JPH11304885A - 回路基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造原価の高騰を抑制しつつ検査の高速化を
図るにある。 【解決手段】 回路基板２を移動させる移動手段と、回
路基板２が移動手段によって保持されているときの基準
位置に対する位置ずれを検出する位置検出手段７と、回
路基板２を検査するための複数のプローブピンを有する
プロービング治具４１とを備え、回路基板２を位置検出
手段７の配設位置に移動させて位置ずれを検出させた後
にプロービング治具４１の配設位置まで移動させると共
に、位置検出手段７の検出信号に基づいて回路基板２と
プロービング治具４１との位置合わせを実行した後に複
数のプローブピンを使用して回路基板２の良否を検査す
る回路基板検査装置１において、移動手段を複数備え、
複数の移動手段３，４は、回路基板２の供給位置から位
置検出手段７，８の配設位置を介してプロービング治具
４１の配設位置まで輪番で回路基板２を移動可能に構成
されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板やＩ
Ｃパッケージ、ハイブリッド用基板およびＭＣＭ（Mult
i Chip Module ）などの回路基板の良否を検査する回路
基板検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】数多くの回路基板を検査するのに適した
回路基板検査装置として、いわゆるフィクスチャ方式を
採用するフィクスチャタイプの回路基板検査装置が従来
から知られており、出願人は、図３に示すフィクスチャ
タイプの回路基板検査装置５１を既に開発している。こ
の回路基板検査装置５１は、検査対象の回路基板２を固
定するための角当て部２１およびエアシリンダ２２を備
えた移動用トレイ３と、移動用トレイ３を同図に示すＹ
方向に移動させるための移動機構５２と、回路基板２を
移動用トレイ３に固定した際における理論的な基準位置
に対する位置ずれを検出するためのカメラ７と、回路基
板２の種類に適合させて作製されたプロービング治具４
１を備えた検査部９と、プロービング治具４１を位置決
めさせるための位置補正用データの生成、および移動機
構５２の移動制御や回路基板２の良否の判定などを行う
制御回路（図示せず）とを備えている。

【０００３】この検査装置５１では、図４に示す工程図
に従って回路基板２の検査が行われる。具体的には、最
初に、移動用トレイ３を図３に実線で示す供給位置に予
め移動させる。この状態で、まず、図４に示すように、
時間ｔ２１の時から時間ｔ２２の時までの２秒間に供給
処理を行う。この処理では、回路基板２を移動用トレイ
３の上に載置し、エアシリンダ２２にエアを供給してシ
リンダロッドの先端に取り付けた固定用部材２２ａを角
当て部２１側に突出させることにより、回路基板２を角
当て部２１に押し付けて固定する。

【０００４】この場合、製造ばらつきによって個々の回
路基板２毎にその外形寸法が若干異なるため、角当て部
２１に回路基板２を単に押し付けただけでは、理想的に
製造された回路基板２が固定されたとした場合の基準位
置に対して、回路基板２の各回路パターンが若干位置ず
れする。このため、この位置ずれを補正するために、図
４に示すように、時間ｔ２２の時から時間ｔ２３の時ま
での１秒間に補正移動処理を、時間ｔ２３の時から時間
ｔ２４の時までの３秒間に補正処理を行う。具体的に
は、補正移動処理では、移動用トレイ３を図３に示すＪ
方向に移動させることにより、回路基板２をカメラ７が
配設されている補正位置に移動させる。また、補正処理
では、制御回路が、カメラ７から出力される映像信号に
基づいて、補正位置に移動させられた回路基板２に形成
されているフィデューシャルマーク（基準点）の角当て
部２１に対する座標を読み取ると共に、読み取った座標
に基づいて、プロービング治具４１の位置を補正するた
めの位置補正用データを生成して検査部９に出力する。
また、検査部９が、制御回路から出力された位置補正用
データに従って移動用トレイ３上の回路基板２の各回路
パターンに各プローブピンがそれぞれ正確に接触するよ
うに、プロービング治具４１の位置決めを行う。

