JPH11284056A - 吸着固定装置 - Google Patents
吸着固定装置Info
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- JPH11284056A JPH11284056A JP8075798A JP8075798A JPH11284056A JP H11284056 A JPH11284056 A JP H11284056A JP 8075798 A JP8075798 A JP 8075798A JP 8075798 A JP8075798 A JP 8075798A JP H11284056 A JPH11284056 A JP H11284056A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 サイズの大きい被固定物に研磨加工を施して
も同心円状の模様が生じることはなく、しかも構造が簡
単で吸引固定力が低下しない吸着固定装置を提供する。 【解決手段】 吸着固定装置は、上方が開放した凹部を
備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複数個
の吸引室が形成された基台と、該基台の凹部に嵌合して
配設された通気性を有する載置台と、各吸引室と夫々連
通する吸引手段とを具備し、載置台上に被固定物を載置
して吸引固定する。上記載置台は、複数の線材が線芯を
揃えて一体成形され、線芯方向に連通する通気孔が形成
されている。
も同心円状の模様が生じることはなく、しかも構造が簡
単で吸引固定力が低下しない吸着固定装置を提供する。 【解決手段】 吸着固定装置は、上方が開放した凹部を
備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複数個
の吸引室が形成された基台と、該基台の凹部に嵌合して
配設された通気性を有する載置台と、各吸引室と夫々連
通する吸引手段とを具備し、載置台上に被固定物を載置
して吸引固定する。上記載置台は、複数の線材が線芯を
揃えて一体成形され、線芯方向に連通する通気孔が形成
されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸気作用によって
被固定物を載置台の上面に吸着固定するための吸着固定
装置に関する。
被固定物を載置台の上面に吸着固定するための吸着固定
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば集積回路を印設したシリコンウエ
ハに研磨加工や切断加工等の機械加工を施したり、精密
な測定をする場合等において、シリコンウエハを固定す
る方式として、吸気作用によってシリコンウエハを吸着
固定するチャックテーブルとして吸着固定装置が一般に
用いられている。この種の吸着固定装置は、上方が開放
した凹部を備えた基台と、該基台の該凹部に嵌合して配
設されたセラミック等の多孔質部材からなる載置台とを
具備し、該載置台の上面に被固定物であるシリコンウエ
ハを載置し、載置台の下面と基台との間に形成される吸
引室と連通する吸引手段によって吸引することにより、
シリコンウエハを載置台の上面に吸引固定する。しかる
に、多孔質部材によって構成された載置台は多方向に通
気性を有するので、載置台の外径より被固定物であるシ
リコンウエハの外径が小さいと、載置台におけるシリコ
ンウエハの外側では大量の空気を吸引することになり、
吸引手段の吸引効率が悪化する。一方、吸着部の外径よ
り被吸着物であるシリコンウエハの外径が大きいと、シ
リコンウエハの外周縁が載置台より外側に位置付けられ
ることになり加工時に平坦精度が悪化してしまう。
ハに研磨加工や切断加工等の機械加工を施したり、精密
な測定をする場合等において、シリコンウエハを固定す
る方式として、吸気作用によってシリコンウエハを吸着
固定するチャックテーブルとして吸着固定装置が一般に
用いられている。この種の吸着固定装置は、上方が開放
した凹部を備えた基台と、該基台の該凹部に嵌合して配
設されたセラミック等の多孔質部材からなる載置台とを
具備し、該載置台の上面に被固定物であるシリコンウエ
ハを載置し、載置台の下面と基台との間に形成される吸
引室と連通する吸引手段によって吸引することにより、
シリコンウエハを載置台の上面に吸引固定する。しかる
に、多孔質部材によって構成された載置台は多方向に通
気性を有するので、載置台の外径より被固定物であるシ
リコンウエハの外径が小さいと、載置台におけるシリコ
ンウエハの外側では大量の空気を吸引することになり、
吸引手段の吸引効率が悪化する。一方、吸着部の外径よ
り被吸着物であるシリコンウエハの外径が大きいと、シ
リコンウエハの外周縁が載置台より外側に位置付けられ
ることになり加工時に平坦精度が悪化してしまう。
【０００３】上記問題を解決するのもとして特開昭６１
ー１８２８３８号公報に記載された吸着固定装置が知ら
れている。この公報に開示された吸着固定装置は、上方
が開放した凹部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔
壁によって複数個の吸引室が形成された基台と、該基台
の凹部に嵌合して配設され同心円状に形成された多孔質
のセラミック部材からなる複数個の吸着部と該各吸着部
の間に設けられた非通気性の材料からなる複数個の環状
の仕切り部とによって構成された載置台とを具備し、上
記各吸引室と夫々連通する吸引手段によって各吸引室を
各々吸引するようにしたものである。特開昭６１ー１８
２８３８号公報に記載された吸着固定装置によれば、載
置台の外径より被固定物であるシリコンウエハの外径が
小さい場合でも、吸引手段の吸引効率が悪化することは
