JPH11300558A

JPH11300558A - 移動テーブル装置

Info

Publication number: JPH11300558A
Application number: JP10518298A
Authority: JP
Inventors: Junichi Sakai; 淳一坂井; Yoichi Fukazawa; 陽一深沢; Satoshi Okamura; 諭岡村
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 1998-04-15
Filing date: 1998-04-15
Publication date: 1999-11-02

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】所定角度だけ回転させた後に平行に移動させ
る動作を、簡単な制御で行うことができると共に、回転
中心を二軸方向に沿って直線状に移動させることが容易
に可能であり、しかも、移動テーブルを一軸方向に沿っ
て大きく移動させるテーブル装置を提供する。【解決手段】移動テーブルを回転自在に支持する複数
の二軸案内機構４₁、４₂、４₃、４₄、４₅と、二軸
案内機構４のテーブル基盤２側の移動部材を、第１の軸
方向に沿って駆動する駆動手段５と、駆動手段５によっ
て駆動される二軸案内機構４の移動テーブル３側の移動
部材を、テーブル基盤２側の移動部材に対して第２の軸
方向に沿って駆動する第２の駆動手段６と、二軸案内機
構４のテーブル基盤２側の移動部材を、第１の駆動手段
５によって駆動される二軸案内機構４のテーブル基盤２
側の移動部材に対して、第１の軸方向に沿って駆動する
第３の駆動手段７と、を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、精密印刷機械や精
密加工機械、あるいは精密製造機械等に使用される移動
テーブル装置に係り、特に、テーブル基盤に対して移動
テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って移動可能
に、かつ二軸が形成する平面に対して直交する軸を中心
にして回動可能に取り付けてなる移動テーブル装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、上記精密印刷機械や精密加工機
械、あるいは精密製造機械等に使用される移動テーブル
装置としては、テーブル基盤に対して移動テーブルを、
互いに交差する二軸方向に沿って移動可能に取り付けて
なる、所謂ＸＹテーブルが多く用いられている。このＸ
Ｙテーブルは、移動テーブル上に載置されたワークを、
Ｘ軸とＹ軸の二軸方向に沿って各々移動させるものであ
るが、精密印刷機械等においては、移動テーブル上に載
置された印刷用のワークを、二軸方向に沿って移動させ
るのみならず、当該二軸が形成する平面に対して直交す
る軸を中心にして回動させる動作が必要となる場合があ
る。

【０００３】そこで、上記精密印刷機械等において使用
される移動テーブル装置としては、テーブル基盤に対し
て移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って移
動可能であるのみならず、二軸が形成する平面に対して
直交する軸を中心にして回動可能に取り付けてなる、い
わゆる”ＸＹθテーブル”と呼ばれる装置が使用されて
いる。

【０００４】このＸＹθテーブルに関する技術として
は、例えば、特開平８−９９２４３号公報や特開平１−
２４０２４６号公報、特開平１−２４２９８９号公報、
特開平４−２１０３４７号公報、特開平８−２１１１７
３号公報、特開平８−２５２７３３号公報、特開平９−
４２４０５号公報、特開平９−１５５６６６号公報、特
開平９−２１６１３８号公報等、あるいは、実用新案掲
載公報第２５１５３１６号や特開平４−３５４６３７号
公報、特開平６−３１５６３号公報等、更に特開平７−
２１９６３６号公報や特開平５−７７１２５号公報、特
開平４−２４３５号公報、特開平３−５６８９５号公
報、特開平２−２０２０３１号公報、特開昭６２−２８
２２９４号公報等、多くのものが、既に提案されてい
る。

【０００５】これらのＸＹθテーブルに関する技術のう
ち、代表的なものについて説明すると、特開平８−９９
２４３号公報に係る縦横移動旋回テーブル機構は、ベー
ス上に、３台のＸＹ直線案内機構を介して可動テーブル
を全方向に移動自在に支持すると共に、これらＸＹ直線
案内機構が有する移動ブロックに対して個別のボールね
じ装置にて駆動力を付与し、各ＸＹ直線案内機構が有す
る上方レールを可動テーブルの下面に固着すると共に、
該ＸＹ直線案内機構が有する上下のブロックをピン及び
ベアリングにて互いに回動自在に連結するように構成し
たものである。

【０００６】また、実用新案掲載公報第２５１５３１６
号に係る移動テーブルは、ベース上に、スラストベアリ
ングを介して可動テーブルを全方向に移動自在に支持す
ると共に、ベースに互いに直交する方向に３機の駆動装
置を取り付け、これらの駆動装置の出力軸を継手を介し
て可動テーブルに連結するように構成したものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術の場合には、次のような問題点を有している。す
なわち、上記特開平８−９９２４３号公報に係る縦横移
動旋回テーブル機構の場合には、ベース上に、３台のＸ
Ｙ直線案内機構を介して可動テーブルを全方向に移動自
在に支持すると共に、これらＸＹ直線案内機構が有する
移動ブロックに対して個別のボールねじ装置にて駆動力
を付与するように構成したものであるため、可動テーブ
ルを原点以外の位置で回転させたり、所定角度回転させ
た後に平行に移動させるには、３台のＸＹ直線案内機構
の移動ブロックを、各々相互に関連する異なった量だけ
別個に移動させなければならず、テーブルの移動制御が
複雑になるという問題点があった。また、上記特開平８
−９９２４３号公報に係る縦横移動旋回テーブル機構の
場合には、可動テーブルの回転中心がＸＹ方向の移動に
相互に関連して移動してしまうため、可動テーブルをＸ
Ｙ平面内で位置決めした上で、一軸方向に沿って直線状
に移動させつつ回転させて、当該可動テーブル上に載置
されたワークに対して印刷等の処理を施す場合などの動
作が困難であるという問題点もあった。さらに、上記特
開平８−９９２４３号公報に係る縦横移動旋回テーブル
機構の場合には、ベース上に、３台のＸＹ直線案内機構
を介して可動テーブルを全方向に移動自在に支持するよ
うに構成したものであるため、可動テーブル上に載置さ
れるワークの着脱等を行う際に、可動テーブルを一軸方
向に沿って大きく移動させたい場合などでも、可動テー
ブルを一軸方向に沿って大きく移動させることができな
いという問題点もあった。

【０００８】一方、上記実用新案掲載公報第２５１５３
１６号に係る移動テーブルの場合にも、ベース上に、ス
ラストベアリングを介して可動テーブルを全方向に移動
自在に支持すると共に、ベースに互いに直交する方向に
３機の駆動装置を取り付け、これら駆動装置の出力軸を
継手を介して可動テーブルに連結するように構成したも
のであるため、同様に、可動テーブルを原点以外の位置
で回転させたり、所定角度だけ回転させた後に平行に移
動させるには、３機の駆動装置を、各々相互に関連する
異なった量だけ別個に移動させなければならず、制御が
複雑となると共に、回転中心がＸＹ方向の移動に相互に
関連して移動してしまうという問題点や、可動テーブル
を一軸方向に沿って大きく移動させることができないと
いう問題点をやはり有していた。

【０００９】そこで、この発明は、上記従来技術の問題
点を解決するためになされたものであり、その目的とす
るところは、移動テーブルを原点以外の位置で回転させ
たり、所定角度だけ回転させた後に平行に移動させると
いった動作を、簡単な制御で行うことができると共に、
回転中心を二軸方向に沿って直線状に移動させることが
容易に可能であり、しかも、移動テーブルを一軸方向に
沿って大きく移動させることが可能な移動テーブル装置
を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、テーブル基盤に対して
移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って移動
可能に、かつ二軸が形成する平面に対して直交する軸を
中心にして回動可能に取り付けてなる移動テーブル装置
において、前記テーブル基盤に対して移動テーブルを、
互いに交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に
沿って大きく移動自在に案内すると共に、移動テーブル
を回転自在に支持する複数の二軸案内機構と、前記複数
の二軸案内機構のうち、少なくとも１つの二軸案内機構
のテーブル基盤側の移動部材を、移動量の大きな第１の
軸方向に沿って駆動する第１の駆動手段と、前記第１の
駆動手段によって駆動される二軸案内機構の移動テーブ
ル側の移動部材を、テーブル基盤側の移動部材に対して
第２の軸方向に沿って駆動する第２の駆動手段と、前記
複数の二軸案内機構のうち、少なくとも他の１つの二軸
案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、前記第１の駆
動手段によって駆動される二軸案内機構のテーブル基盤
側の移動部材に対して、第１の軸方向に沿って駆動する
第３の駆動手段と、を備えるように構成されている。

【００１１】上記二軸案内機構は、例えば、互いに直交
するＸ軸方向とＹ軸方向に沿って、移動テーブルを移動
自在に案内すると共に、移動テーブルを回転自在に支持
するものが用いられる。但し、この二軸案内機構が案内
する二つの軸方向は、直交するＸ軸方向とＹ軸方向に限
らず、所定の角度をなして交差する二つの軸方向であっ
ても良い。上記二軸案内機構としては、例えば、テーブ
ル基盤側に取り付けられる第１の軌道レールと、この第
１の軌道レールに多数の転動体を介して移動自在に取り
付けられる移動ブロックと、この移動ブロックに多数の
転動体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向に
移動自在に取り付けられる第２の軌道レールと、を備え
たものが用いられるが、軌道レールや移動ブロック等と
の位置関係や形状は、これに限定されるものではない。

