JPH11304853A - 半導体試験装置 - Google Patents
半導体試験装置Info
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- JPH11304853A JPH11304853A JP10756198A JP10756198A JPH11304853A JP H11304853 A JPH11304853 A JP H11304853A JP 10756198 A JP10756198 A JP 10756198A JP 10756198 A JP10756198 A JP 10756198A JP H11304853 A JPH11304853 A JP H11304853A
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- frequency
- ytf
- yto
- voltage
- spectrum analyzer
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- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、温度変化等による、ＹＴＯ７１の
発信周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数とのトラッキン
グ誤差を補正したスペクトラムアナライザを提供する。 【解決手段】 測定信号をＹＴＦによりプリセレクト
し、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで発
生しているスペクトラムアナライザにおいて、前記ＰＬ
Ｌ回路の誤差電圧を検出してデジタル信号に変換するＡ
Ｄ変換器と、該ＡＤ変換器で変換したデジタル信号を補
正値に演算出力するＣＰＵとを具備して、該ＣＰＵの補
正値を前記ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフセッ
ト電圧に返しているいる解決手段。
発信周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数とのトラッキン
グ誤差を補正したスペクトラムアナライザを提供する。 【解決手段】 測定信号をＹＴＦによりプリセレクト
し、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで発
生しているスペクトラムアナライザにおいて、前記ＰＬ
Ｌ回路の誤差電圧を検出してデジタル信号に変換するＡ
Ｄ変換器と、該ＡＤ変換器で変換したデジタル信号を補
正値に演算出力するＣＰＵとを具備して、該ＣＰＵの補
正値を前記ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフセッ
ト電圧に返しているいる解決手段。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、温度変化等による
ＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差を補正したスペク
トラムアナライザに関する。
ＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差を補正したスペク
トラムアナライザに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の例について、図２と図３とを
参照して構成と動作について説明をする。図２に示すよ
うに、従来のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０
と、ミキサ２０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０
と、ＡＤ変換器５０と、表示部６０と、ローカル周波数
発生部７０と、加算器８１、８２と、乗算器８３と、制
御部９０とで構成している。また、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。
参照して構成と動作について説明をする。図２に示すよ
うに、従来のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０
と、ミキサ２０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０
と、ＡＤ変換器５０と、表示部６０と、ローカル周波数
発生部７０と、加算器８１、８２と、乗算器８３と、制
御部９０とで構成している。また、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。
【０００３】最初に、信号系のブロックについて、信号
を主体として動作の説明をする。入力信号Ｆｉから、Ｙ
ＴＦ１０でプリセレクトした被測定信号の周波数Ｆ１
と、ローカル周波数Ｆ２とをミキサ２０で混合して、Ｉ
Ｆ周波数Ｆ３に変換する。ＩＦ周波数Ｆ３は、ＩＦフィ
ルタ３０で帯域制限したあと、検波器４０で検波し、Ａ
Ｄ変換器５０によりデジタル信号に変換してデータ処理
し、表示部６０にスペクトラム表示する。
を主体として動作の説明をする。入力信号Ｆｉから、Ｙ
ＴＦ１０でプリセレクトした被測定信号の周波数Ｆ１
と、ローカル周波数Ｆ２とをミキサ２０で混合して、Ｉ
Ｆ周波数Ｆ３に変換する。ＩＦ周波数Ｆ３は、ＩＦフィ
ルタ３０で帯域制限したあと、検波器４０で検波し、Ａ
Ｄ変換器５０によりデジタル信号に変換してデータ処理
し、表示部６０にスペクトラム表示する。
【０００４】例えば、図３に示すように、中心周波数
と、周波数範囲（スパン）と、レベルとを設定して、周
波数軸に対する信号のレベルとしてスペクトラム表示す
る。
と、周波数範囲（スパン）と、レベルとを設定して、周
波数軸に対する信号のレベルとしてスペクトラム表示す
る。
【０００５】次に、図２に示す制御系のブロックについ
て動作の説明をする。ＹＴＦ１０は，ＹＩＧ同調フィル
タ（YIG Tuned Filter）で、磁場を発生する電磁コイル
の電流を制御電圧Ｖｐで制御して同調周波数を可変する
フィルタである。ここに、ＹＩＧ（Yttrium Iron Garne
t）とは、ガーネット系フェライトであり、その単結晶
はマイクロ波領域で極めて鋭い電子スピン共鳴現象を示
し、また共鳴周波数は広い周波数帯域にわたって印加直
流磁場に対し線形な比例関係をもっている。
て動作の説明をする。ＹＴＦ１０は，ＹＩＧ同調フィル
タ（YIG Tuned Filter）で、磁場を発生する電磁コイル
の電流を制御電圧Ｖｐで制御して同調周波数を可変する
フィルタである。ここに、ＹＩＧ（Yttrium Iron Garne
t）とは、ガーネット系フェライトであり、その単結晶
はマイクロ波領域で極めて鋭い電子スピン共鳴現象を示
し、また共鳴周波数は広い周波数帯域にわたって印加直
