JPH11285167A - 半導体デバイス等の製造装置と製造方法、ならびに電力供給システム - Google Patents
半導体デバイス等の製造装置と製造方法、ならびに電力供給システムInfo
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- JPH11285167A JPH11285167A JP10081379A JP8137998A JPH11285167A JP H11285167 A JPH11285167 A JP H11285167A JP 10081379 A JP10081379 A JP 10081379A JP 8137998 A JP8137998 A JP 8137998A JP H11285167 A JPH11285167 A JP H11285167A
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- power supply
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02J—ELECTRIC POWER NETWORKS; CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
- H02J9/00—Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting
- H02J9/04—Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting in which the distribution system is disconnected from the normal source and connected to a standby source
- H02J9/06—Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting in which the distribution system is disconnected from the normal source and connected to a standby source with automatic change-over, e.g. UPS systems
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
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- Emergency Management (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Stand-By Power Supply Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体等の製造装置を安全に緊急停止させる
ことができ、停電時には短時間に自動復帰して生産性の
向上を図ることが出来るシステムの提供。 【解決手段】 緊急停止スイッチによる緊急停止回路を
備えた製造装置であって、装置への電力の供給と遮断を
切り替える第１電磁開閉器と、該第１電磁開閉器の電磁
コイルへの給電を制御する第２電磁開閉器とを備え、該
第１電磁開閉器の電磁コイルには該第１電磁開閉器の一
次側から給電され、該第２電磁開閉器の電磁コイルには
該緊急停止回路を介して給電され、該緊急停止スイッチ
は該第２電磁開閉器の電磁コイルへの給電ライン途中に
設けられている。停電によって製造装置が稼動停止した
場合は、復電後に装置を自動再起動させる。
ことができ、停電時には短時間に自動復帰して生産性の
向上を図ることが出来るシステムの提供。 【解決手段】 緊急停止スイッチによる緊急停止回路を
備えた製造装置であって、装置への電力の供給と遮断を
切り替える第１電磁開閉器と、該第１電磁開閉器の電磁
コイルへの給電を制御する第２電磁開閉器とを備え、該
第１電磁開閉器の電磁コイルには該第１電磁開閉器の一
次側から給電され、該第２電磁開閉器の電磁コイルには
該緊急停止回路を介して給電され、該緊急停止スイッチ
は該第２電磁開閉器の電磁コイルへの給電ライン途中に
設けられている。停電によって製造装置が稼動停止した
場合は、復電後に装置を自動再起動させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイス等
を製造するための製造装置や、この製造工場における電
力供給システムに関するものである。
を製造するための製造装置や、この製造工場における電
力供給システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスを製造するための半導体
製造工場は、クリーンルームを備え、クリーンルーム内
にリソグラフィ処理などの製造工程のための各種処理装
置や検査装置、搬送装置など、数多くの製造装置が設置
されている。そして、これら各種装置を稼動するための
電力を供給するための電力供給システムが設けられてい
る。この電力供給システムは、工場外の電力会社から供
給される商用電力を変圧して工場内に供給する設備電源
を備えている。
製造工場は、クリーンルームを備え、クリーンルーム内
にリソグラフィ処理などの製造工程のための各種処理装
置や検査装置、搬送装置など、数多くの製造装置が設置
されている。そして、これら各種装置を稼動するための
電力を供給するための電力供給システムが設けられてい
る。この電力供給システムは、工場外の電力会社から供
給される商用電力を変圧して工場内に供給する設備電源
を備えている。
【０００３】通常は、製造装置の稼動開始は、オペレー
タ（設備担当作業者）が電源ＯＮスイッチを操作するこ
とにより製造装置への給電を開始して装置を起動する。
また稼動停止は、オペレータが電源ＯＦＦスイッチを操
作することにより設備電源から製造装置への給電が停止
して装置が停止する。
タ（設備担当作業者）が電源ＯＮスイッチを操作するこ
とにより製造装置への給電を開始して装置を起動する。
また稼動停止は、オペレータが電源ＯＦＦスイッチを操
作することにより設備電源から製造装置への給電が停止
して装置が停止する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、工場稼
動中には希にトラブルが発生することがあり、緊急で製
造装置の稼動を停止させなければならない状況が生じる
場合がある。そのために、製造装置を緊急停止させるた
めの手段として、通常、装置近傍にオペレータが操作で
きる緊急停止スイッチが設けられている。オペレータが
このスイッチを操作すると緊急停止回路（ＥＭＯ）が動
作して、製造装置、空調装置、光源装置などの全て装置
に対して設備電源からの給電を遮断して緊急停止する。
しかしその際、すべての装置への電力を突然遮断すると
再起動時にシステムの暴走などを引き起こす可能性があ
る。
動中には希にトラブルが発生することがあり、緊急で製
造装置の稼動を停止させなければならない状況が生じる
場合がある。そのために、製造装置を緊急停止させるた
めの手段として、通常、装置近傍にオペレータが操作で
きる緊急停止スイッチが設けられている。オペレータが
このスイッチを操作すると緊急停止回路（ＥＭＯ）が動
作して、製造装置、空調装置、光源装置などの全て装置
に対して設備電源からの給電を遮断して緊急停止する。
しかしその際、すべての装置への電力を突然遮断すると
再起動時にシステムの暴走などを引き起こす可能性があ
る。
【０００５】ところで、工場稼動中には、商用電源の停
電、工場内電源装置の故障など予期せぬ停電（瞬時停電
も含む）によって、電力の供給が途切れる場合がある。
その場合、緊急停止回路への給電も停止し、緊急停止回
路のフェイルセーフ機能によって、緊急停止スイッチを
押した時と同様の状態となって、設備電源からの給電が
遮断される。
電、工場内電源装置の故障など予期せぬ停電（瞬時停電
も含む）によって、電力の供給が途切れる場合がある。
