JPH11304884A - 大型回路板用プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置の小型化及び軽量化を図り、コスト低減
を図る。 【解決手段】 本体フレーム３９側に支持されると共に
回路板に接触して検査を行う複数の探針２４を備えたプ
ローブユニット４２と、回路板を支持してプローブユニ
ット４２に臨ませるワークテーブル３５と、このワーク
テーブル３５と前記プローブユニット４２とをＸＹＺ軸
方向及び回転方向に相対的に動かして微調整を行う移動
機構３２，３３，３４，３８とを備えた大型回路板用プ
ローバ３０である。Ｙ軸移動機構３８を本体フレーム３
９側に設けた。このＹ軸移動機構３８の移動量を大きく
設定して取付け・取外し機構を構成し、プローブユニッ
ト４２の交換作業の際に、プローブユニット４２をＹ軸
方向に大きく移動させて交換する。ワークテーブル３５
はＹ軸移動機構３８の分だけ低くなり、装置が小型にな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶板等のよう
に、薄板の表面に回路を構成した回路板の回路の特性試
験等を行う際に用いるプローバに関し、特に回路板の大
型化に対応した大型回路板用プローバに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶板等の回路板の検査を行う
プローバ１は、図２に示すように主に、カセット設置台
部２と、ローダ／アンローダ部３と、ワークテーブル部
４と、プリアライメント機構５とから構成されている。
これらのうち、カセット設置台部２は後方（図中の上
方）に位置し、ローダ／アンローダ部３は中央部に、ワ
ークテーブル部４は前方の左側に、プリアライメント機
構５は前方の右側にそれぞれ配設されている。

【０００３】カセット設置台部２は、検査対象である液
晶板等のガラス基板５を収納するカセット６，７が設置
される台部である。このカセット設置台部２のうち、検
査対象のガラス基板５が収納されたカセット６が右側に
載置され、検査後のガラス基板５が収納される空のカセ
ット７が左側に載置される。各カセット６，７はカセッ
ト設置台部２上で正確に位置決めされる。これは、ロー
ダ／アンローダ部３でのガラス基板５のロード／アンロ
ードが正確に行えるようにするためである。各カセット
６，７は、ＡＧＶ方式およびＭＧＶ方式に対応するよう
に構成されている。なお、ＡＧＶ方式では、バッテリを
原動力とした無人搬送車が用いられる。この無人搬送車
は、軌道レールを必要とせず、床に貼られたガイドテー
プなどを追従する。また、ＭＧＶ方式では、作業者の力
で走行させる台車が用いられる。

【０００４】中央のローダ／アンローダ部３には２枚の
搬送アーム８，９が設けられている。各搬送アーム８，
９は一体となって左右に移動できるようになっている。
これにより、各搬送アーム８，９は、カセット設置台部
２の２つのカセット６，７の正面に位置できるようにな
っている。各搬送アーム８，９の先端には、ガラス基板
５を支持してカセット６，７に対して出し入れすると共
に搬送するための支持用フォーク８Ａ，９Ａが設けられ
ている。これらのうち、一方の搬送アーム８はカセット
６内に収納されているガラス基板５をプリアライメント
機構５及びワークテーブル部４へ搬送する。他方の搬送
アーム９は、測定終了後のガラス基板をワークテーブル
部４からカセット７内へ搬送する。

【０００５】ワークテーブル部４は、図３，４に示すよ
うに構成されている。なお、図３はワークテーブル部４
を示す分解斜視図、図４はワークテーブル部４の概略構
成図である。このワークテーブル部４は、ステージベー
ス１１上にＹ軸移動機構１２が搭載され、その上にＸ軸
移動機構１３、θ軸移動機構１４、Ｚ軸移動機構１５及
びワークテーブル１６が順次搭載され、さらにこれらの
機構を囲繞して本体フレーム１８がステージベース１１
上に取付けられて、全体が構成されている。このワーク
テーブル部４は、ワークテーブル１６上にガラス基板を
真空で吸着固定し、Ｙ軸移動機構１２、Ｘ軸移動機構１
３、θ軸移動機構１４及びＺ軸移動機構１５で特定位置
へ移動させて位置決めを行うようになっている。

【０００６】ワークテーブル１６の上方には、図２に示
すように、プローブコンタクト部２０が設けられ、ワー
クテーブル１６上のガラス基板の測定を行う。このプロ
ーブコンタクト部２０は、ガラス基板と電気的接触によ
る検査を行う部位であり、主にべースプレート２２（図
４参照）とプローブユニット２３で構成されている。プ
ローブユニット２３には、複数本の探針２４を有するプ
ローブブロック２５が搭載されている。

【０００７】プリアライメント機構５は、搬送アーム８
の支持用フォーク８Ａ上に支持されたガラス基板の位置
を調整するためのものである。搬送アーム８の支持用フ
ォーク８Ａでカセット６から取り出されたガラス基板
は、このプリアライメント機構５で微調整されてワーク
テーブル部４に正確に載置される。

