JPH11286693A - ワイヤソー用加工液 - Google Patents
ワイヤソー用加工液Info
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- JPH11286693A JPH11286693A JP9208098A JP9208098A JPH11286693A JP H11286693 A JPH11286693 A JP H11286693A JP 9208098 A JP9208098 A JP 9208098A JP 9208098 A JP9208098 A JP 9208098A JP H11286693 A JPH11286693 A JP H11286693A
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- JP
- Japan
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- working fluid
- cutting
- wire saw
- viscosity
- fluid composition
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
- B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lubricants (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤソーでの切断後に得られる加工液が付着
したスライス品の洗浄が容易であり、加工液の粘度変化
が少なく、切断性能を向上させうるワイヤソー用加工
液、ワイヤソー用加工液組成物及びインゴットの切断方
法を提供すること。 【解決手段】一般式（Ｉ）： Ｒ1 Ｏ（ＥＯ）m （ＡＯ）n Ｒ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1 及びＲ2 は、それぞれ同一でも異なってい
てもよい水素原子又は炭素数１〜２４の炭化水素基で、
少なくとも１つは炭化水素基、ＥＯはオキシエチレン
基、ＡＯは炭素数３若しくは４のオキシアルキレン基、
（ＥＯ）m （ＡＯ） n はｍ個のＥＯ、ｎ個のＡＯのラン
ダム体又はブロック体、ｍ及びｎはそれぞれ１〜５０の
整数、ｍとｎとの和は４〜１００の整数、ｎが２以上の
ときｎ個のＡＯは同一でも異なっていてもよい）で表さ
れるポリエーテル化合物を含有したワイヤソー用加工
液、ワイヤソー用加工液組成物及びインゴットの切断方
法。
したスライス品の洗浄が容易であり、加工液の粘度変化
が少なく、切断性能を向上させうるワイヤソー用加工
液、ワイヤソー用加工液組成物及びインゴットの切断方
法を提供すること。 【解決手段】一般式（Ｉ）： Ｒ1 Ｏ（ＥＯ）m （ＡＯ）n Ｒ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1 及びＲ2 は、それぞれ同一でも異なってい
てもよい水素原子又は炭素数１〜２４の炭化水素基で、
少なくとも１つは炭化水素基、ＥＯはオキシエチレン
基、ＡＯは炭素数３若しくは４のオキシアルキレン基、
（ＥＯ）m （ＡＯ） n はｍ個のＥＯ、ｎ個のＡＯのラン
ダム体又はブロック体、ｍ及びｎはそれぞれ１〜５０の
整数、ｍとｎとの和は４〜１００の整数、ｎが２以上の
ときｎ個のＡＯは同一でも異なっていてもよい）で表さ
れるポリエーテル化合物を含有したワイヤソー用加工
液、ワイヤソー用加工液組成物及びインゴットの切断方
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、遊離砥粒を利用し
てワイヤソーで被加工物を切断するときに用いるワイヤ
ソー用加工液、加工液組成物及び該加工液組成物を用い
たインゴットの切断方法に関する。
てワイヤソーで被加工物を切断するときに用いるワイヤ
ソー用加工液、加工液組成物及び該加工液組成物を用い
たインゴットの切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、遊離砥粒を利用してワイヤソーで
シリコンインゴット等を切断するときに用いる加工液と
しては、主に鉱物油を主成分とする非水溶性加工液が用
いられているため、切断後に得られるスライス品には、
前記非水溶性加工液が付着しており、前記非水溶性加工
液が付着したスライス品の洗浄には、有機溶剤や特殊な
洗浄剤を用いざるを得なかった。
シリコンインゴット等を切断するときに用いる加工液と
しては、主に鉱物油を主成分とする非水溶性加工液が用
いられているため、切断後に得られるスライス品には、
前記非水溶性加工液が付着しており、前記非水溶性加工
液が付着したスライス品の洗浄には、有機溶剤や特殊な
洗浄剤を用いざるを得なかった。
【０００３】前記スライス品の洗浄を簡便にするため
