JPH11300557A - 移動テーブル装置 - Google Patents

移動テーブル装置

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JPH11300557A
JPH11300557A JP10105181A JP10518198A JPH11300557A JP H11300557 A JPH11300557 A JP H11300557A JP 10105181 A JP10105181 A JP 10105181A JP 10518198 A JP10518198 A JP 10518198A JP H11300557 A JPH11300557 A JP H11300557A
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JP
Japan
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moving
moving table
along
axis
biaxial
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Withdrawn
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JP10105181A
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English (en)
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Junichi Sakai
淳一 坂井
Yoichi Fukazawa
陽一 深沢
Satoshi Okamura
諭 岡村
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THK Co Ltd
Original Assignee
THK Co Ltd
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Publication date
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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Abstract

(57)【要約】 【解決課題】 移動テーブルを原点以外の位置で回転さ
せたり、所定角度だけ回転させた後に平行に移動させる
といった動作を、簡単な制御で行うことができると共
に、回転中心を二軸方向に沿って直線状に移動させるこ
とが容易に可能であり、しかも、移動テーブルを一軸方
向に沿って大きく移動させることが可能な移動テーブル
装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 テーブル基盤２に対して移動テーブル３
を、互いに交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方
向に沿って大きく移動自在に案内すると共に、移動テー
ブルを回転自在に支持する複数の二軸案内機構４1 、４
2 、４3 と、前記複数の二軸案内機構４1 、４2 、４3
の移動部材を、二軸方向に沿って選択的に移動させるこ
とにより、テーブル基盤２に対して移動テーブル３を、
二軸方向に沿った直線運動と、当該二軸が形成する平面
に対して直交する軸を中心にした回転運動とが可能とな
るように駆動する駆動手段５、６、７と、を備えるよう
に構成して課題を解決した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密印刷機械や精
密加工機械、あるいは精密製造機械等に使用される移動
テーブル装置に係り、特に、テーブル基盤に対して移動
テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って移動可能
に、かつ二軸が形成する平面に対して直交する軸を中心
にして回動可能に取り付けてなる移動テーブル装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記精密印刷機械や精密加工機
械、あるいは精密製造機械等に使用される移動テーブル
装置としては、テーブル基盤に対して移動テーブルを、
互いに交差する二軸方向に沿って移動可能に取り付けて
なる、所謂ＸＹテーブルが多く用いられている。このＸ
Ｙテーブルは、移動テーブル上に載置されたワークを、
Ｘ軸とＹ軸の二軸方向に沿って各々移動させるものであ
るが、精密印刷機械等においては、移動テーブル上に載
置された印刷用のワークを、二軸方向に沿って移動させ
るのみならず、当該二軸が形成する平面に対して直交す
る軸を中心にして回動させる動作が必要となる場合があ
る。
【０００３】そこで、上記精密印刷機械等において使用
される移動テーブル装置としては、テーブル基盤に対し
て移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って移
動可能であるのみならず、二軸が形成する平面に対して
直交する軸を中心にして回動可能に取り付けてなる、い
わゆる”ＸＹθテーブル”と呼ばれる装置が使用されて
いる。
【０００４】このＸＹθテーブルに関する技術として
は、例えば、特開平８−９９２４３号公報や特開平１−
２４０２４６号公報、特開平１−２４２９８９号公報、
特開平４−２１０３４７号公報、特開平８−２１１１７
３号公報、特開平８−２５２７３３号公報、特開平９−
４２４０５号公報、特開平９−１５５６６６号公報、特
開平９−２１６１３８号公報等、あるいは、実用新案掲
載公報第２５１５３１６号や特開平４−３５４６３７号
公報、特開平６−３１５６３号公報等、更に特開平７−
２１９６３６号公報や特開平５−７７１２５号公報、特
開平４−２４３５号公報、特開平３−５６８９５号公
報、特開平２−２０２０３１号公報、特開昭６２−２８
２２９４号公報等、多くのものが、既に提案されてい
る。
【０００５】これらのＸＹθテーブルに関する技術のう
ち、代表的なものについて説明すると、特開平８−９９
２４３号公報に係る縦横移動旋回テーブル機構は、ベー
ス上に、３台のＸＹ直線案内機構を介して可動テーブル
を全方向に移動自在に支持すると共に、これらＸＹ直線
案内機構が有する移動ブロックに対して個別のボールね
じ装置にて駆動力を付与し、各ＸＹ直線案内機構が有す
る上方レールを可動テーブルの下面に固着すると共に、
該ＸＹ直線案内機構が有する上下のブロックをピン及び
ベアリングにて互いに回動自在に連結するように構成し
たものである。
【０００６】また、実用新案掲載公報第２５１５３１６
号に係る移動テーブルは、ベース上に、スラストベアリ
ングを介して可動テーブルを全方向に移動自在に支持す
ると共に、ベースに互いに直交する方向に３機の駆動装
置を取り付け、これらの駆動装置の出力軸を継手を介し
て可動テーブルに連結するように構成したものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術の場合には、次のような問題点を有している。す
なわち、上記特開平８−９９２４３号公報に係る縦横移
動旋回テーブル機構の場合には、ベース上に、３台のＸ
Ｙ直線案内機構を介して可動テーブルを全方向に移動自
在に支持すると共に、これらＸＹ直線案内機構が有する
移動ブロックに対して個別のボールねじ装置にて駆動力
を付与するように構成したものであるため、可動テーブ
ルを原点以外の位置で回転させたり、所定角度回転させ
た後に平行に移動させるには、３台のＸＹ直線案内機構
の移動ブロックを、各々相互に関連する異なった量だけ
別個に移動させなければならず、テーブルの移動制御が
複雑になるという問題点があった。また、上記特開平８
−９９２４３号公報に係る縦横移動旋回テーブル機構の
場合には、可動テーブルの回転中心がＸＹ方向の移動に
相互に関連して移動してしまうため、可動テーブルをＸ
Ｙ平面内で位置決めした上で、一軸方向に沿って直線状
に移動させつつ回転させて、当該可動テーブル上に載置
されたワークに対して印刷等の処理を施す場合などの動
作が困難であるという問題点もあった。さらに、上記特
開平８−９９２４３号公報に係る縦横移動旋回テーブル
機構の場合には、ベース上に、３台のＸＹ直線案内機構
を介して可動テーブルを全方向に移動自在に支持するよ
うに構成したものであるため、可動テーブル上に載置さ
れるワークの着脱等を行う際に、可動テーブルを一軸方
向に沿って大きく移動させたい場合などでも、可動テー
ブルを一軸方向に沿って大きく移動させることができな
いという問題点もあった。
【０００８】一方、上記実用新案掲載公報第２５１５３
１６号に係る移動テーブルの場合にも、ベース上に、ス
ラストベアリングを介して可動テーブルを全方向に移動
自在に支持すると共に、ベースに互いに直交する方向に
３機の駆動装置を取り付け、これら駆動装置の出力軸を
継手を介して可動テーブルに連結するように構成したも
のであるため、同様に、可動テーブルを原点以外の位置
で回転させたり、所定角度だけ回転させた後に平行に移
動させるには、３機の駆動装置を、各々相互に関連する
異なった量だけ別個に移動させなければならず、制御が
複雑となると共に、回転中心がＸＹ方向の移動に相互に
関連して移動してしまうという問題点や、可動テーブル
を一軸方向に沿って大きく移動させることができないと
いう問題点をやはり有していた。
【０００９】そこで、この発明は、上記従来技術の問題
点を解決するためになされたものであり、その目的とす
るところは、移動テーブルを原点以外の位置で回転させ
たり、所定角度だけ回転させた後に平行に移動させると
いった動作を、簡単な制御で行うことができると共に、
回転中心を二軸方向に沿って直線状に移動させることが
容易に可能であり、しかも、移動テーブルを一軸方向に
沿って大きく移動させることが可能な移動テーブル装置
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、テーブル基盤に対して
移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って移動
可能に、かつ二軸が形成する平面に対して直交する軸を
中心にして回動可能に取り付けてなる移動テーブル装置
において、前記テーブル基盤に対して移動テーブルを、
互いに交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に
沿って大きく移動自在に案内すると共に、移動テーブル
を回転自在に支持する複数の二軸案内機構と、前記複数
の二軸案内機構の移動部材を、二軸方向に沿って選択的
に移動させることにより、テーブル基盤に対して移動テ
ーブルを、二軸方向に沿った直線運動と、当該二軸が形
