JPH05115846A - 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】設計、製作が容易で、コンパクトな超音波振動
子およびこの振動子を有する駆動装置を提供することを
目的とする。 【構成】屈曲振動を果たす屈曲振動積層体２９と、縦振
動を果たす縦振動積層体２５とを、それぞれ円柱状に形
成し、これらを接合して超音波振動子２０を構成し、前
記屈曲振動および縦振動を合成することにより、突起体
３５ａ〜３５ｅに超音波楕円運動を発生させる超音波振
動子。および、この突起体３５ａ〜３５ｅにより、可動
部材を駆動する駆動装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子等の電気・機
械変換素子を振動源として用いた超音波振動子およびこ
の振動子を有する駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、電磁型モータに代わる新しいモー
タとして超音波モータが脚光を浴びている。この超音波
モータは原理的に新しいというだけでなく、従来のモー
タに比べて次のような利点を有している。 （１）薄型、軽量、コンパクトである。 （２）ギヤなしで低速・高トルクが得られる。 （３）部品構成が単純で信頼性が高い。 （４）磁気的影響の授受がない。 （５）バックラッシュがなく位置決めが容易である。 かくしてこれらの利点を生かすべく、種々の応用技術の
研究が進められている。

【０００３】超音波モータは大きく回転型とリニア型に
分けられる。図１０〜図１３はリニア型の超音波モータ
の従来例を示す図である。

【０００４】図１０は第１の従来例を示す図である。図
中左側のランジュバン型圧電振動子１を振動させて、ホ
ーン２の先端を弾性体からなる伝搬棒３につきあてる
と、伝搬棒３には屈曲進行波が発生する。この屈曲進行
波は実線矢印Ｄで示すように伝搬棒３を右方向に伝搬し
て行く。そしてこの進行波は伝搬棒３の右端につきあて
られている同様なホーン４を介してランジュバン型圧電
振動子５を励振させる。この時、図のＬとＲとを適当に
選択してインピーダンスマッチングさせ、上記進行波の
エネルギーをすべて吸収させる。こうすると上記進行波
は常に定常的に左方から右方に進むことになる。

【０００５】さてこのような屈曲進行波の生じている伝
搬棒３の表面にスライダ６をある一定の押圧力で圧接保
持させると、スライダ６は実線矢印Ｈで示すように図中
左方向へと移動していく。

【０００６】図１１は上記伝搬棒３の屈曲進行波とスラ
イダ６との関係を模式的に示す斜視図である。なお、図
中３Ａは伝搬棒３に相当する弾性体、６Ａはスライダ６
に相当する移動体である。図１１に示すように弾性体３
Ａの質点Ｐは楕円軌跡を描いている。従ってこの図中左
回りの楕円軌道を描いている弾性体３Ａの上に移動体６
Ａを所定圧力で圧接させると、移動体６Ａはその進行波
の進行方向Ｄとは逆方向すなわち図中左方向に駆動され
る。なお進行波の伝搬方向を逆にすれば、移動体６Ａは
図中右方向へ駆動される。

【０００７】図１２は他の従来例の構成を示す図であ
る。ランジュバン型振動子７の先端には振動片８が取付
けられている。そして、上記振動体８の先端がスライダ
６Ｂに対し、このスライダ６Ｂの面の法線に対して所定
の角度θだけ傾斜した状態で、一定の押圧力で接触して
いる。このランジュバン型振動子７に対して交流電源９
からランジュバン型振動子の固有振動数と同一の周波数
の交流電圧を印加すると、ランジュバン型振動子７は縦
振動を行う。このとき振動片８の先端がスライダ６Ｂに
所定角度θで当接していることから、横振動をも行う。
これらの振動の合成により振動片８の先端は楕円軌跡を
描く。かくしてスライダ６Ｂは図中矢印で示すように左
の方向に移動する。