【００１２】すなわち、上記二軸案内機構としては、例
えば、テーブル基盤側に取り付けられる上向きに断面コ
字状の凹部が開口した幅の広い第１の軌道レールと、こ
の第１の軌道レールの第１凹部内に多数の転動体を介し
て移動自在に取り付けられる第１の移動ブロックと、こ
の移動ブロックの上部に第１の軌道レールと直交するよ
うに取り付けられた第２の軌道レールと、この第２の軌
道レールを多数の転動体を介して前記第１の軌道レール
と直交する方向に移動自在に案内する第２の移動ブロッ
クとからなるものを用いることができる。この場合、上
記二軸案内機構は、移動テーブル側に設けられた旋回機
構を介して、移動テーブルを回転自在に支持するように
取り付けられる。

【００１３】また、上記二軸案内機構としては、テーブ
ル基盤側に取り付けられる上向きに断面コ字状の凹部が
開口した幅の広い第１の軌道レールと、この第１の軌道
レールの凹部に多数の転動体を介して移動自在に取り付
けられる第１の移動ブロックと、この移動ブロックの上
部に第１の軌道レールと直交するように取り付けられ、
上向きに断面コ字状の凹部が開口した幅の広い第２の軌
道レールと、この第２の軌道レールの凹部内に多数の転
動体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向に移
動自在に案内される第２の移動ブロックとからなるもの
を用いてもよい。

【００１４】このように構成される二軸案内機構は、例
えば、移動テーブル側に設けられた旋回機構を介して、
移動テーブルを回転自在に支持するように取り付けられ
るが、これに限定されるものではなく、第１の軌道レー
ルに多数の転動体を介して移動自在に取り付けられる移
動ブロックと、この移動ブロックの上部に多数の転動体
を介して移動自在に、かつ第１の軌道レールと直交する
ように取り付けられる第２の軌道レールとの間に、旋回
機構を配置するように構成しても良い。

【００１５】また、上記二軸案内機構として、テーブル
基盤側に取り付けられる上向きに断面コ字状の凹部が開
口した幅の広い第１の軌道レールと、この第１の軌道レ
ールの第１凹部内に多数の転動体を介して移動自在に取
り付けられる第１の移動ブロックと、この移動ブロック
の上部に第１の軌道レールと直交するように取り付けら
れた第２の軌道レールと、この第２の軌道レールを多数
の転動体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向
に移動自在に案内する第２の移動ブロックとからなるも
のを用いた場合には、第１の軌道レールの凹部内に多数
の転動体を介して移動自在に取り付けられる側の移動ブ
ロックと、第２の軌道レールが多数の転動体を介して移
動自在に取り付けられる側の移動ブロックとの間、即ち
第１の移動ブロックの中間に、旋回機構を配置するよう
に構成しても良い。

【００１６】さらに、上記二軸案内機構として、テーブ
ル基盤側に取り付けられる上向きに断面コ字状の凹部が
開口した幅の広い第１の軌道レールと、この第１の軌道
レールの第１凹部に多数の転動体を介して移動自在に取
り付けられる第１の移動ブロックと、この移動ブロック
の上部に第１の軌道レールと直交するように取り付けら
れ、上向きに断面コ字状の凹部が開口した幅の広い第２
の軌道レールと、この第２の軌道レールの凹部内に多数
の転動体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向
に移動自在に案内される第２の移動ブロックとからなる
ものを用いた場合には、第１の移動ブロックと、第２の
軌道レールとの間に、旋回機構を配置するように構成し
ても良い。

【００１７】このように、上記旋回機構は、移動テーブ
ル側に設けるように構成しても、二軸案内機構の中間に
設けるように構成してもよい。但し、旋回機構を移動テ
ーブル側に設けるように構成した場合には、移動テーブ
ルを駆動する力が、当該移動テーブル側に設けられた旋
回機構を介して直接伝達されるため、移動テーブルの重
心に略平行な方向に駆動力を伝達することができ、移動
テーブルを駆動する際に、当該旋回機構の転動体等にア
ンバランスなモーメント荷重が作用することがなく、移
動テーブルの移動を一層スムースに行うことができる。

【００１８】なお、上記二軸案内機構としては、横方向
の荷重を受け持つものであればよく、転がり案内を利用
した他のリニア軸受はもちろん、すべり軸受を用いても
よい。

【００１９】また、上記二軸案内機構は、移動テーブル
を回転自在に支持するものであり、例えば、移動テーブ
ル側の移動部材である第２の軌道レールが、旋回自在な
旋回機構を介して移動テーブルに取り付けられる。但
し、上記二軸案内機構は、移動テーブルを回転自在に支
持すればよく、当該移動テーブルを回転自在に支持する
旋回機構は、必ずしも二軸案内機構と一体に設ける必要
はなく、移動テーブル側の部材として組み付けるように
構成してもよい。

【００２０】さらに、上記駆動手段は、例えば、ねじ送
り（ボールねじ等）機構によって構成され、二軸案内機
構に送りねじ軸が螺合するナット部を設けたものが用い
られる。このように、上記駆動手段をねじ送り機構によ
って構成すれば、ねじ軸が停止している間は、ねじ軸と
ナット部間のねじ係合部によってねじ軸方向の位置決め
がなされるので好ましい。この駆動手段としては、ねじ
送り機構からなるものに限定される分けではなく、例え
ば、シャフトが直線的に往復運動するアクチュエータ
（例えば、オリエンタルモータ社製）等を使用すること
ができる。なお、上記駆動手段は、例えば、固定側であ
るテーブル基盤側に取り付けられるが、可動側である移
動テーブル側に取り付けるように構成しても勿論よい。

【００２１】上記移動テーブルは、複数の二軸案内機構
によって、互いに交差する二軸方向に沿って移動自在に
案内され、これら複数の二軸案内機構のうち、少なくと
も１つの二軸案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、
第１の駆動手段によって移動量の大きな第１の軸方向に
沿って駆動することにより、第１の軸方向に沿って直線
的に、しかも大きな移動量で移動させることが可能とな
る。

【００２２】また、上記移動テーブルは、前記第１の駆
動手段によって駆動される二軸案内機構の移動テーブル
側の移動部材を、第２の駆動手段によってテーブル基盤
側の移動部材に対して第２の軸方向に沿って駆動するこ
とにより、第２の軸方向に沿って直線的に移動させるこ
とが可能となる。

【００２３】さらに、上記移動テーブルは、前記複数の
二軸案内機構のうち、少なくとも他の１つの二軸案内機
構のテーブル基盤側の移動部材を、前記第１の駆動手段
によって駆動される二軸案内機構のテーブル基盤側の移
動部材に対して、第３の駆動手段によって、第１の軸方
向に沿って駆動することにより、当該他の１つの二軸案
内機構によって回転自在に支持される移動テーブルに対
して、回転モーメントを作用させ、二軸が形成する平面
に対して直交する軸を中心にして回転運動させることが
可能となる。

【００２４】しかも、上記移動テーブルを第２の軸方向
に駆動する第２の駆動手段が、第１の駆動手段によって
駆動される二軸案内機構の移動テーブル側の移動部材
を、テーブル基盤側の移動部材に対して第２の軸方向に
沿って駆動するように構成されているので、第１の駆動
手段によって駆動される二軸案内機構のテーブル基盤側
の移動部材を、当該第１の駆動手段によって第１の軸方
向に沿って駆動した後に、この第１の駆動手段によって
駆動される二軸案内機構の移動テーブル側の移動部材
を、テーブル基盤側の移動部材に対して、第２の駆動手
段によって第２の軸方向に沿って駆動することにより、
移動テーブルの第１の軸方向への駆動と第２の軸方向へ
の駆動とを、互いに独立して行うことができ、移動テー
ブルの二軸方向への駆動を簡単な制御で行うことが可能
となる。

【００２５】さらに、上記移動テーブルを回動させるに
は、他の１つの二軸案内機構のテーブル基盤側の移動部
材を、前記第１の駆動手段によって駆動される二軸案内
機構のテーブル基盤側の移動部材に対して、第３の駆動
手段によって、第１の軸方向に沿って駆動すればよく、
当該移動テーブルの回転運動を、二軸方向への駆動と完
全に分離して行うことができ、移動テーブルの回転動作
を簡単な制御で行うことが可能となる。

【００２６】また、請求項２に記載の発明は、前記第１
の駆動手段が取り付けられた二軸案内機構は、移動テー
ブルが回転する円弧の中心に配置されていると共に、第
３の駆動手段が取り付けられた二軸案内機構は、移動テ
ーブルが回転する軸を中心にした円弧上であって、かつ
第２の軸方向に沿った直径上に配置されていることを特
徴とする請求項１に記載の移動テーブル装置である。

【００２７】そして、この請求項２に記載の発明では、
前記第１の駆動手段が取り付けられた二軸案内機構が、
移動テーブルが回転する円弧の中心に配置されているの
で、移動テーブルをその回転中心を固定した状態で、二
軸方向に移動させることができ、移動テーブルの姿勢保
持及び移動制御を容易に行うことができる。また、第３
の駆動手段が取り付けられた二軸案内機構は、移動テー
ブルが回転する軸を中心にした円弧上であって、かつ第
２の軸方向に沿った直径上に配置されているので、この
第３の駆動手段によって、移動テーブルの回転中心に対
して円周方向に回転モーメントを直接作用させることが
でき、移動テーブルの回転運動を効率良く行うことがで
きる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下に本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。

