JPH1130508A - ゴルフボールの表面形状測定方法及び装置 - Google Patents
ゴルフボールの表面形状測定方法及び装置Info
- Publication number
- JPH1130508A JPH1130508A JP9186404A JP18640497A JPH1130508A JP H1130508 A JPH1130508 A JP H1130508A JP 9186404 A JP9186404 A JP 9186404A JP 18640497 A JP18640497 A JP 18640497A JP H1130508 A JPH1130508 A JP H1130508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- golf ball
- light
- positional relationship
- laser beam
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0023—Measuring of sport goods, e.g. bowling accessories, golfclubs, game balls
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
の表面形状を精度良く測定することができるゴルフボー
ルの表面形状測定方法及び装置を提供する。 【解決手段】 ゴルフボール16の表面の所定位置に発
光部20からレーザー光18を照射するとともに、ゴル
フボール16の表面の所定位置で反射したレーザー光1
8の反射光24を受光部22で受光することにより、発
光部20、ゴルフボール16の表面のレーザー光照射位
置及び受光部22の位置関係を検出する位置関係検出工
程を行う。さらに、この位置関係検出工程をゴルフボー
ル16の表面の複数位置で行うとともに、その結果得ら
れる複数の位置関係に基づいてゴルフボール16の表面
の高低の相対的変化を特定する。
Description
面形状、例えばディンプル形状を精度良く測定すること
ができる測定方法及び測定装置に関する。
で、単一形状又は複数種類の形状よりなる多数のディン
プルを表面に設けてある。これらのディンプルは、通
常、ディンプルに対応する突出部をキャビティの壁面に
多数備えた金型の上記キャビティ内に成形材料を圧入し
て硬化させることによって形成される。
ころでは一様に見えるが、金型の加工精度、金型の長期
使用によるキャビティ壁面の磨耗、成形材料の硬化によ
る歪み、ボール成形後の研磨及び塗装等によって形状面
の影響を受ける。そのため、目標通りの形状のディンプ
ルが形成されているかどうかを測定して調べる必要があ
る。
台上に載置したゴルフボールのディンプルにスリットを
通した白熱電球等による電球光を線状光として照射する
とともに、照射部分をカメラによって映像化し、得られ
た映像からディンプルの深さを測定している。より具体
的には、例えばディンプルの中心位置(直径位置)に上
記線状光を照射すると、その部分が中窪みの断面状に例
えばモニター画面上に映し出されるので、一方の縁から
他方の縁に至る間を所定間隔で区分し、区分した各々の
位置で窪みの深さを測定するというものである。
のディンプルにスリットを通した電球光を線状光として
照射した場合、ディンプル上で光の散乱が生じる。した
がって、上記線状光に基づく映像によるディンプル形状
の測定方法は、測定精度が劣ることは避けることができ
ず、そのためこの方法はゴルフボールのディンプル形状
の測定に十分適しているとは言い難かった。
で、ゴルフボールの表面形状を精度良く測定することが
できるゴルフボールの表面形状測定方法及び装置を提供
することを目的とする。
成するため、ゴルフボール表面の所定位置に発光部から
レーザー光を照射するとともに、ゴルフボール表面の所
定位置で反射した前記レーザー光の反射光を受光部で受
光することにより、前記発光部、ゴルフボール表面のレ
ーザー光照射位置及び受光部の位置関係を検出する位置
関係検出工程を行うゴルフボールの表面形状測定方法で
あって、前記位置関係検出工程をゴルフボール表面の複
数位置で行うとともに、その結果得られる複数の位置関
係に基づいてゴルフボール表面の高低の相対的変化を特
定することを特徴とするゴルフボールの表面形状測定方
法を提供する。
支持手段と、支持手段で支持したゴルフボールの表面に
レーザー光を照射する発光部と、ゴルフボールの表面で
反射した前記レーザー光の反射光を受光する受光部とを
備え、支持手段で支持したゴルフボールの表面の所定位
置に発光部からレーザー光を照射するとともに、ゴルフ
ボール表面の所定位置で反射した前記レーザー光の反射
光を受光部で受光することにより、前記発光部、ゴルフ
ボール表面のレーザー光照射位置及び受光部の位置関係
を検出する位置関係検出工程を行うゴルフボールの表面
形状測定装置であって、前記位置関係検出工程をゴルフ
ボール表面の複数位置で行うとともに、その結果得られ
