JPH11326048A - 光スペクトラムアナライザ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 波長選択特性を良くする。 【解決手段】 入射光に対する回折格子３３の０次回折
方向に全反射ミラー３４を配置し、全反射ミラー３４か
ら回折格子３３を経由してハーフミラー３５に至る光路
によって共振器を形成し、回転ステージ上３８のハーフ
ミラー３５、集光器３６および受光器３７を、回折格子
３３の回折面を延長した平面上の所定の点にあって回折
格子３３の刻線方向と平行な軸を中心に一体的に回動移
動して、共振器の長さと回折格子３３に対するハーフミ
ラー３５の角度とを連動可変し、受光器３７に受光され
る光の波長を可変する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定光に含まれ
る光のスペクトラムを測定するための光スペクトラムア
ナライザに関する。

【０００２】

【従来の技術】被測定光に含まれる波長成分を測定する
ために、光スペクトラムアナライザが用いられている。

【０００３】光スペクトラムアナライザは、波長選択性
が高く且つその選択波長を可変できる光学的なフィルタ
を用いて、被測定光に含まれる波長成分を選択的に受光
している。

【０００４】図９は、このような原理を用いた従来の光
スペクトラムアナライザの概略構成を示している。

【０００５】この光スペクトラムアナライザでは、光入
射部１１から入射された被測定光をコリメータ１２で平
行光に変換し、第１のビームスプリッタ１３および第２
のビームスプリッタ１４を介して回折格子１５の回折面
に入射する。

【０００６】回折格子１５の回折光の一部は、第２のビ
ームスプリッタ１４を透過して全反射ミラー１６で反射
されて回折格子１５に戻る。また、回折光の一部は、第
２のビームスプリッタ１４で第１のビームスプリッタ１
３側へ反射され、第１のビームスプリッタ１３を透過し
て集光器１７に入射し、集光器１７から受光器１８に入
射される。

【０００７】この光スペクトラムアナライザでは、回折
格子１５から全反射ミラー１６までの光路長で決まる共
振器長と、回折格子１５の光の入射角で決まる選択波長
とを連動させて、測定波長を連続的に可変している。

【０００８】即ち、回折格子１５は、回折格子１５に対
する光の入射角を可変させるための回転ステージ１９上
に固定されており、回転ステージ１９は、回折格子１５
を全反射ミラー１６方向に接近または離反させるための
直進ステージ２０上に回転自在に支持されている。この
直進ステージ２０は、駆動装置２１によって駆動され
る。そして、回転ステージ２０には、所定長さのスライ
ドバー２２の一端側が取り付けられており、その他端側
は、直進ステージ２０の移動方向と直交する方向に延び
たスライドガイド２３のガイド面２３ａに当接してい
る。

【０００９】したがって、直進ステージ２０が駆動装置
２１によって移動して共振器長が変化すると、スライド
バー２２の他端側とガイド２３との当接位置が変化し、
回転ステージ１９が回転して、回折格子１５への光の入
射角も変化する。

【００１０】そして、共振器長によって決まる波長と、
回折格子１５への光の入射角と回折角とで決まる波長と
が一致するように、各部の寸法、角度を予め設定してお
くことによって、この光スペクトラムアナライザの測定
波長を連続的に可変することができ、被測定光に含まれ
る光のうち、この測定波長の光のみを受光器１８で受光
することができる。

【００１１】したがって、被測定光を入射した状態で、
駆動装置２１によって直進ステージ２０を一定方向に移
動させることで、被測定光に含まれる光の波長毎の強度
を受光器１８の出力によって測定することができる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の光スペクトラムアナライザでは、回折格子１５
と全反射ミラー１６の間にビームスプリッタ１４が必要
であり、また、ビームスプリッタ１４によって光損失を
生じてしまうという問題があった。