【００２９】実施の形態１図１及び図２は本発明の実施の形態１に係る移動テーブ
ル装置を示す構成図である。

【００３０】この実施の形態１に係る移動テーブル装置
１は、図１及び図２に示すように、大別して、テーブル
基盤２と、移動テーブル３と、前記移動テーブル３を、
互いに交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に
沿って大きく移動自在に案内すると共に、移動テーブル
３を回転自在に支持する５つの二軸案内機構４₁、
４ ₂、４₃、４₄、４₅と、第１の二軸案内機構４₁の
テーブル基盤２側の移動部材を、移動量の大きなＹ軸方
向に沿って駆動する第１の駆動手段５と、前記第１の駆
動手段５によって駆動される二軸案内機構４₁の移動テ
ーブル３側の移動部材を、テーブル基盤２側の移動部材
に対してＸ軸方向に沿って駆動する第２の駆動手段６
と、前記５つの二軸案内機構４₁、４₂、４₃、４₄、
４₅のうち、第２の二軸案内機構４₂のテーブル基盤２
側の移動部材を、前記第１の駆動手段５によって駆動さ
れる二軸案内機構４₁のテーブル基盤２側の移動部材に
対して、Ｙ軸方向に沿って駆動する第３の駆動手段７
と、を備えるように構成されている。

【００３１】上記テーブル基盤２は、図１及び図２に示
すように、平面矩形の平板状に形成されていると共に、
移動テーブル３は、前記テーブル基盤２の幅と略等しい
直径を有する円板状に形成されている。テーブル基盤２
上には、５つの二軸案内機構４₁、４₂、４₃、４₄、
４₅が所定の位置に配置されている。これらの５つの二
軸案内機構４₁、４₂、４₃、４₄、４₅は、例えば、
駆動を開始する前の初期状態として、図１に示すよう
に、当該第１、第２、第３、第４、第５の二軸案内機構
４₁、４₂、４₃、４₄、４₅が移動テーブル３を回転
自在に支持する回転軸の位置Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃、Ｐ₄、
Ｐ₅が、原点Ｏ及びこの原点Ｏを中心にした１つの円弧
Ｃ上に位置するように配置されており、これらの第１、
第２、第３、第４、第５の二軸案内機構４₁、４₂、４
₃、４₄、４₅は、図１に示す位置関係で、移動テーブ
ル３を回転自在に支持している。即ち、第１の二軸案内
機構４₁は、移動テーブル３の回動中心Ｏの位置で、移
動テーブル３に連結されており、第２、第３の二軸案内
機構４₂、４₃は、Ｘ軸上において円弧Ｃと交差する位
置Ｐ₂、Ｐ₃で、他の第４、第５の二軸案内機構４₄、
４₅は、Ｙ軸上において円弧Ｃと交差する位置Ｐ₄、Ｐ
₅で、それぞれ移動テーブル３に連結されている。

【００３２】上記５つの二軸案内機構のうち、第１、第
４、第５の二軸案内機構４₁、４₄、４₅は、図１に示
すように、そのＹ軸方向の軌道レール８を共通にしてお
り、このＹ軸方向の軌道レール８が、テーブル基盤２の
幅方向（Ｘ軸方向）の中央部に、当該テーブル基盤２の
長手方向（Ｙ軸方向）に沿って全長に渡って取り付けら
れている。また、上記５つの二軸案内機構のうち、第２
の二軸案内機構４₂は、そのＹ軸方向の軌道レール９
が、テーブル基盤２の幅方向（Ｘ軸方向）の一端寄り
に、当該テーブル基盤２の長手方向に沿って、第１の二
軸案内機構４₁の軌道レール８よりも短く、かつ互いに
平行に取り付けられている。さらに、上記５つの二軸案
内機構のうち、第３の二軸案内機構４₃は、そのＹ軸方
向の軌道レール１０が、テーブル基盤２の幅方向（Ｘ軸
方向）の他端寄りに、当該テーブル基盤２の長手方向に
沿って、第１の二軸案内機構４₁の軌道レール８よりも
短く、かつ互いに平行に取り付けられている。

【００３３】ところで、上記５つの二軸案内機構４₁、
４₂、４₃、４₄、４₅は、同様に構成されており、上
記の如くテーブル基盤２上に取り付けられた長尺なＹ軸
方向の軌道レール８、９、１０と、これらのＹ軸方向の
軌道レール８、９、１０に多数の転動体としてのボール
を介して移動自在に取り付けられる移動ブロック８０、
８１、８２、８３、８４と、これらの移動ブロック８
０、８１、８２、８３、８４に多数の転動体としてのボ
ールを介して前記軌道レール８、９、１０と直交する方
向に移動自在に取り付けられる短いＸ軸方向の軌道レー
ル８５、８６、８７、８８、８９と、を備えるように構
成されている。

【００３４】更に、上記二軸案内機構４₁、４₂、
４₃、４₄、４₅の構成を詳しく説明すると、これらの
二軸案内機構４₁、４₂、４₃、４₄、４₅は、図３に
示すように、Ｙ軸方向の軌道レール８、９、１０、移動
ブロック８０、８１、８２、８３、８４およびＸ軸方向
の軌道レール８５、８６、８７、８８、８９から構成さ
れ、移動テーブル３を互いに直交する二軸（ＸＹ軸）方
向に移動自在に案内すると共に、当該移動テーブル３を
回転自在に支持する直線案内機構である。上記Ｙ軸方向
の軌道レール８、９、１０の上部には、図３（ａ）に示
すように、その両側面に台形状に突出したガイド部１６
が形成されており、これら左右のガイド部１６の上下に
位置する角部には、多数の転動体としてのボール１７が
転走するボール転走溝１８が、２条づつ計４条設けられ
ている。また、上記移動ブロック８０、８１、８２、８
３、８４の下面には、図３（ａ）に示すように、Ｙ軸方
向の軌道レール８、９、１０が挿入される断面コ字状の
第１凹部１９が設けられていると共に、移動ブロック８
０、８１、８２、８３、８４の上面には、図３（ｂ）に
示すように、Ｘ軸方向の軌道レール８５、８６、８７、
８８、８９が挿入される断面コ字状の第２凹部２０が、
第１凹部１９と直交するように設けられている。さら
に、上記Ｙ軸方向の軌道レール８、９、１０の左右両側
面と対向する移動ブロック８０、８１、８２、８３、８
４の第１凹部１９の左右内側面には、図４（ｂ）に示す
ように、Ｙ軸方向の軌道レール８、９、１０の左右のボ
ール転走溝１８と対応する位置に、４条のボール転走溝
２１が設けられている。

【００３５】また、上記移動ブロック８０、８１、８
２、８３、８４の下部には、図４（ａ）（ｂ）に示すよ
うに、第１凹部１９の４条のボール転走溝２１に対応す
る４条のボール逃げ通路２２が平行に設けられ、移動ブ
ロック８０、８１、８２、８３、８４の下部にあって、
第１凹部１９の長手方向に沿った両端部には、図４
（ｃ）に示すように、各移動ブロック８０、８１、８
２、８３、８４のボール転走溝２１の両端とボール逃げ
通路２２の両端を結ぶ４つの方向転換路２３を備えた側
蓋２４が設けられている。

【００３６】上記Ｙ軸方向の軌道レール８、９、１０と
第１凹部１９の間に介装される４列のボール１７の接触
方向は、図４（ｂ）に示すように、上下２条のボール列
の中央を通る水平線Ｈに対して所定角度αでもって対称
的に傾斜している。この実施の形態では、ボール１７の
中心とボール転走溝２１との接点を結ぶ接触角線Ｌが第
１凹部１９の内側に向かって閉じ、第１凹部１９と反対
の外側に向かって開く外開き接触構造となっており、ボ
ール１７には適宜予圧が付与されている。もちろん、第
１凹部１９の内側に向かって開く内開き接触構造として
もよい。

【００３７】一方、Ｘ軸方向の軌道レール８５、８６、
８７、８８、８９の左右両側面にも、図４（ａ）（ｄ）
に示すように、２条づつ計４条のボール２５が転走する
ボール転走溝２６が設けられ、これらのＸ軸方向の軌道
レール８５、８６、８７、８８、８９の左右両側面と対
向する移動ブロック８０、８１、８２、８３、８４の第
２凹部２０の左右内側面にも、Ｘ軸方向の軌道レール８
５、８６、８７、８８、８９の左右のボール転走溝２６
と対応する４条のボール転走溝２７が設けられている。

【００３８】また、移動ブロック８０、８１、８２、８
３、８４の上端部には、第２凹部２０の４条のボール転
走溝２７に対応する４条のボール逃げ通路２８が平行に
設けられ、移動ブロック８０、８１、８２、８３、８４
の第２凹部２０の両端部には、図４（ｅ）に示すよう
に、移動ブロック８０、８１、８２、８３、８４の各ボ
ール転走溝２７の両端とボール逃げ通路２８の両端を結
ぶ４つの方向転換路２９を備えた側蓋３０が設けられて
いる。

【００３９】さらに、Ｘ軸方向の軌道レール８５、８
６、８７、８８、８９と第２凹部２０の間に介装される
４列のボール２５の接触方向は、図４（ｄ）に示すよう
に、上下２列のボール転走溝２６の中間を通る水平線Ｈ
に対して対称的に所定角度α傾斜している。この実施の
形態では、ボール２５の中心とボール転走溝２６との接
点を結ぶ接触角線Ｌが第２凹部２０の内側に向かって閉
じ、第２凹部２０と反対の外側に向かって開く外開き接
触構造となっている。もちろん、第２凹部２０の内側に
向かって開く内開き接触構造としてもよい。なお、ボー
ル２５にも適宜予圧が付与されている。

