JPH11312302A - Magnetic head, method of manufacturing magnetic head, and magnetic recording / reproducing apparatus - Google Patents

Magnetic head, method of manufacturing magnetic head, and magnetic recording / reproducing apparatus

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JPH11312302A
JPH11312302A JP11951498A JP11951498A JPH11312302A JP H11312302 A JPH11312302 A JP H11312302A JP 11951498 A JP11951498 A JP 11951498A JP 11951498 A JP11951498 A JP 11951498A JP H11312302 A JPH11312302 A JP H11312302A
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JP
Japan
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magnetic
film
magnetic head
magnetic film
head
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Application number
JP11951498A
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Japanese (ja)
Inventor
Fusashige Tokutake
房重 徳竹
Kazuyuki Kikuchi
和之 菊池
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高飽和磁束密度を有するMIG型磁気ヘッド
などにおいて、磁気特性の劣化を低減し、耐食性を向上
させた磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法ならびに
磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装置を提供する。 【解決手段】 少なくとも、一対の磁気コア半体1を突
き合わせて磁気ギャップが形成され、一対の磁気コア半
体1の突き合わせ面のいずれの面にも全面に渡って磁性
膜が形成されている磁気ヘッドにおいて、磁性膜が磁気
コア半体1上に、Feを主成分とし、C、N、Ta、N
b、Zr、Mo、Ti、Cr、Si、Ru、Pd、P
t、GaおよびAuのうちの少なくともいずれか1種を
含む元素を0.1at%(原子%)以上50at%以下
含有する、第1の磁性膜3を有するとともに、第1の磁
性膜3上に、第1の磁性膜と同様な物質からなる第2の
磁性膜4を有することを特徴とする。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head having a high saturation magnetic flux density and the like, a magnetic head with reduced deterioration of magnetic characteristics and improved corrosion resistance, a method of manufacturing the magnetic head, and a magnetic head using the magnetic head. Provided is a recording / reproducing device. SOLUTION: At least a magnetic gap is formed by abutting a pair of magnetic core halves 1 and a magnetic film is formed on the entire abutting surface of the pair of magnetic core halves 1 over the entire surface. In the head, a magnetic film is formed on the magnetic core half 1 with Fe as a main component and C, N, Ta, N
b, Zr, Mo, Ti, Cr, Si, Ru, Pd, P
The first magnetic film 3 includes an element containing at least one of t, Ga, and Au in an amount of 0.1 at% (atomic%) to 50 at%, and on the first magnetic film 3 And a second magnetic film 4 made of a material similar to that of the first magnetic film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドおよび磁
気ヘッドの製造方法ならびに磁気記録再生装置に関し、
さらに詳しくは磁気ギャップ突き合わせ面のいずれの面
にも磁性膜が形成された一対の磁気コア半体がガラスで
融着されている磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法
ならびに磁気記録再生装置に関する。
The present invention relates to a magnetic head, a method of manufacturing a magnetic head, and a magnetic recording / reproducing apparatus.
More specifically, the present invention relates to a magnetic head in which a pair of magnetic core halves having a magnetic film formed on both surfaces of a magnetic gap abutting surface are fused with glass, a method of manufacturing the magnetic head, and a magnetic recording / reproducing apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の磁気記録技術の高密度化の著しい
進展にともない、メタルテープのような高抗磁力の媒体
を記録再生する磁気ヘッドとしては、高飽和磁束密度な
ど十分な磁気特性を有することが要求される。そのため
の磁気ヘッド材料として、記録磁界を十分にとるために
より高い飽和磁束密度を有し、かつ、優れた軟磁性特性
を有する材料が求められている。
2. Description of the Related Art With the remarkable progress of high density of magnetic recording technology in recent years, a magnetic head for recording and reproducing a medium having a high coercive force such as a metal tape has sufficient magnetic characteristics such as a high saturation magnetic flux density. Is required. As a material for the magnetic head for this purpose, a material having a higher saturation magnetic flux density for obtaining a sufficient recording magnetic field and having excellent soft magnetic properties is required.

【0003】このような磁気ヘッドについて、一対の磁
気コア半体を突き合わせて磁気ギャップが形成され、一
対の磁気コア半体の突き合わせ面のいずれの面にも全面
に渡って磁性薄膜が形成されているMIG(Metal In G
ap)型の磁気ヘッドを一例として、磁気ヘッドの概略斜
視図である図5を参照して説明する。
In such a magnetic head, a magnetic gap is formed by abutting a pair of magnetic core halves, and a magnetic thin film is formed over the entire abutting surface of the pair of magnetic core halves. MIG (Metal In G
An ap) type magnetic head will be described as an example with reference to FIG. 5 which is a schematic perspective view of the magnetic head.

【0004】図5のように、MIG型の磁気ヘッド13
は、トラック幅規制溝8およびギャップデプス規制溝9
が形成された一対の磁気コア半体1を突き合わせて、磁
気ギャップ14を形成して、ガラス11による融着によ
り一体に接合されている。
[0004] As shown in FIG.
Are the track width regulating groove 8 and the gap depth regulating groove 9
A pair of magnetic core halves 1 formed with are abutted to form a magnetic gap 14 and are integrally joined by fusion with glass 11.

【0005】この場合、磁気コア半体1材として、Mn
−Znフェライト、Ni−Znフェライトなどからなる
強磁性酸化物を用い、高飽和磁束密度を有する磁性膜1
5が磁気コア半体1の突き合わせ面に、いずれの面にも
全面に渡って形成されている。この磁性膜15には、F
eを主成分とする微結晶金属磁性薄膜が、高飽和磁束密
度を有し、優れた軟磁性特性を示すことから、従来の磁
気ヘッド用金属磁性材料に置き換わるものとして実用化
が始められている。
In this case, Mn is used as one magnetic core half material.
Film 1 having a high saturation magnetic flux density using a ferromagnetic oxide composed of -Zn ferrite, Ni-Zn ferrite, or the like
Numerals 5 are formed on the abutting surfaces of the magnetic core halves 1 and over all surfaces. The magnetic film 15 has F
Since a microcrystalline metal magnetic thin film containing e as a main component has a high saturation magnetic flux density and excellent soft magnetic properties, it has been put to practical use as a substitute for a conventional metal magnetic material for a magnetic head. .