に、水溶性加工液が開発されてきた（特開平３−１８１
５９８号公報等）。しかし、加工液に含有された水分の
揮発、温度変化、ワイヤソーのシェア速度変化等による
粘度変化が大きく、切断性能が劣るという問題があっ
た。
に、水溶性加工液が開発されてきた（特開平３−１８１
５９８号公報等）。しかし、加工液に含有された水分の
揮発、温度変化、ワイヤソーのシェア速度変化等による
粘度変化が大きく、切断性能が劣るという問題があっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術に鑑みてなされたものであり、ワイヤソーでの切断後
に得られる加工液が付着したスライス品の洗浄が容易で
あり、加工液の粘度変化が少なく、切断性能を向上させ
うるワイヤソー用加工液、該加工液を用いたワイヤソー
用加工液組成物及びインゴットの切断方法を提供するこ
とを目的とする。
術に鑑みてなされたものであり、ワイヤソーでの切断後
に得られる加工液が付着したスライス品の洗浄が容易で
あり、加工液の粘度変化が少なく、切断性能を向上させ
うるワイヤソー用加工液、該加工液を用いたワイヤソー
用加工液組成物及びインゴットの切断方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、特定の構
造を有する水溶性ポリエーテル化合物を配合した加工液
により、前記目的が達成されることを見出した。
造を有する水溶性ポリエーテル化合物を配合した加工液
により、前記目的が達成されることを見出した。
【０００６】即ち、本発明の要旨は、（１） 一般式
（Ｉ）： Ｒ1 Ｏ（ＥＯ）m （ＡＯ）n Ｒ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1 及びＲ2 は、それぞれ同一でも異なってい
てもよい水素原子又は炭素数１〜２４の炭化水素基を示
し、少なくとも１つは炭化水素基であり、ＥＯはオキシ
エチレン基、ＡＯは炭素数３若しくは４のオキシアルキ
レン基、（ＥＯ） m （ＡＯ）n はｍ個のＥＯ、ｎ個のＡ
Ｏからなるランダム体又はブロック体を示し、ｍ及びｎ
はそれぞれ１〜５０の整数、ｍとｎとの和は４〜１００
の整数、ｎが２以上のときｎ個のＡＯは同一でも異なっ
ていてもよい）で表わされるポリエーテル化合物を含有
してなるワイヤソー用加工液、（２） 前記（１）記載
の加工液及び砥粒を含有してなるワイヤソー用加工液組
成物、（３） 前記（１）又は（２）記載のワイヤソー
用加工液組成物を用いてインゴットを切断することを特
徴とするインゴットの切断方法、に関する。
（Ｉ）： Ｒ1 Ｏ（ＥＯ）m （ＡＯ）n Ｒ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1 及びＲ2 は、それぞれ同一でも異なってい
てもよい水素原子又は炭素数１〜２４の炭化水素基を示
し、少なくとも１つは炭化水素基であり、ＥＯはオキシ
エチレン基、ＡＯは炭素数３若しくは４のオキシアルキ
レン基、（ＥＯ） m （ＡＯ）n はｍ個のＥＯ、ｎ個のＡ
Ｏからなるランダム体又はブロック体を示し、ｍ及びｎ
はそれぞれ１〜５０の整数、ｍとｎとの和は４〜１００
の整数、ｎが２以上のときｎ個のＡＯは同一でも異なっ
ていてもよい）で表わされるポリエーテル化合物を含有
してなるワイヤソー用加工液、（２） 前記（１）記載
の加工液及び砥粒を含有してなるワイヤソー用加工液組
成物、（３） 前記（１）又は（２）記載のワイヤソー
用加工液組成物を用いてインゴットを切断することを特
徴とするインゴットの切断方法、に関する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明のワイヤソー用加工液にお
いては、一般式（Ｉ）で表わされるポリエーテル化合物
を用いることによって、切断後に得られたスライス品に
付着した加工液を容易に洗浄することができ、ワイヤソ
ー中のウレタン等の部材への適合性が高く、加工液の粘
度変化が小さく、切断性能に優れるという優れた性質を
発揮する。
いては、一般式（Ｉ）で表わされるポリエーテル化合物
を用いることによって、切断後に得られたスライス品に
付着した加工液を容易に洗浄することができ、ワイヤソ
ー中のウレタン等の部材への適合性が高く、加工液の粘
度変化が小さく、切断性能に優れるという優れた性質を
発揮する。
【０００８】前記一般式（Ｉ）において、Ｒ1 及びＲ2
は、それぞれ水素原子又は炭素数１〜２４の炭化水素基
を表わす。また、前記Ｒ1 及びＲ2 はそれぞれ同一でも
異なっていてもよいが、砥粒を含有した加工液組成物の
粘度変化を低減する観点から、少なくとも一方は炭化水
素基であることが望ましい。
は、それぞれ水素原子又は炭素数１〜２４の炭化水素基
を表わす。また、前記Ｒ1 及びＲ2 はそれぞれ同一でも
異なっていてもよいが、砥粒を含有した加工液組成物の
粘度変化を低減する観点から、少なくとも一方は炭化水