流磁場に対し線形な比例関係をもっている。
【０００６】また、ＹＴＯ７１は，磁場を発生する電磁
コイルの電流で発信周波数を可変できるＹＩＧ同調発振
器（YIG Tuned Oscillator）で、制御電圧Ｖｍでメイン
の電磁コイルの電流を主制御し、制御電圧Ｖｅでサブの
電磁コイルの電流を副制御している。
コイルの電流で発信周波数を可変できるＹＩＧ同調発振
器（YIG Tuned Oscillator）で、制御電圧Ｖｍでメイン
の電磁コイルの電流を主制御し、制御電圧Ｖｅでサブの
電磁コイルの電流を副制御している。
【０００７】ＹＴＯ７１の発信周波数であるローカル周
波数Ｆ２は、分周器７２で１／Ｎに分周し、位相比較器
７３において基準周波数発生器７４の基準信号と位相比
較し、誤差電圧を制御電圧Ｖｅとしてフィードバックし
て位相ロックをかけている。
波数Ｆ２は、分周器７２で１／Ｎに分周し、位相比較器
７３において基準周波数発生器７４の基準信号と位相比
較し、誤差電圧を制御電圧Ｖｅとしてフィードバックし
て位相ロックをかけている。
【０００８】制御部９０は、デジタル信号をアナログ信
号に変換して、ランプ波生成部９４によりランプ波信号
Ｖｔと、スパン生成部９３によりスパンの係数ａと、オ
フセット生成部９２によりオフセットの電圧ｂと、オフ
セット生成部９１によりオフセットの電圧ｃとをそれぞ
れ生成している。
号に変換して、ランプ波生成部９４によりランプ波信号
Ｖｔと、スパン生成部９３によりスパンの係数ａと、オ
フセット生成部９２によりオフセットの電圧ｂと、オフ
セット生成部９１によりオフセットの電圧ｃとをそれぞ
れ生成している。
【０００９】ＹＴＯ７１の制御電圧Ｖｍは、制御部９０
で生成したランプ波Ｖｔと、スパンの係数ａとを乗算器
８３で乗算し、その乗算出力に、中心周波数を決めるオ
フセットの電圧ｂを加算器８２で加算して生成してい
る。従って、ＹＴＯ７１の制御電圧Ｖｍは、下記式
（１）で表わされる。 Ｖｍ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ ・・・・（１ ）
で生成したランプ波Ｖｔと、スパンの係数ａとを乗算器
８３で乗算し、その乗算出力に、中心周波数を決めるオ
フセットの電圧ｂを加算器８２で加算して生成してい
る。従って、ＹＴＯ７１の制御電圧Ｖｍは、下記式
（１）で表わされる。 Ｖｍ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ ・・・・（１ ）
【００１０】一方、ＹＴＦ１０の同調周波数は、ＩＦ周
波数の差でＹＴＯ７１の発信周波数に追従して変化する
必要がある。そのため、ＹＴＦ１０の同調周波数とＹＴ
Ｏ７１の発信周波数とが、制御電圧に対して同一共振周
波数特性となるようにすれば、制御電圧Ｖｐは、制御電
圧Ｖｍにオフセットをかければよいことになる。
波数の差でＹＴＯ７１の発信周波数に追従して変化する
必要がある。そのため、ＹＴＦ１０の同調周波数とＹＴ
Ｏ７１の発信周波数とが、制御電圧に対して同一共振周
波数特性となるようにすれば、制御電圧Ｖｐは、制御電
圧Ｖｍにオフセットをかければよいことになる。
【００１１】そこで、ＹＴＦの制御電圧Ｖｐは、ＹＴＯ
７１の制御電圧Ｖｍと、オフセットの電圧ｃとを加算器
８１で加算して生成している。従って、ＹＴＦ１０の制
御電圧Ｖｐは、下記式（２）で表わされる。 Ｖｐ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ＋ｃ ・・・・（２ ）
７１の制御電圧Ｖｍと、オフセットの電圧ｃとを加算器
８１で加算して生成している。従って、ＹＴＦ１０の制
御電圧Ｖｐは、下記式（２）で表わされる。 Ｖｐ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ＋ｃ ・・・・（２ ）
【００１２】しかし、温度変化等に対して、制御電圧Ｖ
ｍと、Ｖｐとを一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発
信周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数との周波数変化は
同じではない。例えば、IＦ周波数を０．４ＧＨｚとし
て、温度が２５℃のとき、ＹＴＯ７１の発信周波数が４
ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調周波数が４．４ＧＨｚとす
る。そして、温度が−５℃のとき、ＹＴＯ７１の発信周
波数は４．１ＧＨｚとなり、ＹＴＦ１０の同調周波数は
４．４１ＧＨｚと変化する。
ｍと、Ｖｐとを一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発
信周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数との周波数変化は
同じではない。例えば、IＦ周波数を０．４ＧＨｚとし
て、温度が２５℃のとき、ＹＴＯ７１の発信周波数が４
ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調周波数が４．４ＧＨｚとす
る。そして、温度が−５℃のとき、ＹＴＯ７１の発信周
波数は４．１ＧＨｚとなり、ＹＴＦ１０の同調周波数は
４．４１ＧＨｚと変化する。
【００１３】つまり、ＹＴＯ７１の発信周波数と、ＹＴ
Ｆ１０の同調周波数とは、ＩＦ周波数０．４ＧＨｚが一
定となるように追従掃引する必要があるが、温度変化に
よりトラッキング誤差が発生している。従って、トラッ
キング誤差により、ローカル周波数Ｆ２に対する入力信
号からプリセレクトする測定目的の周波数Ｆ１とにずれ
が生じる。その結果、ＹＴＦ１０の通過帯域と目的の周
波数Ｆ１とがずれるため、測定スペクトラムのレベル誤
差となる。
Ｆ１０の同調周波数とは、ＩＦ周波数０．４ＧＨｚが一
定となるように追従掃引する必要があるが、温度変化に
よりトラッキング誤差が発生している。従って、トラッ
キング誤差により、ローカル周波数Ｆ２に対する入力信
号からプリセレクトする測定目的の周波数Ｆ１とにずれ
が生じる。その結果、ＹＴＦ１０の通過帯域と目的の周
波数Ｆ１とがずれるため、測定スペクトラムのレベル誤
差となる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、温
度変化等に対して、制御電圧Ｖｍと、制御電圧Ｖｐとを
一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発信周波数と、Ｙ
ＴＦ１０の同調周波数とはトラッキング誤差が発生して
測定誤差となる実用上の問題があった。そこで、本発明
は、こうした問題に鑑みなされたもので、その目的は、
温度変化等による、ＹＴＯ７１の発信周波数と、ＹＴＦ
１０の同調周波数とのトラッキング誤差を補正したスペ
クトラムアナライザを提供することにある。
度変化等に対して、制御電圧Ｖｍと、制御電圧Ｖｐとを