【０００８】［動作］以上のように構成されたプローバ
１は以下のように動作する。

【０００９】まず、ＡＧＶまたはＭＧＶ方式のカセット
台車（図示せず）からガラス基板が収納されたカセット
６が、プローバ１のカセット設置台部２の一方に載置さ
れる。また、他方にはガラス基板が収納されていない空
のカセット７が載置される。

【００１０】次いで、ローダ／アンローダ部３の一方の
搬送アーム８がカセット６内からガラス基板を取り出
し、プリアライメント機構５に搬送する。このプリアラ
イメント機構５では、一方の搬送アーム８の支持用フォ
ーク８Ａ上のガラス基板の位置が微調整されてワークテ
ーブル部４に搬送される。

【００１１】搬送アーム８でワークテーブル部４に搬送
されたガラス基板はワークテーブル１６上に載置され、
このワークテーブル１６で真空吸着される。このとき、
既に電気的検査が終了したガラス基板がある場合は、そ
のガラス基板が他方の搬送アーム９で取り出され、その
後に一方の搬送アーム８上のガラス基板がワークテーブ
ル１６上に載置される。

【００１２】一方の搬送アーム８上のガラス基板が載置
された後は、他方の搬送アーム９上のガラス基板がカセ
ット設置台部２の他方の空のカセット７まで搬送されて
内部に収納される。

【００１３】ワークテーブル１６上に載置されたガラス
基板は、ワークテーブル部４のＹ軸移動機構１２、Ｘ軸
移動機構１３及びθ軸移動機構１４によって、プローブ
ブロック２５の探針２４に対するアライメントが行われ
る。さらに、Ｚ軸移動機構１５が稼動してワークテーブ
ル１６が上昇し、ガラス基板が探針２４に接触され、オ
ーバードライブがかけられる。

【００１４】次いで、ガラス基板の電気的検査が行われ
る。電気的検査が終了したガラス基板は、前述した他方
の搬送アーム９でカセット設置台部２の他方の空のカセ
ット７まで搬送されて収納される。

【００１５】以上の作業は、カセット６内のガラス基板
が空になるまで繰り返される。

【００１６】一方、検査対象となるガラス基板は複数種
類あるので、その種類が変わるときはプローブユニット
２３を交換する必要がある。

【００１７】この交換作業の際には、図５に示すよう
に、オペレータ２６がプローブユニット２３に手を伸ば
してこのプローブユニット２３の固定を解除し、手前に
引き出してＰ／Ｕ品種交換台車２１（図１２参照）に載
せる。そして、Ｐ／Ｕ品種交換台車２１で保管場所まで
運んで収納保管する。次いで、新しいプローブユニット
２３をＰ／Ｕ品種交換台車２１に載せて保管場所からプ
ローバまで運び、プローブコンタクト部２０に装着す
る。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】近年のガラス基板等の
回路板は、そのサイズが次第に拡大する傾向がある。そ
して、この回路板のサイズ拡大に伴ってプローブユニッ
ト２３等も大きくする必要が生じた。さらに、Ｙ軸移動
機構１２等の移動量も大きくする必要が生じた。

【００１９】この場合、Ｙ軸移動機構１２からＺ軸移動
機構１５までの装置が大型化するが、装置が大型化して
も各機構の精度は高く維持する必要がある。各機構を高
精度に維持するためには、ステージベース１１を単純に
大型化するだけでは足りず、強度を大幅に増大させなけ
ればならない。これは、ワークテーブル１６上の回路板
とプローブユニット２３との間を数μm単位の精度に維
持する必要があるためである。このため、ステージベー
ス１１の強度を高めて、Ｙ軸移動機構１２等のステージ
ベース１１上での移動による偏荷重に対して、ワークテ
ーブル１６の撓みを最小限に抑える必要がある。

【００２０】さらに、ステージベース１１の大型化、高
強度化は、本体フレーム１８等を含むプローバ１全体の
大型化及び重量の増大を招いてしまう。このため、プロ
ーバ１が据え付けられる床に対しても十分な強度が要求
されると共に、床の専有面積も増大してしまう。

【００２１】また、プローバ１の大型化は、作業効率の
悪化も招いてしまう。即ち、プローバ１の大型化、特に
Ｙ軸移動機構１２からＺ軸移動機構１５までの装置の大
型化に伴ってプローブコンタクト部２０の位置が高くな
るため、装置の端からプローブユニット２３までの位置
が遠くなる。このため、図５に示すように、プローブユ
ニット２３の交換作業の際に、オペレータ２６がプロー
ブユニット２３を取り外してＰ／Ｕ品種交換台車２１に
載せる作業及び新しいプローブユニット２３をＰ／Ｕ品
種交換台車２１からプローブコンタクト部２０に装着す
る作業が困難になる。