【０００５】この後、図４に示すように、時間ｔ２４の
時から時間ｔ２５の時までの１秒間に検査移動処理を行
い、時間ｔ２５の時から時間ｔ２６の時までの２秒間に
検査処理を行う。具体的には、検査移動処理では、移動
用トレイ３を補正位置から図３に示すＫ方向に移動させ
ることにより、回路基板２を検査部９が配設されている
検査位置まで移動させる。次いで、検査処理では、検査
部９が、プロービング治具４１を下動させて回路基板２
における各回路パターンに各プローブピンをそれぞれ接
触させた後、１対の回路パターン間に電流を順次供給す
ると共に、両回路パターン間の電圧を測定する。次に、
制御回路が、測定された各１対の回路パターン間の電圧
に基づいて回路基板２の回路パターンの断線や搭載部品
の良否などを判定する。

【０００６】次いで、時間ｔ２６の時から時間ｔ２７の
時までの２秒間に搬出移動処理を行う。この処理では、
移動用トレイ３を、検査部位置から図３に示すＬ方向に
移動させることにより、元の供給位置に位置させる。こ
の状態で、時間ｔ２７の時から時間ｔ２８の時までの１
秒間に搬出処理を行う。この処理では、エアシリンダ２
２に対するエアの供給を停止させることにより、回路基
板２の固定を解除させる。続いて、回路基板２を装置外
部に搬出する。これにより、時間ｔ２１の時から時間ｔ
２８の時までの１２秒のタクトタイムで移動用トレイ３
に搭載した回路基板２に対する全ての処理が終了する。
さらに、時間ｔ２８の時から２枚目以降の回路基板２に
対しても上記した処理を繰り返し行う。これにより、い
わゆるＸ−Ｙ方式の回路基板検査装置と比較して、プロ
ーブピンを移動させる必要がないことから極めて高速に
検査でき、例えば、１時間当たり３００枚の回路基板２
の検査を行うことが可能となっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、出願人が既
に開発した回路基板検査装置５１には、以下の改善すべ
き点がある。すなわち、今日の製品の価格競争の激化に
伴い、回路基板検査装置にも、検査コストの低減が要請
されており、このためには、より高速の検査性能を備え
て、１枚の回路基板に対する現状のタクトタイムをさら
に短縮させる必要がある。しかし、各処理工程における
タクトタイムが既に最小限度まで短縮化されているた
め、１枚の回路基板２に要する全体としてのタクトタイ
ムを短縮化するのは困難な状況となっている。

【０００８】一方、回路基板検査装置５１を増設するこ
とによって１時間当たりの検査枚数を増加させることは
できる。しかし、プロービング治具は、セラミックなど
の高価な材料を精密加工しているため非常に高価なもの
である。したがって、複数台の回路基板検査装置５１を
導入することは、回路基板検査装置５１を使用するメー
カにとって負担となる。

【０００９】本発明は、かかる改善点に鑑みてなされた
ものであり、製造原価の高騰を抑制しつつ検査の高速化
を図ることが可能な回路基板検査装置を提供することを
主目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載の回路基板検査装置は、装置外部から供給さ
れる検査対象の回路基板を保持しつつ移動させるための
移動手段と、回路基板が移動手段によって保持されてい
るときの基準位置に対する位置ずれを検出するための位
置検出手段と、回路基板を検査するための複数のプロー
ブピンを有するプロービング治具とを備え、移動手段に
よって回路基板を位置検出手段の配設位置に移動させて
位置ずれを検出させた後にプロービング治具の配設位置
まで移動させると共に、位置検出手段の検出信号に基づ
いて回路基板とプロービング治具との位置合わせを実行
した後に複数のプローブピンを使用して回路基板の良否
を検査する回路基板検査装置において、移動手段を複数
備え、複数の移動手段は、回路基板の供給位置から位置
検出手段の配設位置を介してプロービング治具の配設位
置まで輪番で回路基板を移動可能にそれぞれ構成されて
いることを特徴とする。

【００１１】例えば、２つの移動手段を備えている例に
ついて説明すれば、まず、第１の移動手段に回路基板を
保持させる。次いで、第１の移動手段が回路基板を補正
位置まで移動させ、その補正位置において、位置検出手
段が、基準位置に対する位置ずれを検出する。この際
に、第２の移動手段に他の回路基板を保持させる。続い
て、第１の移動手段が、プロービング治具が設置されて
いる検査位置まで回路基板を移動させ、その移動時間内
において、第１の移動手段によって保持されている回路
基板とプロービング治具との位置合わせが位置検出手段
の検出信号に基づいて行われる。この際には、第２の移
動手段が、回路基板を補正位置まで移動させ、その補正
位置において、位置検出手段が、基準位置に対する位置
ずれを検出する。次いで、その検出された位置ずれに基
づいてプロービング治具の位置合わせが行われる。