素基であることが望ましい。
【０００９】前記炭化水素基の炭素数は、切断性能を十
分に発揮させる観点から、１以上であり、切断後に得ら
れたスライス品の洗浄を容易にする観点から、２４以
下、好ましくは２２以下、さらに好ましくは１８以下で
あることが望ましい。前記炭化水素基は、脂肪族及び芳
香族のいずれの基であってもよい。また、脂肪族におい
ては、飽和及び不飽和のいずれの基であってもよく、直
鎖及び分岐鎖のいずれの基であってもよい。
分に発揮させる観点から、１以上であり、切断後に得ら
れたスライス品の洗浄を容易にする観点から、２４以
下、好ましくは２２以下、さらに好ましくは１８以下で
あることが望ましい。前記炭化水素基は、脂肪族及び芳
香族のいずれの基であってもよい。また、脂肪族におい
ては、飽和及び不飽和のいずれの基であってもよく、直
鎖及び分岐鎖のいずれの基であってもよい。
【００１０】前記一般式（Ｉ）において、ＥＯは、オキ
シエチレン基を示し、ＡＯは、炭素数３若しくは４のオ
キシアルキレン基を示す。前記オキシアルキレン基とし
ては、オキシプロピレン基又はオキシブチレン基があげ
られる。また、前記一般式（Ｉ）において、（ＥＯ）m
（ＡＯ）n は、ｍ個のオキシエチレン基、ｎ個のオキシ
アルキレン基からなるランダム体又はブロック体を示
す。
シエチレン基を示し、ＡＯは、炭素数３若しくは４のオ
キシアルキレン基を示す。前記オキシアルキレン基とし
ては、オキシプロピレン基又はオキシブチレン基があげ
られる。また、前記一般式（Ｉ）において、（ＥＯ）m
（ＡＯ）n は、ｍ個のオキシエチレン基、ｎ個のオキシ
アルキレン基からなるランダム体又はブロック体を示
す。
【００１１】前記ｍ及びｎはそれぞれ１〜５０の整数で
ある。切断した後のスライス品の洗浄の容易さの観点か
ら、ｍは１以上であり、加工液の低温流動性の観点か
ら、ｎは１以上であることが望ましく、加工液組成物の
流動性の観点から、ｍ及びｎはそれぞれ５０以下である
ことが望ましい。
ある。切断した後のスライス品の洗浄の容易さの観点か
ら、ｍは１以上であり、加工液の低温流動性の観点か
ら、ｎは１以上であることが望ましく、加工液組成物の
流動性の観点から、ｍ及びｎはそれぞれ５０以下である
ことが望ましい。
【００１２】ｍとｎとの和は、加工液とウレタン等の部
材との適合性の観点から、４以上であり、砥粒を含有し
た加工液組成物の粘度変化を低減させる観点から、及
び、加工液組成物の流動性の観点から１００以下であ
る。
材との適合性の観点から、４以上であり、砥粒を含有し
た加工液組成物の粘度変化を低減させる観点から、及
び、加工液組成物の流動性の観点から１００以下であ
る。
【００１３】ｎが２以上の整数である場合、ｎ個のオキ
シアルキレン基は同一でも異なっていてもよい。異なる
場合は、ランダム体であってもブロック体であってもよ
い。
シアルキレン基は同一でも異なっていてもよい。異なる
場合は、ランダム体であってもブロック体であってもよ
い。
【００１４】前記一般式（Ｉ）で表わされるポリエーテ
ル化合物は、例えば、ＫＯＨ等を触媒として用い、１価
アルコールやフェノールにアルキレンオキサイド化合物
を付加することによって得ることができる。
ル化合物は、例えば、ＫＯＨ等を触媒として用い、１価
アルコールやフェノールにアルキレンオキサイド化合物
を付加することによって得ることができる。
【００１５】本発明の加工液においては、前記ポリエー
テル化合物を単独で又は２種以上を混合して用いてもよ
い。前記ポリエーテル化合物を上記の方法で製造した場
合、得られたポリエーテル化合物中のオキシエチレン基
及びオキシプロピレン基の付加モル数は分布を有する。
その場合、前記ポリエーテル化合物が５０重量％以上、
さらに好ましくは７０重量％以上含まれることが望まし
い。
テル化合物を単独で又は２種以上を混合して用いてもよ
い。前記ポリエーテル化合物を上記の方法で製造した場
合、得られたポリエーテル化合物中のオキシエチレン基
及びオキシプロピレン基の付加モル数は分布を有する。
その場合、前記ポリエーテル化合物が５０重量％以上、
さらに好ましくは７０重量％以上含まれることが望まし
い。
【００１６】また、本発明の加工液は、前記ポリエーテ
ル化合物を主成分とするものであり、前記化合物の含有
量は、５０重量％以上、好ましくは７０重量％以上、さ
らに好ましくは９０重量％以上であることが望ましい。
ル化合物を主成分とするものであり、前記化合物の含有
量は、５０重量％以上、好ましくは７０重量％以上、さ
らに好ましくは９０重量％以上であることが望ましい。
【００１７】本発明の加工液においては、前記一般式
（Ｉ）で表わされる化合物に加えて、必要に応じて、例
えば、増粘剤、分散剤、防錆剤、キレート剤、塩基性物
質、界面活性剤等の添加剤を配合することができる。前
記添加剤においては、前記ポリエーテル化合物と反応す
るものであっても、反応により生じた化合物が本発明の
