JPH11322445A - セラミック板融着防止用グリーンシートおよびこれを用いたセラミック板の製造方法 - Google Patents
セラミック板融着防止用グリーンシートおよびこれを用いたセラミック板の製造方法Info
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- JPH11322445A JPH11322445A JP10131732A JP13173298A JPH11322445A JP H11322445 A JPH11322445 A JP H11322445A JP 10131732 A JP10131732 A JP 10131732A JP 13173298 A JP13173298 A JP 13173298A JP H11322445 A JPH11322445 A JP H11322445A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミック板焼成時のさや−セラミック間の
融着を防止し、かつ焼結体の変形を防止する。 【解決手段】 バインダ中に、酸化ジルコニウム、酸化
マグネシウム、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素から
選ばれる少なくとも１種の粉体を分散させた融着防止用
シート２を磁器製さや１とセラミック板用グリーンシー
ト３との間に配置し、この状態でセラミック板グリーン
シートの熱処理を実施する。
融着を防止し、かつ焼結体の変形を防止する。 【解決手段】 バインダ中に、酸化ジルコニウム、酸化
マグネシウム、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素から
選ばれる少なくとも１種の粉体を分散させた融着防止用
シート２を磁器製さや１とセラミック板用グリーンシー
ト３との間に配置し、この状態でセラミック板グリーン
シートの熱処理を実施する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック板の製
造工程におけるセラミック板グリーンシートの熱処理の
際に用いる融着防止材に関するものであり、また、これ
を用いたセラミック板の製造方法に関するものである。
造工程におけるセラミック板グリーンシートの熱処理の
際に用いる融着防止材に関するものであり、また、これ
を用いたセラミック板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミック板は、図３に示すよう
に、磁器製のさや１１とセラミック板との融着を防止す
るために、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウムなどの
敷粉１２上に積層配置されて、バインダの焼却およびセ
ラミックの焼成のための加熱処理を経て製造されてい
る。セラミック板グリーンシート１３は、予めバインダ
を焼却した後、さや１１上に配置されて焼成される場合
もある。また、セラミック板の熱処理による反りやうね
りを防止するため、押板１４をセラミック板グリーンシ
ート１３の上に乗せて熱処理を行う場合もある。この場
合は、図３に示したように、セラミック板と押板の融着
を防止するためにその間にも敷粉１２が敷かれることも
ある。
に、磁器製のさや１１とセラミック板との融着を防止す
るために、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウムなどの
敷粉１２上に積層配置されて、バインダの焼却およびセ
ラミックの焼成のための加熱処理を経て製造されてい
る。セラミック板グリーンシート１３は、予めバインダ
を焼却した後、さや１１上に配置されて焼成される場合
もある。また、セラミック板の熱処理による反りやうね
りを防止するため、押板１４をセラミック板グリーンシ
ート１３の上に乗せて熱処理を行う場合もある。この場
合は、図３に示したように、セラミック板と押板の融着
を防止するためにその間にも敷粉１２が敷かれることも
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、焼成するセラミック板が薄くなると、敷粉の分
布状態がセラミック板の表面に影響を与えることにな
る。従って、得られるセラミック板の表面に、反り、う
ねり、凹凸が生じやすくなる。特に薄いセラミック板を
焼成する場合は、この傾向が顕著となる。敷粉量が少な
いほうが反りなどの少ないセラミック板が得られるが、