【００４０】次に、上記５つの二軸案内機構４₁、
４₂、４₃、４₄、４₅のＸ軸方向の軌道レール８５、
８６、８７、８８、８９に対して、移動テーブル３を回
転自在に支持する旋回機構３１の構成を詳細に説明す
る。

【００４１】この旋回機構３１は、図３及び図５に示す
ように、円環状に形成された内側軌道輪３２と外側軌道
輪３３とを備えており、これらの内外側軌道輪３２、３
３は、同心円状に互いに嵌合された状態で配置されてい
る。この実施の形態では、Ｘ軸方向の軌道レール８５、
８６、８７、８８、８９に固定される軌道輪が内側軌道
輪３２で、移動テーブル３側に固定される軌道輪が外側
軌道輪３３となっており、両軌道輪３２、３３の間に
は、転動体として多数のローラ３４が介在されている。

【００４２】また、上記内側軌道輪３２と上記した直線
状のＸ軸方向の軌道レール８５、８６、８７、８８、８
９は、図３に示すように、継手部材７０を介して互いに
連結されている。この継手部材７０は、Ｘ軸方向の軌道
レール８５、８６、８７、８８、８９が固定される第１
継手板７１と、内側軌道輪３２が固定される円板状の第
２継手板７２とを備えており、これら第１継手板７１と
第２継手板７２は、ボルト７３によって互いに固定され
ている。さらに、上記第２継手板７２の外周には、段凸
部７４が設けられており、この段凸部７４に内側軌道輪
３２が上方から嵌合状態に装着されている。上記段凸部
７４の上端面には、ボルト７３によって押さえ部材７５
が締め付け固定されており、押さえ部材７５と段凸部７
４付け根位置の段部７４ａとの間で、内側軌道輪３２が
上下から挟持された状態で固定されている。

【００４３】一方、外側軌道輪３３が固定される移動テ
ーブル３には、前記内側軌道輪３２の押さえ部材７５を
上方から挿通可能な円形の開口部７６が設けられている
と共に、この開口部７６の内周下縁には、円形の段凹部
７７が設けられており、この段凹部７７に外側軌道輪３
３が嵌合状態に装着されている。さらに、上記段凹部７
７の開口縁には、ボルト７３によって外側軌道輪３３を
押さえる押さえ部材７８が締め付け固定され、この押さ
え部材７８と段凹部７７の段部７７ａとの間で外側軌道
輪３３が上下から挟持された状態で固定されている。

【００４４】さらに、上記内側軌道輪３２の外周面に
は、図５（ｂ）に示すように、略９０度の角度で半径方
向に外方に向かって開く２つの上下ローラ転走面３５、
３６からなる第１軌道溝３７が形成されている。一方、
外側軌道輪３３の内周面には、第１軌道溝３７に対向し
て略９０度の角度で半径方向内方に向かって開く２つの
上下ローラ転走面３８、３９からなる第２軌道溝４０が
形成されている。

【００４５】上記第１軌道溝３７と第２軌道溝４０の間
に介装されるローラ３４の一部は、図５（ａ）に示すよ
うに、第１軌道溝３７の上ローラ転走面３５と、第２軌
道溝４０の下ローラ転走面３９との間に転動自在に介装
され、残りのローラ３４は、第１軌道溝３７の下ローラ
転走面３６と、第２軌道溝４０の上ローラ転走面３８と
の間に転動自在に介装されている。

【００４６】このように、第１軌道溝３７の上ローラ転
走面３５と第２軌道溝４０の下ローラ転走面３９間に転
動自在に介装されるローラ３４と、第１軌道溝３７の下
ローラ転走面３６と第２軌道溝４０の上ローラ転走面３
８間に回動自在に介装されるローラ３４は、交互に直交
するように配列されたいわゆる「クロスローラタイプ」
となっている。また、ローラ３４間には、図５（ａ）に
示すように、スペーサリテーナ４１が介装されている。

【００４７】なお、ローラ３４の配列は、交互に回転軸
を直交させるのではなく、２つおき、３つおきに回転軸
の向きを変えてもよく、種々の配列が可能である。ま
た、内側軌道輪３２と外側軌道輪３３間に介装される多
数のローラ３４には、予圧が付与されている。このロー
ラ３４に対する予圧の付与は、この実施の形態では、図
５（ｂ）に示すように、内側軌道輪３２を上下の部分３
２ａ、３２ｂに２つに分割して、各上、下ローラ転走面
３５、３６がローラ３４に自由に当接した状態では、内
側軌道輪３２の上下部３２ａ、３２ｂ間に隙間を形成
し、これら上下部３２ａ、３２ｂの隙間が無くなるまで
上下に締め付けることにより、各ローラ３４を所定量圧
縮して予圧を付与するようになっている。

【００４８】その他、ローラ３４に予圧を付与する構成
としては、外側軌道輪３３にその周方向に沿って一箇所
だけ図示しないスリットを設け、当該外側軌道輪３３を
移動テーブル３の段凹部４２に装着すると、外側軌道輪
３３のスリットが狭まって縮径され、ローラ３４を左右
から押圧して予圧を付与するようにしてもよい。

【００４９】このように、旋回機構３１を、内側軌道輪
３２と外側軌道輪３３間にローラ３４が介装された構成
とすることにより、内外軌道輪３２、３３の構成で、旋
回軸方向に圧縮する荷重、旋回軸方向に引っ張る荷重、
旋回軸と直交する方向に作用する荷重、旋回軸を斜めに
傾ける方向のモーメント荷重等の全方向からの荷重に対
して剛性の高い支持構造が得られる。したがって、軽量
でしかも高剛性の支持構造が得られる。

【００５０】また、この実施の形態に係る移動テーブル
装置１は、図１に示すように、第１の二軸案内機構４₁
のテーブル基盤２側の移動部材である移動ブロック８０
を、移動量の大きなＹ軸方向に沿って駆動する第１の駆
動手段５と、前記第１の駆動手段５によって駆動される
二軸案内機構４₁の移動テーブル３側の移動部材である
Ｘ軸方向の軌道レール８５を、テーブル基盤２側の移動
部材である移動ブロック８０に対してＸ軸方向に沿って
駆動する第２の駆動手段６と、前記５つの二軸案内機構
４₁、４₂、４₃、４₄、４₅のうち、第２の二軸案内
機構４₂のテーブル基盤２側の移動部材である移動ブロ
ック８１を、前記第１の駆動手段５によって駆動される
二軸案内機構４₁のテーブル基盤２側の移動部材である
移動ブロック８０に対して、Ｙ軸方向に沿って駆動する
第３の駆動手段７と、を備えるように構成されている。
なお、上記第３、第４及び第５の二軸案内機構４₃、４
₄、４₅には、駆動手段が取り付けられていない。

【００５１】上記第１の駆動手段５は、図１及び図２に
示すように、サーボモータやステッピングモータ等から
なる駆動モータ４５と、この駆動モータ４５の回転運動
を直線運動に変換する送りねじ機構４６によって構成さ
れている。上記送りねじ機構４６は、第１の二軸案内機
構４₁の移動ブロック１０に２本のブラケット４７を介
して連結されるナット４８と、このナット４８に螺合さ
れる長尺なねじ軸４９と、このねじ軸４９の両端をそれ
ぞれ回転自在に支持する複列アンギュラコンタクトタイ
プのベアリング５０と、このベアリング５０を支持する
ベアリングサポート５１とを備えた構成となっている。
また、上記駆動モータ４５は、テーブル基盤２の長手方
向の端部にブラケット５２を介して固定され、モータ軸
５３が継手部材５４を介してねじ軸４９の軸端に連結さ
れている。上記送りねじ機構４６の長尺なねじ軸４９
は、テーブル基盤２上の幅方向一端側に、第１の二軸案
内機構４₁のＹ軸方向の軌道レール８に沿って、平行に
配置されている。

【００５２】また、上記第２の駆動手段６は、図１及び
図２に示すように、サーボモータやステッピングモータ
等からなる駆動モータ５５と、この駆動モータ５５の回
転運動を直線運動に変換する送りねじ機構５７によって
構成されている。上記送りねじ機構５７は、第１の二軸
案内機構４₁の移動ブロック８０にブラケット５９を介
して連結されるナット６１と、このナット６１に螺合さ
れた短いねじ軸６３とを備えた構成となっている。ま
た、上記駆動モータ５５は、第１の二軸案内機構４₁の
Ｘ軸方向の軌道レール８５にブラケット６５を介して固
定され、図示しないモータ軸には、短いねじ軸６３が直
結されている。

【００５３】さらに、上記第３の駆動手段７は、図１及
び図２に示すように、サーボモータやステッピングモー
タ等からなる駆動モータ５６と、この駆動モータ５６の
回転運動を直線運動に変換する送りねじ機構５８によっ
て構成されている。上記送りねじ機構５８は、第２の二
軸案内機構４₂の移動ブロック８１にブラケット６０を
介して連結されるナット６２と、このナット６２に螺合
された短いねじ軸６４とを備えた構成となっている。ま
た、上記駆動モータ５６は、第１の二軸案内機構４₁の
移動ブロック８０に長いブラケット６６を介して固定さ
れ、図示しないモータ軸には、短いねじ軸６４が直結さ
れている。

【００５４】以上の構成において、この実施の形態１に
係る移動テーブル装置では、次のようにして、移動テー
ブルを原点以外の位置で回転させたり、所定角度だけ回
転させた後に平行に移動させるといった動作を、簡単な
制御で行うことができると共に、回転中心を二軸方向に
沿って直線状に移動させることが容易に可能であり、し
かも、移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させ
ることが可能となっている。

