JPH11317667A - 混合信号回路及び集積回路装置 - Google Patents
混合信号回路及び集積回路装置Info
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Abstract
の実現。 【解決手段】 混合信号回路は、デジタル回路(10)を含
むディジタル回路部(DIGITAL) と、アナログ回路(14)を
有するアナログ回路部(ANALOG)とを備える。ディジタル
回路は、複数の第1のディジタル信号(T1-Tn) を生成す
る。アナログ回路は受けた第2のディジタル信号(TCK1-
TCKn) に基づいて1個以上のアナログ信号(OUTA,OUTB)
を生成する。装置は更に第1のディジタル信号(T1-Tn)
から第2のディジタル信号(TCK1-TCKn) を導出し、アナ
ログ回路の入力への第2のディジタル信号の印加のタイ
ミングを制御する信号制御回路(LATCH) を備える。電源
供給ローディングにより発生する第2のディジタル信号
におけるジッタを防止するため、電源は回路部(DIGITA
L,LATCH,ANALOG)のそれぞれに独立に電源が供給され
る。
Description
ignal)回路及び集積回路装置に関し、例えば、ディジタ
ル−アナログ変換器(DACs)に関する。このような
回路及び装置は、ディジタル回路とアナログ回路を混合
して含む。
ング(current-steering)」型の従来のDAC集積回路
(IC)の部分を示す図である。DAC1は、mビット
のデジタル入力ワード(m-bit digital input word)(D
1−Dm)を対応するアナログ出力信号に変換するよう
に設計されている。
21 〜2n を有するアナログ回路を含む。ここで、nは
2m −1である。各電流源2は、実質的に一定の電流I
を通す。アナログ回路は、更にn個の電流源21 〜2n
にそれぞれ対応する複数の差動スイッチ回路41 〜4n
を有する。各差動スイッチ回路4は、対応する電流源2
に接続され、電流源により生成された電流Iを、変換器
の第1の接続線Aに接続される第1の端子又は変換器の
第2の接続線Bに接続される第2の端子のいずれかに切
り換える。
る理由で「サーモメータ・コード信号(thermometer-cod
ed signals) 」と呼ばれる複数の制御信号T1〜Tnの
1つを受け、関係する信号の値に従ってその第1の端子
又は第2の端子のいずれかを選択する。DAC1の第1
の出力電流IA は、差動スイッチ回路の第1の端子に配
給される各電流の和であり、DAC1の第2の出力電流
IB は、差動スイッチ回路の第2の端子に配給される各
電流の和である。
力電流IA を抵抗Rで減衰させることにより生成される
電圧VA と、変換器の第2の出力電流IB を他の抵抗R
で減衰させることにより生成される電圧VB との差電圧
VA −VB である。図1のDACにおいて、サーモメー
タ・コード信号T1〜Tnは、2値サーモメータ・デコ
ーダ6を含むディジタル回路によって2値入力ワードD
1−Dmから導出される。デコーダ6は次のように動作
する。
る時、サーモメータ・コード信号T1〜Tnは、各差動
スイッチ回路41 〜4n がその第2の端子を選択して、
すべての電流源21 〜2n が第2の接続線Bに接続され
るような信号である。この状態では、VA =0で、VB
=nIRである。アナログ出力信号VA −VB =−nI
Rである。
増加する時、デコーダ6により生成されるサーモメータ
・コード信号T1〜Tnは、既に選択されたいかなる差
動スイッチ回路もその第1の端子が第2の端子に戻され
ることなしに、(差動スイッチ回路41 から始まる)多
くの差動スイッチ回路がそれぞれの第1の端子を選択す
るような信号である。2値入力ワードD1−Dmが値i
を有する時、最初のi個の差動スイッチ回路41 〜4i
はそれぞれの第1の端子を選択し、残りのn−i個の差
動スイッチ回路4i+1 〜4n はそれぞれの第2の端子を
選択する。アナログ出力信号VA −VB は(2i−n)
IRに等しい。
D3(すなわち、この例ではm=3)に対して生成され
るサーモメータ・コード信号の例を示す。この場合、7
個のサーモメータ・コード信号T1〜T7が必要である
(n=2m −1=7)。図2に示すように、2値サーモ
メータ・デコーダ6によって発生されるサーモメータ・
コード信号T1〜Tnは、r番目の信号Trが活性化さ
れる(“1”にセットされる)時にそれより下の順序の
信号T1〜Tr−1も活性化されることが知られている
いわゆるサーモメータ・コードに従う。
リング型のDACでは一般的であるが、それは2値入力
ワードが増加した時に、既に線Aに切り換えられている
いかなる電流源も他の線Bに切り換えられることなし
に、より多くの電流源が第1の接続線Aに切り換えられ
るためである。従って、DACの入力/出力特性は単調
であり、入力ワードにおける“1”の変化の結果起きる
グリッチインパルス(パルス波形の乱れ)が小さい。
ACを非常な高速(例えば、100MHz以上)で動作
させる時には、第1及び第2の接続線AとBの一方又は
両方でグリッチが起き、DACのアナログ出力信号VA
−VB に瞬間的な誤差を発生することが分かる。アナロ
グ出力信号におけるこのようなグリッチはコードに依存
し、出力スペクトルにおける高調波歪又は非調和歪(spu
rs) にさえなる。
調べ、原因のいくつかが次のようであると結論付けた。
第1に、ディジタル回路(2値サーモメータ・デコーダ
6と他のディジタル回路)は非常に高速でスイッチする
ことが必要でそのゲートカウントは非常に高い。従っ
て、ディジタル回路の電流消費は、高動作速度では10
0MHz当り20mAにもなる。高速のスイッチング及
び高電流消費のこの組合せは、電源供給線に高い割合の
雑音を生じさせるのが不可避である。以前からアナログ
回路(例えば、図1における電流源21 〜2n 及び差動
スイッチ回路41 〜4n )の電源供給をディジタル回路
の電源供給から分離することが考えられているが、この
方法だけでは最高の動作レベル(performance level) が
必要な時には完全には満足できないことが分かってい
る。特に、2値サーモメータ・デコーダ6の動作から発
生する雑音は、ディジタル入力ワードD1−Dmにおけ
る異なる変化に応答してサーモメータ・コード信号T1
〜Tnの変化のタイミングにおけるスキュー(skew)を発
生させる。例えば、スキューは数百ピコ秒であると見積
もられている。スキューのこの量は、DACの動作の著
しい劣化の原因となり、更にスキューはデータに依存す
るので、劣化を予想することは困難である。
め、ディジタル回路とアナログ回路の間にサーモメータ
・コード信号T1〜Tnにそれぞれ対応するラッチ回路
の組を設け、このラッチをその出力が同時に変化するよ
うに共通のタイミング信号で活性化することが考えられ
