JPH1131729A - 基板収納容器供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保守作業を容易に行うことが可能な基板収納
容器供給装置を提供する。 【解決手段】 複数の処理ユニット３が基板搬送ロボッ
ト４の周囲に配置された基板処理部２の一端部に基板収
納容器供給部１を配置する。基板収納容器供給部１は一
体型カセットを所定の基板供給位置に搬送する移動機構
部１０と、基板供給位置に配置される回転機構部３０
と、回転機構部３０の鉛直位置を調整する昇降機構部５
０と、一体型カセットの扉の開閉動作を行う扉開閉機構
部７０とを備える。扉開閉機構部７０は回転機構部３０
を挟んで基板処理部２の反対側に配置される。回転機構
部３０は、一体型カセットを扉開閉機構部７０側に回転
移動させて扉の取り外しを行わせ、さらに回転移動させ
て一体型カセットの開口部を基板供給位置に移動させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、取り外し自在な扉
を有する基板収納容器を基板処理部へ基板を供給するた
めの基板供給位置に供給する基板収納容器供給装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示用ガラス基板、
フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等
の基板に種々の処理を行うために基板処理装置が用いら
れている。基板処理装置は、生産効率の向上を図るため
に、一連の処理を各々ユニット化し、複数のユニットを
統合して構成されている。

【０００３】工場のクリーンルーム内では、複数の基板
を収納する基板収納容器が搬送ロボットによって基板処
理装置に搬送される。この基板収納容器の一つに、取り
外し自在な扉を有し、内部に多数の基板を収納するいわ
ゆる一体型カセットと呼ばれる型式のものがある。

【０００４】図２５は、従来の基板収納容器供給部を備
えた基板処理装置における基板搬入動作を示す模式図で
ある。基板収納容器供給部１６０は、基板処理装置の基
板処理部１５０の一端に配置され、カセット載置部１６
１および扉開閉機構部１６２を有している。カセット載
置部１６１の下方には電装系ユニット１８０が設けられ
ている。

【０００５】搬送ロボットにより移送された一体型カセ
ット１７０は、カセット載置部１６１上の所定位置に供
給される。そして、扉開閉機構部１６２が一体型カセッ
ト１７０の扉を取り外して一体型カセット１７０の前面
の開口部を開放する。

【０００６】図２６は扉開閉機構部の斜視図である。図
２６において、扉開閉機構部１６２は、一体型カセット
１７０の本体から扉を取り外して保持する扉開閉保持部
１６３と、扉開閉保持部１６３を上下に移動させる昇降
部１６４とを備える。

【０００７】一体型カセット１７０がカセット載置部１
６１に載置されると、扉開閉保持部１６３が一体型カセ
ット１７０の扉に対向する位置まで上昇し、さらに水平
方向に移動して一体型カセット１７０の本体から扉を取
り外して保持する。そして、昇降部１６４が、扉を保持
した扉開閉保持部１６３を下降させる。これにより、一
体型カセット１７０の前面が開放され、基板処理部１５
０に配設された基板搬送ロボットにより一体型カセット
１７０内から基板が取り出される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように基板処理部１５０とカセット載置部１６１上の一
体型カセット１７０との間に扉開閉機構部１６２を配置
した構造では、扉開閉機構部１６２の保守作業が困難に
なるという不都合がある。

【０００９】すなわち、扉開閉機構部１６２は、昇降部
１６４および待機位置の扉開閉保持部１６３がカセット
載置部１６１よりも低い位置に形成されている。しか
も、カセット載置部１６１の下部には電装系ユニット１
８０が配置されている。このため、外部から扉開閉機構
部１６２の下部側に接近することが困難であり、保守容
易性が低下する。

【００１０】本発明の目的は、保守作業を容易に行うこ
とが可能な基板収納容器供給装置を提供することであ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板収納容器供給装置は、取り外し自在な扉
で閉塞された開口部を有し、複数の基板を収納する基板
収納容器を基板処理部へ基板を供給するための基板供給
位置に供給する基板収納容器供給装置であって、基板供
給位置と異なる扉取り外し位置で基板収納容器から扉を
取り外す取り外し手段と、取り外し手段により扉が取り
外された基板収納容器を扉取り外し位置から基板供給位
置に移動させる移動手段とを備え、取り外し手段は、移
動手段による扉取り外し位置から基板供給位置への基板
収納容器の移動経路に干渉しない位置に配設されたもの
である。

【００１２】第１の発明に係る基板収納容器供給装置に
おいては、扉取り外し位置において基板収納容器の扉が
取り外され、開口部が開放された基板収納容器が移動手
段により基板供給位置に移動される。そして、基板供給
位置において基板収納容器の内部から基板が基板処理部
へ順次供給される。この際、取り外し手段は基板収納容
器の移動経路に干渉しない位置に配設されている。この
ため、基板収納容器から取り外した扉を保持した取り外
し手段が基板収納容器の移動動作を阻害するおそれがな
く、かつ作業者が基板収納容器の移動経路に干渉するこ
となく取り外し手段に接近しやすくなる。これにより、
取り外し手段の保守容易性が向上する。