【０００８】図１３はさらに別の従来例を示す図で、特
開昭６２−１３４２７８号により開示された振動子の構
成を示している。矩形状をなす導電性の振動子１０の両
面には圧電素子１１，１２が接着されている。この圧電
素子１１，１２からは電圧印加用のリード端子Ａ，Ｂが
引き出されており、振動子１０からは、接地端子Ｅが引
き出されている。振動子１０の形状は、この振動子１０
の縦振動の共振周波数とたわみ振動の共振周波数とが一
致するような形状となっている。かくして上記リード端
子Ａ，Ｂに上記共振周波数を有する交流電圧を一定の位
相差をもって印加すると、振動子１０の端面Ｓの質点が
楕円運動を行う。そこでスライダ６Ｃを上記端面Ｓに対
して一定の圧力で押圧すると、このスライダ６Ｃは図中
矢印ＨＨの方向に移動する。この移動方向は端子Ａと端
子Ｂとに印加する電圧の位相差により決定される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】図１０〜図１３に示し
た超音波モータは、振動子の質点における楕円軌跡運動
のエネルギーを移動体（スライダ）へ摩擦により伝達す
ることを基本原理としている。

【００１０】図１０に示した第１の従来例では、伝搬棒
３の全体に進行波を発生させなければならないため、効
率が悪い上、装置全体が大型化してしまうという問題が
あった。

【００１１】また、図１２に示した第２の従来例では、
スライダ６Ｂの進行方向が一方向に限定される上、第１
の従来例と同様に装置全体が大型化してしまうという問
題があった。

【００１２】さらに、図１３に示す第３の従来例では振
動子１０の両面に接着した圧電素子１１と１２とで振動
出力を得るものであるため、スライダ６Ｃを移動するた
めの大きな力を確保することが困難である。より大きな
振動出力を得るべく上記振動子１０の側面に接着する圧
電素子１１，１２の枚数を増やすと、その分だけ装置が
大型化してしまうという欠点があった。また、この従来
例は振動子１０の縦振動とたわみ振動とを合成して楕円
振動を発生させようとするものであるが、両振動がいず
れも共振状態でないと大きな出力が得られない。よって
縦振動の共振周波数とたわみ振動の共振周波数を一致さ
せる必要がある。このために、トライアンドエラーで振
動子１０の形状を決めていかねばならず、大きな労力を
要し、製作が容易でないという問題があった。

【００１３】本発明の目的は、コンパクトでエネルギー
変換効率が良く、しかも大きな振動出力を取出すことが
でき、製作容易な超音波振動子およびこの振動子を有す
る駆動装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の超音波振動子は、円柱状に形成された超音波
振動子であって、この超音波振動子は、屈曲振動を果た
す屈曲振動部材と縦振動を果たす縦振動部材とを有して
おり、前記屈曲振動および縦振動を合成することによ
り、超音波楕円振動を得ることを特徴としている。

【００１５】また、前記課題を解決するために本発明の
駆動装置は、前記超音波振動子と、この超音波振動子に
接触する可動部材と、を有し、この可動部材を任意の平
面方向に移動させるようにしたことを特徴としている。

【００１６】さらに、前記課題を解決するために本発明
の駆動装置は、前記超音波振動子を含む移動子と、この
移動子に接触するように配置され、前記移動子をガイド
するガイド手段と、を有し、前記超音波振動子の超音波
楕円振動により、前記移動子をガイド手段に沿って直線
往復運動可能にしたことを特徴としている。

【００１７】

【作用】円柱状または円環状に形成した屈曲振動部材
を、円柱状に形成された縦振動部材に接合することによ
り、全体的に円柱状となった超音波振動子を構成し、前
記それぞれの部材に、屈曲振動および縦振動を与えるこ
とにより、超音波楕円振動を得るようにしている。ま
た、この超音波振動子に可動部材を接触させることによ
って可動部材を駆動し、あるいは、この超音波振動子を
有する移動子を駆動するようにしている。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に沿って具
体的に説明する。

【００１９】（第１実施例）図１（ａ）は超音波振動子
２０の第１実施例の構成を示す斜視図、（ｂ）はその平
面図である。符号２１は円柱状に形成された下弾性体で
あり、この下弾性体２１はステンレス鋼、アルミニウ
ム、ジュラルミン等の金属材料によって形成されてい
る。この下弾性体２１の上面には、薄い円板状のＰＺＴ
等の圧電素子２３がエポキシ系の接着剤により、数枚〜
数十枚積層、接着されている。図（ａ）において、圧電
素子２３を代表的に２枚取り出してある。この圧電素子
２３の夫々は、面に垂直となるように均一に分極されて
おり、その両面は焼き付け銀等の電極処理が施されてい
る。そして、分極の向きが１枚ごとに逆になるように積
層されている。以下、このようにして積層された積層体
を縦振動積層体２５と呼ぶ。各圧電素子２３は、１枚と
ばしで各電極が結線されており、一方は接地端子（Ｇ端
子）、他方は電圧入力端子（Ｃ端子）を構成している。

