JPH11322420A - 圧電磁器組成物およびその製造方法 - Google Patents
圧電磁器組成物およびその製造方法Info
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- JPH11322420A JPH11322420A JP13638798A JP13638798A JPH11322420A JP H11322420 A JPH11322420 A JP H11322420A JP 13638798 A JP13638798 A JP 13638798A JP 13638798 A JP13638798 A JP 13638798A JP H11322420 A JPH11322420 A JP H11322420A
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- piezoelectric ceramic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気機械結合係数が比較的大きく、２８０℃
近傍の半田付け実装温度でも電気特性劣化が少なく、耐
湿性が良好で、温度サイクルによる共振周波数変化の少
ないフィルタ用圧電磁器組成物を提供することを目的と
する。 【解決手段】 一般式（化１）で表される主成分に、副
成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4の少なくとも一種を
主成分１００重量％に対して０．０５〜０．８重量％添
加して形成した圧電磁器１の分極を１３０〜１８０℃の
温度範囲において３．０ｋＶ／mm以上の直流電界を印加
して行った後、分極用電極間を短絡させた状態で１５０
〜２５０℃の温度下で熱処理温度と熱処理時間の積が１
８００（℃・時間）以上となるような条件下で熱処理す
る。 【化１】
近傍の半田付け実装温度でも電気特性劣化が少なく、耐
湿性が良好で、温度サイクルによる共振周波数変化の少
ないフィルタ用圧電磁器組成物を提供することを目的と
する。 【解決手段】 一般式（化１）で表される主成分に、副
成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4の少なくとも一種を
主成分１００重量％に対して０．０５〜０．８重量％添
加して形成した圧電磁器１の分極を１３０〜１８０℃の
温度範囲において３．０ｋＶ／mm以上の直流電界を印加
して行った後、分極用電極間を短絡させた状態で１５０
〜２５０℃の温度下で熱処理温度と熱処理時間の積が１
８００（℃・時間）以上となるような条件下で熱処理す
る。 【化１】
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に厚みすべりモ
ード共振を利用したフィルタに用いるもので電気機械結
合係数が比較的大きく、耐熱性および耐湿性が良好で温
度サイクル前後での共振周波数変化が少ない圧電磁器組
成物およびその製造方法に関するものである。
ード共振を利用したフィルタに用いるもので電気機械結
合係数が比較的大きく、耐熱性および耐湿性が良好で温
度サイクル前後での共振周波数変化が少ない圧電磁器組
成物およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より圧電磁器組成物としてはチタン
酸ジルコン酸鉛磁器、マグネシウムニオブ酸チタン酸ジ
ルコン酸鉛磁器、および亜鉛ニオブ酸チタン酸ジルコン
酸鉛磁器などがあり、使用目的に応じて種々の改良がな
されてきた。
酸ジルコン酸鉛磁器、マグネシウムニオブ酸チタン酸ジ
ルコン酸鉛磁器、および亜鉛ニオブ酸チタン酸ジルコン
酸鉛磁器などがあり、使用目的に応じて種々の改良がな
されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】フィルタに用いる圧電
磁器組成物は表面実装タイプのチップ部品に対応するた
め半田付け実装温度に耐えうる耐熱性と電子機器の過酷
な環境下での使用を前提とした信頼性（特に耐湿性）が
要求されている。
磁器組成物は表面実装タイプのチップ部品に対応するた
め半田付け実装温度に耐えうる耐熱性と電子機器の過酷
な環境下での使用を前提とした信頼性（特に耐湿性）が
要求されている。
【０００４】さらに従来の圧電磁器組成物は実用上に重
要な信頼性の一つである温度サイクル前後で共振周波数