る複数の位置関係に基づいてゴルフボール表面の高低の
相対的変化を特定することを特徴とするゴルフボールの
表面形状測定装置を提供する。
光に比べてゴルフボールの表面で散乱が生じにくいレー
ザー光を用いて行うので、該位置関係検出工程により、
発光部、ゴルフボール表面のレーザー光照射位置及び受
光部の位置関係を精度良く検出することができる。そし
て、本発明では、上記位置関係検出工程をゴルフボール
表面の複数位置で行うとともに、その結果得られる複数
の精度良く検出した位置関係(発光部、ゴルフボール表
面のレーザー光照射位置及び受光部の位置関係)に基づ
いてゴルフボール表面の高低の相対的変化を特定するの
で、ゴルフボールの表面形状を精度良く測定できるもの
である。
いて、ゴルフボール表面の所定位置に発光部からレーザ
ー光を照射するとともに、ゴルフボール表面の所定位置
で反射したレーザー光の反射光を受光部で受光すること
により、発光部、ゴルフボール表面のレーザー光照射位
置及び受光部の位置関係を検出する方法としては、例え
ば、後述する有角反射測定法、共焦点測定法等が挙げら
れる。
ー光の波長に限定はないが、100〜2000nm、特
に100〜1000nmの波長のレーザー光を用いるこ
とが分解能を上げる点で好ましい。
切る方向に沿って800〜5000箇所、特に1000
〜2400箇所の位置で位置関係検出工程を行うことに
より、ディンプル表面の高低の相対的変化を特定するこ
とが好ましい。これにより、ディンプル形状を精度良く
測定することができる。
る透明膜を備えている。本発明によれば、レーザー光の
反射による測定をゴルフボールの透明膜表面及びカバー
材表面の両方で行うことができるため、透明膜表面及び
ボールのカバー材表面の高低の相対的変化をそれぞれ特
定することにより、塗膜の厚みを正確に測定することが
可能である。
第1実施形態例を示す側面図であり、この装置は有角反
射測定法によって発光部、ゴルフボール表面のレーザー
光照射位置及び受光部の位置関係を検出するものであ
る。
1フレーム4の後端部に垂直な第2フレーム6を固定
し、第2フレームの上端部に水平な第3フレーム8を固
定したもので、第1フレーム4の上方に第3フレーム8
が位置している。
ールを支持する支持手段10が設置されている。この支
持手段10は、可動テーブル12と、可動テーブル12
上に固定された台座14とを有する。可動テーブル12
は、駆動手段(図示せず)によって装置を正面から見た
ときに左右方向(X方向)、前後方向(Y方向)及び上
下方向(Z方向)に移動可能に形成されており、可動テ
ーブル12のX方向、Y方向及びZ方向の移動量はそれ
ぞれ移動量検出手段(図示せず)によって検出されるよ
うになっている。また、台座14の上面には、ゴルフボ
ール16の下部を挿入する凹部(図示せず)が形成され
ており、ゴルフボール16の下部を上記凹部に挿入する
ことにより、支持手段10でゴルフボール16を支持で
きるようになっている。なお、図1において、ゴルフボ
ール16のディンプルは図示を省略してある。
0で支持したゴルフボール16の表面にレーザー光(レ
ーザービーム)18を照射する発光部20と、ゴルフボ
ール16の表面で反射したレーザー光18の反射光24
を受光する受光部22とが設置されている。発光部20
は半導体レーザー等の発光デバイスを備え、受光部22
は光電子増倍管、光導電検出器等の光検出器を備えてい
る。
形状の測定は、次のようにして行う。まず、発光部20
よりレーザー光18をゴルフボール16の表面の所定位
置(例えばディンプルの所定位置)に照射し、その反射
光24を受光部22で受光する。このとき、駆動手段に
よって可動テーブル12をX、Y方向に適宜移動させ、
ゴルフボール16の位置調整を行ってレーザー光18の
反射光24を受光部22が受光できるようにする。そし
て、発光部20、ゴルフボール16の表面のレーザー光
照射位置及び受光部22の位置関係を検出する(位置関
係検出工程)。
を移動させて反射光24を受光部22が受光したときの
可動テーブル12のX、Y方向の移動量を移動量検出手
段で検出し、この移動量に基づいて発光部20、ゴルフ
ボール表面のレーザー光照射位置及び受光部22の位置
関係を検出する。
出工程をゴルフボール16の表面の複数位置で行うとと
もに、その結果得られる複数の位置関係に基づいてゴル
フボール16の表面の高低の相対的変化を特定する。す
なわち、最初の位置関係検出工程で検出したゴルフボー
ル表面のレーザー光照射位置と、次の位置関係検出工程
で検出したゴルフボール表面のレーザー光照射位置と比
較すると、ゴルフボール表面の高低の相対的変化を特定
することができる。本装置では、位置関係検出工程をゴ
ルフボール表面の複数位置で行い、上述した比較を複数
回行うことにより、所定の範囲におけるゴルフボール表
面の高低の相対的変化を特定するものである。また、駆
動手段によって可動テーブル12をZ方向に移動させる
ことにより、受光部22の測定範囲以上の高低差を測定
することができる。