その場合、緊急停止回路への給電も停止し、緊急停止回
路のフェイルセーフ機能によって、緊急停止スイッチを
押した時と同様の状態となって、設備電源からの給電が
遮断される。
【０００６】この場合、装置の稼動再開には、設備電源
が復電した後にオペレータによる電源スイッチ投入の操
作を待つ必要がある。すなわち、たとえ瞬時の停電であ
っても、装置が停止した後はオペレータの操作がない限
り自動的な稼動再開はできない。工場内に設置された製
造装置の数が多い場合には、オペレータが全ての製造装
置の電源を再投入するには多大の時間を要し、生産性向
上の妨げになる。
が復電した後にオペレータによる電源スイッチ投入の操
作を待つ必要がある。すなわち、たとえ瞬時の停電であ
っても、装置が停止した後はオペレータの操作がない限
り自動的な稼動再開はできない。工場内に設置された製
造装置の数が多い場合には、オペレータが全ての製造装
置の電源を再投入するには多大の時間を要し、生産性向
上の妨げになる。
【０００７】以上の技術課題に対して、本発明の主目的
は、安全性と生産性を高い次元で両立したシステムを提
供することである。
は、安全性と生産性を高い次元で両立したシステムを提
供することである。
【０００８】具体的な本発明の目的の１つは、稼働中の
製造装置を緊急停止させる際に、システムの暴走などを
防ぎつつ安全に停止させることが出来るシステムを提供
することである。さらなる本発明の目的は、停電や電源
故障などの予期せぬ要因で電力の供給が停止された場合
にも、安全性を損なうことなく稼動再開までの時間を短
縮することが出来るシステムを提供することである。そ
して、高い生産性を有するデバイス製造方法や製造工場
を提供することも本発明の目的の１つである。
製造装置を緊急停止させる際に、システムの暴走などを
防ぎつつ安全に停止させることが出来るシステムを提供
することである。さらなる本発明の目的は、停電や電源
故障などの予期せぬ要因で電力の供給が停止された場合
にも、安全性を損なうことなく稼動再開までの時間を短
縮することが出来るシステムを提供することである。そ
して、高い生産性を有するデバイス製造方法や製造工場
を提供することも本発明の目的の１つである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のある形態は。緊急停止スイッチによる緊急停止回路
を備えた製造装置であって、装置への電力の供給と遮断
を切り替える第１電磁開閉器と、該第１電磁開閉器の電
磁コイルへの給電を制御する第２電磁開閉器とを備え、
該第１電磁開閉器の電磁コイルには該第１電磁開閉器の
一次側から給電され、該第２電磁開閉器の電磁コイルに
は該緊急停止回路を介して給電され、該緊急停止スイッ
チは該第２電磁開閉器の電磁コイルへの給電ライン途中
に設けられていることを特徴とするものである。
明のある形態は。緊急停止スイッチによる緊急停止回路
を備えた製造装置であって、装置への電力の供給と遮断
を切り替える第１電磁開閉器と、該第１電磁開閉器の電
磁コイルへの給電を制御する第２電磁開閉器とを備え、
該第１電磁開閉器の電磁コイルには該第１電磁開閉器の
一次側から給電され、該第２電磁開閉器の電磁コイルに
は該緊急停止回路を介して給電され、該緊急停止スイッ
チは該第２電磁開閉器の電磁コイルへの給電ライン途中
に設けられていることを特徴とするものである。
【００１０】本発明の別の形態は、緊急停止手段を備え
た製造装置であって、停電によって製造装置の稼動が停
止した場合は停電回復後に自動的に製造装置を再起動さ
せ、一方、該緊急停止手段によって製造装置の稼動が停
止した場合には 停電回復後にも自動的には製造装置を
再起動させないようにする制御装置を有することを特徴
とするものである。
た製造装置であって、停電によって製造装置の稼動が停
止した場合は停電回復後に自動的に製造装置を再起動さ
せ、一方、該緊急停止手段によって製造装置の稼動が停
止した場合には 停電回復後にも自動的には製造装置を
再起動させないようにする制御装置を有することを特徴
とするものである。
【００１１】本発明の別の形態は、緊急停止スイッチに
よる緊急停止機能を備えた製造装置への電力供給システ
ムであって、停電によって該製造装置の稼動が停止した
場合は停電回復後に自動的に該製造装置に電力を再供給
し、一方、該緊急停止機能によって該製造装置の稼動が
停止した場合には停電回復後に自動的には該製造装置に
電力を再供給しないようにしたことを特徴とするもので
ある。
よる緊急停止機能を備えた製造装置への電力供給システ
ムであって、停電によって該製造装置の稼動が停止した
場合は停電回復後に自動的に該製造装置に電力を再供給
し、一方、該緊急停止機能によって該製造装置の稼動が
停止した場合には停電回復後に自動的には該製造装置に
電力を再供給しないようにしたことを特徴とするもので
ある。
【００１２】本発明の別の形態は、デバイスを製造する
方法であって、上記の製造装置を用意する工程と、該装
置を用いてデバイスを製造する工程とを含む製造工程に
よってデバイスを製造することを特徴とするものであ
る。
方法であって、上記の製造装置を用意する工程と、該装
置を用いてデバイスを製造する工程とを含む製造工程に
よってデバイスを製造することを特徴とするものであ
る。
【００１３】本発明の別の形態は、複数の製造装置が設
置された製造工場であって、上記の電力供給システムに
よって製造装置に電力が供給されるようにしたことを特
徴とするものである。
置された製造工場であって、上記の電力供給システムに
よって製造装置に電力が供給されるようにしたことを特
徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】＜実施例１＞以下、図を用いて本
発明の実施例を説明する。図１は、本発明の第１の実施
例である半導体デバイスの製造装置の構成図である。
発明の実施例を説明する。図１は、本発明の第１の実施
例である半導体デバイスの製造装置の構成図である。
【００１５】図１において、製造装置に対する電力は製
造工場の設備電源２３から供給される。設備電源は、通
常運転時に半導体製造工場に電力会社から供給される商
用電力を変圧して工場内の各装置に電力を供給する主電
源と、停電や電源故障などで電源が電力を供給できない
ときに主電源の代わりに工場内に電力を供給するバック
アップ電源を備えている。バックアップ電源は例えばデ
ィーゼル発電機などの自家発電機を有している。
造工場の設備電源２３から供給される。設備電源は、通
常運転時に半導体製造工場に電力会社から供給される商
用電力を変圧して工場内の各装置に電力を供給する主電
源と、停電や電源故障などで電源が電力を供給できない
ときに主電源の代わりに工場内に電力を供給するバック
アップ電源を備えている。バックアップ電源は例えばデ
ィーゼル発電機などの自家発電機を有している。
【００１６】半導体製造装置は、大きくは、製造装置本
体１、その電源部６、製造装置本体１を収容して一定環
境下に保つ恒温チャンバ２、恒温チャンバ２内の雰囲気
温度やガス濃度、クリーン度などを一定に保つための空
調装置３、製造装置本体１及び空調装置３の動作を制御
する本体制御部４、設備電源から供給される電力を本体
電源部６及び空調装置３に対して給電するか遮断するか
を制御する電力供給部５を有する。なお、本実施例では
半導体製造装置は半導体ウエハ基板に露光処理を行う半
導体露光装置としたが、これに限るものではなく、半導
体製造に使用する各種処理装置や検査装置などに適用可
能である。
体１、その電源部６、製造装置本体１を収容して一定環
境下に保つ恒温チャンバ２、恒温チャンバ２内の雰囲気
温度やガス濃度、クリーン度などを一定に保つための空
調装置３、製造装置本体１及び空調装置３の動作を制御
する本体制御部４、設備電源から供給される電力を本体
電源部６及び空調装置３に対して給電するか遮断するか
を制御する電力供給部５を有する。なお、本実施例では
半導体製造装置は半導体ウエハ基板に露光処理を行う半
導体露光装置としたが、これに限るものではなく、半導