が変化するという問題があり、電子機器の安定動作のた
め共振周波数の変化をできるだけ低く抑える必要があっ
た。
要な信頼性の一つである温度サイクル前後で共振周波数
が変化するという問題があり、電子機器の安定動作のた
め共振周波数の変化をできるだけ低く抑える必要があっ
た。
【０００５】そこで本発明は、厚みすべりモード共振を
利用したフィルタに適した電気機械結合係数が比較的大
きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性劣
化が少なく、高湿度雰囲気下でも電気特性劣化が少な
く、かつ温度サイクルによる共振周波数変化の少ない圧
電磁器組成物を提供することを目的とするものである。
利用したフィルタに適した電気機械結合係数が比較的大
きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性劣
化が少なく、高湿度雰囲気下でも電気特性劣化が少な
く、かつ温度サイクルによる共振周波数変化の少ない圧
電磁器組成物を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表され
る主成分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4のう
ち少なくとも一種を前記主成分１００重量％に対して
０．０５〜０．８重量％添加して形成したものである。
に本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表され
る主成分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4のう
ち少なくとも一種を前記主成分１００重量％に対して
０．０５〜０．８重量％添加して形成したものである。
【０００７】
【化３】
【０００８】この構成によると比較的大きな比誘電率ε
11 T／ε0と電気機械結合係数ｋ15を実現すると同時に良
好な耐熱性、耐湿性と温度サイクルによる共振周波数変
化を低減できる。
11 T／ε0と電気機械結合係数ｋ15を実現すると同時に良
好な耐熱性、耐湿性と温度サイクルによる共振周波数変
化を低減できる。
【０００９】またＰｂ量を化学量論比より若干多くする
ことにより焼成時のＰｂＯ飛散の影響を低減すると同時
に焼結性を高め、Ｐｂの部分Ｎｄ置換で耐湿性改善およ
び温度サイクルによる共振周波数変化を低減し、副成分
としてのＣｒ2Ｏ3およびＭｎ 3Ｏ4のうち少なくとも一種
の添加で圧電性を低下させることなく耐熱性を改善し
た。またＰｂの部分Ｎｄ置換で比誘電率ε11 T／ε0が上
昇し、フィルターで帯域幅を広くとれるという利点があ
る。
ことにより焼成時のＰｂＯ飛散の影響を低減すると同時
に焼結性を高め、Ｐｂの部分Ｎｄ置換で耐湿性改善およ
び温度サイクルによる共振周波数変化を低減し、副成分
としてのＣｒ2Ｏ3およびＭｎ 3Ｏ4のうち少なくとも一種
の添加で圧電性を低下させることなく耐熱性を改善し
た。またＰｂの部分Ｎｄ置換で比誘電率ε11 T／ε0が上
昇し、フィルターで帯域幅を広くとれるという利点があ
る。
【００１０】その結果上記目的を達成することができる
のである。
のである。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、一般式（化４）で表される主成分に、副成分として
Ｃｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4の少なくとも一種を前記主成分
１００重量％に対して０．０５〜０．８重量％添加して
形成した圧電磁器組成物であり、厚みすべりモード共振
を利用したフィルタに適した電気機械結合係数が比較的
大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性
劣化の少ない、耐湿性に優れ、温度サイクルによる共振
周波数変化の少ないものである。
は、一般式（化４）で表される主成分に、副成分として
Ｃｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4の少なくとも一種を前記主成分
１００重量％に対して０．０５〜０．８重量％添加して
形成した圧電磁器組成物であり、厚みすべりモード共振
を利用したフィルタに適した電気機械結合係数が比較的
大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性
