JPH11328746A - 光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータ又はスライダのｃｌｖ駆動精度評価方法、駆動制御方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 理想的なスピンドルモータのＣＬＶ駆動によ
り得られるＣＬＶフォーマットの各セクタ間の位置関係
をリアルタイムで高精度に評価できるようにする。 【解決手段】 ＣＬＶ駆動により形成される等ピッチの
スパイラルトラックでは、隣接トラック間の線路長差は
常に一定であり、任意長の隣接セグメント間の線路長差
でも同様に常に一定である。一定線速でこのトラック線
上を移動した場合には、対応する任意周期長カウンタに
おける一定位相差の増加となり、セグメント毎に所要時
間も一定時間ずつ増加する。一定時間の増加は、任意周
期長カウンタの計数値を位相データとすると、一定の割
合で位相差が増加することに対応する。このような位相
差データと理想的なＣＬＶ駆動の位相差データ（計算
値）との差がスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差として
評価される。従って、基本クロック以上の周波数でのパ
ルス数位置誤差として高精度に評価できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＬＶフォーマッ
トの光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータ
又はスライダのＣＬＶ駆動精度評価方法、駆動制御方法
及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、光ディスク原盤等のディスクを
回転させる場合には、角速度を一定に保持させつつ回転
させる、いわゆるＣＡＶ（Ｃonstant Ａnguler Ｖeloci
ty）方式と、回転における線速度を半径方向の位置によ
らず一定に保持させつつ回転させる、いわゆるＣＬＶ
（Ｃonstant Ｌinear Ｖelocity） 方式とがある。

【０００３】この内、ＣＬＶ方式を用いたディスクにお
いては、ディスク外周部になる程、回転数が減少するこ
ととなるので、単位時間毎に区切られた記録情報を順次
記録していく場合を考えると、ＣＡＶ方式に比べて記録
可能な情報量が多くなり、長時間記録が可能になるとい
う利点がある。このようなことから、ディスクの有効利
用により大容量化を図る上で有利なＣＬＶ方式が多用さ
れている。

【０００４】ところで、近年、大容量の光ディスク媒体
として、ＤＶＤ（Ｄigital Ｖersatile Ｄisk）‐ＲＯ
Ｍ（Ｒead Ｏnly Ｍemory），ＤＶＤ‐Ｒ（Ｒecordabl
e），ＤＶＤ‐ＲＷ（Ｒewritable)（＝ＤＶＤ‐ＲＡ
Ｍ）等が注目されている。この種のＤＶＤ系に関するＤ
ＶＤ規格においては、トラックピッチ；０．７４μｍ、
最小ピット長；０．４μｍの如く規定されており、現行
のＣＤ規格におけるトラックピッチ；１．６μｍ、最小
ピット長；０．８７μｍに比べ、約半分の微小構造のプ
リフォーマットを光ディスク原盤上に形成しなければな
らなくなっている。記憶容量の増大化への要求により、
今後益々、狭ピッチ化、小ピット化が求められ、より高
精度、高品質な光ディスクカッティングマシン（光ディ
スク原盤露光装置）が必要になってきている。

【０００５】このような状況の下、ＣＬＶフォーマット
の光ディスク原盤、特に、両面同時記録再生可能な光デ
ィスク原盤のカッティングに際し、光ディスクカッティ
ングマシンでは、スピンドルモータ及びスライダに関し
てより高精度なＣＬＶ駆動制御が要求される。特に、Ｃ
ＬＶフォーマットの光ディスクカッティングマシンにお
いては、カッティング位置（露光位置）の半径位置によ
らず、光ディスク原盤に対するカッティング線速度を一
定に保つ必要があるので、そのスピンドルモータの回転
数及びスライダの移動速度は、図１５に示すように、半
径位置ｒの変化に反比例して連続的に減少するように制
御しなくてはならない。

【０００６】このような制御を実現するための従来例と
して、特公平６−３６２７２号公報や特開平８−２３５
７６９号公報に示されるものがある。

【０００７】前者の特公平６−３６２７２号公報によれ
ば、光ピックアップの存在する半径位置に対応する値を
有する半径信号に反比例して出力周波数を変化させる可
変周波数発生器から得られるパルス列を用いて、スピン
ドルモータの軸上に取付けられた回転パルス発生器（エ
ンコーダ）から得られる回転パルスの１周期を一定値で
計数し、その誤差を速度へフィードバックさせることに
より、任意トラック上での線速度が一定となるように制
御することで、スピンドルモータのＣＬＶ駆動制御を実
現している。