でのレーザー光18の反射角度θは9〜120゜、特に
45〜90゜とすることが測定精度を良くする点で好ま
しい。この場合、角度θは発光部20、ゴルフボール1
6及び受光部22の位置関係で決まるため、ゴルフボー
ル16の表面形状測定時には実質上不変である。また、
本例の装置において、レーザー光18のビーム径は1〜
10μmとすることが測定精度を高める点で望ましい。
ルフボールの表面形状測定装置の第2実施形態例を示す
側面図であり、この装置は共焦点測定法によって発光
部、ゴルフボール表面のレーザー光照射位置及び受光部
の位置関係を検出するものである。なお、本装置におい
て、基台2、支持手段10、ゴルフボール16に関して
は第1実施形態例と同じであるため、図2において図1
と同一構成の部分には同一参照符号を付してその説明を
省略する。
8に発光部20が設けられているとともに、この発光部
20から発光されたレーザー光18は、レーザー光18
の進行方向に対して所定の角度(例えば45°)傾斜さ
せて設けたハーフミラー26、レーザー光18を平行光
束にするためのコリメートレンズ28、ゴルフボール1
6上でレーザー光18の焦点を結ばせるための対物レン
ズ30を順次通ってゴルフボール16の表面の所定位置
に照射されるようになっている。また、その反射光24
は、対物レンズ30、コリメートレンズ28を通り、さ
らにハーフミラー26で側方(後方)に反射して、反射
光24をピンホール32を通して受ける受光部22に受
光されるようになっている。なお、発光部20は半導体
レーザー等の発光デバイスを備え、受光部22は光電子
増倍管、光導電検出器等の光検出器を備えている。
形状の測定は、次のようにして行う。まず、発光部20
からのレーザー光18をハーフミラー26、コリメート
レンズ28、対物レンズ30に順次通してゴルフボール
16の表面の所定位置(例えばディンプルの所定位置)
に照射する。この場合、対物レンズ30を機械的に上下
方向に動かすことで、レーザー光18はゴルフボール1
6上で小さなスポットとなる。さらに、その反射光24
を対物レンズ30、コリメートレンズ28に順次通し、
さらにハーフミラー26で反射させて受光部22で受光
する。このとき、駆動手段によって可動テーブル12を
X、Y方向に適宜移動させ、ゴルフボール16の位置調
整を行ってレーザー光18の反射光24をピンホールを
通して受光部22で受光できるようにする。そして、発
光部20、ゴルフボール16の表面のレーザー光照射位
置及び受光部22の位置関係を検出する。
を移動させて反射光24を受光部22が受光したときの
可動テーブル12のX、Y方向の移動量を移動量検出手
段で検出し、この移動量に基づいて発光部20、ゴルフ
ボール表面のレーザー光照射位置及び受光部22の位置
関係を検出する。また、駆動手段によって可動テーブル
12をZ方向に移動させることにより、受光部22の測
定範囲以上の高低差を測定することができる。
は、対象箇所であるゴルフボール16の表面の所定位置
で一点に集光されるため、ピンホール32を通過して受
光部22に到達する。しかし、対象箇所の位置がz方向
(上下方向)に変動すると、反射光24はピンホール3
2の位置に集光されずぼやけるため、ほとんどの光はピ
ンホール32を通過できず、したがって受光部22には
わずかな光しか到達しないので、受光信号として感知で
きない。この場合、対物レンズ30を機械的に動かし、
対物レンズ30がどの位置にあるときにレーザー光18
がピンホール32を通過するかを検出することによっ
て、対物レンズ30の位置より、対象箇所のZ方向座標
(高さ)を測定することができる。
出工程をゴルフボール16の表面の複数位置で行うとと
もに、その結果得られる複数の位置関係に基づいてゴル
フボール16の表面の高低の相対的変化を特定する。こ
の点に関しては、第1実施形態例で述べたのと同様であ
る。
例の装置を用いてゴルフボールの表面形状の測定を行っ
た(図3参照)。この場合、ディンプルの中心点Oを通
ってディンプルを横切る直線に沿って、ディンプルの一
端M近傍から他端N近傍に至る間の1000箇所におい
て位置関係検出工程を行い、その結果に基づいてディン
プル表面の高低の相対的変化を特定した。結果を図3の
グラフに示す。
ルの表面形状の測定を行った(図4参照)。すなわち、
ディンプルの中心点Oを通ってディンプルを横切る直線
に沿って、ディンプルにスリットを通した電球光を線状
光として照射するとともに、照射部分をカメラによって
映像化し、得られた映像からディンプルの深さを測定し
た。この場合、ディンプルの一端M近傍から他端N近傍
に至る間を1000箇所に区分し、区分した各々の位置
で窪みの深さを測定してグラフに表した。結果を図4に
示す。
る図4のグラフとを比較すると、本発明による図3の方
が測定結果として描かれたディンプルの断面形状が滑ら
かであり、測定精度が著しく高いことが分かる。
ときに、Y方向に100点(100断面)測定した。こ
れにより、図5に示すディンプル形状を表す立体図(斜
視図に相当)が得られた。