成する平面に対して直交する軸を中心にした回転運動と
が可能となるように駆動する駆動手段と、を備えるよう
に構成したものである。
【００１１】上記二軸案内機構は、例えば、互いに直交
するＸ軸方向とＹ軸方向に沿って、移動テーブルを移動
自在に案内すると共に、移動テーブルを回転自在に支持
するものが用いられる。但し、この二軸案内機構が案内
する二つの軸方向は、直交するＸ軸方向とＹ軸方向に限
らず、所定の角度をなして交差する二つの軸方向であっ
ても良い。上記二軸案内機構としては、例えば、テーブ
ル基盤側に取り付けられる第１の軌道レールと、この第
１の軌道レールに多数の転動体を介して移動自在に取り
付けられる移動ブロックと、この移動ブロックに多数の
転動体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向に
移動自在に取り付けられる第２の軌道レールと、を備え
たものが用いられるが、軌道レールや移動ブロック等と
の位置関係や形状は、これに限定されるものではない。
【００１２】すなわち、上記二軸案内機構としては、例
えば、テーブル基盤側に取り付けられる上向きに断面コ
字状の凹部が開口した幅の広い第１の軌道レールと、こ
の第１の軌道レールの第１凹部内に多数の転動体を介し
て移動自在に取り付けられる移動ブロックと、この移動
ブロックの上部に第１の軌道レールと直交するように取
り付けられた第２の軌道レールと、この第２の軌道レー
ルを多数の転動体を介して前記第１の軌道レールと直交
する方向に移動自在に案内する固定ブロックとからなる
ものを用いることができる。この場合、上記二軸案内機
構は、移動テーブル側に設けられた旋回機構を介して、
移動テーブルを回転自在に支持するように取り付けられ
る。
【００１３】また、上記二軸案内機構としては、テーブ
ル基盤側に取り付けられる上向きに断面コ字状の凹部が
開口した幅の広い第１の軌道レールと、この第１の軌道
レールの第１凹部に多数の転動体を介して移動自在に取
り付けられる移動ブロックと、この移動ブロックの上部
に第１の軌道レールと直交するように取り付けられ、上
向きに断面コ字状の凹部が開口した幅の広い第２の軌道
レールと、この第２の軌道レールの凹部内に多数の転動
体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向に移動
自在に案内される固定ブロックとからなるものを用いて
もよい。
【００１４】このように構成される二軸案内機構は、例
えば、移動テーブル側に設けられた旋回機構を介して、
移動テーブルを回転自在に支持するように取り付けられ
るが、これに限定されるものではなく、第１の軌道レー
ルに多数の転動体を介して移動自在に取り付けられる移
動ブロックと、この移動ブロックの上部に多数の転動体
を介して移動自在に、かつ第１の軌道レールと直交する
ように取り付けられる第２の軌道レールとの間に、旋回
機構を配置するように構成しても良い。
【００１５】また、上記二軸案内機構として、テーブル
基盤側に取り付けられる上向きに断面コ字状の凹部が開
口した幅の広い第１の軌道レールと、この第１の軌道レ
ールの第１凹部内に多数の転動体を介して移動自在に取
り付けられる移動ブロックと、この移動ブロックの上部
に第１の軌道レールと直交するように取り付けられた第
２の軌道レールと、この第２の軌道レールを多数の転動
体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向に移動
自在に案内する固定ブロックとからなるものを用いた場
合には、第１の軌道レールの第１凹部内に多数の転動体
を介して移動自在に取り付けられる側の移動ブロック
と、第２の軌道レールが多数の転動体を介して移動自在
に取り付けられる側の移動ブロックとの間、即ち移動ブ
ロックの中間に、旋回機構を配置するように構成しても
良い。
【００１６】さらに、上記二軸案内機構として、テーブ
ル基盤側に取り付けられる上向きに断面コ字状の凹部が
開口した幅の広い第１の軌道レールと、この第１の軌道
レールの第１凹部に多数の転動体を介して移動自在に取
り付けられる移動ブロックと、この移動ブロックの上部
に第１の軌道レールと直交するように取り付けられ、上
向きに断面コ字状の凹部が開口した幅の広い第２の軌道
レールと、この第２の軌道レールの凹部内に多数の転動
体を介して前記第１の軌道レールと直交する方向に移動
自在に案内される固定ブロックとからなるものを用いた
場合には、移動ブロックと、第２の軌道レールとの間
に、旋回機構を配置するように構成しても良い。
【００１７】このように、上記旋回機構は、移動テーブ
ル側に設けるように構成しても、二軸案内機構の中間に
設けるように構成してもよい。但し、旋回機構を移動テ
ーブル側に設けるように構成した場合には、移動テーブ
ルを駆動する力が、当該移動テーブル側に設けられた旋
回機構を介して直接伝達されるため、移動テーブルの重
心に略平行な方向に駆動力を伝達することができ、移動
テーブルを駆動する際に、当該旋回機構の転動体等にア
ンバランスなモーメント荷重が作用することがなく、移
動テーブルの移動を一層スムースに行うことができる。
【００１８】なお、上記二軸案内機構としては、横方向
の荷重を受け持つものであればよく、転がり案内を利用
した他のリニア軸受はもちろん、すべり軸受を用いても
よい。
【００１９】また、上記二軸案内機構は、移動テーブル
を回転自在に支持するものであり、例えば、移動テーブ
ル側の移動部材である第２の軌道レールが、旋回自在な
旋回機構を介して移動テーブルに取り付けられる。但
し、上記二軸案内機構は、移動テーブルを回転自在に支
持すればよく、当該移動テーブルを回転自在に支持する
旋回機構は、必ずしも二軸案内機構と一体に設ける必要
はなく、移動テーブル側の部材として組み付けるように
構成してもよい。
【００２０】さらに、上記駆動手段は、例えば、ねじ送
り（ボールねじ等）機構によって構成され、二軸案内機
構に送りねじ軸が螺合するナット部を設けたものが用い
られる。このように、上記駆動手段をねじ送り機構によ
って構成すれば、ねじ軸が停止している間は、ねじ軸と
ナット部間のねじ係合部によってねじ軸方向の位置決め
がなされるので好ましい。この駆動手段としては、ねじ
送り機構からなるものに限定される分けではなく、例え
ば、シャフトが直線的に往復運動するアクチュエータ
（例えば、オリエンタルモータ社製）等を使用すること
ができる。なお、上記駆動手段は、例えば、固定側であ
るテーブル基盤側に取り付けられるが、可動側である移
動テーブル側に取り付けるように構成しても勿論よい。
【００２１】上記移動テーブルは、複数の二軸案内機構
によって、互いに交差する二軸方向に沿って移動自在に
案内され、これら複数の二軸案内機構の移動部材を、駆
動手段によって二軸方向に沿って選択的に移動させるこ
とにより、各軸の方向に直線的に移動させることが可能
となる。
【００２２】また、上記移動テーブルは、複数の二軸案
内機構の移動部材を、駆動手段によって選択的に移動さ
せることにより、当該移動テーブルに回転モーメント力
を作用させ、二軸が形成する平面に対して直交する軸を
中心にして回転運動させることが可能となる。
【００２３】さらに、上記移動テーブルを二軸方向に沿
って移動自在に案内する複数の二軸案内機構は、当該移
動テーブルを一方の軸方向に沿って大きく移動自在に案
内するように構成されているので、移動テーブル上に載
置されるワークの着脱等を行う際に、移動テーブルを一
軸方向に沿って大きく移動させたい場合などでも、移動
テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させることが可
能となっている。
【００２４】また、請求項２に記載の発明は、テーブル
基盤に対して移動テーブルを、互いに交差する二軸方向
に沿って移動可能に、かつ二軸が形成する平面に対して
直交する軸を中心にして回動可能に取り付けてなる移動
テーブル装置において、前記テーブル基盤に対して移動
テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って、かつ一
方の軸方向に沿って大きく移動自在に案内すると共に、
移動テーブルを回転自在に支持する複数の二軸案内機構
と、前記複数の二軸案内機構のうち、少なくとも１つの
二軸案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、移動量の
大きな第１の軸方向に沿って駆動する第１の駆動手段
と、前記複数の二軸案内機構のうち、前記少なくとも１
つの二軸案内機構に対する他の二軸案内機構の移動テー
ブル側の移動部材を、第２の軸方向に沿って互いに独立
して駆動する第２の駆動手段と、を備えるように構成し
たものである。
【００２５】さらに、請求項３に記載の発明は、前記第
２の駆動手段が取り付けられた二軸案内機構は、移動テ
ーブルが回転する軸を中心にした円弧上に配置されてい
ることを特徴とする請求項２に記載の移動テーブル装置
である。
【００２６】また更に、請求項４に記載の発明は、前記
第２の駆動手段が取り付けられた二軸案内機構は、移動
テーブルが回転する軸を中心にした円弧上であって、か
つ移動量の大きな一軸方向に沿った直径上に配置されて
いることを特徴とする請求項２に記載の移動テーブル装
置である。
【００２７】そして、この請求項４に記載の発明では、
第２の駆動手段が取り付けられた二軸案内機構の移動部
材を、互いに異なった方向に移動させるだけで、移動テ
ーブルに第２の駆動手段によって回転モーメントを付与
して回転させることができ、移動テーブルの回転動作を
簡単な制御で行うことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下に本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。
【００２９】実施の形態１ 図１及び図２は本発明の実施の形態１に係る移動テーブ
ル装置を示す構成図である。
【００３０】この実施の形態１に係る移動テーブル装置
１は、図１及び図２に示すように、大別して、テーブル
基盤２と、移動テーブル３と、前記移動テーブル３を、
互いに交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に
沿って大きく移動自在に案内すると共に、移動テーブル
３を回転自在に支持する３つの二軸案内機構４1 、
４ 2 、４3 と、第１の二軸案内機構４1 のテーブル基盤
２側の移動部材１０を、移動量の大きなＹ軸方向に沿っ
て駆動する第１の駆動手段５と、前記３つの二軸案内機
構４1 、４2 、４3 のうち、第２、第３の二軸案内機構
４2 、４3 の移動テーブル３側の移動部材を、Ｘ軸方向
に沿ってそれぞれ互いに独立して駆動する２つの第２の
駆動手段６、７と、を備えるように構成されている。
