JPH1167863A - 基板収納容器搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異なる種類の基板収納容器を取り扱うことが
可能な基板収納容器搬送装置および基板処理装置を提供
する。 【解決手段】 基板収納容器の型式を検出する型式検出
用センサ２１と基板収納容器のサイズを検出するサイズ
検出用センサ２２を備え、基板収納容器が一体型カセッ
ト９０の場合には、回転機構部３０に一体型カセット９
０を支持し、カセットのサイズに応じて扉開閉機構部７
０と一体型カセット９０の扉９２との鉛直位置を調整し
て扉９２を取り外し、基板供給位置に一体型カセット９
０を移動させる。基板収納容器がオープン型カセット１
００の場合には、基板供給位置の回転機構部３０に支持
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の基板を収納
する種々の基板収納容器を搬送する基板収納容器搬送装
置およびそれを備えた基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示用ガラス基板、
フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等
の基板に種々の処理を行うために基板処理装置が用いら
れている。この基板処理装置には、複数の基板を収納す
る基板収納容器を用いて基板が供給される。また、処理
済みの基板は基板収納容器に収納されて基板処理装置か
ら搬出される。

【０００３】基板処理装置では、基板収納容器内の基板
を基板処理部の処理ユニットに供給するために基板収納
容器搬送部が設けられている。

【０００４】図２７は、従来の基板収納容器搬送部を備
えた基板処理装置の基板搬入動作を示す模式図である。
図２７の基板処理装置において、基板収納容器搬送部１
６０は基板処理部１５０の一端に配置され、カセット載
置部１６１および扉開閉機構部１６２から構成されてい
る。カセット載置部１６１の下方には電装系ユニット１
８０が設けられている。

【０００５】この基板収納容器搬送部１６０は、取り外
し自在な扉を有し、かつ内部に多数の基板を収納するい
わゆる一体型カセットと呼ばれる型式の基板収納容器を
取り扱うように構成されている。

【０００６】搬送ロボットにより搬送された一体型カセ
ット１７０は、カセット載置部１６１上の所定位置に供
給される。そして、扉開閉機構部１６２が一体型カセッ
ト１７０の扉を取り外して一体型カセット１７０の前面
の開口部を開放する。

【０００７】これにより、基板処理部１５０に配設され
た基板搬送ロボットにより一体型カセット１７０内から
基板が取り出される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年で
は、基板の大型化や基板処理工程の無人化、自動化の進
展に伴って、種々の基板収納容器が提案されている。例
えば、上記の一体型カセットに加え、開口された筐体の
内側に設けた棚に複数の基板を収納するいわゆるオープ
ン型カセットが提案されている。また、一体型およびオ
ープン型カセットには、それぞれ基板の収納枚数が１３
枚用の小型、あるいは２５枚用の大型のものも提案され
ている。

【０００９】さらに、半導体装置の製造工程では、製造
設備の稼動率を高めるために連続処理が進展し、１つの
製造装置に対して種々の半導体装置の製造工程が組み合
わせられることとなる。このため、基板処理装置に対し
ても種々の基板収納容器が搬送されることが予想され
る。

【００１０】これに対し、従来の基板収納容器搬送部１
６０は特定の種類の基板収納容器を対象に構成されてい
る。このため、種類の異なる基板収納容器が搬送された
場合には対応できないという不都合がある。

【００１１】本発明の目的は、異なる種類の基板収納容
器を取り扱うことが可能な基板収納容器搬送装置および
基板処理装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板収納容器搬送装置は、複数の基板を収納
する基板収納容器を搬送する基板収納容器搬送装置であ
って、基板収納容器を支持する支持部と、支持部を第１
の位置から第２の位置へ移動させる移動手段と、支持部
に支持された基板収納容器の種類を識別する識別手段と
を備えたものである。

【００１３】第１の発明に係る基板収納容器搬送装置に
おいては、移動手段によって移動させられる支持部に支
持される基板収納容器の種類が識別手段によって識別さ
れる。このため、基板収納容器の種類に応じて基板収納
容器を取り扱うことができる。これにより、異なる種類
の基板収納容器が搬送される半導体装置等の製造設備に
基板収納容器搬送装置を適用することができる。

【００１４】第２の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、第１の基板収納容器搬送装置の構成において、基板
収納容器の種類は、開放された開口部を有する容器本体
からなる開放型および取り外し自在な扉で閉塞された開
口部を有する容器本体からなる一体型を含み、識別手段
は、支持部上の所定の水平位置における物体の有無を検
知する検知手段と、検知手段の出力に基づいて支持部上
に支持された基板収納容器が開放型であるか一体型であ
るかを判別する判別手段とを含むものである。

【００１５】開放型の基板収納容器と一体型の基板収納
容器では水平面内の形状が異なる。このため、検知手段
が所定の水平位置における物体の有無を検知し、この検
知手段の出力に基づいて判別手段が基板収納容器が開放
型であるか一体型であるかを判別することができる。こ
れにより、基板収納容器搬送装置は開放型および一体型
の基板収納容器にそれぞれ対応した取り扱いを行うこと
ができる。

【００１６】第３の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、第２の発明に係る基板収納容器搬送装置の構成にお
いて、支持部上に支持された一体型の基板収納容器の扉
を所定の取り外し位置で取り外す取り外し手段を備え、
移動手段は、支持部上に支持された基板収納容器が一体
型であると判別手段が判別した場合に、支持部上の基板
収納容器の取り外し位置に移動させるものである。

【００１７】この場合には、判別手段によって一体型と
判別された基板収納容器は移動手段により取り外し位置
に移動され、取り外し手段によって扉が取り外される。
これにより、基板収納容器内から基板の取り出しが可能
となる。

【００１８】第４の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、第１の発明に係る基板収納容器搬送装置の構成にお
いて、基板収納容器の種類は、基板の収納枚数に応じた
複数のサイズを含み、識別手段は、支持部上の所定高さ
における物体の有無を検知する検知手段と、検知手段の
出力に基づいて支持部上に支持された基板収納容器のサ
イズを判別する判別手段とを含むものである。

【００１９】基板収納容器は基板の収納枚数に応じて高
さ方向に異なるサイズに形成されている。このため、検
知手段が所定高さにおける物体の有無を検知し、この検
知手段の出力に基づいて判別手段が基板収納容器のサイ
ズを判別することにより、異なるサイズの基板収納容器
を取り扱うことが可能となる。

【００２０】第５の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、第１の発明に係る基板収納容器搬送装置の構成にお
いて、基板収納容器の種類は、開放された開口部を有す
る容器本体からなる開放型、取り外し自在な扉で閉塞さ
れた開口部を有する容器本体からなる一体型および基板
の収納枚数に応じた複数のサイズを含み、識別手段は支
持部上の所定の水平位置における物体の有無を検知する
第１の検知手段と、支持部上の所定高さにおける物体の
有無を検知する第２の検知手段と、第１の検知手段の出
力に基づいて支持部上に支持された基板収納容器が開放
型であるか一体型であるかを判別する第１の判別手段
と、第２の検知手段の出力に基づいて支持部上に支持さ
れた基板収納容器のサイズを判別する第２の判別手段と
を備えたものである。

【００２１】この場合、第１の検知手段および第１の判
別手段が基板収納容器の一体型および開放型の種類を判
別し、また第２の検知手段および第２の判別手段が基板
収納容器のサイズを判別する。これにより、開放型、一
体型およびサイズがそれぞれ異なる基板収納容器を適切
に取り扱うことが可能となる。

