JPH11326271A - 固体電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法 - Google Patents
固体電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法Info
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- JPH11326271A JPH11326271A JP10136805A JP13680598A JPH11326271A JP H11326271 A JPH11326271 A JP H11326271A JP 10136805 A JP10136805 A JP 10136805A JP 13680598 A JP13680598 A JP 13680598A JP H11326271 A JPH11326271 A JP H11326271A
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Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 効果的な固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ
の感度低下防止方法を提供する。 【解決手段】 短時間のヒートアップ処理を行う。
の感度低下防止方法を提供する。 【解決手段】 短時間のヒートアップ処理を行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体電解質型二酸
化炭素センサ技術に関する。
化炭素センサ技術に関する。
【0002】
【従来の技術】図1に固体電解質型二酸化炭素ガスセン
サ素子の一例のモデル断面図を示す。図中符号1で示さ
れるのは固体電解質で通常NASICON(Na1+xZ
r2P3- xSixO12、xは1または2)などが使われ
る。この固体電解質1を挟んで検知極2、炭酸リチウム
などの金属炭酸塩に覆われた金からなる電極及び白金か
らなる基準極3が配され、全体を多孔質セラミック層4
を介してガスフィルター5が覆う構造である。なお基準
極3はヒーター6を有する多孔質セラミック基板7が接
しており、固体電解質1はこのヒーター6によりそのイ
オン伝導に適した温度(通常350℃以上)に保たれ
る。
サ素子の一例のモデル断面図を示す。図中符号1で示さ
れるのは固体電解質で通常NASICON(Na1+xZ
r2P3- xSixO12、xは1または2)などが使われ
る。この固体電解質1を挟んで検知極2、炭酸リチウム
などの金属炭酸塩に覆われた金からなる電極及び白金か
らなる基準極3が配され、全体を多孔質セラミック層4
を介してガスフィルター5が覆う構造である。なお基準
極3はヒーター6を有する多孔質セラミック基板7が接
しており、固体電解質1はこのヒーター6によりそのイ
オン伝導に適した温度(通常350℃以上)に保たれ
る。
【0003】ここでセンサ素子の置かれた雰囲気中の二
酸化炭素ガスの濃度に応じて検知極2及び基準極3との
間に起電力が生じる。すなわち、この起電力を測定する
ことにより雰囲気中の二酸化炭素ガス濃度を知ることが
できる。ここで一般的には上記金属炭酸塩は、比較的耐
水性の良い炭酸リチウム単独、あるいは炭酸リチウムを
主とし、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、炭酸ストロン
チウムを添加してさらに耐水性を向上させた炭酸塩混合
物を用い、この金属炭酸塩をNASICON面に融着等
で固定してヒーター6により350〜500℃に加熱し
て使用している。
酸化炭素ガスの濃度に応じて検知極2及び基準極3との
間に起電力が生じる。すなわち、この起電力を測定する
ことにより雰囲気中の二酸化炭素ガス濃度を知ることが
できる。ここで一般的には上記金属炭酸塩は、比較的耐
水性の良い炭酸リチウム単独、あるいは炭酸リチウムを
主とし、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、炭酸ストロン
チウムを添加してさらに耐水性を向上させた炭酸塩混合
物を用い、この金属炭酸塩をNASICON面に融着等
で固定してヒーター6により350〜500℃に加熱し
て使用している。
【0004】炭酸リチウムの溶融温度は710℃付近で
あり、また炭酸リチウムと炭酸バリウム、炭酸カルシウ
ム、炭酸ストロンチウム等の混合物の溶融温度が650
℃前後であるが、実際の使用温度においては炭酸リチウ
ムとNASICONとの間に共晶が発生し、また機器分
析などによって確認されているようにNASICON中
へのリチウムの拡散によって550℃以下で溶融が生
じ、さらに、これら炭酸塩以外の夾雑物によってさらに
低下し、長期的な使用に際しては400℃以下である必