【0006】しかしながら、飽和磁束密度が高くなるほ
ど、Fe成分の割合が大きくなり、それにしたがい、耐
食性が低下する問題が生じてくる。その対策として、耐
食性を向上させる添加元素の添加量を多くする方法も考
えられるが、反対に飽和磁束密度の低下を招くことから
自ずと限界があった。
However, as the saturation magnetic flux density increases, the proportion of the Fe component increases, and accordingly, there arises a problem that the corrosion resistance decreases. As a countermeasure, a method of increasing the addition amount of an additional element for improving corrosion resistance is conceivable, but conversely, there is a limit because the saturation magnetic flux density is lowered.

【0007】上記のMIG型の磁気ヘッド13を搭載す
るVTRなどの使用環境では、雨天時の高湿度、室内外
の温度差による結露が避けられず、このような環境下で
は、磁性膜15に錆が発生する虞がある。磁性膜15
は、錆が生じると、軟磁気特性が著しく劣化し、十分な
記録再生能力が得られず、VTRにおいては画質などの
劣化が生じ、データレコーダやハードディスクドライブ
(HDD)などの磁気ディスク装置では、エラーレート
が著しく低下する問題があった。
In a use environment such as a VTR having the above-mentioned MIG type magnetic head 13, dew condensation due to high humidity in rainy weather and temperature difference between indoor and outdoor is unavoidable. Rust may occur. Magnetic film 15
When rust is generated, soft magnetic characteristics are significantly deteriorated, and sufficient recording / reproducing ability is not obtained. In a VTR, image quality is deteriorated. In a magnetic disk device such as a data recorder or a hard disk drive (HDD), There was a problem that the error rate was significantly reduced.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる問題
点に鑑み、高飽和磁束密度を有するMIG型磁気ヘッド
などにおいて、磁気特性の劣化を低減し、耐食性を向上
させた磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法ならびに
磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装置を提供することを
課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the foregoing problems, the present invention provides a magnetic head and a magnetic head in which the deterioration of magnetic characteristics is reduced and the corrosion resistance is improved in a MIG type magnetic head or the like having a high saturation magnetic flux density. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing the same and a magnetic recording / reproducing apparatus using the magnetic head.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
少なくとも、一対の磁気コア半体と、一対の磁気コア半
体が突き合わされて形成された磁気ギャップと、一対の
磁気コア半体の突き合わせ面のいずれの面にも全面に渡
って形成された磁性膜を有する磁気ヘッドにおいて、磁
性膜が磁気コア半体上に第1の磁性膜を有するととも
に、第1の磁性膜上に第2の磁性膜を有することを特徴
とする。
According to the present invention, there is provided a magnetic head comprising:
At least a pair of magnetic core halves, a magnetic gap formed by abutting a pair of magnetic core halves, and a magnetic gap formed over the entire butting surface of the pair of magnetic core halves. In a magnetic head having a film, the magnetic film has a first magnetic film on a magnetic core half, and has a second magnetic film on the first magnetic film.

【0010】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、少なく
とも、一対の磁気コア半体が形成されるとともに、一対
の磁気コア半体を突き合わせて磁気ギャップが形成さ
れ、一対の磁気コア半体の突き合わせ面のいずれの面に
も全面に渡って磁性膜が形成されている磁気ヘッドの製
造方法において、磁性膜を形成する工程が、磁気コア半
体上に第1の磁性膜を形成するとともに、第1の磁性膜
上に第2の磁性膜を形成する工程を有することを特徴と
する。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, at least a pair of magnetic core halves are formed, and a pair of magnetic core halves are joined to form a magnetic gap. In a method of manufacturing a magnetic head in which a magnetic film is formed on the entire surface of any one of the surfaces, the step of forming a magnetic film includes forming a first magnetic film on a magnetic core half, A step of forming a second magnetic film on the one magnetic film.

【0011】本発明の磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製
造方法において、第1の磁性膜および第2の磁性膜は、
Feを主成分とし、C、N、Si、Ti、Cr、Ga、
Zr、Nb、Mo、Ru、Pd、Ta、PtおよびAu
のうちの少なくともいずれか1種を含む元素を0.1a
t%(原子%)以上50at%以下含有することが望ま
しい。Fe以外の添加元素の下限は添加効果の下限の割
合を示し、上限は飽和磁束密度などの磁気特性の下限を
保証する。
In the magnetic head and the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, the first magnetic film and the second magnetic film are
Fe as a main component, C, N, Si, Ti, Cr, Ga,
Zr, Nb, Mo, Ru, Pd, Ta, Pt and Au
0.1a of an element containing at least one of
It is desirable to contain t% (atomic%) or more and 50 at% or less. The lower limit of the additive element other than Fe indicates the ratio of the lower limit of the addition effect, and the upper limit guarantees the lower limit of the magnetic properties such as the saturation magnetic flux density.

【0012】第1の磁性膜はFeRuGaSi膜であ
り、前記第2の磁性膜はFeTaCrN膜であることが
望ましく、FeRuGaSi膜の組成比を、Fea
b Gac Sid と表したとき、各元素の割合a,
b,c,d(at%)が、 68≦ a≦ 90 0.1≦ b≦ 10 0.1≦ c≦ 15 10≦ d≦ 25 であるとともに、FeTaCrN膜の組成比を、Fee
Taf Crg h と表したとき、各元素の割合e,f,
g,h(at%)が、 71≦ e≦ 85 6≦ f≦ 15 0.5≦ g≦ 10 9≦ h≦ 16 であることが望ましい。(ただし、a+b+c+d=
100、およびe+f+g+h= 100)
Preferably, the first magnetic film is a FeRuGaSi film, and the second magnetic film is a FeTaCrN film, and the composition ratio of the FeRuGaSi film is Fe a R
u b Ga c Si when expressed as d, the ratio a of each element,
b, c, d (at%) are 68 ≦ a ≦ 900.1 ≦ b ≦ 100.1 ≦ c ≦ 1510 ≦ d ≦ 25, and the composition ratio of the FeTaCrN film is Fe e
Ta f Cr g N when expressed is h, the proportion of each element e, f,
It is preferable that g and h (at%) satisfy the following condition: 71 ≦ e ≦ 856 ≦ f ≦ 150.5 ≦ g ≦ 109 ≦ h ≦ 16. (However, a + b + c + d =
100, and e + f + g + h = 100)

【0013】第1の磁性膜の膜厚が0.05μm以上で
あることが望ましく、第1の磁性膜が磁性膜の膜厚に占
める割合は、50%以下であることが望ましい。
The thickness of the first magnetic film is preferably at least 0.05 μm, and the ratio of the first magnetic film to the thickness of the magnetic film is preferably at most 50%.