劣化の少ない、耐湿性に優れ、温度サイクルによる共振
周波数変化の少ないものである。
【００１２】
【化４】
【００１３】請求項２に記載の発明は、一般式（化５）
で表される主成分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ
3Ｏ4の少なくとも一種を前記主成分１００重量％に対し
て０．０５〜０．８重量％添加、混合する第１の工程
と、次にこの混合物を成形して焼成し、焼結体を得る第
２の工程と、次いでこの焼結体表面に分極用電極を形成
し、１３０〜１８０℃の温度範囲において３．０ｋＶ／
mm以上の直流電界を印加して分極する第３の工程と、そ
の後この分極済み焼結体の分極用電極間を短絡して、１
５０〜２５０℃の温度下で熱処理温度（℃）と熱処理時
間（時間）の積が１８００以上となる条件下で熱処理す
る第４の工程とを備えたことを特徴とする圧電磁器組成
物の製造方法であり、厚みすべりモード共振を利用した
広帯域のフィルタに適した電気機械結合係数が比較的大
きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性劣
化の少ない、耐湿性に優れ、温度サイクルによる共振周
波数変化の少ない圧電磁器組成物を得ることができる。
で表される主成分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ
3Ｏ4の少なくとも一種を前記主成分１００重量％に対し
て０．０５〜０．８重量％添加、混合する第１の工程
と、次にこの混合物を成形して焼成し、焼結体を得る第
２の工程と、次いでこの焼結体表面に分極用電極を形成
し、１３０〜１８０℃の温度範囲において３．０ｋＶ／
mm以上の直流電界を印加して分極する第３の工程と、そ
の後この分極済み焼結体の分極用電極間を短絡して、１
５０〜２５０℃の温度下で熱処理温度（℃）と熱処理時
間（時間）の積が１８００以上となる条件下で熱処理す
る第４の工程とを備えたことを特徴とする圧電磁器組成
物の製造方法であり、厚みすべりモード共振を利用した
広帯域のフィルタに適した電気機械結合係数が比較的大
きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性劣
化の少ない、耐湿性に優れ、温度サイクルによる共振周
波数変化の少ない圧電磁器組成物を得ることができる。
【００１４】
【化５】
【００１５】以下本発明の一実施の形態について図面を
参照しながら説明する。 （実施の形態）図１は本実施の形態における厚みすべり
モード共振子の斜視図であり、圧電磁器１の上、下両面
に共振電極２を形成したものである。また図２（ａ），
（ｂ），（ｃ）は、焦電効果による分極済み圧電磁器熱
処理時の脱分極機構を説明するための断面図であり、３
は分極用電極、４は分極ベクトル、５は浮遊電荷、６は
表面電荷、７は反電界である。
参照しながら説明する。 （実施の形態）図１は本実施の形態における厚みすべり
モード共振子の斜視図であり、圧電磁器１の上、下両面
に共振電極２を形成したものである。また図２（ａ），
（ｂ），（ｃ）は、焦電効果による分極済み圧電磁器熱
処理時の脱分極機構を説明するための断面図であり、３
は分極用電極、４は分極ベクトル、５は浮遊電荷、６は
表面電荷、７は反電界である。
【００１６】まず原料としてＰｂＯ，ＴｉＯ2，Ｚｒ
Ｏ2，Ｔａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3，ＳｎＯ2，Ｎｂ2Ｏ5，Ｃｒ2
Ｏ3，Ｍｎ3Ｏ4を（表１）の組成となるように正確に秤
量し、ボールミルによりよく混合した。
Ｏ2，Ｔａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3，ＳｎＯ2，Ｎｂ2Ｏ5，Ｃｒ2
Ｏ3，Ｍｎ3Ｏ4を（表１）の組成となるように正確に秤
量し、ボールミルによりよく混合した。
【００１７】
【表１】
【００１８】なお原料はこれらのみに限られるものでな
く化学反応により（化５）に示す圧電磁器組成物を生成
するものであれば他の化合物を使用しても良い。次に前
記混合物を８５０℃の温度で仮焼し、さらにボールミル
により粉砕した。これを乾燥した後結合剤としてのポリ
ビニールアルコール水溶液を加え、造粒した後１ton／c
m2の圧力で加圧成形し、縦５０mm、横４５mm、厚み７mm
の成形体を得た。ここで得られた成形体を閉炉中で１１