【００２２】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、測定対象の回路板の大型化に伴う装置の大型
化を最小限に抑えて、装置の大型化に伴う種々の問題を
解消した大型回路板用プローバを提供することを目的と
する。

【００２３】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係る大型回
路板用プローバは、本体フレーム側に支持されると共に
検査対象の回路板に接触して検査を行う複数の探針を備
えたプローブユニットと、検査対象の回路板を支持して
前記プローブユニットに臨ませるワークテーブルと、こ
のワークテーブルと前記プローブユニットとをＸＹＺ軸
方向及び回転方向に相対的に動かして微調整を行う移動
機構とを備えてなる大型回路板用プローバにおいて、前
記ＸＹＺ軸方向及び回転方向の移動機構の一部を本体フ
レーム側に設けて、前記プローブユニットを移動させる
ことを特徴とする。

【００２４】前記構成により、本体フレーム側に設けら
れた移動機構の分だけワークテーブルを低くすることが
できる。また、可動部である移動機構の一部を本体フレ
ーム側に設けて可動部の重量増加を低減できる。これら
により、装置全体の小型化及び軽量化を図ることができ
る。

【００２５】第２の発明に係るプローバは、本体フレー
ム側に支持されると共に検査対象の回路板に接触して検
査を行う複数の探針を備えたプローブユニットと、検査
対象の回路板を支持して前記プローブユニットに臨ませ
るワークテーブルと、このワークテーブルと前記プロー
ブユニットとをＸＹＺ軸方向及び回転方向に相対的に動
かして微調整を行う移動機構とを備えてなる大型回路板
用プローバにおいて、前記本体フレーム側に設けられ、
前記プローブユニットをその取り出しのために装置端部
まで移動させる取付け・取外し機構を備えたことを特徴
とする。

【００２６】前記構成により、検査対象の回路板の変更
に対応してプローブユニットを交換する場合は、取付け
・取外し機構でプローブユニットを本体フレームの端部
まで移動させる。これにより、オペレータは、容易にプ
ローブユニットを交換することができる。

【００２７】第３の発明に係るプローバは、第２の発明
に係る大型回路板用プローバにおいて、前記取付け・取
外し機構が、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動するように設
定されたことを特徴とする。

【００２８】前記構成により、装置の設置状況等を考慮
して取付け・取外し機構の取り出し方向をＸ軸方向又は
Ｙ軸方向に設定する。これにより、取り出し作業性が向
上する。

【００２９】第４の発明に係るプローバは、第２の発明
に係る大型回路板用プローバにおいて、前記取付け・取
外し機構が、本体フレーム側に設けられ、移動量を大き
く設定されたＸ軸移動機構又はＹ軸移動機構によって構
成されたことを特徴とする。

【００３０】前記構成により、取付け・取外し機構をＸ
軸移動機構で構成した場合は、Ｘ軸方向にプローブユニ
ットが移動されて取り出される。取付け・取外し機構を
Ｙ軸移動機構で構成した場合は、Ｙ軸方向にプローブユ
ニットが移動されて取り出される。これらを装置の設置
状況等に応じて適宜選択する。

【００３１】第５の発明に係るプローバは、前記本体フ
レーム側に設けられたＸ軸移動機構又はＹ軸移動機構に
より、移動しなくなる他の移動機構のＸ軸方向又はＹ軸
方向の端部に、制御系部品を収納する収納スペースが設
けられたことを特徴とする。

【００３２】前記構成により、各移動機構等を制御する
制御系部品は、本体フレーム内に設けられた収納スペー
スに収納されるため、別体としての制御系部品の収納空
間が不要となり、装置の小型化に寄与し得る。

【００３３】第６の発明に係るプローバは、第２乃至第
４の発明のいずれかに係る大型回路板用プローバにおい
て、前記取付け・取外し機構の取り出し側端部の下側
に、作業空間を形成したことを特徴とする。

【００３４】前記構成により、オペレータは、取付け・
取外し機構で端部まで移動されたプローブユニットを持
ち上げるときに、作業空間に足を入れて踏ん張る。これ
により、プローブユニットの交換作業が容易になる。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る大型回路板用
プローバについて、添付図面を参照しながら説明する。
なお、本実施形態の大型回路板用プローバの全体構成
は、その重量及び大きさを除いて、前述した従来のプロ
ーバ１とほぼ同様であるため、同一部材には同一符号を
付してその説明を省略する。本実施形態の大型回路板用
プローバの特徴は、従来のプローバのワークテーブル部
４を改良した点にある。

【００３６】［第１実施形態］図１は本実施形態に係る
大型回路板用プローバ３０のワークテーブル部３１を示
す斜視図、図６は図１のワークテーブル部３１の正面
図、図７は図１のワークテーブル部３１の平面図、図８
は図１のワークテーブル部３１の側面図、図９は図１の
ワークテーブル部３１の分解斜視図、図１０は図１のワ
ークテーブル部３１の概略構成図、図１１はプローブユ
ニット４２の取り出し作業例を示す模式図、図１２は大
型回路板用プローバの全体構成図である。