一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発信周波数と、Ｙ
ＴＦ１０の同調周波数とはトラッキング誤差が発生して
測定誤差となる実用上の問題があった。そこで、本発明
は、こうした問題に鑑みなされたもので、その目的は、
温度変化等による、ＹＴＯ７１の発信周波数と、ＹＴＦ
１０の同調周波数とのトラッキング誤差を補正したスペ
クトラムアナライザを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】即ち、上記目的を達成す
るためになされた本発明の第１は、被測定信号をＹＴＦ
によりプリセレクトし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で
構成したＹＴＯで発生しているスペクトラムアナライザ
において、前記ＰＬＬ回路の誤差電圧を検出して、前記
ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフセット電圧に返
して補正していることを特徴としたスペクトラムアナラ
イザを要旨としている。
るためになされた本発明の第１は、被測定信号をＹＴＦ
によりプリセレクトし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で
構成したＹＴＯで発生しているスペクトラムアナライザ
において、前記ＰＬＬ回路の誤差電圧を検出して、前記
ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフセット電圧に返
して補正していることを特徴としたスペクトラムアナラ
イザを要旨としている。
【００１６】また、上記目的を達成するためになされた
本発明の第２は、被測定信号をＹＴＦによりプリセレク
トし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで
発生しているスペクトラムアナライザにおいて、前記Ｐ
ＬＬ回路の誤差電圧を検出してデジタル信号に変換する
ＡＤ変換器と、該ＡＤ変換器で変換したデジタル信号を
補正値に演算出力するＣＰＵと、を具備して、該ＣＰＵ
の補正値を前記ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフ
セット電圧に返して補正していることを特徴としたスペ
クトラムアナライザを要旨としている。
本発明の第２は、被測定信号をＹＴＦによりプリセレク
トし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで
発生しているスペクトラムアナライザにおいて、前記Ｐ
ＬＬ回路の誤差電圧を検出してデジタル信号に変換する
ＡＤ変換器と、該ＡＤ変換器で変換したデジタル信号を
補正値に演算出力するＣＰＵと、を具備して、該ＣＰＵ
の補正値を前記ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフ
セット電圧に返して補正していることを特徴としたスペ
クトラムアナライザを要旨としている。
【００１７】さらに、上記目的を達成するためになされ
た本発明の第３は、ＣＰＵが演算する補正値は、温度が
変化したときのＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差で
ある本発明第１または２記載のスペクトラムアナライザ
を要旨としている。
た本発明の第３は、ＣＰＵが演算する補正値は、温度が
変化したときのＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差で
ある本発明第１または２記載のスペクトラムアナライザ
を要旨としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、下記の実
施例において説明する。
施例において説明する。
【００１９】
【実施例】本発明の実施例について、図１を参照して構
成と動作について説明する。図１に示すように、本発明
のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０と、ミキサ２
０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０と、ＡＤ変換器
５０と、表示部６０と、ローカル周波数発生部７０と加
算器８１、８２と、乗算器８３と、制御部９０との従来
構成に、ＡＤ変換器７５と、ＣＰＵ７６とを追加して構
成している。また、従来と同様に、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。従って、従来技術で説明した同じ構成ブロックに
ついては説明を省略する。
成と動作について説明する。図１に示すように、本発明
のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０と、ミキサ２
０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０と、ＡＤ変換器
５０と、表示部６０と、ローカル周波数発生部７０と加
算器８１、８２と、乗算器８３と、制御部９０との従来
構成に、ＡＤ変換器７５と、ＣＰＵ７６とを追加して構
成している。また、従来と同様に、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。従って、従来技術で説明した同じ構成ブロックに
ついては説明を省略する。
【００２０】次に、本発明のスペクトラムアナライザに
ついて、具体的数値例で動作の説明をする。例えば、Ｉ
Ｆ周波数を０．４ＧＨｚとして、温度が２５℃のとき、
ＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調
周波数は４．４ＧＨｚとし、このときのオフセットの電
圧ｂは４Ｖで、オフセットの電圧ｃは０．４Ｖとする。
ついて、具体的数値例で動作の説明をする。例えば、Ｉ
Ｆ周波数を０．４ＧＨｚとして、温度が２５℃のとき、
ＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調
周波数は４．４ＧＨｚとし、このときのオフセットの電
圧ｂは４Ｖで、オフセットの電圧ｃは０．４Ｖとする。
【００２１】また、ローカル周波数発生部７０におい
て、位相比較器７３の基準周波数である基準周波数発生
器７４の周波数と、分周器７２の周波数とは位相ロック
し、このときの誤差電圧Ｖｅは０Ｖとする。そして、温
度が−５℃となったとき、温度補正していないときのＹ
ＴＯ７１の中心周波数は４．１ＧＨｚで、ＹＴＦ１０の
同調周波数は４．４１ＧＨｚに変化したと仮定する。
て、位相比較器７３の基準周波数である基準周波数発生
器７４の周波数と、分周器７２の周波数とは位相ロック
し、このときの誤差電圧Ｖｅは０Ｖとする。そして、温
度が−５℃となったとき、温度補正していないときのＹ