る。しかし、驚くべきことにこの方法だけではサーモメ
ータ・コード信号からスキューを除くのにまったく効果
がないことが分かった。例えば、データに依存するジッ
タが依然ラッチ回路の出力に残り、最悪の場合のジッタ
はサーモメータ・コード信号の個数にほぼ比例して増加
する。このように、例えば64個のサーモメータ・コー
ド信号では、最悪の場合のジッタは、高い動作レベルが
要求される時には非常に大きいといえる20ピコ秒の大
きさである。
れば、1個以上の第1のディジタル信号を生成するよう
に動作するディジタル回路を含むディジタル回路部と、
第2のディジタル信号を受ける複数の入力を有し、受け
た第2のディジタル信号に基づいて1個以上のアナログ
信号を生成するように動作するアナログ回路を含むアナ
ログ回路部と、ディジタル回路とアナログ回路部に接続
され、第1のディジタル信号から第2のディジタル信号
を導出し、入力への第2のディジタル信号の印加のタイ
ミングを制御する信号制御回路を含む信号制御回路部
と、回路部のそれぞれに独立に電源を供給する電源供給
手段とを備える混合信号集積回路装置が提供される。
ィジタル回路のスイッチングに起因する電源供給雑音に
よる影響がはるかに少なくなる。例えば、電源供給手段
は、各回路部に少なくとも1つの電源供給接続経路(例
えば、正の供給線VDD又はグランドGND)を備え、
その経路は当該装置内を当該回路部と当該装置の電源供
給端子の間に伸び、他の回路部のそれぞれの少なくとも
1つのこのような電源供給接続経路と独立であることが
望ましい。各回路部の正の供給線用の各電源供給接続経
路は分離され、逆にグランド用の電源供給接続経路は共
通である。異なる回路部用のすべての電源供給接続経路
(正の供給線とグランドの両方)は、装置内で互いに独
立である。装置の外では、1つの電源供給線を異なる回
路部用の各種の電源供給端子として使用することが可能
である。この配置は、便利であると共に、アナログ回路
部分(もっとも敏感な回路)ともっとも雑音のある回路
(ディジタル回路)の間の距離を最大にするという目的
とも合致する。
号制御回路部及びアナログ回路部は、それぞれ装置の第
1、第2及び第3の領域に形成され、第2の領域の少な
くとも一部は第1及び第3の領域の間に位置している。
第2の領域は、前記第3の領域の2つ以上のエッジの回
りに、例えば帯状に伸びている。例えば、第3の領域が
内側で一般的には正方形又は長方形の領域で、第2の領
域は第3の領域の3つのエッジの回りに伸びるU字形の
領域である。
ことが望ましい。このような小さな第2の領域は小さな
回路量しか有さないので、その電力消費は小さくでき
る。その結果、信号制御回路からアナログ回路に結合さ
れる雑音の量は望ましいほど小さくできる。第2及び第
3の領域は、互いに近接していることが望ましい。
域からよりも第1の領域から更に離れている。この方法
では、より敏感な第2及び第3の領域が雑音の多い第1
の領域から分離できる。物理的な分離が大きくなるほ
ど、異なる領域の間の基板を介した抵抗結合が小さくな
る。
(例えば、P型)の半導体基板を有する。各回路部は基
板に形成された第1及び第2のウェルをそれぞれ有し、
第1のウェルは一方の導電型(P)であり、第2のウェ
ルは他の導電型(N)である。ディジタル回路部の第1
及び第2のウェルは基板に並行して位置し、ディジタル
回路部の第1の電源供給線は基板に接続される。信号制
御回路部とアナログ回路部ではそれぞれ、第1のウェル
が第2のウェル内にすべて含まれ、関係する回路部の第
1の電源供給線(GND)に接続される。各回路部では
それぞれ、第2のウェルが関係する回路部の第2の電源
供給線(VDD)に接続される。このような装置は、い
わゆる「三重ウェル」プロセスを使用することで実現で
き、異なる回路部の間で良好な分離が行える。このよう
な装置のコストは非常に小さい。
材料の層を有する一方の導電型(例えばP型)の半導体
基板を有する。基板は、分離手段により、ディジタル回
路部、信号制御回路部及びアナログ回路部にそれぞれ対
応する第1、第2及び第3の領域に分割される。基板の
各領域は、並行に形成された第1及び第2のウェルを有
し、各部の第1のウェルは一方の導電型(P)であり、
第2のウェルは他の導電型(N)であり、関係する回路
部の第1の電源供給線(例えばGND)が回路部に対応
する基板の領域に接続され、関係する回路部の第2の電
源供給線(VDD)が回路部に対応する基板の領域の第
2のウェルに接続されている。このような絶縁体上シリ
コン(SOI)構造も、異なる回路部間を良好に分離す
る。
れた層である。このような酸素打ち込みによる基板への
ダメージに関係する問題を避けるため、絶縁材料の層は
装置のウエハの1つの主面に形成され、ウエハが絶縁材
料の層をサンドイッチするように背面ウエハと貼り合わ
されるいわゆる「貼り合わせウエハ」を使用することも
可能である。この形成方法は、絶縁材料が打ち込み以外
の熱酸化によって形成できるので、ダメージを避けられ
る。分離手段は、2つの相互に隣接する基板の領域の間
に、その表面から基板に伸びる絶縁材料のトレンチを有
する。好ましくは、トレンチは、絶縁材料相が異なる基
板の領域間の分離を最大にするように、基板まで伸びて
いる。
隣接する基板の領域の間を絶縁層まで伸びる一方の導電
型のウェルを有する。このようなウェルは、酸化物トレ
ンチより更に簡単に(ドーピングで)形成できる。第1
及び第2の電源供給線が正の電位とグランドであること
は本質的なことではない。供給電位は負の電位とグラン
ドでもよく、1個以上の回路部に正の電位、負の電位及
びグランド又は3個以上の電源供給電位の他の組合せを
供給することも可能である。
ジタルコードのワードから第1のディジタル信号を導出
するように動作するデコーダ回路と、他のディジタル信
号処理を実行する別の回路を有してもよい。この場合、
電源供給手段は別の回路及びデコーダ回路から独立に電
源を供給するように配置され、例えば、デコーダ回路と
別の回路用に装置内の分離電源供給線を使用する。上記
の三重ウェル構造の場合には、デコーダ回路は別の回路
と信号制御回路の間の三重ウェル内に配置され、デコー
ダ回路の第1及び第2の電源供給線はデコーダ回路部の
第1及び第2のウェルにそれぞれ接続される。SOIと
貼り合わせウエハ構造の場合には、デコーダ回路は別の
回路用の基板の領域と信号制御回路用の基板の領域の間
に専用の基板の領域を有する。
その各入力にそれぞれ同時に印加するように動作するこ
とが望ましい。しかし、他の場合には、第2のディジタ
ル信号のその各入力への交互にずれた印加が必要であ
る。第1のディジタル信号と第2のディジタル信号の少
なくとも一方は、サーモメータ・コード信号を有し、関
係するディジタル信号における変化数をできるだけ低く
することが望ましい。例えば、ディジタルコードのワー