【００１３】本発明は、この問題を解決した光スペクト
ラムアナライザを提供することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１の光スペクトラムアナライザは被
測定光を入射させるための光入射部（３１）と、前記光
入射部から入射された光を平行光に変換するコリメータ
（３２）と、前記コリメータから出射される光を所定の
入射角をもって回折面で受ける回折格子（３３）と、前
記コリメータから前記回折格子の回折面に入射される光
の０次回折方向に配置され、前記回折格子からの０次回
折光を該回折格子の回折面に反射する全反射ミラー（３
４）と、前記コリメータから前記回折格子の回折面に入
射される光の０次回折方向と異なる回折方向に配置さ
れ、前記回折格子からの回折光の一部を該回折格子の回
折面に反射し、残りの少なくとも一部を透過させるハー
フミラー（３５）と、前記ハーフミラーを透過した光を
受光する受光器（３７）と、前記ハーフミラーおよび前
記受光器を、互いの相対位置を変えずに、前記回折格子
の回折面を延長した平面上の所定の点、即ち前記全反射
ミラーの反射面を通り前記回折格子の入射光軸と回折光
軸を含む平面に平行な線と、前記回折格子の回折面を通
り前記回折格子の入射光軸と回折光軸を含む平面に平行
な線との交点を含む所定の点にあって前記回折格子の刻
線方向と平行な軸を中心に一体的に回動移動して、前記
全反射ミラーから前記回折格子を経由して前記ハーフミ
ラーに至る光路で形成される共振器の長さと、前記回折
格子に対する前記ハーフミラーの角度を連動可変し、前
記受光器に受光される光の波長を可変する測定波長可変
手段（３８、３９）とを備えている。

【００１５】また、本発明の請求項２の光スペクトラム
アナライザは、被測定光を入射させるための光入射部
（３１）と、前記光入射部から入射された光を平行光に
変換するコリメータ（３２）と、前記コリメータから出
射される光の一部を透過し、残りの少なくとも一部を反
射する第１のハーフミラー（５１）と、前記第１のハー
フミラーを透過した光を所定の入射角をもって回折面で
受ける回折格子（３３）と、前記第１のハーフミラーか
ら前記回折格子の回折面に入射される光の入射方向と異
なる方向に配置され、前記回折格子からの回折光の一部
を該回折格子の回折面に反射し、残りの少なくとも一部
を透過させる第２のハーフミラー（３５）と、前記第２
のハーフミラーを透過した光を受光する受光器（３７）
と、前記第２のハーフミラーおよび前記受光器を、互い
の相対位置を変えずに、前記回折格子の回折面を延長し
た平面上の所定の点、即ち前記第１のハーフミラーの反
射面を通り前記回折格子の入射光軸と回折光軸を含む平
面に平行な線と、前記回折格子の回折面を通り前記回折
格子の入射光軸と回折光軸を含む平面に平行な線との交
点を含む所定の点にあって前記回折格子の刻線方向と平
行な軸を中心に一体的に回動移動して、前記第１のハー
フミラーから前記回折格子を経由して前記第２のハーフ
ミラーに至る光路によって形成される共振器の長さと、
前記回折格子に対する前記第２のハーフミラーの角度を
連動可変し、前記受光器に受光される光の波長を可変す
る測定波長可変手段（３８、３９）とを備えている。