【００２２】第６の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、第５の発明に係る基板収納容器搬送装置の構成にお
いて、一体型の基板収納容器の扉を所定の取り外し位置
で取り外す取り外し手段をさらに備え、支持部上に支持
された基板収納容器が一体型であると第１の判別手段が
判別した場合に、支持部上の基板収納容器を取り外し位
置に移動させるとともに、第２の判別手段の判別結果に
基づいて取り外し手段による支持部上の基板収納容器か
らの扉の取り外しが可能となるように取り外し手段と支
持部とを相対的に移動させるものである。

【００２３】この場合、一体型の基板収納容器は扉取り
外し位置に移動され、さらに扉取り外し手段との相対的
な位置調整が行われた後、扉が取り外される。これによ
り、一体型の基板収納容器内の基板が取り出し可能な状
態に設定できる。

【００２４】第７の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、第１の発明に係る基板収納容器搬送装置の構成にお
いて、識別手段は、基板収納容器の表面に形成された基
板収納容器の種類の情報を読み取る情報読み取り手段と
情報読み取り手段の出力に基づいて支持部上に支持され
た基板収納容器の種類を判別する判別手段とを備えたも
のである。

【００２５】この場合、情報読み取り手段が基板収納容
器の表面に形成された情報を読み取り、情報読み取り手
段の出力に基づいて判別手段が基板収納容器の種類を判
別する。これにより、基板収納容器の種類が判別され、
判別された種類に応じて基板収納容器を適切に取り扱う
ことができる。

【００２６】第８の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、複数の基板を収納する基板収納容器を搬送する基板
収納容器搬送装置であって、第１の位置から第２の位置
に基板収納容器を移動させる移動手段と、基板収納容器
の種類を識別する識別手段と、識別手段によって識別さ
れた基板収納容器の種類に応じて移動手段の移動速度を
変化させる制御手段とを備えたものである。

【００２７】第８の発明に係る基板収納容器搬送装置に
おいては、基板収納容器の種類に応じて、制御手段が移
動手段の移動速度を変化させる。これにより、高速度で
の移動が可能な基板収納容器に対して高速で移動させる
ことにより基板収納容器搬送装置における基板収納容器
の搬送動作を効率良く行うことができる。また、高速移
動に適さない基板収納容器の場合には、比較的低速度で
移動させることにより、基板収納容器の種類に応じた適
切な基板収納容器の搬送動作を行うことができる。

【００２８】第９の発明に係る基板収納容器搬送装置
は、第８の発明に係る基板収納容器搬送装置の構成にお
いて、基板収納容器の種類は、開口された開口部を有す
る容器本体からなる開放型および取り外し自在な扉で閉
塞された開口部を有する容器本体からなる一体型を含
み、識別手段は、移動手段上の所定の水平位置における
対象物の有無を検知する検知手段と、検知手段の出力に
基づいて移動手段に支持された基板収納容器が開放型で
あるか一体型であるかを判別する判別手段とをさらに備
え、制御手段は、基板収納容器が一体型であると判別さ
れた場合に、基板収納容器が開放型と判別された場合よ
りも移動手段の移動速度が速くなるように移動手段の動
作を制御するものである。

【００２９】この場合、扉で閉塞された一体型の基板収
納容器は比較的高速度で移動され、それによって基板収
納容器の搬送動作を効率的に行うことができる。また、
開口部が開放された開放型の基板収納容器の場合には、
比較的低速度で移動され、それによって容器本体から基
板が離脱することが防止され、安全に基板収納容器を搬
送することができる。

【００３０】第１０の発明に係る基板処理装置は、基板
に対して所定の処理を行う基板処理部と、基板処理部に
隣接し、かつ複数の基板を収納した基板収納容器を搬入
するための搬入位置から基板処理部に対して基板を供給
するための基板供給位置へ基板収納容器を搬送させる基
板収納容器搬送部と、基板供給位置にある基板収納容器
に収納された基板を基板処理部へ搬送する基板搬送手段
とを備え、基板収納容器搬送部は、基板収納容器を支持
する支持部と、支持部を搬入位置から基板供給位置へ移
動させる移動手段と、支持部に支持された基板収納容器
の種類を識別する識別手段とを備えるものである。

【００３１】第１０の発明に係る基板処理装置において
は、基板収納容器搬送部が備える移動手段によって移動
させられる支持部に支持される基板収納容器の種類が識
別手段によって識別される。このため、基板収納容器の
種類に応じて基板収納容器を取り扱うことができる。こ
れにより、異なる種類の基板収納容器に対応した基板処
理装置を提供できる。

【００３２】第１１の発明に係る基板処理装置は、第１
０の基板処理装置の構成において、識別手段によって識
別された基板収納容器の種類に応じて支持部と基板搬送
手段とを相対的に移動させて、支持部と基板搬送手段と
の位置の調整を行う調整手段をさらに備えるものであ
る。

【００３３】第１１の発明に係る基板処理装置において
は、識別手段によって識別された基板収納容器の種類に
応じて、調整手段が支持部と基板搬送手段とを相対的に
移動させて、両者の位置の調整を行う。これにより、基
板搬送手段によって基板収納容器に収納された基板をス
ムーズに基板処理部へ搬送することができる。

【００３４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例による基
板収納容器搬送装置を備えた基板処理装置の模式的平面
図であり、図２は図１の基板処理装置の模式的側面図で
ある。以下の説明において、水平面内の互いに直交する
２方向をＸ方向およびＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向と
する。また、Ｘ方向は、基板収納容器搬送部１と基板処
理部２とが整列された方向を示し、Ｙ方向はＸ方向に直
交する方向を示すものとする。

【００３５】図１および図２において、基板処理装置
は、基板収納容器搬送部１と基板処理部２とを備える。
基板処理部２は、回転式塗布ユニット、現像ユニット、
基板加熱ユニットあるいは基板冷却ユニット等の種々の
処理ユニット３が基板搬送ロボット４を中心とした円周
状に配置されてなる。基板搬送ロボット４は基板を保持
するアーム４ａを備える。このアーム４ａは、水平面内
で各処理ユニット３および基板収納容器搬送部１側に進
退移動可能であり、さらにＺ方向に昇降移動可能かつ鉛
直軸周りに回動可能に構成されている。これにより、基
板搬送ロボット４はアーム４ａに基板を保持して処理ユ
ニット３と基板収納容器搬送部１との間で基板を受け渡
すことができる。

【００３６】また、基板収納容器搬送部１は基板処理部
２のＸ方向の一方端部に配置され、移動機構部１０、回
転機構部３０、昇降機構部５０および扉開閉機構部７０
から構成されている。なお、図２においては、扉開閉機
構部７０の図示を省略している。

【００３７】移動機構部１０、回転機構部３０および扉
開閉機構部７０は昇降機構部５０の両側の領域Ｓ，Ｄに
対称に配置されている。一方の領域Ｓには、基板収納容
器を基板処理部２側へ搬送するための移動機構部１０、
回転機構部３０、扉開閉機構部７０および昇降機構部５
０が配置され、他方の領域Ｄには、処理済みの基板を収
納した基板収納容器を基板処理装置の外部に排出するた
めの移動機構部１０、回転機構部３０、扉開閉機構部７
０および昇降機構部５０が配置されている。以下、領域
Ｓを基板供給領域と称し、領域Ｄを基板排出領域と称す
る。