【０００８】後者の特開平８−２３５７６９号公報によ
れば、半径方向の位置に対応した理想的なスピンドルモ
ータの回転数変化に対して、実際の回転数が予め設定さ
れた誤差範囲内とするために、半径方向の位置に対して
一定の変化率で回転数を変化させたり、回転数が一定の
変化率で変化する区間と一定の回転数で回転させる区間
（ＣＡＶ区間）とを交互に存在させて理想的な半径位置
と回転数との関係に近付ける制御方法が示されている。

【０００９】また、実際の光ディスクカッティングマシ
ンとしては、図１６に示すようなものもある。図１６は
従来の光ディスクカッティングマシンの基本構成を示す
もので、カッティング対象となるフォトレジストが塗布
されたガラス原盤１はスピンドルモータ２により回転駆
動されるターンテーブル３上に吸着保持される。このよ
うなガラス原盤１を露光するためのレーザ光を出射する
Ｋｒレーザ等のレーザ光源４が設けられ、このレーザ光
源４から出射されたレーザ光を整形し、かつ、ガラス原
盤１上に常に微小な露光スポットとして集光照射させる
集光光学系を含む光ピックアップ５が設けられている。
この光ピックアップ５中にはレーザ光の微小な露光スポ
ットなるビームウエスト位置をガラス原盤１のフォトレ
ジスト層位置に保つようフォーカス制御するフォーカス
アクチュエータ６及びそのサーボ制御系が含まれてい
る。また、この光ピックアップ５における光路中には、
レーザ光源４からのレーザ光をフォーマッタ（露光信号
発生装置）７からのフォーマット信号Ｆout に基づいて
オン・オフさせる光変調器８が設けられている。フォー
マッタ７はガラス原盤１上にプリエンボスピットやグル
ーブを形成するためのフォーマット信号Ｆout を、基本
クロック発生器９からの基本クロックＦclk にに対応さ
せて出力する。光ピックアップ５はガラス原盤１の半径
方向にスライド自在に設けられており、この光ピックア
ップ５を半径方向にスライド移動させるエアスライダ
（スライダ）１０が設けられている。

【００１０】一方、スピンドルモータ２の軸上にはその
回転に応じたパルス列をスピンドルエンコーダパルスＳ
Ｐenc として出力するスピンドルエンコーダ１１が取付
けられている。同様に、スライダ１０に対しては、この
スライダ１０の位置を通じてガラス原盤１上の露光スポ
ットの半径方向の位置に応じたパルス列をリニアエンコ
ーダパルスＳＬenc として出力するリニアエンコーダ１
２が設けられている。また、駆動系全体を制御する駆動
系コントローラ１３からの回転指令に基づきスピンドル
モータ２の回転動作を制御し駆動させるための制御回路
１４及びドライバ１５が設けられている。制御回路１４
にはスピンドルエンコーダ１１からのスピンドルエンコ
ーダパルスＳＰenc がフィードバックされており、スピ
ンドルモータ２の回転動作をフィードバック制御する回
転制御ループ１６が形成されている。同様に、駆動系コ
ントローラ１３からの移動指令に基づきスライダ１０の
移動動作を制御し駆動させるための制御回路１７及びド
ライバ１８が設けられている。制御回路１７にはリニア
エンコーダ１２からのリニアエンコーダパルスＳＬenc
がフィードバックされており、スライダ１０の移動動作
をフィードバック制御する移動制御ループ１９が形成さ
れている。駆動系コントローラ１３からフォーマッタ７
へ与えられる信号Ｆgoはフォーマッタスタート信号であ
る。なお、リニアエンコーダの値をプリセットするため
の絶対位置を検出するためのセンサは省略してある。ま
た、光ディスクカッティングマシンは、現実には、各種
ディスクフォーマットに対応して、２ビーム露光、露光
ビームの蛇行（ウォブリング）等の設定が必要になる
が、それらに要する各種露光光学系等は、ここでは直接
関係しないので、省略してある。