【0014】本発明の磁気記録再生装置は、請求項1に
記載の磁気ヘッドを搭載したことを特徴とする。
A magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention is characterized by mounting the magnetic head according to the first aspect.

【0015】上述した手段による作用を以下に述べる。
本発明の磁気ヘッドによれば、磁性膜を2層構造とし、
耐食性を有する第1の磁性膜により、結露などによる水
分の侵入を防止し、第2の磁性膜の錆の発生を抑制でき
るので、高飽和磁束密度を満足しつつ、耐食性に優れた
磁気ヘッドが得られる。また、本発明の磁気ヘッドの製
造方法によれば、第1の磁性膜により第2の磁性膜の錆
の発生を抑制し、高飽和磁束密度を満足しつつ、耐食性
に優れた磁気ヘッドが容易に作製できる。またこの磁気
ヘッドを用いた信頼性の高い磁気記録再生装置を提供で
きる。
The operation of the above means will be described below.
According to the magnetic head of the present invention, the magnetic film has a two-layer structure,
The first magnetic film having corrosion resistance can prevent the invasion of water due to dew condensation and the like, and can suppress the generation of rust on the second magnetic film. Therefore, a magnetic head having excellent corrosion resistance while satisfying a high saturation magnetic flux density can be obtained. can get. Further, according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, the first magnetic film suppresses the generation of rust on the second magnetic film, and a magnetic head excellent in corrosion resistance while satisfying a high saturation magnetic flux density can be easily obtained. Can be manufactured. Further, a highly reliable magnetic recording / reproducing apparatus using this magnetic head can be provided.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明を適用した磁気ヘッドの実
施の形態例を、一対の磁気コア半体を突き合わせて磁気
ギャップが形成され、一対の磁気コア半体の突き合わせ
面のいずれの面にも全面に渡って磁性薄膜が形成されて
いるMIG型の磁気ヘッドを一例として、磁気ヘッドの
概略斜視図である図5および磁気ヘッドの磁気ギャップ
近傍の要部拡大図である図1を参照して説明する。ただ
し、従来例と同じ構成要素は、同一の符号を付すものと
する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of a magnetic head to which the present invention is applied is described in which a magnetic gap is formed by abutting a pair of magnetic core halves, and any one of the abutting surfaces of the pair of magnetic core halves is formed. Also, referring to FIG. 5 which is a schematic perspective view of a magnetic head and FIG. 1 which is an enlarged view of a main portion in the vicinity of a magnetic gap of the magnetic head, taking a MIG type magnetic head in which a magnetic thin film is formed over the entire surface as an example. Will be explained. However, the same components as those in the conventional example are denoted by the same reference numerals.

【0017】図5のように、MIG型の磁気ヘッド13
は、一対の磁気コア半体1を突き合わせて磁気ギャップ
14を形成して、ガラス11による融着により一体に形
成されている。磁気コア半体1の突き合わせ面には、い
ずれの面にも全面に渡って、磁性膜15が形成されてい
る。
As shown in FIG. 5, the MIG type magnetic head 13
Are formed integrally by abutting a pair of magnetic core halves 1 to form a magnetic gap 14 and fusing with the glass 11. A magnetic film 15 is formed over the entire butting surface of the magnetic core half 1.

【0018】磁気コア半体1は、Mn−Znフェライ
ト、Ni−Znフェライトなどからなる強磁性酸化物で
形成されている。
The magnetic core half 1 is formed of a ferromagnetic oxide made of Mn-Zn ferrite, Ni-Zn ferrite or the like.

【0019】図1に示すように、磁気コア半体1の突き
合わせ面には、非磁性の反応防止膜2、磁性膜15とし
て第1の磁性膜3および第2の磁性膜4、および非磁性
の磁気ギャップ膜5,6の順に積層されて構成されてい
る。
As shown in FIG. 1, a nonmagnetic reaction preventing film 2, a first magnetic film 3 and a second magnetic film 4 as a magnetic film 15 and a nonmagnetic The magnetic gap films 5 and 6 are stacked in this order.

【0020】第1の磁性膜3および第2の磁性膜4は、
Feを主成分とし、C、N、Si、Ti、Cr、Ga、
Zr、Nb、Mo、Ru、Pd、Ta、PtおよびAu
のうちの少なくともいずれか1種を含む元素を0.1a
t%以上50at%以下含有する高飽和磁束密度を有す
る軟磁性材料で形成されている。第1の磁性膜3は、膜
厚が0.05μm以上で、磁性膜全体の膜厚の50%以
下であることが望ましい。
The first magnetic film 3 and the second magnetic film 4 are
Fe as a main component, C, N, Si, Ti, Cr, Ga,
Zr, Nb, Mo, Ru, Pd, Ta, Pt and Au
0.1a of an element containing at least one of
It is formed of a soft magnetic material having a high saturation magnetic flux density containing t% or more and 50 at% or less. It is desirable that the first magnetic film 3 has a thickness of 0.05 μm or more and 50% or less of the total thickness of the magnetic film.

【0021】上記の各膜は、DCスパッタやRFスパッ
タなどのスパッタ法、真空蒸着法およびイオンプレーテ
ィング法などの真空成膜法により形成することができ
る。
Each of the above films can be formed by a sputtering method such as DC sputtering or RF sputtering, or a vacuum film forming method such as a vacuum evaporation method or an ion plating method.

【0022】上記の磁気ヘッド13は、不図示の巻線を
施され、不図示の端子板などに結線された後、VTRや
HDD装置などの磁気記録再生装置に搭載される。
The above magnetic head 13 is provided with a winding (not shown) and connected to a terminal plate (not shown) and then mounted on a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR or HDD.