【００３１】上記テーブル基盤２は、図１及び図２に示
すように、平面矩形の平板状に形成されていると共に、
移動テーブル３は、前記テーブル基盤２の幅よりも若干
小さな直径を有する円板状に形成されている。テーブル
基盤２上には、３つの二軸案内機構４1 、４2 、４3 が
所定の位置に配置されている。これらの３つの二軸案内
機構４1 、４2 、４3 は、例えば、駆動を開始する前の
初期状態として、図１に示すように、当該第１、第２、
第３の二軸案内機構４1 、４2 、４3 が移動テーブル３
を回転自在に支持する回転軸の位置Ｐ1 、Ｐ2 、Ｐ
3 が、原点Ｏを中心にした１つの円弧Ｃ上に位置するよ
うに配置されており、これらの第１、第２、第３の二軸
案内機構４1 、４2 、４3 は、図１に示す位置関係で、
移動テーブル３に対して回転自在に連結されている。即
ち、第１の二軸案内機構４1 は、移動テーブル３の回動
中心Ｏに対して、Ｘ軸上において円弧Ｃと交差する位置
Ｐ1 で、移動テーブル３に連結されており、他の第２、
第３の二軸案内機構４2 、４3は、Ｘ軸に対して軸対称
となる円弧Ｃ上の位置Ｐ2 、Ｐ3 で、それぞれ移動テー
ブル３に連結されている。
【００３２】上記３つの二軸案内機構のうち、第１の二
軸案内機構４1 は、図１に示すように、そのＹ軸方向の
軌道レール８が、テーブル基盤２の幅方向（Ｘ軸方向）
の一端寄りに、当該テーブル基盤２の長手方向（Ｙ軸方
向）に沿って全長に渡って取り付けられている。また、
上記３つの二軸案内機構のうち、他の第２及び第３の二
軸案内機構４2 、４3 は、そのＹ軸方向の軌道レール９
を共通にしており、このＹ軸方向の軌道レール９が、テ
ーブル基盤２の幅方向の他端寄りに、当該テーブル基盤
２の長手方向に沿って全長に渡って、第１の二軸案内機
構４1 の軌道レール８と互いに平行に取り付けられてい
る。
【００３３】ところで、上記３つの二軸案内機構４1 、
４2 、４3 は、同様に構成されており、上記の如くテー
ブル基盤２上に取り付けられた長尺なＹ軸方向の軌道レ
ール８、９と、これらのＹ軸方向の軌道レール８、９に
多数の転動体としてのボールを介して移動自在に取り付
けられる移動ブロック１０、１１、１２と、これらの移
動ブロック１０、１１、１２に多数の転動体としてのボ
ールを介して前記軌道レール８、９と直交する方向に移
動自在に取り付けられる短いＸ軸方向の軌道レール１
３、１４、１５と、を備えるように構成されている。
【００３４】更に、上記二軸案内機構４1 、４2 、４3
の構成を詳しく説明すると、これらの二軸案内機構
４1 、４2 、４3 は、図３に示すように、Ｙ軸方向の軌
道レール８、９、移動ブロック１０、１１、１２および
Ｘ軸方向の軌道レール１３、１４、１５から構成され、
移動テーブル３を互いに直交する二軸（ＸＹ軸）方向に
移動自在に案内すると共に、当該移動テーブル３を回転
自在に支持する直線案内機構である。上記Ｙ軸方向の軌
道レール８、９の上部には、図３（ａ）に示すように、
その両側面に台形状に突出したガイド部１６が形成され
ており、これら左右のガイド部１６の上下に位置する角
部には、多数の転動体としてのボール１７が転走するボ
ール転走溝１８が、２条づつ計４条設けられている。ま
た、上記移動ブロック１０、１１、１２の下面には、図
３（ａ）に示すように、Ｙ軸方向の軌道レール８、９が
挿入される断面コ字状の第１凹部１９が設けられている
と共に、移動ブロック１０、１１、１２の上面には、図
３（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の軌道レール１３、１
４、１５が挿入される断面コ字状の第２凹部２０が、第
１凹部１９と直交するように設けられている。さらに、
上記Ｙ軸方向の軌道レール８、９の左右両側面と対向す
る移動ブロック１０、１１、１２の第１凹部１９の左右
内側面には、図４（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向の軌道
レール８、９の左右のボール転走溝１８と対応する位置
に、４条のボール転走溝２１が設けられている。
【００３５】また、上記移動ブロック１０、１１、１２
の下部には、図４（ａ）（ｂ）に示すように、第１凹部
１９の４条のボール転走溝２１に対応する４条のボール
逃げ通路２２が平行に設けられ、移動ブロック１０、１
１、１２の下部にあって、第１凹部１９の長手方向に沿
った両端部には、図４（ｃ）に示すように、各移動ブロ
ック１０、１１、１２のボール転走溝２１の両端とボー
ル逃げ通路２２の両端を結ぶ４つの方向転換路２３を備
えた側蓋２４が設けられている。
【００３６】上記Ｙ軸方向の軌道レール８、９と第１凹
部１９の間に介装される４列のボール１７の接触方向
は、図４（ｂ）に示すように、上下２条のボール列の中
央を通る水平線Ｈに対して所定角度αでもって対称的に
傾斜している。この実施の形態では、ボール１７の中心
とボール転走溝２１との接点を結ぶ接触角線Ｌが第１凹
部１９の内側に向かって閉じ、第１凹部１９と反対の外
側に向かって開く外開き接触構造となっており、ボール
１７には適宜予圧が付与されている。もちろん、第１凹
部１９の内側に向かって開く内開き接触構造としてもよ
い。
【００３７】一方、Ｘ軸方向の軌道レール１３、１４、
１５の左右両側面にも、図４（ａ）（ｄ）に示すよう
に、２条づつ計４条のボール２５が転走するボール転走
溝２６が設けられ、これらのＸ軸方向の軌道レール１
３、１４、１５の左右両側面と対向する移動ブロック１
０、１１、１２の第２凹部２０の左右内側面にも、Ｘ軸
方向の軌道レール１３、１４、１５の左右のボール転走
溝２６と対応する４条のボール転走溝２７が設けられて
いる。
【００３８】また、移動ブロック１０、１１、１２の上
端部には、第２凹部２０の４条のボール転走溝２７に対
応する４条のボール逃げ通路２８が平行に設けられ、移
動ブロック１０、１１、１２の第２凹部２０の両端部に
は、図４（ｅ）に示すように、移動ブロック１０、１
１、１２の各ボール転走溝２７の両端とボール逃げ通路
２８の両端を結ぶ４つの方向転換路２９を備えた側蓋３
０が設けられている。
【００３９】さらに、Ｘ軸方向の軌道レール１３、１
４、１５と第２凹部２０の間に介装される４列のボール
２５の接触方向は、図４（ｄ）に示すように、上下２列
のボール転走溝２６の中間を通る水平線Ｈに対して対称
的に所定角度α傾斜している。この実施の形態では、ボ
ール２５の中心とボール転走溝２６との接点を結ぶ接触
角線Ｌが第２凹部２０の内側に向かって閉じ、第２凹部
２０と反対の外側に向かって開く外開き接触構造となっ
ている。もちろん、第２凹部２０の内側に向かって開く
内開き接触構造としてもよい。なお、ボール２５にも適
宜予圧が付与されている。
【００４０】次に、上記３つの二軸案内機構４1 、
４2 、４3 のＸ軸方向の軌道レール１３、１４、１５に
対して、移動テーブル３を回転自在に支持する旋回機構
３１の構成を詳細に説明する。
【００４１】この旋回機構３１は、図３及び図５に示す
ように、円環状に形成された内側軌道輪３２と外側軌道
輪３３とを備えており、これらの内外側軌道輪３２、３
３は、同心円状に互いに嵌合された状態で配置されてい
る。この実施の形態では、Ｘ軸方向の軌道レール１３、
１４、１５に固定される軌道輪が内側軌道輪３２で、移
動テーブル３側に固定される軌道輪が外側軌道輪３３と
なっており、両軌道輪３２、３３の間には、転動体とし
て多数のローラ３４が介在されている。
【００４２】また、上記内側軌道輪３２と上記した直線
状のＸ軸方向の軌道レール１３、１４、１５は、図３に
示すように、継手部材７０を介して互いに連結されてい
る。この継手部材７０は、Ｘ軸方向の軌道レール１３、
１４、１５が固定される第１継手板７１と、内側軌道輪
３２が固定される円板状の第２継手板７２とを備えてお
り、これら第１継手板７１と第２継手板７２は、ボルト
７３によって互いに固定されている。さらに、上記第２
継手板７２の外周には、段凸部７４が設けられており、
この段凸部７４に内側軌道輪３２が上方から嵌合状態に
装着されている。上記段凸部７４の上端面には、ボルト
７３によって押さえ部材７５が締め付け固定されてお
り、押さえ部材７５と段凸部７４付け根位置の段部７４
ａとの間で、内側軌道輪３２が上下から挟持された状態
で固定されている。
【００４３】一方、外側軌道輪３３が固定される移動テ
ーブル３には、前記内側軌道輪３２の押さえ部材７５を
上方から挿通可能な円形の開口部７６が設けられている
と共に、この開口部７６の内周下縁には、円形の段凹部
７７が設けられており、この段凹部７７に外側軌道輪３
３が嵌合状態に装着されている。さらに、上記段凹部７
７の開口縁には、ボルト７３によって外側軌道輪３３を
押さえる押さえ部材７８が締め付け固定され、この押さ
え部材７８と段凹部７７の段部７７ａとの間で外側軌道
輪３３が上下から挟持された状態で固定されている。
【００４４】さらに、上記内側軌道輪３２の外周面に
は、図５（ｂ）に示すように、略９０度の角度で半径方
向に外方に向かって開く２つの上下ローラ転走面３５、
３６からなる第１軌道溝３７が形成されている。一方、
外側軌道輪３３の内周面には、第１軌道溝３７に対向し
て略９０度の角度で半径方向内方に向かって開く２つの
上下ローラ転走面３８、３９からなる第２軌道溝４０が
形成されている。
【００４５】上記第１軌道溝３７と第２軌道溝４０の間
に介装されるローラ３４の一部は、図５（ａ）に示すよ
うに、第１軌道溝３７の上ローラ転走面３５と、第２軌
道溝４０の下ローラ転走面３９との間に転動自在に介装
され、残りのローラ３４は、第１軌道溝３７の下ローラ
転走面３６と、第２軌道溝４０の上ローラ転走面３８と
の間に転動自在に介装されている。
【００４６】このように、第１軌道溝３７の上ローラ転
走面３５と第２軌道溝４０の下ローラ転走面３９間に転
動自在に介装されるローラ３４と、第１軌道溝３７の下
ローラ転走面３６と第２軌道溝４０の上ローラ転走面３
８間に回動自在に介装されるローラ３４は、交互に直交
するように配列されたいわゆる「クロスローラタイプ」
となっている。また、ローラ３４間には、図５（ａ）に
示すように、スペーサリテーナ４１が介装されている。
【００４７】なお、ローラ３４の配列は、交互に回転軸
を直交させるのではなく、２つおき、３つおきに回転軸
の向きを変えてもよく、種々の配列が可能である。ま
た、内側軌道輪３２と外側軌道輪３３間に介装される多
数のローラ３４には、予圧が付与されている。このロー
ラ３４に対する予圧の付与は、この実施の形態では、図
５（ｂ）に示すように、内側軌道輪３２を上下の部分３
２ａ、３２ｂに２つに分割して、各上、下ローラ転走面
３５、３６がローラ３４に自由に当接した状態では、内
側軌道輪３２の上下部３２ａ、３２ｂ間に隙間を形成
し、これら上下部３２ａ、３２ｂの隙間が無くなるまで