【００１２】次いで、第１の移動手段に保持されている
回路基板に対して、プローブ治具によるプロービングが
行われた後に、第１の移動手段によって保持されている
回路基板の良否が、複数のプローブピンから出力される
信号に基づいて検査される。この後、第１の移動手段が
回路基板を検査位置から移動させることにより装置外部
に搬出する。この後、第２の移動手段が回路基板を補正
位置から検査位置まで移動させ、同じようにして、位置
合わせが行われた後に基板検査が行われる。次いで、第
２の移動手段が、回路基板を検査位置から移動させるこ
とにより装置外部に搬出する。以後、上記した、第１の
移動手段による回路基板の供給から搬出までの処理と、
第２の移動手段による回路基板の供給から搬出までの処
理とが継続して交互に繰り返される。

【００１３】このように、この回路基板検査装置では、
第１の移動手段によって保持されている回路基板に対す
る各処理と、第２の移動手段によって保持されている回
路基板に対する各処理とが、所定の時間差をもって実行
される。この場合、一般的に、回路基板に対する供給位
置から検査位置までの移動時間、検査位置から搬出位置
までの移動時間、および位置合わせ時間の合計である移
動・位置合わせ時間は、検査位置において行われる検査
時間よりも長時間である。したがって、２つの移動・位
置合わせ時間が同一時間内において互いに重複して行わ
れるため、移動・位置合わせ時間および検査時間内にお
ける各処理のタクトタイムを短縮しなくとも、１枚の回
路基板の全検査工程についてのタクトタイムが実質的に
短縮される。また、高価なプロービング治具を１つ使用
するだけでよいため、基板検査装置の製造コストの高騰
を抑制しつつ検査の高速化を図ることが可能となる。

【００１４】請求項２記載の回路基板検査装置は、請求
項１記載の回路基板検査装置において、複数の移動手段
にそれぞれ対応させた位置検出手段を複数備え、複数の
移動手段の各々は、供給位置から移動手段に対応させら
れた位置検出手段の配設位置を介してプロービング治具
の配設位置まで回路基板を移動可能にそれぞれ構成され
ていることを特徴とする。

【００１５】この回路基板検査装置では、複数の移動手
段にそれぞれ対応する位置検出手段が複数備えられてい
るため、回路基板の位置ずれ検出が、各補正位置におい
て並行して行われる。したがって、複数の回路基板が、
複数の移動手段によって次々と検査位置に移動させられ
る。このため、プロービング治具を使用しての基板検査
が絶え間なく実行されてプロービング治具の稼働率が向
上する結果、さらに基板検査の高速化を図ることが可能
となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る回路基板検査装置の好適な実施の形態について
説明する。なお、従来の回路基板検査装置５１と同一の
構成については、同一の符号を付して重複した説明を省
略する。

【００１７】回路基板検査装置１は、図１に示すよう
に、移動用トレイ３，４、移動機構５，６、カメラ７，
８、検査部９および制御回路１０を備えている。ここ
で、移動用トレイ３は、移動機構５と相俟って、また、
移動用トレイ４は、移動機構６と相俟って、それぞれ本
発明における移動手段に相当する。移動用トレイ３は、
角当て部２１とエアシリンダ２２の固定用部材２２ａと
で回路基板２を保持して移動させる。また、移動用トレ
イ４は、角当て部３１とエアシリンダ３２の固定用部材
３２ａとで回路基板２を保持して移動させる。

【００１８】移動機構５は、移動用トレイ３をＹ軸方向
に移動させるためのＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３
をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸ガイド２４とを備え
ている。Ｙ軸ガイド２３は、その内部に配設されている
ボールネジ２５を回動させて移動用トレイ３をＹ軸方向
に移動させるためのモータ２６を備えている。また、Ｘ
軸ガイド２４は、その内部に配設されているボールネジ
２７を回動させてＹ軸ガイド２３をＸ軸方向に移動させ
るためのモータ２８を備えている。

【００１９】一方、移動機構６は、移動用トレイ４をＹ
軸方向に移動させるためのＹ軸ガイド３３と、Ｙ軸ガイ
ド３３をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸ガイド３４と
を備えている。Ｙ軸ガイド３３は、その内部に配設され
ているボールネジ３５を回動させて移動用トレイ４をＹ
軸方向に移動させるためのモータ３６を備えている。ま
た、Ｘ軸ガイド３４は、その内部に配設されているボー
ルネジ３７を回動させてＹ軸ガイド３３をＸ軸方向に移
動させるためのモータ３８を備えている。