【００２０】縦振動積層体２５の上面には、円板状でア
ルミナ等の絶縁セラミックス材から形成された下絶縁体
２７が接着、固定されている。この下絶縁体２７の上面
には圧電素子２９−１，２９−２が積層されている。図
では分かりやすいように、この２枚を取り出してある。
これらの圧電素子２９−１，２９−２は、それぞれ、面
に垂直の向きで、かつ面の半分づつで逆になるように分
極されている。また、それぞれの圧電素子の両面は、焼
き付け銀等の電極処理が全面に施されている。以下、こ
の２枚の層を屈曲振動積層体２９と呼ぶ。圧電素子２９
−１，２９−２は、点線で示したそれぞれの分極の境界
線が、互いに直交するように積層されている。この場
合、圧電素子２９−２の分極境界方向をｘ軸方向、圧電
素子２９−１の分極境界方向をｙ軸方向、またこれらの
軸と直角に交わる方向をｚ軸方向とする。この屈曲振動
積層体２９の上面、接着面、下面からは、それぞれ電気
端子Ａ，Ｇ，Ｂが取出されている（ただし、Ｇ端子は、
接地端子である）。

【００２１】この屈曲振動積層体２９の上面には、円板
状でアルミナ等の絶縁セラミックス材から形成された上
絶縁体３１が接着、固定されている。そして、上絶縁体
３１の上面には、円柱状でステンレス鋼、アルミニウ
ム、ジュラルミン等の金属材料によって形成された上弾
性体３３が接着、固定されている。図１（ａ），（ｂ）
から分かるように、この上弾性体３３の上面中央部、側
面のｘ軸方向に２ヶ、ｙ軸方向に２ヶ、半球状の突起体
３５ａ〜３５ｅが形成されている。なお、以上の説明に
おいて、各部材の接着は、エポキシ等の接着剤によって
成されている。あるいは、図４に示すように、超音波振
動子２０の中心部に、貫通孔を設けると共に上弾性体３
３にねじ孔４５を形成する。そして、下弾性体２１の底
面からビス４６を嵌入して、各部材を圧着固定しても良
い。

【００２２】次に、この実施例の作用について図１およ
び図２を用いて説明する。なお図２において、図１の超
音波振動子２０の縦振動積層体２５、屈曲振動積層体２
９等は省略されており、また突起体は３５ａのみを図示
した。

【００２３】１例として、下弾性体２１の下面が図示し
ない基台に固定された場合について説明する。図１の端
子Ａに１次の屈曲共振振動に対応する周波数の交番電圧
を図示しない電源により印加する。すると、上記超音波
振動子２０は、ｘ−ｚ面内において図２（ａ）のような
屈曲振動を行う。このため、上面に形成された突起体３
５ａは図２（ｃ）のようにｘ軸方向の振動を行う。一
方、端子Ｃに同一周波数の交番電圧を図示しない電源に
より印加すると、超音波振動子２０は図２（ｂ）に示す
ような非共振の縦振動を行う。これらの振動を位相が＋
９０°または、−９０°ずらして行わせると、突起体３
５ａ，３５ｂ，３５ｃはｘ−ｚ面内において、時計回
り、または半時計回りの超音波楕円運動を行う。かくし
て、これらの突起体３５ａ，３５ｂ，３５ｃに対して、
それぞれ、図示していないスライダを摺動可能に接触さ
せると、突起体の超音波楕円運動によりスライダを摺動
させることができる。

【００２４】次に、図１の端子Ｂに、１次の屈曲共振振
動に対応する周波数の交番電圧を図示しない電源により
印加する。すると、上記超音波振動子２０は、ｙ−ｚ平
面において、図２（ａ）のような屈曲振動を行う。この
ため、上面に形成された突起体３５ａは図２（ｄ）のよ
うにｙ軸方向の振動を行う。一方、端子Ｃに同一周波数
の交番電圧を図示しない電源により印加すると、超音波
振動子２０は図２（ｂ）に示すような非共振の縦振動を
行う。これらの振動を位相が＋９０°または、−９０°
ずらして行わせると、突起体３５ａ，３５ｄ，３５ｅは
ｙ−ｚ面内において、時計回り、または半時計回りの超
音波楕円運動を行う。かくして、これらの突起体３５
ａ，３５ｄ，３５ｅに対して、それぞれ、図示していな
いスライダを摺動可能に接触させると、突起体の超音波
楕円運動によりスライダを摺動させることができる。