【００１３】第２の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第１の発明に係る基板収納容器供給装置の構成にお
いて、移動手段が、基板収納容器を支持する支持部と、
支持部を回転させて基板収納容器の扉取り外し位置から
基板供給位置に回転移動させる回転手段とを備えたもの
である。

【００１４】この場合には、基板収納容器を支持部に載
置し、取り外し手段によって基板収納容器の扉を取り外
した後、回転手段によって支持部を回転させて基板収納
容器を基板供給位置に移動させる動作を容易に行うこと
ができる。

【００１５】第３の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第２の発明に係る基板収納容器供給装置の構成にお
いて、基板供給位置および扉取り外し位置は、支持部の
回転軸を中心とする円周上に配置され、取り外し手段
は、円周の外側で扉取り外し位置にある基板収納容器の
開口部に対向するように配設されたものである。

【００１６】この場合、取り外し手段が支持部の回転軸
を中心とする円周の外側に配設されているので、作業者
が保守作業をさらに容易に行うことができる。

【００１７】第４の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第２または第３の発明に係る基板収納容器供給装置
の構成において、取り外し手段は、支持部を挟んで基板
供給位置にある基板収納容器の開口部側と反対側に配設
されたものである。

【００１８】この場合、取り外し手段により基板収納容
器の扉を取り外した後、支持部をほぼ１８０度回転させ
ることにより基板収納容器を所定の基板供給位置に移動
させて基板を供給することができる。

【００１９】第５の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第１の発明に係る基板収納容器供給装置の構成にお
いて、移動手段は、基板収納容器を支持する支持部と、
支持部を直線移動させて基板収納容器を扉取り外し位置
から基板供給位置に直線移動させる直線駆動手段とを備
えたものである。

【００２０】この場合には、直線駆動手段により扉取り
外し位置から基板供給位置まで基板収納容器を直線移動
させることにより、移動手段の構成を簡素化することが
できる。

【００２１】第６の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第５の発明に係る基板収納容器供給装置の構成にお
いて、基板供給位置および扉取り外し位置は所定の直線
上に配置され、取り外し手段は、所定の直線の側方で扉
取り外し位置にある基板収納容器の開口部に対向するよ
うに配設されたものである。

【００２２】これにより、扉取り外し位置において基板
収納容器の扉を取り外した後、基板収納容器を所定の直
線に沿って移動させて基板供給位置に導き、基板収納容
器内の基板を基板処理部へ供給することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例による基
板収納容器供給装置を備えた基板処理装置の模式的平面
図であり、図２は図１の基板処理装置の模式的側面図で
ある。以下の説明において、水平面内の互いに直交する
２方向をＸ方向およびＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向と
する。また、Ｘ方向は、基板収納容器供給部１と基板処
理部２とが整列された方向を示し、Ｙ方向はＸ方向に直
交する方向を示すものとする。

【００２４】図１および図２において、基板処理装置
は、基板収納容器供給部１と基板処理部２とを備える。
基板処理部２は、回転式塗布ユニット、現像ユニット、
基板加熱ユニットあるいは基板冷却ユニット等の種々の
処理ユニット３が基板搬送ロボット４を中心とした円周
状に配置されてなる。基板搬送ロボット４は基板を保持
するアーム４ａを備える。このアーム４ａは、水平面内
で各処理ユニット３および基板収納容器供給部１側に進
退移動可能であり、さらにＺ方向に昇降移動可能かつ鉛
直軸周りに回動可能に構成されている。これにより、基
板搬送ロボット４はアーム４ａに基板を保持して処理ユ
ニット３と基板収納容器供給部１との間で基板を受け渡
すことができる。

【００２５】また、基板収納容器供給部１は基板処理部
２のＸ方向の一方端部に配置され、移動機構部１０、回
転機構部３０、昇降機構部５０および扉開閉機構部７０
から構成されている。なお、図２においては、扉開閉機
構部７０の図示を省略している。

【００２６】移動機構部１０、回転機構部３０および扉
開閉機構部７０は昇降機構部５０の両側の領域Ｓ，Ｄに
対称に配置されている。一方の領域Ｓには、一体型カセ
ット内の基板を基板処理部２へ供給するための移動機構
部１０、回転機構部３０、扉開閉機構部７０および昇降
機構部５０が配置され、他方の領域Ｄには、処理済みの
基板を収納した一体型カセットを基板処理装置の外部に
排出するための移動機構部１０、回転機構部３０、扉開
閉機構部７０および昇降機構部５０が配置されている。
以下、領域Ｓを基板供給領域と称し、領域Ｄを基板排出
領域と称する。

【００２７】図２に示すように、昇降機構部５０は基板
供給領域Ｓ側および基板排出領域Ｄ側にそれぞれ昇降台
５５を有する。各昇降台５５の上段部５５ａおよび下段
部５５ｂにはそれぞれ回転機構部３０が配設されてい
る。

【００２８】図３は一体型カセットの斜視図であり、図
４は図３の一体型カセットの正面図であり、図５は図３
の一体型カセットの底面図である。図３〜図５におい
て、一体型カセット９０は、内部に複数枚の基板を収納
する棚（図示せず）が設けられた中空の本体９１と、本
体９１の前面の開口部を閉塞する取外し自在な扉９２と
から構成される。扉９２の表面には、一対のキー孔９３
が設けられている。このキー孔９３に後述するラッチキ
ーが差し込まれ、回転されると、図４に示すように扉９
２の上端部および下端部に設けられたロックプレート９
５が矢印に示すように上下に突出し、あるいは後退す
る。これにより、扉９２が本体９１にロックされ、ある
いはロックが解除される。