上下に締め付けることにより、各ローラ３４を所定量圧
縮して予圧を付与するようになっている。
【００４８】その他、ローラ３４に予圧を付与する構成
としては、外側軌道輪３３にその周方向に沿って一箇所
だけ図示しないスリットを設け、当該外側軌道輪３３を
移動テーブル３の段凹部４２に装着すると、外側軌道輪
３３のスリットが狭まって縮径され、ローラ３４を左右
から押圧して予圧を付与するようにしてもよい。
【００４９】このように、旋回機構３１を、内側軌道輪
３２と外側軌道輪３３間にローラ３４が介装された構成
とすることにより、内外軌道輪３２、３３の構成で、旋
回軸方向に圧縮する荷重、旋回軸方向に引っ張る荷重、
旋回軸と直交する方向に作用する荷重、旋回軸を斜めに
傾ける方向のモーメント荷重等の全方向からの荷重に対
して剛性の高い支持構造が得られる。したがって、軽量
でしかも高剛性の支持構造が得られる。
【００５０】また、この実施の形成に係る移動テーブル
装置１は、図１に示すように、第１の二軸案内機構４1
のテーブル基盤２側の移動部材である移動ブロック１０
を、移動量の大きなＹ軸方向に沿って駆動する第１の駆
動手段５と、第２、第３の二軸案内機構４2 、４3 の移
動テーブル３側の移動部材であるＸ軸方向の軌道レール
１４、１５を、Ｘ軸方向に沿って互いに独立して駆動す
る２つの第２の駆動手段６、７とを備えるように構成さ
れている。
【００５１】上記第１の駆動手段５は、図１及び図２に
示すように、サーボモータやステッピングモータ等から
なる駆動モータ４５と、この駆動モータ４５の回転運動
を直線運動に変換する送りねじ機構４６によって構成さ
れている。上記送りねじ機構４６は、第１の二軸案内機
構４1 の移動ブロック１０に２本のブラケット４７を介
して連結されるナット４８と、このナット４８に螺合さ
れる長尺なねじ軸４９と、このねじ軸４９の両端をそれ
ぞれ回転自在に支持する複列アンギュラコンタクトタイ
プのベアリング５０と、このベアリング５０を支持する
ベアリングサポート５１とを備えた構成となっている。
また、上記駆動モータ４５は、テーブル基盤２の長手方
向の端部にブラケット５２を介して固定され、モータ軸
５３が継手部材５４を介してねじ軸４９の軸端に連結さ
れている。上記送りねじ機構４６の長尺なねじ軸４９
は、テーブル基盤２上の幅方向一端側に、第１の二軸案
内機構４1 のＹ軸方向の軌道レール８に沿って、平行に
配置されている。
【００５２】また、上記第２の駆動手段６、７は、同様
に構成されており、図１及び図２に示すように、サーボ
モータやステッピングモータ等からなる駆動モータ５
５、５６と、これらの駆動モータ５５、５６の回転運動
を直線運動に変換する送りねじ機構５７、５８によって
構成されている。上記送りねじ機構５７、５８は、第
２、第３の二軸案内機構４2 、４3 の移動ブロック１
１、１２にブラケット５９、６０を介して連結されるナ
ット６１、６２と、これらのナット６１、６２に螺合さ
れた短いねじ軸６３、６４とを備えた構成となってい
る。また、上記駆動モータ５５、５６は、第２、第３の
二軸案内機構４2 、４3 のＸ軸方向の軌道レール１４、
１５にブラケット６５、６６を介して固定され、図示し
ないモータ軸には、短いねじ軸６３、６４が直結されて
いる。さらに、上記２つの第２の駆動手段６、７は、駆
動モータ５５、５６やねじ軸６３、６４等が、図１中、
Ｘ軸に対して対称に配置されている。
【００５３】以上の構成において、この実施の形態１に
係る移動テーブル装置では、次のようにして、移動テー
ブルを原点以外の位置で回転させたり、所定角度だけ回
転させた後に平行に移動させるといった動作を、簡単な
制御で行うことができると共に、回転中心を二軸方向に
沿って直線状に移動させることが容易に可能であり、し
かも、移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させ
ることが可能となっている。
【００５４】すなわち、この実施の形態１に係る移動テ
ーブル装置１では、移動テーブル３を移動させる前の初
期状態において、例えば、当該移動テーブル３が図１に
示す位置に停止している。いま、例えば、この状態から
移動テーブル３の姿勢を変えずに、当該移動テーブル３
をＹ軸方向に沿って平行に移動させる場合には、第１の
二軸案内機構４1 の移動ブロック１０を、Ｙ軸方向に沿
って駆動する第１の駆動手段５の駆動モータ４５を、所
定の方向に回転駆動することにより、当該駆動モータ４
５のモータ軸５３に連結された長尺なねじ軸４９を回転
させる。すると、このねじ軸４９に螺合されたナット４
８は、ねじ軸４９の回転に伴ってＹ軸方向に送られて移
動するため、当該ねじ軸４９に螺合されたナット４８
に、ブラケット４７を介して固定された第１の二軸案内
機構４1 の移動ブロック１０も、図６に示すように、Ｙ
軸方向に沿って移動する。その結果、上記第１の二軸案
内機構４1 の移動ブロック１０に連結された移動テーブ
ル３は、この第１の二軸案内機構４1 の移動ブロック１
０と共に、Ｙ軸方向に沿って所定量ｙだけ移動するよう
になっている。
【００５５】次に、上記移動テーブル３をＸ軸方向に沿
って平行に移動させる場合には、第２、第３の二軸案内
機構４2 、４3 のＸ軸方向の軌道レール１４、１５を、
Ｘ軸方向に沿って駆動する第２の駆動手段６、７の駆動
モータ５５、５６を、同一の方向に回転駆動することに
より、当該駆動モータ５５、５６の図示しないモータ軸
に連結されたねじ軸６３、６４を同一方向に回転させ
る。すると、これらのねじ軸６３、６４に螺合されたナ
ット６１、６２は、ブラケット５９、６０を介して、Ｘ
軸方向に沿って移動しない第２、３の二軸案内機構
４2 、４3 の移動ブロック１１、１２に連結されている
ため、逆にナット６１、６２に螺合されたねじ軸６３、
６４が、図７に示すように、その回転に伴ってＸ軸の同
一方向に沿って移動する。そのため、上記ねじ軸６３、
６４が連結された駆動モータ５５、５６も、ねじ軸６
３、６４と共にＸ軸方向の同一方向（例えば、図７の左
方向）に沿って移動する。その結果、上記駆動モータ５
５、５６にブラケット６５、６６を介して連結された第
２、３の二軸案内機構４2 、４3 のＸ軸方向の軌道レー
ル１４、１５と共に、当該Ｘ軸方向の軌道レール１４、
１５に旋回機構３１を介して回転自在に連結された移動
テーブル３は、Ｘ軸方向に沿って所定量ｘだけ移動する
ようになっている。
【００５６】さらに、上記移動テーブル３をＸＹ軸が形
成する平面に対して直交する回動軸Ｏを中心にして回動
させる場合には、第２、第３の二軸案内機構４2 、４3
のＸ軸方向の軌道レール１４、１５を、Ｘ軸方向に沿っ
て駆動する第２、第３の駆動手段６、７の駆動モータ５
５、５６を、互いに逆方向に回転駆動することにより、
当該駆動モータ５５、５６の図示しないモータ軸に連結
されたねじ軸６３、６４を、互いに逆方向に回転させ
る。その際、移動テーブル３を反時計回り方向に回転さ
せる場合には、図８に示すように、第２の二軸案内機構
４2 のＸ軸方向の軌道レール１４を、図中、左方向に移
動させると共に、第３の二軸案内機構４3のＸ軸方向の
軌道レール１５を、図中、右方向に移動させる。一方、
移動テーブル３を時計回り方向に回転させる場合には、
図８において、第２の二軸案内機構４2 のＸ軸方向の軌
道レール１４を、図中、右方向に移動させると共に、第
３の二軸案内機構４3 のＸ軸方向の軌道レール１５を、
図中、左方向に移動させる。また、これと同時に、第１
の駆動手段５の駆動モータ４５を、移動テーブル３を反
時計回り方向に回転させる場合には、第１の二軸案内機
構４1 の移動ブロック１０を、図８中、上方に所定量だ
け移動させ、移動テーブル３を時計回り方向に回転させ
る場合には、第１の二軸案内機構４1 の移動ブロック１
０を、図８中、下方に所定量だけ移動させる。
【００５７】すると、上記第２、第３の駆動手段６、７
のねじ軸６３、６４に螺合されたナット６１、６２は、
ブラケット５９、６０を介して、Ｘ軸方向に沿って移動
しない第２、３の二軸案内機構４2 、４3 の移動ブロッ
ク１１、１２に連結されているため、逆にナット６１、
６２に螺合されたねじ軸６３、６４がその回転に伴って
Ｘ軸の互いに逆方向に沿って移動する。そのため、上記
ねじ軸６３、６４が連結された駆動モータ５５、５６そ
のものが、図８に示すように、Ｘ軸の互いに逆方向に沿
って等しい量だけ移動する。その結果、上記駆動モータ
５５、５６にブラケット６５、６６を介して連結された
第２、３の二軸案内機構４2 、４3 のＸ軸方向の軌道レ
ール１４、１５も、Ｘ軸の互いに逆方向に沿って等しい
量−Δｘ、＋Δｘだけ移動する。
【００５８】また、上記第１の駆動手段５の駆動モータ
４５によってねじ軸４９が回転駆動され、このねじ軸４
９に螺合されたナット４８は、ねじ軸４９の回転に伴っ
てＹ軸方向に所定量だけ送られて移動するため、当該ね
じ軸４９に螺合されたナット４８に、ブラケット４７を
介して固定された第１の二軸案内機構４1 の移動ブロッ
ク１０も、Ｙ軸方向に沿って所定量＋Δｙだけ移動す
る。
【００５９】このように、上記第１、第２、３の駆動手
段５、６、７によって、第１の二軸案内機構４1 の移動
ブロック１０が、Ｙ軸方向に沿って所定量＋Δｙだけ移
動し、第２、３の二軸案内機構４2 、４3 のＸ軸方向の
軌道レール１４、１５も、Ｘ軸の互いに逆方向に沿って
等しい量−Δｘ、＋Δｘだけ移動する。すると、これら
第１、第２、第３の二軸案内機構４1 、４2 、４3 によ
って、Ｘ軸とＹ軸の二軸方向に沿って移動自在に案内さ
れ、かつ回転自在に支持される移動テーブル３は、図８
及び図９に示すように、第２の二軸案内機構４2 によっ
て支持された点Ｐ2 が、第２の駆動手段６によって図８
中左方向に、第３の二軸案内機構４3 によって支持され
た点Ｐ3 が、第３の駆動手段７によって図８中右方向
に、第１の二軸案内機構４1 によって支持された点Ｐ1
が、第１の駆動手段５によって図８中上方向に、それぞ
れ移動される。そのため、上記移動テーブル３には、図
９に示すように、その回転自在に支持される点Ｐ1 、Ｐ
2 、Ｐ3 に、第１、第２、３の駆動手段５、６、７によ
って、力Ｆ1 、Ｆ2 、Ｆ3 が作用し、これらの力Ｆ1、
Ｆ2 、Ｆ3 の円周方向の分力Ｆθ1 、Ｆθ2 、Ｆθ
3 は、移動テーブル３を回転させる回転モーメント力と
なり、移動テーブル３は、図９中、反時計回り方向に回
転するようになっている。
【００６０】このとき、上記移動テーブル３を角度θだ
け回転させるためには、図１０に示すように、第１の駆
動手段５７によって、第１の二軸案内機構４1 の移動ブ
ロック１０を、Ｙ軸方向に沿って所定量＋Δｙ＝Ｒｔａ
ｎθだけ移動し、第２、３の二軸案内機構４2 、４3 の
Ｘ軸方向の軌道レール１４、１５を、Ｘ軸の互いに逆方
向に沿って等しい量−Δｘ＝−Ｒｔａｎθ・ｃｏｓβ、
＋Δｘ＝＋Ｒｔａｎθ・ｃｏｓβだけ移動すれば良い。