ないが、次のような問題がある。即ち、被固定物である
シリコンウエハを載置台上に吸着固定して研磨加工する
場合、シリコンウエハは研磨工具による押圧力と吸着力
とによって載置台に強力に押し付けられた状態で加工さ
れる。しかるに、載置台は吸着部と仕切り部とが同心円
状に交互に形成され、環状の仕切り部が表出した構成と
なっているため、吸着部と仕切り部との材質の相違また
は僅かな段差に起因して、被吸着物シリコンウエハのサ
イズが大きい場合には、研磨されたシリコンウエハの表
面に上記仕切り部の形状、即ち同心円状の模様（所謂転
写）が形成される。この模様は目視できるばかりでな
く、模様部分の段差が数μｍに及ぶことがあり、平面精
度としても必ずしも満足し得るものではない。
ー１８２８３８号公報に記載された吸着固定装置が知ら
れている。この公報に開示された吸着固定装置は、上方
が開放した凹部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔
壁によって複数個の吸引室が形成された基台と、該基台
の凹部に嵌合して配設され同心円状に形成された多孔質
のセラミック部材からなる複数個の吸着部と該各吸着部
の間に設けられた非通気性の材料からなる複数個の環状
の仕切り部とによって構成された載置台とを具備し、上
記各吸引室と夫々連通する吸引手段によって各吸引室を
各々吸引するようにしたものである。特開昭６１ー１８
２８３８号公報に記載された吸着固定装置によれば、載
置台の外径より被固定物であるシリコンウエハの外径が
小さい場合でも、吸引手段の吸引効率が悪化することは
ないが、次のような問題がある。即ち、被固定物である
シリコンウエハを載置台上に吸着固定して研磨加工する
場合、シリコンウエハは研磨工具による押圧力と吸着力
とによって載置台に強力に押し付けられた状態で加工さ
れる。しかるに、載置台は吸着部と仕切り部とが同心円
状に交互に形成され、環状の仕切り部が表出した構成と
なっているため、吸着部と仕切り部との材質の相違また
は僅かな段差に起因して、被吸着物シリコンウエハのサ
イズが大きい場合には、研磨されたシリコンウエハの表
面に上記仕切り部の形状、即ち同心円状の模様（所謂転
写）が形成される。この模様は目視できるばかりでな
く、模様部分の段差が数μｍに及ぶことがあり、平面精
度としても必ずしも満足し得るものではない。
【０００４】上述した特開昭６１ー１８２８３８号公報
に記載された吸着固定装置の問題を解決するものとし
て、載置台を、同心円状に形成された通気性を有する複
数個の吸着部と各吸着部の間に設けられた非通気性の材
料からなる複数個の環状の仕切り部とからなる区画部材
と、該区画部材の上に重ねて配設された通気性を有する
表面部材とによって構成し、上記区画部材の各吸着部に
対応した吸引室に夫々吸引手段を接続した吸着固定装置
が提案され、特開平３ー３２５３７号公報に開示されて
いる。
に記載された吸着固定装置の問題を解決するものとし
て、載置台を、同心円状に形成された通気性を有する複
数個の吸着部と各吸着部の間に設けられた非通気性の材
料からなる複数個の環状の仕切り部とからなる区画部材
と、該区画部材の上に重ねて配設された通気性を有する
表面部材とによって構成し、上記区画部材の各吸着部に
対応した吸引室に夫々吸引手段を接続した吸着固定装置
が提案され、特開平３ー３２５３７号公報に開示されて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】而して、特開平３ー３
２５３７号公報に開示された吸着固定装置は、上記載置
台を構成する表面部材の上面が均一な平面であるため、
該表面部材上に被固定物を吸引固定し、この被固定物に
研磨加工を施しても上述したような同心円状の模様は生
じない。しかしながら、特開平３ー３２５３７号公報に
開示された吸着固定装置は、上記表面部材が多孔質部材
であり多方向に通気性を有するため、小径の被固定物を
吸着固定する際には、空気が漏れて吸引固定力が低下す
るという問題があるとともに、載置台として区画部材と
表面部材との二つの部材を要するため、構造が複雑とな
り製作コストが増大するという問題がある。
２５３７号公報に開示された吸着固定装置は、上記載置
台を構成する表面部材の上面が均一な平面であるため、
該表面部材上に被固定物を吸引固定し、この被固定物に
研磨加工を施しても上述したような同心円状の模様は生
じない。しかしながら、特開平３ー３２５３７号公報に
開示された吸着固定装置は、上記表面部材が多孔質部材
であり多方向に通気性を有するため、小径の被固定物を
吸着固定する際には、空気が漏れて吸引固定力が低下す
るという問題があるとともに、載置台として区画部材と
表面部材との二つの部材を要するため、構造が複雑とな
り製作コストが増大するという問題がある。
【０００６】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術課題は、サイズの大きい被固定物
に研磨加工を施しても上述したような同心円状の模様が
生じることはなく、しかも構造が簡単で吸引固定力が低
下しない吸着固定装置を提供することにある。
あり、その主たる技術課題は、サイズの大きい被固定物
に研磨加工を施しても上述したような同心円状の模様が
生じることはなく、しかも構造が簡単で吸引固定力が低
下しない吸着固定装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記主たる技術課題を解
決するため、本発明によれば、上方が開放した凹部を備
え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複数個の
吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌合して
配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室と夫々
連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固定物を
載置して吸引固定する吸着固定装置において、該載置台
は、複数の線材が線芯を揃えて一体成形され、各線材に
よって囲まれる領域が線芯方向に通気孔を形成する、こ
とを特徴とする吸着固定装置が提供される。
決するため、本発明によれば、上方が開放した凹部を備
え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複数個の
吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌合して
配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室と夫々
連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固定物を
載置して吸引固定する吸着固定装置において、該載置台
は、複数の線材が線芯を揃えて一体成形され、各線材に
よって囲まれる領域が線芯方向に通気孔を形成する、こ
とを特徴とする吸着固定装置が提供される。
【０００８】また、本発明によれば、上方が開放した凹
部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複
数個の吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌
合して配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室
と夫々連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固
定物を載置して吸引固定する吸着固定装置において、該
載置台は、複数の中空線材が線芯を揃えて一体成形さ
れ、該中空線材の中空部が線芯方向に通気孔を形成す
る、ことを特徴とする吸着固定装置が提供される。
部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複
数個の吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌
合して配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室
と夫々連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固
定物を載置して吸引固定する吸着固定装置において、該
載置台は、複数の中空線材が線芯を揃えて一体成形さ
れ、該中空線材の中空部が線芯方向に通気孔を形成す
る、ことを特徴とする吸着固定装置が提供される。
【０００９】更に、本発明によれば、上方が開放した凹
部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複
数個の吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌
合して配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室
と夫々連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固
定物を載置して吸引固定する吸着固定装置において、該
載置台は、内側層が特定の溶剤によって溶ける材料によ
って形成され外側層が該特定の溶剤によって溶けない材
料によって形成された２層構造をした複数の線材が線芯
を揃えて一体成形され、該特定の溶剤によって該各線剤
の内側層が溶かされて線芯方向に通気孔を形成する、こ
とを特徴とする吸着固定装置が提供される。
部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複
数個の吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌
合して配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室
と夫々連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固
定物を載置して吸引固定する吸着固定装置において、該
載置台は、内側層が特定の溶剤によって溶ける材料によ
って形成され外側層が該特定の溶剤によって溶けない材
料によって形成された２層構造をした複数の線材が線芯
を揃えて一体成形され、該特定の溶剤によって該各線剤
の内側層が溶かされて線芯方向に通気孔を形成する、こ
とを特徴とする吸着固定装置が提供される。
【００１０】また、本発明によれば、上方が開放した凹
部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複
数個の吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌
合して配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室
と夫々連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固
定物を載置して吸引固定する吸着固定装置において、該
載置台は、特定の溶剤によって溶ける材料からなる複数
の第１の線材と該特定の溶剤によって溶けない材料から