【００２９】一体型カセット９０の載置基準位置Ｆから
キー孔９３までの高さＨは一体型カセット９０の基板の
収納枚数に応じて異なる。

【００３０】また、扉９２の表面には、一対の位置決め
孔９４が形成されている。この位置決め孔９４には、扉
９２の開閉時に、後述する扉開閉機構部７０の位置決め
ピンが挿入される。一対の位置決め孔９４間の距離Ｌは
一体型カセット９０の基板の収納枚数によって異なる。

【００３１】さらに、図５に示すように、一体型カセッ
ト９０の底面には、三角形状の３つのピン孔を一組とす
る２組のピン孔９６，９７と開口部９８とが形成されて
いる。このピン孔９６，９７および開口部９８の作用に
ついては後述する。

【００３２】図６は、基板供給領域の移動機構部および
回転機構部の平面図であり、図７は、図６中のＡ−Ａ線
断面図であり、図８は、図６中のＢ−Ｂ線断面図であ
る。なお、図６および図７において回転機構部３０およ
び扉開閉機構部７０は模式的に示されている。

【００３３】移動機構部１０は、ベース１１の上方に、
Ｘ方向に移動自在なＸスライドプレート１２と、Ｙ方向
に移動自在なＹスライドプレート１６とを備えている。
ベース１１の上面には、Ｘ方向に平行に延びる一対のＸ
レール１３が取り付けられている。Ｘスライドプレート
１２の下面にはＸレール１３に係合するガイド１４が取
り付けられている。そして、ベース１１の上面に取り付
けられたエアシリンダ１５により、Ｘスライドプレート
１２がＸ方向に往復移動する。

【００３４】また、Ｘスライドプレート１２の上面には
Ｙ方向に平行に延びる一対のＹレール１８が取り付けら
れている。Ｙスライドプレート１６の下面には、Ｙレー
ル１８に係合するガイド１７が取り付けられている。そ
して、Ｘスライドプレート１２の上面に取り付けられた
エアシリンダ１９により、Ｙスライドプレート１６がＸ
スライドプレート１２に対してＹ方向に往復移動する。

【００３５】また、Ｙスライドプレート１６の上面に
は、三角形状に配置された３本の支持ピン２０が形成さ
れている。これらの支持ピン２０は、図５に示す一体型
カセット９０の裏面に形成された１組（３個）のピン孔
９７に嵌合される。これにより、Ｙスライドプレート１
６上に一体型カセット９０を支持することができる。

【００３６】移動機構部１０と回転機構部３０との間に
は一体型カセット９０の大きさを検出するためのサイズ
検出用センサ２２が設けられている。サイズ検出用セン
サ２２には透過型の光センサが用いられる。図７におい
ては、基板の収納枚数の多い大型の一体型カセット９０
を９０ａで示し、基板の収納枚数の少ない小型の一体型
カセット９０を９０ｂで示す。

【００３７】図７において、サイズ検出用センサ２２
は、主に小型の一体型カセット９０ｂを検出するための
下センサ２２ｂと、主に大型の一体型カセット９０ａを
検出するための上センサ２２ａとからなる。そして、一
体型カセット９０を支持した移動機構部１０のＹスライ
ドプレート１６がサイズ検出用センサ２２を通過する際
の上センサ２２ａおよび下センサ２２ｂからの出力によ
って一体型カセット９０の大きさが検出される。

【００３８】図９は昇降機構部の正面図である。図９に
おいて、昇降機構部５０は、フレーム５１によって鉛直
方向に支持されたボールねじ５２を有する。ボールねじ
５２の下端にはモータ５４が連結されている。さらに、
ボールねじ５２には昇降台５５がブラケット５５ｃを介
して係合されている。昇降台５５はコの字形のフレーム
材からなり、その下段部５５ｂおよび上段部５５ａにそ
れぞれ回転機構部３０が取り付けられている。また、昇
降台５５の一部は、ボールねじ５２に平行に配置された
一対のリニアガイド５３に係合している。

【００３９】モータ５４が回転すると、ボールねじ５２
が回転し、これによって昇降台５５がリニアガイド５３
に案内されて鉛直方向に昇降移動する。それによって、
昇降台５５の回転機構部３０に支持された一体型カセッ
ト９０が昇降移動される。なお、図９においては、一方
の昇降台５５のみを詳細に図示したが、これと反対側に
配置される昇降台５５およびその昇降機構部分も同様の
構造を有する。

【００４０】図１０は回転機構部の断面図である。図１
０において、回転機構部３０は、昇降台５５の上段部５
５ａまたは下段部５５ｂに固定される固定ベース３１上
に、回転自在な回動プレート３４と、回動プレート３４
の中央に配置された中央固定部４０と、回動プレート３
４の周囲を覆うカバー４８とを備える。