目的を妨げないものであれば配合してもよい。
（Ｉ）で表わされる化合物に加えて、必要に応じて、例
えば、増粘剤、分散剤、防錆剤、キレート剤、塩基性物
質、界面活性剤等の添加剤を配合することができる。前
記添加剤においては、前記ポリエーテル化合物と反応す
るものであっても、反応により生じた化合物が本発明の
目的を妨げないものであれば配合してもよい。
【００１８】また、本発明の加工液に砥粒を含有させて
ワイヤソー用加工液組成物として用いる場合において
は、前記添加剤は、砥粒と反応するものであっても、反
応により生じた化合物が本発明の目的を妨げないもので
あれば配合してもよい。
ワイヤソー用加工液組成物として用いる場合において
は、前記添加剤は、砥粒と反応するものであっても、反
応により生じた化合物が本発明の目的を妨げないもので
あれば配合してもよい。
【００１９】本発明の加工液においては、前記ポリエー
テル化合物及び必要に応じて配合される前記添加剤の媒
体として、水溶性の有機化合物を任意に使用してもよ
い。
テル化合物及び必要に応じて配合される前記添加剤の媒
体として、水溶性の有機化合物を任意に使用してもよ
い。
【００２０】任意に使用される前記媒体の配合量は、加
工液中の前記ポリエーテル化合物及び必要に応じて配合
される前記添加剤の残部であればよい。
工液中の前記ポリエーテル化合物及び必要に応じて配合
される前記添加剤の残部であればよい。
【００２１】本発明のワイヤソー用加工液組成物は、本
発明のワイヤソー用加工液及び砥粒を含有したものであ
る。本発明のワイヤソー用加工液組成物においては、本
発明のワイヤソー用加工液を用いるため、切断後に得ら
れたスライス品に付着した加工液組成物を容易に洗浄す
ることができ、ワイヤソー中のウレタン等の部材への適
合性が高く、加工液組成物の粘度変化が小さく、切断性
能に優れるという優れた性質を発揮する。
発明のワイヤソー用加工液及び砥粒を含有したものであ
る。本発明のワイヤソー用加工液組成物においては、本
発明のワイヤソー用加工液を用いるため、切断後に得ら
れたスライス品に付着した加工液組成物を容易に洗浄す
ることができ、ワイヤソー中のウレタン等の部材への適
合性が高く、加工液組成物の粘度変化が小さく、切断性
能に優れるという優れた性質を発揮する。
【００２２】本発明の加工液組成物における本発明の加
工液の配合量は、切断速度、切断面の形状等の要求品質
等に応じて種々選択することができるが、好ましくは３
０重量％以上、さらに好ましくは４０重量％以上であ
り、また、好ましくは７０重量％以下、さらに好ましく
は６０重量％以下であることが望ましい。
工液の配合量は、切断速度、切断面の形状等の要求品質
等に応じて種々選択することができるが、好ましくは３
０重量％以上、さらに好ましくは４０重量％以上であ
り、また、好ましくは７０重量％以下、さらに好ましく
は６０重量％以下であることが望ましい。
【００２３】前記砥粒としては、研磨用に一般に使用さ
れる砥粒を用いることができる。前記砥粒としては、例
えば、金属、金属又は半金属の炭化物、金属又は半金属
の窒化物、金属又は半金属の酸化物、金属又は半金属の
ホウ化物、ダイヤモンド等の研磨用に一般に使用される
砥粒があげられる。前記金属又は半金属としては、周期
律表の３Ａ、４Ａ、５Ａ、３Ｂ、４Ｂ、５Ｂ、６Ｂ、７
Ｂ又は８Ｂ族由来のものである。具体的には、アルミナ
粒子、ＳｉＣ粒子、ダイヤモンド粒子、ＭｇＯ粒子、酸
化セリウム粒子、酸化ジルコニウム粒子、コロイダルシ
リカ粒子、ヒュームドシリカ粒子等があげられ、切断速
度を向上させる観点からＳｉＣ粒子が好ましく、具体的
にはフジミインコーポレーテッド社製ＧＣ＃６００及び
ＧＣ＃８００が好ましい。
れる砥粒を用いることができる。前記砥粒としては、例
えば、金属、金属又は半金属の炭化物、金属又は半金属
の窒化物、金属又は半金属の酸化物、金属又は半金属の
ホウ化物、ダイヤモンド等の研磨用に一般に使用される
砥粒があげられる。前記金属又は半金属としては、周期
律表の３Ａ、４Ａ、５Ａ、３Ｂ、４Ｂ、５Ｂ、６Ｂ、７
Ｂ又は８Ｂ族由来のものである。具体的には、アルミナ
粒子、ＳｉＣ粒子、ダイヤモンド粒子、ＭｇＯ粒子、酸
化セリウム粒子、酸化ジルコニウム粒子、コロイダルシ
リカ粒子、ヒュームドシリカ粒子等があげられ、切断速
度を向上させる観点からＳｉＣ粒子が好ましく、具体的
にはフジミインコーポレーテッド社製ＧＣ＃６００及び
ＧＣ＃８００が好ましい。
【００２４】また、本発明の加工液組成物における砥粒
の配合量は、切断速度、切断面の形状等の要求品質等に
応じて種々選択することができるが、好ましくは３０重
量％以上、さらに好ましくは４０重量％以上であり、ま
た、好ましくは８０重量％以下、さらに７０重量％以下
であることが望ましい。
の配合量は、切断速度、切断面の形状等の要求品質等に
応じて種々選択することができるが、好ましくは３０重
量％以上、さらに好ましくは４０重量％以上であり、ま