【００１１】このような光ディスクカッティングマシン
におけるスピンドルモータ２のＣＬＶ駆動は、以下のよ
うに行われる。まず、駆動系コントローラ１３はリニア
エンコーダ１２から現在の露光スポットの半径位置ｒを
読み取る。次に、露光線速Ｖ１の指定に従いＶ１＝ｒ・
ω＝一定なる関係を満足するようにスピンドルモータ２
の回転数ωを制御する。スライダ１０のＣＬＶ駆動につ
いては、同様に、半径位置ｒの値からＶ１＝Ｖｓ・ｒ・
２π／Ｐ＝一定なる関係を満足するように移動速度Ｖｓ
を制御する方法（Ｐはスパイラルピッチ）、或いは、ス
ピンドルモータ２の１回転中にスパイラルピッチＰ分だ
けスライダ１０を移動させるような制御を行う方法等が
ある。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】特公平６−３６２７２
号公報に示される方法においては、ＣＬＶ駆動の基準と
しているパルス列は、半径位置を検出する手段（ポテン
ショメータ）と可変周波数発生手段とにより生成されて
いる。よって、このようなパルス列中には、半径位置の
検出誤差や発生周波数の設定誤差が含まれることにな
る。この方法により、従来のＣＤ規格対応等のＣＬＶ駆
動制御に要求される精度は達成し得るとしても、ＤＶＤ
規格対応等の、より高精度なＣＬＶ駆動制御を実現する
上では、これらの誤差も無視することはできず、排除す
る必要がある。

【００１３】また、一般に回転パルス発生器（エンコー
ダ）は、周知の如く、多数のスリットが放射状に等間隔
で形成されたスリット円盤をスピンドル軸上に取付け、
スリットを挾んで光源と光ディテクタとを対向配置さ
せ、スピンドル軸の回転に伴う光の入射・遮光によって
回転パルスを得るものである。この場合、スリットが正
確に放射状に等間隔で配設されていたとしても、スピン
ドル軸へのスリット円盤の取付け偏心により、得られる
回転パルス列には、図１７に誇張して示すように見掛け
上の速度変動Δωが観察されてしまう。このような回転
パルス列をそのまま回転駆動制御のためにフィードバッ
クさせて使用すると、却って、制御精度を低下させてし
まうことになる。

【００１４】特開平８−２３５７６９号公報に示される
方法でも、ＣＬＶ駆動の回転数制御は、半径位置を基準
として、この値から、或る一定変化率の回転数パターン
等の発生・切換えを行っており、よりＣＬＶ回転精度を
上げようとすれば、同様に、半径位置を検出するリニア
スケール（リニアエンコーダ）の高精度化、切換え点の
多点化を図る必要がある。

【００１５】図１６に示したような光ディスクカッテン
グマシンにおけるＣＬＶ駆動方法においても、露光スポ
ットの半径位置情報の誤差或いは変動は、スピンドルモ
ータ２の回転制御に直接影響してしまい、ＣＬＶフォー
マットの各セクタの正確な配置については制御しきれな
い状況にある。

【００１６】さらには、何れの制御方式にしても、高精
度なＣＬＶ駆動制御を実現するためには、高精度なＣＬ
Ｖ駆動精度の評価が実現できなければならないが、従来
のＣＬＶ駆動精度の評価は、 Ａ．露光スポットの半径位置に対するスピンドルモータ
の回転速度の測定と、スピンドルモータの１回転毎の露
光スポット位置の測定とによるピッチ測定による評価 Ｂ．ＣＬＶ駆動開始時からの経過時間に対するスピンド
ルモータの回転数及びスライダの移動距離の測定或いは
スピンドルモータの総回転回数及び露光スポット半径位
置の測定による評価 Ｃ．ＣＬＶフォーマットの最終セクタ或いは任意セクタ
の或る半径位置を光学顕微鏡等を用いて測長し、計算に
よって求める値と比較することによる評価（ＣＬＶ露光
終了後の評価）のような方法によるものであり、露光ス
ポットの半径位置、回転速度或いは移動速度等の測定に
は、各測定器の分解能、測定の時間差等により、真の値
に対して常に誤差を伴い正確なデータを得ることができ
ない。このような評価レベルであっても、従来のＣＤ規
格レベルであれば、ＣＬＶフォーマットに対して或る線
速範囲内で露光されていれば問題なしとされ、セクタの
配置までは問題とされず、この程度の評価で十分である
が、理想的なＣＬＶ駆動の下に露光されたＣＬＶフォー
マットの各セクタ間の位置関係まで問題にしようとする
と、従来のＣＬＶ駆動精度評価法では不十分である。