ここで、Ｒは移動テーブル３の回動軸Ｏから、当該移動
テーブル３を回転自在に支持する点Ｐ1 、Ｐ2 、Ｐ3 ま
での半径、βは移動テーブル３を回転させる前の回動軸
Ｏと点Ｐ2 を結ぶ直線が、Ｙ軸となす角度をそれぞれ示
している。
【００６１】さらに、上記移動テーブル３は、図８にお
いて矢印Ｒで示したように、回動軸Ｏを中心にした回転
以外にも、任意の旋回軸を中心にして所望の旋回半径で
回転することが可能となっている。すなわち、移動テー
ブル３を任意の旋回軸を中心にして所望の旋回半径で回
転するには、第１の駆動手段５によって第１の二軸案内
機構４1 をＹ軸方向に沿って所定量Δｙだけ移動させる
と共に、第２の駆動手段６、７によって第２、第３の二
軸案内機構４2 、４3 をＸ軸の互いに逆方向に沿って異
なる所定量＋Δｘ、−Δｘ’だけ移動させれば良い。こ
うすることによって、移動テーブル３は、第１、第２、
第３の二軸案内機構４1 、４2 、４3 の移動量＋Δｘ、
−Δｘ’、Δｙに応じて決定される旋回半径で、所望の
旋回軸を中心にして回転する。その際、上記第１、第
２、第３の二軸案内機構４1 、４2、４3 の移動量＋Δ
ｘ、−Δｘ’、Δｙは、幾何学的に定まるもので、予め
関係式を制御装置に記憶させておけば、旋回中心及び旋
回角度を指示することにより、＋Δｘ、−Δｘ’、Δｙ
の量及び各回転モータの回転量が演算され、第１、第
２、第３の駆動手段５、６、７が制御される。なお、上
記第１、第２、第３の二軸案内機構４1 、４2 、４3 の
移動に伴って、当該二軸案内機構４1 、４2 、４ 3 が移
動テーブル３を回転自在に支持する位置の変化は、これ
らの二軸案内機構４1 、４2 、４3 のＸ軸方向の軌道レ
ール１３や移動ブロック１１、１２が自在に移動するこ
とによって吸収するようになっている。
【００６２】また、上記移動テーブル装置１で移動テー
ブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、当該
移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にしてθ方向に回動さ
せる場合には、移動テーブル３をＸ軸方向に移動させる
動作と、移動テーブル３をＹ軸方向に移動させる動作
と、移動テーブル３をθ方向に沿って回転させる動作と
を、任意に組み合わせれば良い。但し、これらの３つの
動作を互いに独立して行うことにより、移動テーブル３
を所定の位置に所定の角度で移動させる制御を、一層容
易に行うことができる。
【００６３】すなわち、上記移動テーブル装置１で移動
テーブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、
当該移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にしてθ方向に回
動させる場合には、まず、第１の駆動手段５を駆動する
ことによって、移動テーブル３をＹ軸方向に沿って所望
量だけ移動させ、次に、第２の駆動手段５、６を同一方
向に駆動することによって、移動テーブル３をＸ軸方向
に沿って所望量だけ移動させ、その後、第２の駆動手段
５、６を互いに異なる方向に駆動すると共に、第１の駆
動手段５を駆動することによって、移動テーブル３を回
動軸Ｏを中心にしてθ方向に沿って所望の角度だけ回動
させることにより、移動テーブル３のＸ軸方向、Ｙ軸方
向、θ方向への移動制御を、互いに独立して行うことが
でき、移動テーブル３の移動制御を一層容易に行うこと
ができる。
【００６４】このように、上記実施の形態１に係る移動
テーブル装置１では、移動テーブル３を原点以外の位置
で回転させたり、所定角度だけ回転させた後に平行に移
動させるといった動作を、簡単な制御で行うことができ
る。また、上記移動テーブル装置１では、第１の駆動手
段５のみを駆動することによって、移動テーブル３をＹ
軸方向に直線状に移動させることが容易に可能であると
共に、第２の駆動手段６のみを同一方向に駆動すること
によって、移動テーブル３をＸ軸方向に直線状に移動さ
せることも容易に可能となっている。さらに、上記第１
の駆動手段５によって駆動される第１の二軸案内機構４
1 のＹ軸方向の軌道レール８は、長尺に形成されている
ため、移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させ
ることも可能となっている。
【００６５】また、上記実施の形態１に係る移動テーブ
ル装置１では、第１の駆動手段５によって移動テーブル
３をＹ軸方向に沿って移動させる際に、ヨーイングが生
じても、Ｘ軸方向用及びθ方向の駆動手段である第２の
駆動手段６、７を駆動することによってヨーイングを補
正することができ、移動テーブル３を常に適正な姿勢で
所定の位置に移動させることができる。
【００６６】なお、上記実施の形態１に係る移動テーブ
ル装置１では、移動テーブル３として円板状に形成した
ものを用いた場合について説明したが、３つの二軸案内
機構は、回転軸を中心にした円弧上に配置されているた
め、移動テーブル３としては、例えば、中央部を円形状
にくり抜いた中抜き構造のものを採用することが可能と
なり、透過作業及び重量軽減を図ることができる。
【００６７】前記実施の形態１では、駆動手段として、
テーブル基盤側に取り付けられる送りねじと、第１の二
軸案内機構の移動ブロック側に取り付けられるナット部
とからなるものを用いたが、送りねじを移動テーブル側
に取り付け、ネット部を第１の二軸案内機構の移動ブロ
ック側に取り付けるように構成しても良い。
【００６８】さらに、前記実施の形態１では、第１、第
２、第３の駆動手段を、第１、第２、第３の二軸案内機
構を別個に設ける場合について説明したが、これに限定
されるものではなく、第１、第２、第３の駆動手段の移
動ブロック等にナット部を一体的に設け、この移動ブロ
ック等の内部に送りねじを一体的に配置するように構成
しても良い。こうした場合には、第１、第２、第３の駆
動手段と、第１、第２、第３の二軸案内機構とを一体化
することができるため、装置を一層小型化することが可
能となる。
【００６９】実施の形態２ 図１１及び図１２はこの発明の実施の形態２を示すもの
であり、前記実施の形態１と同一の部分には同一の符号
を付して説明すると、この実施の形態２は、テーブル基
盤に対して移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に
沿って、かつ一方の軸方向に沿って大きく移動自在に案
内すると共に、移動テーブルを回転自在に支持する二軸
案内機構が、５つ設けられており、第１の駆動手段が取
り付けられた二軸案内機構は、移動テーブルが回転する
回動軸を中心にした円弧の中心に配置され、又、第２の
駆動手段が取り付けられた２つの二軸案内機構は、移動
テーブルが回転する軸を中心にした円弧上であって、か
つ移動量の大きな一軸方向に沿った直径上に配置されて
いる。
【００７０】すなわち、この発明の実施の形態２に係る
移動テーブル装置１では、図１１に示すように、テーブ
ル基盤２上に、５つの二軸案内機構４1 、４2 、４3 、
４4、４5 が所定の位置に配置されている。これらの５
つの二軸案内機構４1 、４2、４3 、４4 、４5 は、例
えば、駆動を開始する前の初期状態として、図１１に示
すように、第１の二軸案内機構４1 が移動テーブル３を
回転自在に支持する位置Ｐ1 が、１つの円弧Ｃの中心Ｏ
に位置するように配置されていると共に、他の第２、第
３、第４、第５の二軸案内機構４2 、４3 、４4 、４5
が移動テーブル３を回転自在に支持する位置Ｐ2 、
Ｐ3 、Ｐ4 、Ｐ5 が、回転軸Ｏを中心とした同一の円弧
Ｃ上に位置するように配置されている。また、第２、第
３の二軸案内機構４2 、４3 は、移動テーブル３が回転
する回転軸Ｏを中心にした円弧Ｃ上であって、かつＹ軸
上に１８０度異なった位置に配置されており、残りの第
４、第５の二軸案内機構４4 、４5 は、移動テーブル３
が回転する回転軸Ｏを中心にした円弧Ｃ上であって、か
つＸ軸上に１８０度異なった位置に配置されている。
【００７１】上記５つの二軸案内機構のうち、第１、第
２、第３の二軸案内機構４1 、４2、４3 は、そのＹ軸
方向の軌道レール８０を共通にしており、このＹ軸方向
の軌道レール８０が、テーブル基盤２の幅方向（Ｘ軸方
向）の中央部に、当該テーブル基盤２の長手方向（Ｙ軸
方向）に沿って全長に渡って取り付けられている。ま
た、上記５つの二軸案内機構のうち、第４の二軸案内機
構４4 は、そのＹ軸方向の軌道レール８１が、テーブル
基盤２の幅方向の一端寄りに、第１の二軸案内機構４1
の軌道レール８０よりも短く、かつ互いに平行に取り付
けられている。さらに、第５の二軸案内機構４5 は、そ
のＹ軸方向の軌道レール８２が、テーブル基盤２の幅方
向の他端寄りに、当該テーブル基盤２の長手方向に沿っ
て、第１の二軸案内機構４1 の軌道レール８０よりも短
く、かつ互いに平行に取り付けられている。
【００７２】ところで、上記５つの二軸案内機構４1 、
４2 、４3 、４4 、４5 は、同様に構成されており、上
記の如くテーブル基盤２上に取り付けられたＹ軸方向の
軌道レール８０、８１、８２と、Ｙ軸方向の軌道レール
８０、８１、８２に多数の転動体としてのボールを介し
て移動自在に取り付けられる移動ブロック８３、８４、
８５、８６、８７と、これらの移動ブロック８３、８
４、８５、８６、８７に多数の転動体としてのボールを
介して前記軌道レール８０、８１、８２と直交する方向
に移動自在に取り付けられる短いＸ軸方向の軌道レール
８８、８９、９０、９１、９２とを備えるように構成さ
れている。
【００７３】なお、上記二軸案内機構４1 、４2 、
４3 、４4 、４5 は、前記実施の形態１と同様に構成さ
れており、Ｙ軸方向の軌道レール８０、８１、８２、移
動ブロック８３、８４、８５、８６、８７およびＸ軸方
向の軌道レール８８、８９、９０、９１、９２から構成
され、移動テーブル３を互いに直交する二軸（ＸＹ軸）
方向に移動自在に案内すると共に、当該移動テーブル３
を回転自在に支持する直線案内機構である。また、上記
二軸案内機構４1 、４2 、４3 、４4 、４5 のＸ軸方向
の軌道レール８８、８９、９０、９１、９２は、旋回機
構３１を介して、移動テーブル３を回転自在に支持して
いる。
【００７４】また、この実施の形態２に係る移動テーブ
ル装置１は、第１の二軸案内機構４ 1 のテーブル基盤２
側の移動部材４である移動ブロック１０を、移動量の大
きなＹ軸方向に沿って駆動する第１の駆動手段５と、他
の第２、第３の二軸案内機構４2 、４3 の移動テーブル
３側の移動部材であるＸ軸方向の軌道レール８９、９０
を、Ｘ軸方向に沿って互いに独立して駆動する２つの第
２の駆動手段６、７とを備えるように構成されている。
【００７５】上記第１、第２、第３の駆動手段５、６、