ドが1つの値で変化する時、コードワードの最初の値に
かかわらず、デコーダ回路により生成される第1のディ
ジタル信号の1つの値だけが変化する。一方、2値コー
ド信号の場合には、1つのあるコードワードの変化はデ
ィジタル信号の多く又はすべてを変化させることにな
る。
タル信号の少なくとも一方は、相補信号の組を有する。
この場合、関係するいずれのディジタル信号が変化する
時にも、その相補信号は相補な変化を行い、相補信号の
組の2つの信号による基板に結合される電荷の量は、相
互に相殺して雑音を低減する。本発明の第2の態様によ
れば、1個以上の第1のディジタル信号を生成するよう
に動作するディジタル回路と、第2のディジタル信号を
受ける複数の入力を有し、受けた第2のディジタル信号
に基づいて1個以上のアナログ信号を生成するように動
作するアナログ回路と、ディジタル回路とアナログ回路
部の間に介在する信号制御回路とを有する混合信号回路
であって、1つ以上の第1のディジタル信号とクロック
信号を受けるように接続され、受けた第1のディジタル
信号から少なくとも1つの第2のディジタル信号を導出
して、受けたクロック信号により規定される時間に導出
した第2のディジタル信号をアナログ回路の入力に印加
するように動作する複数の個別のクロック化回路と、基
本タイミング信号を受けるために共通に接続され、基本
タイミング信号から、1つ以上の対応するクロック化回
路に印加するクロック信号を導出するように動作する複
数の個別のクロックバッファ回路を有するクロック分配
回路とを備える混合信号回路が提供される。
のローディングがあるサイクルから次のサイクルでその
状態を変化させるクロック回路の個数に依存していると
いう事実から生じる第2のディジタル信号におけるジッ
タの問題を解決するのに効果的である。各クロック化回
路は、そのクロック化回路にだけ印加する専用のクロッ
ク信号を導出するためのそれぞれに個別に対応する専用
のクロックバッファ回路を有することが望ましい。この
ようなクロック化回路とクロックバッファ回路の間の1
対1の対応は、第2のディジタル信号におけるジッタを
著しく低減する。
クロック信号を対応するクロック化回路に印加する非反
転及び反転出力をそれぞれ有する。信号制御回路は、例
えば、第2のディジタル信号をその入力にそれぞれ同時
に印加するように動作する。例えば、クロック化回路は
それぞれラッチ回路である。
信号の少なくとも一方は、サーモメータ・コード信号又
は相補信号の組を有する。本発明の第3の態様によれ
ば、1個以上の第1のディジタル信号を生成するように
動作するディジタル回路と、第2のディジタル信号を受
ける複数の入力を有し、受けた第2のディジタル信号に
基づいて1個以上のアナログ信号を生成するように動作
するアナログ回路と、ディジタル回路とアナログ回路部
の間に介在する信号制御回路とを有する混合信号回路で
あって、1つ以上の第1のディジタル信号とクロック信
号を受けるように接続され、受けた第1のディジタル信
号から少なくとも1つの第2のディジタル信号を導出し
て、受けたクロック信号により規定される時間に導出し
た第2のディジタル信号をアナログ回路の入力に印加す
るように動作する複数の個別のクロック化回路と、複数
のクロック化回路を、それぞれが少なくとも1つのクロ
ック化回路を有する複数のユニットに分割し、異なるユ
ニットの各電源供給線を相互に分離する電源供給分離手
段とを備える混合信号回路が提供される。
し手段が信号制御回路の電源供給のステップの大きさに
依存するローディングが第2のディジタル信号にジッタ
を生じるのを防止する。本発明の第1の態様を実現した
混合信号集積回路装置又は本発明の第1及び第2の態様
を実現した混合信号回路は、ディジタル−アナログ変換
器である。例えば、この場合には、アナログ回路は複数
の電流源又は電流シンクと、電流源又は電流シンクに接
続され、第2のディジタル信号に基づいて所定のスイッ
チング動作を行って1つ以上のアナログ信号を生成する
複数のスイッチ回路とを備える。
タル−アナログ変換器(DAC)ICの部分を示す図で
ある。第3図の回路は、ディジタル部、ラッチ部及びア
ナログ部の3つの部分に分けられる。ラッチ部はディジ
タル部とアナログ部の間に配置される。
ディジタルに接続され、mビットのディジタル入力ワー
ドD1〜Dmを受けるデコーダ回路10を備える。デコ
ーダ回路10は、ディジタル入力ワードに基づいて、例
えばこれまで議論した図2の表に従ってそれぞれサーモ
メータ・コード信号T1〜Tnを生成するn個のディジ
タル回路DC1〜DCnで作られた出力ステージを有す
る。
の組12を備える。各ラッチ回路は、デコーダ回路10
により生成されるサーモメータ・コード信号T1〜Tn
の個々に対応する1つを受けるように接続される。各ラ
ッチ回路L1〜Lnは、更にクロック信号CLKを受け
る。ラッチ回路L1〜Lnは、その出力に、デコーダ回
路10により生成されたサーモメータ・コード信号T1
〜Tnにそれぞれ対応する各クロック化されたサーモメ
ータ信号TCK1〜TCKnを生成する。
ル入力ワードD1−Dmの新たな標本化(サンプル)が
行われ、サーモメータ・コード信号T1〜Tnは通常次
の1サイクルから次まで変化する。各サイクルでは、新
しいサンプルが行われた瞬間からこれらの信号が意図す
る最終値に安定するまで有限の時間を要するのが不可避
である。更に、いくつかのディジタル回路DC1〜DC
nは、他の回路より速くそれぞれのサーモメータ・コー
ド信号を発生する。ラッチ回路L1〜Lnのクロック化
された動作により、クロック化されたサーモメータ・コ
ード信号TCK1〜TCKnはすべてのサーモメータ・
コード信号TCK1〜TCKnがDACのあるサイクル
で意図した値に安定するまで変化しないようにできる。
〜ACnの組14を備える。アナログ回路AC1〜AC
nのそれぞれは、クロック化されたサーモメータ・コー
ド信号TCK1〜TCKnの個々に対応する1つを受け
る。アナログ回路AC1〜ACnはそれぞれ1個以上の
アナログ出力端子を有し、アナログ出力端子に生成され
た信号は適当に組み合わされて1個以上のアナログ出力
信号を生成する。例えば、電流は図1のように加算接続
線によって加算される。図3では、例として2つのアナ
ログ出力信号OUTAとOUTBが示されている。
〜DCnは、対応するラッチ回路L1〜Ln及び対応す
るアナログ回路AC1〜ACnと一緒に、DACのいわ
ゆる「セル」を構成する。このように、各セルは、ディ
ジタル回路DC、ラッチ回路L及びアナログ回路ACを
含む。ディジタル回路DCは、そのセル用の第1のディ
ジタル信号(サーモメータ・コード信号)Tを生成す
る。各セルのラッチ回路は、第1のディジタル信号Tを
受け、そのセルのアナログ回路ACに、すべてのセルの
第1のディジタル信号がその最終的に意図する値に安定
した時に、第1のディジタル信号Tに対応する第2のデ