【００４１】回動プレート３４は、固定ベース３１の上
面に形成された環状固定部３２との間に環状のベアリン
グ３３を介して回動自在に取り付けられている。回動プ
レート３４の上面には一体型カセット９０の底面の１組
のピン孔９６（図５参照）に嵌合される３本の支持ピン
３９が形成されている。３本の支持ピン３９は、移動機
構部１０のＹスライドプレート１６上に形成された３本
の支持ピン２０よりも径の大きい円周上に配置されてい
る。これにより、Ｙスライドプレート１６上の支持ピン
２０と回動プレート３４上の支持ピン３９とが干渉する
ことなくＹスライドプレート１６と回動プレート３４と
の間で一体型カセット９０を受け渡すことができる。な
お、一体型カセット９０の受け渡し動作については後述
する。

【００４２】また、回動プレート３４の外周面にはギア
部３５が形成されている。この回動プレート３４のギア
部３５には、ピニオン３６を介してモータ３８の回転軸
に取り付けられたギア３７が係合している。モータ３８
が回転すると、モータの回転力がピニオン３６を介して
回動プレート３４に伝えられ、回動プレート３４が回転
する。これにより、回動プレート３４上の支持ピン３９
に支持された一体型カセット９０が回転する。

【００４３】また、固定ベース３１上の中央固定部４０
には、一体型カセット９０を強固に保持するための固定
部材４１が配設されている。固定部材４１の基部は回動
ピン４３に回動自在に取り付けられ、先端部には固定ば
ね４２が形成されている。回動ピン４３は、連結部材４
４を介してエアシリンダ４６のロッド４５に連結されて
いる。エアシリンダ４６の本体端部は固定ピン４７によ
り固定されている。

【００４４】エアシリンダ４６のロッド４５が伸長する
と、固定部材４１が回動ピン４３の周りに回動し、固定
ばね４２が一体型カセット９０の底面の開口部９８に設
けられた突出部９８ａに係合し、固定ばね４２の弾性力
により一体型カセット９０を回動プレート３４に対して
固定保持する。

【００４５】次に、扉開閉機構部７０について説明す
る。扉開閉機構部７０は、機能上、水平移動機構部と、
ピン切換部と、ラッチキー回動機構部とに大別される。
そこで、ここでは説明の便宜上、各機構部毎に分けて図
示して説明する。

【００４６】まず、図１１は扉開閉機構部の水平移動機
構部の側面図であり、図１１（ａ）は待機時の状態を示
し、図１１（ｂ）は扉開閉動作時の状態を示している。
図１１において、扉開閉機構部７０の水平移動機構部７
０ａは、基板収納容器供給部１の本体に固定される固定
プレート７１と、一体型カセット９０の扉９２に対して
進退移動される扉保持プレート８４とを備える。固定プ
レート７１と扉保持プレート８４との間には一対のリン
ク７２，７３が２組平行に配設されている。一対のリン
ク７２，７３は連結ピン８０により連結されている。リ
ンク７２の一端は固定プレート７１の固定ブラケット７
４に回転自在に取り付けられ、他端はスライド部材７５
に取り付けられている。スライド部材７５は、扉保持プ
レート８４の裏面８４ｂに取り付けられたレール７９に
摺動自在に取り付けられている。

【００４７】また、リンク７３の一端は扉保持プレート
８４の固定ブラケット７６に回転自在に取り付けられ、
他端はスライド部材７７に取り付けられている。スライ
ド部材７７は、固定プレート７１の表面７１ａに取り付
けられたレール７８に摺動自在に取り付けられている。
さらに、一対のスライド部材７７は連結部材８３に連結
されている。連結部材８３には、固定プレート７１の表
面７１ａに配設されたエアシリンダ８１のロッド８２が
連結されている。

【００４８】さらに、扉保持プレート８４には、２組の
位置決めピン８６，８７と、ラッチキー１２１とが形成
されている。位置決めピン８６，８７はそれぞれ２個形
成されており、後述するピン切換部８５により選択され
た一方の位置決めピンが一体型カセット９０の扉９２の
位置決め孔９４に挿入される。これにより扉９２と扉保
持プレート８４との位置決めが行われる。

【００４９】また、ラッチキー１２１は所定位置に２個
設けられており、一体型カセット９０の扉９２に設けら
れたキー孔９３に挿入され、一体型カセット９０の本体
９１と扉９２とのロックを解除するとともに扉９２を扉
保持プレート８４に保持させる。

【００５０】図１１（ａ）に示すように、エアシリンダ
８１のロッド８２が伸長された状態では、リンク７２，
７３が折り畳まれ、扉保持プレート８４が一体型カセッ
ト９０の扉９２から離間している。図１１（ｂ）に示す
ように、エアシリンダ８１のロッド８２が縮退される
と、リンク７２，７３が延ばされ、扉保持プレート８４
が一体型カセット９０の扉９２に密着する。さらに、エ
アシリンダ８１のロッド８２が再び伸長されると、扉保
持プレート８４が扉９２を一体型カセット９０の本体９
１から取り外して後退する。

【００５１】次に、ピン切換部について説明する。図１
２は、扉開閉機構部のピン切換部の側面図であり、図１
３は扉保持プレートの正面図である。なお、ピン切換部
８５は扉保持プレート８４に２組設けられているが、図
１２では１組のみ図示している。このピン切換部８５は
一体型カセット９０の大きさに対応した位置決めピンを
選択するための機構を有している。