た、好ましくは８０重量％以下、さらに７０重量％以下
であることが望ましい。
【００２５】本発明の加工液組成物においては、前記加
工液に加えて、必要に応じて、例えば、増粘剤、分散
剤、防錆剤、キレート剤、塩基性物質、界面活性剤等の
添加剤を配合することができる。前記添加剤において
は、前記加工液に配合される一般式（Ｉ）で表わされる
ポリエーテル化合物又は砥粒と反応するものであって
も、反応により生じた化合物が本発明の目的を妨げない
ものであれば配合してもよい。
工液に加えて、必要に応じて、例えば、増粘剤、分散
剤、防錆剤、キレート剤、塩基性物質、界面活性剤等の
添加剤を配合することができる。前記添加剤において
は、前記加工液に配合される一般式（Ｉ）で表わされる
ポリエーテル化合物又は砥粒と反応するものであって
も、反応により生じた化合物が本発明の目的を妨げない
ものであれば配合してもよい。
【００２６】本発明の加工液組成物においては、前記加
工液、砥粒、並びに必要に応じて配合される前記添加剤
の媒体として、水溶性有機物を任意に使用してもよい。
工液、砥粒、並びに必要に応じて配合される前記添加剤
の媒体として、水溶性有機物を任意に使用してもよい。
【００２７】任意に使用される前記媒体の配合量は、加
工液組成物中の前記加工液、砥粒、並びに必要に応じて
配合される前記添加剤の残部であればよい。
工液組成物中の前記加工液、砥粒、並びに必要に応じて
配合される前記添加剤の残部であればよい。
【００２８】本発明の加工液組成物は、例えば、シリコ
ン単結晶や多結晶、ＧａＡｓ、その他化合物半導体やセ
ラミックス等材質を有するインゴットの切断に用いるこ
とができる。
ン単結晶や多結晶、ＧａＡｓ、その他化合物半導体やセ
ラミックス等材質を有するインゴットの切断に用いるこ
とができる。
【００２９】本発明のインゴットの切断方法によれば、
本発明のワイヤソー用加工液組成物を用いるため、通常
使用されるワイヤソーによりシリコン単結晶等のインゴ
ットを効率よく切断することができる。
本発明のワイヤソー用加工液組成物を用いるため、通常
使用されるワイヤソーによりシリコン単結晶等のインゴ
ットを効率よく切断することができる。
【００３０】
【実施例】加工液に用いた化合物を下記に示す。なお、
ＥＯはオキシエチレン基、ＰＯはオキシプロピレン基を
示す。 Ａ：ｎ−Ｃ4 Ｈ9 （ＥＯ）5.3 （ＰＯ）4.0 Ｈ ランダ
ム体、付加モル数は平均値、加工液中の化合物の含有
量：１００重量％ Ｂ：ｎ−Ｃ4 Ｈ9 （ＥＯ）9.2 （ＰＯ）6.9 Ｈ ランダ
ム体、付加モル数は平均値、加工液中の化合物の含有
量：１００重量％ Ｃ：ｎ−Ｃ12Ｈ25Ｏ（ＥＯ）2.5 （ＰＯ）2.5 （ＥＯ）
2.5 Ｈ ブロック体、付加モル数は平均値、加工液中の
化合物の含有量：１００重量％ ａ：ＨＯ（ＥＯ）m Ｈ 平均分子量４００、加工液中の
化合物の含有量：１００重量％ ｂ：ＨＯ（ＰＯ）2 Ｈ、加工液中の化合物の含有量：１
００重量％ ｃ：ｎ−Ｃ4 Ｈ9 （ＥＯ）2 Ｈ、加工液中の化合物の含
有量：１００重量％ ｄ：鉱物油系加工液（商品名：パレス化学製ＬＷ−１）
ＥＯはオキシエチレン基、ＰＯはオキシプロピレン基を
示す。 Ａ：ｎ−Ｃ4 Ｈ9 （ＥＯ）5.3 （ＰＯ）4.0 Ｈ ランダ
ム体、付加モル数は平均値、加工液中の化合物の含有
量：１００重量％ Ｂ：ｎ−Ｃ4 Ｈ9 （ＥＯ）9.2 （ＰＯ）6.9 Ｈ ランダ
ム体、付加モル数は平均値、加工液中の化合物の含有
量：１００重量％ Ｃ：ｎ−Ｃ12Ｈ25Ｏ（ＥＯ）2.5 （ＰＯ）2.5 （ＥＯ）
2.5 Ｈ ブロック体、付加モル数は平均値、加工液中の
化合物の含有量：１００重量％ ａ：ＨＯ（ＥＯ）m Ｈ 平均分子量４００、加工液中の
化合物の含有量：１００重量％ ｂ：ＨＯ（ＰＯ）2 Ｈ、加工液中の化合物の含有量：１
００重量％ ｃ：ｎ−Ｃ4 Ｈ9 （ＥＯ）2 Ｈ、加工液中の化合物の含
有量：１００重量％ ｄ：鉱物油系加工液（商品名：パレス化学製ＬＷ−１）
【００３１】実施例１ ステンレス製のビーカーに前記加工液Ａを２重量部、砥
粒（（株）フジミインコーポレーテッド社製：ＧＣ＃８
００）３重量部を取り、ホモミキサー（特殊化工（株）
製、Ｔ．Ｋ．オートホモミキサー：型式Ｍ型、攪拌羽：
ディスパー羽根）で室温、３０００ｒｐｍで攪拌するこ
とによって、加工液と砥粒が均一になったスラリー状の
ワイヤソー用加工液組成物を調製した。
粒（（株）フジミインコーポレーテッド社製：ＧＣ＃８
００）３重量部を取り、ホモミキサー（特殊化工（株）
製、Ｔ．Ｋ．オートホモミキサー：型式Ｍ型、攪拌羽：
ディスパー羽根）で室温、３０００ｒｐｍで攪拌するこ
とによって、加工液と砥粒が均一になったスラリー状の
ワイヤソー用加工液組成物を調製した。
【００３２】実施例２及び３ 実施例１における加工液Ａのかわりに、前記加工液Ｂ及
びＣを用い、実施例１と同様にワイヤソー用加工液組成