ィジタル信号(クロック化されたサーモメータ信号)T
CKを伝達する。このように、ラッチ回路は、第1のデ
ィジタル信号から第2のディジタル信号を導出してアナ
ログ回路への印加のタイミングを制御する信号制御回路
として機能する。第2のディジタル信号TCKは、セル
のアナログ回路ACの所定の動作を制御するのに使用さ
れる制御信号として働く。この所定の動作は、セルのい
かなる態様の動作であってもよい。例えば、それは、セ
ルのアナログ出力信号のオン・オフを切り換える、又は
出力経路を制御するスイッチング又は選択動作である。
セルのアナログ回路ACの例は、図8の(B)を参照し
て後で説明される。
ル、ラッチ及びアナログ)は、それ独自の独立した電源
供給接続、例えば正の電源供給電位VDD及び負の電源
供給電位又は電気的グランドGNDを有する。このよう
に、ディジタル部はDIGITAL-VDD とDIGITAL-GND とを有
し、ラッチ部はLATCH-VDD とLATCH-GND とを有し、アナ
ログ部はANALOG-VDDとANALOG-GNDとを有する。これらの
異なるVDDとGNDの供給は、DACのICの異なる
それぞれの電源供給ピンで受けられる。このように、も
し望むなら、各部への供給の電位は互いに異ならせるこ
とができる。しかしながら典型的には、便宜上チップ外
では異なる各部に電源を供給するのに単一の電源供給が
使用され、チップが取り付けられる回路基板に、チップ
の適当な電源供給ピンに異なる電源供給を行うための適
当な回路を設け、公知の方法でインダクタンス及び容量
の要素を使用して異なる供給を相互に分離するようにす
る。
分の電源供給の間で接続しないように複数の経路があ
る。図4のように、本発明の第1の実施例では、図3の
回路は、P型導電性の半導体基板18上に作られる。こ
のP基板18は、DIGITAL-GND に接続される。回路のデ
ィジタル部は、Pウェル(P-well)20及びN(N-well)ウ
ェル22の内部又は上に含まれ、NウェルはDIGITAL-VD
D に等しくされる。
有するが、この場合Pウェル26はすべてNウェル24
内に形成される。Nウェル24は、Nウェル24とP基
板18の間の逆バイアスの作用によりチップの他の部分
からその内部の回路を分離する。Nウェル24の電位
は、ラッチ部の正の供給線LATCH-VDD に設定されるが、
Pウェル26の電位はLATCH-GND に等しくされる。逆バ
イアスのNウェル24は、ラッチ部のグランドであるLA
TCH-GND をディジタル部のグランドであるDIGITAL-GND
から分離し、基板18を介した抵抗結合はない。ラッチ
部の正の供給線LATCH-VDD とディジタル部のグランドDI
GITAL-GND の間の容量結合があるだけで、この結合は6
0pF/mm2 の範囲である。
8と30を有し、Pウェル30はNウェル28内にすべ
て含まれる。Pウェルの電位はアナログ部のグランドで
あるANALOG-GNDに設定され、Nウェル28の電位はアナ
ログ部の正の供給線ANALOG-VDDに等しくされる。同様
に、ANALOG-GNDは逆バイアスNウェル28によってDIGI
TAL-GND から分離されているので基板を介した抵抗結合
はない。
板表面の活性エリアの境界を定めるのに使用される。図
4のレイアウトは、いわゆる「三重ウェル(triple-wel
l) CMOSプロセス」を使用することにより実現さ
れ、更にその詳細は、例えば富士通(株)の^Advanced
Mixed Signal ASIC Product Review"(1997,pp 5 and 6)
に示されている。
る。図5に示すように、ラッチ部の正の供給線LATCH-VD
D とディジタル部のグランドDIGITAL-GND の間の容量結
合C LATCH は、ラッチ部のNウェル24により占められ
るエリアの面積に比例する。このように、Nウェル24
により占められるエリアは、最小化することが望まし
く、従ってラッチ部の回路をできるだけ簡単にすること
が望ましい。
ディジタル部のグランドDIGITAL-GND の間の結合量は、
ラッチ部のNウェル24とディジタル部のウェル20、
22との間の側方分離により影響されることも分かる。
分離が大きいほど結合は小さくなる。しかし、より大き
な分離はチップ内の集積度を低下させることを意味し、
なんらかの設計上の妥協が不可避的に必要になることが
分かる。
グ部のNウェル28により占められるエリアの面積が、
アナログ部の正の供給線ANALOG-VDDとディジタル部のグ
ランドDIGITAL-GND の間の容量結合CANALOGの程度に影
響する。面積が小さくなるほど容量結合が小さくなる。
更に、Nウェル28とディジタル部の2つのウェル2
0、22の間の分離が大きいほどよい。
許容量を減少させるため、供給線はDIGITAL-VDD 、DIGI
TAL-GND 、LATCH-VDD 、LATCH-GND 、ANALOG-VDD及びAN
ALOG-GNDである。図4のレイアウトは、これらの雑音の
許容量の要求に適合し、もっとも敏感である供給線ANAL
OG-VDD及びANALOG-GNDがもっとも雑音を発生するディジ
タル部からもっとも遠くになっている。
れぞれ接続される)Pウェル26と30は、それぞれの
Nウェル24と28のディジタル部により近い側に位置
している。LATCH-GND とANALOG-GNDのDIGITAL-GND とDI
GITAL-VDD からの分離を更に改善するため、替わりにそ
れらをそれぞれのNウェル24と28の他方の側に位置
させ、これらのPウェルのディジタル部からの距離を最
大にしてもよい。
回路のレイアウトを示す。図6の実施例は、いわゆる絶
縁体上シリコン(SOI)を有し、そこではシリコン材
料(ここではP型)の基板40が高エネルギ酸化粒子の
形で打ち込まれ、二酸化けい素SiO2 の打ち込まれた
層42を、基板表面から小さな厚さ形成する。打ち込ま
れた二酸化けい素層42の形成の後、酸化物トレンチ4
4と46が基板40に形成され、このトレンチは下側に
伸びて堆積された二酸化けい素層42にまで達する。従
って、酸化トレンチ44と46は、図3の回路のディジ
タル部、ラッチ部及びアナログ部にそれぞれ対応する3
つの領域40A、40B及び40Cに基板を分割するよ
うに機能する。
は、Pウェル48A〜48C及びNウェル50A〜50
Cが従来の方法で形成される。ディジタル部に対応する
領域40A内では、基板はディジタル部のグランドDIGI
TAL-GND に接続され、Nウェル50Aはディジタル部の
正の供給線DIGITAL-VDD に接続される。ラッチ部に対応
する領域40Bでは、基板はラッチ部のグランドLATCH-
GND に接続され、Nウェル50Bはラッチ部の正の供給
線LATCH-VDD に接続される。アナログ部に対応する領域
40Cでは、基板はアナログ部のグランドANALOG-GNDに