【００５５】すなわち、この実施の形態１に係る移動テ
ーブル装置１では、移動テーブル３を移動させる前の初
期状態において、例えば、当該移動テーブル３が図１に
示す位置に停止している。いま、例えば、この状態から
移動テーブル３の姿勢を変えずに、当該移動テーブル３
をＹ軸方向に沿って平行に移動させる場合には、第１の
二軸案内機構４₁の移動ブロック８０を、Ｙ軸方向に沿
って駆動する第１の駆動手段５の駆動モータ４５を、所
定の方向に回転駆動することにより、当該駆動モータ４
５のモータ軸５３に連結された長尺なねじ軸４９を回転
させる。すると、このねじ軸４９に螺合されたナット４
８は、ねじ軸４９の回転に伴ってＹ軸方向に送られて移
動するため、当該ねじ軸４９に螺合されたナット４８
に、ブラケット４７を介して固定された第１の二軸案内
機構４₁の移動ブロック８０も、図６に示すように、Ｙ
軸方向に沿って移動する。その結果、上記第１の二軸案
内機構４₁の移動ブロック８０に連結された移動テーブ
ル３は、この第１の二軸案内機構４₁の移動ブロック８
０と共に、Ｙ軸方向に沿って所定量ｙだけ移動するよう
になっている。

【００５６】次に、上記移動テーブル３をＸ軸方向に沿
って平行に移動させる場合には、第１の二軸案内機構４
₁のＸ軸方向の軌道レール８５を、Ｘ軸方向に沿って駆
動する第２の駆動手段６の駆動モータ５５を、所定の方
向に回転駆動することにより、当該駆動モータ５５の図
示しないモータ軸に連結されたねじ軸６３を同方向に回
転させる。すると、このねじ軸６３に螺合されたナット
６１は、ブラケット５９を介して、Ｘ軸方向に沿って移
動しない第１の二軸案内機構４₁の移動ブロック８０に
連結されているため、逆にナット６１に螺合されたねじ
軸６３が、図７に示すように、その回転に伴ってＸ軸方
向に沿って移動する。そのため、上記ねじ軸６３が連結
された駆動モータ５５も、ねじ軸６３と共にＸ軸方向
（例えば、図７の左方向）に沿って移動する。その結
果、上記駆動モータ５５にブラケット６５を介して連結
された第１二軸案内機構４₁のＸ軸方向の軌道レール８
５と共に、当該Ｘ軸方向の軌道レール８５に旋回機構３
１を介して回転自在に支持された移動テーブル３は、Ｘ
軸方向に沿って所定量ｘだけ移動するようになってい
る。

【００５７】さらに、上記移動テーブル３をＸＹ軸が形
成する平面に対して直交する回動軸Ｏを中心にして回動
させる場合には、第２の二軸案内機構４₂の移動ブロッ
ク８１を、Ｙ軸方向に沿って駆動する第３の駆動手段７
の駆動モータ５６を、所定の方向に回転駆動することに
より、当該駆動モータ５６の図示しないモータ軸に連結
されたねじ軸６４を、所定の方向に回転させる。その
際、移動テーブル３を反時計回り方向に回転させる場合
には、図８に示すように、第２の二軸案内機構４ ₂の移
動ブロック８１を、図中、下方向に移動させる。一方、
移動テーブル３を時計回り方向に回転させる場合には、
図８において、第２の二軸案内機構４₂の移動ブロック
８１を、図中、上方向に移動させる。

【００５８】すると、上記第３の駆動手段７の駆動モー
タ５６は、図８に示すように、ブラケット６６を介し
て、第１及び第２の駆動手段５、６によって固定され、
Ｘ軸及びＹ軸方向に沿って移動しない第１の二軸案内機
構４₁の移動ブロック８０に連結されているため、駆動
モータ５６に直結されたねじ軸６４に螺合されたナット
６２が、ねじ軸６４の回転に伴ってＹ軸方向に沿って移
動する。そのため、上記ナット６２にブラケット６０を
介して連結された第２の二軸案内機構４₂の移動ブロッ
ク８１が、図８に示すように、Ｙ軸方向に沿って所定量
−Δｙだけ移動する。

【００５９】このように、上記第３の駆動手段７によっ
て、第２の二軸案内機構４₂の移動ブロック８１が、第
１の二軸案内機構４₁の移動ブロック８０に対して、Ｙ
軸方向に沿って所定量−Δｙだけ移動される。すると、
この第２の二軸案内機構４₂によって、Ｘ軸とＹ軸の二
軸方向に沿って移動自在に案内され、かつ回転自在に支
持される移動テーブル３は、図８及び図９に示すよう
に、第２の二軸案内機構４₂によって支持された点Ｐ₂
が、第３の駆動手段７によって図８中下方に移動され
る。そのため、上記移動テーブル３には、図９に示すよ
うに、その回転自在に支持される点Ｐ₂に、第３の駆動
手段７によって、力Ｆ₂が作用し、この力Ｆ ₃は、移動
テーブル３の回転中心Ｏに対して、円周方向を向いてい
るため、当該移動テーブル３を回転させる回転モーメン
ト力となり、移動テーブル３は、図８及び図９中、反時
計回り方向に所定の角度θだけ回転するようになってい
る。

【００６０】さらに、上記移動テーブル３は、図８にお
いて矢印Ｒで示したように、回動軸Ｏを中心にして回転
以外にも、任意の旋回軸を中心にして所望の旋回半径で
回転することが可能となっている。すなわち、移動テー
ブル３を任意の旋回軸を中心にして所望の旋回半径で回
転するには、第１の駆動手段５によって第１の二軸案内
機構４₁をＹ軸方向に沿って所定量Δｙだけ移動させる
と共に、第２の駆動手段６によって第２の二軸案内機構
４₂をＸ軸方向に沿って所定量Δｘだけ移動させ、更に
第３の駆動手段７によって第３の二軸案内機構４₃をθ
方向に沿って所定の角度だけ回転させれば良い。こうす
ることによって、移動テーブル３は、第１、第２、第３
の二軸案内機構４₁、４₂、４₃の移動量Δｘ、Δｙ、
θに応じて決定される旋回半径で、所望の旋回軸を中心
にして回転する。その際、上記第１、第２、第３の二軸
案内機構４₁、４₂、４₃の移動量Δｘ、Δｙ、θは、
幾何学的に定まるもので、予め関係式を制御装置に記憶
させておけば、旋回中心及び旋回角度を指示することに
より、Δｘ、Δｙ、θの量及び各回転モータの回転量が
演算され、第１、第２、第３の駆動手段５、６、７が制
御される。なお、上記第１、第２、第３の二軸案内機構
４₁、４₂、４₃の移動に伴って、当該二軸案内機構４
₁、４₂、４₃が移動テーブル３を回転自在に支持する
位置の変化は、これらの二軸案内機構４₁、４₂、４₃
のＸ軸方向の軌道レール１３や移動ブロック１１、１２
が自在に移動することによって吸収するようになってい
る。

【００６１】また、上記移動テーブル装置１で移動テー
ブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、当該
移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にしてθ方向に回動さ
せる場合には、移動テーブル３をＸ軸方向に移動させる
動作と、移動テーブル３をＹ軸方向に移動させる動作
と、移動テーブル３をθ方向に沿って回転させる動作と
を、任意に組み合わせれば良い。なお、この実施の形態
に係る移動テーブル装置１では、移動テーブル装置１を
Ｙ軸方向に移動させる駆動手段が、第１の駆動手段５で
あり、移動テーブル装置１をＸ軸方向に移動される駆動
手段が、第２の駆動手段６であり、移動テーブル装置１
を回転中心Ｏを中心にして角度θだけ回転させる駆動手
段が、第３の駆動手段７となっており、各駆動手段が完
全に分離されているため、移動テーブル３をＹ軸方向に
移動させる動作と、Ｘ軸方向に移動させる動作と、角度
θだけ回転させる動作とを、別個に又は同時に実行する
ことも可能であり、移動テーブル３を所定の位置に所定
の角度で移動させる制御を、一層容易にしかも短時間で
行うことができる。

【００６２】すなわち、上記移動テーブル装置１で移動
テーブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、
当該移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にしてθ方向に回
動させる場合には、第１の駆動手段５を駆動することに
よって、移動テーブル３をＹ軸方向に沿って所望量だけ
移動させると共に、第２の駆動手段６を駆動することに
よって、移動テーブル３をＸ軸方向に沿って所望量だけ
移動させ、更に、第３の駆動手段７を駆動することによ
って、移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にして所望の角
度θだけ回動させる動作を同時に実行することも可能で
あり、移動テーブル３のＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向へ
の移動制御を、互いに独立して行うことができ、移動テ
ーブル３の移動制御を一層容易にしかも短時間で行うこ
とができる。なお、移動テーブル３をＹ軸方向に移動さ
せる動作と、Ｘ軸方向に移動させる動作と、角度θだけ
回転させる動作とを、別個に行っても良いことは勿論で
ある。

【００６３】このように、上記実施の形態１に係る移動
テーブル装置１では、移動テーブル３を原点以外の位置
で回転させたり、所定角度だけ回転させた後に平行に移
動させるといった動作を、簡単な制御で行うことができ
る。また、上記移動テーブル装置１では、第１の駆動手
段５のみを駆動することによって、移動テーブル３をＹ
軸方向に直線状に移動させることが容易に可能であると
共に、第２の駆動手段６を駆動することによって、移動
テーブル３をＸ軸方向に直線状に移動させることも容易
に可能となっている。さらに、上記第１の駆動手段５に
よって駆動される第１の二軸案内機構４₁のＹ軸方向の
軌道レール８は、長尺に形成されているため、移動テー
ブル３を一軸方向に沿って大きく移動させることも可能
となっている。