【0023】本発明の磁気ヘッド13が適用される磁気
記録再生装置の一例として、HDD装置の概略斜視図を
図6に示す。図6はHDD装置の筐体の一部を切りか
き、その要部を示す概略斜視図である。
FIG. 6 is a schematic perspective view of an HDD device as an example of a magnetic recording / reproducing device to which the magnetic head 13 of the present invention is applied. FIG. 6 is a schematic perspective view showing a main part of the HDD device by cutting out a part of the housing.

【0024】すなわち、弾性を有する支持アーム19の
一端に磁気ヘッド装置18が装着され、支持アーム19
の他端はアクチュエータ20が配設されている。支持ア
ーム19は、その支軸を中心として自在に回動し、磁気
ヘッド装置18を所望の位置に移動することができる。
情報を記録するハードディスク21は、不図示のスピン
ドルモータにより回転し、磁気ヘッド装置18との間で
情報信号の電磁変換を行う。
That is, the magnetic head device 18 is mounted on one end of the support arm 19 having elasticity.
The other end is provided with an actuator 20. The support arm 19 freely rotates about its support shaft, and can move the magnetic head device 18 to a desired position.
The hard disk 21 for recording information is rotated by a spindle motor (not shown), and performs electromagnetic conversion of an information signal with the magnetic head device 18.

【0025】磁気ヘッド装置18は、図7に示すように
例えばAl23−TiC系の非磁性セラミックスからな
るスライダ22の一端に磁気ヘッド13が装着されたも
のである。
As shown in FIG. 7, the magnetic head device 18 has a magnetic head 13 mounted on one end of a slider 22 made of, for example, an Al 2 O 3 —TiC-based nonmagnetic ceramic.

【0026】[0026]

【実施例】本発明の実施例を、MIG型の磁気ヘッドを
一例として、その製造方法の概略工程図である図2〜図
3、および図1、図5を参照してさらに詳しく説明す
る。尚、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるもの
ではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 3 and FIGS. Note that the present invention is not limited to these examples.

【0027】図2(a)に示すように、先ずMn−Zn
フェライトあるいはNi−Znフェライトなどの磁気コ
ア半体1の前駆体である磁気コア半体ブロック7が得ら
れる軟磁性酸化物基板を、例えば45mm×45mm×
1mmの形状となるように形成する。
As shown in FIG. 2A, first, Mn-Zn
A soft magnetic oxide substrate from which a magnetic core half block 7 which is a precursor of the magnetic core half 1 such as ferrite or Ni—Zn ferrite is obtained is, for example, 45 mm × 45 mm ×
It is formed so as to have a shape of 1 mm.

【0028】次に、図2(b)に示すように、断面が略
U字型のトラック幅規制溝8を、磁気コア半体ブロック
7の主面に規定幅のトラックが成形されるように形成す
る。例えば、主面に対して接する角度を60度として溝
開口部の幅190μm、深さ95μm、トラック幅16
μmの略U字型形状とした。この形状は垂直面および水
平面からなる方形でもV字型としてもよい。
Next, as shown in FIG. 2B, a track width regulating groove 8 having a substantially U-shaped cross section is formed so that a track of a prescribed width is formed on the main surface of the magnetic core half block 7. Form. For example, assuming that the angle of contact with the main surface is 60 degrees, the width of the groove opening is 190 μm, the depth is 95 μm, and the track width is 16 μm.
It was formed in a substantially U-shape of μm. This shape may be a rectangle consisting of a vertical plane and a horizontal plane or a V-shape.

【0029】次に、図2(c)に示すように、さらに磁
気コア半体ブロック7の主面側にトラック幅規制溝8と
直交方向にトラック幅規制溝8よりも深いギャップデプ
ス規制溝9を形成する。例えば、開口幅650μm、深
さ200μmとし、トラック面側の主面に接する角度は
40度であり、トラック面と反対面側の主面に接する角
度は90度である略5角形の断面形状とした。この後、
主面のトラック幅となる部分の研磨を行い、表面粗度が
5nm程度になるように形成する。
Next, as shown in FIG. 2C, a gap depth regulating groove 9 deeper than the track width regulating groove 8 in a direction perpendicular to the track width regulating groove 8 on the main surface side of the magnetic core half block 7. To form For example, the opening width is 650 μm, the depth is 200 μm, the angle in contact with the main surface on the track surface side is 40 degrees, and the angle in contact with the main surface on the opposite surface side to the track surface is 90 degrees. did. After this,
Polishing is performed on a portion of the main surface to be the track width, so that the surface roughness is about 5 nm.

【0030】次に、図1に示すように、磁気コア半体1
の表面に、強磁性酸化物と、後に形成される磁性膜15
間の反応を抑えるためのSiO2 などの反応防止膜2を
例えば5nm成膜する。その後、磁性膜15として、F
eを主成分とする第1の磁性膜3を、次に第1の磁性膜
3と同様な物質である第2の磁性膜4を形成する。例え
ば、第1の磁性膜3としてFeRuGaSiを200n
m、第2の磁性膜4としてFeTaCrN膜を3.8μ
m成膜する。そして、引き続き、磁気ギャップを形成す
る磁気ギャップ膜5,6としてそれぞれCr膜10nm
およびSiO2膜を80nm形成する。
Next, as shown in FIG.
A ferromagnetic oxide and a magnetic film 15 to be formed later
A reaction prevention film 2 of, eg, SiO 2 is formed to a thickness of, for example, 5 nm in order to suppress a reaction between the layers. Then, as the magnetic film 15, F
A first magnetic film 3 having e as a main component is formed, and then a second magnetic film 4 made of the same material as the first magnetic film 3 is formed. For example, 200 μm of FeRuGaSi is used as the first magnetic film 3.
m, a 3.8 μm thick FeTaCrN film as the second magnetic film 4.
m is formed. Then, Cr films 10 nm each are used as magnetic gap films 5 and 6 for forming magnetic gaps.
And an SiO 2 film having a thickness of 80 nm.