なる複数の第２の線材が線芯を揃えて一体成形され、該
第１の線材が該特定の溶剤によって溶かされて線芯方向
に通気孔を形成する、ことを特徴とする吸着固定装置が
提供される。
部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複
数個の吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌
合して配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室
と夫々連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固
定物を載置して吸引固定する吸着固定装置において、該
載置台は、特定の溶剤によって溶ける材料からなる複数
の第１の線材と該特定の溶剤によって溶けない材料から
なる複数の第２の線材が線芯を揃えて一体成形され、該
第１の線材が該特定の溶剤によって溶かされて線芯方向
に通気孔を形成する、ことを特徴とする吸着固定装置が
提供される。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
吸着固定装置の実施形態について、添付図面を参照して
詳細に説明する。
吸着固定装置の実施形態について、添付図面を参照して
詳細に説明する。
【００１２】図１には本発明に従って構成された吸着固
定装置の要部を分離した斜視図が示されており、図２に
は図１の吸着固定装置の断面図が示されている。図示の
実施形態における吸着固定装置は、円板状の基台２と円
板状の載置台４とを具備している。基台２は適宜の金属
材によって構成され、その上面には上方が開放された円
形状の凹部２１が形成されている。基台２に設けられた
凹部２１の周壁２２には、基台２の上面から所定量（例
えば２０ｍｍ）下方に達する環状の段部２２１が形成さ
れている。また、基台２に設けられた凹部２１の底壁２
３には、同心円状に形成された複数個の環状の隔壁２３
１、２３２、２３３、２３４が凹部２１内に突出して設
けられている。この複数個の隔壁２３１、２３２、２３
３、２３４は、同一高さに形成されており、その上端が
周壁２２に形成された段部２２１の高さ位置と同一高さ
になるように構成されている。なお、図示の実施形態に
おいては、上記隔壁２３１の外径が略３インチ、隔壁２
３２の外径が略４インチ、隔壁２３３の外径が略５イン
チ、隔壁２３４の外径が略６インチ、そして上記段部２
２１外径が略８インチに構成されている。このように構
成された基台２には、凹部２１が複数個の隔壁２３１、
２３２、２３３、２３４によって区画された複数個の吸
引室２４１、２４２、２４３、２４４、２４５が形成さ
れる。また、基台２の凹部２１を形成する底壁２３に
は、上記吸引室２４１、２４２、２４３、２４４、２４
５に夫々連通する吸気孔２５１、２５２、２５３、２５
４、２５５が設けられている。この吸気孔２５１、２５
２、２５３、２５４、２５５には、図示しない吸引源に
接続された吸引手段を構成する吸引パイプ２６１、２６
２、２６３、２６４、２６５が夫々接続されており、該
各吸引パイプ２６１、２６２、２６３、２６４、２６５
には夫々開閉弁２７１、２７２、２７３、２７４、２７
５が配設されている。
定装置の要部を分離した斜視図が示されており、図２に
は図１の吸着固定装置の断面図が示されている。図示の
実施形態における吸着固定装置は、円板状の基台２と円
板状の載置台４とを具備している。基台２は適宜の金属
材によって構成され、その上面には上方が開放された円
形状の凹部２１が形成されている。基台２に設けられた
凹部２１の周壁２２には、基台２の上面から所定量（例
えば２０ｍｍ）下方に達する環状の段部２２１が形成さ
れている。また、基台２に設けられた凹部２１の底壁２
３には、同心円状に形成された複数個の環状の隔壁２３
１、２３２、２３３、２３４が凹部２１内に突出して設
けられている。この複数個の隔壁２３１、２３２、２３
３、２３４は、同一高さに形成されており、その上端が
周壁２２に形成された段部２２１の高さ位置と同一高さ
になるように構成されている。なお、図示の実施形態に
おいては、上記隔壁２３１の外径が略３インチ、隔壁２
３２の外径が略４インチ、隔壁２３３の外径が略５イン
チ、隔壁２３４の外径が略６インチ、そして上記段部２
２１外径が略８インチに構成されている。このように構
成された基台２には、凹部２１が複数個の隔壁２３１、
２３２、２３３、２３４によって区画された複数個の吸
引室２４１、２４２、２４３、２４４、２４５が形成さ
れる。また、基台２の凹部２１を形成する底壁２３に
は、上記吸引室２４１、２４２、２４３、２４４、２４
５に夫々連通する吸気孔２５１、２５２、２５３、２５
４、２５５が設けられている。この吸気孔２５１、２５
２、２５３、２５４、２５５には、図示しない吸引源に
接続された吸引手段を構成する吸引パイプ２６１、２６
２、２６３、２６４、２６５が夫々接続されており、該
各吸引パイプ２６１、２６２、２６３、２６４、２６５
には夫々開閉弁２７１、２７２、２７３、２７４、２７
５が配設されている。
【００１３】上記基台２の凹部２１に嵌合して配設され
る載置台４は、上下方向に通気性を有する円板状部材に
よって形成されており、図示の実施形態においては、そ
の外径が略８インチ、厚さが２０ｍｍに構成されてい
る。従って、載置台４は上記基台２に設けられた凹部２
１の段部２２１および隔壁２３１、２３２、２３３、２
３４の上端上に載置され、その上面が基台２の上面と面
一に構成される。
る載置台４は、上下方向に通気性を有する円板状部材に
よって形成されており、図示の実施形態においては、そ