接続され、Nウェル50Cはアナログ部の正の供給線ア
ナログVDDに接続される。
の替わりに、基板と反対の導電性のウェルを使用して異
なる部分を分離することが可能である。これらのウェル
は絶縁層42まで伸びる必要がある。分離ウェルは、も
しそれらが絶縁層42まで伸びるなら、ウェル50A〜
50Cと同じものである。図7は、いわゆる貼り合わせ
ウエハ構造上の図3の回路の他のレイアウトを示す図で
ある。図6の実施例のSOI構造で生じる問題の1つ
は、基板表面の下の二酸化ケイ素層を形成するのに必要
な高エネルギ酸素打ち込みによる基板へのダメージに関
係する。図7の貼り合わせウエハ構造は、典型的には最
初の厚さが300μmのデバイスウエハを使用してその
露出表面を酸化して酸化層52を形成することにより、
この問題を解決する。デバイスウエハは、典型的には厚
さが300μmの背面ウエハ54が貼り付けられ、デバ
イスウエハと背面ウエハの間に酸化層52が位置するウ
エハのサンドイッチが形成される。この後、デバイスウ
エハは厚さが約5μmまで低減され、その結果得られた
構造に酸化物トレンチ44と46、Pウェル48A〜4
8C及びNウェル50A〜50Cを従来の方法で形成す
るように処理される。貼り合わせウエハ構造は、図6の
SOI構造で必要な酸素打ち込み工程がないので、張り
合わされたウエハ構造の基板は一般にSOI構造に比べ
て高品質である。
た。しかし、替わりにN型の基板を使用してこれまで説
明したのと逆の導電性のウェルを使用することもでき
る。この場合、N基板とNウェルは関係するグランドG
NDに、Pウェルは関係する正の供給線VDDに接続さ
れる。図8の(A)と(B)は、図3の回路のセルのラ
ッチ回路Lとアナログ回路ACの構造の例をそれぞれ示
す。
合は)マスタ−スレーブ構成を有する差動D型である。
図8の(A)のラッチ回路は、NANDゲート62と6
4で構成されるマスタフリップフロップ60と、NAN
Dゲート68と70で構成されるスレーブフリップフロ
ップ66とを有する。NANDゲート72と74はそれ
ぞれ(図3の)クロック信号CLKをその入力の1つで
受ける。ゲート72と74の他の入力は、回路のTと/
Tの入力にそれぞれ接続されている。T入力は、関係す
るセルのディジタル回路DCにより生成されるサーモメ
ータ・コード信号Tを受ける。/T入力は、サーモメー
タ・コード信号の相補信号/Tを受けるように接続され
ている。相補信号Tと/Tは、この実施例では、信号T
におけるいかなる変化も信号/Tにおける相補の変化を
伴うから、入力ワードが変化した時に電源供給線上に現
れる雑音を低減するのに使用される。しかし、図8の
(A)の回路は、(図示していない)付加したインバー
タを単一入力とゲート74の関係する入力の間に設け
て、単一の信号Tの入力を有するように変形してもよ
い。
ロップ60の出力M、/Mとスレーブフリップフロップ
66の入力との間に接続されるNANDゲート76と7
8を含む。これらのゲート76と78は、インバータ8
0によって生成されたクロック信号CLKの反転された
信号/CLKを受ける。スレーブフリップフロップの出
力は、それぞれ相互に相補である出力信号TCKと/T
CKを生成する。
り、クロック信号CLKが「高」の時には、ゲート72
と74はイネーブルであり、マスタフリップフロップ6
0の出力Mと/Mをそれぞれ入力Tと/Tと同じ論理
値、すなわちM=T、/M=/Tにする。ゲート76と
78は、ディスエーブルであり、従ってスレーブフロッ
プ66は前の状態を維持する。クロック信号CLKが
「高」から「低」に変化する時、マスタフリップフロッ
プ60への入力はTと/Tから切り離され、スレーブフ
ロップ66の入力は同時にマスタフリップフロップ60
の出力Mと/Mに結合される。従って、マスタフリップ
フロップ60はその状態をスレーブフロップ66に伝達
する。マスタフリップフロップ60はその時には実効的
にディスエーブルなので、出力信号TCKと/TCKに
はこれ以上の変化は生じない。クロック信号CLKの次
の立ち上がりエッジで、スレーブフロップ66はマスタ
フリップフロップ60から切り離されてその状態を維持
し、マスタフリップフロップ60は再び入力信号Tと/
Tに従う。
続するラッチ回路を示すが、これは本質的なことではな
い。少なくとも1つの第1のディジタル信号を受けて、
この第1のディジタル信号から導出した複数の第2のデ
ィジタル信号を、各第2のディジタル信号の次のアナロ
グ回路への印加のタイミングをうまく制御するように出
力する限り、いかなる信号制御回路でも使用できる。第
1及び第2のディジタル信号は個数が等しい必要はな
い。例えば、信号制御回路は、2個以上の第1のディジ
タル信号を合わせて1つの第2のディジタル信号を生成
する組合せ論理機能を有することができる。更に、第2
のディジタル信号を異なるアナログ回路の入力に同時に
印加する場合である必要はかならずしもない。第2のデ
ィジタル信号の交互の印加が必要である場合には、異な
る第2のディジタル信号を各入力に印加するそれぞれの
時にも注意深い制御が必要である。
の例示的なアナログ回路ACの部分を一部を示す図であ
る。アナログ回路ACは、定電流源90と差動スイッチ
回路100とを備える。差動スイッチ回路100は、第
1及び第2のPMOS電界効果トランジスタ(FET
s)S1、S2を備える。トランジスタS1、S2の各
電源は、電流源90も接続されている共通ノードCNに
接続されている。トランジスタS1、S2の各ドレイン
は、回路のそれぞれの第1及び第2の加算出力端子OU
TAとOUTBに接続されている。この実施例では、す
べてのセルの各出力端子OUTAは共通に接続され、す
べてのセルの各出力端子OUTBは共通に接続されてい
る。
に接続される対応するドライバ回路1061 、1062
を有する。セルのラッチ回路L(例えば、図8の
(A))により生成されるクロック化されたサーモメー
タ信号TCKと/TCKは、それぞれドライバ回路10
61 と1062 の入力に印加される。各ドライバ回路
は、受け取った入力信号TCK又は/TCKをバッファ
リング及び反転して、その関係するトランジスタS1又
はS2用のスイッチング信号SW1又はSW2を生成
し、安定状態では、トランジスタS1とS2の一方がオ
ンで、他方がオフである。例えば、図2自体に示される
ように、入力信号TCKは「高レベル(H)」を有し、
入力信号/TCKは「低レベル(L)」を有し、トラン
ジスタS1用のスイッチング信号SW1(ゲート駆動電
圧)はトランジスタをオンにするように低レベルLであ
り、トランジスタS2用のスイッチング信号SW1(ゲ
ート駆動電圧)はトランジスタをオフにするように高レ
ベルHである。このように、この状態では、共通ノード
CNに流れ込む電流Iはすべて第1の出力端子OUTA
を通過し、第2の出力端子OUTBは通過しない。