状、例えばディンプルの表面形状を精度良く測定するこ
とができる。
の第1実施形態例を示す側面図である。
の第2実施形態例を示す側面図である。
表面形状を測定した結果を示すグラフである。
表面形状を測定した結果を示すグラフである。
表面形状を測定した結果を示す立体図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 ゴルフボール表面の所定位置に発光部か
らレーザー光を照射するとともに、ゴルフボール表面の
所定位置で反射した前記レーザー光の反射光を受光部で
受光することにより、前記発光部、ゴルフボール表面の
レーザー光照射位置及び受光部の位置関係を検出する位
置関係検出工程を行うゴルフボールの表面形状測定方法
であって、前記位置関係検出工程をゴルフボール表面の
複数位置で行うとともに、その結果得られる複数の位置
関係に基づいてゴルフボール表面の高低の相対的変化を
特定することを特徴とするゴルフボールの表面形状測定
方法。 - 【請求項2】 レーザー光の波長が100〜2000n
mである請求項1に記載の測定方法。 - 【請求項3】 ディンプルを横切る方向に沿って800
〜5000箇所の位置で位置関係検出工程を行うことに
より、ディンプル表面の高低の相対的変化を特定する請
求項1又は2に記載の測定方法。 - 【請求項4】 ゴルフボールを支持する支持手段と、支
持手段で支持したゴルフボールの表面にレーザー光を照
射する発光部と、ゴルフボールの表面で反射した前記レ
ーザー光の反射光を受光する受光部とを備え、支持手段
で支持したゴルフボールの表面の所定位置に発光部から
レーザー光を照射するとともに、ゴルフボール表面の所
定位置で反射した前記レーザー光の反射光を受光部で受
光することにより、前記発光部、ゴルフボール表面のレ
ーザー光照射位置及び受光部の位置関係を検出する位置
関係検出工程を行うゴルフボールの表面形状測定装置で
あって、前記位置関係検出工程をゴルフボール表面の複
数位置で行うとともに、その結果得られる複数の位置関
係に基づいてゴルフボール表面の高低の相対的変化を特
定することを特徴とするゴルフボールの表面形状測定装
置。 - 【請求項5】 支持手段を移動可能に形成した請求項4
に記載の測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186404A JPH1130508A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | ゴルフボールの表面形状測定方法及び装置 |
| US09/114,170 US5966213A (en) | 1997-07-11 | 1998-07-13 | Method and apparatus for measuring the surface shape of a golf ball |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186404A JPH1130508A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | ゴルフボールの表面形状測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1130508A true JPH1130508A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16187825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9186404A Pending JPH1130508A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | ゴルフボールの表面形状測定方法及び装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5966213A (ja) |
| JP (1) | JPH1130508A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6575849B2 (en) | 2001-06-19 | 2003-06-10 | Bridgestone Sports Co., Ltd. | Golf ball |
| CN109489610A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-03-19 | 椿中岛机械(太仓)有限公司 | 钢球圆度测量装置 |
| KR20190142803A (ko) * | 2018-06-19 | 2019-12-30 | 재단법인 인천테크노파크 | 골프공 측정 장치 |