【００２５】次に、２次元駆動についてついて説明す
る。端子Ａおよび端子Ｂに、同一の屈曲共振周波数を同
位相にし、または１８０°位相をずらしたような交番電
圧を同時に印加する。この場合、振動振幅の大きさを適
当に調節することで、突起体３５ａにｘ−ｙ面内で任意
の方向で、任意の大きさの直線往復運動を行わせること
が可能になる。一方、これと同時に、端子Ｃに同一周波
数の交番電圧を印加し、縦振動を一定の位相差（＋９０
°または、−９０°）をもって発生させる。すると、突
起体３５ａにｚ軸を含む任意の面内で超音波楕円振動を
発生させることができる。この時、平板状のスライダを
突起体３５ａに摺動可能に接触させると、このスライダ
はｘ−ｙ面内の任意の方向に移動が可能となる。

【００２６】この原理を用いたｘ−ｙステージの例を図
３に示す。（ａ）はその側面図であり、（ｂ）は平面図
である。ステンレス鋼等からなる基台４０の上面中央部
には、前述した超音波振動子２０が接着剤等を用いて固
着されている。また、基台４０の上面には、中央部から
等距離になる４カ所に４本のばね４２ａ〜４２ｄが立設
されている。これらのばね４２ａ〜４２ｄには、基台４
０と対向し、かつ超音波振動子２０の突起体３５ａと接
触するようにステージ４１が固定されている。このステ
ージ４１は、ステンレス鋼、アルミニウムまたは表面を
酸化処理したアルミニウム等から形成されており、図３
（ｂ）に示すように、４スミでばね４２ａ〜４２ｄに支
持されている。これらのばねの付勢力により、ステージ
４１は突起体３５ａと、ある一定の押圧力をもって接触
している。

【００２７】このように構成されたものにおいて、図示
していない電源によって、この振動子２０に超音波楕円
振動を発生させると、突起体３５ａは超音波楕円運動を
行い、これによりステージ４１は、ｘ−ｙ面内において
任意の方向に移動することが可能になる。

【００２８】同様な考え方に基づき、屈曲振動積層体２
９による屈曲共振振動、および縦振動積層体２５による
非共振縦振動を合成することで、他の突起体３５ｂ〜３
５ｅのいずれにも同様の超音波楕円運動を発生させるこ
とが可能であり、どの突起体を用いても前述したような
スライダの２次元駆動は可能である。この様に、振動源
の主体として積層型の圧電素子を用いているので、本質
的に大きな機械的出力を取出せる上、駆動電源の周波数
を従来のように弾性体の固有振動数に合わせなくても大
きな機械的出力が取出せる。従って、非共振で駆動しな
くても良く、設計上の制約が少なく、制作しやすいもの
となる。

【００２９】（第２実施例）図５および図６は第２実施
例を説明するための図である。なお、以下の実施例にお
いて、第１の実施例と同一の部分については同一の参照
符号を付し、その説明を省略、または簡略化する。この
実施例では、第１の実施例で説明した超音波振動子２０
を２つ（超音波振動子２０ａ，２０ｂ）用いて直列に接
続している。ただし、各超音波振動子２０ａ，２０ｂに
おける縦振動積層体と屈曲振動積層体の配置関係は、第
１の実施例と異なり逆にして構成されている。超音波振
動子２０ａと２０ｂは、中央弾性体２２を挟んで、例え
ばエポキシ等の接着剤によって接着されている。また、
図５において縦振動積層体２５ａ，２５ｂから引出され
る端子については省略してある。