【００５２】すなわち、図４で示した一体型カセット９
０の扉９２に形成された一対の位置決め孔９４間の距離
Ｌは、一体型カセット９０の大きさによって異なる。例
えば、１３枚の基板を収納する一体型カセット９０に比
べると、２５枚の基板を収納する一体型カセット９０の
位置決め孔９４間の距離Ｌは大きくなる。それゆえ、一
体型カセット９０の扉９２の位置決め孔間の距離Ｌに応
じて扉保持プレート８４の位置決めピン８６，８７を切
り換える必要がある。

【００５３】そこで、ピン切換部８５は、扉保持プレー
ト８４を貫通して移動可能な位置決めピン８６，８７
と、位置決めピン８６，８７のいずれか一方側を突出さ
せる揺動プレート１１１と、揺動プレート１１１を揺動
させるエアシリンダ１１３とを備えている。揺動プレー
ト１１１は扉保持プレート８４の裏面８４ｂに固定され
た支持ブラケット１１０に揺動自在に取り付けられ、３
つの腕部のうちの１つの腕部１１１ａに位置決めピン８
６が連結され、他の１つの腕部１１１ｂに位置決めピン
８７が連結され、残りの腕部１１１ｃにエアシリンダ１
１３のロッド１１２の先端が連結されている。

【００５４】このような構造により、エアシリンダ１１
３のロッド１１２が伸長すると、一方の位置決めピン８
６のみが扉保持プレート８４の表面８４ａから突出し、
一体型カセット９０の扉９２の位置決め孔９４に挿入さ
れ、扉保持プレート８４と扉９２とが位置決めされる。
また、エアシリンダ１１３のロッド１１２が縮退する
と、他方の位置決めピン８７のみが扉保持プレート８４
の表面８４ａから突出し、一体型カセット９０の扉９２
の位置決め孔９４に挿入され、扉保持プレート８４と扉
９２とが位置決めされる。

【００５５】次に、ラッチキー回動機構部について説明
する。図１４は回転機構部と反対側から見たラッチキー
回動機構部の正面図である。ラッチキー回動機構部１１
５は、ラッチキー１２１およびラッチキー１２１を回動
させる機構部から構成され、ラッチキー１２１を図４に
示す一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３に挿入し
て回動することによって扉９２のロックを解除し、かつ
扉９２を保持する。

【００５６】ラッチキー１２１の先端は扉保持プレート
８４の表面８４ａから突出しており、基部は扉保持プレ
ート８４の裏面８４ｂ側において揺動プレート１１６の
回転ピン１１６ａおよび揺動プレート１１８の回転ピン
１１８ａに一体的に接続されている。また、揺動プレー
ト１１６の先端部１１６ｂと揺動プレート１１８の先端
部１１８ｂとが連結棒１１７によって連結されている。
さらに、揺動プレート１１８の他の先端部１１８ｃには
エアシリンダ１１９のロッド１２０の先端部が連結され
ている。

【００５７】このような構造により、図１４においてエ
アシリンダ１１９のロッド１２０が伸長すると、揺動プ
レート１１８，１１６が時計方向に回動し、ラッチキー
１２１が時計方向に回動する。また、ロッド１２０が縮
退すると、揺動プレート１１８，１１６が反時計方向に
回動し、ラッチキー１２１も同じ方向に回動する。ラッ
チキー１２１が一体型カセット９０の扉９２のキー孔９
３に挿入された状態でラッチキー１２１を回動させるこ
とにより、扉９２と本体９１とのロックを解除し、かつ
扉９２を保持することができる。

【００５８】図１５は、基板処理装置の制御系のブロッ
ク図である。基板処理装置は、移動機構部１０のＸスラ
イドプレート１２およびＹスライドプレート１６を駆動
するエアシリンダ１５，１９を制御する移動機構コント
ローラ２１０、昇降機構部５０の昇降台５５を昇降移動
させるモータ５４を駆動する昇降機構コントローラ２５
０、回転機構部３０の回動プレート３４を回転させるモ
ータ３８の動作を制御する回転機構コントローラ２３
０、扉開閉機構部７０の各エアシリンダ８１，１１３，
１１９の動作を制御する扉開閉機構コントローラ２１
５、および基板処理部２の基板搬送ロボット４を駆動す
る基板搬送コントローラ２０４を備えている。移動機構
コントローラ２１０、昇降機構コントローラ２５０、扉
開閉機構コントローラ２１５、回転機構コントローラ２
３０および基板搬送コントローラ２０４は制御部１３０
に接続され、制御部１３０によって各コントローラの動
作が制御される。さらに、制御部１３０には一体型カセ
ット９０の大きさを検出するサイズ検出用センサ２２が
接続されている。

【００５９】以上の構成において、基板収納容器供給部
１が本発明の基板収納容器供給装置に相当し、一体型カ
セット９０が本発明の基板収納容器に相当し、扉開閉機
構部７０が取り外し手段に相当し、回転機構部３０が移
動手段に相当する。さらに、回動プレート３４および支
持ピン３９が本発明の移動手段の支持部に相当し、モー
タ３８が回転手段に相当する。さらに、回転機構部３０
に保持された一体型カセット９０の開口部が扉開閉機構
部７０に正対した位置が本発明の扉取り外し位置に相当
し、一体型カセット９０の開口部が基板搬送ロボット４
に正対した位置が基板供給位置に相当する。