【００６４】また、上記実施の形態１に係る移動テーブ
ル装置１では、移動テーブル３を支持する５つの二軸案
内機構が、第１の二軸案内機構４₁を中心にして、他の
４つの二軸案内機構４₂、４₃、４₄、４₅が円弧上で
あって、かつＸ軸上及びＹ軸上に配置されているので、
移動テーブル３をＸ軸方向及びＹ軸方向の双方に安定し
て支持することができ、当該移動テーブル３の移動を一
層安定化させることができると共に、幅広のテーブル３
の使用、あるいは負荷容量の増大等を図る場合に特に有
効である。

【００６５】なお、前記実施の形態１では、駆動手段と
して、テーブル基盤側に取り付けられる送りねじと、第
１の二軸案内機構の移動ブロック側に取り付けられるナ
ット部とからなるものを用いたが、送りねじを移動テー
ブル側に取り付け、ナット部を第１の二軸案内機構の移
動ブロック側に取り付けるように構成しても良い。

【００６６】また、前記実施の形態１では、第１、第
２、第３の駆動手段を、第１、第２、第３の二軸案内機
構を別個に設ける場合について説明したが、これに限定
されるものではなく、第１、第２、第３の駆動手段の移
動ブロック等にナット部を一体的に設け、この移動ブロ
ック等の内部に送りねじを一体的に配置するように構成
しても良い。こうした場合には、第１、第２、第３の駆
動手段と、第１、第２、第３の二軸案内機構とを一体化
することができるため、装置を一層小型化することが可
能となる。

【００６７】さらに、前記実施の形態１では、第２の駆
動手段６と、第１の二軸案内機構４ ₁のＸ軸方向の軌道
レール８５を取り去ることによって、Ｘθテーブルとし
て使用することができる。その際、上記第１の二軸案内
機構４₁に取り付けられる旋回機構３１は、そのまま移
動ブロック８０に残される。

【００６８】実施の形態２図１０及び図１１はこの発明の実施の形態２を示すもの
であり、前記実施の形態１と同一の部分には同一の符号
を付して説明すると、この実施の形態２は、テーブル基
盤に対して移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に
沿って、かつ一方の軸方向に沿って大きく移動自在に案
内すると共に、移動テーブルを回転自在に支持する二軸
案内機構が、２つ設けられており、第１及び第２の駆動
手段が取り付けられた二軸案内機構と、第３の駆動手段
が取り付けられた二軸案内機構は、共に、任意の円弧の
中心以外の位置に配置されている。

【００６９】すなわち、この発明の実施の形態２に係る
移動テーブル装置１では、図１０に示すように、テーブ
ル基盤２上に、２つの二軸案内機構４₁、４₂が所定の
位置に配置されている。これらの２つの二軸案内機構４
₁、４₂は、例えば、駆動を開始する前の初期状態とし
て、図１０に示すように、第１の二軸案内機構４₁が移
動テーブル３を回転自在に支持する位置Ｐ₁と、第２の
二軸案内機構４₂が移動テーブル３を回転自在に支持す
る位置Ｐ₂が、共に、任意の円弧Ｃの中心Ｏ以外の位置
に配置されている。なお、上記第１の二軸案内機構４₁
が移動テーブル３を回転自在に支持する位置Ｐ₁を、前
記実施の形態１と同様に、１つの円弧Ｃの中心Ｏに配置
するように構成しても勿論よい。

【００７０】上記テーブル基盤２は、図１０及び図１１
に示すように、幅の比較的狭い平面矩形の平板状に形成
されていると共に、移動テーブル３は、テーブル基盤２
の幅よりも大きな直径を有する円板状に形成されてい
る。上記２つの二軸案内機構のうち、第１の二軸案内機
構４₁は、そのＹ軸方向の軌道レール８が、テーブル基
盤２の幅方向（Ｘ軸方向）の一端寄りに、当該テーブル
基盤２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って全長に渡って取
り付けられている。また、上記他方の第２の二軸案内機
構４₂は、そのＹ軸方向の軌道レール９が、テーブル基
盤２の幅方向の他端寄りに、当該テーブル基盤２の長手
方向（Ｙ軸方向）に沿って全長に渡って、第１の二軸案
内機構４₁の軌道レール８と互いに平行に取り付けられ
ている。

【００７１】ところで、上記２つの二軸案内機構４₁、
４₂は、同様に構成されており、上記の如くテーブル基
盤２上に取り付けられたＹ軸方向の軌道レール８、９
と、Ｙ軸方向の軌道レール８、９に多数の転動体として
のボールを介して移動自在に取り付けられる移動ブロッ
ク８０、８１と、これらの移動ブロック８０、８１に多
数の転動体としてのボールを介して前記軌道レール８、
９と直交する方向に移動自在に取り付けられる短いＸ軸
方向の軌道レール８５、８６とを備えるように構成され
ている。

【００７２】なお、上記二軸案内機構４₁、４₂は、前
記実施の形態１と同様に構成されており、Ｙ軸方向の軌
道レール８、９、移動ブロック８０、８１およびＸ軸方
向の軌道レール８５、８６から構成され、移動テーブル
３を互いに直交する二軸（ＸＹ軸）方向に移動自在に案
内すると共に、当該移動テーブル３を回転自在に支持す
る直線案内機構である。また、上記二軸案内機構４₁、
４₂のＸ軸方向の軌道レール８５、８６は、旋回機構３
１を介して、移動テーブル３を回転自在に支持してい
る。

【００７３】また、この実施の形態２に係る移動テーブ
ル装置１は、第１の二軸案内機構４ ₁のテーブル基盤２
側の移動部材４である移動ブロック８を、移動量の大き
なＹ軸方向に沿って駆動する第１の駆動手段５と、前記
第１の駆動手段５によって駆動される二軸案内機構４₁
の移動テーブル３側の移動部材であるＸ軸方向の軌道レ
ール８５を、テーブル基盤２側の移動部材である移動ブ
ロック８０に対してＸ軸方向に沿って駆動する第２の駆
動手段６と、第２の二軸案内機構４₂のテーブル基盤２
側の移動部材である移動ブロック８１を、前記第１の駆
動手段５によって駆動される二軸案内機構４₁のテーブ
ル基盤２側の移動部材である移動ブロック８０に対し
て、Ｙ軸方向に沿って駆動する第３の駆動手段７と、を
備えるように構成されている。

【００７４】上記第１、第２、第３の駆動手段５、６、
７は、図１０及び図１１に示すように、前記実施の形態
１と同様に、駆動モータ４５、５５、５６と、これらの
駆動モータ４５、５５、５６の回転運動を直線運動に変
換する送りねじ機構４６、５７、５８によって構成され
ている。

【００７５】以上の構成において、この実施の形態２に
係る移動テーブル装置では、次のようにして、移動テー
ブルを原点以外の位置で回転させたり、所定角度だけ回
転させた後に平行に移動させるといった動作を、簡単な
制御で行うことができると共に、回転中心を二軸方向に
沿って直線状に移動させることが容易に可能であり、し
かも、移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させ
ることが可能となっている。

【００７６】すなわち、この実施の形態２に係る移動テ
ーブル装置１では、移動テーブル３を移動させる前の初
期状態においては、例えば、当該移動テーブル３が図１
０に示す位置に停止している。いま、例えば、この状態
から移動テーブル３の姿勢を変えずに、当該移動テーブ
ル３をＹ軸方向に沿って平行に移動させる場合には、第
１の二軸案内機構４₁の移動ブロック８０を、Ｙ軸方向
に沿って駆動する第１の駆動手段５の駆動モータ４５
を、所定の方向に回転駆動することにより、当該駆動モ
ータ４５のモータ軸５３に連結された長尺なねじ軸４９
を回転させる。すると、このねじ軸４９に螺合されたナ
ット４８は、ねじ軸４９の回転に伴ってＹ軸方向に送ら
れて移動するため、当該ねじ軸４９に螺合されたナット
４８に、ブラケット４７を介して固定された第１の二軸
案内機構４₁の移動ブロック８０も、Ｙ軸方向に沿って
移動する。その結果、上記第１の二軸案内機構４₁の移
動ブロック８０に連結された移動テーブル３は、この第
１の二軸案内機構４₁の移動ブロック８０と共に、Ｙ軸
方向に沿って所定量ｙだけ移動するようになっている。

【００７７】次に、上記移動テーブル３をＸ軸方向に沿
って平行に移動させる場合には、図１０に示すように、
第１の二軸案内機構４₁のＸ軸方向の軌道レール８５
を、Ｘ軸方向に沿って駆動する第２の駆動手段６の駆動
モータ５５を、所定の方向に回転駆動することにより、
当該駆動モータ５５の図示しないモータ軸に連結された
ねじ軸６３を回転させる。すると、このねじ軸６３に螺
合されたナット６１は、ブラケット５９を介して、Ｘ軸
方向に沿って移動しない第１の二軸案内機構４₁の移動
ブロック８０に連結されているため、逆にナット６１に
螺合されたねじ軸６３が、その回転に伴ってＸ軸方向に
沿って移動する。そのため、上記ねじ軸６３が直結され
た駆動モータ５５も、ねじ軸６３と共にＸ軸方向に沿っ
て移動する。その結果、上記駆動モータ５５にブラケッ
ト６５を介して連結された第１の二軸案内機構４₁のＸ
軸方向の軌道レール８５と共に、当該Ｘ軸方向の軌道レ
ール８５に旋回機構３１を介して回転自在に連結された
移動テーブル３は、Ｘ軸方向に沿って所定量ｘだけ移動
するようになっている。