要があり、実際的には350℃以下であることが望まし
いとされている。
あり、また炭酸リチウムと炭酸バリウム、炭酸カルシウ
ム、炭酸ストロンチウム等の混合物の溶融温度が650
℃前後であるが、実際の使用温度においては炭酸リチウ
ムとNASICONとの間に共晶が発生し、また機器分
析などによって確認されているようにNASICON中
へのリチウムの拡散によって550℃以下で溶融が生
じ、さらに、これら炭酸塩以外の夾雑物によってさらに
低下し、長期的な使用に際しては400℃以下である必
要があり、実際的には350℃以下であることが望まし
いとされている。
【0005】ここで、ある固体電解質型二酸化炭素ガス
センサ素子における350℃、400℃及び450℃に
おける経時特性を調べた結果を図2に示す。図中EMF
はセンサ起電力を表し、初期の起電力を0としている。
なお、このセンサで用いられている金属塩は炭酸リチウ
ムと炭酸カルシウムとの等モル混合物である。図2によ
り、この固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ素子では、
340℃〜400℃での使用、好ましくは340℃〜3
50℃付近で用いることが望ましいことが判る。ここで
340℃未満であるとNASICONによるイオン伝導
性が低くなり実用的でなくなる。なおこの固体電解質型
二酸化炭素ガスセンサ素子は熱濃淡電池であり、センサ
出力はネルンストの式(式(I))に従う。
センサ素子における350℃、400℃及び450℃に
おける経時特性を調べた結果を図2に示す。図中EMF
はセンサ起電力を表し、初期の起電力を0としている。
なお、このセンサで用いられている金属塩は炭酸リチウ
ムと炭酸カルシウムとの等モル混合物である。図2によ
り、この固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ素子では、
340℃〜400℃での使用、好ましくは340℃〜3
50℃付近で用いることが望ましいことが判る。ここで
340℃未満であるとNASICONによるイオン伝導
性が低くなり実用的でなくなる。なおこの固体電解質型
二酸化炭素ガスセンサ素子は熱濃淡電池であり、センサ
出力はネルンストの式(式(I))に従う。
【0006】
【数1】 EMF=Const=(RT/2F)lnP(CO2) (I)
【0007】なお、式中Constは炭酸リチウムの活
量、P(CO2)は測定対象雰囲気における二酸化炭素
の分圧である。ここでNASICONの実用上の使用可
能最低温度とも云える350℃においても実用可能なセ
ンサ出力は得られるが、使用可能最低温度はセンサによ
るばらつきがあり、また、使用時間が長くなると炭酸リ
チウムの活量が減少し、また、基準極においても水分等
の影響により初期の性能を維持できず、その結果出力の
低下が図2に示されるように目立ってくる。
量、P(CO2)は測定対象雰囲気における二酸化炭素
の分圧である。ここでNASICONの実用上の使用可
能最低温度とも云える350℃においても実用可能なセ
ンサ出力は得られるが、使用可能最低温度はセンサによ
るばらつきがあり、また、使用時間が長くなると炭酸リ
チウムの活量が減少し、また、基準極においても水分等
の影響により初期の性能を維持できず、その結果出力の
低下が図2に示されるように目立ってくる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の問題点を改善する、すなわち、効果的な固体電解質
型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法を提供する
ことを目的とする。
来の問題点を改善する、すなわち、効果的な固体電解質
型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法を提供する
ことを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の固体電解質型二
酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法は上記課題を解
決するため、請求項1に記載の通り、短時間のヒートア
ップ処理を行うことを構成として有する。
酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法は上記課題を解
決するため、請求項1に記載の通り、短時間のヒートア
ップ処理を行うことを構成として有する。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の構成である短時間のヒー
トアップ処理により、測定時に各電極界面に発生した物
質等を急速に分解させ、初期の性能を取り戻し、また、
その状態を長期間に亘って維持することができる。