【００６０】以下、基板収納容器供給装置の動作につい
て説明する。図１６〜図１８は基板収納容器供給部の一
体型カセットの搬入搬出動作の説明図である。なお、以
下の動作は図１５に示す制御部１３０によって制御され
る。

【００６１】まず、図１６（ａ）に示すように、外部の
搬送ロボットにより搬送された一体型カセット９０が移
動機構部１０のＹスライドプレート１６（図６参照）上
に載置される。搬送ロボットは一体型カセット９０の扉
９２が基板処理部２側に向くように移動機構部１０に一
体型カセット９０を供給する。

【００６２】次に、図１６（ｂ）に示すように、移動機
構部１０は、Ｘスライドプレート１２およびＹスライド
プレート１６により一体型カセット９０を矢印Ｃに沿っ
て移動させて回転機構部３０側に搬送する。そして、移
動機構部１０のＹスライドプレート１６と回転機構部３
０との間で一体型カセット９０の受け渡しを行う。

【００６３】図１９は一体型カセットの受け渡し動作の
説明図である。図１９（ａ）に示すように、昇降台５５
は、回転機構部３０の支持ピン３９が移動機構部１０の
Ｙスライドプレート１６上の一体型カセット９０に衝突
しない下方の位置に待機している。そして、Ｙスライド
プレート１６が回転機構部３０の上方に一体型カセット
９０を保持して移動する。

【００６４】次に、図１９（ｂ）に示すように、回転機
構部３０はモータ５４（図９参照）を駆動し、昇降台５
５を上昇させる。これにより、回転機構部３０の支持ピ
ン３９が一体型カセット９０の底面のピン孔９７に嵌合
され、一体型カセット９０をＹスライドプレート１６の
上方に持ち上げる。これにより、Ｙスライドプレート１
６の支持ピン２０が一体型カセット９０のピン孔９６か
ら離脱する。

【００６５】その後、図１９（ｃ）に示すように、Ｙス
ライドプレート１６が元の位置に水平移動する。以上の
動作により、一体型カセット９０がＹスライドプレート
１６から回転機構部３０の回動プレート３４に受け渡さ
れる。

【００６６】さらに、図１６（ｃ）に示すように、回転
機構部３０に受け渡された一体型カセット９０は、回動
プレート３４の回転により１８０°回転され、扉９２が
扉開閉機構部７０に正対する位置に停止される。この位
置を扉取り外し位置と称する。そして、扉開閉機構部７
０により扉９２が本体９１から取り外される。

【００６７】図２０は回転機構部と扉開閉機構部との位
置合わせ動作の説明図である。制御部１３０は、サイズ
検出用センサ２２からの出力に基づき一体型カセット９
０の大きさを検出し、載置基準位置Ｆからキー孔９３ま
での高さＨを求める。そして、回転機構部３０のモータ
５４を駆動して昇降台５５を昇降移動させ、回転機構部
３０上の一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３の鉛
直方向の位置と、扉開閉機構部７０のラッチキー１２１
の鉛直方向の位置とを一致させる。

【００６８】図２１は扉の取外し動作の説明図である。
図２１（ａ）に示すように、制御部１３０は扉開閉機構
コントローラ１５を駆動し、サイズ検出用センサ２２に
より検出された一体型カセット９０の大きさに応じた位
置決めピン８６，８７を選択する。ここでは、大型の一
体型カセット９０に対応した位置決めピン８６が選択さ
れるものとする。この場合、扉保持プレート８４からは
一対の位置決めピン８６が突出する。

【００６９】次に、図２１（ｂ）に示すように、エアシ
リンダ８１のロッド８２が縮退され、リンク７２，７３
が前方に延ばされる。これにより、扉保持プレート８４
が扉９２に密着し、位置決めピン８６が扉９２の位置決
め孔９４内に挿入され、扉保持プレート８４と扉９２と
の位置が定められる。また同時にラッチキー１２１が扉
９２のキー孔９３に挿入される。そして、ラッチキー回
動機構部１１５によりラッチキー１２１が回動され、扉
９２のロックが解除される。

【００７０】その後、図２１（ｃ）の示すように、エア
シリンダ８１のロッド８２が再び伸長され、扉保持プレ
ート８４は扉９２を保持した状態で後退する。これによ
り、一体型カセット９０の前面が開放される。

【００７１】さらに、図１７に示すように、扉９２が取
り外されると、回転機構部３０は回動プレート３４を回
転し、一体型カセット９０の開口部が基板処理部２の基
板搬送ロボット４に正対する位置に一体型カセット９０
を停止させる。この位置を基板供給位置と称する。ま
た、基板排出領域Ｄの回転機構部３０には処理済み基板
を収納するための空の一体型カセット９０が所定のタイ
ミングで図示の状態に設定されている。