ＴＯ７１の中心周波数は４．１ＧＨｚで、ＹＴＦ１０の
同調周波数は４．４１ＧＨｚに変化したと仮定する。
【００２２】この場合、ＹＴＯ７１の中心周波数は、４
ＧＨｚから４．１ＧＨｚに変化している。そのため、ロ
ーカル周波数発生部７０において、基準周波数発生器７
４の発信周波数は温度の影響を受けないので、温度変化
による周波数誤差に比例した誤差電圧Ｖｅは０．１Ｖ発
生したとする。
ＧＨｚから４．１ＧＨｚに変化している。そのため、ロ
ーカル周波数発生部７０において、基準周波数発生器７
４の発信周波数は温度の影響を受けないので、温度変化
による周波数誤差に比例した誤差電圧Ｖｅは０．１Ｖ発
生したとする。
【００２３】そして、誤差電圧Ｖｅの０．１ＶをＡＤ変
換器７５で受けて、デジタル信号に変換する。デジタル
信号に変換した誤差電圧は、ＣＰＵ７６で演算して、オ
フセット生成部９２と、オフセット生成部９１とにそれ
ぞれ補正値ｅ、補正値ｆとして返している。
換器７５で受けて、デジタル信号に変換する。デジタル
信号に変換した誤差電圧は、ＣＰＵ７６で演算して、オ
フセット生成部９２と、オフセット生成部９１とにそれ
ぞれ補正値ｅ、補正値ｆとして返している。
【００２４】例えば、オフセット生成部９２の電圧ｂの
４Ｖを与えるデジタル値が４０００として、ＹＴＯ７１
の中心周波数を、４．１ＧＨｚから４ＧＨｚに下げるた
めの電圧ｂは０．１Ｖ下げた３．９Ｖで、そのときのデ
ジタル値は３９００とする。このとき、補正値ｅのデジ
タル値ｅは４０００と３９００との差である−１００と
すればよい。
４Ｖを与えるデジタル値が４０００として、ＹＴＯ７１
の中心周波数を、４．１ＧＨｚから４ＧＨｚに下げるた
めの電圧ｂは０．１Ｖ下げた３．９Ｖで、そのときのデ
ジタル値は３９００とする。このとき、補正値ｅのデジ
タル値ｅは４０００と３９００との差である−１００と
すればよい。
【００２５】一方、ＹＴＦ１０の同調周波数４．４１Ｇ
Ｈｚを、４．４ＧＨｚに下げる制御電圧Ｖｐは、４．４
Ｖから、０．０１Ｖ下げた４．３９Ｖとする。このと
き、オフセットの電圧ｃは、オフセットの電圧ｂがすで
に補正電圧として、０．１Ｖ下げて３．９Ｖとしている
ので、４．３９Ｖとの差の電圧０．４９Ｖとなる．
Ｈｚを、４．４ＧＨｚに下げる制御電圧Ｖｐは、４．４
Ｖから、０．０１Ｖ下げた４．３９Ｖとする。このと
き、オフセットの電圧ｃは、オフセットの電圧ｂがすで
に補正電圧として、０．１Ｖ下げて３．９Ｖとしている
ので、４．３９Ｖとの差の電圧０．４９Ｖとなる．
【００２６】また、オフセット生成部９１の電圧ｃの
０．４Ｖを与えるデジタル値は４００として、オフセッ
トの電圧ｃが０．４９Ｖで、そのときのデジタル値は４
９０とする。従って、補正値ｆのデジタル値は、４００
と４９０との差である＋９０とすればよい。
０．４Ｖを与えるデジタル値は４００として、オフセッ
トの電圧ｃが０．４９Ｖで、そのときのデジタル値は４
９０とする。従って、補正値ｆのデジタル値は、４００
と４９０との差である＋９０とすればよい。
【００２７】この結果、温度が−５℃となったとき、温
度補正したときのＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ
で、ＹＴＦ１０の同調周波数は４．４ＧＨｚとなる。
度補正したときのＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ
で、ＹＴＦ１０の同調周波数は４．４ＧＨｚとなる。
【００２８】よって、ＹＴＯ７１の発信周波数と、ＹＴ
Ｆ１０の同調周波数とは、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを
所望のタイミングで検出して、それぞれオフセットに返
して補正することにより、温度変化等によるトラッキン
グ誤差が補正される。
Ｆ１０の同調周波数とは、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを
所望のタイミングで検出して、それぞれオフセットに返
して補正することにより、温度変化等によるトラッキン
グ誤差が補正される。
【００２９】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
ＹＴＯ７１の発信周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数と
は、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを所望のタイミングで検
出して、オフセットに補正値として返すことにより、温
度変化等によるトラッキング誤差を補正しているので測
定精度が向上する効果がある。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
ＹＴＯ７１の発信周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数と
は、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを所望のタイミングで検
出して、オフセットに補正値として返すことにより、温
度変化等によるトラッキング誤差を補正しているので測
定精度が向上する効果がある。
【図１】本発明のスペクトラムアナライザのブロック図
である。
である。
【図２】従来のスペクトラムアナライザのブロック図で
ある。
ある。
【図３】スペクトラムアナライザの表示例である。
１０ ＹＴＦ ２０ ミキサ ３０ ＩＦフィルタ ４０ 検波器 ５０ ＡＤ変換器 ６０ 表示部 ７０ ローカル周波数発生部 ７５ ＡＤ変換器 ７６ ＣＰＵ ８１、８２ 加算器 ８３ 乗算器 ９０ 制御部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年６月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】半導体試験装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、温度変化等による
ＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差を補正したスペク
トラムアナライザに関する。
ＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差を補正したスペク
トラムアナライザに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の例について、図２と図３とを
参照して構成と動作について説明をする。図２に示すよ
うに、従来のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０
と、ミキサ２０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０