トアップ処理により、測定時に各電極界面に発生した物
質等を急速に分解させ、初期の性能を取り戻し、また、
その状態を長期間に亘って維持することができる。
【0011】なお、上記においてヒートアップ処理時間
はヒートアップ温度によるが10分間以下の短時間であ
ることが望ましい。通常の場合、このヒートアップ処理
は2分間行うことで充分な効果が得られる ここで、そのヒートアップ処理が定期的に行われること
により、感度低下の幅を一定値内に収めることが可能と
なる。さらにヒートアップ処理時間が2分以上3分以下
で、その温度が450℃以上550℃以下であるとセン
サの劣化が少なく、かつ、充分な効果が得られるため好
ましい。また、ヒートアップ処理と次のヒートアップ処
理との間隔が1日以上1週間以下であると、極めて長期
間の性能維持が可能となる。すなわちヒートアップの頻
度が高いと炭酸塩の溶融につながり、低いと性能の維持
が困難となる。
はヒートアップ温度によるが10分間以下の短時間であ
ることが望ましい。通常の場合、このヒートアップ処理
は2分間行うことで充分な効果が得られる ここで、そのヒートアップ処理が定期的に行われること
により、感度低下の幅を一定値内に収めることが可能と
なる。さらにヒートアップ処理時間が2分以上3分以下
で、その温度が450℃以上550℃以下であるとセン
サの劣化が少なく、かつ、充分な効果が得られるため好
ましい。また、ヒートアップ処理と次のヒートアップ処
理との間隔が1日以上1週間以下であると、極めて長期
間の性能維持が可能となる。すなわちヒートアップの頻
度が高いと炭酸塩の溶融につながり、低いと性能の維持
が困難となる。
【0012】加熱温度はヒータの静抵抗と動抵抗との計
算から基本的に極めて簡単に競ってできる。なお、ヒー
トアップを行わないときにはセンサ温度は使用可能最低
温度である340〜350℃で用いることができ、その
結果リチウムイオンの目減りの進行をくい止めることが
可能となり、センサの長寿命を達成することができる。
図3に定期的にヒートアップを行ったときのセンサ出力
(この場合大気に対する出力値)をモデル的に示す。こ
れは意図的にヒートアップ間隔を狭くした例である。ヒ
ートアップ中はセンサ出力は高くなり、ヒートアップ終
了後、出力の安定に数分間必要となるが、実際にはヒー
トアップ処理の頻度は低いため、問題とならない。
算から基本的に極めて簡単に競ってできる。なお、ヒー
トアップを行わないときにはセンサ温度は使用可能最低
温度である340〜350℃で用いることができ、その
結果リチウムイオンの目減りの進行をくい止めることが
可能となり、センサの長寿命を達成することができる。
図3に定期的にヒートアップを行ったときのセンサ出力
(この場合大気に対する出力値)をモデル的に示す。こ
れは意図的にヒートアップ間隔を狭くした例である。ヒ
ートアップ中はセンサ出力は高くなり、ヒートアップ終
了後、出力の安定に数分間必要となるが、実際にはヒー
トアップ処理の頻度は低いため、問題とならない。
【0013】
【実施例】以下に本発明の固体電解質型二酸化炭素ガス
センサの感度低下防止方法について具体的に説明する。
炭酸リチウムと炭酸カルシウムとの等モル混合金属炭酸
塩物により覆われた検知極及びNASICONからなる
固体電解質を有し、構造が図1に示される固体電解質型
二酸化炭素ガスセンサ素子を用いて、検討を行った。
センサの感度低下防止方法について具体的に説明する。
炭酸リチウムと炭酸カルシウムとの等モル混合金属炭酸
塩物により覆われた検知極及びNASICONからなる
固体電解質を有し、構造が図1に示される固体電解質型
二酸化炭素ガスセンサ素子を用いて、検討を行った。
【0014】通常時、すなわちヒートアップ処理を行わ
ないときのセンサ温度を最適化する検討を加速実験にて
行った。通常の空気(二酸化炭素ガス360ppm程度
を含有する)に対する感度を0mVとしたときの、20
00pmmの二酸化炭素ガスを有する空気に対する感度
であるΔEMFを検出しながら、10分毎に2分間のヒ
ートアップ処理(520℃)を、通常時温度を340
℃、360℃及び380℃としたセンサに対して行っ
た。このとき、初期のΔEMFを0mVとしたときの出
力へのヒートアップ処理回数の影響について図4に示し
た。図4により、センサの通常時温度を340℃にする
ことにより、520℃・2分間ヒートアップ処理200
0回処理後においてもΔEMFは初期の性能を保つこと
が判る。なお、このヒートアップ処理2000回とは、
ヒートアップ処理を1日1回行うとして、2000日間
(5年間超)に該当すると考えられる。これは一般的に
求められる二酸化炭素ガスセンサの寿命に対する要求を
満足するものである。
ないときのセンサ温度を最適化する検討を加速実験にて
行った。通常の空気(二酸化炭素ガス360ppm程度
を含有する)に対する感度を0mVとしたときの、20
00pmmの二酸化炭素ガスを有する空気に対する感度