【００３８】図２に示すように、昇降機構部５０は基板
供給領域Ｓ側および基板排出領域Ｄ側にそれぞれ昇降台
５５を有する。各昇降台５５の上段部５５ａおよび下段
部５５ｂにはそれぞれ回転機構部３０が配設されてい
る。

【００３９】基板収納容器搬送部１は異なる種類の基板
収納容器を取り扱うことが可能である。基板収納容器の
種類には型式およびサイズが含まれ、型式にはいわゆる
一体型とオープン型とがある。また、基板収納容器のサ
イズには１３枚の基板を収納可能な小型および２５枚の
基板を収納可能な大型とがある。

【００４０】図３は一体型カセットの斜視図であり、図
４は図３の一体型カセットの正面図であり、図５は図３
の一体型カセットの底面図である。図３〜図５におい
て、一体型カセット９０は、内部に複数枚の基板を収納
する棚（図示せず）が設けられた中空の本体９１と、本
体９１の前面の開口部を閉塞する取外し自在な扉９２と
から構成される。扉９２の表面には、一対のキー孔９３
が設けられている。このキー孔９３に後述するラッチキ
ーが差し込まれ、回転されると、図４に示すように扉９
２の上端部および下端部に設けられたロックプレート９
５が矢印に示すように上下に突出し、あるいは後退す
る。これにより、扉９２が本体９１にロックされ、ある
いはロックが解除される。

【００４１】一体型カセット９０の載置基準位置Ｆから
キー孔９３までの高さＨは一体型カセット９０の基板の
収納枚数、すなわち大型か小型かのサイズに応じて異な
る。

【００４２】また、扉９２の表面には、一対の位置決め
孔９４が形成されている。この位置決め孔９４には、扉
９２の開閉時に、後述する扉開閉機構部７０の位置決め
ピンが挿入される。一対の位置決め孔９４間の距離Ｌは
一体型カセット９０の種類によって異なる。

【００４３】さらに、図５に示すように、一体型カセッ
ト９０の底面には、三角形状の３つのピン孔を一組とす
る２組のピン孔９６，９７と開口部９８とが形成されて
いる。このピン孔９６，９７および開口部９８の作用に
ついては後述する。

【００４４】図６は、オープン型カセットの斜視図であ
る。オープン型カセット１００は、全面および後面が開
放された容器本体１０１を有する。容器本体１０１の平
面形状は、ほぼ円形に形成されている。また、容器本体
１０１の両側壁の内側には、基板の端部を保持する複数
の基板収納棚１０３が形成されている。

【００４５】さらに、容器本体１０１の底面には、図５
の一体型カセット９０と同様に、三角形状の３つのピン
孔を１組とする２組のピン孔と、開口部とが形成されて
いる。

【００４６】なお、載置基準位置Ｆから最初に取り出さ
れる基板の収納位置（以下、基板受渡し基準位置と称す
る）までの鉛直方向の距離は、一体型カセット９０とオ
ープン型カセット１００とで異なっている。

【００４７】また、以下の説明では、一体型カセット９
０およびオープン型カセット１００を基板収納容器Ｐと
して参照し、必要に応じて一体型カセット９０およびオ
ープン型カセット１００を参照する。

【００４８】図７は、基板搬送領域の移動機構部および
回転機構部の平面図であり、図８は、図７中のＡ−Ａ線
断面図であり、図９は、図７中のＢ−Ｂ線断面図であ
る。なお、図７および図８において回転機構部３０およ
び扉開閉機構部７０は模式的に示されている。

【００４９】移動機構部１０は、ベース１１の上方に、
Ｘ方向に移動自在なＸスライドプレート１２と、Ｙ方向
に移動自在なＹスライドプレート１６とを備えている。
ベース１１の上面には、Ｘ方向に平行に延びる一対のＸ
レール１３が取り付けられている。Ｘスライドプレート
１２の下面にはＸレール１３に係合するガイド１４が取
り付けられている。そして、ベース１１の上面に取り付
けられたエアシリンダ１５により、Ｘスライドプレート
１２がＸ方向に往復移動する。

【００５０】また、Ｘスライドプレート１２の上面には
Ｙ方向に平行に延びる一対のＹレール１８が取り付けら
れている。Ｙスライドプレート１６の下面には、Ｙレー
ル１８に係合するガイド１７が取り付けられている。そ
して、Ｘスライドプレート１２の上面に取り付けられた
エアシリンダ１９により、Ｙスライドプレート１６がＸ
スライドプレート１２に対してＹ方向に往復移動する。

【００５１】このエアシリンダ１９には駆動用の圧縮空
気を供給する供給管路が接続されている。供給管路はＹ
スライドプレート１６を高速で移動させるために、流量
の大きい管路と流量の小さい管路とを有し、これを切り
換えている。

【００５２】また、Ｙスライドプレート１６の上面に
は、三角形状に配置された３本の支持ピン２０が形成さ
れている。これらの支持ピン２０は、図５に示す基板収
納容器（一体型カセット９０またはオープン型カセット
１００）の底面に形成された１組（３個）のピン孔９７
に嵌合される。これにより、Ｙスライドプレート１６上
に基板収納容器Ｐを支持することができる。

【００５３】移動機構部１０には、Ｙスライドプレート
１６上に支持される基板収納容器の型式を検出するため
の型式検出用センサ２１が設けられている。型式検出用
センサ２１には透過型の光センサが用いられる。一体型
カセット９０は角張った形状を有しており、オープン型
カセット１００は角部のない円形の形状を有している。
そこで、型式検出用センサ２１は基板収納容器Ｐの角部
の有無を検出するように配置されている。基板収納容器
Ｐの型式検出動作については後述する。

【００５４】また、移動機構部１０と回転機構部３０と
の間には基板収納容器Ｐのサイズを検出するためのサイ
ズ検出用センサ２２が設けられている。サイズ検出用セ
ンサ２２には透過型の光センサが用いられる。図８にお
いては、一例として基板の収納枚数の多い大型の基板収
納容器ＰをＰａで示し、基板の収納枚数の少ない小型の
基板収納容器ＰをＰｂで示す。

【００５５】図８において、サイズ検出用センサ２２
は、主に小型の基板収納容器Ｐｂを検出するための下セ
ンサ２２ｂと、主に大型の基板収納容器Ｐａを検出する
ための上センサ２２ａとからなる。そして、基板収納容
器Ｐを支持した移動機構部１０のＹスライドプレート１
６がサイズ検出用センサ２２を通過する際の上センサ２
２ａおよび下センサ２２ｂからの出力によって基板収納
容器Ｐの大きさが検出される。

【００５６】図１０は昇降機構部の正面図である。図１
０において、昇降機構部５０は、フレーム５１によって
鉛直方向に支持されたボールねじ５２を有する。ボール
ねじ５２の下端にはモータ５４が連結されている。さら
に、ボールねじ５２には昇降台５５がブラケット５５ｃ
を介して係合されている。昇降台５５はコの字形のフレ
ーム材からなり、その下段部５５ｂおよび上段部５５ａ
にそれぞれ回転機構部３０が取り付けられている。ま
た、昇降台５５の一部は、ボールねじ５２に平行に配置
された一対のリニアガイド５３に係合している。

【００５７】モータ５４が回転すると、ボールねじ５２
が回転し、これによって昇降台５５がリニアガイド５３
に案内されて鉛直方向に昇降移動する。それによって、
昇降台５５の回転機構部３０に支持された基板収納容器
Ｐが昇降移動される。なお、図１０においては、一方の
昇降台５５のみを詳細に図示したが、これと反対側に配
置される昇降台５５およびその昇降機構部分も同様の構
造を有する。