| WO2021162313A1 (ko) * | 2020-02-14 | 2021-08-19 | 주식회사 골프존 | 골프공에 대한 크랙 판별장치 및 방법 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6315681B1 (en) | 1997-01-13 | 2001-11-13 | Spalding Sports Worldwide, Inc. | Perimeter weighted golf ball with visible weighting |
| US6630998B1 (en) | 1998-08-13 | 2003-10-07 | Acushnet Company | Apparatus and method for automated game ball inspection |
| US6462303B2 (en) * | 2000-01-27 | 2002-10-08 | Acushnet Company | Laser marking of golf balls |
| US6248974B1 (en) * | 2000-03-16 | 2001-06-19 | Callaway Golf Company | Method and apparatus for laser treatment of a golf ball |
| US6608687B1 (en) | 2002-05-10 | 2003-08-19 | Acushnet Company | On line measuring of golf ball centers |
| US7170592B2 (en) * | 2004-03-10 | 2007-01-30 | Acushnet Company | Method of inspecting a sphere without orienting the sphere |
| US9670809B2 (en) | 2011-11-29 | 2017-06-06 | Corning Incorporated | Apparatus and method for skinning articles |
| US9239296B2 (en) | 2014-03-18 | 2016-01-19 | Corning Incorporated | Skinning of ceramic honeycomb bodies |
| US10611051B2 (en) | 2013-10-15 | 2020-04-07 | Corning Incorporated | Systems and methods for skinning articles |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4017188A (en) * | 1975-02-26 | 1977-04-12 | The Bendix Corporation | Surface profile measuring device and method |
| US4088408A (en) * | 1976-11-08 | 1978-05-09 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Device for measuring the contour of a surface |
| JPS53110553A (en) * | 1977-03-08 | 1978-09-27 | Sony Corp | Measurement apparatus of gradients of curved faces |
| US5179425A (en) * | 1991-08-07 | 1993-01-12 | Hughes Aircraft Company | Hand held paint inspection meter |
| US5239366A (en) * | 1992-02-12 | 1993-08-24 | Huges Aircraft Company | Compact laser probe for profilometry |
| GB9205655D0 (en) * | 1992-03-14 | 1992-04-29 | Roke Manor Research | Improvements in or relating to surface curvature measurement |
| JP2904069B2 (ja) * | 1995-08-28 | 1999-06-14 | ブリヂストンスポーツ株式会社 | 球状物の外観検査方法及びその検査装置 |
-
1997
- 1997-07-11 JP JP9186404A patent/JPH1130508A/ja active Pending
-
1998
- 1998-07-13 US US09/114,170 patent/US5966213A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6575849B2 (en) | 2001-06-19 | 2003-06-10 | Bridgestone Sports Co., Ltd. | Golf ball |