であるΔEMFを検出しながら、10分毎に2分間のヒ
ートアップ処理(520℃)を、通常時温度を340
℃、360℃及び380℃としたセンサに対して行っ
た。このとき、初期のΔEMFを0mVとしたときの出
力へのヒートアップ処理回数の影響について図4に示し
た。図4により、センサの通常時温度を340℃にする
ことにより、520℃・2分間ヒートアップ処理200
0回処理後においてもΔEMFは初期の性能を保つこと
が判る。なお、このヒートアップ処理2000回とは、
ヒートアップ処理を1日1回行うとして、2000日間
(5年間超)に該当すると考えられる。これは一般的に
求められる二酸化炭素ガスセンサの寿命に対する要求を
満足するものである。
【0015】上記のように通常時の温度を340℃とし
1日1回2分間のヒートアップ処理(520℃)を行っ
たセンサ(記号:●)と、温度を340℃としてヒート
アップ処理を行わないセンサ(記号:○)、それぞれの
ΔEMFの経時変化を図5に示した。図5より定期的な
短時間のヒートアップ処理の効果により、ΔEMFを長
期間安定させ得ることが判る。
1日1回2分間のヒートアップ処理(520℃)を行っ
たセンサ(記号:●)と、温度を340℃としてヒート
アップ処理を行わないセンサ(記号:○)、それぞれの
ΔEMFの経時変化を図5に示した。図5より定期的な
短時間のヒートアップ処理の効果により、ΔEMFを長
期間安定させ得ることが判る。
【0016】なお、本発明で用いる固体電解質型二酸化
炭素ガスセンサ素子は炭酸リチウムなどの金属炭酸塩を
用いるため、長期間使用せずに、センサ素子温度を常温
のまま通常の環境に放置するとこれら金属炭酸塩が吸湿
し、その結果使用開始後出力値が安定せず、所期の設定
レベル(通常大気(二酸化炭素を300〜400ppm
含有する)に対する出力値である)に達するまで長時間
(数時間から数日)要することがある。なお、使用開始
後であっても、しばらく使用を中断して、その後使用再
開した場合においても同様であった。このことは、セン
サ始動後、その動作確認が可能となるまでの時間が非常
に長いと云うことであり、その時間短縮が過大となって
いた。ここで、大気EMF値を速やかに設定レベルに達
するようにするために使用開始あるいは使用再開直後
(本発明においてはこの両者を含めて「使用開始直後」
という)ヒートアップ処理を行うことが望ましい(ここ
で云うヒートアップ処理は上述のヒートアップ処理と区
別するため以下「初期ヒートアップ処理」と云う)。
炭素ガスセンサ素子は炭酸リチウムなどの金属炭酸塩を
用いるため、長期間使用せずに、センサ素子温度を常温
のまま通常の環境に放置するとこれら金属炭酸塩が吸湿
し、その結果使用開始後出力値が安定せず、所期の設定
レベル(通常大気(二酸化炭素を300〜400ppm
含有する)に対する出力値である)に達するまで長時間
(数時間から数日)要することがある。なお、使用開始
後であっても、しばらく使用を中断して、その後使用再
開した場合においても同様であった。このことは、セン
サ始動後、その動作確認が可能となるまでの時間が非常
に長いと云うことであり、その時間短縮が過大となって
いた。ここで、大気EMF値を速やかに設定レベルに達
するようにするために使用開始あるいは使用再開直後
(本発明においてはこの両者を含めて「使用開始直後」
という)ヒートアップ処理を行うことが望ましい(ここ
で云うヒートアップ処理は上述のヒートアップ処理と区
別するため以下「初期ヒートアップ処理」と云う)。
【0017】ここで初期ヒートアップ処理の効果につい
て図6を用いて説明する。新しいセンサ素子を用い使用
開始した場合、その出力(EMF)は鎖線で示したよう
に、安定に時間が必要で40分経っても設定レベルに達
しない。ここで使用開始直後に初期ヒートアップ処理
(550℃・2分)を3分間隔で4回繰り返した(図6
中実線で示した初期ヒートアップ処理ありのチャートに
おいて、EMF値が著しく上昇している部分に相当)。
その結果20分未満でセンサ素子出力が設定レベルに達
するようにさせることができた。
て図6を用いて説明する。新しいセンサ素子を用い使用
開始した場合、その出力(EMF)は鎖線で示したよう
に、安定に時間が必要で40分経っても設定レベルに達
しない。ここで使用開始直後に初期ヒートアップ処理
(550℃・2分)を3分間隔で4回繰り返した(図6
中実線で示した初期ヒートアップ処理ありのチャートに
おいて、EMF値が著しく上昇している部分に相当)。
その結果20分未満でセンサ素子出力が設定レベルに達
するようにさせることができた。
【0018】なお、この初期ヒートアップ処理は、使用
開始直後にしか行わずそのため回数が少なくセンサ寿命
に対する影響が小さいこと、初期ヒートアップ処理の温
度は設定レベルに達するのに必要な時間に対し大きな影
響を有すること、また使用開始後できるだけ迅速にセン