体製造に使用する各種処理装置や検査装置などに適用可
能である。
【００１７】一方、製造装置本体１を収容するチャンバ
２とは別に光源装置１３が設置され、製造装置本体１に
ビームライン２０を通して露光光を導入している。光源
装置１３は例えばエキシマレ−ザ光源装置やＸ線光源装
置（ＳＲやプラズマＸ線発生源など）である。光源装置
１３へは電力供給部６から電源ケーブル２１によって電
力供給され、また光源装置１３と本体制御部４とは通信
ケーブル２２で接続されている。
２とは別に光源装置１３が設置され、製造装置本体１に
ビームライン２０を通して露光光を導入している。光源
装置１３は例えばエキシマレ−ザ光源装置やＸ線光源装
置（ＳＲやプラズマＸ線発生源など）である。光源装置
１３へは電力供給部６から電源ケーブル２１によって電
力供給され、また光源装置１３と本体制御部４とは通信
ケーブル２２で接続されている。
【００１８】図２は、図１の半導体製造装置における電
力供給部５の周辺の電力供給システムについての説明図
である。工場の設備電源２３から、メインブレーカ７、
電源投入及び遮断を制御するための第１電磁開閉器８
（開閉制御用の電磁コイルを持ったリレー装置）を経
て、本体電源部６と空調装置３と光源装置１３のそれぞ
れへパワーラインが形成されている。ここで、第１電磁
開閉弁８の上流（設備電源側）を一次側と呼び、下流
（装置側）を二次側と呼ぶ。
力供給部５の周辺の電力供給システムについての説明図
である。工場の設備電源２３から、メインブレーカ７、
電源投入及び遮断を制御するための第１電磁開閉器８
（開閉制御用の電磁コイルを持ったリレー装置）を経
て、本体電源部６と空調装置３と光源装置１３のそれぞ
れへパワーラインが形成されている。ここで、第１電磁
開閉弁８の上流（設備電源側）を一次側と呼び、下流
（装置側）を二次側と呼ぶ。
【００１９】電磁開閉器８の一次側は分岐して、過電流
保護器９、無停電電源１０、過電流保護器１２、緊急停
止回路（ＥＭＯ）を構成する電源制御部１１が順に接続
されている。無停電電源１０はＡＣ／ＤＣ変換器とバッ
テリ、さらに停電（瞬時停電および数秒〜数十分の停
電）および復電を検出するための停電検出回路１５を内
蔵している。停電検出回路１５の検出信号は本体制御部
４ならびに電源制御部１１に入力される。
保護器９、無停電電源１０、過電流保護器１２、緊急停
止回路（ＥＭＯ）を構成する電源制御部１１が順に接続
されている。無停電電源１０はＡＣ／ＤＣ変換器とバッ
テリ、さらに停電（瞬時停電および数秒〜数十分の停
電）および復電を検出するための停電検出回路１５を内
蔵している。停電検出回路１５の検出信号は本体制御部
４ならびに電源制御部１１に入力される。
【００２０】電源制御部１１には、電源ONスイッチ１７
ａと、電源OFFスイッチ１７ｂが接続されている。さら
に電源制御部１１には第１の電磁開閉器８の電磁コイル
への通電を制御するための第２電磁開閉器１４（リレー
装置）の電磁コイルが接続されている。この給電ライン
の途中には、２つの緊急停止スイッチ１８ａ，１８ｂ、
不図示の過温度異常検知手段への接続端子１９が含まれ
ており、第１緊急停止スイッチ１８ａと、第２緊急停止
スイッチ１８ｂ、接続端子１９のいずれかで給電ライン
が遮断されると、第２電磁開閉器１４の電磁コイルへの
通電が途絶えて第２電磁開閉器１４が開状態となり、こ
れに伴って第１電磁開閉器８も開状態となる。緊急停止
スイッチ１８ａ，１８ｂは半導体製造装置の恒温チャン
バ２の外壁のオペレータが操作しやすい場所に取付けら
れている。
ａと、電源OFFスイッチ１７ｂが接続されている。さら
に電源制御部１１には第１の電磁開閉器８の電磁コイル
への通電を制御するための第２電磁開閉器１４（リレー
装置）の電磁コイルが接続されている。この給電ライン
の途中には、２つの緊急停止スイッチ１８ａ，１８ｂ、
不図示の過温度異常検知手段への接続端子１９が含まれ
ており、第１緊急停止スイッチ１８ａと、第２緊急停止
スイッチ１８ｂ、接続端子１９のいずれかで給電ライン
が遮断されると、第２電磁開閉器１４の電磁コイルへの
通電が途絶えて第２電磁開閉器１４が開状態となり、こ
れに伴って第１電磁開閉器８も開状態となる。緊急停止
スイッチ１８ａ，１８ｂは半導体製造装置の恒温チャン
バ２の外壁のオペレータが操作しやすい場所に取付けら
れている。
【００２１】また、第２電磁開閉器１４のリレー接点は
同時に開閉される３系統を有し、１系統は第１電磁開閉
器８の電磁コイルの通電制御用、他の２系統はリレー接
点１６ａ、１６ｂで示している。リレー接点１６ａは本
体制御部４への電力の供給／遮断を切り替えるものであ
り、リレー接点１６ｂは停電検出回路１５での検出信号
を本体制御部４に伝える信号ラインの接続／遮断を切り
替えるものである。
同時に開閉される３系統を有し、１系統は第１電磁開閉
器８の電磁コイルの通電制御用、他の２系統はリレー接
点１６ａ、１６ｂで示している。リレー接点１６ａは本
体制御部４への電力の供給／遮断を切り替えるものであ
り、リレー接点１６ｂは停電検出回路１５での検出信号
を本体制御部４に伝える信号ラインの接続／遮断を切り
替えるものである。
【００２２】以上の構成の概略を整理すると、設備電源
２３から各装置（露光装置本体、空調装置、光源装置）
への電力の供給と遮断を切り替える第１電磁開閉器８
と、第１電磁開閉器８の電磁コイルへの給電を制御する
第２電磁開閉器１４とを備え、第１電磁開閉器８の電磁
コイルには第１電磁開閉器８の一次側から給電され、第
２電磁開閉器１４の電磁コイルには緊急停止回路である
電源制御部１１を介して給電され、緊急停止スイッチ１
８ａ，１８ｂが第２電磁開閉器１４の電磁コイルへの給
電ライン途中に設けられた構成となっている。ここで、
第１電磁開閉器８ならびに前記第２電磁開閉器１４は、
これらの電磁コイルへの通電がない場合に開状態、通電
がある場合に閉状態になるリレーであり、緊急停止スイ
ッチ１８ａ，１８ｂはいずれも通常は閉状態で通電しス
イッチを押すと開状態になって遮断するスイッチであ
る。
２３から各装置（露光装置本体、空調装置、光源装置）
への電力の供給と遮断を切り替える第１電磁開閉器８
と、第１電磁開閉器８の電磁コイルへの給電を制御する
第２電磁開閉器１４とを備え、第１電磁開閉器８の電磁
コイルには第１電磁開閉器８の一次側から給電され、第
２電磁開閉器１４の電磁コイルには緊急停止回路である
電源制御部１１を介して給電され、緊急停止スイッチ１
８ａ，１８ｂが第２電磁開閉器１４の電磁コイルへの給
電ライン途中に設けられた構成となっている。ここで、
第１電磁開閉器８ならびに前記第２電磁開閉器１４は、
これらの電磁コイルへの通電がない場合に開状態、通電
がある場合に閉状態になるリレーであり、緊急停止スイ
ッチ１８ａ，１８ｂはいずれも通常は閉状態で通電しス
イッチを押すと開状態になって遮断するスイッチであ
る。
【００２３】図２は装置停止時における各電磁開閉器の
状態を示している。無停電電源１０は、電磁開閉器８の
一次側で分電されたＡＣを、無停電電源１０でＡＣ／Ｄ
Ｃ変換して２４ボルトのDCに変換する。ＤＣに変換され
た後、内蔵バッテリの充電と共に電源制御部１１及び本
体制御部４へ給電する。
状態を示している。無停電電源１０は、電磁開閉器８の
一次側で分電されたＡＣを、無停電電源１０でＡＣ／Ｄ
Ｃ変換して２４ボルトのDCに変換する。ＤＣに変換され
た後、内蔵バッテリの充電と共に電源制御部１１及び本
体制御部４へ給電する。
【００２４】次に上記構成において、電源投入時の動作
について説明する。設備電源２３が給電された状態でオ
ペレータが電源ONスイッチ１７ａを操作すると、電源制
御部１１が第２電磁開閉器１４の電磁コイルへの通電を
行なう。すると第２電磁開閉器１４が開状態から閉状態
に切り替わり、これに伴って電磁開閉器８の電磁コイル
に通電され、電磁開閉器８も開状態から閉状態に切り替
わる。こうして本体電源部６、空調装置４及び光源装置
１３のそれぞれへの給電が開始され、半導体デバイス製
造のための露光処理が行なわれる。通常の装置停止はオ