と、ＡＤ変換器５０と、表示部６０と、ローカル周波数
発生部７０と、加算器８１、８２と、乗算器８３と、制
御部９０とで構成している。また、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。
参照して構成と動作について説明をする。図２に示すよ
うに、従来のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０
と、ミキサ２０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０
と、ＡＤ変換器５０と、表示部６０と、ローカル周波数
発生部７０と、加算器８１、８２と、乗算器８３と、制
御部９０とで構成している。また、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。
【０００３】最初に、信号系のブロックについて、信号
を主体として動作の説明をする。入力信号Ｆｉから、Ｙ
ＴＦ１０でプリセレクトした被測定信号の周波数Ｆ１
と、ローカル周波数Ｆ２とをミキサ２０で混合して、Ｉ
Ｆ周波数Ｆ３に変換する。ＩＦ周波数Ｆ３は、ＩＦフィ
ルタ３０で帯域制限したあと、検波器４０で検波し、Ａ
Ｄ変換器５０によりデジタル信号に変換してデータ処理
し、表示部６０にスペクトラム表示する。
を主体として動作の説明をする。入力信号Ｆｉから、Ｙ
ＴＦ１０でプリセレクトした被測定信号の周波数Ｆ１
と、ローカル周波数Ｆ２とをミキサ２０で混合して、Ｉ
Ｆ周波数Ｆ３に変換する。ＩＦ周波数Ｆ３は、ＩＦフィ
ルタ３０で帯域制限したあと、検波器４０で検波し、Ａ
Ｄ変換器５０によりデジタル信号に変換してデータ処理
し、表示部６０にスペクトラム表示する。
【０００４】例えば、図３に示すように、中心周波数
と、周波数範囲（スパン）と、レベルとを設定して、周
波数軸に対する信号のレベルとしてスペクトラム表示す
る。
と、周波数範囲（スパン）と、レベルとを設定して、周
波数軸に対する信号のレベルとしてスペクトラム表示す
る。
【０００５】次に、図２に示す制御系のブロックについ
て動作の説明をする。ＹＴＦ１０は，ＹＩＧ同調フィル
タ（YIG Tuned Filter）で、磁場を発生する電磁コイル
の電流を制御電圧Ｖｐで制御して同調周波数を可変する
フィルタである。ここに、ＹＩＧ（Yttrium Iron Garne
t）とは、ガーネット系フェライトであり、その単結晶
はマイクロ波領域で極めて鋭い電子スピン共鳴現象を示
し、また共鳴周波数は広い周波数帯域にわたって印加直
流磁場に対し線形な比例関係をもっている。
て動作の説明をする。ＹＴＦ１０は，ＹＩＧ同調フィル
タ（YIG Tuned Filter）で、磁場を発生する電磁コイル
の電流を制御電圧Ｖｐで制御して同調周波数を可変する
フィルタである。ここに、ＹＩＧ（Yttrium Iron Garne
t）とは、ガーネット系フェライトであり、その単結晶
はマイクロ波領域で極めて鋭い電子スピン共鳴現象を示
し、また共鳴周波数は広い周波数帯域にわたって印加直
流磁場に対し線形な比例関係をもっている。
【０００６】また、ＹＴＯ７１は，磁場を発生する電磁
コイルの電流で発振周波数を可変できるＹＩＧ同調発振
器（YIG Tuned Oscillator）で、制御電圧Ｖｍでメイン
の電磁コイルの電流を主制御し、制御電圧Ｖｅでサブの
電磁コイルの電流を副制御している。
コイルの電流で発振周波数を可変できるＹＩＧ同調発振
器（YIG Tuned Oscillator）で、制御電圧Ｖｍでメイン
の電磁コイルの電流を主制御し、制御電圧Ｖｅでサブの
電磁コイルの電流を副制御している。
【０００７】ＹＴＯ７１の発振周波数であるローカル周
波数Ｆ２は、分周器７２で１／Ｎに分周し、位相比較器
７３において基準周波数発生器７４の基準信号と位相比
較し、誤差電圧を制御電圧Ｖｅとしてフィードバックし
て位相ロックをかけている。
波数Ｆ２は、分周器７２で１／Ｎに分周し、位相比較器
７３において基準周波数発生器７４の基準信号と位相比
較し、誤差電圧を制御電圧Ｖｅとしてフィードバックし
て位相ロックをかけている。
【０００８】制御部９０は、デジタル信号をアナログ信
号に変換して、ランプ波生成部９４によりランプ波信号
Ｖｔと、スパン生成部９３によりスパンの係数ａと、オ
フセット生成部９２によりオフセットの電圧ｂと、オフ
セット生成部９１によりオフセットの電圧ｃとをそれぞ
れ生成している。
号に変換して、ランプ波生成部９４によりランプ波信号
Ｖｔと、スパン生成部９３によりスパンの係数ａと、オ
フセット生成部９２によりオフセットの電圧ｂと、オフ
セット生成部９１によりオフセットの電圧ｃとをそれぞ
れ生成している。
【０００９】ＹＴＯ７１の制御電圧Ｖｍは、制御部９０
で生成したランプ波Ｖｔと、スパンの係数ａとを乗算器
８３で乗算し、その乗算出力に、中心周波数を決めるオ
フセットの電圧ｂを加算器８２で加算して生成してい
る。従って、ＹＴＯ７１の制御電圧Ｖｍは、下記式
（１）で表わされる。 Ｖｍ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ ・・・・（１）
で生成したランプ波Ｖｔと、スパンの係数ａとを乗算器
８３で乗算し、その乗算出力に、中心周波数を決めるオ
フセットの電圧ｂを加算器８２で加算して生成してい
る。従って、ＹＴＯ７１の制御電圧Ｖｍは、下記式
（１）で表わされる。 Ｖｍ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ ・・・・（１）
【００１０】一方、ＹＴＦ１０の同調周波数は、ＩＦ周
波数の差でＹＴＯ７１の発振周波数に追従して変化する
必要がある。そのため、ＹＴＦ１０の同調周波数とＹＴ
Ｏ７１の発振周波数とが、制御電圧に対して同一共振周
波数特性となるようにすれば、制御電圧Ｖｐは、制御電
圧Ｖｍにオフセットをかければよいことになる。
波数の差でＹＴＯ７１の発振周波数に追従して変化する
必要がある。そのため、ＹＴＦ１０の同調周波数とＹＴ
Ｏ７１の発振周波数とが、制御電圧に対して同一共振周
波数特性となるようにすれば、制御電圧Ｖｐは、制御電
圧Ｖｍにオフセットをかければよいことになる。
【００１１】そこで、ＹＴＦの制御電圧Ｖｐは、ＹＴＯ
７１の制御電圧Ｖｍと、オフセットの電圧ｃとを加算器
８１で加算して生成している。従って、ＹＴＦ１０の制
御電圧Ｖｐは、下記式（２）で表わされる。 Ｖｐ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ＋ｃ ・・・・（２）
７１の制御電圧Ｖｍと、オフセットの電圧ｃとを加算器
８１で加算して生成している。従って、ＹＴＦ１０の制
御電圧Ｖｐは、下記式（２）で表わされる。 Ｖｐ＝ａ・Ｖｔ＋ｂ＋ｃ ・・・・（２）
【００１２】しかし、温度変化等に対して、制御電圧Ｖ
ｍと、Ｖｐとを一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発