【0031】上記の第1の磁性膜3および第2の磁性膜
4は、FeRuGaSi膜の組成比を、Fea Rub
Gac Sid と表したとき、各元素の割合a,b,c,
d((at%)が、 68≦ a≦ 90 0.1≦ b≦ 10 0.1≦ c≦ 15 10≦ d≦ 25 であるとともに、FeTaCrN膜の組成比を、Fee
Taf Crg h と表したとき、各元素の割合e,f,
g,h(at%)が、 71≦ e≦ 85 6≦ f≦ 15 0.5≦ g≦ 10 9≦ h≦ 16 の範囲が可能である。(ただし、a+b+c+d= 1
00、およびe+f+g+h=100)
The first magnetic film 3 and the second magnetic film 4 have a composition ratio of FeRuGaSi film of Fe a Ru b
When represented as Ga c Si d, the ratio a of the elements, b, c,
d ((at%) is 68 ≦ a ≦ 900.1 ≦ b ≦ 100.1 ≦ c ≦ 1510 ≦ d ≦ 25, and the composition ratio of the FeTaCrN film is Fe e
Ta f Cr g N when expressed is h, the proportion of each element e, f,
g and h (at%) can be in the range of 71 ≦ e ≦ 856 ≦ f ≦ 150.5 ≦ g ≦ 109 ≦ h ≦ 16. (However, a + b + c + d = 1
00, and e + f + g + h = 100)

【0032】それぞれの膜の形成方法の一例を以下に示
す。 FeRuGaSi膜 DCマグネトロンスパッタ装置 電力密度 5.0W/cm Arガス圧 0.5Pa 電極間距離 60mm
An example of a method for forming each film is shown below.
You. FeRuGaSi film DC magnetron sputtering device Power density 5.0W / cm2  Ar gas pressure 0.5 Pa Distance between electrodes 60 mm

【0033】FeTaCrN膜 DCマグネトロンスパッタ装置 導入ガス Ar+N 電力密度 5.0W/cm2 Ar+N2 ガス圧 0.5Pa(N2 分圧20%) 電極間距離 60mmFeTaCrN film DC magnetron sputtering equipment Introduced gas Ar + N2 Power density 5.0W / cmTwo  Ar + NTwoGas pressure 0.5 Pa (NTwoPartial pressure 20%) Distance between electrodes 60mm

【0034】磁気ギャップ膜(Cr、SiO2 ) 高周波RFスパッタ装置 電力密度 1.0W/cm2 Arガス圧 0.4Pa 電極間距離 60mmMagnetic gap film (Cr, SiOTwo) RF sputtering equipment Power density 1.0W / cmTwo  Ar gas pressure 0.4 Pa Distance between electrodes 60 mm

【0035】次に、図3(d)に示すように、一対の磁
気コア半体ブロック7を、それらのトラック幅部分が重
なり合うように組み合わせて、ガラス11を流し込み、
磁気ヘッド13の磁気コアブロック10を完成させる。
Next, as shown in FIG. 3D, a pair of magnetic core half-blocks 7 are combined so that their track width portions overlap, and glass 11 is poured.
The magnetic core block 10 of the magnetic head 13 is completed.

【0036】次に、図3(e)に示すように、磁気コア
ブロック10の外側の巻線を回装する部分に巻線ガイド
溝12を形成し、磁気記録媒体の摺動面となる部分を円
筒研削を行い曲面形状とした後、アジマス角度が10度
になるようにヘッドチップに切断を行った。図で点線部
は、切断部を示す。
Next, as shown in FIG. 3E, a winding guide groove 12 is formed in a portion where the winding outside the magnetic core block 10 is wrapped, and a portion serving as a sliding surface of the magnetic recording medium is formed. Was subjected to cylindrical grinding to form a curved surface, and then cut into head chips so that the azimuth angle was 10 degrees. In the figure, a dotted line indicates a cutting portion.

【0037】上記の工程で作製したMIG型の磁気ヘッ
ドの概略斜視図は図5と同様である。
A schematic perspective view of the MIG type magnetic head manufactured in the above steps is similar to FIG.

【0038】さらに、上記のような磁気ヘッド13は巻
線ガイド溝12に不図示の巻線を施し、巻線の両端を不
図示の端子板のランドに接続してVTRやHDD装置な
どの磁気記録再生装置の磁気ヘッド装置に搭載される。
Further, in the magnetic head 13 as described above, a winding (not shown) is formed in the winding guide groove 12, and both ends of the winding are connected to lands of a terminal plate (not shown), so that the magnetic head of a VTR, HDD or the like can be used. It is mounted on a magnetic head device of a recording / reproducing device.

【0039】上記の実施例の磁気ヘッド13を、磁気ヘ
ッド特性測定装置により、磁気ヘッド特性(自己記録再
生モード)を測定した。第1の磁性膜3および第2の磁
性膜4を、それぞれ、Fe63Ru8 Ga10Si19膜(a
t%)、Fe73Ta10Cr2 15膜(at%)の組成比
とし、合計の厚さは4μmとし、Fe63Ru8 Ga10
19膜の厚さを変えたときの自己記録再生モードでの再
生出力の測定を行い、その測定結果を表1に示す。 この場合、表1の測定値は、Fe63Ru8 Ga10Si19
膜の膜厚が、200nmのときの測定値を0dBとした
ときの相対出力である。
Magnetic head characteristics (self-recording / reproducing mode) of the magnetic head 13 of the above embodiment were measured by a magnetic head characteristic measuring device. The first magnetic film 3 and the second magnetic film 4 are respectively formed by Fe 63 Ru 8 Ga 10 Si 19 films (a
%), the composition ratio of the Fe 73 Ta 10 Cr 2 N 15 film (at%), the total thickness is 4 μm, and the Fe 63 Ru 8 Ga 10 S
was measured for reproduction output in a self-recording mode when varying the thickness of the i 19 film, The results are shown in Table 1. In this case, the measured values in Table 1 are Fe 63 Ru 8 Ga 10 Si 19
This is a relative output when the measured value when the film thickness is 200 nm is 0 dB.