【００１７】そこで、本発明は、理想的なスピンドルモ
ータのＣＬＶ駆動によって得られるＣＬＶフォーマット
の各セクタ間の位置関係をリアルタイムで高精度に評価
し得る光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモー
タのＣＬＶ駆動精度評価方法及びその装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１８】また、本発明は、リニアエンコーダの分解
能を上げることなく、高精度にスライダのＣＬＶ駆動を
評価し得る光ディスク原盤露光装置におけるスライダの
ＣＬＶ駆動精度評価方法及びその装置を提供することを
目的とする。

【００１９】本発明は、高精度なスピンドルモータのＣ
ＬＶ駆動精度の評価結果に基づきスピンドルモータのＣ
ＬＶ駆動をフィードバック制御することで、より高精度
にスピンドルモータを回転駆動させることができ、ＣＬ
Ｖフォーマットの各セクタの円周方向の各配置を理想的
なものとし、両面同時記録再生可能なＣＬＶディスクの
マスタリングも可能となる光ディスク原盤露光装置にお
けるスピンドルモータのＣＬＶ駆動制御方法及びその装
置を提供することを目的とする。

【００２０】本発明は、高精度なスライダのＣＬＶ駆動
精度の評価結果に基づきスライダのＣＬＶ駆動をフィー
ドバック制御することで、より高精度にスライダを移動
させることができ、リニアエンコーダの分解能を超えた
精度のスパイラルピッチを得ることができる光ディスク
原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動制御方法及
びその装置を提供することを目的とする。

【００２１】本発明は、ＣＬＶ駆動動作が有効に機能し
ない、目標回転数或いは目標移動速度でのスムーズな立
上げ動作、立下げ動作或いはＣＡＶ駆動動作をも併せて
行わせ得る光ディスク原盤露光装置におけるスピンドル
モータ又はスライダのＣＬＶ駆動制御方法及びその装置
を提供することを目的とする。

【００２２】さらに、本発明は、スピンドルエンコーダ
から得られるパルス列信号に関して生じ得る取付け偏心
に伴う見掛け上の変動を排除することができ、安定した
スピンドルモータの回転制御を実現し得る光ディスク原
盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度
評価方法、駆動制御方法及びその装置を提供することを
目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明は、何れも、フォ
トレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光
を出射するレーザ光源と、基本クロックに対応させて前
記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発
生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出
射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この
光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス
原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系
を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガ
ラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピ
ックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるス
ライダと、前記スピンドルモータの回転に応じたパルス
列を出力するスピンドルエンコーダと、前記ガラス原盤
上における前記露光スポットの位置に応じたパルス列を
出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピン
ドルエンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモ
ータの回転をフィードバック制御する回転制御ループ
と、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に
基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移
動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記
スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤
露光装置を前提とする。

【００２４】請求項１記載の発明の光ディスク原盤露光
装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方
法は、スピンドルエンコーダのパルス列出力に基づき或
る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角
パルスを出力させるとともに、基本クロック又はその整
数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された
任意周期長分を計数して、計数されたカウントパルス数
を回転角パルス毎にラッチし、ラッチされたデータから
得られる任意周期長分における位相差データと対応する
理想的な計算値による位相差データとの比較によりスピ
ンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出するようにした。
請求項９記載の発明の光ディスク原盤露光装置における
スピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価装置は、スピン
ドルエンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に
設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを
出力する任意角パルス生成回路、基本クロック又はその
整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に
設定された任意周期長分を繰返し計数する任意周期長カ
ウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数され
たカウントパルス数を回転角パルス毎にラッチするラッ
チ回路を有する位相データ取込回路と、この位相データ
取込回路中のラッチ回路にラッチされた位相データから
得られる任意周期長分における位相差データと対応する
理想的な計算値による位相差データとの比較によりスピ
ンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出するＣＬＶ駆動精
度評価手段とを備えた。