物を調製した。
びＣを用い、実施例１と同様にワイヤソー用加工液組成
物を調製した。
【００３３】比較例１〜４ 実施例１における加工液Ａのかわりに、前記加工液ａ〜
ｄを用い、実施例１と同様にワイヤソー用加工液組成物
を調製した。
ｄを用い、実施例１と同様にワイヤソー用加工液組成物
を調製した。
【００３４】試験例 １．高速攪拌による粘度変化率 前記実施例及び比較例で得られたワイヤソー用加工液組
成物を用い、先のホモミキサーを用いて、３０００ｒｐ
ｍで攪拌を行ない、試験前後の粘度を測定することによ
り粘度の経時変化を調べた。粘度の測定は、試料：加工
液組成物５００ｇ、試料温度：５０℃、攪拌時間：１０
時間の条件下で、Ｂ型粘度計（東京計器（株）製）を用
いて２５℃で行なった。その結果を表１に示す。なお、
表１中、粘度変化率は、〔試験後（１０時間攪拌後）の
粘度／試験前の粘度〕×１００により算出したものであ
り、粘度変化率の値が１００に近い程、粘度変化が小さ
いことを示す。
成物を用い、先のホモミキサーを用いて、３０００ｒｐ
ｍで攪拌を行ない、試験前後の粘度を測定することによ
り粘度の経時変化を調べた。粘度の測定は、試料：加工
液組成物５００ｇ、試料温度：５０℃、攪拌時間：１０
時間の条件下で、Ｂ型粘度計（東京計器（株）製）を用
いて２５℃で行なった。その結果を表１に示す。なお、
表１中、粘度変化率は、〔試験後（１０時間攪拌後）の
粘度／試験前の粘度〕×１００により算出したものであ
り、粘度変化率の値が１００に近い程、粘度変化が小さ
いことを示す。
【００３５】
【表１】
【００３６】表１に示すように、比較例１及び４の加工
液組成物を用いた場合に比べて、実施例１〜３の加工液
組成物を用いた場合には、粘度変化率の値がより１００
％に近く、高速攪拌による粘度変化が小さいことが示さ
れた。
液組成物を用いた場合に比べて、実施例１〜３の加工液
組成物を用いた場合には、粘度変化率の値がより１００
％に近く、高速攪拌による粘度変化が小さいことが示さ
れた。
【００３７】２．シェア速度変化による粘度変化率 前記実施例及び比較例で得られたワイヤソー用加工液組
成物を用い、回転粘度計（ＨＡＡＫＥ社製、型式ＰＯＴ
ＯＶＩＳＣＯ ＲＶ１２）により、シェア速度を変えた
ときの粘度変化を調べた。粘度変化は、測定頭：Ｍ５０
０、ローター：ＭＶ２、測定温度：２５℃、最高シェア
速度：５００Ｓ-1（３分保持）、シェア速度変化率：０
〜５００Ｓ-1／３分の条件下で測定した。結果を表２に
示す。なお、表２中、粘度変化率は、シェア速度５００
Ｓ-1の粘度及びシェア速度１００Ｓ-1の粘度を測定した
のち、〔シェア速度５００Ｓ-1の粘度／シェア速度１０
０Ｓ-1の粘度〕×１００により算出したものであり、粘
度変化率の値が１００に近い程、粘度変化が小さいこと
を示す。
成物を用い、回転粘度計（ＨＡＡＫＥ社製、型式ＰＯＴ
ＯＶＩＳＣＯ ＲＶ１２）により、シェア速度を変えた
ときの粘度変化を調べた。粘度変化は、測定頭：Ｍ５０
０、ローター：ＭＶ２、測定温度：２５℃、最高シェア
速度：５００Ｓ-1（３分保持）、シェア速度変化率：０
〜５００Ｓ-1／３分の条件下で測定した。結果を表２に
示す。なお、表２中、粘度変化率は、シェア速度５００
Ｓ-1の粘度及びシェア速度１００Ｓ-1の粘度を測定した
のち、〔シェア速度５００Ｓ-1の粘度／シェア速度１０
０Ｓ-1の粘度〕×１００により算出したものであり、粘
度変化率の値が１００に近い程、粘度変化が小さいこと
を示す。
【００３８】
【表２】
【００３９】表２に示すように、比較例１及び２の加工
液組成物を用いた場合に比べて、実施例１〜３の加工液
組成物を用いた場合には、粘度変化率の値がより１００
％に近く、シェア速度変化による粘度変化が小さいこと
が示された。
液組成物を用いた場合に比べて、実施例１〜３の加工液
組成物を用いた場合には、粘度変化率の値がより１００
％に近く、シェア速度変化による粘度変化が小さいこと
が示された。
【００４０】３．重量変化率及び体積変化率 前記実施例及び比較例で得られたワイヤソー用加工液組
成物を用い、２００ｃｃのビーカーに加工液１００ｃｃ
をとり、中空孔を有さないウレタン片（日本テストパネ
ル大阪（株）製、Ｗ２０ｍｍ×Ｄ５０ｍｍ×Ｈ２ｍｍ）
を浸漬し、６０℃で１日放置した後、試験前後のウレタ
ン片の重量変化、体積変化を測定し、ワイヤのガイドロ
ーラーに用いられるウレタン部材への加工液組成物の適
合性を調べた。結果を表３に示す。表３中、＋は試験前
の重量、体積各々に対する増加を示す。なお、表３中、
重量変化率及び体積変化率の値が小さいほど、加工液組
成物のウレタン部材への影響が少なく、ウレタン部材へ
の適合性が高いことを示す。
成物を用い、２００ｃｃのビーカーに加工液１００ｃｃ
をとり、中空孔を有さないウレタン片（日本テストパネ
ル大阪（株）製、Ｗ２０ｍｍ×Ｄ５０ｍｍ×Ｈ２ｍｍ）
を浸漬し、６０℃で１日放置した後、試験前後のウレタ