【００５８】図１１は回転機構部の断面図である。図１
１において、回転機構部３０は、昇降台５５の上段部５
５ａまたは下段部５５ｂに固定される固定ベース３１上
に、回転自在な回動プレート３４と、回動プレート３４
の中央に配置された中央固定部４０と、回動プレート３
４の周囲を覆うカバー４８とを備える。

【００５９】回動プレート３４は、固定ベース３１の上
面に形成された環状固定部３２との間に環状のベアリン
グ３３を介して回動自在に取り付けられている。回動プ
レート３４の上面には基板収納容器Ｐの底面の１組のピ
ン孔９６（図５参照）に嵌合される３本の支持ピン３９
が形成されている。３本の支持ピン３９は、移動機構部
１０のＹスライドプレート１６上に形成された３本の支
持ピン２０よりも径の大きい円周上に配置されている。
これにより、Ｙスライドプレート１６上の支持ピン２０
と回動プレート３４上の支持ピン３９とが干渉すること
なくＹスライドプレート１６と回動プレート３４との間
で基板収納容器Ｐを受け渡すことができる。なお、基板
収納容器Ｐの受け渡し動作については後述する。

【００６０】また、回動プレート３４の外周面にはギア
部３５が形成されている。この回動プレート３４のギア
部３５には、ピニオン３６を介してモータ３８の回転軸
に取り付けられたギア３７が係合している。モータ３８
が回転すると、モータの回転力がピニオン３６を介して
回動プレート３４に伝えられ、回動プレート３４が回転
する。これにより、回動プレート３４上の支持ピン３９
に支持された基板収納容器Ｐが回転する。

【００６１】また、固定ベース３１上の中央固定部４０
には、基板収納容器Ｐを強固に保持するための固定部材
４１が配設されている。固定部材４１の基部は回動ピン
４３に回動自在に取り付けられ、先端部には固定ばね４
２が形成されている。回動ピン４３は、連結部材４４を
介してエアシリンダ４６のロッド４５に連結されてい
る。エアシリンダ４６の本体端部は固定ピン４７により
固定されている。

【００６２】エアシリンダ４６のロッド４５が伸長する
と、固定部材４１が回動ピン４３の周りに回動し、固定
ばね４２が基板収納容器Ｐの底面の開口部９８に設けら
れた突出部９８ａに係合し、固定ばね４２の弾性力によ
り基板収納容器Ｐを回動プレート３４に対して固定保持
する。

【００６３】次に、扉開閉機構部７０について説明す
る。扉開閉機構部７０は、一体型カセット９０の扉９２
を開閉するために設けられており、その機能上、水平移
動機構部と、ピン切換部と、ラッチキー回動機構部とに
大別される。そこで、ここでは説明の便宜上、各機構部
毎に分けて図示して説明する。

【００６４】まず、図１２は扉開閉機構部の水平移動機
構部の側面図であり、図１２（ａ）は待機時の状態を示
し、図１２（ｂ）は扉開閉動作時の状態を示している。
図１２において、扉開閉機構部７０の水平移動機構部７
０ａは、基板収納容器搬送部１の本体に固定される固定
プレート７１と、一体型カセット９０の扉９２に対して
進退移動される扉保持プレート８４とを備える。固定プ
レート７１と扉保持プレート８４との間には一対のリン
ク７２，７３が２組平行に配設されている。一対のリン
ク７２，７３は連結ピン８０により連結されている。リ
ンク７２の一端は固定プレート７１の固定ブラケット７
４に回転自在に取り付けられ、他端はスライド部材７５
に取り付けられている。スライド部材７５は、扉保持プ
レート８４の裏面８４ｂに取り付けられたレール７９に
摺動自在に取り付けられている。

【００６５】また、リンク７３の一端は扉保持プレート
８４の固定ブラケット７６に回転自在に取り付けられ、
他端はスライド部材７７に取り付けられている。スライ
ド部材７７は、固定プレート７１の表面７１ａに取り付
けられたレール７８に摺動自在に取り付けられている。
さらに、一対のスライド部材７７は連結部材８３に連結
されている。連結部材８３には、固定プレート７１の表
面７１ａに配設されたエアシリンダ８１のロッド８２が
連結されている。

【００６６】さらに、扉保持プレート８４には、２組の
位置決めピン８６，８７と、ラッチキー１２１とが形成
されている。位置決めピン８６，８７はそれぞれ２個形
成されており、後述するピン切換部８５により選択され
た一方の位置決めピンが一体型カセット９０の扉９２の
位置決め孔９４に挿入される。これにより扉９２と扉保
持プレート８４との位置決めが行われる。

【００６７】また、ラッチキー１２１は所定位置に２個
設けられており、一体型カセット９０の扉９２に設けら
れたキー孔９３に挿入され、一体型カセット９０の本体
９１と扉９２とのロックを解除するとともに扉９２を扉
保持プレート８４に保持させる。

【００６８】図１２（ａ）に示すように、エアシリンダ
８１のロッド８２が伸長された状態では、リンク７２，
７３が折り畳まれ、扉保持プレート８４が一体型カセッ
ト９０の扉９２から離間している。図１２（ｂ）に示す
ように、エアシリンダ８１のロッド８２が縮退される
と、リンク７２，７３が延ばされ、扉保持プレート８４
が一体型カセット９０の扉９２に密着する。さらに、エ
アシリンダ８１のロッド８２が再び伸長されると、扉保
持プレート８４が扉９２を一体型カセット９０の本体９
１から取り外して後退する。

【００６９】次に、ピン切換部について説明する。図１
３は、扉開閉機構部のピン切換部の側面図であり、図１
４は扉保持プレートの正面図である。なお、ピン切換部
８５は扉保持プレート８４に２組設けられているが、図
１３では１組のみ図示している。このピン切換部８５は
一体型カセット９０の大きさに対応した位置決めピンを
選択するための機構を有している。

【００７０】すなわち、図４で示した一体型カセット９
０の扉９２に形成された一対の位置決め孔９４間の距離
Ｌは、一体型カセット９０のサイズによって異なる。例
えば、１３枚の基板を収納する小型の一体型カセット９
０に比べると、２５枚の基板を収納する大型の一体型カ
セット９０の位置決め孔９４間の距離Ｌは大きくなる。
それゆえ、一体型カセット９０の扉９２の位置決め孔間
の距離Ｌに応じて扉保持プレート８４の位置決めピン８
６，８７を切り換える必要がある。

【００７１】そこで、ピン切換部８５は、扉保持プレー
ト８４を貫通して移動可能な位置決めピン８６，８７
と、位置決めピン８６，８７のいずれか一方側を突出さ
せる揺動プレート１１１と、揺動プレート１１１を揺動
させるエアシリンダ１１３とを備えている。揺動プレー
ト１１１は扉保持プレート８４の裏面８４ｂに固定され
た支持ブラケット１１０に揺動自在に取り付けられ、３
つの腕部のうちの１つの腕部１１１ａに位置決めピン８
６が連結され、他の１つの腕部１１１ｂに位置決めピン
８７が連結され、残りの腕部１１１ｃにエアシリンダ１
１３のロッド１１２の先端が連結されている。

