JPH11294978A - 板型ヒートパイプとその実装構造 - Google Patents
板型ヒートパイプとその実装構造Info
- Publication number
- JPH11294978A JPH11294978A JP9978298A JP9978298A JPH11294978A JP H11294978 A JPH11294978 A JP H11294978A JP 9978298 A JP9978298 A JP 9978298A JP 9978298 A JP9978298 A JP 9978298A JP H11294978 A JPH11294978 A JP H11294978A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat pipe
- plate
- type heat
- working fluid
- metal plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】組み立てコストに優れる板型ヒートパイプを得
ること。 【解決手段】金属板材10にバーリング加工等により一
体にノズル部20を形成し、他の金属板材11に金属板
材10を接合して形成した空洞部を有する板型ヒートパ
イプ。
ること。 【解決手段】金属板材10にバーリング加工等により一
体にノズル部20を形成し、他の金属板材11に金属板
材10を接合して形成した空洞部を有する板型ヒートパ
イプ。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子等の発
熱部品(被冷却部品)の冷却に好適な板型ヒートパイプ
に係る。
熱部品(被冷却部品)の冷却に好適な板型ヒートパイプ
に係る。
【0002】
【従来の技術】パソコン等の各種機器や電力設備等の機
器に搭載されている半導体素子等の発熱部品の過熱を防
ぐ冷却技術として、冷却を要する電気・電子部品(以下
被冷却部品と称する)に板型のヒートパイプを取り付
け、その板型ヒートパイプを経由して熱を放散する方法
が有力視されている。
器に搭載されている半導体素子等の発熱部品の過熱を防
ぐ冷却技術として、冷却を要する電気・電子部品(以下
被冷却部品と称する)に板型のヒートパイプを取り付
け、その板型ヒートパイプを経由して熱を放散する方法
が有力視されている。
【0003】図9は板型ヒートパイプを用いた被冷却部
品の冷却構造について説明する図である。基板42に実
装された被冷却部品430〜432は板型ヒートパイプ
40の一方の主面側に接続され、その板型ヒートパイプ
40の他方の主面側にはヒートシンク41が取り付けら
れている。図中の符号44はリードである。被冷却部品
430〜432やヒートシンク41と板型ヒートパイプ
40との接続は、これらを直接接触させる他、伝熱グリ
ス等を介在させて接触させたり、或いは場合によっては
これらを半田付け等により接合することによってなされ
る。被冷却部品430〜432で発した熱の多くは、板
型ヒートパイプ40に伝わり、更にヒートシンク41を
介して放熱されるようになる。こうして被冷却部品43
0〜432の冷却がなされる。
品の冷却構造について説明する図である。基板42に実
装された被冷却部品430〜432は板型ヒートパイプ
40の一方の主面側に接続され、その板型ヒートパイプ
40の他方の主面側にはヒートシンク41が取り付けら
れている。図中の符号44はリードである。被冷却部品
430〜432やヒートシンク41と板型ヒートパイプ
40との接続は、これらを直接接触させる他、伝熱グリ
ス等を介在させて接触させたり、或いは場合によっては
これらを半田付け等により接合することによってなされ
る。被冷却部品430〜432で発した熱の多くは、板
型ヒートパイプ40に伝わり、更にヒートシンク41を
介して放熱されるようになる。こうして被冷却部品43
0〜432の冷却がなされる。
【0004】ここでヒートパイプについて簡単に説明し
ておく。ヒートパイプは内部に密封された空洞部を備え
ており、その空洞部に作動流体が収容されている。その
空洞部内は真空引きされており、作動流体の蒸発が起き
やすくなっている。作動流体としては水やアルコール、
代替フロン等が用いられる。
ておく。ヒートパイプは内部に密封された空洞部を備え
ており、その空洞部に作動流体が収容されている。その
空洞部内は真空引きされており、作動流体の蒸発が起き
やすくなっている。作動流体としては水やアルコール、
代替フロン等が用いられる。
【0005】ヒートパイプの作動について簡単に記すと
次のようになる。即ち、ヒートパイプの吸熱側におい