に示す状態から相補的な変化を行う時、トランジスタS
1はトランジスタS2がオンになるのと同時にオフす
る。多くの他の設計のアナログ回路を使用することがで
きる。例えば、他の差動スイッチ回路は、英国特許出願
第9800387.4号に説明されており、DACのI
Cで使用される他のセルアレイ及び他の混合信号ICは
英国特許出願第9800367.6号に説明されてい
る。
適当な2値サーモメータ・コーディング回路も使用でき
る。2段階のデコード方法が、2個以上のグローバルデ
コーダが入力ワードを(行及び列の信号又は行、列及び
深さの信号として参照される)サーモメータ・コード信
号の2個以上の組(又はディメンジョン)にデコードす
るのに使用できる。信号のこれらの2個以上の組は、そ
れぞれセルに対応する複数のローカルデコーダに伝達さ
れる。各ローカルデコーダは、グローバルデコーダによ
り生成された組内の少ない個数(例えば2又は3)を受
けてデコードする。これらのローカルデコーダは、サー
モメータ・コード信号の組にそれぞれ対応する2個以上
のディメンジョンにおいて、論理的に(かならずしも物
理的にではない)配置されていると見なせる。ローカル
デコーダは、サーモメータ・コード信号の組によってア
ドレスされ、簡単な組合せ論理を使用してそれぞれのセ
ル用の各「ローカル」サーモメータ・コード信号を導出
する。図3のディジタル回路DC1〜DCnは、例え
ば、それぞれこのようなローカルデコーダだけから構成
され、グローバルデコーダはこれらのディジタル回路D
C1〜DCnの外にある。更に、2段のサーモメータ・
コーディングの詳細は、出願中の英国特許出願第980
0384.1号に示されている。
源供給の分離を更に改善することを目的とした図3の回
路の変形例を示す。図9の変形例では、回路は4つの異
なる部分、すなわち、アナログ、ラッチ、デコーダ及び
「他のディジタル」部に分けられている。各部分は、そ
れ専用の独立したVDDとGNDの供給線を有する。こ
の方法で、デコーダ回路はDACのチップ上に含まれる
ディジタル回路の残りの部分110の電源供給線から分
離されたそれ専用の電源供給線を有する。これにより、
デコーダ部における複数ゲートの急速な同時スイッチン
グによるデコーダ部電源供給線における変化は、基板か
ら分離される。すなわち、「それを清潔にする(cleanin
g it up)」。更に、デコーダ部は雑音の多い「他のディ
ジタル」部をより敏感なアナログ及びラッチ部から物理
的に分離するように機能する。
を参照して説明したいかなるレイアウトにも容易に適用
できる。例えば、図4の実施例の場合、ディジタル部と
ラッチ部の間に更に「三重ウェル」を加えることだけが
必要であり、他の部分は図4のラッチ部に等価な構造を
有するが、Pウェルがデコーダ部のグランドデコーダG
NDに接続され、Nウェルがデコーダ部の正の供給線デ
コーダVDDに接続される。対応する変形例は、基板4
0を最初の3つの替わりに4つの領域に単に分けるだけ
で図6及び図7の実施例で可能である。
つのレイアウトの例を示すDACチップの一部の概略平
面図を示す。図10に示すように、アナログ回路ACは
正方形又は長方形の領域112に配置される。領域11
2の3方の回りには、ラッチ回路LがU字形の領域11
4に配置されている。これまで述べたように、ラッチ回
路は(数個のゲートを有するだけの)簡単な構成である
ことが望ましく、それにより占められる領域114は小
さいことが望ましい。
ル回路DCが別のU字形の領域116内に配置される。
この領域116の外側では、DACチップの残りのディ
ジタル回路(「他のディジタル」)が領域118内に配
置される。接点120は、回路の部分をチップの(図示
していない)外部ピンに接続するのに使用される。図1
1は、図3の回路のラッチ部を実現する1つの例を示す
ブロック回路図である。この例では、クロック発生器2
10は単一のクロックバッファ回路220に接続され、
そこに基本クロック信号BCLKを印加する。クロック
バッファ220は、回路が使用されている時に相補のク
ロック信号CLKと/CLKが発生される非反転及び反
転出力を有する。
ック信号CLKをバッファリングするだけで生成され、
反転クロック信号/CLKは基本クロック信号CLKを
反転してバッファリングすることにより生成される。ク
ロックバッファ220が周波数分割機能を有し、例え
ば、相補クロック信号CLKと/CLKを基本クロック
信号BCLKの半分の周波数にすることも可能である。
この場合、クロックバッファ220は、その反転出力が
そのデータ入力に戻されるように接続されるD型フリッ
プフロップによって実現でき、基本クロック信号BCL
Kはフリップフロップのクロック入力に印加され、反転
クロック信号CLKと/CLKはそれぞれフリップフロ
ップの非反転及び反転出力に生成される。
配線230と240を介してそれぞれラッチ回路L1〜
Lnのクロック入力に分配される。これらのラッチ回路
L1〜Lnは、この例では反転されたクロック信号/C
LKがクロックバッファ220により発生されるので図
8の(A)に示したインバータ80が必要ない以外は、
それぞれ図8の(A)に示した構成を有する。
ータに依存するジッタが出力サーモメータ信号TCK1
〜/TCKnに存在するアプリケーションを要求される
場合にはかならず満足のいくように動作するとは限らな
いということを本願発明者が分かった。図12は、図3
のデコーダ10に印加される入力コードD1 〜Dmにお
ける異なるサンプル−サンプルの変化に対するジッタに
おける変動を示す。入力コードがあるサンプルから次の
サンプルで変化しない時(すなわち、入力ワードD1〜
Dmが基本クロック信号BCLKの1サイクルの前後で
同じ時)、出力サーモメータ信号TCK、/TCKにお
けるジッタは無視できるほど小さい。しかし、入力ワー
ドがあるサイクルから次のサイクルで変化する時、ジッ
タの量がサンプル−サンプルの変化の大きさに比例して
増加することが観察される。このようなサンプル−サン
プルの最大の変化は、入力ワードがその負のフルスケー
ル値−FSからその正のフルスケール値+FSに変化す
る時又はその逆の時のいずれかで起きる。この場合、ジ
ッタは20ps位である。入力ワードのより小さい変化
に対しては、ジッタは比例して低減される。例えば、入
力ワードがフルスケール値FSの1/4に等しい量(例
えば、入力ワードが+1/2FSから+3/4FS)だけ増加す
る時、観察されるジッタはほぼ5psである。
さに比例して変化する理由は、クロックバッファ220
によって生成されるクロック信号CLKと/CLKのロ
ーディングがラッチ回路L1〜Lnがあるサイクルから
次のサイクルでその状態を変化させる個数に依存してい
ることによる。入力ワードがあるサイクルから次のサイ
クルで同じ時には、その状態を変化させるラッチ回路は
ないので、クロック信号CLKと/CLKのローディン