【００７２】このような構造により、エアシリンダ１１
３のロッド１１２が伸長すると、一方の位置決めピン８
６のみが扉保持プレート８４の表面８４ａから突出し、
一体型カセット９０の扉９２の位置決め孔９４に挿入さ
れ、扉保持プレート８４と扉９２とが位置決めされる。
また、エアシリンダ１１３のロッド１１２が縮退する
と、他方の位置決めピン８７のみが扉保持プレート８４
の表面８４ａから突出し、一体型カセット９０の扉９２
の位置決め孔９４に挿入され、扉保持プレート８４と扉
９２とが位置決めされる。

【００７３】次に、ラッチキー回動機構部について説明
する。図１５は回転機構部と反対側から見たラッチキー
回動機構部の正面図である。ラッチキー回動機構部１１
５は、ラッチキー１２１およびラッチキー１２１を回動
させる機構部から構成され、ラッチキー１２１を図４に
示す一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３に挿入し
て回動することによって扉９２のロックを解除し、かつ
扉９２を保持する。

【００７４】ラッチキー１２１の先端は扉保持プレート
８４の表面８４ａから突出しており、基部は扉保持プレ
ート８４の裏面８４ｂ側において揺動プレート１１６の
回転ピン１１６ａおよび揺動プレート１１８の回転ピン
１１８ａに一体的に接続されている。また、揺動プレー
ト１１６の先端部１１６ｂと揺動プレート１１８の先端
部１１８ｂとが連結棒１１７によって連結されている。
さらに、揺動プレート１１８の他の先端部１１８ｃには
エアシリンダ１１９のロッド１２０の先端部が連結され
ている。

【００７５】このような構造により、図１５においてエ
アシリンダ１１９のロッド１２０が伸長すると、揺動プ
レート１１８，１１６が時計方向に回動し、ラッチキー
１２１が時計方向に回動する。また、ロッド１２０が縮
退すると、揺動プレート１１８，１１６が反時計方向に
回動し、ラッチキー１２１も同じ方向に回動する。ラッ
チキー１２１が一体型カセット９０の扉９２のキー孔９
３に挿入された状態でラッチキー１２１を回動させるこ
とにより、扉９２と本体９１とのロックを解除し、かつ
扉９２を保持することができる。

【００７６】図１６は、基板処理装置の制御系のブロッ
ク図である。基板処理装置は、移動機構部１０のＸスラ
イドプレート１２およびＹスライドプレート１６を駆動
するエアシリンダ１５，１９を制御する移動機構コント
ローラ２１０、昇降機構部５０の昇降台５５を昇降移動
させるモータ５４を駆動する昇降機構コントローラ２５
０、回転機構部３０の回動プレート３４を回転させるモ
ータ３８の動作を制御する回転機構コントローラ２３
０、扉開閉機構部７０の各エアシリンダ８１，１１３，
１１９の動作を制御する扉開閉機構コントローラ２１
５、および基板処理部２の基板搬送ロボット４を駆動す
る基板搬送コントローラ２０４を備えている。移動機構
コントローラ２１０、昇降機構コントローラ２５０、扉
開閉機構コントローラ２１５、回転機構コントローラ２
３０および基板搬送コントローラ２０４は制御部１３０
に接続され、制御部１３０によって各コントローラの動
作が制御される。さらに、制御部１３０には、基板収納
容器Ｐの型式を検出する型式検出用センサ２１と、基板
収納容器Ｐのサイズを検出するサイズ検出用センサ２２
が接続されている。

【００７７】ここで、回転機構部３０が本発明の支持部
に相当し、型式検出用センサ２１が検知手段および第１
の検知手段に相当し、サイズ検出用センサ２２が検知手
段および第２の検知手段に相当し、制御部１３０が判別
手段に相当する。さらに、この型式検出用センサ２１、
サイズ検出用センサ２２および制御手段１３０が本発明
の識別手段に相当する。さらに、扉開閉機構部７０が本
発明の取り外し手段に相当し、移動機構部１０が移動手
段に相当し、制御部１３０が制御手段に相当し、基板搬
送ロボット４が基板搬送手段に相当する。

【００７８】以下、基板収納容器搬送部の動作について
説明する。図１７〜図１９は基板収納容器搬送部の基板
収納容器の搬入搬出動作の説明図である。なお、以下の
動作は図１６に示す制御部１３０によって制御される。

【００７９】まず、図１７（ａ）に示すように、外部の
搬送ロボットにより搬送された基板収納容器Ｐが搬入位
置において移動機構部１０のＹスライドプレート１６
（図７〜図９参照）上に載置される。

【００８０】次に、図１７（ｂ）に示すように、移動機
構部１０は、Ｘスライドプレート１２を駆動し、基板収
納容器ＰをＸ方向の所定位置に移動させる。この位置に
おいて、形式検出用センサ２１によって基板収納容器Ｐ
の型式の検出動作が行われる。

【００８１】図２０は、基板収納容器Ｐの型式検出動作
の説明図である。基板収納容器がオープン型カセット１
００の場合には、図２０（ａ）に示すように、透過型の
光センサからなる型式検出用センサ２１の光Ｑはオープ
ン型カセット１００によって遮られない。それにより、
型式検出用センサ２１からの出力信号を受けた制御部１
３０は、基板収納容器Ｐがオープン型カセット１００で
あることを検出する。

【００８２】また、基板収納容器が一体型カセット９０
の場合には、図２０（ｂ）に示すように、型式検出用セ
ンサ２１の光は一体型カセット９０の角張った部分によ
って遮られる。それにより、型式検出用センサ２１から
の出力信号を受け取った制御部１３０は、基板収納容器
Ｐが一体型カセット９０であることを検出する。

【００８３】次に、型式の検出動作が終了すると、図１
７（ｂ）に示すように、Ｙスライドプレート１６がＹ方
向に移動し、基板収納容器Ｐを回転機構部３０側に搬送
する。このとき、基板収納容器Ｐが一体型カセット９０
と検出された場合、Ｙスライドプレート１６を駆動する
エアシリンダ１９では流量の大きい管路が使用される。
これにより、一体型カセット９０ＰがＹ方向に高速度で
移動される。また、基板収納容器Ｐがオープン型カセッ
ト１００と検出された場合、Ｙスライドプレート１６の
駆動用のエアシリンダ１９では流量の大きい管路が使用
される。これにより、Ｙスライドプレート１６がＹ方向
に低速度で移動される。オープン型カセット１００を低
速度で移動することにより内部に収納された基板が外方
へ飛び出し、落下することが防止される。

【００８４】また、このＹ方向の搬送経路において基板
収納容器Ｐのサイズが検出される。すなわち、図８に示
すように、基板収納容器Ｐがサイズ検出用センサ２２を
通過すると、サイズ検出用センサ２２により基板収納容
器Ｐのサイズを示す出力信号が制御部１３０に出力され
る。制御部１３０は、サイズ検出用センサ２２からの出
力信号に基づいて基板収納容器Ｐの大きさを判定する。
例えば、下センサ２２ｂのみから検出信号が出力された
場合には小型の基板収納容器Ｐｂと判別し、上センサ２
２ａおよび下センサ２２ｂの両方から検出信号が出力さ
れた場合には、大型の基板収納容器Ｐａと判別する。

【００８５】基板収納容器Ｐが回転機構部３０側に到達
すると、移動機構部１０のＹスライドプレート１６と回
転機構部３０との間で基板収納容器Ｐの受け渡しを行
う。

【００８６】図２１は基板収納容器の受け渡し動作の説
明図である。図２１（ａ）に示すように、昇降台５５
は、回転機構部３０の支持ピン３９が移動機構部１０の
Ｙスライドプレート１６上の基板収納容器に衝突しない
下方の位置に待機している。そして、Ｙスライドプレー
ト１６が回転機構部３０の上方に基板収納容器Ｐを保持
して移動する。