７は、図１１及び図１２に示すように、前記実施の形態
１と同様に、駆動モータ４５、５５、５６と、これらの
駆動モータ４５、５５、５６の回転運動を直線運動に変
換する送りねじ機構４６、５７、５８によって構成され
ている。なお、上記第４及び第５の二軸案内機構４4、
４5 には、駆動手段が取り付けられていない。
【００７６】以上の構成において、この実施の形態２に
係る移動テーブル装置では、次のようにして、移動テー
ブルを原点以外の位置で回転させたり、所定角度だけ回
転させた後に平行に移動させるといった動作を、簡単な
制御で行うことができると共に、回転中心を二軸方向に
沿って直線状に移動させることが容易に可能であり、し
かも、移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させ
ることが可能となっている。
【００７７】すなわち、この実施の形態２に係る移動テ
ーブル装置１では、移動テーブル３を移動させる前の初
期状態においては、例えば、当該移動テーブル３が図１
１に示す位置に停止している。いま、例えば、この状態
から移動テーブル３の姿勢を変えずに、当該移動テーブ
ル３をＹ軸方向に沿って平行に移動させる場合には、第
１の二軸案内機構４1 の移動ブロック８４を、Ｙ軸方向
に沿って駆動する第１の駆動手段５の駆動モータ４５
を、所定の方向に回転駆動することにより、当該駆動モ
ータ４５のモータ軸５３に連結された長尺なねじ軸４９
を回転させる。すると、このねじ軸４９に螺合されたナ
ット４８は、ねじ軸４９の回転に伴ってＹ軸方向に送ら
れて移動するため、当該ねじ軸４９に螺合されたナット
４８に、ブラケット４７を介して固定された第１の二軸
案内機構４1 の移動ブロック１０も、Ｙ軸方向に沿って
移動する。その結果、上記第１の二軸案内機構４1 の移
動ブロック１０に連結された移動テーブル３は、この第
１の二軸案内機構４1 の移動ブロック１０と共に、Ｙ軸
方向に沿って所定量ｙだけ移動するようになっている。
【００７８】次に、上記移動テーブル３をＸ軸方向に沿
って平行に移動させる場合には、図１１に示すように、
第２、第３の二軸案内機構４2 、４3 のＸ軸方向の軌道
レール８９、９０を、Ｘ軸方向に沿って駆動する第２の
駆動手段６、７の駆動モータ５５、５６を、同一の方向
に回転駆動することにより、当該駆動モータ５５、５６
の図示しないモータ軸に連結されたねじ軸６３、６４を
回転させる。すると、これらのねじ軸６３、６４に螺合
されたナット６１、６２は、ブラケット５９、６０を介
して、Ｘ軸方向に沿って移動しない第２、３の二軸案内
機構４2 、４3の移動ブロック８４、８５に連結されて
いるため、逆にナット６１、６２に螺合されたねじ軸６
３、６４が、その回転に伴ってＸ軸の同一方向に沿って
移動する。そのため、上記ねじ軸６３、６４が連結され
た駆動モータ５５、５６も、ねじ軸６３、６４と共に、
Ｘ軸方向の同一方向に沿って移動する。その結果、上記
駆動モータ５５、５６にブラケット６５、６６を介して
連結された第２、３の二軸案内機構４2 、４3 のＸ軸方
向の軌道レール８９、９０と共に、当該Ｘ軸方向の軌道
レール８９、９０に旋回機構３１を介して回転自在に連
結された移動テーブル３は、Ｘ軸方向の同一方向に沿っ
て所定量ｘだけ移動するようになっている。
【００７９】さらに、上記移動テーブル３をＸＹ軸が形
成する平面に対して直交する回動軸Ｏを中心にして回動
させる場合には、第２、第３の二軸案内機構４2 、４3
のＸ軸方向の軌道レール８９、９０を、Ｘ軸方向に沿っ
て駆動する第２、第３の駆動手段６、７の駆動モータ５
５、５６を、互いに逆方向に回転駆動することにより、
当該駆動モータ５５、５６の図示しないモータ軸に連結
されたねじ軸６３、６４を、互いに逆方向に回転させ
る。
【００８０】すると、上記第２、第３の駆動手段６、７
のねじ軸６３、６４に螺合されたナット６１、６２は、
ブラケット５９、６０を介して、Ｘ軸方向に沿って移動
しない第２、３の二軸案内機構４2 、４3 の移動ブロッ
ク８４、８５に連結されているため、逆にナット６１、
６２に螺合されたねじ軸６３、６４がその回転に伴って
Ｘ軸の互いに逆方向に沿って移動する。そのため、上記
ねじ軸６３、６４が連結された駆動モータ５５、５６そ
のものが、ねじ軸６３、６４と共にＸ軸方向の互いに逆
方向に沿って移動する。その結果、上記駆動モータ５
５、５６にブラケット６５、６６を介して連結された第
２、３の二軸案内機構４2 、４3 のＸ軸方向の軌道レー
ル８９、９０と共に、当該Ｘ軸方向の軌道レール８９、
９０に旋回機構３１を介して回転自在に連結された移動
テーブル３は、Ｘ軸方向の互いに逆方向に沿って所定量
ｘだけ移動するようになっている。
【００８１】このように、上記５つの二軸案内機構
４1 、４2 、４3 、４4 、４5 によって、Ｘ軸とＹ軸の
二軸方向に沿って移動自在に案内され、かつ回転自在に
支持される移動テーブル３は、例えば、第２の二軸案内
機構４2 によって支持された点Ｐ 2 が、第２の駆動手段
６によって図１１中左方向に、第３の二軸案内機構４3
によって支持された点Ｐ3 が、第３の駆動手段７によっ
て図１１中左方向に、それぞれ移動される。その際、上
記第２、第３の二軸案内機構４2 、４3 は、移動テーブ
ル３が回転する回転軸Ｏを中心にした円弧Ｃ上であっ
て、かつＹ軸上に１８０度異なった位置に配置されてい
るので、これら第２、第３の二軸案内機構４2、４3 が
移動テーブル３を回転自在に支持する点Ｐ2 、Ｐ3 に作
用する力は、直接移動テーブル３を回転させる回転モー
メント力となる。そのため、上記移動テーブル３には、
図１１に示すように、その回転自在に支持される点
Ｐ2 、Ｐ3 に、第２、３の駆動手段６、７によって当該
移動テーブル３を回転させる回転モーメント力が作用す
るため、移動テーブル３は、図１１中、反時計回り方向
に回転するようになっている。
【００８２】また、上記移動テーブル装置１で移動テー
ブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、当該
移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にしてθ方向に回動さ
せる場合には、移動テーブル３をＸ軸方向に移動させる
動作と、移動テーブル３をＹ軸方向に移動させる動作
と、移動テーブル３をθ方向に沿って回転させる動作と
を、任意に組み合わせれば良い。
【００８３】すなわち、上記移動テーブル装置１で移動
テーブル３をＸＹ平面の任意の方向に移動すると共に、
当該移動テーブル３を回動軸Ｏを中心にしてθ方向に回
動させる場合には、まず、第１の駆動手段５を駆動する
ことによって、移動テーブル３をＹ軸方向に沿って移動
させ、次に、第２の駆動手段５、６を同一方向に駆動す
ることによって、移動テーブル３をＸ軸方向に沿って移
動させ、その後、第２、第３の駆動手段６、７を互いに
異なる方向に駆動することによって、移動テーブル３を
回動軸Ｏを中心にして所定量だけ回転させることによ
り、移動テーブル３のＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向への
移動制御を、互いに独立して行うことができ、移動テー
ブル３の移動制御を容易に行うことができる。
【００８４】このように、上記実施の形態２に係る移動
テーブル装置１では、移動テーブル３を原点以外の位置
で回転させたり、所定角度だけ回転させた後に平行に移
動させるといった動作を、簡単な制御で行うことができ
る。また、上記移動テーブル装置１では、第１の駆動手
段５のみを駆動することによって、移動テーブル３をＹ
軸方向に直線状に移動させることが容易に可能であると
共に、第２の駆動手段６、７を同一方向に駆動すること
によって、移動テーブル３をＸ軸方向に直線状に移動さ
せることも容易に可能である。さらに、上記第１の駆動
手段５によって駆動される第１の二軸案内機構４1 のＹ
軸方向の軌道レール８０は、長尺に形成されているた
め、移動テーブル３を一軸方向に沿って大きく移動させ
ることも可能となっている。
【００８５】また、前記実施の形態２では、移動テーブ
ル３を回転させる際に、２つの第２の駆動手段６、７の
みを駆動すればよく、前記実施の形態１のように、２つ
の第２の駆動手段６、７以外に、第１の駆動手段５をも
駆動させる必要がないので、移動テーブル３の回転動作
をより一層容易に行うことができる。
【００８６】さらに、前記実施の形態２では、複数の二
軸案内機構として、第１、第２、第３の二軸案内機構の
左右両側に、第４、第５の二軸案内機構を配置したの
で、移動テーブルをその略全幅に渡って支持することが
でき、移動テーブルの移動を一層安定化させることがで
きると共に、幅広のテーブルの使用、あるいは負荷容量
の増大等を図る場合に特に有効である。
【００８７】なお、前記実施の形態２では、複数の二軸
案内機構として、第１、第２、第３の二軸案内機構の左
右両側に、第４、第５の二軸案内機構を配置した場合に
ついて説明したが、これに限定されるものではなく、第
１、第２、第３の二軸案内機構のＹ軸方向の軌道レール
等に幅の広いものを用いたり、移動テーブルの幅を狭く
することにより、第４、第５の二軸案内機構を省略する
ことも可能である。
【００８８】その他の構成及び作用は、前記実施の形態
１と同様であるので、その説明を省略する。
【００８９】実施の形態３ 図１３はこの発明の実施の形態３を示すものであり、前
記実施の形態１と同一の部分には同一の符号を付して説
明すると、この実施の形態３は、移動テーブルを、互い
に交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に沿っ
て大きく移動自在に案内すると共に、移動テーブルを回
転自在に支持する複数の二軸案内機構の構成が、前記実
施の形態１と異なっている。
【００９０】すなわち、この発明の実施の形態３に係る
移動テーブル装置１では、二軸案内機構４が、図１３に
示すように、テーブル基盤２上に取り付けられた長尺な
Ｙ軸方向の軌道レール１００と、このＹ軸方向の軌道レ
ール１００に多数の転動体としてのボールを介して移動
自在に取り付けられる第１の移動ブロック１０１と、こ
の移動ブロック１０１に前記Ｙ軸方向の軌道レールと直
交するように直交する方向に固定して取り付けられたＸ
軸方向の軌道レール１０２と、このＸ軸方向の軌道レー
ル１０２に多数の転動体としてのボールを介して移動自
在に取り付けられる第２の移動ブロック１０３と、を備
えるように構成されている。
【００９１】更に、上記二軸案内機構４の構成を詳しく
説明すると、この二軸案内機構４は、図１３に示すよう
に、Ｙ軸方向の軌道レール１００、第１の移動ブロック
１０１、Ｘ軸方向の軌道レール１０２及び第２の移動ブ
ロック１０３から構成され、移動テーブル３を互いに直
交する二軸（ＸＹ軸）方向に移動自在に案内すると共
