置決め装置、レーザー加工装置および観察方法 |
| JP2011117951A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-06-16 | Ohara Inc | 光学材料の内部状態の検査方法及び光学素子の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6184977B1 (en) | 2001-02-06 |
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