【００８７】次に、図２１（ｂ）に示すように、回転機
構部３０はモータ５４（図１０参照）を駆動し、昇降台
５５を上昇させる。これにより、回転機構部３０の支持
ピン３９が基板収納容器Ｐの底面のピン孔９７に嵌合さ
れ、基板収納容器ＰをＹスライドプレート１６の上方に
持ち上げる。これにより、Ｙスライドプレート１６の支
持ピン２０が基板収納容器Ｐのピン孔９６から離脱す
る。

【００８８】その後、図２１（ｃ）に示すように、Ｙス
ライドプレート１６が元の位置に水平移動する。以上の
動作により、基板収納容器ＰがＹスライドプレート１６
から回転機構部３０の回動プレート３４に受け渡され
る。

【００８９】基板収納容器Ｐが回転機構部３０に受け渡
されると、制御部１３０は、基板収納容器Ｐの型式に応
じてそれぞれ以下のように制御する。

【００９０】まず、基板収納容器Ｐがオープン型カセッ
ト１００の場合には、オープン型カセット１００の開口
部が基板処理部２側の基板搬送ロボット４に正対する向
きにオープン型カセット１００を回転させる。さらに、
基板搬送ロボットのアーム４ａがオープン型カセット１
００の鉛直方向の基板受け渡し基準位置となるように回
転機構部３０を鉛直方向に移動させ、あるいは基板搬送
ロボット４のアーム４ａを鉛直方向に移動させて両者の
位置を調整する。そして、オープン型カセット１００か
ら基板を基板処理部２側へ基板搬送ロボット４を介して
搬送する。

【００９１】また、基板収納容器Ｐが一体型カセット９
０の場合には、以下の動作を行う。図１７（ｃ）に示す
ように、回転機構部３０に受け渡された一体型カセット
９０は、回動プレート３４の回転により１８０°回転さ
れ、扉９２が扉開閉機構部７０に正対する位置に停止さ
れる。この位置を扉取り外し位置と称する。そして、扉
開閉機構部７０により扉９２が本体９１から取り外され
る。

【００９２】図２２は回転機構部と扉開閉機構部との位
置合わせ動作の説明図である。制御部１３０は、サイズ
検出用センサ２２からの出力に基づき一体型カセット９
０のサイズを検出し、載置基準位置Ｆからキー孔９３ま
での高さＨを求める。そして、回転機構部３０のモータ
５４を駆動して昇降台５５を昇降移動させ、回転機構部
３０上の一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３の鉛
直方向の位置と、扉開閉機構部７０のラッチキー１２１
の鉛直方向の位置とを一致させる。

【００９３】図２３は扉の取外し動作の説明図である。
制御部１３０は扉開閉機構コントローラ１５を駆動し、
図２３（ａ）に示すように、サイズ検出用センサ２２に
より検出された一体型カセット９０の大きさに応じた位
置決めピン８６，８７を選択する。ここでは、大型の一
体型カセット９０に対応した位置決めピン８６が選択さ
れるものとする。この場合、扉保持プレート８４からは
一対の位置決めピン８６が突出する。

【００９４】次に、図２３（ｂ）に示すように、エアシ
リンダ８１のロッド８２が縮退され、リンク７２，７３
が前方に延ばされる。これにより、扉保持プレート８４
が扉９２に密着し、位置決めピン８６が扉９２の位置決
め孔９４内に挿入され、扉保持プレート８４と扉９２と
の位置が定められる。また同時にラッチキー１２１が扉
９２のキー孔９３に挿入される。そして、ラッチキー回
動機構部１１５によりラッチキー１２１が回動され、扉
９２のロックが解除される。

【００９５】その後、図２３（ｃ）に示すように、エア
シリンダ８１のロッド８２が再び伸長され、扉保持プレ
ート８４は扉９２を保持した状態で後退する。これによ
り、一体型カセット９０の前面が開放される。

【００９６】さらに、図１８に示すように、扉９２が取
り外されると、回転機構部３０は回動プレート３４を回
転し、一体型カセット９０の開口部が基板処理部２の基
板搬送ロボット４に正対する位置に一体型カセット９０
を停止させる。この位置を基板供給位置と称する。ま
た、基板排出領域Ｄの回転機構部３０には処理済み基板
を収納するための空の一体型カセット９０が所定のタイ
ミングで図示の状態に用意される。なお、オープン型カ
セット１００の場合も同様に、空のオープン型カセット
１００が基板搬出領域Ｄの回転機構部３０に用意され
る。

【００９７】ここで、基板搬送ロボット４のアーム４ａ
の基板受け渡し基準位置と一体型カセット９０の基板受
け渡し基準位置との位置調整が行われる。すでに型式検
出用センサ２１により基板収納容器Ｐが一体型カセット
９０であることが検出されている。したがって、制御部
１３０は昇降機構部５０を昇降移動させて回転機構部３
０と基板搬送ロボット４のアーム４ａとの鉛直方向の位
置調整を行わせる。あるいは、基板搬送ロボット４のア
ーム４ａを鉛直方向に移動させて同様の位置調整を行わ
せる。

【００９８】この状態で基板処理部２による基板の処理
が開始される。基板搬送ロボット４は基板が収納された
基板供給領域Ｓの基板収納容器Ｐから基板を取り出し、
所定の処理ユニット３に搬送する。また、処理ユニット
３によって処理された基板を基板排出領域Ｄの基板収納
容器Ｐの内部に収納する。この動作を繰り返し行う。こ
れにより、基板供給領域Ｓの基板収納容器Ｐが空にな
り、基板排出領域Ｄの基板収納容器Ｐに処理済みの基板
が収納される。

【００９９】次に、基板排出領域Ｄの基板収納容器Ｐの
排出工程に移る。基板収納容器Ｐがオープン型カセット
１００の場合には、扉を閉じる必要がないため、図１９
（ｃ）に示す工程に移る。また、基板収納容器が一体型
カセット９０の場合には、以下の工程に移る。

【０１００】図１９（ａ）に示すように、回転機構部３
０が回動プレート３４を回転し、一体型カセット９０の
開口部が扉開閉機構部７０に正対する位置に停止させ
る。そして、図２４に示す扉の取り外し動作と逆の動作
を行い、扉開閉機構部７０に保持された扉９２を一体型
カセット９０の開口部に取り付ける。これにより、一体
型カセット９０が扉９２により密閉される。

【０１０１】さらに、図１９（ｂ）に示すように、回転
機構部３０が一体型カセット９０を１８０°回転させ
る。そして、移動機構部１０が駆動され、Ｙスライドプ
レート１６が回転機構部３０に移動する。そして、図２
１に示す基板収納容器Ｐの受け渡し動作と逆の動作によ
り、一体型カセット９０を回転機構部３０からＹスライ
ドプレート１６へ引き渡す。

【０１０２】さらに、図１９（ｃ）に示すように、移動
機構部１０が矢印Ｅに沿ってＹ方向に移動し、さらにＸ
方向と反対方向に移動して基板収納容器搬送部１の排出
位置に一体型カセット９０を待機させる。オープン型カ
セット１００の場合も同様に排出位置に待機される。な
お、Ｙ方向への移動の際には、一体型カセット９０は相
対的に高速で、オープン型カセット１００は相対的に低
速で移動される。