【００１６】また、本発明の請求項３の光スペクトラム
アナライザは、被測定光を入射させるための光入射部
（３１）と、前記光入射部から入射された光を平行光に
変換するコリメータ（３２）と、前記コリメータから出
射される光の一部を透過し、残りの少なくとも一部を反
射する第１のハーフミラー（５１）と、前記第１のハー
フミラーを透過した光を所定の入射角をもって回折面で
受ける回折格子（３３）と、前記第１のハーフミラーか
ら前記回折格子の回折面に入射される光の入射方向と異
なる方向に配置され、前記回折格子からの回折光の一部
を該回折格子の回折面に反射し、残りの少なくとも一部
を透過させる第２のハーフミラー（３５）と、前記第２
のハーフミラーを透過した光を受光する受光器（３７）
と、前記光入射部、前記コリメータおよび前記第１のハ
ーフミラーを、互いの相対位置を変えずに、前記回折格
子の回折面を延長した平面上の所定の点、即ち前記第２
のハーフミラーの反射面を通り前記回折格子の入射光軸
と回折光軸を含む平面に平行な線と、前記回折格子の回
折面を通り前記回折格子の入射光軸と回折光軸を含む平
面に平行な線との交点を含む所定の点にあって前記回折
格子の刻線方向と平行な軸を中心に一体的に回動移動し
て、前記第１のハーフミラーから前記回折格子を経由し
て前記第２のハーフミラーに至る光路によって形成され
る共振器の長さと、前記回折格子に対する前記第１のハ
ーフミラーの角度を連動可変し、前記受光器に受光され
る光の波長を可変する測定波長可変手段（３８、３９）
とを備えている。

【００１７】また、本発明の請求項４の光スペクトラム
アナライザは、請求項１〜３記載のの光スペクトラムア
ナライザにおいて、前記光入射部と前記コリメータとの
間に光アイソレータ（７１）を配置している。

【００１８】また、本発明の請求項５の光スペクトラム
アナライザは、請求項１〜３記載の光スペクトラムアナ
ライザにおいて、前記共振器を形成する光路内にλ／４
板（７２）を配置している。

【００１９】また、本発明の請求項６の光スペクトラム
アナライザは、請求項１〜３記載の光スペクトラムアナ
ライザにおいて、前記入射部に入射された光または前記
コリメータから出射される光の一部を分岐する光分岐手
段（８１、９１）と、前記光分岐手段で分岐した光を受
光する第２の受光器（８３、９２）とを備えている。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態の光スペ
クトラムアナライザ３０の構成を示している。

【００２１】図１において、光入射部３１は、被測定光
を入射させるためのものであり、例えば光ファイバの接
続端子によって構成されている。

【００２２】光入射部３１に入射された被測定光はコリ
メータ３２によって平行光に変換されて、回折格子３３
の回折面３３ａに所定の入射角度で入射される。

【００２３】このコリメータ３２からの入射光に対する
回折格子３３の０次回折方向（正反射方向）には、全反
射ミラー３４が配置されている。

【００２４】全反射ミラー３４は、コリメータ３２から
回折格子３３の回折面に入射した光の０次回折光（正反
射光）を反射して、回折格子３３の回折面に入射する。

【００２５】回折格子３３の０次回折方向と異なる回折
方向には、ハーフミラー３５が対向するように配置され
ている。ハーフミラー３５は、回折格子３３で回折され
た光の一部を回折格子３３の回折面３３ａへ反射し、損
失を除いた残りを透過させる。

【００２６】ハーフミラー３５を透過した光は、集光器
３６によって受光器３７に集光され、受光器３７によっ
て電気信号に変換される。

【００２７】また、ハーフミラー３５、集光器３６およ
び受光器３７は、回転ステージ３８上に固定されてい
る。

【００２８】回転ステージ３８は、駆動装置３９ととも
にこの実施形態の測定波長可変手段を形成するものであ
り、回折格子３３の回折面３３ａを通り且つ回折格子３
３の入射光軸、回折光軸を含む平面を通る直線Ａと、全
反射ミラー３４の反射面３４ａを通り且つ回折格子３３
の入射光軸、回折光軸を含む平面を通る直線Ｂとの交点
Ｊにあって回折格子３３の回折面の刻線に平行な軸、即
ち、回折格子３３の回折面の延長平面の所定の点にあっ
て回折格子３３の回折面の刻線に平行な軸を中心とし
て、回折格子３３の入射光軸、回折光軸を含む平面に沿
って回転する。