敷粉を広範囲に薄く均一に分布させるのは容易ではな
い。また、敷粉によるこれらの現象は、セラミック板の
そりを防ぐために押板で加圧した場合にはさらに顕著と
なる。このように、従来の製造方法では、特にセラミッ
ク板が薄くなると、反り、うねり、凹凸を抑制すること
が困難となるという課題があった。
法では、焼成するセラミック板が薄くなると、敷粉の分
布状態がセラミック板の表面に影響を与えることにな
る。従って、得られるセラミック板の表面に、反り、う
ねり、凹凸が生じやすくなる。特に薄いセラミック板を
焼成する場合は、この傾向が顕著となる。敷粉量が少な
いほうが反りなどの少ないセラミック板が得られるが、
敷粉を広範囲に薄く均一に分布させるのは容易ではな
い。また、敷粉によるこれらの現象は、セラミック板の
そりを防ぐために押板で加圧した場合にはさらに顕著と
なる。このように、従来の製造方法では、特にセラミッ
ク板が薄くなると、反り、うねり、凹凸を抑制すること
が困難となるという課題があった。
【０００４】本発明は、上記従来の課題を解決するため
に、反り、うねり、表面の凹凸が抑制されたセラミック
板を、熱処理の際の融着を防止しながら製造する方法
と、この方法において敷粉に代えて用いる融着防止材を
提供することを目的とする。
に、反り、うねり、表面の凹凸が抑制されたセラミック
板を、熱処理の際の融着を防止しながら製造する方法
と、この方法において敷粉に代えて用いる融着防止材を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、バインダ中に、酸化ジルコニウム、酸
化マグネシウム、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素か
ら選ばれる少なくとも１種の粉体を分散させたことを特
徴とするセラミック板融着防止用グリーンシートを融着
防止材として用いることとした。
に、本発明では、バインダ中に、酸化ジルコニウム、酸
化マグネシウム、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素か
ら選ばれる少なくとも１種の粉体を分散させたことを特
徴とするセラミック板融着防止用グリーンシートを融着
防止材として用いることとした。
【０００６】このセラミック板融着防止用グリーンシー
トは、粉体とバインダとを、バインダに対する粉体の重
量比が０．０１〜２．０となるように含有することが好
ましく、また粉体の平均粒径が１．０μｍ〜２０．０μ
ｍであることが好ましい。
トは、粉体とバインダとを、バインダに対する粉体の重
量比が０．０１〜２．０となるように含有することが好
ましく、また粉体の平均粒径が１．０μｍ〜２０．０μ
ｍであることが好ましい。
【０００７】このセラミック板融着防止用グリーンシー
トを用いて実施される本発明のセラミック板の製造方法
は、上記セラミック板融着防止用グリーンシートを磁器
製さやなどの基材上に配置し、このセラミック板融着防
止用グリーンシート上にセラミック板グリーンシートを
配置し、さらに、セラミック板融着防止用グリーンシー
トとともにセラミック板グリーンシートの熱処理を行う
ことを特徴とする。
トを用いて実施される本発明のセラミック板の製造方法
は、上記セラミック板融着防止用グリーンシートを磁器
製さやなどの基材上に配置し、このセラミック板融着防
止用グリーンシート上にセラミック板グリーンシートを
配置し、さらに、セラミック板融着防止用グリーンシー
トとともにセラミック板グリーンシートの熱処理を行う
ことを特徴とする。
【０００８】このような製造方法とすることにより、反
り、うねり、表面の凹凸が抑制されたセラミック板を、
熱処理の際の融着を防止しながら製造することができ
る。
り、うねり、表面の凹凸が抑制されたセラミック板を、
熱処理の際の融着を防止しながら製造することができ
る。
【０００９】上記製造方法においては、セラミック板融
着防止用グリーンシートとセラミック板グリーンシート
との間に樹脂シートを配置してセラミック板グリーンシ
ートの熱処理を行うことが好ましい。
着防止用グリーンシートとセラミック板グリーンシート
との間に樹脂シートを配置してセラミック板グリーンシ
ートの熱処理を行うことが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
【００１１】（第１の実施の形態）まず、本発明の第１
の実施の形態について、図１を参照しながら説明する。