て、ヒートパイプを構成する容器(コンテナ)の材質中
を熱伝導して伝わってきた熱により、作動流体が蒸発
し、その蒸気がヒートパイプの放熱側に移動する。放熱
側では、作動流体の蒸気は冷却され再び液相状態に戻
る。そして液相に戻った作動流体は再び吸熱側に移動
(還流)する。このような作動流体の相変態や移動によ
り、熱の移動がなされる。作動流体の還流は、重力作用
や毛細管作用によってなされる。重力式のヒートパイプ
の場合は、吸熱側を放熱側より下方に配置すればよい。
次のようになる。即ち、ヒートパイプの吸熱側におい
て、ヒートパイプを構成する容器(コンテナ)の材質中
を熱伝導して伝わってきた熱により、作動流体が蒸発
し、その蒸気がヒートパイプの放熱側に移動する。放熱
側では、作動流体の蒸気は冷却され再び液相状態に戻
る。そして液相に戻った作動流体は再び吸熱側に移動
(還流)する。このような作動流体の相変態や移動によ
り、熱の移動がなされる。作動流体の還流は、重力作用
や毛細管作用によってなされる。重力式のヒートパイプ
の場合は、吸熱側を放熱側より下方に配置すればよい。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】板型ヒートパイプは、
空洞部を有する板型の容器を用意し、その空洞部内に作
動流体(水や代替フロン等)を注入し、更に脱気して密
封することで製造される。作動流体を注入後は、その注
入口を経由して容器内を脱気し、更にその注入口を溶接
等により封止する。このような作業をより容易にするた
めに、作動流体の注入口は通常小さくし、更に突出させ
た形状にすることが多い。そこで従来は空洞部を有する
容器30を用意し、その空洞部に繋がる穴301に別途
用意したノズル部31を取り付けて注入口としたのであ
る(図7)。穴301のままの状態では、作動流体の注
入作業と、その後の封止作業がやりにくいが、ノズル部
31を取り付けておけば、これらの作業が容易かつ確実
に行えるようになる。
空洞部を有する板型の容器を用意し、その空洞部内に作
動流体(水や代替フロン等)を注入し、更に脱気して密
封することで製造される。作動流体を注入後は、その注
入口を経由して容器内を脱気し、更にその注入口を溶接
等により封止する。このような作業をより容易にするた
めに、作動流体の注入口は通常小さくし、更に突出させ
た形状にすることが多い。そこで従来は空洞部を有する
容器30を用意し、その空洞部に繋がる穴301に別途
用意したノズル部31を取り付けて注入口としたのであ
る(図7)。穴301のままの状態では、作動流体の注
入作業と、その後の封止作業がやりにくいが、ノズル部
31を取り付けておけば、これらの作業が容易かつ確実
に行えるようになる。
【0007】しかしながら、図7に示すような方法で
は、ノズル部31を別途用意する必要があるため部品数
が増えてしまうという問題がある。また、容器30にノ
ズル部31を溶接等により別途接合する必要があるの
で、板型ヒートパイプの製造工程が煩雑になってしまう
という問題もあった。
は、ノズル部31を別途用意する必要があるため部品数
が増えてしまうという問題がある。また、容器30にノ
ズル部31を溶接等により別途接合する必要があるの
で、板型ヒートパイプの製造工程が煩雑になってしまう
という問題もあった。
【0008】また図8に示すような方法も知られてい
る。板型ヒートパイプの組み立て工程において、2枚の
板材(金属上板32と金属下板33)を接合して組み立
てるが、その金属上板32と金属下板33の縁の部分に
湾曲突起部340、341をそれぞれ形成しておき、接
合後、その部分をノズル部とする方法である。
る。板型ヒートパイプの組み立て工程において、2枚の
板材(金属上板32と金属下板33)を接合して組み立
てるが、その金属上板32と金属下板33の縁の部分に
湾曲突起部340、341をそれぞれ形成しておき、接
合後、その部分をノズル部とする方法である。
【0009】しかし図8に示すような方法も、湾曲突起
部340、341の近傍の接合が不十分になりやすいと
いう問題があった。接合が十分でないと、製造された板
型ヒートパイプとして必要な空洞部の気密性が不十分に
なってしまう。このため、湾曲突起部340、341の
近傍の接合作業を一層慎重に行う必要が生じ、その接合
作業が煩雑になっていた。このためそれが板型ヒートパ
イプの製造コストの上昇に繋がっていた。
部340、341の近傍の接合が不十分になりやすいと
いう問題があった。接合が十分でないと、製造された板
型ヒートパイプとして必要な空洞部の気密性が不十分に
なってしまう。このため、湾曲突起部340、341の
近傍の接合作業を一層慎重に行う必要が生じ、その接合