【００２９】また、回転ステージ３８上のハーフミラー
３５の反射面３５ａは、この反射面３５ａを通り且つ回
折格子３３の入射光軸、回折光軸を含む平面を通る直線
Ｃが、回転ステージ３８の回転中心Ｊに交わる向きで、
回折格子３３の回折面３３ａに対向している。

【００３０】駆動装置３９は、回転ステージ３８を側方
から押し引きして回転駆動する。回転ステージ３８はバ
ネ３９ａによって駆動装置３９側に付勢されている。

【００３１】したがって、駆動装置３９によって回転ス
テージ３８が回転すると、ハーフミラー３５、集光器３
６、受光器３７が、相対位置を変えずに、回転ステージ
３８の回転中心Ｊを中心に一体的に回動移動し、回折格
子３３からハーフミラー３５までの光路長と、回折格子
３３の回折面３３ａに対するハーフミラー３５の反射面
３５ａの角度が同時に変化する。

【００３２】即ち、図２の（ａ）に示すように、回転ス
テージ３８が反時計回りに回転駆動されると、ハーフミ
ラー３５が回折格子３３から遠ざかるとともに、回折格
子３３の回折面に対するハーフミラー３５の法線の角
度、即ち回折光軸の角度が大きくなる。

【００３３】また、図２の（ｂ）のように、回転ステー
ジ３８が時計回りに回転駆動されると、ハーフミラー３
５が回折格子３３に近づくとともに、回折格子３３の回
折面に対するハーフミラー３５の法線の角度、即ち回折
光軸の角度が小さくなる。

【００３４】なお、図１に示しているように、駆動装置
３９は測定処理部４０によって制御される。測定処理部
４０は、駆動装置３９を制御して、回転ステージ３８を
任意の範囲で回転させながら受光器３７の出力を例えば
ディジタル化してメモリに記憶し、回転ステージ３８の
角度位置に対する受光出力を被測定光に含まれる光のス
ペクトラム波形として表示器４１に表示する。

【００３５】次に、この光スペクトラムアナライザの測
定波長を連続的に可変させるための条件について説明す
る。

【００３６】図３の（ａ）に示しているように、回折格
子３３から全反射ミラー３４までの光路長Ｌａは回転ス
テージ３８の回転にかかわらず一定であり、この光路長
Ｌａと、回折格子３３からハーフミラー３５までの光路
長Ｌｂとの合計が共振器長Ｌとなる。

【００３７】ここで、光路長Ｌｂは、回折格子３３の格
子面の光の入射位置から回転ステージ３８の回転中心Ｊ
までの長さをＬ₀ とし、回折格子３３の格子面とハーフ
ミラー３５の反射面とがなす角をαとすれば、 Ｌｂ＝Ｌ₀ ・sin α となり、共振器長Ｌは、 Ｌ＝Ｌａ＋Ｌ₀ ・sin α となる。

【００３８】そして、波長λの光が共振器の共振モード
次数ｑで共振しているとすると、ｑ・λ＝２Ｌの関係を
満たすことが必要であるから、共振モード次数ｑは、 ｑ＝２Ｌ／λ ＝２（Ｌａ＋Ｌ₀ ・sin α）／λ ……（１） となる。

【００３９】一方、図３の（ｂ）のように、全反射ミラ
ー３４から回折格子３３への入射角をｉ、ハーフミラー
３５への回折角をβとすると、回折格子３３で波長λの
光が回折される条件は、回折格子３３の回折次数をｍ、
格子定数をｄとすれば、 λ＝ｄ・（sin ｉ＋sin β）／ｍ となり、回折格子３３の回折角βは回折面３３ａとハー
フミラー３５の反射面３５ａとがなす角αと等しいか
ら、 λ＝ｄ・（sin ｉ＋sin α）／ｍ ……（２） となる。