の実施の形態について、図１を参照しながら説明する。
【００１２】図１に示したように、まず、磁器製さや１
上に融着防止用シート２を配置する。融着防止用シート
２は、乗せるだけでも加圧により転写してもその効果に
変わりはない。その上に、セラミック板グリーンシート
３を所定の厚みにまでプレスにより積層して配置する。
このグリーンシートの積層体７上に、反りやうねりを防
止するため、必要に応じて押板４を乗せる。押板４とセ
ラミック板とが融着する場合は、図１に示したように、
セラミック板グリーンシートの積層体７と押板４との間
にも融着防止用シート２を配置する。この状態で、バイ
ンダの焼却およびセラミックの焼成が実施される。
上に融着防止用シート２を配置する。融着防止用シート
２は、乗せるだけでも加圧により転写してもその効果に
変わりはない。その上に、セラミック板グリーンシート
３を所定の厚みにまでプレスにより積層して配置する。
このグリーンシートの積層体７上に、反りやうねりを防
止するため、必要に応じて押板４を乗せる。押板４とセ
ラミック板とが融着する場合は、図１に示したように、
セラミック板グリーンシートの積層体７と押板４との間
にも融着防止用シート２を配置する。この状態で、バイ
ンダの焼却およびセラミックの焼成が実施される。
【００１３】本実施の形態における融着防止用グリーン
シート２に用いられるセラミック粉体は、焼成するセラ
ミック板材料と融着を起こしにくい粉末であれば時に限
定されないが、具体的には上記セラミック粉体が使用さ
れる。
シート２に用いられるセラミック粉体は、焼成するセラ
ミック板材料と融着を起こしにくい粉末であれば時に限
定されないが、具体的には上記セラミック粉体が使用さ
れる。
【００１４】このようなセラミック粉体は、溶剤、バイ
ンダ、必要に応じて添加される可塑剤と共に混合してス
ラリーとされる。溶剤としては、水、エステル系、アル
コール系の溶剤が好ましい。また、バインダとしては、
ポリビニルブチラール系、アクリル系の樹脂が好まし
い。
ンダ、必要に応じて添加される可塑剤と共に混合してス
ラリーとされる。溶剤としては、水、エステル系、アル
コール系の溶剤が好ましい。また、バインダとしては、
ポリビニルブチラール系、アクリル系の樹脂が好まし
い。
【００１５】スラリーはグリーンシートに成型される。
成型法としては、ドクターブレード法やリバースロール
法が好ましい。グリーンシートの厚みは、５〜１０００
μｍが好ましい。
成型法としては、ドクターブレード法やリバースロール
法が好ましい。グリーンシートの厚みは、５〜１０００
μｍが好ましい。
【００１６】また、この融着防止用グリーンシートを用
いて焼成されるセラミック材料は、ガラスセラミックな
どの基板材料、誘電体セラミック、圧電体セラミックな
ど、特に限定されない。セラミック板用グリーンシート
およびスラリーの作製条件は、融着防止用シートと同様
でよい。
いて焼成されるセラミック材料は、ガラスセラミックな
どの基板材料、誘電体セラミック、圧電体セラミックな
ど、特に限定されない。セラミック板用グリーンシート
およびスラリーの作製条件は、融着防止用シートと同様
でよい。
【００１７】セラミック板用グリーンシートを所定量重
ねた後、５０〜１０００kg/cm2の範囲の圧力で加圧す
る。加圧時の温度は、室温から２００℃程度までとする
ことが好ましい。また、静水圧の場合、圧力は２００〜
１００００kg/cm2、温度は室温から１００℃程度までが
好ましい。また、バインダの焼却温度は２５０〜７００
℃、焼成は用いたセラミック材料に応じた温度で行うこ
とが好ましい。
ねた後、５０〜１０００kg/cm2の範囲の圧力で加圧す
る。加圧時の温度は、室温から２００℃程度までとする
ことが好ましい。また、静水圧の場合、圧力は２００〜
１００００kg/cm2、温度は室温から１００℃程度までが
好ましい。また、バインダの焼却温度は２５０〜７００
℃、焼成は用いたセラミック材料に応じた温度で行うこ
とが好ましい。
【００１８】なお、融着防止用グリーンシートは、必ず
しもセラミック板グリーンシートと同時にバインダの焼
却を行う必要はなく、予め磁器製さや上でバインダの焼
却を行った後にセラミック板グリーンシートを乗せても
よい。また、セラミック板グリーンシートも予めバイン
ダの焼却を行った後、磁器製さや上に乗せても差し支え
ない。
しもセラミック板グリーンシートと同時にバインダの焼
却を行う必要はなく、予め磁器製さや上でバインダの焼
却を行った後にセラミック板グリーンシートを乗せても