【００３０】この様な超音波振動子を利用して、例えば
図６に示すような自走式のリニアモ−タを構成すること
ができる。超音波振動子の上方には、両端に形成された
突起体３５ｃ，３６ｃが接触可能なようにレール５０が
配置されている。前記中央弾性体２２には、ステンレス
鋼等によって形成され上方に延出する支持部材５１が設
けられている。レール５０には基台５４がベアリング５
５を介して係合しており、基台５４はレールに対して移
動自在になっている。この基台５４の中央部は前記支持
部材５１が貫通しており、支持部材５１は、ばね５３を
介してビス５２によって締め付けられている。かくし
て、超音波振動子は一定の押圧力をもって突起体３５
ｃ，３６ｃを介してレール５０の下面に接している。な
お、この図では、他の突起体、あるいは端子等について
は省略してある。

【００３１】前述した実施例同様に、それぞれの超音波
振動子２０ａ，２０ｂに、共振屈曲振動、非共振縦振動
を行うように交番電圧を印加する。これらの振動を合
成、制御することにより、両端の突起体３５ｃ，３６ｃ
に同じ向きの超音波楕円運動を発生させる。この結果、
基台５４はレール５０に対して移動するので、自走式で
非常にコンパクトなリニアモ−タを構成することができ
る。

【００３２】（第３実施例）図７は第３実施例を説明す
るための図である。本実施例の超音波振動子は基本的に
第２の実施例と構成がほぼ同一となっている。図（ｂ）
に示すように、棒の自由端−自由端での一次対称屈曲振
動は、その振動姿態を２か所に節を有している。これ
は、端からほぼ全長の０．２４４倍の位置である。超音
波振動子は、この両位置におい支持部材５１により支持
されている。前記一次対称屈曲振動を共振励振させるた
めに、図（ａ）に示すように、実施例１で述べた屈曲振
動積層体２９が、両超音波振動子２０ａ，２０ｂのそれ
ぞれの弾性体２１ａ，２１ｂ間に接着固定されている。
この屈曲振動積層体２９は第１の実施例と同様に２枚の
圧電素子によって構成されており、それぞれの圧電素子
の分極の向きは、図に示すようになっている。この超音
波振動子を用いても、第２の実施例と同一な効果を得る
ことができる。

【００３３】（第４実施例）図８は第４実施例を説明す
るための図である。図（ｃ）に示すように、棒の自由端
−自由端での一次逆対称屈曲振動は、その振動姿態を３
か所に節を有している。本実施例の超音波振動子は、そ
の内の中央の節の位置で支持部材５１によって支持され
ている。前記一次逆対称屈曲振動を発生させるために、
その歪みが最大となる位置に屈曲振動積層体２９ａ，２
９ｂを配置し、図（ｂ）に示すように結線する。また、
これらの屈曲振動積層体２９ａ，２９ｂを構成している
圧電素子の分極の向きは、図に示すようになっている。
そして、縦振動積層体２５ａ，２５ｂおよび屈曲振動積
層体２９ａ，２９ｂに印加される電圧位相を調整するこ
とにより、両端に形成された突起体３５ｃ，３６ｃに超
音波楕円運動を与える。この様な超音波振動子を用いて
も第２の実施例と同一な効果を得ることができる。ま
た、もちろん図（ａ）に示すように、支持部材５１の部
分に縦振動積層体２５を配置するように構成しても良
い。

【００３４】（第５実施例）図９は第５実施例を説明す
るための図である。図（ａ）は斜視図を示しており、図
（ｂ）は屈曲振動を果たす部分を取り出した斜視図であ
り、図（ｃ）は屈曲振動を果たす部分の平面図である。
この実施例と第１の実施例と異なる点は、図（ｂ）から
明らかなように、屈曲振動を果たす部分が円筒型に構成
されていることである（この部分を、屈曲用圧電体５９
とする）。従って、この部分を詳細に説明しその他の部
分については省略する。

【００３５】屈曲用圧電体５９はＰＺＴ等の圧電素子で
あって、円筒型に構成されており、図のような矢印の向
きに４分割に分極されている。屈曲用圧電体５９の内周
面には、焼き付け銀電極により、全面に電極６１が貼付
されている。屈曲用圧電体５９の外周面には、焼き付け
銀電極により、前記４分割の分極に対応した４枚の電極
６０ａ〜６０ｄが貼付されている。そして、同方向に分
極された電極６０ａ，６０ｃおよび６０ｂ，６０ｄ同志
を結線し、それぞれＡ端子、Ｂ端子を構成している。ま
た、内周面の電極は接地されている（図（ｃ）参照）。
この屈曲用圧電体５９は、第１の実施例で説明した縦振
動積層体２５に直列に接着されている。また、屈曲用圧
電体５９の上面には、ステンレス鋼等の金属材から形成
され、中心部に突起体３５を有する円板状の弾性体３３
が接着されている。