【０１０３】処理済みの基板が収納された基板収納容器
Ｐはさらに搬送ロボットに受け渡され、次の工程へ移送
される。

【０１０４】以上の動作により、一体型カセット９０お
よびオープン型カセット１００に収納された基板は、基
板収納容器搬送部１から基板処理部２に供給され、処理
済みの基板が基板処理部２から空の一体型カセット９０
およびオープン型カセット１００に収納され、基板収納
容器搬送部１から排出される。

【０１０５】このように、上記実施例による基板収納容
器搬送部１は、基板収納容器の型式を検出することがで
きる。これにより、基板収納容器Ｐがオープン型カセッ
ト１００の場合には、オープン型カセット１００を基板
供給位置に導き、基板処理部２へ基板を引き渡すことが
できる。また、基板収納容器が一体型カセット９０の場
合には、扉９２を取り外した後、基板供給位置に導き、
基板処理部２側へ基板を引き渡すことができる。

【０１０６】また、基板収納容器の基板収納枚数の違い
による大型または小型のサイズを検出することができ
る。これにより、一体型カセット９０の扉９２と扉開閉
機構部７０との位置調整を行うことによって扉９２の取
り外し動作を容易かつ確実に行うことができる。

【０１０７】また、基板収納容器の型式およびサイズが
検出できることにより、ホストコンピュータから通信さ
れた基板収納容器Ｐに関する情報と実際に検出した基板
収納容器Ｐの情報とを比較し、相互の不一致を検出する
ことが可能となる。これにより、誤った処理レシピに基
づいて基板に所定の処理が行われることが防止される。

【０１０８】なお、上記実施例においては、透過型の光
センサからなる型式検出用センサ２１およびサイズ検出
用センサ２２を用いて基板収納容器の種類を検出する例
について説明したが、光センサに代えて接触式のマイク
ロスイッチ等を用いてもよい。例えば、図２０におい
て、型式検出用センサ２１として一体型カセット９０の
角部にのみ検知アームが接触するようにマイクロスイッ
チを設けてもよい。また、図８に示すように、下センサ
２２ｂおよび上センサ２２ａの位置にマイクロスイッチ
を配置し、下方側のマイクロスイッチによって小型の基
板収納容器Ｐｂを検知し、上方のマイクロスイッチによ
って大型の基板収納容器Ｐａを検出してもよい。

【０１０９】ここで、マイクロスイッチを用いた型式検
出用センサ２１が本発明の検知手段および第１の検知手
段に相当し、マイクロスイッチを用いたサイズ検出用セ
ンサ２２が検知手段および第２の検知手段に相当する。

【０１１０】さらに、基板収納容器Ｐの表面に型式やサ
イズを含む識別情報を有するバーコードを貼付し、基板
収納容器搬送部１側にバーコード読み取り装置を配置し
てもよい。そして、供給された基板収納容器Ｐのバーコ
ードの読み取ることにより基板収納容器Ｐの型式および
サイズを検出してもよい。

【０１１１】ここで、バーコード読み取り装置が本発明
の情報読み取り手段に相当する。本実施例による基板収
納容器搬送部１においては、扉開閉機構部７０が一体型
カセット９０の基板処理部２側への基板の供給位置にあ
る回転機構部３０を挟んで基板処理部２と反対側に配置
されている。このため、扉開閉機構部７０をクリーンル
ーム内の通路側に配置することが可能となり、作業者が
容易に接近することができる。これにより、扉開閉機構
部７０の保守容易性が向上する。

【０１１２】また、扉開閉機構部７０は一体型カセット
９０の前面から扉９２を取り外し、水平方向に短い距離
だけ移動させた状態で保持する。このため、扉開閉機構
部７０は扉９２の水平方向の移動機構のみから構成され
ることになり、鉛直方向への移動機構も必要とする従来
の扉開閉機構部に比べて構成が簡素化される。

【０１１３】さらに、本実施例による基板収納容器搬送
部１においては、回転機構部３０により一体型カセット
９０を扉開閉機構部７０に正対する扉取り外し位置と、
基板搬送ロボット４に正対する基板供給位置とに回転移
動させることができる。このため、扉開閉機構部７０を
基板処理部２と反対側に配置することが可能となるとと
もに、基板収納容器搬送部１を小型化することができ
る。

【０１１４】さらに、上記実施例においては、扉開閉機
構部７０はリンク機構を用いて扉保持プレート８４を移
動させる構成について説明したが、他の機構を用いて構
成してもよい。例えば、図２４は扉開閉機構部の他の実
施例を示す平面図である。この実施例による扉開閉機構
部７０は、リンク機構を使用せず直接エアシリンダ１４
０によって扉保持プレート８４を水平移動させるもので
ある。エアシリンダ１４０の先端は扉保持プレート８４
の裏面８４ｂに固定されている。また、エアシリンダ１
４０の両側には一対のリニアガイド１４１が設けられて
いる。これにより、扉保持プレート８４が固定プレート
７１に対して平行に移動される。なお、この扉開閉機構
部７０において、ピン切換部８５およびラッチキー回動
機構部１１５の構成は図１３〜図１５に示す実施例の構
成と同様の構成を用いることができる。

【０１１５】また、扉開閉機構部７０は、図１に示す位
置のみならず、例えば図２５に示すように、移動機構部
１０の側面側に配置してもよい。この場合にも、作業者
が扉開閉機構部７０に接近することが容易となり、保守
容易性を向上することができる。なお、この場合には、
一体型カセット９０は扉９２が扉開閉機構部７０に正対
する向きで基板収納容器搬送部１に供給される。

【０１１６】さらに、扉開閉機構部７０は、図２６に示
すように、基板収納容器搬送部１の一体型カセット９０
が搬送ロボットから供給される位置と基板処理部２との
間および一体型カセット９０が搬送ロボットへ排出され
る位置と基板処理部２との間に設けられてもよい。この
場合、供給された一体型カセット９０は、水平移動自在
な支持部に支持され、扉開閉機構部７０により扉９２が
取り外された後、直線駆動手段（図示せず）によって、
基板搬送ロボット４への基板供給位置に直線移動され
る。また、基板排出用の一体型カセット９０（図示せ
ず）は、水平移動自在な支持部に支持され、扉開閉機構
部７０により扉９２が取り外された後、直線駆動手段
（図示せず）によって基板搬送ロボット４に正対する位
置に直線移動される。このような構成によっても、扉開
閉機構部７０への保守作業を容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による基板収納容器搬送装置を
備えた基板処理装置の模式的平面図である。

【図２】図１の基板処理装置の模式的側面図である。

【図３】一体型カセットの斜視図である。

【図４】図３の一体型カセットの正面図である。

【図５】図３の一体型カセットの底面図である。

【図６】オープン型カセットの斜視図である。

【図７】移動機構部近傍の平面図である。

【図８】図７中のＡ−Ａ線断面図である。

【図９】図７中のＢ−Ｂ線断面図である。

【図１０】昇降機構部の正面図である。

【図１１】回転機構部の断面図である。

【図１２】扉開閉機構部の水平移動機構部の側面図であ
る。

【図１３】扉開閉機構部のピン切換部の側面図である。

【図１４】扉保持プレートの正面図である。

【図１５】回転機構部と反対側から見たラッチキー回動
機構部の正面図である。

【図１６】基板処理装置の制御系のブロック図である。

【図１７】基板収納容器搬送部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１８】基板収納容器搬送部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１９】基板収納容器搬送部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図２０】基板収納容器の型式検出動作の説明図であ
る。