| KR20190142803A (ko) * | 2018-06-19 | 2019-12-30 | 재단법인 인천테크노파크 | 골프공 측정 장치 |
| CN109489610A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-03-19 | 椿中岛机械(太仓)有限公司 | 钢球圆度测量装置 |
| CN109489610B (zh) * | 2019-01-14 | 2024-03-08 | 椿中岛机械(太仓)有限公司 | 钢球圆度测量装置 |
| WO2021162313A1 (ko) * | 2020-02-14 | 2021-08-19 | 주식회사 골프존 | 골프공에 대한 크랙 판별장치 및 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5966213A (en) | 1999-10-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4130531B2 (ja) | 透明な基板上の構造の測定装置及び測定方法 | |
| KR20130095211A (ko) | 얇은 디스크 형상물의 가장자리 프로파일을 비접촉으로 결정하기 위한 장치 | |
| JP2000230807A (ja) | 平行光を利用した距離測定方法とその装置 | |
| CN101641566A (zh) | 用于获得剖面的几何特征的测量装置和方法 | |
| US5966213A (en) | Method and apparatus for measuring the surface shape of a golf ball | |
| JP2011145160A (ja) | マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法 | |
| JPH0914930A (ja) | 形状測定方法とその測定装置 | |
| JP3377820B2 (ja) | 表面の曲率の測定装置 | |
| JP3293830B2 (ja) | 物体の幾何学パラメータを測定および計算する装置および方法 | |
| GB2265215A (en) | Optical apparatus for measuring surface curvature | |
| US6370221B2 (en) | Method of setting a position of an object of measurement in layer thickness measurement by X-ray fluorescence | |
| JPS6244203B2 (ja) | ||
| JP3324809B2 (ja) | 三次元測定用測定点指示具 | |
| JP3162364B2 (ja) | 光センサ装置 | |
| JP2000230816A (ja) | 角度測定装置 | |
| JP2987540B2 (ja) | 三次元スキャナー | |
| JP2007218931A (ja) | 光学面の形状測定方法および装置および記録媒体 | |
| CN111940912A (zh) | 激光差动共焦三维曲面打标方法及装置 | |
| JPH1144522A (ja) | 角度測定装置 | |
| JP3184641B2 (ja) | テーパ孔のエッジ検出装置及びその深さ測定装置 | |
| JP2020056620A (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、固定部及び構造物製造方法 | |
| JP2557650B2 (ja) | 試料形状測定装置 | |
| US6967723B2 (en) | Interferometric measuring device | |
| JP2023514237A (ja) | 物体の厚さをマッピングするための方法及び装置 | |
| JPH07190735A (ja) | 光学式測定装置およびその測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040513 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051118 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051206 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060203 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060203 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060203 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070206 |