ペレータが電源OFFスイッチ１７ｂを押すことによって
なされる。
について説明する。設備電源２３が給電された状態でオ
ペレータが電源ONスイッチ１７ａを操作すると、電源制
御部１１が第２電磁開閉器１４の電磁コイルへの通電を
行なう。すると第２電磁開閉器１４が開状態から閉状態
に切り替わり、これに伴って電磁開閉器８の電磁コイル
に通電され、電磁開閉器８も開状態から閉状態に切り替
わる。こうして本体電源部６、空調装置４及び光源装置
１３のそれぞれへの給電が開始され、半導体デバイス製
造のための露光処理が行なわれる。通常の装置停止はオ
ペレータが電源OFFスイッチ１７ｂを押すことによって
なされる。
【００２５】次に、装置稼働中に緊急停止スイッチが押
された場合の緊急停止の動作について説明する。装置稼
働中に、オペレータによって緊急停止スイッチ１８ａ又
は１８ｂが押される（閉状態から開状態に切り替わ
る）、あるいは装置異常を示す過温度検出（接点端子１
９が開になる）された場合、電源制御部１１は第２電磁
開閉器１４の電磁コイルへの給電を停止し、それに伴っ
て第１電磁開閉器８は閉状態から開状態に切り替わり、
本体電源部６、空調装置３及び光源装置１３のそれぞれ
への給電が停止される。更に本体制御部４への給電は、
第２電磁開閉器１４と連動するリレ−１６ａが開状態に
なる事により停止される。停電検出回路１５からの信号
は第２電磁開閉器１４と連動するリレ−１６ｂが開状態
になる事により遮断される。これによって、緊急停止の
場合は、電源遮断デバイスである第１電磁開閉器８の一
次側、及び緊急停止回路である電源制御部１１を除き、
設備電源からの装置への給電を完全に遮断することにな
り、高い安全性を確保できる。
された場合の緊急停止の動作について説明する。装置稼
働中に、オペレータによって緊急停止スイッチ１８ａ又
は１８ｂが押される（閉状態から開状態に切り替わ
る）、あるいは装置異常を示す過温度検出（接点端子１
９が開になる）された場合、電源制御部１１は第２電磁
開閉器１４の電磁コイルへの給電を停止し、それに伴っ
て第１電磁開閉器８は閉状態から開状態に切り替わり、
本体電源部６、空調装置３及び光源装置１３のそれぞれ
への給電が停止される。更に本体制御部４への給電は、
第２電磁開閉器１４と連動するリレ−１６ａが開状態に
なる事により停止される。停電検出回路１５からの信号
は第２電磁開閉器１４と連動するリレ−１６ｂが開状態
になる事により遮断される。これによって、緊急停止の
場合は、電源遮断デバイスである第１電磁開閉器８の一
次側、及び緊急停止回路である電源制御部１１を除き、
設備電源からの装置への給電を完全に遮断することにな
り、高い安全性を確保できる。
【００２６】次に、装置稼働中に設備電源２３に予期し
ない停電が発生した場合について説明する。この場合、
設備電源の電力供給停止と同時に第１電磁開閉器８の電
磁コイルへの通電も停止するため、第１電磁開閉器８は
開状態になって、空調装置３、製造装置本体６及び光源
装置１３への給電ラインが遮断される。一方、停電検出
回路１５、電源制御部１１及び本体制御部４は無停電電
源１０からのバックアップ給電が維持されて定常状態を
保つ。このとき第２電磁開閉器１４が閉状態を維持する
のが、上記緊急停止時との大きな相違点である。本体制
御部４は、停電検出回路１５にて検出された設備電源の
停電を知らせる信号により製造装置本体や空調装置の動
作パラメータなどを保存して維持する。
ない停電が発生した場合について説明する。この場合、
設備電源の電力供給停止と同時に第１電磁開閉器８の電
磁コイルへの通電も停止するため、第１電磁開閉器８は
開状態になって、空調装置３、製造装置本体６及び光源
装置１３への給電ラインが遮断される。一方、停電検出
回路１５、電源制御部１１及び本体制御部４は無停電電
源１０からのバックアップ給電が維持されて定常状態を
保つ。このとき第２電磁開閉器１４が閉状態を維持する
のが、上記緊急停止時との大きな相違点である。本体制
御部４は、停電検出回路１５にて検出された設備電源の
停電を知らせる信号により製造装置本体や空調装置の動
作パラメータなどを保存して維持する。
【００２７】その後、設備電源２３が停電状態から復電
状態になった場合には、第２電磁開閉器１４が閉状態を
維持しているために、第１電磁開閉器８の電磁コイルに
通電されて第１電磁開閉器８が再び閉状態になって、空
調装置３及び半導体製造装置本体６、及び光源装置１３
への給電が再開される。再開の際には、本体制御部４で
保存した停電直前の動作パラメータに基づいて稼動開始
するために、速やかに稼動を復帰させることができる。
状態になった場合には、第２電磁開閉器１４が閉状態を
維持しているために、第１電磁開閉器８の電磁コイルに
通電されて第１電磁開閉器８が再び閉状態になって、空
調装置３及び半導体製造装置本体６、及び光源装置１３
への給電が再開される。再開の際には、本体制御部４で
保存した停電直前の動作パラメータに基づいて稼動開始
するために、速やかに稼動を復帰させることができる。
【００２８】ここで、電源制御部１１及び本体制御部４
はタイマ装置を内蔵しており、停電検出回路１５での停
電検出後、ある所定時間（例えば７秒）内に停電検出回
路１５で復電が検知されたら自動的に再起動を行なう。
もし、タイマ装置で設定した所定時間を越えて停電状態
が続いた場合は、その後に停電検出回路１５で復電が検
出されたとしても製造装置本体１、空調装置３及び光源
装置１３を自動再起動させずに、緊急停止回路が作動し
た時と同様に、オペレータが電源スイッチを操作しない
と再起動しないようにする。なお、上記タイマ装置での
再起動までの要否を決定する所定時間は、コンマ数秒〜
数十分の範囲で自由に設定することができる。
はタイマ装置を内蔵しており、停電検出回路１５での停
電検出後、ある所定時間（例えば７秒）内に停電検出回
路１５で復電が検知されたら自動的に再起動を行なう。
もし、タイマ装置で設定した所定時間を越えて停電状態
が続いた場合は、その後に停電検出回路１５で復電が検
出されたとしても製造装置本体１、空調装置３及び光源
装置１３を自動再起動させずに、緊急停止回路が作動し
た時と同様に、オペレータが電源スイッチを操作しない
と再起動しないようにする。なお、上記タイマ装置での
再起動までの要否を決定する所定時間は、コンマ数秒〜
数十分の範囲で自由に設定することができる。
【００２９】なお、再起動に際しては、最初に空調装置
３を起動して、続いて半導体製造装置本体１、及び光源
装置１３を自動的に再稼働させるようにしても良い。最
初に空調装置３を優先的に再起動させる理由は、空調装
置３による恒温チャンバ２内の環境を定常状態に戻すの
に一番時間を要するためである。
３を起動して、続いて半導体製造装置本体１、及び光源
装置１３を自動的に再稼働させるようにしても良い。最
初に空調装置３を優先的に再起動させる理由は、空調装
置３による恒温チャンバ２内の環境を定常状態に戻すの
に一番時間を要するためである。
【００３０】なお、無停電電源１０の内蔵バッテリは、
停電時に設備電源２３が商用電源から自家発電電源に切
り替わるまでの最大２０分間だけ瞬断なく電源制御部１
１及び本体制御部４へ給電するだけの容量を持ってい
る。冒頭に説明したように、設備電源は、ディーゼル発
電機などの自家発電機をバックアップとして備えている
が、自家発電機の起動には所定の立ち上げ時間（通常１
０分程度）を要するために、電源が停止してバックアッ
プ電源が電力供給を開示するまでの切替え期間中は電力
供給が停止される。そこで、無停電電源１０の内蔵バッ
テリは該切替え期間（例えば１０分）よりも長い時間
（例えば２０分）だけ電力を供給できる容量を備えてい
る。
停電時に設備電源２３が商用電源から自家発電電源に切
り替わるまでの最大２０分間だけ瞬断なく電源制御部１
１及び本体制御部４へ給電するだけの容量を持ってい
る。冒頭に説明したように、設備電源は、ディーゼル発
電機などの自家発電機をバックアップとして備えている
が、自家発電機の起動には所定の立ち上げ時間（通常１
０分程度）を要するために、電源が停止してバックアッ