振周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数との周波数変化は
同じではない。例えば、IＦ周波数を０．４ＧＨｚとし
て、温度が２５℃のとき、ＹＴＯ７１の発振周波数が４
ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調周波数が４．４ＧＨｚとす
る。そして、温度が−５℃のとき、ＹＴＯ７１の発振周
波数は４．１ＧＨｚとなり、ＹＴＦ１０の同調周波数は
４．４１ＧＨｚと変化する。
ｍと、Ｖｐとを一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発
振周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数との周波数変化は
同じではない。例えば、IＦ周波数を０．４ＧＨｚとし
て、温度が２５℃のとき、ＹＴＯ７１の発振周波数が４
ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調周波数が４．４ＧＨｚとす
る。そして、温度が−５℃のとき、ＹＴＯ７１の発振周
波数は４．１ＧＨｚとなり、ＹＴＦ１０の同調周波数は
４．４１ＧＨｚと変化する。
【００１３】つまり、ＹＴＯ７１の発振周波数と、ＹＴ
Ｆ１０の同調周波数とは、ＩＦ周波数０．４ＧＨｚが一
定となるように追従掃引する必要があるが、温度変化に
よりトラッキング誤差が発生している。従って、トラッ
キング誤差により、ローカル周波数Ｆ２に対する入力信
号からプリセレクトする測定目的の周波数Ｆ１とにずれ
が生じる。その結果、ＹＴＦ１０の通過帯域と目的の周
波数Ｆ１とがずれるため、測定スペクトラムのレベル誤
差となる。
Ｆ１０の同調周波数とは、ＩＦ周波数０．４ＧＨｚが一
定となるように追従掃引する必要があるが、温度変化に
よりトラッキング誤差が発生している。従って、トラッ
キング誤差により、ローカル周波数Ｆ２に対する入力信
号からプリセレクトする測定目的の周波数Ｆ１とにずれ
が生じる。その結果、ＹＴＦ１０の通過帯域と目的の周
波数Ｆ１とがずれるため、測定スペクトラムのレベル誤
差となる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、温
度変化等に対して、制御電圧Ｖｍと、制御電圧Ｖｐとを
一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発振周波数と、Ｙ
ＴＦ１０の同調周波数とはトラッキング誤差が発生して
測定誤差となる実用上の問題があった。そこで、本発明
は、こうした問題に鑑みなされたもので、その目的は、
温度変化等による、ＹＴＯ７１の発振周波数と、ＹＴＦ
１０の同調周波数とのトラッキング誤差を補正したスペ
クトラムアナライザを提供することにある。
度変化等に対して、制御電圧Ｖｍと、制御電圧Ｖｐとを
一定に保持していても、ＹＴＯ７１の発振周波数と、Ｙ
ＴＦ１０の同調周波数とはトラッキング誤差が発生して
測定誤差となる実用上の問題があった。そこで、本発明
は、こうした問題に鑑みなされたもので、その目的は、
温度変化等による、ＹＴＯ７１の発振周波数と、ＹＴＦ
１０の同調周波数とのトラッキング誤差を補正したスペ
クトラムアナライザを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】即ち、上記目的を達成す
るためになされた本発明の第１は、被測定信号をＹＴＦ
によりプリセレクトし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で
構成したＹＴＯで発生しているスペクトラムアナライザ
において、前記ＰＬＬ回路の誤差電圧を検出して、前記
ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフセット電圧に返
して補正していることを特徴としたスペクトラムアナラ
イザを要旨としている。
るためになされた本発明の第１は、被測定信号をＹＴＦ
によりプリセレクトし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で
構成したＹＴＯで発生しているスペクトラムアナライザ
において、前記ＰＬＬ回路の誤差電圧を検出して、前記
ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフセット電圧に返
して補正していることを特徴としたスペクトラムアナラ
イザを要旨としている。
【００１６】また、上記目的を達成するためになされた
本発明の第２は、被測定信号をＹＴＦによりプリセレク
トし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで
発生しているスペクトラムアナライザにおいて、前記Ｐ
ＬＬ回路の誤差電圧を検出してデジタル信号に変換する
ＡＤ変換器と、該ＡＤ変換器で変換したデジタル信号を
補正値に演算出力するＣＰＵと、を具備して、該ＣＰＵ
の補正値を前記ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフ
セット電圧に返して補正していることを特徴としたスペ
クトラムアナライザを要旨としている。
本発明の第２は、被測定信号をＹＴＦによりプリセレク
トし、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで
発生しているスペクトラムアナライザにおいて、前記Ｐ
ＬＬ回路の誤差電圧を検出してデジタル信号に変換する
ＡＤ変換器と、該ＡＤ変換器で変換したデジタル信号を
補正値に演算出力するＣＰＵと、を具備して、該ＣＰＵ
の補正値を前記ＹＴＦとＹＴＯとの制御電圧となるオフ
セット電圧に返して補正していることを特徴としたスペ
クトラムアナライザを要旨としている。
【００１７】さらに、上記目的を達成するためになされ
た本発明の第３は、ＣＰＵが演算する補正値は、温度が
変化したときのＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差で
ある本発明第１または２記載のスペクトラムアナライザ
を要旨としている。
た本発明の第３は、ＣＰＵが演算する補正値は、温度が
変化したときのＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差で
ある本発明第１または２記載のスペクトラムアナライザ
を要旨としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、下記の実
施例において説明する。
施例において説明する。
【００１９】
【実施例】本発明の実施例について、図１を参照して構
成と動作について説明する。図１に示すように、本発明
のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０と、ミキサ２