【００３７】ワークテーブル部３１は、図１、図６〜図
１０に示すように、Ｘ軸移動機構３２、θ軸移動機構３
３、Ｚ軸移動機構３４、ワークテーブル３５、ステージ
ベース３６及び本体フレーム３９を備えて構成されてい
る。Ｘ軸移動機構３２はステージベース３６の上面に搭
載されている。このＸ軸移動機構３２の上面にθ軸移動
機構３３が、さらにその上面にＺ軸移動機構３４が設け
られ、このＺ軸移動機構３４上面にワークテーブル３５
が搭載されている。さらに、本体フレーム３９は、ステ
ージベース３６上に前記Ｘ軸移動機構３２、θ軸移動機
構３３、Ｚ軸移動機構３４及びワークテーブル３５を囲
んで取付けられている。以上の構成のワークテーブル部
３１にはＹ軸移動機構３８は設けられていない。

【００３８】本体フレーム３９は、従来の本体フレーム
１８とほぼ同様に、四角形の棒材を立方体状に組み立て
て構成されている。さらに、本実施形態の本体フレーム
３９には、Ｙ軸移動機構３８が搭載されるＹ軸移動機構
搭載部３９Ａが形成されている。また、本体フレーム３
９のＹ軸方向前面側（図８の右側）には、プローブユニ
ット４２をＹ軸方向前面側に引き出すときにプローブブ
ロック４３が接触しないように窪ませて形成されたプロ
ーブユニット出し入れ用開口３９Ｂが形成されている。
さらに、本体フレーム３９のＹ軸方向前面側には、プロ
ーブユニット出し入れ用開口３９Ｂの両側に張り出し部
３９Ｃが形成されている。各張り出し部３９Ｃには、後
述する摺動部４７のリニアレール５６とボールスクリュ
ー６０が端部まで延長して設けられている。これは、Ｐ
／Ｕスライドベース４６を前方へ最大限に引き出せるよ
うにするためである。また、張り出し部３９Ｃの下部に
は、オペレータ２６がプローブユニット４２を持ち上げ
るときに足を踏ん張るための作業空間３９Ｄ（図１１参
照）が形成されている。

【００３９】また、本体フレーム３９内には、ワークテ
ーブル部３１の各機構や後述するサーボモータ６２等を
制御するための制御系部品を収納する収納スペース５５
が設けられている。この収納スペース５５は、ワークテ
ーブル部３１にＹ軸移動機構３８を設けないことにより
できる空間である。即ち、本体フレーム３９内に収納さ
れるワークテーブル部３１は、Ｙ軸移動機構３８がない
ため、Ｙ軸方向に移動することがない。このため、本体
フレーム３９内のＹ軸方向奥部は、ワークテーブル部３
１の移動に関してデッドスペースとなり、収納スペース
５５を確保することができることとなる。

【００４０】プローブコンタクト部４１は測定対象のガ
ラス基板と電気的に接触して測定を行う部位である。こ
のプローブコンタクト部４１は、プローブユニット４２
とＹ軸移動機構３８とから構成されている。プローブユ
ニット４２は、ガラス基板が搭載されるワークテーブル
３５に面した状態でＹ軸移動機構３８に支持されてい
る。このプローブユニット４２には、複数のプローブブ
ロック４３と、このプローブブロック４３を支持してＹ
軸移動機構３８側に取り付けられるブロック支持板４４
とから構成されている。プローブブロック４３には、そ
の先端に複数の探針２４（図２参照）が取り付けられて
いる。この探針２４がガラス基板に接触して電気的な測
定が行われる。

【００４１】Ｙ軸移動機構３８はプローブブロック４３
をＹ軸方向に移動させて、ガラス基板とプローブブロッ
ク４３とのＹ軸方向の微調整を行う機構である。即ち、
Ｙ軸移動機構３８は、Ｘ軸移動機構３２等のようにガラ
ス基板を移動させる代わりに、プローブブロック４３を
移動させて、ガラス基板とプローブブロック４３との間
の微調整を行う。このＹ軸移動機構３８は具体的には、
Ｐ／Ｕスライドベース４６と、摺動部４７と、駆動部４
８とから構成されている。

【００４２】Ｐ／Ｕスライドベース４６は摺動部４７に
支持されている。この摺動部４７によって、Ｐ／Ｕスラ
イドベース４６は本体フレーム３９に対してＹ軸方向に
移動することができるようになっている。Ｐ／Ｕスライ
ドベース４６にはプローブユニット４２が取り付けられ
ている。このプローブユニット４２は、ボルト等の固定
手段でＰ／Ｕスライドベース４６に固定されている。