【００２５】ＣＬＶ駆動により形成される等ピッチのス
パイラルトラックにおいては、隣接トラック間の線路長
差は常に一定であり、この関係は、任意長で区切ってな
る隣接セグメント間の線路長差でも同様に常に一定であ
る。このように隣接セグメント間の線路長差が一定であ
るので、一定線速でこのトラック線上を移動した場合に
は、対応する任意周期長カウンタにおける一定位相差の
増加となり、セグメント毎に所要時間も一定時間ずつ増
加することになる。このような一定時間の増加は、任意
周期長カウンタの計数値を位相データとしたとき、一定
の割合で位相差が増加することに対応する。このように
測定された位相差データと理想的なＣＬＶ駆動の計算値
として得られた位相差データとの差がスピンドルモータ
のＣＬＶ駆動誤差として評価される。従って、露光信号
発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数での
パルス数位置誤差としてスピンドルモータのＣＬＶ駆動
誤差を検出することが可能であり、極めて高精度に評価
できる。

【００２６】請求項３記載の発明の光ディスク原盤露光
装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価方法は、リ
ニアエンコーダのパルス列出力に基づき或る任意に設定
されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力させる
とともに、基本クロック又はその整数倍クロックをカウ
ントパルスとして任意に設定された任意周期長分を計数
して、計数されたカウントパルス数を移動長パルス毎に
ラッチし、ラッチされたデータから得られる任意周期長
分における位相差データと対応する理想的な計算値によ
る位相差データとの比較によりスライダのＣＬＶ駆動誤
差を検出するようにした。請求項１１記載の発明の光デ
ィスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度
評価装置は、リニアエンコーダのパルス列出力を入力と
して或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長
パルスを出力する任意長パルス生成回路、基本クロック
又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力さ
れ任意に設定された任意周期長分を繰返し計数する任意
周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより
計数されたカウントパルス数を移動長パルス毎にラッチ
するラッチ回路を有する位相データ取込回路と、この位
相データ取込回路中のラッチ回路にラッチされた位相デ
ータから得られる任意周期長分における位相差データと
対応する理想的な計算値による位相差データとの比較に
よりスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出するＣＬＶ駆動精
度評価手段とを備えた。

【００２７】理想的なＣＬＶ駆動が実現されている場
合、等ピッチのスパイラルトラックであれば、スピンド
ルモータの一定の任意回転角に対してはスライダは一定
移動長で移動するため、スライダの一定移動長に対して
スピンドルモータの一定の回転角が対応することにな
る。よって、スライダの一定移動長毎に取り込まれる位
相データ及び位相差データについても、スピンドルモー
タの場合と同じ関係が成立し、露光信号発生装置用の基
本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤
差としてスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出することが可
能であり、極めて高精度に評価できる。

【００２８】請求項４記載の発明の光ディスク原盤露光
装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法は、スピ
ンドルエンコーダのパルス列出力に基づき或る任意に設
定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出
力させるとともに、基本クロック又はその整数倍クロッ
クをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長
分を計数して、計数されたカウントパルス数を回転角パ
ルス毎にラッチし、ラッチされたデータから得られる任
意周期長分における位相差データと対応する理想的な計
算値による位相差データとの比較によりスピンドルモー
タのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤
差を回転制御ループへフィードバックさせるようにし
た。請求項１２記載の発明の光ディスク原盤露光装置に
おけるスピンドルモータの駆動制御装置は、スピンドル
エンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定
されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力
する任意角パルス生成回路、基本クロック又はその整数
倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定
された任意周期長分を繰返し計数する任意周期長カウン
タ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカ
ウントパルス数を回転角パルス毎にラッチするラッチ回
路を有する位相データ取込回路を回転制御ループ中に設
け、ラッチ回路にラッチされた位相データから得られる
任意周期長分における位相差データと対応する理想的な
計算値による位相差データとの比較によりスピンドルモ
ータのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動
誤差を回転制御ループへフィードバックさせるようにし
た。