５０〜１２９０℃の温度で１時間焼成し、得られた圧電
磁器より厚みすべり振動共振子を以下のようにして作製
した。
く化学反応により（化５）に示す圧電磁器組成物を生成
するものであれば他の化合物を使用しても良い。次に前
記混合物を８５０℃の温度で仮焼し、さらにボールミル
により粉砕した。これを乾燥した後結合剤としてのポリ
ビニールアルコール水溶液を加え、造粒した後１ton／c
m2の圧力で加圧成形し、縦５０mm、横４５mm、厚み７mm
の成形体を得た。ここで得られた成形体を閉炉中で１１
５０〜１２９０℃の温度で１時間焼成し、得られた圧電
磁器より厚みすべり振動共振子を以下のようにして作製
した。
【００１９】まず圧電磁器矩形板を研磨して厚み５mmの
圧電磁器１とした後、両面に銀電極を焼き付けて分極電
極３を形成後、１２５〜１８５℃のシリコンオイル中で
２．９〜３．５ｋＶ／mmの直流電界を３０分間印加して
分極処理し、ついで所定の条件で熱処理を行った。次に
厚み方向に０．５mm厚みで切断し０．０５μｍＣｒ−１
μｍＡｕの二層蒸着膜よりなる共振電極２を切断面に形
成し、分極方向に切断することにより図１に示した矩形
板状の厚みすべりモード共振子を得た。これらの試料に
つき密度ρ、比誘電率ε11 T／ε0、電気機械結合係数ｋ
15を測定した。耐熱性は共振子を２８０℃のホットプレ
ート上で１分間保持した後、３０分経過時点でのｋ15お
よび共振周波数の変化率を測定した。ｋ15≧０．３、｜
ｋ15変化率｜≦５％、｜共振周波数変化率｜≦０．３％
のものを耐熱性良好と判定した。
圧電磁器１とした後、両面に銀電極を焼き付けて分極電
極３を形成後、１２５〜１８５℃のシリコンオイル中で
２．９〜３．５ｋＶ／mmの直流電界を３０分間印加して
分極処理し、ついで所定の条件で熱処理を行った。次に
厚み方向に０．５mm厚みで切断し０．０５μｍＣｒ−１
μｍＡｕの二層蒸着膜よりなる共振電極２を切断面に形
成し、分極方向に切断することにより図１に示した矩形
板状の厚みすべりモード共振子を得た。これらの試料に
つき密度ρ、比誘電率ε11 T／ε0、電気機械結合係数ｋ
15を測定した。耐熱性は共振子を２８０℃のホットプレ
ート上で１分間保持した後、３０分経過時点でのｋ15お
よび共振周波数の変化率を測定した。ｋ15≧０．３、｜
ｋ15変化率｜≦５％、｜共振周波数変化率｜≦０．３％
のものを耐熱性良好と判定した。
【００２０】耐湿性については上記矩形板状厚みすべり
モード共振子を温度６０℃、相対湿度９０〜９５％の雰
囲気下に２００時間さらした後の共振周波数変化率とｋ
15変化率を測定した。ｋ15≧０．３、｜ｋ15変化率｜≦
５％、｜共振周波数変化率｜≦０．２％のものを耐湿性
良好と判定した。
モード共振子を温度６０℃、相対湿度９０〜９５％の雰
囲気下に２００時間さらした後の共振周波数変化率とｋ
15変化率を測定した。ｋ15≧０．３、｜ｋ15変化率｜≦
５％、｜共振周波数変化率｜≦０．２％のものを耐湿性
良好と判定した。
【００２１】以上の結果を、磁器焼成温度（密度最大）
とともに（表２）、（表３）にまとめた。
とともに（表２）、（表３）にまとめた。
【００２２】
【表２】
【００２３】
【表３】
【００２４】（表４）に示すように、試料１〜５につい
て分極条件、分極後熱処理条件を種々に変えた場合の共
振子特性を（表５）に示す。
て分極条件、分極後熱処理条件を種々に変えた場合の共
振子特性を（表５）に示す。
【００２５】
【表４】
【００２６】
【表５】
【００２７】また温度サイクル（外１）前後での共振周
波数の変動（（ｆr−ｆr0）／ｆr0の値；％）も上記共
振子により測定し（表３）、（表５）に示した。
波数の変動（（ｆr−ｆr0）／ｆr0の値；％）も上記共
振子により測定し（表３）、（表５）に示した。
【００２８】
【外１】
【００２９】温度サイクルによる共振周波数変動につい
ては０．３％以下のものを良品と判定した。
ては０．３％以下のものを良品と判定した。
【００３０】以下本実施の形態について表を参照しなが
ら説明する。（表１）〜（表５）によるとα＜０．０２
の試料６は耐湿試験後の共振周波数変化が大きく（０．
２％以上）、α＞０．０８の試料９はキューリー温度が
３００℃以下に低下し、耐熱試験で脱分極したことから
本発明の範囲から除外した。
ら説明する。（表１）〜（表５）によるとα＜０．０２
の試料６は耐湿試験後の共振周波数変化が大きく（０．
２％以上）、α＞０．０８の試料９はキューリー温度が