プ電源が電力供給を開示するまでの切替え期間中は電力
供給が停止される。そこで、無停電電源１０の内蔵バッ
テリは該切替え期間（例えば１０分）よりも長い時間
（例えば２０分）だけ電力を供給できる容量を備えてい
る。
【００３１】また、製造工場は短時間の停電のための無
停電電源（ＤＣ）を備えている場合もある。そこで上記
実施例の無停電電源１０を工場設備側の無停電電源に置
き換えてるようにしても良い。図３はその例を示す構成
図であり、図１と同一の符号は同一の部材を表わすので
重複する説明は省略する。図３において、２４は工場が
備える設備無停電電源、５１は無停電電源ボックスであ
り、設備無停電電源２４からの供給ＤＣを２４ボルトの
ＤＣに変換するトランス等が含まれている。
停電電源（ＤＣ）を備えている場合もある。そこで上記
実施例の無停電電源１０を工場設備側の無停電電源に置
き換えてるようにしても良い。図３はその例を示す構成
図であり、図１と同一の符号は同一の部材を表わすので
重複する説明は省略する。図３において、２４は工場が
備える設備無停電電源、５１は無停電電源ボックスであ
り、設備無停電電源２４からの供給ＤＣを２４ボルトの
ＤＣに変換するトランス等が含まれている。
【００３２】以上説明した本実施例は、緊急停止スイッ
チによる緊急停止回路を備えた半導体製造装置であっ
て、停電によって半導体製造装置の稼動が停止した場合
は停電回復後に自動的に半導体製造装置を再起動させ、
一方、該緊急停止回路によって半導体製造装置の稼動が
停止した場合には 停電回復後にも自動的には半導体製
造装置を再起動させないようにする制御装置を有する構
成となっている。見方を変えれば、緊急停止スイッチに
よる緊急停止機能を備えた製造装置への電力供給システ
ムであって、停電によって該製造装置の稼動が停止した
場合は停電回復後に自動的に該製造装置に電力を再供給
し、一方、該緊急停止機能によって該製造装置の稼動が
停止した場合には停電回復後に自動的には該製造装置に
電力を再供給しないようにした、ものとなっている。
チによる緊急停止回路を備えた半導体製造装置であっ
て、停電によって半導体製造装置の稼動が停止した場合
は停電回復後に自動的に半導体製造装置を再起動させ、
一方、該緊急停止回路によって半導体製造装置の稼動が
停止した場合には 停電回復後にも自動的には半導体製
造装置を再起動させないようにする制御装置を有する構
成となっている。見方を変えれば、緊急停止スイッチに
よる緊急停止機能を備えた製造装置への電力供給システ
ムであって、停電によって該製造装置の稼動が停止した
場合は停電回復後に自動的に該製造装置に電力を再供給
し、一方、該緊急停止機能によって該製造装置の稼動が
停止した場合には停電回復後に自動的には該製造装置に
電力を再供給しないようにした、ものとなっている。
【００３３】これにより、停電や電源故障などの予期せ
ぬ要因で電力の供給が停止された場合にも、安全性を損
なうことなく稼動再開までの時間を短縮することが出来
るシステムを提供することができる。また、緊急停止回
路の作動によって緊急停止した場合には、オペレータに
よる電源再投入をしない限り再起動はしないため、装置
暴走などのない安全性の高いシステムとなっている。す
なわち本システムは安全性と生産性を高い次元で両立す
ることに成功している。
ぬ要因で電力の供給が停止された場合にも、安全性を損
なうことなく稼動再開までの時間を短縮することが出来
るシステムを提供することができる。また、緊急停止回
路の作動によって緊急停止した場合には、オペレータに
よる電源再投入をしない限り再起動はしないため、装置
暴走などのない安全性の高いシステムとなっている。す
なわち本システムは安全性と生産性を高い次元で両立す
ることに成功している。
【００３４】＜実施例２＞次に上記説明した製造装置を
利用したデバイス製造方法の例を説明する。
利用したデバイス製造方法の例を説明する。
【００３５】図４は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半
導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マ
イクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１
（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行なう。ス
テップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成し
たマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）
ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造す
る。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、
上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技
術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステ
ップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によ
って作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程
であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップ７）される。
導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マ
イクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１
（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行なう。ス
テップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成し
たマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）
ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造す
る。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、
上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技
術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステ
ップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によ
って作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程
であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップ７）される。
【００３６】図５は上記ウエハプロセスの詳細なフロー
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハにレジストを塗布する。ス
テップ１６（露光）では露光装置によってマスクの回路
パターンをウエハの複数のショット領域に並べて焼付露
光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現
像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジ
スト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト
剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを
取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによ
って、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。本
実施例の生産方法を用いれば、従来は製造が難しかった
高精度デバイスを高い安全性、さらには生産性すなわち
低コストで製造することができる。
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハにレジストを塗布する。ス
テップ１６（露光）では露光装置によってマスクの回路
パターンをウエハの複数のショット領域に並べて焼付露
光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現
像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジ
スト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト
剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを
取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによ
って、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。本
実施例の生産方法を用いれば、従来は製造が難しかった
高精度デバイスを高い安全性、さらには生産性すなわち
低コストで製造することができる。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、安全性と生産性を高い
次元で両立することができる。例えば、稼働中の製造装
置を緊急停止させる際に、システムの暴走などを防ぎつ
つ安全に停止させることが出来る。また例えば停電や電
源故障などの予期せぬ要因で電力の供給が停止された場
合にも、安全性を損なうことなく稼動再開までの時間を
短縮することが出来る。
次元で両立することができる。例えば、稼働中の製造装
置を緊急停止させる際に、システムの暴走などを防ぎつ
つ安全に停止させることが出来る。また例えば停電や電
源故障などの予期せぬ要因で電力の供給が停止された場
合にも、安全性を損なうことなく稼動再開までの時間を
短縮することが出来る。
【００３８】本発明の別の形態によれば、高い安全性と
生産性を両立したデバイス製造方法や製造工場を提供す
ることができる。
生産性を両立したデバイス製造方法や製造工場を提供す
ることができる。
【図１】実施例の半導体製造装置の全体構成図
【図２】電源供給システムの構成図
【図３】変形例の構成図
【図４】デバイス製造の実施例のフロー図
【図５】ウエハプロセスの詳細なフローを示す図
１ 製造装置本体 ２ 恒温チャンバ ３ 空調装置 ４ 本体制御部 ５ 電力供給部 ６ 本体電源部 ７ メインブレーカ ８ 第１電磁開閉器 ９ 過電流保護器 １０ 無停電電源 １１ 電源制御部 １２ 過電流保護器 １３ 光源装置 １４ 第２電磁開閉器 １５ 停電検出回路 １６ａ，１６ｂ 第２電磁開閉器１４と連動したリレー １７ａ 電源ＯＮスイッチ １７ｂ 電源ＯＦＦスイッチ １８ａ，１８ｂ 緊急停止スイッチ １９ 過温度異常検知手段への接続端子 ２０ ビームライン ２１ 電源ケーブル ２２ 通信ケーブル ２３ 設備電源 ２４ 設備無停電電源
Claims (31)
- 【請求項１】 緊急停止スイッチによる緊急停止回路を
備えた製造装置であって、装置への電力の供給と遮断を
切り替える第１電磁開閉器と、該第１電磁開閉器の電磁
コイルへの給電を制御する第２電磁開閉器とを備え、該
第１電磁開閉器の電磁コイルには該第１電磁開閉器の一
次側から給電され、該第２電磁開閉器の電磁コイルには
該緊急停止回路を介して給電され、該緊急停止スイッチ
は該第２電磁開閉器の電磁コイルへの給電ライン途中に
設けられていることを特徴とする製造装置。 - 【請求項２】 前記第１電磁開閉器ならびに前記第２電
磁開閉器は、電磁コイルへの通電がない場合に開状態、
通電がある場合に閉状態になるリレーであり、前記緊急
停止スイッチは通常は閉でスイッチを押すと開になるス
イッチであることを特徴とする請求項１記載の製造装
置。 - 【請求項３】 前記緊急停止回路には製造装置の電源ス
イッチが接続されており、該緊急停止回路による緊急停
止時は該電源スイッチを操作しないと装置が起動しない
ことを特徴とする請求項１記載の製造装置。 - 【請求項４】 停電によって製造装置が稼動停止した場
合は、復電後に装置を自動再起動させる手段を備えるこ
とを特徴とする請求項1乃至３のいずれか記載の製造装
置。 - 【請求項５】 所定の時間内に停電が回復したら自動再
起動し、該時間内に停電が回復しない場合は自動起動し
ないようにする手段を有することを特徴とする請求項４
記載の製造装置。 - 【請求項６】 前記所定の時間を可変に設定する手段を
有することを特徴とする請求項５記載の製造装置。 - 【請求項７】 停電時にも前記緊急停止回路への給電を
可能とする無停電電源を備えることを特徴とする請求項
１乃至６のいずれか記載の製造装置。 - 【請求項８】 前記無停電電源は、設備電源からの電力
をＡＣ／ＤＣ変換する変換器とバッテリを有することを
特徴とする請求項７記載の製造装置。 - 【請求項９】 製造装置又はその空調装置の稼動を制御
する本体制御部を備え、該本体制御部には前記無停電電
源からの電力が供給され、該無停電電源からの給電を遮
断するスイッチが前記第２電磁開閉器と連動しているこ
とを特徴とする請求項７記載の製造装置。 - 【請求項１０】 製造装置本体を所定の環境下に維持す
るを空調装置を備え、前記第１電磁開閉器を介して該空
調装置に電力供給されることを特徴とする請求項１乃至
９のいずれか記載の製造装置。 - 【請求項１１】 製造装置の光源装置を備え、前記第１
電磁開閉器を介して該光源装置に電力供給されることを
特徴とする請求項１乃至１０のいずれか記載の製造装
置。 - 【請求項１２】 製造装置は半導体製造装置であること
を特徴とする請求項１乃至１１のいずれか記載の製造装
置。 - 【請求項１３】 半導体製造装置は半導体基板への露光
処理を行う露光装置を有することを特徴とする請求項１
２記載の製造装置。 - 【請求項１４】 緊急停止手段を備えた製造装置であっ
て、停電によって製造装置の稼動が停止した場合は停電
回復後に自動的に製造装置を再起動させ、一方、該緊急
停止手段によって製造装置の稼動が停止した場合には、
停電回復後にも自動的には製造装置を再起動させないよ
うにする制御装置を有することを特徴とする製造装置。 - 【請求項１５】 前記緊急停止手段は緊急停止スイッチ
の操作または装置異常検出によって作動することを特徴
とする請求項14記載の製造装置。 - 【請求項１６】 停電を検出する停電検出手段を備え、
該検出に基づいて前記自動再起動の要否を判断すること
を特徴とする請求項１４又は１５記載の製造装置。 - 【請求項１７】 所定の時間内に停電が回復したら自動
再起動し、該時間内に停電が回復しない場合は自動起動
しないようにする手段を有することを特徴とする請求項
１４乃至１６のいずれか記載の製造装置。 - 【請求項１８】 前記所定の時間を可変に設定する手段
を有することを特徴とする請求項１７記載の製造装置。 - 【請求項１９】 停電時にも前記緊急停止手段への給電
を可能とする無停電電源を備えることを特徴とする請求
項１４乃至１８のいずれか記載の製造装置。 - 【請求項２０】 製造装置本体もしくはその空調装置の
稼動を制御する本体制御部を備え、停電時には該本体制
御部に前記無停電電源から給電し、緊急停止時には該本
体制御部への給電を遮断することを特徴とする請求項１
９記載の製造装置。 - 【請求項２１】 製造装置を収納して所定の環境下に置
くためのチャンバを備え、停電回復後の再起動は該チャ
ンバの稼動を優先することを特徴とする請求項１４乃至