よい。また、セラミック板グリーンシートも予めバイン
ダの焼却を行った後、磁器製さや上に乗せても差し支え
ない。
【００１９】（第２の実施の形態）本実施の形態が第１
の実施の形態と異なる点は、融着防止用グリーンシート
に加えてさらに樹脂層が設けられている点である。その
実施の形態を図３を参照しながら説明する。
の実施の形態と異なる点は、融着防止用グリーンシート
に加えてさらに樹脂層が設けられている点である。その
実施の形態を図３を参照しながら説明する。
【００２０】図３に示すように、まず、磁器製さや１上
に融着防止用グリーンシート２を配置する。その上に樹
脂シート５を配置する。さらにその上に、第１の実施形
態と同様に所定の厚みにまでセラミック板グリーンシー
ト３を積層する。セラミック板グリーンシート３の積層
体７には、必要に応じて押板４が乗せられ、押板４とセ
ラミック板とが融着する場合は、融着防止用グリーンシ
ート２、さらに好ましくは図２に示したように樹脂シー
ト５と融着防止シート２とをこの順に積層し、第１の実
施の形態と同様に熱処理を行ってバインダの焼却および
セラミックの焼成が行われる。
に融着防止用グリーンシート２を配置する。その上に樹
脂シート５を配置する。さらにその上に、第１の実施形
態と同様に所定の厚みにまでセラミック板グリーンシー
ト３を積層する。セラミック板グリーンシート３の積層
体７には、必要に応じて押板４が乗せられ、押板４とセ
ラミック板とが融着する場合は、融着防止用グリーンシ
ート２、さらに好ましくは図２に示したように樹脂シー
ト５と融着防止シート２とをこの順に積層し、第１の実
施の形態と同様に熱処理を行ってバインダの焼却および
セラミックの焼成が行われる。
【００２１】本実施の形態で樹脂層５を設けるのは、可
塑性のあるセラミック板グリーンシート３が積層の際に
融着防止用シート表面の凹凸の影響を受けないようにす
るためである。樹脂シート５に用いる材料は、セラミッ
ク板グリーンシートのバインダの焼却の際に同時に焼却
できるものであれば、特に限定されないが、例えばバイ
ンダと同様、ポリビニルブチラール系、アクリル系の樹
脂を用いることができる。
塑性のあるセラミック板グリーンシート３が積層の際に
融着防止用シート表面の凹凸の影響を受けないようにす
るためである。樹脂シート５に用いる材料は、セラミッ
ク板グリーンシートのバインダの焼却の際に同時に焼却
できるものであれば、特に限定されないが、例えばバイ
ンダと同様、ポリビニルブチラール系、アクリル系の樹
脂を用いることができる。
【００２２】以上のように、本実施の形態における融着
防止用グリーンシートおよびセラミック板の製造方法を
用いると、反り、うねり、表面の凹凸が抑制されたセラ
ミック板を得ることができる。
防止用グリーンシートおよびセラミック板の製造方法を
用いると、反り、うねり、表面の凹凸が抑制されたセラ
ミック板を得ることができる。
【００２３】本発明のセラミック板の製造方法は、薄い
セラミック板を製造する場合のセラミック板の表面状態
の改善に特に有効であるが、適用するセラミック板の厚
さは特に限定されない。
セラミック板を製造する場合のセラミック板の表面状態
の改善に特に有効であるが、適用するセラミック板の厚
さは特に限定されない。
【００２４】
【実施例】以下に、本発明の融着防止用グリーンシート
およびこれを用いたセラミック板の製造方法について実
施例によりさらに詳細に説明する。
およびこれを用いたセラミック板の製造方法について実
施例によりさらに詳細に説明する。
【００２５】（実施例１）本実施例は、本発明の第１の
実施の形態におけるセラミック基板の製造方法に対応す
る実施例である。
実施の形態におけるセラミック基板の製造方法に対応す
る実施例である。
【００２６】粒径約１μｍのガラスセラミック１００重
量部にバインダとして５重量部のポリビニルブチラール
樹脂、５０重量部の溶剤（酢酸ブチル）、および２００
重量部に相当する直径１０ｍｍのジルコニア製玉石と共
に５０時間以上混合してスラリーを得た。これをドクタ
ーブレードを用いて７５μｍのガラスセラミックグリー
ンシートを作製し、１０ｃｍ角に切断した。
量部にバインダとして５重量部のポリビニルブチラール
樹脂、５０重量部の溶剤（酢酸ブチル）、および２００
重量部に相当する直径１０ｍｍのジルコニア製玉石と共
に５０時間以上混合してスラリーを得た。これをドクタ
ーブレードを用いて７５μｍのガラスセラミックグリー
ンシートを作製し、１０ｃｍ角に切断した。
【００２７】一方、粒径１０μｍの酸化マグネシウム１