【００７８】さらに、上記移動テーブル３をＸＹ軸が形
成する平面に対して直交する回動軸を中心にして回動さ
せる場合には、第２の二軸案内機構４₂の移動ブロック
８１を、Ｙ軸方向に沿って駆動する第３の駆動手段７の
駆動モータ５６を、所定の方向に回転駆動することによ
り、当該駆動モータ５６の図示しないモータ軸に直結さ
れたねじ軸６４を、所定の方向に回転させる。その際、
移動テーブル３を反時計回り方向に回転させる場合に
は、図１０に示すように、第２の二軸案内機構４ ₂の移
動ブロック８１を、図中、下方向に移動させる。一方、
移動テーブル３を時計回り方向に回転させる場合には、
図１０において、第２の二軸案内機構４₂の移動ブロッ
ク８１を、図中、上方向に移動させる。

【００７９】すると、上記第３の駆動手段７の駆動モー
タ５６は、ブラケット６６を介して、第１及び第２の駆
動手段５、６によって固定され、Ｘ軸及びＹ軸方向に沿
って移動しない第１の二軸案内機構４₁の移動ブロック
８０に連結されているため、駆動モータ５６に直結され
たねじ軸６４に螺合されたナット６２が、ねじ軸６４の
回転に伴ってＹ軸方向に沿って移動する。そのため、上
記ナット６２にブラケット６０を介して連結された第２
の二軸案内機構４₂の移動ブロック８１が、図１２に示
すように、Ｙ軸方向に沿って所定量−Δｙだけ移動す
る。

【００８０】このように、上記第３の駆動手段７によっ
て、第２の二軸案内機構４₂の移動ブロック８１が、第
１の二軸案内機構４₁の移動ブロック８０に対して、Ｙ
軸方向に沿って所定量−Δｙだけ移動する。すると、こ
の第２の二軸案内機構４₂によって、Ｘ軸とＹ軸の二軸
方向に沿って移動自在に案内され、かつ回転自在に支持
される移動テーブル３は、図１２に示すように、第２の
二軸案内機構４₂によって支持された点Ｐ₂が、第３の
駆動手段７によって図中下方に移動されることになる。
そのため、上記移動テーブル３には、図１２に示すよう
に、その回転自在に支持される点Ｐ₂に、第３の駆動手
段７によって、力Ｆ₂が作用する。その際、上記移動テ
ーブル３は、図１０に示すように、第１及び第２の二軸
案内機構４₁、４₂によって、二軸方向に沿って移動自
在に、かつ点Ｐ₁及びＰ₂を中心にして旋回機構３１を
介して回転自在に支持されているが、第１の二軸案内機
構４₁が移動テーブル３を回転自在に支持する点Ｐ
₁は、第１及び第２の駆動手段５、６によって、第１の
二軸案内機構４₁の移動ブロック８０及びＸ軸方向の軌
道レール８５の位置が固定されているため、この点Ｐ₁
の位置も固定されている。したがって、上記移動テーブ
ル３に、図１３に示す如く、その回転自在に支持される
点Ｐ₂に、第３の駆動手段７によって、力Ｆ₂が作用す
ると、この力Ｆ₂は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置が固
定された点Ｐ₁を中心とした回転モーメントとして、移
動テーブル３に作用し、移動テーブル３は、図１０及び
図１２に示すように、点Ｐ₁を中心にして反時計回り方
向に所定の角度θだけ回転するようになっている。

【００８１】また、上記移動テーブル装置１で移動テー
ブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、当該
移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にしてθ方向に回動さ
せる場合には、移動テーブル３をＸ軸方向に移動させる
動作と、移動テーブル３をＹ軸方向に移動させる動作
と、移動テーブル３をθ方向に沿って回転させる動作と
を、任意に組み合わせれば良い。なお、この実施の形態
２に係る移動テーブル装置１では、移動テーブル３をＹ
軸方向に移動される駆動手段が、第１の駆動手段５であ
り、移動テーブル３をＸ軸方向に移動される駆動手段
が、第２の駆動手段６であり、移動テーブル装置１を回
転中心Ｏを中心にして角度θだけ回転させる駆動手段
が、第３の駆動手段７となっており、各駆動手段が完全
に分離されて独立しているため、移動テーブル３をＹ軸
方向に移動させる動作と、Ｘ軸方向に移動させる動作
と、角度θだけ回転させる動作とを、同時に実行するこ
とも可能であり、移動テーブル３を所定の位置に所定の
角度で移動させる制御を、一層容易にしかも短時間で行
うことができる。

【００８２】すなわち、上記移動テーブル装置１で移動
テーブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、
当該移動テーブル３を回動軸となるＰ₁を中心にしてθ
方向に回動させる場合には、第１の駆動手段５を駆動す
ることによって、移動テーブル３をＹ軸方向に沿って所
望量だけ移動させると共に、第２の駆動手段６を駆動す
ることによって、移動テーブル３をＸ軸方向に沿って所
望量だけ移動させ、更に、第３の駆動手段７を駆動する
ことによって、移動テーブル３を回動軸となるＰ₁を中
心にして所望の角度θだけ回動させる動作を同時に実行
することも可能であり、移動テーブル３のＸ軸方向、Ｙ
軸方向、θ方向への移動制御を、互いに独立して行うこ
とができ、移動テーブル３の移動制御を一層容易にしか
も短時間で行うことができる。なお、移動テーブル３を
Ｙ軸方向に移動させる動作と、Ｘ軸方向に移動させる動
作と、角度θだけ回転させる動作とを、別個に実行して
も良いことは勿論である。

【００８３】このように、上記実施の形態２に係る移動
テーブル装置１では、移動テーブル３を原点以外の位置
で回転させたり、所定角度だけ回転させた後に平行に移
動させるといった動作を、簡単な制御で行うことができ
る。また、上記移動テーブル装置１では、第１の駆動手
段５のみを駆動することによって、移動テーブル３をＹ
軸方向に直線状に移動させることが容易に可能であると
共に、第２の駆動手段６を駆動することによって、移動
テーブル３をＸ軸方向に直線状に移動させることも容易
に可能となっている。さらに、上記第１の駆動手段５に
よって駆動される第１の二軸案内機構４₁のＹ軸方向の
軌道レール８は、長尺に形成されているため、移動テー
ブル３を一軸方向に沿って大きく移動させることも可能
となっている。

【００８４】また、この実施の形態２においても、第２
の駆動手段６と、第１の二軸案内機構４₁のＸ軸方向の
軌道レール８５を取り去ることによって、Ｘθテーブル
として使用することができる。その際、上記第１の二軸
案内機構４₁に取り付けられる旋回機構３１は、そのま
ま移動ブロック８０に残される。

【００８５】なお、前記実施の形態２では、駆動手段と
して、テーブル基盤側に取り付けられる送りねじと、第
１の二軸案内機構の移動ブロック側に取り付けられるナ
ット部とからなるものを用いたが、送りねじを移動テー
ブル側に取り付け、ナット部を第１の二軸案内機構の移
動ブロック側に取り付けるように構成しても良い。

【００８６】さらに、前記実施の形態２では、第１、第
２、第３の駆動手段を、第１、第２、第３の二軸案内機
構を別個に設ける場合について説明したが、これに限定
されるものではなく、第１、第２、第３の駆動手段の移
動ブロック等にナット部を一体的に設け、この移動ブロ
ック等の内部に送りねじを一体的に配置するように構成
しても良い。こうした場合には、第１、第２、第３の駆
動手段と、第１、第２、第３の二軸案内機構とを一体化
することができるため、装置を一層小型化することが可
能となる。

【００８７】その他の構成及び作用は、前記実施の形態
１と同様であるので、その説明を省略する。

【００８８】実施の形態３図１４はこの発明の実施の形態３を示すものであり、前
記実施の形態１と同一の部分には同一の符号を付して説
明すると、この実施の形態３は、移動テーブルを、互い
に交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に沿っ
て大きく移動自在に案内すると共に、移動テーブルを回
転自在に支持する複数の二軸案内機構の構成が、前記実
施の形態１と異なっている。

【００８９】すなわち、この発明の実施の形態３に係る
移動テーブル装置１では、二軸案内機構４が、図１４に
示すように、テーブル基盤２上に取り付けられた長尺な
Ｙ軸方向の軌道レール１００と、このＹ軸方向の軌道レ
ール１００に多数の転動体としてのボールを介して移動
自在に取り付けられる第１の移動ブロック１０１と、こ
の移動ブロック１０１に前記Ｙ軸方向の軌道レールと直
交するように直交する方向に固定して取り付けられたＸ
軸方向の軌道レール１０２と、このＸ軸方向の軌道レー
ル１０２に多数の転動体としてのボールを介して移動自
在に取り付けられる第２の移動ブロック１０３と、を備
えるように構成されている。

【００９０】更に、上記二軸案内機構４の構成を詳しく
説明すると、この二軸案内機構４は、図１４に示すよう
に、Ｙ軸方向の軌道レール１００、第１の移動ブロック
１０１、Ｘ軸方向の軌道レール１０２及び第２の移動ブ
ロック１０３から構成され、移動テーブル３を互いに直
交する二軸（ＸＹ軸）方向に移動自在に案内すると共
に、当該移動テーブル３を回転自在に支持する直線案内
機構である。