サ素子出力を設定レベルに達するようにしたいこと等を
考慮すると上記通常のヒートアップ処理に比べて高い温
度(通常50℃以上高い温度)で行うことが好ましい。
また、図6に示されたような初期ヒートアップ処理は、
マイクロプロセッサを用いて行うことができ、またタイ
マとコンパレータとを組み合わせても容易に実施するこ
とができる。このようにセンサの大気EMFが設定レベ
ルに達した後、定期的に通常のヒートアップ処理を行う
ことで、安定した測定が可能となる。
開始直後にしか行わずそのため回数が少なくセンサ寿命
に対する影響が小さいこと、初期ヒートアップ処理の温
度は設定レベルに達するのに必要な時間に対し大きな影
響を有すること、また使用開始後できるだけ迅速にセン
サ素子出力を設定レベルに達するようにしたいこと等を
考慮すると上記通常のヒートアップ処理に比べて高い温
度(通常50℃以上高い温度)で行うことが好ましい。
また、図6に示されたような初期ヒートアップ処理は、
マイクロプロセッサを用いて行うことができ、またタイ
マとコンパレータとを組み合わせても容易に実施するこ
とができる。このようにセンサの大気EMFが設定レベ
ルに達した後、定期的に通常のヒートアップ処理を行う
ことで、安定した測定が可能となる。
【0019】
【発明の効果】本発明の固体電解質型二酸化炭素ガスセ
ンサの感度低下防止方法によれば、センサベースEMF
の低下を緩やかにして、センサの寿命を極めて長くする
ことができる優れた固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ
の感度低下防止方法である。また、長期間使用せずに放
置してあったセンサを迅速に測定可能とすることができ
る。また、ヒートアップを定期的に行うことにより、感
度の低下を一定範囲に収めることが可能となるが、この
ときマイクロプロセッサ等を必ずしも必要とせず、低コ
ストで実施できる。
ンサの感度低下防止方法によれば、センサベースEMF
の低下を緩やかにして、センサの寿命を極めて長くする
ことができる優れた固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ
の感度低下防止方法である。また、長期間使用せずに放
置してあったセンサを迅速に測定可能とすることができ
る。また、ヒートアップを定期的に行うことにより、感
度の低下を一定範囲に収めることが可能となるが、この
ときマイクロプロセッサ等を必ずしも必要とせず、低コ
ストで実施できる。
【図1】固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ素子の一例
のモデル断面図である。
のモデル断面図である。
【図2】ある固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ素子に
おける350℃、400℃及び450℃における経時特
性を調べた結果を示す図である。
おける350℃、400℃及び450℃における経時特
性を調べた結果を示す図である。
【図3】通常の空気に対する感度を0mVとしたとき
の、2000pmmΔEMFを検出しながら、短時間の
ヒートアップ処理を2回行ったときの様子を、ヒートア
ップのタイムチャートと共に示した図である。
の、2000pmmΔEMFを検出しながら、短時間の
ヒートアップ処理を2回行ったときの様子を、ヒートア
ップのタイムチャートと共に示した図である。
【図4】定期的にヒートアップを行った際の、固体電解
質型二酸化炭素ガスセンサの大気EMFの変化を示す。
質型二酸化炭素ガスセンサの大気EMFの変化を示す。
【図5】長期間使用せずに放置された固体電解質型二酸
化炭素ガスセンサにおけるヒートアップ処理による迅速
なベースラインの復帰効果を示す図である。
化炭素ガスセンサにおけるヒートアップ処理による迅速
なベースラインの復帰効果を示す図である。
【図6】初期ヒートアップ処理の効果を示す図である。
1 固体電解質 2 検知極 3 基準極 4 多孔質セラミック 5 ガスフィルター 6 ヒーター 7 基板
Claims (6)
- 【請求項1】 短時間のヒートアップ処理を行うことを
特徴とする固体電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低
下防止方法。 - 【請求項2】 上記短時間のヒートアップ処理が定期的
に行われることを特徴とする請求項1に記載の固体電解
質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法。 - 【請求項3】 上記短時間のヒートアップ処理が2分間
以上3分間以下行われるものであることを特徴とする請
求項1または請求項2に記載の固体電解質型二酸化炭素
ガスセンサの感度低下防止方法。 - 【請求項4】 上記短時間のヒートアップ処理の温度が