３００℃以下に低下し、耐熱試験で脱分極したことから
本発明の範囲から除外した。
【００３１】β＜０．００２である試料１０，１１は温
度サイクルによる共振周波数変化が大きく（０．３％以
上）、β＞０．０５の試料１３は圧電性が低下（ｋ15＜
０．３）するため本発明の範囲から除外した。
度サイクルによる共振周波数変化が大きく（０．３％以
上）、β＞０．０５の試料１３は圧電性が低下（ｋ15＜
０．３）するため本発明の範囲から除外した。
【００３２】Ｘ＜０．０２である試料１４は耐熱性が低
下（｜共振周波数変化率｜＞０．３％）しており、Ｘ＞
０．０５である試料１６は圧電性が低下する（ｋ15＜
０．３）ため本発明の範囲から除外した。
下（｜共振周波数変化率｜＞０．３％）しており、Ｘ＞
０．０５である試料１６は圧電性が低下する（ｋ15＜
０．３）ため本発明の範囲から除外した。
【００３３】Ｙ＜０．４６である試料１７は温度サイク
ルによる共振周波数変化率が大きく（０．３％以上）、
Ｘ，Ｙを本発明の範囲内としたときＹ≦０．７３となる
ことからＹは０．４６≦Ｙ≦０．７３の範囲に限定し
た。
ルによる共振周波数変化率が大きく（０．３％以上）、
Ｘ，Ｙを本発明の範囲内としたときＹ≦０．７３となる
ことからＹは０．４６≦Ｙ≦０．７３の範囲に限定し
た。
【００３４】Ｚ＜０．２５である試料２０は焼結性およ
び圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため、Ｚ＞
０．４９である試料１７は耐熱後の共振周波数変化率が
０．３％を超え、温度サイクルによる共振周波数変化率
が０．３％以上と大きくなっているため本発明の範囲か
ら除外した。
び圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため、Ｚ＞
０．４９である試料１７は耐熱後の共振周波数変化率が
０．３％を超え、温度サイクルによる共振周波数変化率
が０．３％以上と大きくなっているため本発明の範囲か
ら除外した。
【００３５】副成分であるＣｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4（少
なくとも一種）の添加量については、主成分１００重量
％に対して０．０５重量％未満の試料２４，２５，２
６，２７では温度サイクルによる共振周波数変化率が
０．３％以上と大きいため、０．８重量％を超える試料
３４，３５，３６では焼結体密度が７．５ｇ／cm3以下
に低下するとともに圧電性が低下している（ｋ15＜０．
３１）ため本発明の範囲から除外した。
なくとも一種）の添加量については、主成分１００重量
％に対して０．０５重量％未満の試料２４，２５，２
６，２７では温度サイクルによる共振周波数変化率が
０．３％以上と大きいため、０．８重量％を超える試料
３４，３５，３６では焼結体密度が７．５ｇ／cm3以下
に低下するとともに圧電性が低下している（ｋ15＜０．
３１）ため本発明の範囲から除外した。
【００３６】Ｂ１，Ｂ２の内（Ｓｎ，Ｓｂ）の組み合わ
せを除いたのはＳｎを＋２価、Ｓｂを＋３価としたとき
にＳｎaＳｂ1-aが＋４価となり、かつ０＜ａ＜１の範囲
にあるａ値が存在しないからである。
せを除いたのはＳｎを＋２価、Ｓｂを＋３価としたとき
にＳｎaＳｂ1-aが＋４価となり、かつ０＜ａ＜１の範囲
にあるａ値が存在しないからである。
【００３７】分極条件については（表４）、（表５）に
示したように分極温度１３０℃未満（加工条件ア）では
分極未飽和で、分極温度１８０℃を超える（加工条件
エ）では圧電磁器１の抵抗が低下し、３．０ｋＶ／mm以
上の電圧が印加できなくなる。また、分極時の直流印加
電圧については本発明の分極温度範囲であっても３．０
ｋＶ／mm以下（加工条件オ）では分極未飽和となるため
本発明の範囲から除外した。
示したように分極温度１３０℃未満（加工条件ア）では
分極未飽和で、分極温度１８０℃を超える（加工条件
エ）では圧電磁器１の抵抗が低下し、３．０ｋＶ／mm以
上の電圧が印加できなくなる。また、分極時の直流印加
電圧については本発明の分極温度範囲であっても３．０
ｋＶ／mm以下（加工条件オ）では分極未飽和となるため
本発明の範囲から除外した。
【００３８】また分極後の熱処理条件についても（表
４）、（表５）で示したように分極用電極３間の短絡な
しに熱処理した試料（加工条件キ）では脱分極が顕著で
ｋ15＜０．３１であった。
４）、（表５）で示したように分極用電極３間の短絡な