【００７２】この状態で基板処理部２による基板の処理
が開始される。基板搬送ロボット４は基板が収納された
基板供給領域Ｓの一体型カセット９０から基板を取り出
し、所定の処理ユニット３に搬送する。また、処理ユニ
ット３によって処理された基板を基板排出領域Ｄの一体
型カセット９０の内部に収納する。この動作を繰り返し
行う。これにより、基板供給領域Ｓの一体型カセット９
０が空になり、基板排出領域Ｄの一体型カセット９０に
処理済みの基板が収納される。

【００７３】次に、基板排出領域Ｄの一体型カセット９
０の排出工程に移る。図１８（ａ）に示すように、回転
機構部３０が回動プレート３４を回転し、一体型カセッ
ト９０の開口部が扉開閉機構部７０に正対する位置に停
止させる。そして、図２２に示す扉の取り外し動作と逆
の動作を行い、扉開閉機構部７０に保持された扉９２を
一体型カセット９０の開口部に取り付ける。これによ
り、一体型カセット９０が密閉される。

【００７４】さらに、図１８（ｂ）に示すように、回転
機構部３０が一体型カセット９０を１８０°回転させ
る。そして、移動機構部１０が駆動され、Ｙスライドプ
レート１６が回転機構部３０に移動する。そして、図１
９に示す一体型カセット９０の受け渡し動作と逆の動作
により、一体型カセット９０を回転機構部３０からＹス
ライドプレート１６へ引き渡す。

【００７５】さらに、図１８（ｃ）に示すように、移動
機構部１０が矢印Ｅに沿ってＹ方向に移動し、さらにＸ
方向と反対方向に移動して基板収納容器供給部１の排出
位置に一体型カセット９０を待機させる。

【００７６】処理済みの基板が収納された一体型カセッ
ト９０はさらに搬送ロボットに受け渡され、次の工程へ
移送される。

【００７７】以上の動作により、一体型カセット９０に
収納された基板は、基板収納容器供給部１から基板処理
部２に供給され、処理済みの基板が基板処理部２から空
の一体型カセット９０に収納され、基板収納容器供給部
１から排出される。

【００７８】本実施例による基板収納容器供給部１にお
いては、扉開閉機構部７０が一体型カセット９０の基板
処理部２側への基板の供給位置にある回転機構部３０を
挟んで基板処理部２と反対側に配置されている。このた
め、扉開閉機構部７０をクリーンルーム内の通路側に配
置することが可能となり、作業者が容易に接近すること
ができる。これにより、扉開閉機構部７０の保守容易性
が向上する。

【００７９】また、扉開閉機構部７０は一体型カセット
９０の前面から扉９２を取り外し、水平方向に短い距離
だけ移動させた状態で保持する。このため、扉開閉機構
部７０は扉９２の水平方向の移動機構のみから構成され
ることになり、鉛直方向への移動機構も必要とする従来
の扉開閉機構部に比べて構成が簡素化される。

【００８０】また、本実施例による基板収納容器供給部
１においては、サイズ検出用センサ２２により一体型カ
セット９０の大きさを検出し、これに応じて扉開閉機構
部７０と一体型カセット９０との鉛直方向の位置調整を
行うように構成されている。これにより、大きさの異な
る一体型カセット９０が投入された場合でも、支障なく
取り扱うことができる。

【００８１】さらに、本実施例による基板収納容器供給
部１においては、回転機構部３０により一体型カセット
９０を扉開閉機構部７０に正対する扉取り外し位置と、
基板搬送ロボット４に正対する基板供給位置とに回転移
動させることができる。このため、扉開閉機構部７０を
基板処理部２と反対側に配置することが可能となるとと
もに、基板収納容器供給部１を小型化することができ
る。

【００８２】さらに、上記実施例においては、扉開閉機
構部７０はリンク機構を用いて扉保持プレート８４を移
動させる構成について説明したが、他の機構を用いて構
成してもよい。例えば、図２２は扉開閉機構部の他の実
施例を示す平面図である。この実施例による扉開閉機構
部７０は、リンク機構を使用せず直接エアシリンダ１４
０によって扉保持プレート８４を水平移動させるもので
ある。エアシリンダ１４０の先端は扉保持プレート８４
の裏面８４ｂに固定されている。また、エアシリンダ１
４０の両側には一対のリニアガイド１４１が設けられて
いる。これにより、扉保持プレート８４が固定プレート
７１に対して平行に移動される。なお、この扉開閉機構
部７０において、ピン切換部８５およびラッチキー回動
機構部１１５の構成は図１２〜図１４に示す実施例の構
成と同様の構成を用いることができる。

【００８３】また、扉開閉機構部７０は、図１に示す位
置のみならず、例えば図２３に示すように、移動機構部
１０の側面側に配置してもよい。この場合にも、作業者
が扉開閉機構部７０に接近することが容易となり、保守
容易性を向上することができる。なお、この場合には、
一体型カセット９０は扉９２が扉開閉機構部７０に正対
する向きで基板収納容器供給部１に供給される。