ン片の重量変化、体積変化を測定し、ワイヤのガイドロ
ーラーに用いられるウレタン部材への加工液組成物の適
合性を調べた。結果を表３に示す。表３中、＋は試験前
の重量、体積各々に対する増加を示す。なお、表３中、
重量変化率及び体積変化率の値が小さいほど、加工液組
成物のウレタン部材への影響が少なく、ウレタン部材へ
の適合性が高いことを示す。
【００４１】
【表３】
【００４２】表３に示すように、比較例３の加工液組成
物を用いた場合、重量変化率及び体積変化率が約５０％
であるのに対し、実施例１〜３の加工液組成物を用いた
場合には、重量変化率及び体積変化率がほぼ２０％以下
であることから、実施例１〜３の加工液組成物を用いた
場合、ウレタン部材への影響が少なく、ウレタン部材へ
の適合性が高いことが示された。
物を用いた場合、重量変化率及び体積変化率が約５０％
であるのに対し、実施例１〜３の加工液組成物を用いた
場合には、重量変化率及び体積変化率がほぼ２０％以下
であることから、実施例１〜３の加工液組成物を用いた
場合、ウレタン部材への影響が少なく、ウレタン部材へ
の適合性が高いことが示された。
【００４３】４．洗浄性 前記実施例及び比較例で得られたワイヤソー用加工液組
成物を用い、ワイヤソーによりインゴットを切断したと
きに得られたスライス品を水で洗浄することを想定し
て、本発明の加工液組成物の水への溶解状態を洗浄性の
指標として目視により観察した。その結果を表４に示
す。
成物を用い、ワイヤソーによりインゴットを切断したと
きに得られたスライス品を水で洗浄することを想定し
て、本発明の加工液組成物の水への溶解状態を洗浄性の
指標として目視により観察した。その結果を表４に示
す。
【００４４】
【表４】
【００４５】表４に示すように、比較例４の従来の鉱物
油系加工液を用いた場合、加工液が白濁したことと比較
して、本発明の実施例１〜３の加工液を用いた場合、加
工液が均一透明になったことから、実施例１〜３の加工
液を用いた場合、切断した後のスライス品の洗浄が容易
であることが示された。
油系加工液を用いた場合、加工液が白濁したことと比較
して、本発明の実施例１〜３の加工液を用いた場合、加
工液が均一透明になったことから、実施例１〜３の加工
液を用いた場合、切断した後のスライス品の洗浄が容易
であることが示された。
【００４６】
【発明の効果】本発明のワイヤソー用加工液、加工液組
成物及びインゴットの切断方法によれば、ワイヤソーを
用いてインゴットを切断した場合、切断した後のスライ
ス品の水洗浄が可能で、ワイヤソー中のウレタン等の部
材への適合性が高く、粘度変化が小さく、切断性能に優
れるという優れた効果を奏する。
成物及びインゴットの切断方法によれば、ワイヤソーを
用いてインゴットを切断した場合、切断した後のスライ
ス品の水洗浄が可能で、ワイヤソー中のウレタン等の部
材への適合性が高く、粘度変化が小さく、切断性能に優
れるという優れた効果を奏する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０９Ｋ 3/14 ５５０ Ｃ０９Ｋ 3/14 ５５０Ｆ Ｃ１０Ｍ 107/34 Ｃ１０Ｍ 107/34 // Ｃ１０Ｎ 10:04 10:06 10:08 30:02 40:22
Claims (3)
- 【請求項１】 一般式（Ｉ）： Ｒ1 Ｏ（ＥＯ）m （ＡＯ）n Ｒ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1 及びＲ2 は、それぞれ同一でも異なってい
てもよい水素原子又は炭素数１〜２４の炭化水素基を示
し、少なくとも１つは炭化水素基であり、ＥＯはオキシ
エチレン基、ＡＯは炭素数３若しくは４のオキシアルキ
レン基、（ＥＯ） m （ＡＯ）n はｍ個のＥＯ、ｎ個のＡ
Ｏからなるランダム体又はブロック体を示し、ｍ及びｎ
はそれぞれ１〜５０の整数、ｍとｎとの和は４〜１００
の整数、ｎが２以上のときｎ個のＡＯは同一でも異なっ
ていてもよい）で表わされるポリエーテル化合物を含有
してなるワイヤソー用加工液。 - 【請求項２】 請求項１記載の加工液及び砥粒を含有し
てなるワイヤソー用加工液組成物。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のワイヤソー用加工
液組成物を用いてインゴットを切断することを特徴とす
るインゴットの切断方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9208098A JP4237291B2 (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | ワイヤソー用加工液 |
| US09/647,592 US6383991B1 (en) | 1998-04-03 | 1999-04-02 | Cutting oil composition |