【００４３】Ｐ／Ｕスライドベース４６は、その中央部
を大きく窪ませて形成されている。これは、本体フレー
ム３９とＰ／Ｕスライドベース４６との間に摺動部４７
及び駆動部４８を備えた状態で、プローブユニット４２
をワークテーブル部３１のワークテーブル３５に面して
支持できるようにするためである。換言すれば、Ｐ／Ｕ
スライドベース４６と本体フレーム３９との間に摺動部
４７及び駆動部４８を組み込む空間を確保すると共にＹ
軸移動機構３８の分だけ低くなったワークテーブル３５
にプローブユニット４２を対向させて支持するために、
Ｐ／Ｕスライドベース４６の中央部を大きく窪ませて形
成されている。

【００４４】Ｐ／Ｕスライドベース４６の中央の窪み部
５１は前面が開口した形状になっている。即ち、窪み部
５１は、立ち上げ壁５２が両側面（図６中の左右両側
面）及び後側面（図１中の左側面）に形成され、前側面
（図中の右側面）が開放して形成されている。さらに、
この窪み部５１の底面には、ほぼその全域を占める大き
さの切欠きが形成されている。この切欠きは前面が開放
されている。窪み部５１の底面には、前記切欠きのため
に、３面の立ち上げ壁５２の底部から水平に僅かに延び
たフランジ部５３が形成されている。このフランジ部５
３にプローブユニット４２が搭載されてボルト等で固定
されている。

【００４５】摺動部４７は、本体フレーム３９側に取り
付けられたリニアレール５６と、Ｐ／Ｕスライドベース
４６側に取り付けられたリニアガイド５７とから構成さ
れている。リニアレール５６は、レールベース５８を介
して本体フレーム３９に、Ｙ軸へ向けて固定されてい
る。このリニアレール５６等は本体フレーム３９の両側
にプローブユニット４２を挟んで２本並列に配設されて
いる。リニアガイド５７は、Ｐ／Ｕスライドベース４６
の下側面であって、前記本体フレーム３９側のリニアレ
ール５６に対応する４カ所の位置にそれぞれ固定されて
いる。

【００４６】駆動部４８は、２本設けられる摺動部４７
のリニアレール５６の一方（図１中の右方）に１つだけ
設けられている。この駆動部４８は、リニアレール５６
に並行して配設されたボールスクリュー６０と、このボ
ールスクリュー６０に螺合してボールスクリュー６０の
回転に従って移動するリードナット６１と、ボールスク
リュー６０を回転駆動するサーボモータ６２とから構成
されている。ボールスクリュー６０はその両側を軸受６
３で本体フレーム３９に対して回転可能に支持されてい
る。サーボモータ６２は、ハウジング６５に固定されて
いる。ボールスクリュー６０とサーボモータ６２とはカ
ップリング６４を介して連結されている。リードナット
６１はＰ／Ｕスライドベース４６の裏面に固定されてい
る。これにより、Ｐ／Ｕスライドベース４６は、摺動部
４７に支持された状態で、サーボモータ６２で駆動され
るボールスクリュー６０によってリードナット６１と共
にＹ軸方向に移動するようになっている。

【００４７】前記Ｘ軸移動機構３２、θ軸移動機構３
３、Ｚ軸移動機構３４及びＹ軸移動機構３８等を制御す
る制御装置（図示せず）が、収納スペース５５内に収納
されている。また、前記Ｙ軸移動機構３８は、プローブ
ユニット４２をその取り出しのために装置端部まで移動
させる取付け・取外し機構を構成している。

【００４８】［動作］以上のように構成された大型回路
板用プローバ３０は、ガラス基板の電気的検査の全体的
動作においては、前記従来のプローバ１とほぼ同様であ
る。そして、本実施形態の大型回路板用プローバ３０で
は、ワークテーブル部３１およびプローブコンタクト部
４１の動作が従来のプローバ１と異なる。

【００４９】ガラス基板はワークテーブル３５に真空吸
着される。ワークテーブル３５はワークテーブル部３１
のＸ軸移動機構３２及びθ軸移動機構３３によって、Ｘ
軸方向へ移動され、また回転される。

【００５０】さらに、プローブコンタクト部４１のＹ軸
移動機構３８によって、プローブブロック４３の探針２
４がＹ軸方向へ移動される。このＹ軸移動機構３８にお
いては、サーボモータ６２が制御装置からの制御信号に
よって適宜回転され、カップリング６４を介して連結さ
れたボールスクリュー６０が時計回り又は反時計回りに
適宜回転駆動される。摺動部４７では、Ｐ／Ｕスライド
ベース４６の裏面に取り付けられた複数のリニアガイド
５７がリニアレール５６上を摺動して、Ｐ／Ｕスライド
ベース４６をＹ軸方向に移動させる。これにより、リー
ドナット６１がＹ軸方向の前方又は後方に移動して、摺
動部４７に支持されたＰ／Ｕスライドベース４６が微調
整される。これにより、プローブブロック４３の探針２
４とガラス基板との位置決めが行われる。