【００８４】さらに、扉開閉機構部７０は、図２４に示
すように、基板収納容器供給部１の一体型カセット９０
が搬送ロボットから供給される位置と基板処理部２との
間および一体型カセット９０が搬送ロボットへ排出され
る位置と基板処理部２との間に設けられてもよい。この
場合、供給された一体型カセット９０は、水平移動自在
な支持部に支持され、扉開閉機構部７０により扉９２が
取り外された後、直線駆動手段（図示せず）によって、
基板搬送ロボット４への基板供給位置に直線移動され
る。また、基板排出用の一体型カセット９０（図示せ
ず）は、水平移動自在な支持部に支持され、扉開閉機構
部７０により扉９２が取り外された後、直線駆動手段
（図示せず）によって基板搬送ロボット４に正対する位
置に直線移動される。このような構成によっても、扉開
閉機構部７０への保守作業を容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による基板収納容器供給部を備
えた基板処理装置の模式的平面図である。

【図２】図１の基板処理装置の模式的側面図である。

【図３】一体型カセットの斜視図である。

【図４】図３の一体型カセットの正面図である。

【図５】図３の一体型カセットの底面図である。

【図６】移動機構部近傍の平面図である。

【図７】図６中のＡ−Ａ線断面図である。

【図８】図６中のＢ−Ｂ線断面図である。

【図９】昇降機構部の正面図である。

【図１０】回転機構部の断面図である。

【図１１】扉開閉機構部の水平移動機構部の側面図であ
る。

【図１２】扉開閉機構部のピン切換部の側面図である。

【図１３】扉保持プレートの正面図である。

【図１４】回転機構部と反対側から見たラッチキー回動
機構部の正面図である。

【図１５】基板処理装置の制御系のブロック図である。

【図１６】基板収納容器供給部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１７】基板収納容器供給部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１８】基板収納容器供給部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１９】移動機構部と回転機構部との一体型カセット
の受渡し動作の説明図である。

【図２０】回転機構部と扉開閉機構部との位置合わせ動
作の説明図である。

【図２１】扉開閉機構部の扉開閉動作の説明図である。

【図２２】本発明の他の実施例による扉開閉機構部の平
面図である。

【図２３】本発明の他の実施例による基板処理装置の模
式的平面図である。

【図２４】本発明のさらに他の実施例による基板処理装
置の模式的平面図である。

【図２５】従来の基板処理装置への基板搬入動作を示す
模式図である。

【図２６】従来の扉開閉機構部の斜視図である。

【符号の説明】

１ 基板収納容器供給部 ２ 基板処理部 ３ 処理ユニット ４ 基板搬送ロボット １０ 移動機構部 １２ Ｘスライドプレート １６ Ｙスライドプレート ２０ 支持ピン ２２ サイズ検出用センサ ３０ 回転機構部 ３４ 回動プレート ３９ 支持ピン ５０ 昇降機構部 ５２ ボールねじ ５４ モータ ５５ 昇降台 ７０ 扉開閉機構部 ７１ 固定プレート ８４ 扉保持プレート ８５ ピン切換部 ８６，８７ 位置決めピン ９０ 一体型カセット ９１ 本体 ９２ 扉 ９３ キー孔 ９４ 位置決め孔 ９６，９７ ピン孔 １１５ ラッチキー回動機構部 １２１ ラッチキー

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 取り外し自在な扉で閉塞された開口部を
   有し、複数の基板を収納する基板収納容器を基板処理部
   へ基板を供給するための基板供給位置に供給する基板収
   納容器供給装置であって、 前記基板供給位置と異なる扉取り外し位置で前記基板収
   納容器から前記扉を取り外す取り外し手段と、 前記取り外し手段により前記扉が取り外された前記基板
   収納容器を前記扉取り外し位置から前記基板供給位置に
   移動させる移動手段とを備え、 前記取り外し手段は、前記移動手段による前記扉取り外
   し位置から前記基板供給位置への前記基板収納容器の移
   動経路に干渉しない位置に配設されたことを特徴とする
   基板収納容器供給装置。
2. 【請求項２】 前記移動手段は、 前記基板収納容器を支持する支持部と、 前記支持部を回転させて前記基板収納容器を前記扉取り
   外し位置から前記基板供給位置に回転移動させる回転手
   段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の基板収納
   容器供給装置。
3. 【請求項３】 前記基板供給位置および前記扉取り外し
   位置は、前記支持部の回転軸を中心とする円周上に配置
   され、 前記取り外し手段は、前記円周の外側で前記扉取り外し
   位置にある前記基板収納容器の開口部に対向するように
   配設されたことを特徴とする請求項２記載の基板収納容
   器供給装置。
4. 【請求項４】 前記取り外し手段は、前記支持部を挟ん
   で前記基板供給位置にある前記基板収納容器の開口部側
   と反対側に配設されたことを特徴とする請求項２または
   ３記載の基板収納容器供給装置。
5. 【請求項５】 前記移動手段は、 前記基板収納容器を支持する支持部と、 前記支持部を直線移動させて前記基板収納容器を前記扉
   取り外し位置から前記基板供給位置に直線移動させる直
   線駆動手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の
   基板収納容器供給装置。
6. 【請求項６】 前記基板供給位置および前記扉取り外し
   位置は所定の直線上に配置され、 前記取り外し手段は、前記所定の直線の側方で前記扉取
   り外し位置にある前記基板収納容器の開口部に対向する
   ように配設されたことを特徴とする請求項５記載の基板
   収納容器供給装置。