しに熱処理した試料（加工条件キ）では脱分極が顕著で
ｋ15＜０．３１であった。
【００３９】これは、本発明の圧電磁器１は焦電効果が
比較的大きく、図２（ａ）に示したように分極後は分極
用電極３の表面電荷６と浮遊電荷５とが釣り合っている
状態にあるが、圧電磁器１を１５０℃以上の温度で長時
間熱処理した場合には、図２（ｂ）に示すように分極ベ
クトル４とは反対方向の分極を打ち消すような反電界７
が生じて、図２（ｃ）に示すように圧電磁器１は安定化
するが分極は減少することになるからである。従ってこ
れを防止するため分極用電極３間を短絡させた状態で熱
処理を行うことが望ましい。
比較的大きく、図２（ａ）に示したように分極後は分極
用電極３の表面電荷６と浮遊電荷５とが釣り合っている
状態にあるが、圧電磁器１を１５０℃以上の温度で長時
間熱処理した場合には、図２（ｂ）に示すように分極ベ
クトル４とは反対方向の分極を打ち消すような反電界７
が生じて、図２（ｃ）に示すように圧電磁器１は安定化
するが分極は減少することになるからである。従ってこ
れを防止するため分極用電極３間を短絡させた状態で熱
処理を行うことが望ましい。
【００４０】熱処理温度については１５０℃以下（加工
条件ク）では半田耐熱後の共振周波数変化率が０．３％
以上と大きく、２５０℃以上（加工条件サ）では熱処理
温度×熱処理時間の積が１８００（℃・時間）を超える
ような時間熱処理すると脱分極が大きく（ｋ15＜０．３
２）なるため本発明の範囲から除外した。分極後の熱処
理温度が１５０〜２５０℃の温度範囲であっても熱処理
温度と熱処理時間の積が１８００（℃・Ｈｒ）以下（加
工条件ス）であれば、耐熱後の共振周波数変化もしくは
ｋ15変化が大きいため本発明の範囲から除外した。
条件ク）では半田耐熱後の共振周波数変化率が０．３％
以上と大きく、２５０℃以上（加工条件サ）では熱処理
温度×熱処理時間の積が１８００（℃・時間）を超える
ような時間熱処理すると脱分極が大きく（ｋ15＜０．３
２）なるため本発明の範囲から除外した。分極後の熱処
理温度が１５０〜２５０℃の温度範囲であっても熱処理
温度と熱処理時間の積が１８００（℃・Ｈｒ）以下（加
工条件ス）であれば、耐熱後の共振周波数変化もしくは
ｋ15変化が大きいため本発明の範囲から除外した。
【００４１】
【発明の効果】以上本発明によると、厚みすべりモード
共振を利用した発振子・フィルタ用圧電磁器で比較的低
温での焼成が可能で、電気機械結合係数が比較的大き
く、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性変化
の少ない、温度サイクルによる共振周波数変化の少ない
圧電磁器組成物を提供することができる。
共振を利用した発振子・フィルタ用圧電磁器で比較的低
温での焼成が可能で、電気機械結合係数が比較的大き
く、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性変化
の少ない、温度サイクルによる共振周波数変化の少ない
圧電磁器組成物を提供することができる。
【図１】本発明の一実施の形態における厚みすべりモー
ド共振子の斜視図
ド共振子の斜視図
【図２】（ａ）本発明の一実施の形態における焦電効果
による分極済み圧電磁器熱処理時の脱分極機構を説明す
るための分極後の圧電磁器の断面図 （ｂ）同熱処理時の断面図 （ｃ）同熱処理後の断面図
による分極済み圧電磁器熱処理時の脱分極機構を説明す
るための分極後の圧電磁器の断面図 （ｂ）同熱処理時の断面図 （ｃ）同熱処理後の断面図
１ 圧電磁器 ２ 共振電極 ３ 分極用電極 ４ 分極ベクトル ５ 浮遊電荷 ６ 表面電荷 ７ 反電界
Claims (2)
- 【請求項１】 一般式（化１）で表される主成分に、副
成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4の少なくとも一種を
前記主成分１００重量％に対して０．０５〜０．８重量
％添加して形成した圧電磁器組成物。 【化１】 - 【請求項２】 一般式（化２）で表される主成分に、副
成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎ3Ｏ4の少なくとも一種を
前記主成分１００重量％に対して０．０５〜０．８重量
％添加、混合する第１の工程と、次にこの混合物を成形
して焼成し、焼結体を得る第２の工程と、次いでこの焼
結体表面に分極用電極を形成し、１３０〜１８０℃の温