グは最小である。一方、入力ワードが変化する時、ラッ
チ回路L1〜Lnのいくつかは、あるサイクルから次の
サイクルでその状態を変化させ、状態を変化させるラッ
チ回路の個数が大きくなるに従ってクロック信号CLK
と/CLKで行われるローディングが大きくなる。
クバッファ220における出力トランジスタのサイズを
単に増加させてロード駆動能力をより大きくすることが
考えられるが、そのような解決策は実際には不満足であ
る。1つの理由は、クロックバッファ220の電流消費
が増加し、その結果敏感なアナログ電源供給線ANALOG-V
DDとANALOG-GNDに相互結合せざるをえないラッチ回路電
源線LATCH-VDD とLATCH-GND に付加的な雑音を結合する
ことになるということである。また、重い負荷の分配線
230と240は相対的に長く、その結果相対的に高い
寄生容量を有し、クロックバッファ220から異なるラ
ッチ回路に分配されるクロック信号に不可避的にスキュ
ーを生じる。
タの問題に対する好適な解決策を図13に示す。図13
では、クロックバッファ220はラッチ回路L1〜Ln
にそれぞれ対応するクロックバッファB1〜Bnのアレ
イに置き換えられる。各クロックバッファB1〜Bn
は、その入力でクロック発生回路210により生成され
た基本クロック信号BCLKを受け、その非反転及び反
転出力に対応するラッチ回路に専用の相補のクロック信
号CLKと/CLKを生成する。従って、各バッファ回
路は図11のクロックバッファ220と同じ基本構成を
有するが、各バッファ回路B1〜Bnは1つのラッチ回
路だけを駆動するので、その出力トランジスタのサイズ
を図11のクロックバッファ220よりはるかに小さく
できる。
ク発生回路210の間に配置される専用のバッファ回路
B1〜Bnを有するので、クロック発生回路210をバ
ッファ回路B1〜Bnにリンクさせるクロック分配線2
50は、図11の対応するクロック分配線230と24
0より、ラッチ回路の状態の変化による影響がはるかに
少なくなる。従って、ジッタの量は著しく低減され、例
えば、入力ワードのいかなるサンプル−サンプル変化に
対しても2ps以下になる。
補の基本クロック信号BCLKと/BCLKをバッファ
回路に分配することも可能であり、その場合には各バッ
ファ回路は基本クロック信号から必要な相補の「ローカ
ル」クロック信号CLKと/CLKを導出するためのイ
ンバータを単に有するだけである。これは、クロック分
配線が相補の変化を行い、(2つのクロック分配線が容
量的に結合される)基板へのクロック信号の変化の影響
を低減するという利点を有する。
ッタのパフォーマンスを改善するため、各ラッチ回路に
図13に示したようなそれ専用のバッファ回路を設ける
ことは必要でないことが理解されるであろう。例えば、
2個以上のラッチ回路(例えば隣接するラッチ回路L1
とL2)が同一のバッファ回路Bを共有し、バッファ回
路の全体個数を低減することが可能である。しかし、こ
の場合いくつかのデータ依存ジッタが残るのが避けられ
ない。例えば、いくつかの入力ワードの変化はラッチ回
路L1とL2の両方の状態を変化(高ローディング)さ
せ、他の入力ワードの変化は1つだけの状態を変化させ
るか又は両方の状態を変化させない(中間又は低ローデ
ィング)ことがある。共通のバッファ回路を共有するラ
ッチ回路内のこれらの異なるローディングの可能性のた
め、ジッタは(図12の場合より低レベルではあるが)
存在する。
ロック分配線又は複数の線のローディングから生じるジ
ッタを低減するのに効果があるが、信号制御回路の電源
供給線へのロードはあるクロックサイクルから次のクロ
ックサイクルへの変化の大きさに依存する、すなわちラ
ッチ回路L1〜Lnのあるクロックサイクルから次のク
ロックサイクルで状態を変化させる個数に依存するとい
う事実から別のジッタが生じることが分かった。この問
題を解決するため、図14に示すように、信号制御回路
は電源供給の目的でn個の個別のユニットPSU1〜P
SUnに分割される。各ユニットPSUはクロックバッ
ファ回路B’とラッチ回路Lで作られる。
は、異なる各クロック分配線320から330によって
各異なるクロックバッファ回路B1’〜Bn’に分配さ
れる相互に相補の基本クロック信号BCLKと/BCL
Kを発生するように動作する。従って、各クロックバッ
ファ回路B’は関係するラッチ回路Lに印加するための
必要な「ローカル」な相互に相補なクロック信号を生成
する2個のインバータを備える。
U1〜PSUn用のVDDとGNDの供給線は、第1及
び第2の抵抗RAとRB及び容量Cを使用して相互に切
り離される。抵抗RAはそのユニットPSUの第1の電
源供給ノードNAを信号制御回路の正の主供給線LATCH-
VDD に接続する。この第1の電源供給ノードNAは、ユ
ニットPSU内でそのユニットのクロックバッファ回路
B’とラッチ回路LのVDD接続端子に接続される。同
様に、抵抗RBはそのユニットPSUの第2の電源供給
ノードNBを信号制御回路の主たる電気的なグランド線
LATCH-GND に接続する。この第2の電源供給ノードNB
は、ユニットPSU内で関係するユニットのバッファ回
路B’とラッチ回路LのGND接続端子に接続される。
容量Cは、2個のノードNAとNBの間に接続される。
に、抵抗RAは、ソースが正の主供給線LATCH-VDD に接
続され、ドレインがノードNAに接続されたPMOSト
ランジスタにより構成されている。PMOSトランジス
タのゲートは、LATCH-GND に接続されている。抵抗RB
は、ソースが主たる電気的なグランド線LATCH-GND に接
続され、ドレインがノードNBに接続されたNMOSト
ランジスタにより構成されている。NMOSトランジス
タのゲートは、LATCH-VDD に接続されている。トランジ
スタのゲートをLATCH-GND とLATCH-VDD にそれぞれ接続
する理由は、トランジスタの抵抗が電源供給電圧LATCH-
VDD とLATCH-GND における変化をトラック(追跡)し、
これらの2つの供給線の間の電位差が増加した時には、
トランジスタはより強力にオン状態になり、その各抵抗
値を減少させる。
トランジスタのサイズを、ユニットPSUの個別の1つ
の回路(すなわち、バッファ回路B’とラッチ回路L)
に含まれるトランジスタのサイズに一致させることが望
ましい。例えば、RAとRBを生じるように使用される
各トランジスタのサイズは、個別のユニットPSUのバ
ッファ回路とラッチ回路におけるトランジスタの全体サ
イズに等しくする。
考えは、図11の実施例に適用しても効果がある。この
場合、異なるラッチ回路は各クロックバッファ回路を持
たないので、電源供給の目的の個別のユニットPSU
は、それぞれラッチ回路L1〜Lnの1つだけに単に接
続することで構成される。同様に、(更なる可能性につ