０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０と、ＡＤ変換器
５０と、表示部６０と、ローカル周波数発生部７０と加
算器８１、８２と、乗算器８３と、制御部９０との従来
構成に、ＡＤ変換器７５と、ＣＰＵ７６とを追加して構
成している。また、従来と同様に、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。従って、従来技術で説明した同じ構成ブロックに
ついては説明を省略する。
成と動作について説明する。図１に示すように、本発明
のスペクトラムアナライザは、ＹＴＦ１０と、ミキサ２
０と、ＩＦフィルタ３０と、検波器４０と、ＡＤ変換器
５０と、表示部６０と、ローカル周波数発生部７０と加
算器８１、８２と、乗算器８３と、制御部９０との従来
構成に、ＡＤ変換器７５と、ＣＰＵ７６とを追加して構
成している。また、従来と同様に、ローカル周波数発生
部７０は、ＹＴＯ７１と、分周器７２と、位相比較器７
３と、基準周波数発生器７４とでＰＬＬ回路を構成して
いる。従って、従来技術で説明した同じ構成ブロックに
ついては説明を省略する。
【００２０】次に、本発明のスペクトラムアナライザに
ついて、具体的数値例で動作の説明をする。例えば、Ｉ
Ｆ周波数を０．４ＧＨｚとして、温度が２５℃のとき、
ＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調
周波数は４．４ＧＨｚとし、このときのオフセットの電
圧ｂは４Ｖで、オフセットの電圧ｃは０．４Ｖとする。
ついて、具体的数値例で動作の説明をする。例えば、Ｉ
Ｆ周波数を０．４ＧＨｚとして、温度が２５℃のとき、
ＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ、ＹＴＦ１０の同調
周波数は４．４ＧＨｚとし、このときのオフセットの電
圧ｂは４Ｖで、オフセットの電圧ｃは０．４Ｖとする。
【００２１】また、ローカル周波数発生部７０におい
て、位相比較器７３の基準周波数である基準周波数発生
器７４の周波数と、分周器７２の周波数とは位相ロック
し、このときの誤差電圧Ｖｅは０Ｖとする。そして、温
度が−５℃となったとき、温度補正していないときのＹ
ＴＯ７１の中心周波数は４．１ＧＨｚで、ＹＴＦ１０の
同調周波数は４．４１ＧＨｚに変化したと仮定する。
て、位相比較器７３の基準周波数である基準周波数発生
器７４の周波数と、分周器７２の周波数とは位相ロック
し、このときの誤差電圧Ｖｅは０Ｖとする。そして、温
度が−５℃となったとき、温度補正していないときのＹ
ＴＯ７１の中心周波数は４．１ＧＨｚで、ＹＴＦ１０の
同調周波数は４．４１ＧＨｚに変化したと仮定する。
【００２２】この場合、ＹＴＯ７１の中心周波数は、４
ＧＨｚから４．１ＧＨｚに変化している。そのため、ロ
ーカル周波数発生部７０において、基準周波数発生器７
４の発振周波数は温度の影響を受けないので、温度変化
による周波数誤差に比例した誤差電圧Ｖｅは０．１Ｖ発
生したとする。
ＧＨｚから４．１ＧＨｚに変化している。そのため、ロ
ーカル周波数発生部７０において、基準周波数発生器７
４の発振周波数は温度の影響を受けないので、温度変化
による周波数誤差に比例した誤差電圧Ｖｅは０．１Ｖ発
生したとする。
【００２３】そして、誤差電圧Ｖｅの０．１ＶをＡＤ変
換器７５で受けて、デジタル信号に変換する。デジタル
信号に変換した誤差電圧は、ＣＰＵ７６で演算して、オ
フセット生成部９２と、オフセット生成部９１とにそれ
ぞれ補正値ｅ、補正値ｆとして返している。
換器７５で受けて、デジタル信号に変換する。デジタル
信号に変換した誤差電圧は、ＣＰＵ７６で演算して、オ
フセット生成部９２と、オフセット生成部９１とにそれ
ぞれ補正値ｅ、補正値ｆとして返している。
【００２４】例えば、オフセット生成部９２の電圧ｂの
４Ｖを与えるデジタル値が４０００として、ＹＴＯ７１
の中心周波数を、４．１ＧＨｚから４ＧＨｚに下げるた
めの電圧ｂは０．１Ｖ下げた３．９Ｖで、そのときのデ
ジタル値は３９００とする。このとき、補正値ｅのデジ
タル値ｅは４０００と３９００との差である−１００と
すればよい。
４Ｖを与えるデジタル値が４０００として、ＹＴＯ７１
の中心周波数を、４．１ＧＨｚから４ＧＨｚに下げるた
めの電圧ｂは０．１Ｖ下げた３．９Ｖで、そのときのデ
ジタル値は３９００とする。このとき、補正値ｅのデジ
タル値ｅは４０００と３９００との差である−１００と
すればよい。
【００２５】一方、ＹＴＦ１０の同調周波数４．４１Ｇ
Ｈｚを、４．４ＧＨｚに下げる制御電圧Ｖｐは、４．４
Ｖから、０．０１Ｖ下げた４．３９Ｖとする。このと
き、オフセットの電圧ｃは、オフセットの電圧ｂがすで
に補正電圧として、０．１Ｖ下げて３．９Ｖとしている
ので、４．３９Ｖとの差の電圧０．４９Ｖとなる．
Ｈｚを、４．４ＧＨｚに下げる制御電圧Ｖｐは、４．４
Ｖから、０．０１Ｖ下げた４．３９Ｖとする。このと
き、オフセットの電圧ｃは、オフセットの電圧ｂがすで
に補正電圧として、０．１Ｖ下げて３．９Ｖとしている
ので、４．３９Ｖとの差の電圧０．４９Ｖとなる．
【００２６】また、オフセット生成部９１の電圧ｃの
０．４Ｖを与えるデジタル値は４００として、オフセッ
トの電圧ｃが０．４９Ｖで、そのときのデジタル値は４
９０とする。従って、補正値ｆのデジタル値は、４００
と４９０との差である＋９０とすればよい。
０．４Ｖを与えるデジタル値は４００として、オフセッ
トの電圧ｃが０．４９Ｖで、そのときのデジタル値は４
９０とする。従って、補正値ｆのデジタル値は、４００
と４９０との差である＋９０とすればよい。
【００２７】この結果、温度が−５℃となったとき、温
度補正したときのＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ
で、ＹＴＦ１０の同調周波数は４．４ＧＨｚとなる。
度補正したときのＹＴＯ７１の中心周波数は４ＧＨｚ
で、ＹＴＦ１０の同調周波数は４．４ＧＨｚとなる。
【００２８】よって、ＹＴＯ７１の発振周波数と、ＹＴ
Ｆ１０の同調周波数とは、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを
所望のタイミングで検出して、それぞれオフセットに返
して補正することにより、温度変化等によるトラッキン
グ誤差が補正される。
Ｆ１０の同調周波数とは、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを
所望のタイミングで検出して、それぞれオフセットに返
して補正することにより、温度変化等によるトラッキン
グ誤差が補正される。
【００２９】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
ＹＴＯ７１の発振周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数と