に、当該移動テーブル３を回転自在に支持する直線案内
機構である。
【００９２】上記Ｘ軸方向の軌道レール１００は、図１
３（ａ）及び図１４（ａ）に示すように、第１移動ブロ
ック１０１を挟むようにして支持する一対の支持壁部１
０４と、これらの支持壁部１０４を連結する底壁部１０
５によって構成される一体成形物で、左右の支持壁部１
０４の内周面に上下２条づつ計４条のボール１０６が転
走するボール転走溝１０７が形成されている。また、第
１移動ブロック１０１の左右外側面に支持壁１０４内周
に形成されたボール転走溝１０７に対応する上下２条づ
つ計４条のボール転走溝１０８が形成されている。
【００９３】一方、第１移動ブロック１０１には、左右
両側面の４条のボール転走溝１０８に対応する４条のボ
ール逃げ通路１０９が平行に設けられ、図１４（ｂ）に
示すように、両端にボール転走溝１０８の両端とボール
逃げ通路１０９の両端を結ぶ４つの方向転走路１１０を
備えた側蓋１１１が設けられている。
【００９４】この第１軌道レール１００の左右支持壁１
０４と第１移動ブロック１０１外側面のボール転走溝１
０８間に介装される４列のボール１０６の接触方向は、
図１４（ａ）に示すように、上下２列のボール中央を通
る水平線Ｈに対して所定の接触角αでもって対称的に傾
斜している。この実施の形態３では、ボール１０６とボ
ール転走溝１０８との接点を結ぶ接触角線が第１移動ブ
ロック１０１の中心に向かって開き、第１移動ブロック
１０１と反対の外側に向かって閉じる内開き接触構造と
なっている。
【００９５】上記第１移動ブロック１０１の中央部に
は、左右のボール転走溝１０８と平行に延びるねじ孔１
１２が設けられ、このねじ孔１１２にねじ軸１１３が螺
合されている。このねじ孔１１２とねじ軸１１３の間に
ボールを転動自在に介装してボールねじ軸とすることが
好ましい。
【００９６】また、上記ねじ軸１１３の両端は、図１３
（ｂ）に示すように、第１軌道レール１００に固定され
るベアリングサポート１１４に、ベアリング１１５を介
して回転自在に支持されている。さらに、ねじ軸１１３
の一端は、継手部材を介して、第１軌道レール１００に
固定される図示しない回転モータの出力軸と連結されて
いる。
【００９７】一方、上記第２の移動ブロック１０３の下
面には、図１３に示すように、第１移動ブロック１０１
上に固定された第２軌道レール１０２が挿入される第２
凹部１１６が設けられている。上記第２軌道レール１０
２の左右両側面にも２条づつ計４条のボール１１７が転
走するボール転走溝１１８が設けられ、この第２軌道レ
ール１０２の左右両側面と対向する第２移動ブロック１
０３の第２凹部１１６の左右内側面に第２軌道レール１
０２の左右のボール転走溝１１８と対応する４条ボール
転走溝１１９が設けられている。
【００９８】また、第２移動ブロック１０３には、図１
４（ｃ）に示すように、第２凹部１１６の４条のボール
転走溝１１９に対応する４条のボール逃げ通路１２０が
平行にも設けられ、第２の移動ブロック１０３の第２凹
部１１６の両端部には、移動ブロック１０３の各ボール
転走溝１１８の両端とボール逃げ通路１２０の両端を結
ぶ４つの方向転換路１２１を備えた側蓋１２２が設けら
れている。
【００９９】さらに、第２軌道レール１０２と第２凹部
１１６の間に介装される４列のボール１１７の接触方向
は、図１４（ｃ）に示すように、上下２列のボール１１
７の中間を通る水平線Ｈに対して対称的に所定角度α傾
斜している。この実施の形態では、ボール１１７とボー
ル転走溝１１９との接点を結ぶ接触角線が第２凹部１１
６の内側に向かって閉じ、第２凹部１１６と反対の外側
に向かって開く外開き接触構造となっている。
【０１００】そして、上記の如く構成される二軸案内機
構４は、図１３に示すように、前記実施の形態１と同様
に構成された旋回機構３１介して、移動テーブル３を回
転自在に支持している。
【０１０１】このように、上記二軸案内機構４を、幅の
広い第１の軌道レール１００や第２の軌道レール１０２
等で支持することにより、移動テーブル３を一層安定し
た状態で支持することができ、移動テーブル３に加わる
大きな負荷に対しても支持可能となる。また、上記二軸
案内機構４にねじ孔１１２やねじ軸１１３等からなる駆
動機構を一体的に設けることにより、装置の構成を簡素
化することができる。
【０１０２】その他の構成及び作用は、前記実施の形態
と同様であるので、その説明を省略する。
【０１０３】実施の形態４ 図１５はこの発明の実施の形態４を示すものであり、前
記実施の形態１と同一の部分には同一の符号を付して説
明すると、この実施の形態４は、第１の軌道レール、移
動ブロック、第２の軌道レールの構成は、前記実施の形
態１の構成と同一であるが、旋回機構の位置が、移動テ
ーブル側ではなく、移動ブロックを第１上下に分割して
第１の移動ブロックと第２の移動ブロックとし、これら
第１の移動ブロックと第２の移動ブロックとの間に、旋
回機構が配置されている点が、前記実施の形態１と異な
っている。
【０１０４】すなわち、この発明の実施の形態４に係る
移動テーブル装置１では、二軸案内機構４が、図１５に
示すように、旋回機構３１が、移動テーブル３側ではな
く、移動ブロック１０を第１上下に分割して第１の移動
ブロック１０ａと第２の移動ブロック１０ｂとし、これ
第１の移動ブロック１０ａと第２の軌道レール１０２と
の間に、旋回機構３１が配置されている点を除けば、そ
の他の構成及び作用は、前記実施の形態１と同様である
ので、その説明を省略する。
【０１０５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
移動テーブルを原点以外の位置で回転させたり、所定角
度回転させた後に平行に移動させるといった動作が、簡
単な制御で行えると共に、回転中心を一軸方向に沿って
直線状に移動させることが容易に可能であり、しかも、
移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させること
が可能な移動テーブル装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置を示す平面構成図である。
【図２】 図２は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置を示す一部破断の側面構成図である。
【図３】 図３（ａ）（ｂ）は二軸案内機構をそれぞれ
示す断面構成図である。
【図４】 図４（ａ）〜（ｅ）は二軸案内機構をそれぞ
れ示す構成図である。
【図５】 図５（ａ）（ｂ）は旋回機構をそれぞれ示す
一部破断の斜視図及び取付状態の要部断面構成図であ
る。
【図６】 図６は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の使用状態を示す平面構成図である。
【図７】 図７は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の使用状態を示す平面構成図である。
【図８】 図８は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の使用状態を示す平面構成図である。
【図９】 図９は本発明の一実施の形態に係る移動テー
ブル装置の動作を示す説明図である。
【図１０】 図１０は本発明の一実施の形態に係る移動
テーブル装置の動作を示す説明図である。
【図１１】 図１１は本発明の実施の形態２に係る移動
テーブル装置を示す平面構成図である。
【図１２】 図１２は本発明の実施の形態２に係る移動
テーブル装置を示す一部破断の側面構成図である。
【図１３】 図１３（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態
３に係る移動テーブル装置の二軸案内機構をそれぞれ示
す断面構成図である。
【図１４】 図１４（ａ）〜（ｅ）は本発明の実施の形
態３に係る移動テーブル装置の二軸案内機構をそれぞれ
示す構成図である。
【図１５】 図１５（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態
４に係る移動テーブル装置の二軸案内機構をそれぞれ示
す断面構成図である。
【符号の説明】
１：移動テーブル装置、２：テーブル基盤、３：移動テ
ーブル、４1 、４2 、４3 ：二軸案内機構、５：第１の
駆動手段、６、７：第２の駆動手段、３１：旋回機構。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 テーブル基盤に対して移動テーブルを、
    互いに交差する二軸方向に沿って移動可能に、かつ二軸
    が形成する平面に対して直交する軸を中心にして回動可
    能に取り付けてなる移動テーブル装置において、 前記テーブル基盤に対して移動テーブルを、互いに交差
    する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に沿って大き
    く移動自在に案内すると共に、移動テーブルを回転自在
    に支持する複数の二軸案内機構と、 前記複数の二軸案内機構の移動部材を、二軸方向に沿っ
    て選択的に移動させることにより、テーブル基盤に対し
    て移動テーブルを、二軸方向に沿った直線運動と、当該
    二軸が形成する平面に対して直交する軸を中心にした回
    転運動とが可能となるように駆動する駆動手段と、を備
    えたことを特徴とする移動テーブル装置。
  2. 【請求項２】 テーブル基盤に対して移動テーブルを、
    互いに交差する二軸方向に沿って移動可能に、かつ二軸
    が形成する平面に対して直交する軸を中心にして回動可
    能に取り付けてなる移動テーブル装置において、 前記テーブル基盤に対して移動テーブルを、互いに交差
    する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に沿って大き
    く移動自在に案内すると共に、移動テーブルを回転自在
    に支持する複数の二軸案内機構と、 前記複数の二軸案内機構のうち、少なくとも１つの二軸
    案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、移動量の大き
    な第１の軸方向に沿って駆動する第１の駆動手段と、 前記複数の二軸案内機構のうち、前記少なくとも１つの
    二軸案内機構に対する他の二軸案内機構の移動テーブル
    側の移動部材を、第２の軸方向に沿って互いに独立して
    駆動する第２の駆動手段と、を備えたことを特徴とする
    移動テーブル装置。
  3. 【請求項３】 前記第２の駆動手段が取り付けられた二
    軸案内機構は、移動テーブルが回転する軸を中心にした
    円弧上に配置されていることを特徴とする請求項２に記