の外径が略８インチ、厚さが２０ｍｍに構成されてい
る。従って、載置台４は上記基台２に設けられた凹部２
１の段部２２１および隔壁２３１、２３２、２３３、２
３４の上端上に載置され、その上面が基台２の上面と面
一に構成される。
【００１４】次に、上下方向に通気性を有する載置台４
の各実施形態について、図３乃至６を参照して説明す
る。図３に示す実施形態における載置台４は、例えば直
径が８０μｍ程度のガラス線材４１を線芯を揃えて束
ね、これを１２００〜１３００°Ｃの温度で焼結して一
体成形し、この焼結体を所定の厚さに切断してＡ部に拡
大して示すように、各ガラス線材４１によって囲まれる
領域が線芯方向に連通する通気孔４１０として形成され
たものである。なお、線材はガラス線材以外にセラミッ
ク等の被金属材またはステンレス鋼等の金属材を用いる
ことができる。
の各実施形態について、図３乃至６を参照して説明す
る。図３に示す実施形態における載置台４は、例えば直
径が８０μｍ程度のガラス線材４１を線芯を揃えて束
ね、これを１２００〜１３００°Ｃの温度で焼結して一
体成形し、この焼結体を所定の厚さに切断してＡ部に拡
大して示すように、各ガラス線材４１によって囲まれる
領域が線芯方向に連通する通気孔４１０として形成され
たものである。なお、線材はガラス線材以外にセラミッ
ク等の被金属材またはステンレス鋼等の金属材を用いる
ことができる。
【００１５】図４に示す実施形態における載置台４は、
例えば外径が８０μｍ程度で内径が５０μｍ程度の中空
のガラス線材４２を線芯を揃えて束ね、各ガラス線材４
２によって囲まれる領域に水ガラスを充填し、これを１
２００〜１３００°Ｃの温度で焼結して一体成形し、こ
の焼結体を所定の厚さに切断してＢ部に拡大して示すよ
うに、各ガラス線材４２の中空部が上下に連通する通気
孔４２０として形成されたものである。
例えば外径が８０μｍ程度で内径が５０μｍ程度の中空
のガラス線材４２を線芯を揃えて束ね、各ガラス線材４
２によって囲まれる領域に水ガラスを充填し、これを１
２００〜１３００°Ｃの温度で焼結して一体成形し、こ
の焼結体を所定の厚さに切断してＢ部に拡大して示すよ
うに、各ガラス線材４２の中空部が上下に連通する通気
孔４２０として形成されたものである。
【００１６】図５に示す実施形態における載置台４は、
図５の（ａ）においてＣ部に拡大して示すように、例え
ば、内側層４３１が外径５０μｍ程度で外側層４３２が
外径８０μｍ程度の２層構造をした複数の線材４３によ
って形成される。２層構造をした線材４３は、内側層４
３１が特定の溶剤（例えばフッ化水素酸）によって溶け
るケイ酸塩ガラスによって形成されており、外側層４３
２が上記特定の溶剤によって溶けない例えばリン酸塩系
ガラスによって形成されている。このように構成された
２層構造をした複数の線材４３を線芯を揃えて束ね、各
線材４３によって囲まれる領域に上記特定の溶剤によっ
て溶けない水ガラスを充填し、これを１２００〜１３０
０°Ｃの温度で焼結して一体成形し、この焼結体を所定
の厚さに切断して図５の（ａ）に示すように円板状に形
成する。次に、図５の（ａ）に示す円板状の焼結体を上
記特定の溶剤中に浸漬して、上記内側層４３１を溶かす
ことによって、図５の（ｂ）においてＤ部に拡大して示
すように通気孔４３０を形成する。
図５の（ａ）においてＣ部に拡大して示すように、例え
ば、内側層４３１が外径５０μｍ程度で外側層４３２が
外径８０μｍ程度の２層構造をした複数の線材４３によ
って形成される。２層構造をした線材４３は、内側層４
３１が特定の溶剤（例えばフッ化水素酸）によって溶け
るケイ酸塩ガラスによって形成されており、外側層４３
２が上記特定の溶剤によって溶けない例えばリン酸塩系
ガラスによって形成されている。このように構成された
２層構造をした複数の線材４３を線芯を揃えて束ね、各
線材４３によって囲まれる領域に上記特定の溶剤によっ
て溶けない水ガラスを充填し、これを１２００〜１３０
０°Ｃの温度で焼結して一体成形し、この焼結体を所定
の厚さに切断して図５の（ａ）に示すように円板状に形
成する。次に、図５の（ａ）に示す円板状の焼結体を上
記特定の溶剤中に浸漬して、上記内側層４３１を溶かす
ことによって、図５の（ｂ）においてＤ部に拡大して示
すように通気孔４３０を形成する。
【００１７】図６に示す実施形態における載置台４は、
図６の（ａ）においてＥ部に拡大して示すように、例え
ば直径が８０μｍ程度の特定の溶剤（例えばフッ化水素
酸）によって溶けるケイ酸塩ガラスによって形成された
第１のガラス線材４４１と、直径が８０μｍ程度の上記
特定の溶剤によって溶けない例えばリン酸塩系ガラスに
よって形成された第２のガラス線材４４２を混合して線
芯を揃えて束ね、第１のガラス線材４４１と第２のガラ
ス線材４４２によって囲まれる領域に上記特定の溶剤に
よって溶けない水ガラスを充填し、これを１２００〜１
３００°Ｃの温度で焼結して一体成形し、この焼結体を
所定の厚さに切断して図６の（ａ）に示すように円板状
に形成する。このように第１のガラス線材４４１と第２
のガラス線材４４２を一体成形した円板状の焼結体を上
記特定の溶剤中に浸漬して、上記第１のガラス線材４４
１を溶かすことによって、図６の（ｂ）においてＦ部に
拡大して示すように通気孔４４０を形成する。なお、上
記特定の溶剤によって溶けない第２の線材４４２として
は、セラミック等を用いることができる。
図６の（ａ）においてＥ部に拡大して示すように、例え
ば直径が８０μｍ程度の特定の溶剤（例えばフッ化水素
酸）によって溶けるケイ酸塩ガラスによって形成された
第１のガラス線材４４１と、直径が８０μｍ程度の上記
特定の溶剤によって溶けない例えばリン酸塩系ガラスに