【図２１】移動機構部と回転機構部との一体型カセット
の受渡し動作の説明図である。

【図２２】回転機構部と扉開閉機構部との位置合わせ動
作の説明図である。

【図２３】扉開閉機構部の扉開閉動作の説明図である。

【図２４】本発明の他の実施例による扉開閉機構部の平
面図である。

【図２５】本発明の他の実施例による基板処理装置の模
式的平面図である。

【図２６】本発明のさらに他の実施例による基板処理装
置の模式的平面図である。

【図２７】従来の基板処理装置への基板搬入動作を示す
模式図である。

【符号の説明】

１ 基板収納容器搬送部 ２ 基板処理部 ３ 処理ユニット ４ 基板搬送ロボット １０ 移動機構部 １２ Ｘスライドプレート １６ Ｙスライドプレート ２０ 支持ピン ２２ サイズ検出用センサ ３０ 回転機構部 ３４ 回動プレート ３９ 支持ピン ５０ 昇降機構部 ５２ ボールねじ ５４ モータ ５５ 昇降台 ７０ 扉開閉機構部 ７１ 固定プレート ８４ 扉保持プレート ８５ ピン切換部 ８６，８７ 位置決めピン ９０ 一体型カセット ９１ 本体 ９２ 扉 ９３ キー孔 ９４ 位置決め孔 ９６，９７ ピン孔 １１５ ラッチキー回動機構部 １２１ ラッチキー

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板を収納する基板収納容器を搬
   送する基板収納容器搬送装置であって、 前記基板収納容器を支持する支持部と、 前記支持部を第１の位置から第２の位置へ移動させる移
   動手段と、 前記支持部に支持された前記基板収納容器の種類を識別
   する識別手段とを備えたことを特徴とする基板収納容器
   搬送装置。
2. 【請求項２】 前記基板収納容器の種類は、開放された
   開口部を有する容器本体からなる開放型および取り外し
   自在な扉で閉塞された開口部を有する容器本体からなる
   一体型を含み、 前記識別手段は、 前記支持部上の所定の水平位置における物体の有無を検
   知する検知手段と、 前記検知手段の出力に基づいて前記支持部上に支持され
   た基板収納容器が開放型であるか一体型であるかを判別
   する判別手段とを含むことを特徴とする請求項１記載の
   基板収納容器搬送装置。
3. 【請求項３】 前記支持部上に支持された一体型の基板
   収納容器の扉を所定の取り外し位置で取り外す取り外し
   手段を備え、 前記移動手段は、前記支持部上に支持された基板収納容
   器が一体型であると前記判別手段が判別した場合に、前
   記支持部上の前記基板収納容器を前記取り外し位置に移
   動させることを特徴とする請求項２記載の基板収納容器
   搬送装置。
4. 【請求項４】 前記基板収納容器の種類は、基板の収納
   枚数に応じた複数のサイズを含み、 前記識別手段は、 前記支持部上の所定高さにおける物体の有無を検知する
   検知手段と、 前記検知手段の出力に基づいて前記支持部上に支持され
   た基板収納容器のサイズを判別する判別手段とを含むこ
   とを特徴とする請求項１記載の基板収納容器搬送装置。
5. 【請求項５】 前記基板収納容器の種類は、開放された
   開口部を有する容器本体からなる開放型、取り外し自在
   な扉で閉塞された開口部を有する容器本体からなる一体
   型および基板の収納枚数に応じた複数のサイズを含み、 前記識別手段は、 前記支持部上の所定の水平位置における物体の有無を検
   知する第１の検知手段と、 前記支持部上の所定高さにおける物体の有無を検知する
   第２の検知手段と、 前記第１の検知手段の出力に基づいて前記支持部上に支
   持された基板収納容器が開放型であるか一体型であるか
   を判別する第１の判別手段と、 前記第２の検知手段の出力に基づいて前記支持部上に支
   持された基板収納容器のサイズを判別する第２の判別手
   段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の基板収納
   容器搬送装置。
6. 【請求項６】 前記一体型の基板収納容器の前記扉を所
   定の取り外し位置で取り外す取り外し手段をさらに備
   え、 前記移動手段は、前記支持部上に支持された基板収納容
   器が一体型であると前記第１の判別手段が判別した場合
   に、前記支持部上の基板収納容器を前記取り外し位置に
   移動させるとともに、第２の判別手段の判別結果に基づ
   いて前記取り外し手段による前記支持部上の基板収納容
   器からの扉の取り外しが可能となるように前記取り外し
   手段と前記支持部とを相対的に移動させることを特徴と
   する請求項５記載の基板収納容器搬送装置。
7. 【請求項７】 前記識別手段は、 前記基板収納容器の表面に形成された前記基板収納容器
   の種類の情報を読み取る情報読み取り手段と、 前記情報読み取り手段の出力に基づいて前記支持部上に
   支持された基板収納容器の種類を判別する判別手段とを
   備えたことを特徴とする請求項１記載の基板収納容器搬
   送装置。
8. 【請求項８】 複数の基板を収納する基板収納容器を搬
   送する基板収納容器搬送装置であって、 第１の位置から第２の位置へ基板収納容器を移動させる
   移動手段と、 基板収納容器の種類を識別する識別手段と、 前記識別手段によって識別された基板収納容器の種類に
   応じて前記移動手段の移動速度を変化させる制御手段と
   を備えたことを特徴とする基板収納容器搬送装置。
9. 【請求項９】 前記基板収納容器の種類は、開放された
   開口部を有する容器本体からなる開放型および取り外し
   自在な扉で閉塞された開口部を有する容器本体からなる
   一体型を含み、 前記識別手段は、前記移動手段上の所定の水平位置にお
   ける対象物の有無を検知する検知手段と、 前記検知手段の出力に基づいて前記移動手段に支持され
   た基板収納容器が開放型であるか一体型であるかを判別
   する判別手段とをさらに備え、 前記制御手段は、前記基板収納容器が一体型であると判
   別された場合に、前記基板収納容器が開放型と判別され
   た場合よりも前記移動手段の移動速度が速くなるように
   前記移動手段の動作を制御することを特徴とする請求項
   ８記載の基板収納容器搬送装置。
10. 【請求項１０】 基板に対して所定の処理を行う基板処
    理部と、 前記基板処理部に隣接し、かつ複数の基板を収納した基
    板収納容器を搬入するための搬入位置から前記基板処理
    部に対して基板を供給するための基板供給位置へ前記基
    板収納容器を搬送させる基板収納容器搬送部と、 前記基板供給位置にある前記基板収納容器に収納された
    基板を前記基板処理部へ搬送する基板搬送手段とを備
    え、 前記基板収納容器搬送部は、 前記基板収納容器を支持する支持部と、 前記支持部を前記搬入位置から前記基板供給位置へ移動
    させる移動手段と、 前記支持部に支持された前記基板収納容器の種類を識別
    する識別手段とを備えたことを特徴とする基板処理装
    置。
11. 【請求項１１】 前記識別手段によって識別された前記
    基板収納容器の種類に応じて前記支持部と前記基板搬送
    手段とを相対的に移動させて、前記支持部と前記基板搬
    送手段との位置の調整を行う調整手段をさらに備えたこ
    とを特徴とする請求項１０記載の基板処理装置。