【００３６】このように構成された超音波振動子のＡ端
子、Ｂ端子に、それぞれ直交する屈曲振動の共振振動に
対応する周波数の交番電圧を印加する。また、それと同
一の周波数に対応する周波数の交番電圧を、縦振動積層
体２５に印加する。これらの位相を適当に調整すること
により、突起体３５に超音波楕円運動を発生させること
ができる。もちろん、この超音波振動子を用いても前記
した実施例のような駆動装置を構成することができる。

【００３７】前述した実施例において、円柱状の棒の屈
曲振動は共振で用い、縦振動は非共振によって励起して
いる。しかし、形状、寸法を適切にとれば、縦振動も共
振で駆動することは可能である。又、さらに、屈曲振
動、縦振動共に非共振で駆動することも可能である。さ
らに、積層枚数も実施例に述べたかぎりでなく、その振
動子出力、モータ出力に対応して、適宜選択されるべき
ものである。

【００３８】以上、本発明を様々な実施例を用いて説明
したが、本発明は上述した各実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施
可能であるのは勿論である。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、屈曲振動を果たす部材
および縦振動を果たす部材を円柱状に一体化しているた
め、作製が容易かつコンパクトでエネルギー変換効率の
良い超音波振動子を提供することができる。また、この
超音波振動子を用いることにより、コンパクトなリニア
モータ、２次元移動ステージ等の駆動装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明に係る超音波振動子の第１の実
施例を示す図であり、（ｂ）はその平面図である。

【図２】（ａ）は図１の超音波振動子が屈曲振動をして
いる状態を示す側面図であり、（ｃ）はその平面図であ
る。また、（ｂ）は図１の超音波振動子が縦振動をして
いる状態を示す側面図であり、（ｄ）はその平面図であ
る。

【図３】（ａ）は図１の超音波振動子を用いてｘ−ｙス
テージを駆動する駆動装置の側面図であり、（ｂ）はそ
の平面図である。

【図４】図１の超音波振動子の変形例を示す側面図であ
る。

【図５】本発明に係る超音波振動子の第２の実施例を示
す側面図である。

【図６】図５の超音波振動子を用いて、自走式のリニア
アクチュエータを構成した状態を示す側面図である。

【図７】（ａ）は本発明に係る超音波振動子の第３の実
施例を示す図であり、（ｂ）はその一次対称屈曲振動の
振動姿態を示す図である。

【図８】（ａ）は本発明に係る超音波振動子の第４の実
施例を示す図であり、（ｂ）はその変形例を示す図、そ
して（ｃ）は、その一次逆対称屈曲振動の振動姿態を示
す図である。

【図９】（ａ）は本発明に係る超音波振動子の第５の実
施例を示す図であり、（ｂ）はその超音波振動子の屈曲
振動を果たす部分を拡大した斜視図、そして（ｃ）は図
（ｂ）における平面図である。

【図１０】従来の超音波リニアモータの構成を示す図で
ある。

【図１１】同従来例の弾性体に生じる進行波を示す図で
ある。

【図１２】他の従来例の構成を示す図である。

【図１３】さらに別の従来例の構成を示す図である。

【符号の説明】

２０…超音波振動子、２５…縦振動積層体、２９…屈曲
振動積層体、３５ａ〜３５ｅ…突起体、４１…ステージ
（可動部材）。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円柱状に形成された超音波振動子であっ
   て、この超音波振動子は、屈曲振動を果たす屈曲振動部
   材と縦振動を果たす縦振動部材とを有しており、前記屈
   曲振動および縦振動を合成することにより、超音波楕円
   振動を得ることを特徴とする超音波振動子。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の超音波振動子と、この
   超音波振動子に接触する可動部材と、を有し、この可動
   部材を任意の平面方向に移動させるようにしたことを特
   徴とする駆動装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の超音波振動子を含む移
   動子と、この移動子に接触するように配置され、前記移
   動子をガイドするガイド手段と、を有し、前記超音波振
   動子の超音波楕円振動により、前記移動子をガイド手段
   に沿って直線往復運動可能にする駆動装置。