よって形成された第２のガラス線材４４２を混合して線
芯を揃えて束ね、第１のガラス線材４４１と第２のガラ
ス線材４４２によって囲まれる領域に上記特定の溶剤に
よって溶けない水ガラスを充填し、これを１２００〜１
３００°Ｃの温度で焼結して一体成形し、この焼結体を
所定の厚さに切断して図６の（ａ）に示すように円板状
に形成する。このように第１のガラス線材４４１と第２
のガラス線材４４２を一体成形した円板状の焼結体を上
記特定の溶剤中に浸漬して、上記第１のガラス線材４４
１を溶かすことによって、図６の（ｂ）においてＦ部に
拡大して示すように通気孔４４０を形成する。なお、上
記特定の溶剤によって溶けない第２の線材４４２として
は、セラミック等を用いることができる。
【００１８】上記のように構成された載置台４は、図２
に示すように基台２に設けられた凹部２１に嵌合され
る。そして載置台４の上面に被固定物を載置し、吸引室
２４１、２４２、２４３、２４４、２４５内の空気を吸
引することにより、被固定物が載置台４の上面に固定さ
れる。なお、被固定物を載置台４の上面に載置する際に
は、被固定物の中心が載置台４の中心に合致するように
ロボット等によって位置付けられる。従って、図示の実
施形態においては、被固定物が３インチのシリコンウエ
ハの場合は環状の隔壁２３１上の領域に載置される。同
様に、被固定物が４インチのシリコンウエハの場合は環
状の隔壁２３２上の領域に、被固定物が５インチのシリ
コンウエハの場合は環状の隔壁２３３上の領域に、被固
定物が６インチのシリコンウエハの場合は環状の隔壁２
３４上の領域に、そして被固定物が８インチのシリコン
ウエハの場合は載置台４の全領域に載置される。載置台
４上に３インチのシリコンウエハが載置された場合は、
開閉弁２７１が開かれて他の開閉弁が閉じられる。載置
台４上に４インチのシリコンウエハが載置された場合
は、開閉弁２７１および２７２が開かれて他の開閉弁が
閉じられる。同様にして、載置台４上に５インチのシリ
コンウエハが載置された場合は開閉弁２７１、２７２お
よび２７３が開かれて開閉弁２７５および２７５が閉じ
られ、載置台４上に６インチのシリコンウエハが載置さ
れた場合は開閉弁２７１、２７２、２７３および２７４
が開かれて開閉弁２７５が閉じられ、そして載置台４上
に８インチのシリコンウエハが載置された場合は全ての
開閉弁２７１と２７２、２７３、２７４および２７５が
開かれれる。このように、載置台４上に載置されるシリ
コンウエハのサイズに対応した吸気室だけが吸引され、
しかも、載置台４には上下に連通する通気孔だけが形成
されているので、載置台４上に載置されたシリコンウエ
ハのサイズに対応した領域以外から空気を吸引すること
はなく、吸引効率が良好となる。また、載置台４は被固
定物のサイズに対応した仕切り部を有せず全体が均一に
構成されているので、被固定物であるシリコンウエハを
研磨加工した場合にも平面精度が極めて良好となる。し
かも、載置台４は一つの部材でよく、従って、構造が簡
単で比較的安価に製作することができる。なお、上述し
た図示の吸着固定装置において、載置台４と各吸引室２
４１、２４２、２４３、２４４、２４５とによって形成
される空間に多孔質部材を嵌入して、載置台４を補強し
ても良い。
に示すように基台２に設けられた凹部２１に嵌合され
る。そして載置台４の上面に被固定物を載置し、吸引室
２４１、２４２、２４３、２４４、２４５内の空気を吸
引することにより、被固定物が載置台４の上面に固定さ
れる。なお、被固定物を載置台４の上面に載置する際に
は、被固定物の中心が載置台４の中心に合致するように
ロボット等によって位置付けられる。従って、図示の実
施形態においては、被固定物が３インチのシリコンウエ
ハの場合は環状の隔壁２３１上の領域に載置される。同
様に、被固定物が４インチのシリコンウエハの場合は環
状の隔壁２３２上の領域に、被固定物が５インチのシリ
コンウエハの場合は環状の隔壁２３３上の領域に、被固
定物が６インチのシリコンウエハの場合は環状の隔壁２
３４上の領域に、そして被固定物が８インチのシリコン
ウエハの場合は載置台４の全領域に載置される。載置台
４上に３インチのシリコンウエハが載置された場合は、
開閉弁２７１が開かれて他の開閉弁が閉じられる。載置
台４上に４インチのシリコンウエハが載置された場合
は、開閉弁２７１および２７２が開かれて他の開閉弁が
閉じられる。同様にして、載置台４上に５インチのシリ
コンウエハが載置された場合は開閉弁２７１、２７２お
よび２７３が開かれて開閉弁２７５および２７５が閉じ
られ、載置台４上に６インチのシリコンウエハが載置さ
れた場合は開閉弁２７１、２７２、２７３および２７４
が開かれて開閉弁２７５が閉じられ、そして載置台４上
に８インチのシリコンウエハが載置された場合は全ての
開閉弁２７１と２７２、２７３、２７４および２７５が
開かれれる。このように、載置台４上に載置されるシリ
コンウエハのサイズに対応した吸気室だけが吸引され、
しかも、載置台４には上下に連通する通気孔だけが形成
されているので、載置台４上に載置されたシリコンウエ
ハのサイズに対応した領域以外から空気を吸引すること
はなく、吸引効率が良好となる。また、載置台４は被固
定物のサイズに対応した仕切り部を有せず全体が均一に
構成されているので、被固定物であるシリコンウエハを
研磨加工した場合にも平面精度が極めて良好となる。し
かも、載置台４は一つの部材でよく、従って、構造が簡
単で比較的安価に製作することができる。なお、上述し
た図示の吸着固定装置において、載置台４と各吸引室２
４１、２４２、２４３、２４４、２４５とによって形成
される空間に多孔質部材を嵌入して、載置台４を補強し
ても良い。
【００１９】