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】次に、磁性膜15をFe63Ru8 Ga10
19膜(200nm)、Fe73Ta10Cr2 15
(3.8μm)の積層膜とした場合の磁気ヘッド13、
およびFe73Ta10Cr2 15膜の単層膜を用いた磁気
ヘッド13について結露試験を行った。 試験条件 25℃に保存した磁気ヘッド13を60℃93%RHの
高温高湿雰囲気中に96時間放置した。この温度差によ
り結露を発生させる。サンプル数はそれぞれ100個と
して、同一のヘッドを用いて試験を5回繰り返した。試
験後、錆発生の有無を観察した結果を表2に示す。
Next, the magnetic film 15 is made of Fe 63 Ru 8 Ga 10 S
a magnetic head 13 having a laminated film of i 19 film (200 nm) and Fe 73 Ta 10 Cr 2 N 15 film (3.8 μm);
A dew condensation test was performed on the magnetic head 13 using a single-layer film of Fe 73 Ta 10 Cr 2 N 15 film. Test Conditions The magnetic head 13 stored at 25 ° C. was left in a high temperature and high humidity atmosphere at 60 ° C. and 93% RH for 96 hours. This temperature difference causes dew condensation. The test was repeated five times using the same head with 100 samples each. After the test, the results of observing the occurrence of rust are shown in Table 2.

【0042】[0042]

【表2】 [Table 2]

【0043】上記の評価試験の結果、磁気ヘッド特性で
は、Fe63Ru8 Ga10Si19膜の厚さが2μm以下の
磁気ヘッドでは、磁気ヘッド特性に大きな変化は見られ
ないが、2μmを越えると磁気ヘッド特性は低下してい
く。これは、軟磁気特性が、Fe73Ta10Cr2 15
り小さいFe63Ru8 Ga10Si19膜が増えたため、磁
気ヘッド特性が低下したためであると考えられる。した
がって、磁性薄膜中に占めるFe63Ru8 Ga10Si19
膜の膜厚の割合が50%以下とすることが望ましいこと
がわかる。
As a result of the above evaluation test, the magnetic head characteristics show that the magnetic head characteristics of the magnetic head having a Fe 63 Ru 8 Ga 10 Si 19 film thickness of 2 μm or less do not show a significant change but exceed 2 μm. Then, the magnetic head characteristics decrease. This is presumably because the number of Fe 63 Ru 8 Ga 10 Si 19 films whose soft magnetic properties were smaller than that of Fe 73 Ta 10 Cr 2 N 15 was increased, and the magnetic head properties were reduced. Therefore, Fe 63 Ru 8 Ga 10 Si 19 occupying in the magnetic thin film
It is understood that the ratio of the film thickness is desirably 50% or less.

【0044】また、結露試験の結果から明らかなよう
に、Fe63Ru8 Ga10Si19膜およびFe73Ta10
2 15膜の積層膜を用いた磁気ヘッドは、Fe73Ta
10Cr 2 15の単層膜を用いた磁気ヘッドと比較して、
結露に対する耐久性が著しく向上することがわかる。
Further, as apparent from the results of the condensation test,
And Fe63Ru8GaTenSi19Film and Fe73TaTenC
rTwoNFifteenThe magnetic head using the laminated film of the film is made of Fe73Ta
TenCr TwoNFifteenCompared to a magnetic head using a single layer film,
It can be seen that the durability against dew condensation is significantly improved.

【0045】上記の理由を、図5および図5のA部の要
部拡大図である図4を参照して以下に説明する。従来の
MIG型の磁気ヘッド13は製造工程中で、フェライ
ト、磁性薄膜およびガラスなどからなる複合物を回転す
る砥石などにより切断されるので、切断時の加工抵抗に
より、例えば図5のA部で接合強度の最も弱い面の一部
がはがれることが避けられない。この場合、図5のA部
に示すように、強磁性酸化物の磁気コア半体1と磁性膜
15間にハガレが発生する。この部分に、水分が付着
し、結露などが発生すれば、毛細管現象によりハガレ部
に水分が侵入するが、常温常湿の環境下では蒸発しにく
い。そのために、磁性膜15は水分と長時間接触し続け
ることになり、磁性膜15の耐食性が十分でないMIG
型の磁気ヘッド13においては、その部分から錆が発生
しやすくなる。そして、錆の発生により磁性膜15が膨
張し、ハガレは拡大し、水分はさらに奥まで侵入し、錆
も深部まで進行し、磁気ヘッド特性は大きく劣化するこ
とになる。
The above reason will be described below with reference to FIG. 5 and FIG. 4 which is an enlarged view of a main part of the part A in FIG. The conventional MIG type magnetic head 13 is cut in a manufacturing process by a rotating grindstone or the like of a composite made of ferrite, a magnetic thin film, glass, and the like. It is inevitable that a part of the surface having the weakest bonding strength is peeled off. In this case, peeling occurs between the magnetic core half 1 of the ferromagnetic oxide and the magnetic film 15 as shown in part A of FIG. If moisture adheres to this part and dew condensation or the like occurs, moisture penetrates into the peeling part by capillary action, but hardly evaporates in an environment of normal temperature and normal humidity. For this reason, the magnetic film 15 is kept in contact with moisture for a long time, and the corrosion resistance of the magnetic film 15 is not sufficient.
In the magnetic head 13 of the mold type, rust is easily generated from that portion. Then, the magnetic film 15 expands due to the generation of rust, the peeling increases, the moisture penetrates further into the depth, and the rust also progresses to a deeper portion, so that the magnetic head characteristics are greatly deteriorated.

【0046】それに対して、例えば磁気コア半体1と第
2の磁性膜4である磁気特性に優れたFeTaCrN膜
との間に、耐食性の優れた第1の磁性膜3であるFeR
uGaSi膜を成膜した本発明のMIG型の磁気ヘッド
13では、図4に示すように、磁気コア半体1と第1の
磁性膜3間にハガレ16が生じ、その中に水分が侵入し
ても、耐食性の優れた第1の磁性膜3から錆が発生する
ことはない。また、第1の磁性膜3−第2の磁性膜4の
界面、ガラス11(磁気ギャップ膜5,6を含む)−第
2の磁性膜4の界面の接合力は、磁気コア半体1−第1
の磁性膜3の界面の接合力よりも強固であるので、第2
の磁性膜4の両方の界面に水分が侵入する隙間は生じ
ず、結露による錆の発生は抑制することが可能となる。
On the other hand, for example, between the magnetic core half 1 and the FeTaCrN film having excellent magnetic properties as the second magnetic film 4, the first magnetic film 3 having excellent corrosion resistance is made of FeR.
In the MIG-type magnetic head 13 of the present invention on which a uGaSi film is formed, as shown in FIG. 4, peeling 16 occurs between the magnetic core half 1 and the first magnetic film 3, and moisture enters into it. However, rust does not occur from the first magnetic film 3 having excellent corrosion resistance. The bonding force between the interface between the first magnetic film 3 and the second magnetic film 4 and between the glass 11 (including the magnetic gap films 5 and 6) and the interface between the second magnetic film 4 and the magnetic core half 1 First
Is stronger than the bonding force at the interface of the magnetic film 3 of FIG.
No gap is formed at both interfaces of the magnetic film 4 for moisture to enter, and the generation of rust due to dew condensation can be suppressed.