度範囲において３．０ｋＶ／mm以上の直流電界を印加し
て分極する第３の工程と、その後この分極済み焼結体の
分極用電極間を短絡して、１５０〜２５０℃の温度下で
熱処理温度（℃）と熱処理時間（時間）の積が１８００
以上となる条件下で熱処理する第４の工程とを備えたこ
とを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。 【化２】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13638798A JPH11322420A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13638798A JPH11322420A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11322420A true JPH11322420A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=15173975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13638798A Pending JPH11322420A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11322420A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005203477A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電素子の製造方法 |
| US7608215B2 (en) | 2003-09-24 | 2009-10-27 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric ceramic composition |
| WO2018159772A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing piezoelectric element |
| JP2018148203A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | キヤノン株式会社 | 圧電素子の製造方法、振動波モータの製造方法、光学機器の製造方法および電子機器の製造方法 |
-
1998
- 1998-05-19 JP JP13638798A patent/JPH11322420A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7608215B2 (en) | 2003-09-24 | 2009-10-27 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric ceramic composition |
| JP2005203477A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電素子の製造方法 |
| WO2018159772A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing piezoelectric element |
| JP2018148203A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | キヤノン株式会社 | 圧電素子の製造方法、振動波モータの製造方法、光学機器の製造方法および電子機器の製造方法 |
| US11450801B2 (en) | 2017-03-03 | 2022-09-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing piezoelectric element, method of manufacturing oscillatory wave motor, method of manufacturing optical apparatus, and method of manufacturing electronic apparatus |
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