作業が煩雑になっていた。このためそれが板型ヒートパ
イプの製造コストの上昇に繋がっていた。
【0010】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは、製
造コストの面で優れる実用的な板型ヒートパイプを得る
べく努力した結果、以下の発明に至った。即ち、本発明
の板型ヒートパイプは、作動流体封入ノズル部が一体に
形成された金属板材と、他の金属箱体とが接合されるこ
とで形成された空洞部を有する、というものである。
造コストの面で優れる実用的な板型ヒートパイプを得る
べく努力した結果、以下の発明に至った。即ち、本発明
の板型ヒートパイプは、作動流体封入ノズル部が一体に
形成された金属板材と、他の金属箱体とが接合されるこ
とで形成された空洞部を有する、というものである。
【0011】またその作動流体封入ノズル部は当該板材
ヒートパイプの主面側に備わっている場合を特に提案す
る。この場合、作動流体封入ノズル部の基部が前記主面
から凹んだ部分に備わっていると良い。またその作動流
体封入ノズル部の頂上部が前記主面より凹んだ位置にあ
ると特に良い。
ヒートパイプの主面側に備わっている場合を特に提案す
る。この場合、作動流体封入ノズル部の基部が前記主面
から凹んだ部分に備わっていると良い。またその作動流
体封入ノズル部の頂上部が前記主面より凹んだ位置にあ
ると特に良い。
【0012】更に本発明の板型ヒートパイプとして、前
記作動流体封入ノズル部が備わる前記金属板材には、冷
却すべき被冷却部品と接続される吸熱部となる凸部が形
成されている場合もある。尚、前記作動流体封入ノズル
部の形成方法は特に限定されないが、例えば前記金属板
材に深絞り加工またはバーリング加工により設けること
ができる。
記作動流体封入ノズル部が備わる前記金属板材には、冷
却すべき被冷却部品と接続される吸熱部となる凸部が形
成されている場合もある。尚、前記作動流体封入ノズル
部の形成方法は特に限定されないが、例えば前記金属板
材に深絞り加工またはバーリング加工により設けること
ができる。
【0013】更に本発明の板型ヒートパイプの実装構造
として、被冷却部品が実装された基板にその板型ヒート
パイプを相対して設け、基板と相対する板型ヒートパイ
プの主面と前記被冷却部品とを熱的に接続した実装構造
を提案する。
として、被冷却部品が実装された基板にその板型ヒート
パイプを相対して設け、基板と相対する板型ヒートパイ
プの主面と前記被冷却部品とを熱的に接続した実装構造
を提案する。
【0014】
【発明の実施の形態】図1を参照しながら本発明の板型
ヒートパイプについて説明する。図における上側の金属
板材10と下側の金属板材11とを接合することで内部
に空洞部を有するヒートパイプの容器を組み立てる。上
側の金属板材10の外側の主面部には、バーリング加工
または深絞り加工を施して、ノズル部20を一体に形成
しておく。ノズル部20の部分の模式的な断面図を図2
に示しておく。
ヒートパイプについて説明する。図における上側の金属
板材10と下側の金属板材11とを接合することで内部
に空洞部を有するヒートパイプの容器を組み立てる。上
側の金属板材10の外側の主面部には、バーリング加工
または深絞り加工を施して、ノズル部20を一体に形成
しておく。ノズル部20の部分の模式的な断面図を図2
に示しておく。
【0015】さて金属板材10と金属板材11とを接合
して、ヒートパイプの容器を組み立てた後は、内部の空
洞部はノズル部20のみが外部との連絡部となる。そこ
でその容器内を適宜洗浄等を施し、更に作動流体を所定
量注入してから、更に適宜脱気等を施した後、或いは脱
気しながらノズル部20を封止する。ノズル部20は突
起状になっているので、一旦潰してから溶接することで
容易に封止することができる。
して、ヒートパイプの容器を組み立てた後は、内部の空
洞部はノズル部20のみが外部との連絡部となる。そこ
でその容器内を適宜洗浄等を施し、更に作動流体を所定
量注入してから、更に適宜脱気等を施した後、或いは脱
気しながらノズル部20を封止する。ノズル部20は突
起状になっているので、一旦潰してから溶接することで
容易に封止することができる。
【0016】図3はノズル部が板型ヒートパイプの側面
に設けられた場合を示す説明図である。この場合でも、
ノズル部21は金属板材12にバーリング加工または深
絞り加工を施して形成する。尚、図1の例では金属板材
10と金属板材11はいずれも箱型形状であったが、こ
の図2の例では、上側の金属板材12は箱型形状である
が、下側の金属板材13は平らな形状である。この2枚
の金属板材12、13を接合することで内部に空洞部を
形成する。