００重量部を用い、バインダ量を１００重量部、酢酸ブ
チルを１０００重量部として上記と同様にしてスラリー
を得た。これをドクターブレードを用いて３０μｍの融
着防止用シートを作製し、１０ｃｍ角に切断した。
００重量部を用い、バインダ量を１００重量部、酢酸ブ
チルを１０００重量部として上記と同様にしてスラリー
を得た。これをドクターブレードを用いて３０μｍの融
着防止用シートを作製し、１０ｃｍ角に切断した。
【００２８】この融着防止用グリーンシートをジルコニ
ア製さや上に配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写
し、その上に上記ガラスセラミック板グリーンシート１
０枚を配置し、３００kg/cm2の圧力で転写した。
ア製さや上に配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写
し、その上に上記ガラスセラミック板グリーンシート１
０枚を配置し、３００kg/cm2の圧力で転写した。
【００２９】この積層体上にそり防止のため多孔質アル
ミナ板を配置して熱処理を行った。熱処理としては、ま
ず、酸素分圧が０．１気圧以上の酸化性雰囲気下、６０
０℃で５時間バインダの焼却を行った。その後、多孔質
アルミナ板に代えてジルコニア板を押板として用い、１
０００℃で１時間焼成した。
ミナ板を配置して熱処理を行った。熱処理としては、ま
ず、酸素分圧が０．１気圧以上の酸化性雰囲気下、６０
０℃で５時間バインダの焼却を行った。その後、多孔質
アルミナ板に代えてジルコニア板を押板として用い、１
０００℃で１時間焼成した。
【００３０】このようにして得られたガラスセラミック
板の反りの状態を測定した。結果を表１に示す。
板の反りの状態を測定した。結果を表１に示す。
【００３１】比較のために、上記ガラスセラミックグリ
ーンシートを同条件で積層を行い、上記酸化マグネシウ
ム粉を敷粉として用いたジルコニア製さや上に配置し、
上記と同様に焼成を行った。結果を表１に併せて示す。
ーンシートを同条件で積層を行い、上記酸化マグネシウ
ム粉を敷粉として用いたジルコニア製さや上に配置し、
上記と同様に焼成を行った。結果を表１に併せて示す。
【００３２】
【表１】
【００３３】表１に示したように、融着防止用セラミッ
クグリーンシートを用いることにより、従来よりもうね
りが少ないセラミック板を製造することができた。この
ガラスセラミック板は、焼成後の大きさが約８ｃｍ角、
厚みが約０．６ｍｍであった。
クグリーンシートを用いることにより、従来よりもうね
りが少ないセラミック板を製造することができた。この
ガラスセラミック板は、焼成後の大きさが約８ｃｍ角、
厚みが約０．６ｍｍであった。
【００３４】（実施例２）次に、本発明の実施例２につ
いて説明する。本実施例も、本発明の第１の実施の形態
におけるセラミック基板の製造方法に対応する実施例で
ある。下記式（１）の化学式により示される粒径約１μ
ｍの圧電体粉１００重量部に、バインダとして５重量部
のポリビニルブチラール樹脂、５０重量部の溶剤、およ
び２００重量部に相当する直径１０ｍｍのジルコニア製
玉石と共に５０時間以上混合してスラリーを得た。これ
をドクターブレードを用いて２０μｍのセラミック板グ
リーンシートを作製し、５ｃｍ角に切断した。
いて説明する。本実施例も、本発明の第１の実施の形態
におけるセラミック基板の製造方法に対応する実施例で
ある。下記式（１）の化学式により示される粒径約１μ
ｍの圧電体粉１００重量部に、バインダとして５重量部
のポリビニルブチラール樹脂、５０重量部の溶剤、およ
び２００重量部に相当する直径１０ｍｍのジルコニア製
玉石と共に５０時間以上混合してスラリーを得た。これ
をドクターブレードを用いて２０μｍのセラミック板グ
リーンシートを作製し、５ｃｍ角に切断した。
【００３５】
【化１】
【００３６】一方、粒径約５μｍの酸化ジルコニウムを
用い、粉体／バインダの重量比をそれぞれ５．０、２．
０、１．０、０．１、０．０５、０．０１、０．００５
とした粉体／バインダ混合物１００重量部に、４００重
量部の溶剤（酢酸ブチル）を加え、上記と同様にスラリ
ーを得た。これをドクターブレードを用いて２０μｍの
融着防止用シートを作製し、５ｃｍ角に切断した。
用い、粉体／バインダの重量比をそれぞれ５．０、２．
０、１．０、０．１、０．０５、０．０１、０．００５
とした粉体／バインダ混合物１００重量部に、４００重
量部の溶剤（酢酸ブチル）を加え、上記と同様にスラリ