【００４０】式（２）から sin α＝（ｍ・λ／ｄ）−sin ｉ となり、これを式（１）に代入すると、 ｑ＝２｛Ｌａ＋Ｌ₀ 〔（ｍ・λ／ｄ）−sin ｉ〕｝／λ ここでＬ₀ ＝Ｌａ／sin ｉであるから、これを上式に代
入して整理すると、 ｑ＝２・Ｌａ・ｍ／（ｄ・sin ｉ） ……（３） となる。

【００４１】式（３）の回折格子３３の回折次数ｍと回
折格子３３の回折定数ｄはともに一定の値であり、回折
格子３３の入射角ｉも一定である。また、Ｌａは任意に
設定できる固定値である。

【００４２】したがって、ミラーの回転に関わらず１つ
の共振モード次数ｑが得られ、この１つの共振モード次
数を維持した状態で測定波長を連続的に可変することが
できる。

【００４３】以上のような関係を満足させることによっ
て、共振器長によって決まる波長と回折格子の入射角と
回折角とで決まる波長とが一致した状態で、回転ステー
ジ３８の回転によって測定波長を連続的に可変すること
ができる。

【００４４】したがって、回転ステージ３８の角度位置
に対する測定波長との関係を予め求めて測定処理部４０
に設定しておき、被測定光を入射した状態で回転ステー
ジ３８を駆動しながら測定波長毎の受光器３７の出力を
記憶すれば、被測定光に含まれる光のスペクトラムのデ
ータを取得することができ、これを表示器４１の画面に
表示すればそのスペクトラム波形を観測することができ
る。

【００４５】以上のように、この光スペクトラムアナラ
イザ３０では、全反射ミラー３４から回折格子３３を経
由してハーフミラー３５に至る光路によって共振器を形
成しているため、回折格子による波長選択特性が良くな
り、波長が近いスペクトラムでも分離して測定すること
ができる。

【００４６】また、この実施形態の光スペクトラムアナ
ライザ３０では、被測定光を回折格子３３に正反射させ
て全反射ミラ−３４に入射し、その反射光を回折格子３
３への入射光としているので、損失が少なく、少ない部
品で構成できるという利点がある。

【００４７】

【他の実施形態】前記実施形態では、被測定光を回折格
子３３の回折面で反射させて、その０次回折方向に配置
された全反射ミラー３４へ入射していたが、図４に示す
スペクトラムアナライザ５０のように、光入射部３１か
ら入射した光をコリメータ３２で平行光に変換してハー
フミラー５１に入射し、ハーフミラー５１を透過した光
を回折格子３３に入射してもよい。

【００４８】また、このようにハーフミラー５１を介し
て被測定光を入射する場合には、図５に示すスペクトラ
ムアナライザ６０のように、光入射部３１、コリメータ
３２およびハーフミラー５１を回転ステージ３８上に配
置して、入出力の経路を逆にしてもよい。

【００４９】また、図６に示す光スペクトラムアナライ
ザ７０のように、光入射部３１とコリメータ３２との間
に光アイソレータ７１を挿入してもよい。この光アイソ
レータ７１の挿入によって、回折格子３３側からの戻り
光が光入射部３１を介して被測定光の光源側へ出射され
るのを防止することができる。

【００５０】また、図６の光スペクトラムアナライザ７
０のように、全反射ミラー３４と回折格子３３の間（あ
るいはハーフミラー３５と回折格子３３との間）に、任
意波長のλ／４板７２を挿入してもよい。このλ／４板
７２の挿入によって、回折格子３３の偏波依存性による
測定への影響を低減できる。

【００５１】また、図７に示す光スペクトラムアナライ
ザ８０のように、コリメータ３２から出射された光を光
分岐手段８１によって２方向に分岐し、その一方を回折
格子３３へ入射し、他方を集光器８２によって受光器８
３に集光させ、被測定光のパワーを受光器８３の出力に
よって測定できるようにしてもよい。