に設けられた場合を示す説明図である。この場合でも、
ノズル部21は金属板材12にバーリング加工または深
絞り加工を施して形成する。尚、図1の例では金属板材
10と金属板材11はいずれも箱型形状であったが、こ
の図2の例では、上側の金属板材12は箱型形状である
が、下側の金属板材13は平らな形状である。この2枚
の金属板材12、13を接合することで内部に空洞部を
形成する。
【0017】さて上述したように図1、2に示したノズ
ル部20は、上側の金属板材10の主面部に設けられて
いる。この例ではそのノズル部20の基部は組み立てる
べき板型ヒートパイプの一方の主面と実質同等の高さに
位置することになる。この基部の高さは組み立てるべき
板型ヒートパイプの一方の主面に対し凹んだ位置にする
と良い。このことを図4、5を参照しながら説明する。
図4の例では、ノズル部22の部分で金属板材14を若
干凹ませて基部220とし、更にバーリング加工等によ
り突出させてノズル部22としている。こうすること
で、図2に示すようなノズル部20に比べ、組み立てた
板型ヒートパイプの主面に対するノズル部22の頂上部
の高さを相対的に低くすることができる。図5の例で
は、ノズル部23の頂上部の高さを金属板材15と同等
にしている。そしてこの例の場合、ノズル部23の周囲
を部分的に凹ませて基部230を形成し、更にノズル部
23の頂上部に穴を開けることで容易にノズル部23を
形成している。
ル部20は、上側の金属板材10の主面部に設けられて
いる。この例ではそのノズル部20の基部は組み立てる
べき板型ヒートパイプの一方の主面と実質同等の高さに
位置することになる。この基部の高さは組み立てるべき
板型ヒートパイプの一方の主面に対し凹んだ位置にする
と良い。このことを図4、5を参照しながら説明する。
図4の例では、ノズル部22の部分で金属板材14を若
干凹ませて基部220とし、更にバーリング加工等によ
り突出させてノズル部22としている。こうすること
で、図2に示すようなノズル部20に比べ、組み立てた
板型ヒートパイプの主面に対するノズル部22の頂上部
の高さを相対的に低くすることができる。図5の例で
は、ノズル部23の頂上部の高さを金属板材15と同等
にしている。そしてこの例の場合、ノズル部23の周囲
を部分的に凹ませて基部230を形成し、更にノズル部
23の頂上部に穴を開けることで容易にノズル部23を
形成している。
【0018】ところで板型ヒートパイプの形状は、例え
ば図9に示すように、一つの板型ヒートパイプ40に複
数の被冷却部品430〜432を接続する場合もある
し、また、その複数の被冷却部品430〜432の基板
42からの高さが一定でない場合もある。このような場
合、個々の被冷却部品430〜432の高さに対応した
凸部を板型ヒートパイプ40に設けておくと便利であ
る。図6はそのような板型ヒートパイプを構成する容器
の一部を示す説明図である。図において金属板材16の
上に図示しない他の金属板材を接合する工程その他を経
て板型ヒートパイプを組み立てるが、この金属板材16
には予め凸部160〜162を形成しておき、その凸部
160〜162を被冷却部品と接続させる吸熱部とした
ものである。この凸部160〜162の高さやその大き
さは、当接させる被冷却部品の高さや広さに応じて適宜
決定する。尚、図6に示す例ではノズル部24の高さを
もっとも低い高さの凸部である凸部160より若干低く
している。
ば図9に示すように、一つの板型ヒートパイプ40に複
数の被冷却部品430〜432を接続する場合もある
し、また、その複数の被冷却部品430〜432の基板
42からの高さが一定でない場合もある。このような場
合、個々の被冷却部品430〜432の高さに対応した
凸部を板型ヒートパイプ40に設けておくと便利であ
る。図6はそのような板型ヒートパイプを構成する容器
の一部を示す説明図である。図において金属板材16の
上に図示しない他の金属板材を接合する工程その他を経
て板型ヒートパイプを組み立てるが、この金属板材16
には予め凸部160〜162を形成しておき、その凸部
160〜162を被冷却部品と接続させる吸熱部とした
ものである。この凸部160〜162の高さやその大き
さは、当接させる被冷却部品の高さや広さに応じて適宜
決定する。尚、図6に示す例ではノズル部24の高さを
もっとも低い高さの凸部である凸部160より若干低く
している。
【0019】以上、詳述した本発明の板型ヒートパイプ
は、その組み立て作業性や部品数の低減等において優れ
たものであって、従ってコスト面で優れる実用的な板型
ヒートパイプである。
は、その組み立て作業性や部品数の低減等において優れ
たものであって、従ってコスト面で優れる実用的な板型