【発明の効果】本発明による吸着固定装置は以上のよう
に構成されているので、次の作用効果を奏する。
に構成されているので、次の作用効果を奏する。
【００２０】即ち、本発明によれば、載置台上に載置さ
れる被固定物のサイズに対応した吸気室だけが吸引さ
れ、しかも、載置台には上下に連通する通気孔だけが形
成されているので、載置台上に載置された被固定物のサ
イズに対応した領域以外から空気を吸引することはな
く、吸引効率が良好となる。また、載置台は被固定物の
サイズに対応した仕切り部を有せず全体が均一に構成さ
れているので、被固定物を研磨加工した場合にも平面精
度が極めて良好となる。しかも、載置台は細い線材を線
芯を揃えて一体成形するため、通気孔が蜜に形成され、
被固定物を均一に吸引固定することができる。また、載
置台は一つの部材でよく、従って、構造が簡単で比較的
安価に製作することができる吸着固定装置が得られる。
れる被固定物のサイズに対応した吸気室だけが吸引さ
れ、しかも、載置台には上下に連通する通気孔だけが形
成されているので、載置台上に載置された被固定物のサ
イズに対応した領域以外から空気を吸引することはな
く、吸引効率が良好となる。また、載置台は被固定物の
サイズに対応した仕切り部を有せず全体が均一に構成さ
れているので、被固定物を研磨加工した場合にも平面精
度が極めて良好となる。しかも、載置台は細い線材を線
芯を揃えて一体成形するため、通気孔が蜜に形成され、
被固定物を均一に吸引固定することができる。また、載
置台は一つの部材でよく、従って、構造が簡単で比較的
安価に製作することができる吸着固定装置が得られる。
【図１】本発明に従って構成された吸着固定装置の要部
を分離して示す斜視図。
を分離して示す斜視図。
【図２】図１に示す吸着固定装置の断面図
【図３】図１に示す吸着固定装置を構成する載置台の第
１の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
１の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
【図４】図１に示す吸着固定装置を構成する載置台の第
２の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
２の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
【図５】図１に示す吸着固定装置を構成する載置台の第
３の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
３の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
【図６】図１に示す吸着固定装置を構成する載置台の第
４の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
４の実施形態を一部を拡大して示す平面図。
２：基台 ２１：基台の凹部 ２２：凹部の周壁 ２２１：周壁の段部 ２３：凹部の底壁 ２３１、２３２、２３３、２３４：凹部の隔壁 ２４１、２４２、２４３、２４４、２４５：吸引室 ４：載置台 ４１：ガラス線材 ４１０：通気孔 ４２：中空のガラス線材 ４２０：通気孔 ４３：２層構造のガラス線材 ４３０：通気孔 ４４１：第１のガラス線材 ４４２：第２のガラス線材 ４４０：通気孔
Claims (4)
- 【請求項１】 上方が開放した凹部を備え該凹部に同心
円状に設けられた隔壁によって複数個の吸引室が形成さ
れた基台と、該基台の該凹部に嵌合して配設された通気
性を有する載置台と、該各吸引室と夫々連通する吸引手
段とを具備し、該載置台上に被固定物を載置して吸引固
定する吸着固定装置において、 該載置台は、複数の線材が線芯を揃えて一体成形され、
各線材によって囲まれる領域が線芯方向に通気孔を形成
する、 ことを特徴とする吸着固定装置。 - 【請求項２】 上方が開放した凹部を備え該凹部に同心
円状に設けられた隔壁によって複数個の吸引室が形成さ
れた基台と、該基台の該凹部に嵌合して配設された通気
性を有する載置台と、該各吸引室と夫々連通する吸引手
段とを具備し、該載置台上に被固定物を載置して吸引固
定する吸着固定装置において、 該載置台は、複数の中空線材が線芯を揃えて一体成形さ
れ、該中空線材の中空部が線芯方向に通気孔を形成す
る、 ことを特徴とする吸着固定装置。 - 【請求項３】 上方が開放した凹部を備え該凹部に同心
円状に設けられた隔壁によって複数個の吸引室が形成さ
れた基台と、該基台の該凹部に嵌合して配設された通気
性を有する載置台と、該各吸引室と夫々連通する吸引手
段とを具備し、該載置台上に被固定物を載置して吸引固
定する吸着固定装置において、 該載置台は、内側層が特定の溶剤によって溶ける材料に
よって形成され外側層が該特定の溶剤によって溶けない
材料によって形成された２層構造をした複数の線材が線
芯を揃えて一体成形され、該特定の溶剤によって該各線
剤の内側層が溶かされて線芯方向に通気孔を形成する、 ことを特徴とする吸着固定装置。 - 【請求項４】 上方が開放した凹部を備え該凹部に同心
円状に設けられた隔壁によって複数個の吸引室が形成さ
れた基台と、該基台の該凹部に嵌合して配設された通気
性を有する載置台と、該各吸引室と夫々連通する吸引手
段とを具備し、該載置台上に被固定物を載置して吸引固
定する吸着固定装置において、 該載置台は、特定の溶剤によって溶ける材料からなる複
数の第１の線材と該特定の溶剤によって溶けない材料か
らなる複数の第２の線材が線芯を揃えて一体成形され、
該第１の線材が該特定の溶剤によって溶かされて線芯方