【００５２】また、図９に示す光スペクトラムアナライ
ザ９０のように、光入射部３１に入射された光を光カプ
ラ等の光分岐手段９１によって２方向に分岐し、その一
方をコリメータ３２へ入射し、他方を受光器９２に入射
して、被測定光のパワーを受光器９２の出力によって測
定できるようにしてもよい。

【００５３】なお、図６に示した光アイソレータ７１、
λ／４板７２は、前記した図４、図５、図７、図８の光
スペクトラムアナライザにも設けることができ、また、
図７、図８に示したパワー測定機能も、図４〜図６の光
スペクトラムアナライザにも設けることができる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
の光スペクトラムアナライザでは、被測定光を入射させ
るための全反射ミラーから回折格子を経由してハーフミ
ラーに至る光路によって共振器を形成しているため、損
失が少なく、回折格子による波長選択特性が良くなり、
波長が近いスペクトラムでも分離して測定することがで
きる。

【００５５】また、請求項２、請求項３の光スペクトラ
ムアナライザでは、被測定光を入射させるための第１の
ハーフミラーから回折格子を経由して第２のハーフミラ
ーに至る光路によって共振器を形成しているため、損失
が少なく、回折格子による波長選択特性が良くなり、波
長が近いスペクトラムでも分離して測定することができ
る。

【００５６】また、光入射部とコリメータとの間に光ア
イソレータを配置することで、被測定光の光源側への光
の戻りを防止することができる。

【００５７】また、共振器を形成する光路内に任意の波
長のλ／４板を配置することで、回折格子の偏波依存性
による測定への影響を低減することができる。

【００５８】また、光入射部に入射された光あるいはコ
リメータから出射された光を光分岐手段によって分岐
し、その分岐光を第２の受光器によって受光する光スペ
クトラムアナライザでは、被測定光のパワーの測定がス
ペクトラムとともに測定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の構成を示す図

【図２】実施形態の動作を説明するための図

【図３】測定波長を連続可変させるための条件を検討す
るための図

【図４】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図５】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図６】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図７】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図８】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図９】従来装置の構成を示す図

【符号の説明】

３０、５０、６０、７０、８０、９０ 光スペクトラム
アナライザ ３１ 光入射部 ３２ コリメータ ３３ 回折格子 ３４ 全反射ミラー ３５ ハーフミラー ３６ 集光器 ３７ 受光器 ３８ 回転ステージ ３９ 駆動装置 ４０ 測定処理部 ４１ 表示器 ５１ ハーフミラー ７１ 光アイソレータ ７２ λ／４板 ８１、９１ 光分岐手段 ８２ 集光器 ８３、９２ 受光器