【００５１】さらに、ワークテーブル部３１のＺ軸移動
機構３４によってワークテーブル３５が上昇し、ガラス
基板がプローブユニット４２に搭載されたプローブブロ
ック４３の探針２４と接触する。さらに、Ｚ軸移動機構
３４によってワークテーブル３５が上昇し、探針２４に
オーバードライブがかかる。その後、ガラス基板の電気
的検査が行われる。

【００５２】一方、ガラス基板には種々の種類があるた
め、検査対象のガラス基板が代わると、それに応じてプ
ローブユニット４２を用意する必要がある。このため、
ガラス基板に応じてプローブユニット４２を交換するこ
とになる。

【００５３】このときは、まずＹ軸移動機構３８のサー
ボモータ６２によってボールスクリュー６０を一方向に
連続して回転させ、リードナット６１をＹ軸方向の前方
に移動させる。これにより、摺動部４７に支持されたＰ
／Ｕスライドベース４６は、張り出し部３９Ｃの端部ま
で延長して設けられたリニアレール５６に案内されて前
方へ最大限に引き出されて、オペレータ２６の手元まで
移動する。この状態で、オペレータ２６は、図１１に示
すように、プローブユニット４２の固定を解除し、作業
空間３９Ｄに足を出して踏ん張り、プローブユニット４
２を引き出す。引き出したプローブユニット４２は、図
１２に示すように、Ｐ／Ｕ品種交換台車２１に載せ、収
納場所に運んで収納する。次いで、ガラス基板に対応し
た種類のプローブユニット４２をＰ／Ｕ品種交換台車２
１に載せて運び、手前側に引き出されているＰ／Ｕスラ
イドペース４６に載せて固定する。次いで、Ｙ軸移動機
構３８のサーボモータ６２を前記と逆方向に回転させて
測定位置まで戻し、前記測定処理を行わせる。

【００５４】［効果］以上のように、Ｙ軸移動機構３８
を本体フレーム３９側に設けることによってワークテー
ブル３５がＹ軸移動機構３８の分だけ低くなり、その分
だけプローブユニット４２を低い位置に設けることがで
きる。また、プローブユニット４２がＹ軸移動機構３８
により手前に引き出される。さらに、引き出されたプロ
ーブユニット４２の下部に足を踏ん張るための作業空間
３９Ｄを形成したので、オペレータ２６は容易にプロー
ブユニット４２を持ち上げることができる。これらの要
素が相まって、プローブユニット４２の交換が容易にな
り、交換作業性が向上する。

【００５５】また、Ｙ軸移動機構３８を本体フレーム３
９側に設けて、プローブユニット４２をＹ軸移動機構３
８の分だけ低い位置に設けることができるため、プロー
ブユニット４２に臨ませて設けられた周辺機器の取り付
け位置を低くでき、それらを覆う外枠やカバー等をその
分だけ小さくすることができる。また、ワークテーブル
部３１では、Ｙ軸移動機構３８を本体フレーム３９側に
設けることにより、ステージベース３６上を動く可動部
の軽量化を図ることができるため、ステージベース３６
の強度をあまり上げる必要がなくなる。また、前記可動
部はＹ軸方向へ移動しないため、ステージベース３６の
Ｙ軸方向の寸法を拡大させる必要がなくなる。ここで仮
に、Ｙ軸移動機構３８をＸ軸移動機構３２等と一体的に
設けた場合、検査対象の回路板の拡大に伴ってＸ軸移動
機構３２等が拡大すると共に、偏荷重対策のためのステ
ージベース３６の増強及び寸法拡大が必要になる。この
場合はワークテーブル部３１の大幅な重量増加をもたら
すことになる。さらに、ワークテーブル部３１の寸法の
拡大は装置全体の大型化をもたらしてしまう。これに対
して、前述のようにＹ軸移動機構３８を本体フレーム３
９側に設けると、ワークテーブル部３１の大型化と重量
増加を防止することができる。これらの結果、検査対象
の回路板の拡大に伴う装置全体の大型化及び重量の増加
を最小限に抑えることができる。

【００５６】本出願人の試算では、回路板の拡大に伴う
ワークテーブル部３１及び装置全体の重量増加は、本発
明の手段を講じない場合は６トン程度になる。これに対
して、本発明の手段を講じた場合は、ワークテーブル部
３１の重量を３割程度軽減することができ、それに伴っ
て装置全体を３トン程度に軽減することができる。さら
に、これに伴って、大型回路板用プローバ３０が据え付
けられる床をあまり補強する必要が無くなる。

【００５７】また、ワークテーブル部３１からＹ軸移動
機構３８を外して本体フレーム３９の奥部に制御系部品
等を収納できる収納スペース５５を設けたので、従来は
別部材として必要であった制御系部品の収納スペースが
なくなり、大型回路板用プローバ３０の小型化に寄与し
うる。この結果、装置の小型化と相まって、床の専有面
積を低減して、小スペース化を図ることができる。