【００２０】カメラ７，８は、本発明における位置検出
手段に相当し、移動用トレイ３，４に保持されている回
路基板２，２の基準位置に対する位置ずれを読み取るた
めのものであって、回路基板２，２に形成されたフィデ
ューシャルマーク、および角当て部２１，３１の映像信
号を制御回路１０にそれぞれ出力する。制御回路１０
は、カメラ７，８から出力された映像信号に基づいて、
移動用トレイ３，４に載置されている回路基板２におけ
るフィデューシャルマークの角当て部２１，３１に対す
る座標をそれぞれ読み取ると共に、読み取ったフィデュ
ーシャルマークの座標に基づいてプロービング治具４１
を位置決めさせるための位置補正用データを生成する。
また、制御回路１０は、移動機構５，６の移動制御や回
路基板２の良否の判定なども行う。

【００２１】次に、この回路基板検査装置１の検査手順
について、図１，２を参照して説明する。

【００２２】最初に、移動用トレイ３を図１に実線で示
す位置に、移動用トレイ４を同図に一点鎖線で示す位置
にそれぞれ移動させる。この状態で、図２に示す時間ｔ
１の時を検査開始時点として回路基板２の検査を行う。

【００２３】まず、図２（ａ）に示すように、時間ｔ１
の時から時間ｔ２の時までの２秒間に供給処理を行う。
この処理では、移動用トレイ３に回路基板２を載置した
後、エアシリンダ２２にエアを供給することにより固定
用部材２２ａと角当て部２１とで回路基板２を固定させ
る。次いで、時間ｔ２の時から時間ｔ３の時までの１秒
間に補正移動処理を行う。この処理では、制御回路１０
が、モータ２６，２８を駆動して移動用トレイ３を図１
に示すＡ方向に移動させることにより、移動用トレイ３
上の回路基板２を、カメラ７が配設されている補正位置
に移動させる。続いて、時間ｔ３の時から時間ｔ５の時
までの３秒間に補正処理を行う。この処理では、カメラ
７が移動用トレイ３上の回路基板２および角当て部２１
の映像信号を制御回路１０に出力する。次いで、制御回
路１０が、その映像信号を画像処理することにより移動
用トレイ３上の回路基板２におけるフィデューシャルマ
ークの座標を読み取ると共に、そのフィデューシャルマ
ークの座標に基づいてプロービング治具４１を位置決め
させるための第１の位置補正用データを生成して検査部
９に出力する。次いで、検査部９が、制御回路１０から
出力された第１の位置補正用データに従って移動用トレ
イ３上の回路基板２の各回路パターンに各プローブピン
が接触するように、プロービング治具４１の位置決めを
行う。

【００２４】一方、移動用トレイ４に対しては、図２
（ｂ）に示すように、時間ｔ３から時間ｔ４までの２秒
間に供給処理を行う。この処理では、移動用トレイ４に
回路基板２を載置した後、エアシリンダ３２にエアを供
給することにより固定用部材３２ａと角当て部３１とで
回路基板２を固定させる。次いで、時間ｔ４の時から時
間ｔ５の時までの１秒間に補正移動処理を行う。この処
理では、制御回路１０がモータ３６，３８を駆動して移
動用トレイ４を図１に示すＥ方向に移動させることによ
り、移動用トレイ４上の回路基板２を、カメラ８が配設
されている補正位置に移動させる。

【００２５】続いて、移動用トレイ３上の回路基板２に
対して、図２（ａ）に示すように、時間ｔ５の時から時
間ｔ６の時までの１秒間に検査移動処理を行う。この処
理では、図１に示すＢ方向に移動用トレイ３を移動させ
て、移動用トレイ３上の回路基板２を検査部９が配設さ
れている検査位置に移動させる。この後、時間ｔ６の時
から時間ｔ７の時までの２秒間に検査処理を行う。この
処理では、検査部９が、プロービング治具４１を下動さ
せて回路基板２における各回路パターンに各プローブピ
ンをそれぞれ接触させた後、１対の回路パターン間に電
流を順次供給すると共に、両回路パターン間の電圧を測
定する。次に、制御回路が、測定された各１対の回路パ
ターン間の電圧に基づいて回路基板２の回路パターンの
断線や搭載部品の良否などを判定する。