ーを得た。これをドクターブレードを用いて２０μｍの
融着防止用シートを作製し、５ｃｍ角に切断した。
【００３７】マグネシア製さや上に融着防止用シートを
配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写し、その上に上
記ガセラミック板グリーンシート１０枚を配置し、３０
０kg/cm2の圧力で転写した。
配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写し、その上に上
記ガセラミック板グリーンシート１０枚を配置し、３０
０kg/cm2の圧力で転写した。
【００３８】この積層体を、実施例１と同様に、熱処理
した。その後、多孔質アルミナ板に代えてマグネシア板
を押板として用いて、９５０℃で１時間焼成した。この
ようにして得られたセラミック板の状態を表２に示す。
した。その後、多孔質アルミナ板に代えてマグネシア板
を押板として用いて、９５０℃で１時間焼成した。この
ようにして得られたセラミック板の状態を表２に示す。
【００３９】
【表２】
【００４０】表２に示したように、融着防止用セラミッ
クグリーンシートにおける粉体／バインダの重量比を
０．０１〜２．０とすることにより、表面のうねりや凹
凸が極めて抑制されたセラミック板を、マグネシア製さ
やの融着を防ぎながら製造することができた。
クグリーンシートにおける粉体／バインダの重量比を
０．０１〜２．０とすることにより、表面のうねりや凹
凸が極めて抑制されたセラミック板を、マグネシア製さ
やの融着を防ぎながら製造することができた。
【００４１】（実施例３）平均粒径が０．５、１．０、
１０．０、２０．０、３０．０μｍである酸化ジルコニ
ウムを用い、粉体１００重量部に対して１００重量部の
ポリビニルブチラール樹脂、１０００重量部の溶剤（酢
酸ブチル）を加え、上記と同様にスラリーを得た。これ
をドクターブレードを用いて２０μｍの融着防止用シー
トを作製し、５ｃｍ角に切断した。
１０．０、２０．０、３０．０μｍである酸化ジルコニ
ウムを用い、粉体１００重量部に対して１００重量部の
ポリビニルブチラール樹脂、１０００重量部の溶剤（酢
酸ブチル）を加え、上記と同様にスラリーを得た。これ
をドクターブレードを用いて２０μｍの融着防止用シー
トを作製し、５ｃｍ角に切断した。
【００４２】マグネシア製さや上に融着防止用シートを
配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写し、その上に実
施例２で用いたセラミック板グリーンシート１０枚を配
置し、３００kg/cm2の圧力で転写した。
配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写し、その上に実
施例２で用いたセラミック板グリーンシート１０枚を配
置し、３００kg/cm2の圧力で転写した。
【００４３】この積層体を実施例２と同様に熱処理し
た。このようにして得られたセラミック板の状態を表３
に示す。
た。このようにして得られたセラミック板の状態を表３
に示す。
【００４４】
【表３】
【００４５】表３に示したように、融着防止用セラミッ
クグリーンシートに分散させる粉体の平均粒径を１．０
〜２０．０μｍとすることにより、表面の凹凸が極めて
少ないセラミック板を、セラミック板と融着防止用シー
トとの反応を抑制しながら得ることができた。
クグリーンシートに分散させる粉体の平均粒径を１．０
〜２０．０μｍとすることにより、表面の凹凸が極めて
少ないセラミック板を、セラミック板と融着防止用シー
トとの反応を抑制しながら得ることができた。
【００４６】（実施例４）粒径２０．０μｍの窒化ホウ
素１００重量部を用い、１０００重量部のポリビニルブ
チラール樹脂、１０００重量部の溶剤（酢酸ブチル）を
加え、上記と同様にスラリーを得た。これをドクターブ
レードを用いて厚み２０μｍの融着防止用シートを作製
し、５ｃｍ角に切断した。一方、粉体を加えずに、ポリ
ビニルブチラール樹脂、有機溶剤のみを上記と同様に混
合して樹脂シート用バインダを得た。このバインダをド
クターブレードを用いて成型し、厚み１５μｍの樹脂シ
ートを得た。
素１００重量部を用い、１０００重量部のポリビニルブ
チラール樹脂、１０００重量部の溶剤（酢酸ブチル）を
加え、上記と同様にスラリーを得た。これをドクターブ
レードを用いて厚み２０μｍの融着防止用シートを作製
し、５ｃｍ角に切断した。一方、粉体を加えずに、ポリ
ビニルブチラール樹脂、有機溶剤のみを上記と同様に混