【００５８】さらに、装置の小型化及び作業性の向上に
伴って、装置の製造コスト及びランニングコストの低減
を図ることができる。

【００５９】［第１変形例］前記実施形態では、駆動部
４８を、２本並列に設けられた摺動部４７のリニアレー
ル５６の一方の側に１つだけ設けたが、２本のリニアレ
ール５６にそれぞれ沿わせて２つ設けてもよい。この場
合、各駆動部４８のボールスクリュー６０にカップリン
グ６４を介してサーボモータ６２がそれぞれ設けられる
ようにしてもよく、１つのサーボモータ６２で２本のボ
ールスクリュー６０を同時に駆動させるようにしてもよ
い。

【００６０】１つのサーボモータ６２で２本のボールス
クリュー６０を駆動する場合は、２本のボールスクリュ
ー６０の一端に、カップリング６４の代わりに、歯付き
プーリを取り付ける。さらに、一方のボールスクリュー
６０には２つの歯付きプーリを取り付ける。この２つの
プーリのうちの１つは他方のボールスクリュー６０に取
り付けられたプーリにタイミングベルト（歯付きベル
ト）で連結される。また、２つのプーリのうちの他の１
つは、サーボモータ６２にタイミングベルトで連結され
る。

【００６１】以上のように構成された大型回路板用プロ
ーバでも、前記実施形態同様の作用、効果を奏すること
ができる。

【００６２】［第２変形例］前記実施形態では、摺動部
４７のリニアレール５６等を２本ずつ並列に配設し、駆
動手段としての駆動部４８を摺動部４７と別に設けた
が、駆動手段としてリニアサーボモータを用いてもよ
い。このリニアサーボモータの場合は、摺動部４７の２
本のリニアレール５６のうちの１本をリニアサーボモー
タで置き換える。

【００６３】この場合、制御信号により駆動されるリニ
アサーボモータでＰ／Ｕスライドベース４６が前方又は
後方に移動されて、Ｙ軸方向の微調整が行われる。

【００６４】［第３変形例］前記実施形態では、Ｙ軸移
動機構３８を本体フレーム３９側に設けたが、これに限
らず、Ｘ軸移動機構３２、θ軸移動機構３３、Ｚ軸移動
機構３４又はＹ軸移動機構３８のうちの１又は２以上の
機構を本体フレーム３９側に設けてもよい。なお、２以
上の機構を本体フレーム３９側に設ける場合は、プロー
ブユニット４２の交換作業を容易にするために、取付け
・取外し機構として設定するＸ軸移動機構３２又はＹ軸
移動機構３８のいずれかを含めることが望ましい。この
場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することが
できる。

【００６５】［第４実施形態］前記実施形態では、取付
け・取外し機構としてＹ軸移動機構３８を本体フレーム
３９側に設けてプローブユニットをＹ軸方向に移動させ
るようにしたが、Ｘ軸方向に移動させるようにしてもよ
い。この場合、Ｘ軸移動機構３２を用いて取付け・取外
し機構を構成してもよい。これによっても、前記実施形
態同様の作用、効果を奏することができる。

【００６６】

【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
次のような効果を奏する。

【００６７】（１） ＸＹＺ軸方向及び回転方向の移動
機構の一部を本体フレーム側に設けたので、本体フレー
ム側に設けた機構の分だけワークテーブルを低くするこ
とができ、その分だけプローブユニットを低い位置に設
けることができる。また、本体フレーム側に設けられた
取付け・取外し機構によってプローブユニットをその取
り出しのために装置端部まで移動させることができる。
さらに、取付け・取外し機構の取り出し側端部の下側に
作業空間を形成したので、オペレータはこの作業空間に
足を入れて踏ん張ることで、容易にプローブユニットを
持ち上げることができる。また、取付け・取外し機構を
Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動するように設定したので、
装置の設置場所やＰ／Ｕ品種交換台車２１との関係等の
諸条件に応じて取り出し方向を適宜設定することができ
る。

【００６８】これらの要素が相まって、プローブユニッ
トの交換が容易になり、交換作業性が大幅に向上する。

【００６９】（２） ＸＹＺ軸方向及び回転方向の移動
機構の一部を本体フレーム側に設けて、プローブユニッ
トを本体フレーム側に設けた移動機構の分だけ低い位置
に設けることができるため、プローブユニットに臨ませ
て設けられた周辺機器の取り付け位置を低くでき、それ
らを覆う外枠やカバー等をその分だけ小さくすることが
できる。また、移動機構の一部を本体フレーム側に設け
ることにより、可動部の軽量化を図ることができるた
め、可動部を支持する部分の強度をあまり上げる必要が
なくなる。また、前記可動部の移動方向にうち、本体フ
レーム側に設けた移動機構の移動方向の分がなくなるた
め、その移動方向の寸法を小さくできる。さらに、制御
系部品は、本体フレーム内に設けられた収納スペースに
収納されるため、装置外に別体として収納空間を作る必
要がなくなり、大型回路板用プローバの小型化に寄与し
得る。