【００２６】一方、移動用トレイ４上の回路基板２に対
しては、図２（ｂ）に示すように、時間ｔ５の時から時
間ｔ７の時までの３秒間に補正処理を行う。この処理で
は、カメラ８が移動用トレイ４上の回路基板２および角
当て部３１の映像信号を制御回路１０に出力する。次い
で、制御回路１０が、その映像信号を画像処理すること
により移動用トレイ４上の回路基板２におけるフィデュ
ーシャルマークの座標を読み取ると共に、そのフィデュ
ーシャルマークの座標に基づいてプロービング治具４１
を位置決めさせるための第２の位置補正用データを生成
する。次いで、上記したのと同様にして、検査部９が、
移動用トレイ４上の回路基板２の各回路パターンに各プ
ローブピンが接触するように、プロービング治具４１の
位置決めを行う。

【００２７】続いて、移動用トレイ３上の回路基板２に
対して、同図（ａ）に示すように、時間ｔ７の時から時
間ｔ９の時までの２秒間に搬出移動処理を行う。この処
理では、移動用トレイ３を検査位置から図１に示すＣ方
向に移動させた後、さらにＤ方向に移動させることによ
り、移動用トレイ３上の回路基板２を元の供給位置に移
動させる。これと並行して、移動用トレイ４上の回路基
板２に対しては、同図（ｂ）に示すように、時間ｔ７の
時から時間ｔ８の時までの１秒間に検査移動処理を行
う。この処理では、移動用トレイ４を補正位置位置から
図１に示すＦ方向に移動させることにより、移動用トレ
イ４上の回路基板２を検査位置に移動させる。この場
合、制御回路１０は、搬出の際の移動用トレイ３と、検
査位置までの移動の際の移動用トレイ４とが衝突しない
ように移動機構５，６を制御する。

【００２８】また、移動用トレイ３上の回路基板２に対
しては、図２（ａ）に示すように、時間ｔ９の時から時
間ｔ１０の時までの１秒間に搬出処理を行う。この処理
では、エアシリンダ２２に対するエアの供給を停止させ
ることにより回路基板２の固定を解除した後、回路基板
２を装置外部に搬出する。この時点で、移動用トレイ３
上に搭載した回路基板２に対するすべての検査工程を終
了する。この場合、移動用トレイ３に搭載された回路基
板２の検査に要する全工程時間は、時間ｔ１の時から時
間ｔ１０の時までの１２秒間となっている。続いて、次
の検査対象の回路基板２に対して、時間ｔ１０の時以
降、時間ｔ１の時から時間ｔ１０の時までの間における
処理と同様の処理を繰り返して実行する。

【００２９】一方、移動用トレイ４上の回路基板２に対
しては、同図（ｂ）に示すように、時間ｔ８の時から時
間ｔ１０の時までの２秒間に検査処理を行う。この処理
では、上記した移動用トレイ３上の回路基板２に対する
処理と同様にして検査処理が行われる。次いで、時間ｔ
１０の時から時間ｔ１１の時までの２秒間に搬出移動処
理を行う。この処理では、移動用トレイ４を検査位置か
ら図１に示すＧ方向に移動させた後、さらにＨ方向に移
動させることにより、移動用トレイ４上の回路基板２を
元の供給位置に移動させる。続いて、時間ｔ１１の時か
ら時間ｔ１２の時までの１秒間に搬出処理を行う。この
処理では、エアシリンダ３２に対するエアの供給を停止
させることにより回路基板２の固定を解除した後、回路
基板２を装置外部に搬出する。この時点で、移動用トレ
イ４上に搭載した回路基板２に対するすべての検査工程
を終了する。この場合、移動用トレイ４に搭載された回
路基板２の検査に要する全工程時間は、時間ｔ３の時か
ら時間ｔ１２の時までの１２秒間となっている。続い
て、次の回路基板２に対して、時間ｔ１２の時以降、時
間ｔ１の時から時間ｔ１２の時までの間における処理と
同様の処理を繰り返して実行する。

【００３０】このように、この回路基板検査装置１で
は、移動用トレイ３、移動機構５およびカメラ７から構
成される第１の移動・位置検出手段と、移動用トレイ
４、移動機構６およびカメラ８から構成される第２の移
動・位置検出手段とが、回路基板２の移動および位置補
正用データ生成用の画像信号の生成を並行して行うこと
により、１枚の回路基板２に対する検査工程全体として
のタクトタイムを実質的に６秒にまで短縮することがで
きる。この結果、高価なプロービング治具４１を共通的
に使用することによって、回路基板検査装置１の装置原
価の高騰を抑制しつつ、基板検査の高速化を図ることが
できる。