【0047】したがって、本実施例の磁気ヘッド13を
用いれば、飽和磁束密度などの磁気特性に優れ、結露な
どの耐久性が向上した信頼性の高い磁気ヘッドを提供で
きる。また、この磁気ヘッド13をVTRやHDD装置
などの磁気記録再生装置の磁気ヘッド装置に搭載すれば
耐食性などに対して信頼性の高い磁気記録再生装置を提
供できる。
Therefore, by using the magnetic head 13 of this embodiment, it is possible to provide a highly reliable magnetic head having excellent magnetic properties such as saturation magnetic flux density and improved durability such as dew condensation. Further, if the magnetic head 13 is mounted on a magnetic head device of a magnetic recording / reproducing device such as a VTR or an HDD device, a magnetic recording / reproducing device having high reliability with respect to corrosion resistance and the like can be provided.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明の磁気ヘッドによれば、飽和磁束
密度などの磁気特性に優れ、結露などの耐久性が向上し
た信頼性の高い磁気ヘッドを提供できる。また、本発明
の磁気ヘッドの製造方法によれば、飽和磁束密度などの
磁気特性に優れ、結露などの耐久性が向上した信頼性の
高い磁気ヘッドを容易に作製できる。本発明の磁気ヘッ
ドを用いた磁気ヘッド装置を用いれば、結露による耐久
性を向上させた信頼性の高い磁気記録再生装置を提供で
きる。
According to the magnetic head of the present invention, it is possible to provide a highly reliable magnetic head having excellent magnetic properties such as saturation magnetic flux density and improved durability such as dew condensation. Further, according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a highly reliable magnetic head having excellent magnetic properties such as saturation magnetic flux density and improved durability such as dew condensation can be easily manufactured. By using the magnetic head device using the magnetic head of the present invention, it is possible to provide a highly reliable magnetic recording and reproducing device with improved durability due to dew condensation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の磁気ヘッドの要部拡大図である。FIG. 1 is an enlarged view of a main part of a magnetic head according to the present invention.

【図2】 (a)〜(c)は本発明の磁気ヘッドの製造
方法を説明する概略斜視図である。
FIGS. 2A to 2C are schematic perspective views illustrating a method for manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図3】 (d)〜(e)は図2(c)に続く本発明の
磁気ヘッドの製造方法を説明する概略斜視図である。
FIGS. 3D to 3E are schematic perspective views illustrating the method of manufacturing the magnetic head of the present invention, following FIG. 2C.

【図4】 本発明の磁気ヘッドのA部の要部拡大図であ
る。
FIG. 4 is an enlarged view of a main part of a portion A of the magnetic head of the present invention.

【図5】 従来例の磁気ヘッドの概略斜視図である。FIG. 5 is a schematic perspective view of a conventional magnetic head.

【図6】 磁気記録再生装置の概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view of a magnetic recording / reproducing apparatus.

【図7】 磁気ヘッド装置の概略斜視図である。FIG. 7 is a schematic perspective view of a magnetic head device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気コア半体、2…反応防止膜、3…第1の磁性
膜、4…第2の磁性膜、5,6…磁気ギャップ膜、7…
磁気コア半体ブロック、8…トラック幅規制溝、9…ギ
ャップデプス規制溝、10…磁気コアブロック、11…
ガラス、12…巻線ガイド溝、13…磁気ヘッド、14
…磁気ギャップ、15…磁性膜、16…ハガレ、17…
HDD装置、18…磁気ヘッド装置、19…支持アー
ム、20…アクチュエータ、21…ハードディスク、2
2…スライダ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Half magnetic core, 2 ... Reaction prevention film, 3 ... First magnetic film, 4 ... Second magnetic film, 5, 6 ... Magnetic gap film, 7 ...
Magnetic core half block, 8: track width regulating groove, 9: gap depth regulating groove, 10: magnetic core block, 11 ...
Glass, 12: winding guide groove, 13: magnetic head, 14
... magnetic gap, 15 ... magnetic film, 16 ... peeling, 17 ...
HDD device, 18 magnetic head device, 19 support arm, 20 actuator, 21 hard disk, 2
2 ... Slider