ヒートパイプである。
【0020】
【発明の効果】以上のように本発明の板型ヒートパイプ
は、組み立てが容易で寸法精度にも優れたものである。
は、組み立てが容易で寸法精度にも優れたものである。
【図1】本発明に係わる板型ヒートパイプの組み立て状
況を説明する図である。
況を説明する図である。
【図2】本発明に係わる板型ヒートパイプの要部を説明
する図である。
する図である。
【図3】本発明に係わる板型ヒートパイプを構成する容
器を説明する図である。
器を説明する図である。
【図4】本発明に係わる板型ヒートパイプの要部を説明
する図である。
する図である。
【図5】本発明に係わる板型ヒートパイプの要部を説明
する図である。
する図である。
【図6】本発明に係わる板型ヒートパイプの要部を説明
する図である。
する図である。
【図7】従来の板型ヒートパイプの組み立て状況を説明
する図である。
する図である。
【図8】従来の板型ヒートパイプの組み立て状況を説明
する図である。
する図である。
【図9】板型ヒートパイプを用いた冷却構造を説明する
図である。
図である。
10 金属板材 11 金属板材 20 ノズル部 12 金属板材 13 金属板材 21 ノズル部 14 金属板材 22 ノズル部 220 基部 15 金属板材 23 ノズル部 230 基部 16 金属板材 24 ノズル部 160 凸部 161 凸部 162 凸部 30 容器 301 穴 31 ノズル部 32 金属板材 33 金属板材 340 湾曲突起部 341 湾曲突起部 40 板型ヒートパイプ 41 ヒートシンク 42 基板 430 被冷却部品 431 被冷却部品 432 被冷却部品 44 リード
Claims (7)
- 【請求項1】 作動流体封入ノズル部が一体に形成され
た金属板材と、他の金属板材とが接合されることで形成
された空洞部を有する板型ヒートパイプ。 - 【請求項2】 前記作動流体封入ノズル部は当該板材ヒ
ートパイプの主面側に備わっている、請求項1記載の板
型ヒートパイプ。 - 【請求項3】 前記作動流体封入ノズル部の基部が前記
主面から凹んだ部分に備わっている、請求項2記載の板
型ヒートパイプ。 - 【請求項4】 前記作動流体封入ノズル部の頂上部が前
記主面より凹んだ位置にある、請求項3記載の板型ヒー
トパイプ。 - 【請求項5】 前記作動流体封入ノズル部が備わる前記
金属板材には、吸熱部となる凸部が形成されている、請
求項1〜4のいずれかに記載の板型ヒートパイプ。 - 【請求項6】 前記作動流体封入ノズル部は前記金属板
材に深絞り加工またはバーリング加工により設けられた
ものである、請求項1〜5のいずれかに記載の板型ヒー
トパイプ。 - 【請求項7】 被冷却部品が実装された基板に請求項1
〜6のいずれかに記載の板型ヒートパイプが相対して設
けられ、当該基板と相対する前記板型ヒートパイプの主
面と前記被冷却部品とが熱的に接続されている、板型ヒ
ートパイプの実装構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9978298A JPH11294978A (ja) | 1998-04-13 | 1998-04-13 | 板型ヒートパイプとその実装構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9978298A JPH11294978A (ja) | 1998-04-13 | 1998-04-13 | 板型ヒートパイプとその実装構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11294978A true JPH11294978A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14256521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9978298A Pending JPH11294978A (ja) | 1998-04-13 | 1998-04-13 | 板型ヒートパイプとその実装構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11294978A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093020A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Nakamura Mfg Co Ltd | 液冷熱交換器、および、その作動流体封止方法 |