【００９１】上記Ｘ軸方向の軌道レール１００は、図１
４（ａ）及び図１５（ａ）に示すように、第１移動ブロ
ック１０１を挟むようにして支持する一対の支持壁部１
０４と、これらの支持壁部１０４を連結する底壁部１０
５によって構成される一体成形物で、左右の支持壁部１
０４の内周面に上下２条づつ計４条のボール１０６が転
走するボール転走溝１０７が形成されている。また、第
１移動ブロック１０１の左右外側面に支持壁１０４内周
に形成されたボール転走溝１０７に対応する上下２条づ
つ計４条のボール転走溝１０８が形成されている。

【００９２】一方、第１移動ブロック１０１には、左右
両側面の４条のボール転走溝１０８に対応する４条のボ
ール逃げ通路１０９が平行に設けられ、図１５（ｂ）に
示すように、両端にボール転走溝１０８の両端とボール
逃げ通路１０９の両端を結ぶ４つの方向転走路１１０を
備えた側蓋１１１が設けられている。

【００９３】この第１軌道レール１００の左右支持壁１
０４と第１移動ブロック１０１外側面のボール転走溝１
０８間に介装される４列のボール１０６の接触方向は、
図１５（ａ）に示すように、上下２列のボール中央を通
る水平線Ｈに対して所定の接触角αでもって対称的に傾
斜している。この実施の形態３では、ボール１０６とボ
ール転走溝１０８との接点を結ぶ接触角線が第１移動ブ
ロック１０１の中心に向かって開き、第１移動ブロック
１０１と反対の外側に向かって閉じる内開き接触構造と
なっている。

【００９４】上記第１移動ブロック１０１の中央部に
は、左右のボール転走溝１０８と平行に延びるねじ孔１
１２が設けられ、このねじ孔１１２にねじ軸１１３が螺
合されている。このねじ孔１１２とねじ軸１１３の間に
ボールを転動自在に介装してボールねじ軸とすることが
好ましい。

【００９５】また、上記ねじ軸１１３の両端は、図１４
（ｂ）に示すように、第１軌道レール１００に固定され
るベアリングサポート１１４に、ベアリング１１５を介
して回転自在に支持されている。さらに、ねじ軸１１３
の一端は、継手部材を介して、第１軌道レール１００に
固定される図示しない回転モータの出力軸と連結されて
いる。

【００９６】一方、上記第２の移動ブロック１０３の下
面には、図１４に示すように、第１移動ブロック１０１
上に固定された第２軌道レール１０２が挿入される第２
凹部１１６が設けられている。上記第２軌道レール１０
２の左右両側面にも２条づつ計４条のボール１１７が転
走するボール転走溝１１８が設けられ、この第２軌道レ
ール１０２の左右両側面と対向する第２移動ブロック１
０３の第２凹部１１６の左右内側面に第２軌道レール１
０２の左右のボール転走溝１１８と対応する４条ボール
転走溝１１９が設けられている。

【００９７】また、第２移動ブロック１０３には、図１
５（ｃ）に示すように、第２凹部１１６の４条のボール
転走溝１１９に対応する４条のボール逃げ通路１２０が
平行にも設けられ、第２の移動ブロック１０３の第２凹
部１１６の両端部には、移動ブロック１０３の各ボール
転走溝１１８の両端とボール逃げ通路１２０の両端を結
ぶ４つの方向転換路１２１を備えた側蓋１２２が設けら
れている。

【００９８】さらに、第２軌道レール１０２と第２凹部
１１６の間に介装される４列のボール１１７の接触方向
は、図１５（ｃ）に示すように、上下２列のボール１１
７の中間を通る水平線Ｈに対して対称的に所定角度α傾
斜している。この実施の形態では、ボール１１７とボー
ル転走溝１１９との接点を結ぶ接触角線が第２凹部１１
６の内側に向かって閉じ、第２凹部１１６と反対の外側
に向かって開く外開き接触構造となっている。

【００９９】そして、上記の如く構成される二軸案内機
構４は、図１４に示すように、前記実施の形態１と同様
に構成された旋回機構３１介して、移動テーブル３を回
転自在に支持している。

【０１００】このように、上記二軸案内機構４を、幅の
広い第１の軌道レール１００や第２の軌道レール１０２
等で支持することにより、移動テーブル３を一層安定し
た状態で支持することができ、移動テーブル３に加わる
大きな負荷に対しても支持可能となる。また、上記二軸
案内機構４にねじ孔１１２やねじ軸１１３等からなる駆
動機構を一体的に設けることにより、装置の構成を簡素
化することができる。

【０１０１】その他の構成及び作用は、前記実施の形態
と同様であるので、その説明を省略する。

【０１０２】実施の形態４図１６はこの発明の実施の形態４を示すものであり、前
記実施の形態１と同一の部分には同一の符号を付して説
明すると、この実施の形態４は、第１の軌道レール、移
動ブロック、第２の軌道レールの構成は、前記実施の形
態１の構成と同一であるが、旋回機構の位置が、移動テ
ーブル側ではなく、移動ブロックを第１上下に分割して
第１の移動ブロックと第２の移動ブロックとし、これら
第１の移動ブロックと第２の移動ブロックとの間に、旋
回機構が配置されている点が、前記実施の形態１と異な
っている。

【０１０３】すなわち、この発明の実施の形態４に係る
移動テーブル装置１では、二軸案内機構４が、図１６に
示すように、旋回機構３１が、移動テーブル３側ではな
く、移動ブロック８０を第１上下に分割して第１の移動
ブロック８０ａと第２の移動ブロック８０ｂとし、これ
第１の移動ブロック８０ａと第２の軌道レール１０２と
の間に、旋回機構３１が配置されている点を除けば、そ
の他の構成及び作用は、前記実施の形態１と同様である
ので、その説明を省略する。

【０１０４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
移動テーブルを原点以外の位置で回転させたり、所定角
度回転させた後に平行に移動させるといった動作が、簡
単な制御で行えると共に、回転中心を一軸方向に沿って
直線状に移動させることが容易に可能であり、しかも、
移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させること
が可能な移動テーブル装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置を示す平面構成図である。

【図２】図２は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置を示す一部破断の側面構成図である。

【図３】図３（ａ）（ｂ）は二軸案内機構をそれぞれ
示す断面構成図である。

【図４】図４（ａ）〜（ｅ）は二軸案内機構をそれぞ
れ示す構成図である。

【図５】図５（ａ）（ｂ）は旋回機構をそれぞれ示す
一部破断の斜視図及び取付状態の要部断面構成図であ
る。

【図６】図６は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の使用状態を示す平面構成図である。

【図７】図７は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の使用状態を示す平面構成図である。

【図８】図８は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の使用状態を示す平面構成図である。

【図９】図９は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の動作を示す説明図である。

【図１０】図１０は本発明の実施の形態２に係る移動
テーブル装置を示す平面構成図である。

【図１１】図１１は本発明の実施の形態２に係る移動
テーブル装置を示す一部破断の側面構成図である。

【図１２】図１２は本発明の実施の形態２に係る移動
テーブル装置の使用状態を示す平面構成図である。

【図１３】図１３は本発明の実施の形態２に係る移動
テーブル装置の動作を示す説明図である。

【図１４】図１４（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態
３に係る移動テーブル装置の二軸案内機構をそれぞれ示
す断面構成図である。

【図１５】図１５（ａ）〜（ｅ）は本発明の実施の形
態３に係る移動テーブル装置の二軸案内機構をそれぞれ
示す構成図である。

【図１６】図１６（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態
４に係る移動テーブル装置の二軸案内機構をそれぞれ示
す断面構成図である。

【符号の説明】

１：移動テーブル装置、２：テーブル基盤、３：移動テ
ーブル、４₁、４₂、４₃、４₄、４₅：二軸案内機
構、５：第１の駆動手段、６：第２の駆動手段、７：第
２の駆動手段、３１：旋回機構。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】テーブル基盤に対して移動テーブルを、
互いに交差する二軸方向に沿って移動可能に、かつ二軸
が形成する平面に対して直交する軸を中心にして回動可
能に取り付けてなる移動テーブル装置において、前記テーブル基盤に対して移動テーブルを、互いに交差
する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に沿って大き
く移動自在に案内すると共に、移動テーブルを回転自在
に支持する複数の二軸案内機構と、前記複数の二軸案内機構のうち、少なくとも１つの二軸
案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、移動量の大き
な第１の軸方向に沿って駆動する第１の駆動手段と、前記第１の駆動手段によって駆動される二軸案内機構の
移動テーブル側の移動部材を、テーブル基盤側の移動部
材に対して第２の軸方向に沿って駆動する第２の駆動手
段と、前記複数の二軸案内機構のうち、少なくとも他の１つの
二軸案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、前記第１
の駆動手段によって駆動される二軸案内機構のテーブル
基盤側の移動部材に対して、第１の軸方向に沿って駆動
する第３の駆動手段と、を備えたことを特徴とする移動
テーブル装置。
【請求項２】前記第１の駆動手段が取り付けられた二
軸案内機構は、移動テーブルが回転する円弧の中心に配
置されていると共に、第３の駆動手段が取り付けられた
二軸案内機構は、移動テーブルが回転する軸を中心にし
た円弧上であって、かつ第２の軸方向に沿った直径上に
配置されていることを特徴とする請求項１に記載の移動
テーブル装置。