450℃以上550℃以下であることを特徴とする請求
項1ないし請求項3のいずれかに記載の固体電解質型二
酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法。 - 【請求項5】 上記ヒートアップ処理と次のヒートアッ
プ処理との間隔が1日以上1週間以下であることを特徴
とする請求項2ないし請求項3のいずれかに記載の固体
電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法。 - 【請求項6】 センサ使用開始直後に初期ヒートアップ
処理を行い、センサ出力が設定レベルに達した後に測定
を開始し、その後短時間のヒートアップ処理を行うこと
を特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載
の固体電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13680598A JP3496869B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 固体電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13680598A JP3496869B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 固体電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326271A true JPH11326271A (ja) | 1999-11-26 |
| JP3496869B2 JP3496869B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=15183934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13680598A Expired - Fee Related JP3496869B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 固体電解質型二酸化炭素ガスセンサの感度低下防止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3496869B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0396852A (ja) * | 1989-09-11 | 1991-04-22 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスメーター |
| JPH08189915A (ja) * | 1995-01-10 | 1996-07-23 | Yazaki Corp | 炭酸ガスセンサ |
| JPH09145666A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Yazaki Corp | 炭酸ガス濃度測定器の固体電解質型炭酸ガスセンサ制御装置 |
| JPH09329559A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Yazaki Corp | 炭酸ガス測定ユニットの信号ベースライン値の補正方法及び炭酸ガス測定ユニット |
-
1998
- 1998-05-19 JP JP13680598A patent/JP3496869B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0396852A (ja) * | 1989-09-11 | 1991-04-22 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスメーター |
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| JPH09145666A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Yazaki Corp | 炭酸ガス濃度測定器の固体電解質型炭酸ガスセンサ制御装置 |
| JPH09329559A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Yazaki Corp | 炭酸ガス測定ユニットの信号ベースライン値の補正方法及び炭酸ガス測定ユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3496869B2 (ja) | 2004-02-16 |
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