【００７０】これらの要素が相まって、装置の小型化及
び重量軽減を図ることができる。

【００７１】さらに、装置の小型化及び作業性の向上に
伴って、装置の製造コスト及びランニングコストの低減
を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る大型回路板用プローバ
のワークテーブル部を示す斜視図である。

【図２】従来の大型回路板用プローバを示す平面図であ
る。

【図３】従来の大型回路板用プローバのワークテーブル
部を示す分解斜視図である。

【図４】従来の大型回路板用プローバのワークテーブル
部を示す概略構成図である。

【図５】従来の大型回路板用プローバにおけるプローブ
ユニットの取り出し作業例を示す模式図である。

【図６】本発明の実施形態に係る大型回路板用プローバ
のワークテーブル部を示す正面図である。

【図７】本発明の実施形態に係る大型回路板用プローバ
のワークテーブル部を示す平面図である。

【図８】本発明の実施形態に係る大型回路板用プローバ
のワークテーブル部を示す側面図である。

【図９】本発明の実施形態に係る大型回路板用プローバ
のワークテーブル部を示す分解斜視図である。

【図１０】本発明の実施形態に係る大型回路板用プロー
バのワークテーブル部を示す概略構成図である。

【図１１】本発明の実施形態に係る大型回路板用プロー
バにおけるプローブユニットの取り出し作業例を示す模
式図である。

【図１２】本発明の実施形態に係る大型回路板用プロー
バを示す全体構成図である。

【符号の説明】

３０：大型回路板用プローバ、３１：ワークテーブル
部、３２：Ｘ軸移動機構、３３：θ軸移動機構、３４：
Ｚ軸移動機構、３５：ワークテーブル、３６：ステージ
ベース、３８：Ｙ軸移動機構、３９：本体フレーム、３
９Ａ：Ｙ軸移動機構搭載部、３９Ｂ：プローブユニット
出し入れ用開口、３９Ｃ：張り出し部、３９Ｄ：作業空
間、４２：プローブユニット、４３：プローブブロッ
ク、４６：Ｐ／Ｕスライドベース、４７：摺動部、４
８：駆動部、５１：窪み部、５２：立ち上げ壁、５３：
フランジ部、５５：収納スペース、５６：リニアレー
ル、５７：リニアガイド、５８：レールベース、６０：
ボールスクリュー、６１：リードナット、６２：サーボ
モータ、６４：カップリング、６５：ハウジング。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体フレーム側に支持されると共に検査
   対象の回路板に接触して検査を行う複数の探針を備えた
   プローブユニットと、検査対象の回路板を支持して前記
   プローブユニットに臨ませるワークテーブルと、このワ
   ークテーブルと前記プローブユニットとをＸＹＺ軸方向
   及び回転方向に相対的に動かして微調整を行う移動機構
   とを備えてなる大型回路板用プローバにおいて、 前記ＸＹＺ軸方向及び回転方向の移動機構の一部を本体
   フレーム側に設けて、前記プローブユニットを移動させ
   ることを特徴とする大型回路板用プローバ。
2. 【請求項２】 本体フレーム側に支持されると共に検査
   対象の回路板に接触して検査を行う複数の探針を備えた
   プローブユニットと、検査対象の回路板を支持して前記
   プローブユニットに臨ませるワークテーブルと、このワ
   ークテーブルと前記プローブユニットとをＸＹＺ軸方向
   及び回転方向に相対的に動かして微調整を行う移動機構
   とを備えてなる大型回路板用プローバにおいて、 前記本体フレーム側に設けられ、前記プローブユニット
   をその取り付け及び取り外しのために装置端部まで移動
   させる取付け・取外し機構を備えたことを特徴とする大
   型回路板用プローバ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の大型回路板用プローバ
   において、 前記取付け・取外し機構が、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移
   動するように設定されたことを特徴とする大型回路板用
   プローバ。
4. 【請求項４】 請求項２又は３に記載の大型回路板用プ
   ローバにおいて、 前記取付け・取外し機構が、本体フレーム側に設けら
   れ、移動量を大きく設定されたＸ軸移動機構又はＹ軸移
   動機構によって構成されたことを特徴とする大型回路板
   用プローバ。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の大型回路板用プローバ
   において、 前記本体フレーム側に設けられたＸ軸移動機構又はＹ軸
   移動機構により、移動しなくなる他の移動機構のＸ軸方
   向又はＹ軸方向の端部に、制御系部品を収納する収納ス
   ペースが設けられたことを特徴とする大型回路板用プロ
   ーバ。
6. 【請求項６】 請求項２乃至４のいずれかに記載の大型
   回路板用プローバにおいて、 前記取付け・取外し機構の取り出し側端部の下側に、作
   業空間を形成したことを特徴とする大型回路板用プロー
   バ。