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも、一対の磁気コア半体と、 前記一対の磁気コア半体が突き合わされて形成された磁
気ギャップと、 前記一対の磁気コア半体の突き合わせ面のいずれの面に
も全面に渡って形成された磁性膜を有する磁気ヘッドに
おいて、 前記磁性膜が前記磁気コア半体上に第1の磁性膜を有す
るとともに、前記第1の磁性膜上に第2の磁性膜を有す
ることを特徴とする磁気ヘッド。
At least one of a pair of magnetic core halves, a magnetic gap formed by abutting the pair of magnetic core halves, and an abutting surface of the pair of magnetic core halves. Wherein the magnetic film has a first magnetic film on the magnetic core half and a second magnetic film on the first magnetic film. A magnetic head comprising:
【請求項2】 前記第1の磁性膜および第2の磁性膜
は、Feを主成分とし、C、N、Si、Ti、Cr、G
a、Zr、Nb、Mo、Ru、Pd、Ta、Ptおよび
Auのうちの少なくともいずれか1種を含む元素を0.
1at%(原子%)以上50at%以下含有することを
特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッド。
2. The method according to claim 1, wherein the first magnetic film and the second magnetic film contain Fe as a main component, and include C, N, Si, Ti, Cr, and G.
an element containing at least one of a, Zr, Nb, Mo, Ru, Pd, Ta, Pt and Au.
2. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head contains 1 at% (atomic%) or more and 50 at% or less.
【請求項3】 前記第1の磁性膜はFeRuGaSi膜
であり、前記第2の磁性膜はFeTaCrN膜であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッド。
3. The magnetic head according to claim 1, wherein the first magnetic film is a FeRuGaSi film, and the second magnetic film is a FeTaCrN film.
【請求項4】 前記FeRuGaSi膜の組成比を、F
a Rub Gac Sid と表したとき、各元素の割合
a,b,c,d(at%)が、 68≦ a≦ 90 0.1≦ b≦ 10 0.1≦ c≦ 15 10≦ d≦ 25 であるとともに、 前記FeTaCrN膜の組成比を、Fee Taf Crg
h と表したとき、各元素の割合e,f,g,h(at
%)が、 71≦ e≦ 85 6≦ f≦ 15 0.5≦ g≦ 10 9≦ h≦ 16 であることを特徴とする請求項3に記載の磁気ヘッド。
(ただし、a+b+c+d= 100、およびe+f+
g+h= 100)
4. The composition ratio of the FeRuGaSi film is F
When represented as e a Ru b Ga c Si d , the ratio a of the elements, b, c, d (at %) is, 68 ≦ a ≦ 90 0.1 ≦ b ≦ 10 0.1 ≦ c ≦ 15 10 with a ≦ d ≦ 25, the composition ratio of the FeTaCrN film, Fe e Ta f Cr g
When expressed as N h , the ratio e, f, g, h (at
%): 71 ≦ e ≦ 856 ≦ f ≦ 150.5 ≦ g ≦ 109 ≦ h ≦ 16, The magnetic head according to claim 3, wherein:
(However, a + b + c + d = 100 and e + f +
g + h = 100)
【請求項5】 前記第1の磁性膜の膜厚が0.05μm
以上であることを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッ
ド。
5. The film thickness of the first magnetic film is 0.05 μm.
2. The magnetic head according to claim 1, wherein:
【請求項6】 前記第1の磁性膜が前記磁性膜の膜厚に
占める割合は、 50%以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁
気ヘッド。
6. The magnetic head according to claim 1, wherein the ratio of the first magnetic film to the thickness of the magnetic film is 50% or less.
【請求項7】 少なくとも、一対の磁気コア半体が形成
されるとともに、 前記一対の磁気コア半体を突き合わせて磁気ギャップが
形成され、 前記一対の磁気コア半体の突き合わせ面のいずれの面に
も全面に渡って磁性膜が形成された磁気ヘッドの製造方
法において、 前記磁性膜を形成する工程が、前記磁気コア半体上に第
1の磁性膜を形成するとともに、前記第1の磁性膜上に
第2の磁性膜を形成する工程を有することを特徴とする
磁気ヘッドの製造方法。
7. At least a pair of magnetic core halves are formed, a magnetic gap is formed by abutting the pair of magnetic core halves, and a magnetic gap is formed on any of the abutting surfaces of the pair of magnetic core halves. In a method of manufacturing a magnetic head in which a magnetic film is formed over the entire surface, the step of forming the magnetic film comprises forming a first magnetic film on the magnetic core half, and forming the first magnetic film A method for manufacturing a magnetic head, comprising a step of forming a second magnetic film thereon.
【請求項8】 前記第1の磁性膜および第2の磁性膜
は、Feを主成分とし、C、N、Si、Ti、Cr、G
a、Zr、Nb、Mo、Ru、Pd、Ta、Ptおよび
Auのうちの少なくともいずれか1種を含む元素を0.
1at%以上50at%以下含有することを特徴とする
請求項7に記載の磁気ヘッドの製造方法。
8. The first magnetic film and the second magnetic film have Fe as a main component and C, N, Si, Ti, Cr, G
an element containing at least one of a, Zr, Nb, Mo, Ru, Pd, Ta, Pt and Au.
8. The method according to claim 7, wherein the content is 1 at% or more and 50 at% or less.
【請求項9】 前記第1の磁性膜はFeRuGaSi膜
であり、前記第2の磁性膜はFeTaCrN膜であるこ
とを特徴とする請求項7に記載の磁気ヘッドの製造方
法。
9. The method according to claim 7, wherein the first magnetic film is a FeRuGaSi film, and the second magnetic film is a FeTaCrN film.
【請求項10】 前記FeRuGaSi膜の組成比を、
Fea Rub Gac Sid と表したとき、各元素の割合
a,b,c,d(at%)が、 68≦ a≦ 90 0.1≦ b≦ 10 0.1≦ c≦ 15 10≦ d≦ 25 であるとともに、 前記FeTaCrN膜の組成比を、Fee Taf Crg
h と表したとき、各元素の割合e,f,g,h(at
%)が、 71≦ e≦ 85 6≦ f≦ 15 0.5≦ g≦ 10 9≦ h≦ 16 であることを特徴とする請求項9に記載の磁気ヘッドの
製造方法。(ただし、a+b+c+d= 100、およ
びe+f+g+h= 100)
10. The composition ratio of the FeRuGaSi film is as follows:
Fe a Ru b when Ga represented as c Si d, the ratio a of the elements, b, c, d (at %) is, 68 ≦ a ≦ 90 0.1 ≦ b ≦ 10 0.1 ≦ c ≦ 15 10 with a ≦ d ≦ 25, the composition ratio of the FeTaCrN film, Fe e Ta f Cr g
When expressed as N h , the ratio e, f, g, h (at
%) Satisfies 71 ≦ e ≦ 856 ≦ f ≦ 150.5 ≦ g ≦ 109 ≦ h ≦ 16. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 9, wherein: (However, a + b + c + d = 100 and e + f + g + h = 100)
【請求項11】 前記第1の磁性膜の膜厚が0.05μ
m以上であることを特徴とする請求項7に記載の磁気ヘ
ッドの製造方法。
11. The film thickness of the first magnetic film is 0.05 μm.
8. The method according to claim 7, wherein the value is not less than m.
【請求項12】 前記第1の磁性膜が前記磁性膜の膜厚
に占める割合は、 50%以下であることを特徴とする請求項7に記載の磁
気ヘッドの製造方法。
12. The method according to claim 7, wherein the ratio of the first magnetic film to the thickness of the magnetic film is 50% or less.
【請求項13】 請求項1に記載の磁気ヘッドを搭載し
たことを特徴とする磁気記録再生装置。
13. A magnetic recording / reproducing apparatus equipped with the magnetic head according to claim 1.
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