合して樹脂シート用バインダを得た。このバインダをド
クターブレードを用いて成型し、厚み１５μｍの樹脂シ
ートを得た。
【００４７】マグネシア製さや上に融着防止用シートを
配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写し、その上に樹
脂シートを同様に転写し、さらにその上に実施例２で用
いたセラミックグリーンシート１０枚を配置し、３００
kg/cm2の圧力で転写した。
配置して３００kg/cm2の圧力で加圧転写し、その上に樹
脂シートを同様に転写し、さらにその上に実施例２で用
いたセラミックグリーンシート１０枚を配置し、３００
kg/cm2の圧力で転写した。
【００４８】この積層体を実施例２と同様に熱処理し
た。このようにして得られたセラミック板の状態を表４
に示す。
た。このようにして得られたセラミック板の状態を表４
に示す。
【００４９】
【表４】
【００５０】表４に示したように、融着防止用シートと
セラミック板上に樹脂シートを介在させることにより、
積層時にセラミック板グリーンシート上の凹凸の発生を
さらに抑制し、凹凸が極めて少ない平坦なセラミック板
を得ることができる。
セラミック板上に樹脂シートを介在させることにより、
積層時にセラミック板グリーンシート上の凹凸の発生を
さらに抑制し、凹凸が極めて少ない平坦なセラミック板
を得ることができる。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したところから明らかなよう
に、本発明によれば、反り、うねり、凹凸が抑制された
セラミック板を、さやとセラミック板との融着を防止し
ながら製造することができる。
に、本発明によれば、反り、うねり、凹凸が抑制された
セラミック板を、さやとセラミック板との融着を防止し
ながら製造することができる。
【図１】 本発明のセラミック板の製造方法の例を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】 本発明のセラミック板の製造方法の別の例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】 従来のセラミック板の製造方法を示す断面図
である。
である。
１、１１ 磁器製さや ２ 融着防止用グリーンシート ３、１３ セラミック板用グリーンシート ４、１４ 押板 ５ 樹脂シート ７ セラミック板グリーンシート積層体 １２ 敷粉
Claims (5)
- 【請求項１】 バインダ中に、酸化ジルコニウム、酸化
マグネシウム、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素から
選ばれる少なくとも１種の粉体を分散させたことを特徴
とするセラミック板融着防止用グリーンシート。 - 【請求項２】 前記粉体と前記バインダとを、前記バイ
ンダに対する前記粉体の重量比が０．０１〜２．０とな
るように含有する請求項１に記載のセラミック板融着防
止用グリーンシート。 - 【請求項３】 前記粉体の平均粒径が１．０μｍ〜２
０．０μｍである請求項１または２に記載のセラミック
板融着防止用グリーンシート。 - 【請求項４】 バインダ中に、酸化ジルコニウム、酸化
マグネシウム、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素から
選ばれる少なくとも１種の粉体を分散させたセラミック
板融着防止用グリーンシートを基材上に配置し、前記セ
ラミック板融着防止用グリーンシート上にセラミック板
グリーンシートを配置し、前記セラミック板融着防止用
グリーンシートとともに前記セラミック板グリーンシー
トの熱処理を行うことを特徴とするセラミック板の製造
方法。 - 【請求項５】 前記セラミック板融着防止用グリーンシ
ートと前記セラミック板グリーンシートとの間に樹脂シ
ートを配置して前記セラミック板グリーンシートの熱処