    載の移動テーブル装置。
  4. 【請求項４】 前記第２の駆動手段が取り付けられた二
    軸案内機構は、移動テーブルが回転する軸を中心にした
    円弧上であって、かつ移動量の大きな一軸方向に沿った
    直径上に配置されていることを特徴とする請求項２に記
    載の移動テーブル装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002341076A (ja) * 2001-05-16 2002-11-27 Nippon Thompson Co Ltd 角度調整テーブル装置
JP2003291051A (ja) * 2002-03-28 2003-10-14 Oi Seisakusho Co Ltd 加工セル装置
US7223018B2 (en) 2003-03-31 2007-05-29 Nippon Thompson Co., Ltd. Biaxial linear-revolving position control and table system using the same
CN110985538A (zh) * 2019-12-16 2020-04-10 纪谋城 重型滚道

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE60032568T2 (de) * 1999-12-01 2007-10-04 Asml Netherlands B.V. Positionierungsapparat und damit versehener lithographischer Apparat
EP1216787B1 (de) * 2000-12-21 2004-08-18 Liechti Engineering AG Positioniervorrichtung
US6601524B2 (en) * 2001-03-28 2003-08-05 Newport Corporation Translation table with a spring biased dovetail bearing
US6681704B1 (en) 2002-07-10 2004-01-27 William David Brookhiser Rotary positioning table
EP1746915A4 (en) * 2004-01-12 2007-10-31 Systemes De Mobilier Triangle WORKTABLE COMPRISING A MULTIDIRECTIONAL COUPLING ELEMENT
JP4575674B2 (ja) * 2004-01-23 2010-11-04 Ｔｈｋ株式会社 回転テーブル装置
US20060207444A1 (en) * 2005-03-03 2006-09-21 Nicolaas Schneider Automotive leather cutting station
US7707907B2 (en) * 2005-11-17 2010-05-04 Socovar, Société En Commandite Planar parallel mechanism and method
JP4376225B2 (ja) * 2005-11-29 2009-12-02 日本ベアリング株式会社 テーブル装置
US7946013B2 (en) * 2005-11-30 2011-05-24 Thk Co., Ltd Jig for driving closing cap for bolt installation hole
US8109395B2 (en) * 2006-01-24 2012-02-07 Asm Technology Singapore Pte Ltd Gantry positioning system
US8104752B2 (en) * 2006-03-20 2012-01-31 Boaz Eidelberg Integrated large XY rotary positioning table with virtual center of rotation
DE102007004234A1 (de) * 2007-01-27 2008-08-07 Eppendorf Ag Verfahren zur insbesondere optischen Untersuchung der Oberfläche eines Probenträgers für biologische Objekte
US20100077877A1 (en) * 2008-09-26 2010-04-01 Ming-Hung Hsieh Rotary micro-adjustment mechanism for a synchronous double-drive positioning platform
WO2014068639A1 (ja) * 2012-10-29 2014-05-08 富士機械製造株式会社 部品供給装置
CN105179473B (zh) * 2015-08-31 2017-09-26 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 细长杆件球柔性同轴调整装置
CN110141042B (zh) * 2019-06-25 2024-07-26 苏州市职业大学 一种残疾人多功能电脑桌
US11938677B2 (en) * 2020-05-14 2024-03-26 John Martin Harra Positioning system

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3155383A (en) * 1962-10-11 1964-11-03 Link Division Of General Prec Precision positioning apparatus
JPS62282294A (ja) 1986-05-30 1987-12-08 松下電器産業株式会社 位置決めテ−プル
US4729536A (en) * 1986-11-04 1988-03-08 Harry Scala Anagraphic stand
JP2601834B2 (ja) * 1987-08-26 1997-04-16 株式会社東芝 テーブル装置
JPH01240246A (ja) * 1988-03-22 1989-09-25 Kazuya Hirose テーブルの縦横移動機構
JPH01242989A (ja) 1988-03-24 1989-09-27 Kazuya Hirose テーブルの縦横移動旋回機構
JPH0624332B2 (ja) * 1988-06-21 1994-03-30 日本電気株式会社 Ｔｄｍａ無線通信システムにおける無線中継局
JPH02202031A (ja) 1989-01-31 1990-08-10 Nippon Seiko Kk 回動テーブル装置
US5117761A (en) * 1989-04-28 1992-06-02 Canon Kabushiki Kaisha Part mounting apparatus
JP2676256B2 (ja) 1989-07-25 1997-11-12 住友重機械工業株式会社 駆動ステージ装置およびそのためのアクチュエータユニット
US4988261A (en) * 1989-10-06 1991-01-29 Blatt John A Multiple motion transfer apparatus
JP2773781B2 (ja) 1990-04-13 1998-07-09 住友重機械工業株式会社 精密微動ステージ装置
JP2595381B2 (ja) 1990-11-30 1997-04-02 和也 廣瀬 テ−ブルの位置決め装置
JPH04354637A (ja) 1991-05-31 1992-12-09 Ntn Corp 移動テーブル
JPH0577125A (ja) 1991-09-20 1993-03-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Ｘｙステージ
JP3452325B2 (ja) * 1992-05-20 2003-09-29 セイコーインスツルメンツ株式会社 テーブル送り装置
JPH0631563A (ja) 1992-07-16 1994-02-08 Ntn Corp 移動テーブル
KR950003660A (ko) * 1992-08-12 1995-02-17 제이지에이롤프스 변속 기구, 변속 기구를 구비한 위치 설정 장치 및, 위치 설정 장치를 구비한 리도그래픽 장치
JP3346838B2 (ja) * 1993-06-29 2002-11-18 有限会社創造庵 回転運動機構
JP2913535B2 (ja) 1993-12-28 1999-06-28 ヒーハイスト精工株式会社 テーブルの縦横移動機構
JPH07219636A (ja) 1994-02-07 1995-08-18 Ushio Inc ステージ装置
JP2700050B2 (ja) 1994-10-04 1998-01-19 ヒーハイスト精工株式会社 縦横移動旋回テーブル機構
JP2785860B2 (ja) 1995-02-07 1998-08-13 和也 廣瀬 多自由度位置決めステージ
CN1057245C (zh) * 1995-07-27 2000-10-11 柳泽健 运动机构
JP3117118B2 (ja) 1995-07-31 2000-12-11 ヒーハイスト精工株式会社 多自由度位置決め機構
JP2940663B2 (ja) 1995-12-01 1999-08-25 和也 廣瀬 ステージの縦横移動旋回支持機構
JP2759912B2 (ja) 1996-02-07 1998-05-28 和也 廣瀬 多自由度テーブル機構用支持ユニット並びに多自由度テーブル機構

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002341076A (ja) * 2001-05-16 2002-11-27 Nippon Thompson Co Ltd 角度調整テーブル装置
JP2003291051A (ja) * 2002-03-28 2003-10-14 Oi Seisakusho Co Ltd 加工セル装置
US7223018B2 (en) 2003-03-31 2007-05-29 Nippon Thompson Co., Ltd. Biaxial linear-revolving position control and table system using the same
CN110985538A (zh) * 2019-12-16 2020-04-10 纪谋城 重型滚道

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