【手続補正書】

【提出日】平成１０年６月１６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図２】

【図４】

【図５】

【図３】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９】

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定光を入射させるための光入射部（３
   １）と、 前記光入射部から入射された光を平行光に変換するコリ
   メータ（３２）と、 前記コリメータから出射される光を所定の入射角をもっ
   て回折面で受ける回折格子（３３）と、 前記コリメータから前記回折格子の回折面に入射される
   光の０次回折方向に配置され、前記回折格子からの０次
   回折光を該回折格子の回折面に反射する全反射ミラー
   （３４）と、 前記コリメータから前記回折格子の回折面に入射される
   光の０次回折方向と異なる回折方向に配置され、前記回
   折格子からの回折光の一部を該回折格子の回折面に反射
   し、残りの少なくとも一部を透過させるハーフミラー
   （３５）と、 前記ハーフミラーを透過した光を受光する受光器（３
   ７）と、 前記ハーフミラーおよび前記受光器を、互いの相対位置
   を変えずに、前記回折格子の回折面を延長した平面上の
   所定の点にあって前記回折格子の刻線方向と平行な軸を
   中心に一体的に回動移動して、前記全反射ミラーから前
   記回折格子を経由して前記ハーフミラーに至る光路によ
   って形成される共振器の長さと、前記回折格子に対する
   前記ハーフミラーの角度を連動可変し、前記受光器に受
   光される光の波長を可変する測定波長可変手段（３８、
   ３９）とを備えた光スペクトラムアナライザ。
2. 【請求項２】被測定光を入射させるための光入射部（３
   １）と、 前記光入射部から入射された光を平行光に変換するコリ
   メータ（３２）と、 前記コリメータから出射される光の一部を透過し、残り
   の少なくとも一部を反射する第１のハーフミラー（５
   １）と、 前記第１のハーフミラーを透過した光を所定の入射角を
   もって回折面で受ける回折格子（３３）と、 前記第１のハーフミラーから前記回折格子の回折面に入
   射される光の入射方向と異なる方向に配置され、前記回
   折格子からの回折光の一部を該回折格子の回折面に反射
   し、残りの少なくとも一部を透過させる第２のハーフミ
   ラー（３５）と、 前記第２のハーフミラーを透過した光を受光する受光器
   （３７）と、 前記第２のハーフミラーおよび前記受光器を、互いの相
   対位置を変えずに、前記回折格子の回折面を延長した平
   面上の所定の点にあって前記回折格子の刻線方向と平行
   な軸を中心に一体的に回動移動して、前記第１のハーフ
   ミラーから前記回折格子を経由して前記第２のハーフミ
   ラーに至る光路によって形成される共振器の長さと、前
   記回折格子に対する前記第２のハーフミラーの角度を連
   動可変し、前記受光器に受光される光の波長を可変する
   測定波長可変手段（３８、３９）とを備えた光スペクト
   ラムアナライザ。
3. 【請求項３】被測定光を入射させるための光入射部（３
   １）と、 前記光入射部から入射された光を平行光に変換するコリ
   メータ（３２）と、 前記コリメータから出射される光の一部を透過し、残り
   の少なくとも一部を反射する第１のハーフミラー（５
   １）と、 前記第１のハーフミラーを透過した光を所定の入射角を
   もって回折面で受ける回折格子（３３）と、 前記第１のハーフミラーから前記回折格子の回折面に入
   射される光の入射方向と異なる方向に配置され、前記回
   折格子からの回折光の一部を該回折格子の回折面に反射
   し、残りの少なくとも一部を透過させる第２のハーフミ
   ラー（３５）と、 前記第２のハーフミラーを透過した光を受光する受光器
   （３７）と、 前記光入射部、前記コリメータおよび前記第１のハーフ
   ミラーを、互いの相対位置を変えずに、前記回折格子の
   回折面を延長した平面上の所定の点にあって前記回折格
   子の刻線方向と平行な軸を中心に一体的に回動移動し
   て、前記第１のハーフミラーから前記回折格子を経由し
   て前記第２のハーフミラーに至る光路によって形成され
   る共振器の長さと、前記回折格子に対する前記第１のハ
   ーフミラーの角度を連動可変し、前記受光器に受光され
   る光の波長を可変する測定波長可変手段（３８、３９）
   とを備えた光スペクトラムアナライザ。
4. 【請求項４】前記光入射部と前記コリメータとの間に光
   アイソレータ（７１）を配置したことを特徴とする請求
   項１または請求項２記載または請求項３の光スペクトラ
   ムアナライザ。
5. 【請求項５】前記共振器を形成する光路内にλ／４板
   （７２）を配置したことを特徴とする請求項１または請
   求項２記載または請求項３記載の光スペクトラムアナラ
   イザ。
6. 【請求項６】前記入射部に入射された光または前記コリ
   メータから出射される光の一部を分岐する光分岐手段
   （８１、９１）と、 前記光分岐手段で分岐した光を受光する第２の受光器
   （８３、９２）とを備えたことを特徴とする請求項１ま
   たは請求項２または請求項３記載の光スペクトラムアナ
   ライザ。