は、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを所望のタイミングで検
出して、オフセットに補正値として返すことにより、温
度変化等によるトラッキング誤差を補正しているので測
定精度が向上する効果がある。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
ＹＴＯ７１の発振周波数と、ＹＴＦ１０の同調周波数と
は、ＰＬＬ回路の誤差電圧Ｖｅを所望のタイミングで検
出して、オフセットに補正値として返すことにより、温
度変化等によるトラッキング誤差を補正しているので測
定精度が向上する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスペクトラムアナライザのブロック図
である。
である。
【図２】従来のスペクトラムアナライザのブロック図で
ある。
ある。
【図３】スペクトラムアナライザの表示例である。
【符号の説明】 １０ ＹＴＦ ２０ ミキサ ３０ ＩＦフィルタ ４０ 検波器 ５０ ＡＤ変換器 ６０ 表示部 ７０ ローカル周波数発生部 ７５ ＡＤ変換器 ７６ ＣＰＵ ８１、８２ 加算器 ８３ 乗算器 ９０ 制御部
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定信号をＹＴＦによりプリセレクト
し、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで発
生しているスペクトラムアナライザにおいて、 前記ＰＬＬ回路の誤差電圧を検出して、前記ＹＴＦとＹ
ＴＯとの制御電圧となるオフセット電圧に返して補正し
ていることを特徴としたスペクトラムアナライザ。 - 【請求項２】 被測定信号をＹＴＦによりプリセレクト
し、ローカル周波数をＰＬＬ回路で構成したＹＴＯで発
生しているスペクトラムアナライザにおいて、 前記ＰＬＬ回路の誤差電圧を検出してデジタル信号に変
換するＡＤ変換器と、 該ＡＤ変換器で変換したデジタル信号を補正値に演算出
力するＣＰＵと、 を具備して、該ＣＰＵの補正値を前記ＹＴＦとＹＴＯと
の制御電圧となるオフセット電圧に返して補正している
ことを特徴としたスペクトラムアナライザ。 - 【請求項３】 ＣＰＵが演算する補正値は、温度が変化
したときのＹＴＦとＹＴＯとのトラッキング誤差である
請求項１または２記載のスペクトラムアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10756198A JPH11304853A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10756198A JPH11304853A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 半導体試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11304853A true JPH11304853A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14462303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10756198A Withdrawn JPH11304853A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11304853A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100861965B1 (ko) | 2007-01-05 | 2008-10-07 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 스펙트럼분석기의 와이티에프 조정장치 |
| KR100929877B1 (ko) * | 2002-11-11 | 2009-12-04 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 와이티에프의 온도 보상 장치를 구비하는 스펙트럼 분석기 |
| KR101044001B1 (ko) | 2008-12-31 | 2011-06-24 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 스펙트럼 분석기의 조정 방법 |
| KR101095958B1 (ko) | 2009-07-07 | 2011-12-19 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 주파수 조정방법 및 이를 적용한 스펙트럼 분석기 |
| CN104460797A (zh) * | 2014-10-22 | 2015-03-25 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种高精度宽频谱分析仪的ytf压控电流驱动系统 |
-
1998
- 1998-04-17 JP JP10756198A patent/JPH11304853A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100929877B1 (ko) * | 2002-11-11 | 2009-12-04 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 와이티에프의 온도 보상 장치를 구비하는 스펙트럼 분석기 |
| KR100861965B1 (ko) | 2007-01-05 | 2008-10-07 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 스펙트럼분석기의 와이티에프 조정장치 |
| KR101044001B1 (ko) | 2008-12-31 | 2011-06-24 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 스펙트럼 분석기의 조정 방법 |
| KR101095958B1 (ko) | 2009-07-07 | 2011-12-19 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 주파수 조정방법 및 이를 적용한 스펙트럼 분석기 |
| CN104460797A (zh) * | 2014-10-22 | 2015-03-25 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种高精度宽频谱分析仪的ytf压控电流驱动系统 |
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