２０のいずれか記載の製造装置。 - 【請求項２２】 前記緊急停止手段によって製造装置の
稼動が停止した場合には、オペレータによる電源スイッ
チの投入がない限り製造装置を再起動しないことを特徴
とする請求項１４乃至２１のいずれか記載の製造装置。 - 【請求項２３】 製造装置は半導体基板への処理を行う
半導体製造装置を有することを特徴とする請求項１４乃
至２２のいずれか記載の製造装置。 - 【請求項２４】 半導体製造装置は半導体基板への露光
処理を行う露光装置を有することを特徴とする請求項２
３記載の製造装置。 - 【請求項２５】 緊急停止スイッチによる緊急停止機能
を備えた製造装置への電力供給システムであって、停電
によって該製造装置の稼動が停止した場合は停電回復後
に自動的に該製造装置に電力を再供給し、一方、該緊急
停止手段によって該製造装置の稼動が停止した場合には
停電回復後に自動的には該製造装置に電力を再供給しな
いようにしたことを特徴とする電力供給システム。 - 【請求項２６】 停電時にも前記緊急停止機能の制御部
への給電を可能とする無停電電源を備えることを特徴と
する請求項２５記載のシステム。 - 【請求項２７】 設備電源は主電源とバックアップ電源
を備え、該主電源での電力供給が停止したときには該バ
ックアップ電源に切替える機能を有し、前記無停電電源
は該切替えに要する時間よりも長い時間だけ電力を供給
できる容量を備えていることを特徴とする請求項２６記
載のシステム。 - 【請求項２８】 所定の時間内に停電が回復したら自動
再供給し、該時間内に停電が回復しない場合は自動再供
給しないようにする手段を有することを特徴とする請求
項２５乃至２７のいずれか記載のシステム。 - 【請求項２９】 前記所定の時間を可変に設定する手段
を有することを特徴とする請求２８項記載のシステム。 - 【請求項３０】 デバイスを製造する方法であって、請
求項１乃至２４のいずれか記載の製造装置を用意する工
程と、該装置を用いて半導体デバイスを製造する工程と
を含む製造工程によってデバイスを製造することを特徴
とするデバイス製造方法。 - 【請求項３１】 複数の製造装置が設置された製造工場
であって、請求項２５乃至２９のいずれか記載の電力供
給システムによって製造装置に電力が供給されるように
したことを特徴とする製造工場。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081379A JPH11285167A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 半導体デバイス等の製造装置と製造方法、ならびに電力供給システム |
| US09/274,111 US6304005B1 (en) | 1998-03-27 | 1999-03-23 | Power supply apparatus and method, and fabrication apparatus |
| EP99302382A EP0945960B1 (en) | 1998-03-27 | 1999-03-26 | Power supply apparatus with automatic reconnection after power source failure |
| KR1019990010623A KR100318837B1 (ko) | 1998-03-27 | 1999-03-26 | 전력공급장치 및 방법과 제조장치 |
| DE69927631T DE69927631T2 (de) | 1998-03-27 | 1999-03-26 | Leistungsversorgungsvorrichtung mit automatischer Zuschaltung nach Ausfall der Versorgungsspannung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081379A JPH11285167A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 半導体デバイス等の製造装置と製造方法、ならびに電力供給システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11285167A true JPH11285167A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13744677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10081379A Withdrawn JPH11285167A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 半導体デバイス等の製造装置と製造方法、ならびに電力供給システム |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6304005B1 (ja) |
| EP (1) | EP0945960B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11285167A (ja) |
| KR (1) | KR100318837B1 (ja) |
| DE (1) | DE69927631T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030054587A (ko) * | 2001-12-26 | 2003-07-02 | 동부전자 주식회사 | 전원 공급 시스템 |
| JP2012235614A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 制御装置、復電制御システム、及びプログラム |
| JP2019033588A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-28 | 富士電機株式会社 | 無停電電源装置 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002054464A1 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-11 | Nikon Corporation | Method and system for exposure |
| US6902107B2 (en) * | 2002-01-28 | 2005-06-07 | Datacard Corporation | Card personalization system and method |
| WO2004023625A1 (ja) * | 2002-09-04 | 2004-03-18 | Hitachi, Ltd. | 電力供給システムおよび停電時の電力供給方法 |
| WO2004025820A1 (ja) * | 2002-09-13 | 2004-03-25 | Tokyo Electron Limited | 回転駆動装置及び回転駆動方法 |
| US7352085B2 (en) * | 2003-08-12 | 2008-04-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Disconnection of electronic device from power source |
| EP3163375B1 (en) * | 2003-08-29 | 2019-01-09 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and exposure method |
| US7411653B2 (en) | 2003-10-28 | 2008-08-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