| KR101880079B1 (ko) * | 2017-07-03 | 2018-08-17 | 한국기계연구원 | 티지피(tgp) 일체형 피씨비(pcb) 기판 및 이의 제조방법 |
| US20190186850A1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-06-20 | Asia Vital Components Co., Ltd. | Protection structure for vapor chamber |
| JP2025026717A (ja) * | 2021-02-26 | 2025-02-21 | 京セラ株式会社 | 熱デバイス |
-
1998
- 1998-04-13 JP JP9978298A patent/JPH11294978A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093020A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Nakamura Mfg Co Ltd | 液冷熱交換器、および、その作動流体封止方法 |
| KR101880079B1 (ko) * | 2017-07-03 | 2018-08-17 | 한국기계연구원 | 티지피(tgp) 일체형 피씨비(pcb) 기판 및 이의 제조방법 |
| US20190186850A1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-06-20 | Asia Vital Components Co., Ltd. | Protection structure for vapor chamber |
| JP2025026717A (ja) * | 2021-02-26 | 2025-02-21 | 京セラ株式会社 | 熱デバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6490160B2 (en) | Vapor chamber with integrated pin array | |
| US6871701B2 (en) | Plate-type heat pipe and method for manufacturing the same | |
| KR101836658B1 (ko) | 파워 모듈 및 그 제조 방법 | |
| EP1493186B1 (en) | Heat spreader with down set leg attachment feature | |
| US20010025701A1 (en) | Heat sink | |
| JP2003080378A (ja) | 平面型ヒートパイプの製造方法および実装方法 | |
| JP4278720B2 (ja) | 板型ヒートパイプ | |
| KR100688728B1 (ko) | 판형 열전달 장치의 케이스 접합 방법 및 이를 이용하여제조된 장치 | |
| JP4558258B2 (ja) | 板型ヒートパイプおよびその製造方法 | |
| JP4826887B2 (ja) | 液冷熱交換器を備えた電子部品用パッケージ、およびその形成方法 | |
| JPH11294978A (ja) | 板型ヒートパイプとその実装構造 | |
| JP2002310581A (ja) | 板型ヒートパイプおよびその実装方法 | |
| JP2021197534A (ja) | 積層体および積層体の製造方法 | |
| JP2005012127A (ja) | 電子制御装置 | |
| JP2012064864A (ja) | 電子モジュールの取付構造 | |
| JPWO2019131834A1 (ja) | 冷却装置 | |
| JP3106429B2 (ja) | 板型ヒートパイプとそれを用いた冷却構造 | |
| JP7223639B2 (ja) | 電子制御装置 | |
| JPH11237193A (ja) | 板型ヒートパイプとそれを用いた実装構造 | |
| JPH11101585A (ja) | 板型ヒートパイプとその実装構造 | |
| JPH1163862A (ja) | 板型ヒートパイプとそれを用いた冷却構造 | |
| JP4724435B2 (ja) | 平板状ヒートパイプおよびその製造方法 | |
| JP3215254B2 (ja) | 大電力用半導体装置 | |
| JP2000035293A (ja) | 板型ヒートパイプとそれを用いた冷却構造 | |
| JP2004037074A (ja) | 板型ヒートパイプとそれを用いた冷却構造 |