| GB0024411A GB2351294B (en) | 1998-04-03 | 1999-04-02 | Cutting oil composition |
| DE19983092T DE19983092B4 (de) | 1998-04-03 | 1999-04-02 | Schneidöl, Schneidölzusammensetzung sowie deren Verwendung |
| PCT/JP1999/001737 WO1999051711A1 (en) | 1998-04-03 | 1999-04-02 | Cutting oil composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9208098A JP4237291B2 (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | ワイヤソー用加工液 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11286693A true JPH11286693A (ja) | 1999-10-19 |
| JP4237291B2 JP4237291B2 (ja) | 2009-03-11 |
Family
ID=14044478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9208098A Expired - Lifetime JP4237291B2 (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | ワイヤソー用加工液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4237291B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100135225A (ko) | 2008-04-30 | 2010-12-24 | 팰리스 카가쿠 가부시기가이샤 | 수용성 절단액 조성물, 수용성 절단액 및 그 수용성 절단액을 이용한 절단방법 |
| JP2013023662A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Nof Corp | 水性切削液および水性切削剤 |
| JP2013534262A (ja) * | 2010-08-03 | 2013-09-02 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 研磨材用の加工液 |
| JP2015505574A (ja) * | 2012-02-01 | 2015-02-23 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアＢａｓｆ Ｓｅ | ウェハ製造のための冷却および／または潤滑液 |
| CN112048358A (zh) * | 2020-09-30 | 2020-12-08 | 武汉市华中特种油有限公司 | 一种全合成镁合金切削液的配方 |
-
1998
- 1998-04-03 JP JP9208098A patent/JP4237291B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100135225A (ko) | 2008-04-30 | 2010-12-24 | 팰리스 카가쿠 가부시기가이샤 | 수용성 절단액 조성물, 수용성 절단액 및 그 수용성 절단액을 이용한 절단방법 |
| JP2013534262A (ja) * | 2010-08-03 | 2013-09-02 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 研磨材用の加工液 |
| JP2013023662A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Nof Corp | 水性切削液および水性切削剤 |
| JP2015505574A (ja) * | 2012-02-01 | 2015-02-23 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアＢａｓｆ Ｓｅ | ウェハ製造のための冷却および／または潤滑液 |
| CN112048358A (zh) * | 2020-09-30 | 2020-12-08 | 武汉市华中特种油有限公司 | 一种全合成镁合金切削液的配方 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4237291B2 (ja) | 2009-03-11 |
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