いて前述した)2個以上のラッチ回路が同一のクロック
バッファ回路を共有する時には、電源供給のためのユニ
ットPSUは、それらの2個以上のラッチ回路とそれら
のラッチ回路にクロック信号を印加する共通のバッファ
回路で形成される。
号10の)ディジタル回路がサーモメータ・コード信号
を生成するということは本質的なことではない。例え
ば、アナログ回路は、サーモメータ・コード信号が使用
される場合のように組み合わされるより、ディジタル回
路によって生成されるディジタル信号に従って個別に選
択されるべきである。これにより、ディジタル回路によ
って生成されるディジタル信号は、相互に排他的な選択
信号になる。
法は、敏感なアナログ回路が時間的に単一の良好に規定
された瞬間又はそれぞれずれた(しかし良好に規定され
た)瞬間にそれぞれ所定の動作を実行できなければなら
ないいかなる状況にも適用可能である。
雑音を低減したディジタル回路とアナログ回路の混合回
路が実現できる。
コード信号を示す図表である。
である。
アウトの概略断面図を示す図である。
である。
レイアウトの概略断面図である。
レイアウトの概略断面図である。
適したラッチ回路とアナログ回路の回路図である。
す図である。
概略的な平面図である。
路の第1の例のブロック回路図である。
グラフを示す図である。
路の第2の例のブロック回路図である。
の一部のブロック回路図である。
Claims (14)
- 【請求項1】 1個以上の第1のディジタル信号を生成
するように動作するディジタル回路を含むディジタル回
路部と、 第2のディジタル信号を受ける複数の入力を有し、受け
た前記第2のディジタル信号に基づいて1個以上のアナ
ログ信号を生成するように動作するアナログ回路を含む
アナログ回路部と、 前記ディジタル回路と前記アナログ回路部に接続され、
前記第1のディジタル信号から前記第2のディジタル信
号を導出し、前記入力への前記第2のディジタル信号の
印加のタイミングを制御する信号制御回路を含む信号制
御回路部と、 前記回路部のそれぞれに独立に電源を供給する電源供給
手段とを備えることを特徴とする混合信号集積回路装
置。 - 【請求項2】 前記電源供給手段は、各回路部に少なく
とも1つの電源供給接続経路を備え、該経路は当該装置
内を当該回路部と当該装置の電源供給端子の間に伸び、
他の前記回路部のそれぞれの少なくとも1つのこのよう
な電源供給接続経路と独立であることを特徴とする請求
項1記載の混合信号集積回路装置。 - 【請求項3】 前記ディジタル回路は、そこに印加され
たディジタルコードのワードから前記第1のディジタル
信号を導出するように動作するデコーダ回路と、他のデ
ィジタル処理を実行する別の回路を有し、前記電源供給
手段は前記別の回路及び前記デコーダ回路へ独立に電源
を供給するように動作することを特徴とする請求項1記
載の混合信号集積回路装置。 - 【請求項4】 前記信号制御回路は、前記第2のディジ
タル信号を前記入力にそれぞれ同時に印加するように動
作することを特徴とする請求項1記載の混合信号集積回
路装置。 - 【請求項5】 前記第1のディジタル信号と前記第2の
ディジタル信号の少なくとも一方は、サーモメータ・コ
ード信号を有することを特徴とする請求項1記載の混合
信号集積回路装置。 - 【請求項6】 前記第1のディジタル信号と前記第2の
ディジタル信号の少なくとも一方は、相補信号の組を有
することを特徴とする請求項1記載の混合信号集積回路
装置。 - 【請求項7】 前記信号制御回路は複数の個別のクロッ
ク化回路を備え、各クロック化回路は1つ以上の前記第
1のディジタル信号と前記クロック信号を受けるように
接続され、受けた前記第1のディジタル信号から少なく
とも1つの前記第2のディジタル信号を導出して、受け
た前記クロック信号により規定される時間に導出した前
記第2のディジタル信号を前記アナログ回路の入力に印
加するように動作することを特徴とする請求項1記載の
混合信号集積回路装置。 - 【請求項8】 各クロック化回路はラッチ回路を有する
ことを特徴とする請求項7記載の混合信号集積回路装
置。 - 【請求項9】 前記信号制御回路は、基本タイミング信
号を受けるために共通に接続された複数の個別のクロッ
クバッファ回路を有するクロック分配回路を更に備え、
各クロックバッファ回路は、前記基本タイミング信号か
ら、1つ以上の対応する前記クロック化回路に印加する
クロック信号を導出するように動作することを特徴とす
る請求項7記載の混合信号集積回路装置。 - 【請求項10】 各クロック化回路は、そのラッチ回路
にだけ印加する専用のクロック信号を導出するためのそ
れぞれに個別に対応するクロックバッファ回路を有する
ことを特徴とする請求項9記載の混合信号集積回路装
置。 - 【請求項11】 各クロックバッファ回路は、相互に相
補のクロック信号を前記対応するクロック化回路に印加
する非反転及び反転出力をそれぞれ有することを特徴と
する請求項9記載の混合信号集積回路装置。 - 【請求項12】 各クロックバッファ回路は、相互に相
補である前記基本タイミング信号を受ける第1及び第2
の入力を有し、それから前記クロック信号または前記相
互に相補であるクロック信号を導出することを特徴とす
る請求項9記載の混合信号集積回路装置。 - 【請求項13】 1個以上の第1のディジタル信号を生
成するように動作するディジタル回路と、 第2のディジタル信号を受ける複数の入力を有し、受け
た前記第2のディジタル信号に基づいて1個以上のアナ
ログ信号を生成するように動作するアナログ回路と、 前記ディジタル回路と前記アナログ回路部の間に介在す
る信号制御回路とを有する混合信号回路であって、 1つ以上の前記第1のディジタル信号と前記クロック信
号を受けるように接続され、受けた前記第1のディジタ
ル信号から少なくとも1つの前記第2のディジタル信号
を導出して、受けた前記クロック信号により規定される
時間に導出した前記第2のディジタル信号を前記アナロ
グ回路の入力に印加するように動作する複数の個別のク
ロック化回路と、 前記複数のクロック化回路を、それぞれが少なくとも1
つの前記クロック化回路を有する複数のユニットに分割
し、異なるユニットの各電源供給線を相互に分離する電
源供給分離手段とを備えることを特徴とする混合信号回
路。 - 【請求項14】 各ユニットの前記電源供給分離手段
は、 前記信号制御回路の正の主電源供給線を、当該ユニット
の回路の各電源供給接続端子が接続される第1のノード
に接続する第1の抵抗要素と、 前記信号制御回路の負の主電源供給線を、当該ユニット
の回路の負の電源供給接続端子が接続される第2のノー
ドに接続する第2の抵抗要素と、 前記第1及び第2のノードの間に接続される容量素子と
を備えることを特徴とする請求項13記載の混合信号回
路。
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