【００２９】従って、スピンドルモータのＣＬＶ駆動精
度評価に準じて露光信号発生装置用の基本クロック或い
はそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差レベルでスピ
ンドルモータのＣＬＶ駆動制御を高精度に行えるため、
ＣＬＶフォーマットの各セクタを円周方向の理想的な位
置に配置させることができ、よって、両面同時記録再生
可能なＣＬＶディスクのマスタリングも可能となり、高
速データ転送レートを持たせることもできる。

【００３０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の光
ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬ
Ｖ駆動精度評価方法において、回転角パルスを出力させ
る任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１
回転分とした。請求項１０記載の発明は、請求項９記載
の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータの
ＣＬＶ駆動精度評価装置において、任意角パルス生成回
路から回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモー
タ回転角をスピンドルモータ１回転分とした。請求項５
記載の発明は、請求項４記載の光ディスク原盤露光装置
におけるスピンドルモータの駆動制御方法において、回
転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角
をスピンドルモータ１回転分とした。請求項１３記載の
発明は、請求項１２記載の光ディスク原盤露光装置にお
けるスピンドルモータの駆動制御装置において、任意角
パルス生成回路から回転角パルスを出力させる任意のス
ピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分とし
た。

【００３１】従って、スピンドルモータのＣＬＶ駆動精
度評価或いはＣＬＶ駆動制御に際して、スピンドルエン
コーダの取付け偏心に伴う見掛け上の回転変動を排除
し、スピンドルモータの回転に同期したＣＬＶ駆動誤差
に基づいた回転制御となるので、安定したスピンドルモ
ータの回転制御となる。

【００３２】請求項７記載の発明の光ディスク原盤露光
装置におけるスライダの駆動制御方法は、リニアエンコ
ーダのパルス列出力に基づき或る任意に設定されたスラ
イダ移動距離毎に移動長パルスを出力させるとともに、
基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルス
として任意に設定された任意周期長分を計数して、計数
されたカウントパルス数を移動長パルス毎にラッチし、
ラッチされたデータから得られる任意周期長分における
位相差データと対応する理想的な計算値による位相差デ
ータとの比較によりスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出
し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を移動制御ループへフィ
ードバックさせるようにした。請求項１５記載の発明の
光ディスク原盤露光装置におけるスライダの駆動制御装
置は、リニアエンコーダのパルス列出力を入力として或
る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルス
を出力する任意長パルス生成回路、基本クロック又はそ
の整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意
に設定された任意周期長分を繰返し計数する任意周期長
カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数さ
れたカウントパルス数を移動長パルス毎にラッチするラ
ッチ回路を有する位相データ取込回路を移動制御ループ
中に設け、ラッチ回路にラッチされた位相データから得
られる任意周期長分における位相差データと対応する理
想的な計算値による位相差データとの比較によりスライ
ダのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤
差を移動制御ループへフィードバックさせるようにし
た。

【００３３】従って、スライダのＣＬＶ駆動精度評価に
準じて露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以
上の周波数でのパルス数位置誤差レベルでスライダのＣ
ＬＶ駆動制御を高精度に行えるため、リニアエンコーダ
の分解能以上に極めて高精度なスパイラルピッチでトラ
ックを形成することができる。

【００３４】請求項６記載の発明は、請求項４又は５記
載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータ
の駆動制御方法において、任意周期長分の計数周期を可
変とし、その計数周期の設定に応じてスピンドルモータ
の立上げ動作、立下げ動作又はＣＡＶ駆動動作を制御す
るようにした。請求項１４記載の発明は、請求項１２又
は１３記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンド
ルモータの駆動制御装置において、位相データ取込回路
の前段に任意周期長分の計数周期を可変させる分周回路
を備え、分周回路の分周数に対応する計数周期の設定に
応じてスピンドルモータの目標回転数までの立上げ動
作、立下げ動作又はＣＡＶ駆動動作を制御するようにし
た。請求項８記載の発明は、請求項７記載の光ディスク
原盤露光装置におけるスライダの駆動制御方法におい
て、任意周期長分の計数周期を可変とし、その計数周期
の設定に応じてスライダの目標移動速度までの立上げ動
作、立下げ動作又は等速移動動作を制御するようにし
た。請求項１６記載の発明は、請求項１５記載の光ディ
スク原盤露光装置におけるスライダの駆動制御装置にお
いて、位相データ取込回路の前段に任意周期長分の計数
周期を可変させる分周回路を備え、分周回路の分周数に
対応する計数周期の設定に応じてスライダの目標移動速
度までの立上げ動作、立下げ動作又は等速移動動作を制
御するようにした。