【００３１】なお、本発明は、上記した本発明の実施の
形態に限定されず、その構成を適宜変更することができ
る。例えば、本発明の実施形態では、移動・位置検出手
段を第１，第２の移動・位置検出手段（移動用トレイ
３，４および移動機構５，６）で構成した例について説
明したが、本発明は、これに限定されず、移動・位置検
出手段を３組以上配設して構成してもよい。かかる構成
によれば、検査時間をさらに短縮することができる。ま
た、位置検出手段として２台のカメラ７，８を使用して
いるが、本発明は、これに限定されず、第１，第２の移
動手段（移動用トレイ３，４）が１台のカメラを介して
検査位置まで回路基板を移動させるように構成すること
もできる。かかる構成によれば、装置の製造原価を、よ
り抑制することができる。さらに、本発明の実施形態で
は、移動機構５，６をボールネジで構成しているが、本
発明は、これに限定されず、タイミングベルトなどの他
の機構で構成してもよい。また、各処理の順序について
も、位置合わせ処理を検査移動処理の時間内において実
行するなど適宜変更することができる。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の回路基板
検査装置によれば、複数の移動手段が回路基板の供給位
置からプロービング治具の配設位置まで輪番または交互
に回路基板を移動させることにより、１枚の回路基板に
対する検査工程全体としての検査時間を実質的に短縮で
き、これにより、検査の高速化を図ることができる。ま
た、高価なプロービング治具を増設せずに、１台のプロ
ービング治具の稼働率を向上させることができる結果、
製造原価の高騰を抑制することができる。

【００３３】また、請求項２記載の回路基板検査装置に
よれば、複数の移動手段の各々が移動手段に対応させら
れた位置検出手段の配設位置を介して供給位置からプロ
ービング治具の配設されている検査位置まで回路基板を
それぞれ移動させることにより、複数の回路基板を次々
と検査位置に移動させることができ、これにより、プロ
ービング治具の稼働率をさらに向上させることができる
結果、より高速検査化された基板検査装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置の
平面図である。

【図２】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置に
おける各処理の手順を示した工程図であって、（ａ）は
移動用トレイ３上の回路基板２についての工程図、
（ｂ）は移動用トレイ４上の回路基板２についての工程
図である。

【図３】出願人が既に開発している回路基板検査装置の
一部の平面図である。

【図４】出願人が既に開発している回路基板検査装置に
おける各処理の手順を示した工程図である。

【符号の説明】

１ 回路基板検査装置 ２ 回路基板 ３ 移動用トレイ ４ 移動用トレイ ５ 移動機構 ６ 移動機構 ７ カメラ ８ カメラ ２１ 角当て部 ２２ エアシリンダ ３１ 角当て部 ３２ エアシリンダ ４１ プロービング治具

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置外部から供給される検査対象の回路
   基板を保持しつつ移動させるための移動手段と、前記回
   路基板が前記移動手段によって保持されているときの基
   準位置に対する位置ずれを検出するための位置検出手段
   と、前記回路基板を検査するための複数のプローブピン
   を有するプロービング治具とを備え、前記移動手段によ
   って前記回路基板を前記位置検出手段の配設位置に移動
   させて前記位置ずれを検出させた後に前記プロービング
   治具の配設位置まで移動させると共に、前記位置検出手
   段の検出信号に基づいて前記回路基板と前記プロービン
   グ治具との位置合わせを実行した後に前記複数のプロー
   ブピンを使用して前記回路基板の良否を検査する回路基
   板検査装置において、 前記移動手段を複数備え、当該複数の移動手段は、前記
   回路基板の供給位置から前記位置検出手段の配設位置を
   介して前記プロービング治具の配設位置まで輪番で当該
   回路基板を移動可能にそれぞれ構成されていることを特
   徴とする回路基板検査装置。
2. 【請求項２】 前記複数の移動手段にそれぞれ対応させ
   た前記位置検出手段を複数備え、前記複数の移動手段の
   各々は、前記供給位置から当該移動手段に対応させられ
   た位置検出手段の配設位置を介して前記プロービング治
   具の配設位置まで当該回路基板を移動可能にそれぞれ構
   成されていることを特徴とする請求項１記載の回路基板
   検査装置。