理を行う請求項４に記載のセラミック板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10131732A JPH11322445A (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | セラミック板融着防止用グリーンシートおよびこれを用いたセラミック板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10131732A JPH11322445A (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | セラミック板融着防止用グリーンシートおよびこれを用いたセラミック板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11322445A true JPH11322445A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=15064909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10131732A Pending JPH11322445A (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | セラミック板融着防止用グリーンシートおよびこれを用いたセラミック板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11322445A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003032334A1 (en) * | 2001-09-10 | 2003-04-17 | Noritake Co., Limited | Thick-film sheet member, its applied device, and methods for manufacturing them |
| JP2003192454A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-07-09 | Noritake Co Ltd | シート部材の製造方法 |
| JP2008130679A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Nichicon Corp | サーミスタ素子の焼成方法 |
| WO2012014896A1 (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | サクラ精機株式会社 | 組織アレイの組織片形成方法及び組織アレイの組織片形成装置 |
-
1998
- 1998-05-14 JP JP10131732A patent/JPH11322445A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003032334A1 (en) * | 2001-09-10 | 2003-04-17 | Noritake Co., Limited | Thick-film sheet member, its applied device, and methods for manufacturing them |
| JP2003192454A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-07-09 | Noritake Co Ltd | シート部材の製造方法 |
| US7105200B2 (en) | 2001-09-10 | 2006-09-12 | Noritake Co., Limited | Method of producing thick-film sheet member |
| JP2008130679A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Nichicon Corp | サーミスタ素子の焼成方法 |
| WO2012014896A1 (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | サクラ精機株式会社 | 組織アレイの組織片形成方法及び組織アレイの組織片形成装置 |
| JP2012032237A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Sakura Seiki Kk | 組織アレイの組織片形成方法及び組織アレイの組織片形成装置 |
| US9335238B2 (en) | 2010-07-29 | 2016-05-10 | Sakura Seiki Co., Ltd. | Device for forming tissue pieces for tissue array |
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