向に通気孔を形成する、 ことを特徴とする吸着固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075798A JP3993296B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 吸着固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075798A JP3993296B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 吸着固定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11284056A true JPH11284056A (ja) | 1999-10-15 |
| JP3993296B2 JP3993296B2 (ja) | 2007-10-17 |
Family
ID=13727294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8075798A Expired - Lifetime JP3993296B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 吸着固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3993296B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002337034A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 面発光式吸着テーブル |
| JP2003229394A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研磨装置 |
| FR2923948A1 (fr) * | 2007-11-19 | 2009-05-22 | Centre Nat Etd Spatiales | Dispositif et procede d'alignement de plaquettes sur un support plan. |
| KR20150090997A (ko) | 2014-01-30 | 2015-08-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 반송 기구 |
| JP2016009752A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | 株式会社吉岡精工 | 面発光チャックテーブル |
| CN111473039A (zh) * | 2020-03-04 | 2020-07-31 | 上海精测半导体技术有限公司 | 柔性面板整平装置以及方法 |
| JP2020191357A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 三菱電機株式会社 | 真空チャックおよび半導体装置の製造方法 |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP8075798A patent/JP3993296B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002337034A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 面発光式吸着テーブル |
| JP2003229394A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研磨装置 |
| FR2923948A1 (fr) * | 2007-11-19 | 2009-05-22 | Centre Nat Etd Spatiales | Dispositif et procede d'alignement de plaquettes sur un support plan. |
| WO2009071790A1 (fr) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Centre National D'etudes Spatiales (C.N.E.S.) | Dispositif et procede d'alignement de plaquettes sur un support plan |
| KR20150090997A (ko) | 2014-01-30 | 2015-08-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 반송 기구 |
| JP2016009752A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | 株式会社吉岡精工 | 面発光チャックテーブル |
| JP2020191357A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 三菱電機株式会社 | 真空チャックおよび半導体装置の製造方法 |
| CN111473039A (zh) * | 2020-03-04 | 2020-07-31 | 上海精测半导体技术有限公司 | 柔性面板整平装置以及方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3993296B2 (ja) | 2007-10-17 |
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