| US8902568B2 (en) | 2006-09-27 | 2014-12-02 | Covidien Lp | Power supply interface system for a breathing assistance system |
| US7847683B2 (en) * | 2007-09-12 | 2010-12-07 | International Business Machines Corporation | Emergency machine off feature with safety control interface |
| US7962772B2 (en) | 2008-02-07 | 2011-06-14 | Ainet Registry, Llc | Backup power system and method |
| US8302600B2 (en) | 2008-09-30 | 2012-11-06 | Nellcor Puritan Bennett Llc | Battery management for a breathing assistance system |
| DK2382514T3 (en) | 2008-12-23 | 2019-02-04 | Xoma Us Llc | Flexible production system |
| US8776790B2 (en) | 2009-07-16 | 2014-07-15 | Covidien Lp | Wireless, gas flow-powered sensor system for a breathing assistance system |
| JP5879264B2 (ja) | 2009-08-16 | 2016-03-08 | ジー−コン マニュファクチャリング インク． | モジュール式、独立式、移動式クリーンルーム |
| US9795957B2 (en) | 2009-08-16 | 2017-10-24 | G-Con Manufacturing, Inc. | Modular, self-contained, mobile clean room |
| JP5486604B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2014-05-07 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 無停電電源装置 |
| US8547062B2 (en) | 2009-12-02 | 2013-10-01 | Covidien Lp | Apparatus and system for a battery pack assembly used during mechanical ventilation |
| CN102332749B (zh) * | 2010-12-31 | 2014-01-15 | 上海源致信息技术有限公司 | 控制设备及其电源管理装置及方法 |
| USD775345S1 (en) | 2015-04-10 | 2016-12-27 | Covidien Lp | Ventilator console |
| AU2020329233B2 (en) | 2019-08-15 | 2022-07-07 | G-Con Manufacturing, Inc. | Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room |
| US11492795B2 (en) | 2020-08-31 | 2022-11-08 | G-Con Manufacturing, Inc. | Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4384213A (en) * | 1976-07-19 | 1983-05-17 | Westinghouse Electric Corp. | Automatic transfer control device |
| US4423336A (en) | 1982-05-17 | 1983-12-27 | Mcgraw-Edison Company | Electromechanically controlled automatic transfer switch and bypass switch assembly |
| CA1228119A (en) | 1983-08-16 | 1987-10-13 | Tadao Shibuya | Power supply equipment backup system for interruption of service |
| JPS6043026A (ja) | 1983-08-16 | 1985-03-07 | 株式会社明電舎 | インバ−タ制御装置 |
| DE4223435C2 (de) | 1992-05-22 | 1994-06-01 | Ferag Ag | Sicherheitsabschaltsystem |
| DE19540069A1 (de) | 1995-10-27 | 1997-04-30 | Elan Schaltelemente Gmbh | Anordnung zur Erfassung und/oder Verarbeitung von Signalen elektrischer Bauteile, die sicherheitstechnische Zwecke oder Auflagen für Geräte oder Anlagen erfüllen |
| US5739594A (en) * | 1996-02-07 | 1998-04-14 | Zenith Controls, Inc. | Controller for automatic transfer switches |
| US5767591A (en) * | 1996-09-09 | 1998-06-16 | Active Power, Inc. | Method and apparatus for providing startup power to a genset-backed uninterruptible power supply |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP10081379A patent/JPH11285167A/ja not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-03-23 US US09/274,111 patent/US6304005B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-26 KR KR1019990010623A patent/KR100318837B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-26 DE DE69927631T patent/DE69927631T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-26 EP EP99302382A patent/EP0945960B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030054587A (ko) * | 2001-12-26 | 2003-07-02 | 동부전자 주식회사 | 전원 공급 시스템 |
| JP2012235614A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 制御装置、復電制御システム、及びプログラム |
| JP2019033588A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-28 | 富士電機株式会社 | 無停電電源装置 |
Also Published As
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