【００３５】従って、基本的な高精度なＣＬＶ駆動制御
を維持しつつ、スピンドルモータの目標回転数やスライ
ダの目標移動速度への立上げ動作等に関しても支障なく
動作させることができる。

【００３６】

【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
ないし図４に基づいて説明する。図１５ないし図１７で
示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も
省略する（以降の各実施の形態でも、順次同様とす
る）。本実施の形態は、ＤＶＤ系用の光ディスクカッテ
ィングマシンのＣＬＶ駆動精度評価系に適用されてい
る。光ディスクカッティングマシン自体の構成及び動作
は、図１６に示したものと同様であり、このような光デ
ィスクカッティングマシンに対して、図１に示すよう
に、ＣＬＶ駆動精度評価を行うためのスピンドル位相デ
ータ取込回路２１とＣＬＶ駆動精度評価手段としてのＣ
ＬＶ駆動精度評価ユニット２２とが付加されている（図
中のスライダ位相データ取込回路は次の実施の形態で使
用される）。

【００３７】図２に位相データ取込回路としてのスピン
ドル位相データ取込回路２１の構成例を示す。このスピ
ンドル位相データ取込回路２１は、任意角パルス生成回
路２３と任意周期長カウンタ２４とラッチ回路２５とよ
り構成されている。任意角パルス生成回路２３は、スピ
ンドルエンコーダ１１から出力されるスピンドルエンコ
ーダパルスＳＰenc なるパルス列を入力として、或る任
意のスピンドルモータ回転角毎に、回転角パルスＰ_θs
をラッチ回路２５に対して出力する。任意周期長カウン
タ２４は、フォーマッタ７を駆動させるための基本クロ
ックＦclk （又は、その整数倍クロック）がカウントパ
ルスとして基本クロック発生器９から入力され、任意周
期長分を繰返し計数するカウンタ回路である。この任意
周期は、ＣＬＶフォーマットにおけるセクタ長であって
もよく、又は、それ以外の値であってもよい。この任意
周期長カウンタ２４の計数値は、回転角パルスＰ_θsに
よってラッチ回路２５にラッチされ、スピンドル用の位
相データＳＰpha としてＣＬＶ駆動精度評価ユニット２
２へ取り込まれる。この“位相データＳＰpha ”は、任
意周期長分の計数を１周期として、読み取られた０から
任意周期長カウンタ値までの値（計数値）をこの位相デ
ータとしている。このような位相データＳＰpha がＣＬ
Ｖ駆動精度評価ユニット２２内で処理されて位相差デー
タに変換される。

【００３８】ここで、ＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２
内での処理に先立ち、ＣＬＶ駆動におけるトラック線路
長関係の特質について説明する。まず、ＣＬＶ駆動によ
って形成される等ピッチのスパイラルトラックにおい
て、その全トラック線路長Ｌは、スパイラルトラックの
開始半径位置をＲ₀ 、線路長を測定しようとしているス
パイラルトラックの半径位置をｒ、トラックピッチを
Ｐ、トラック数をｎとすると、 Ｌ＝π（ｒ² −Ｒ₀ ²）／Ｐ …………………………（１） ｒ＝Ｒ₀ ＋ｎＰ （ｎ＝１，２，３，…） …………………（２） なる数式で表される。これらの（１）（２）式から、 Ｌ＝２ｎπＲ₀＋ｎ²πＰ （ｎ＝１，２，３，…） …………（３） なる数式に変形できる。

【００３９】また、この（３）式から、各トラックの線
路長Ｌn は、 Ｌn ＝２πＲ₀＋(２ｎ−１)πＰ （ｎ＝１，２，３，…） ……（４） で表される。この（４）式から、隣接トラック間の線路
長差は、 隣接トラック間の線路長差＝２πＰ＝一定 …………………（５） で表されるように、常に一定であることが分かる。

【００４０】ここに、（２）式は、求めようとするスパ
イラル軌跡を、トラック単位として（即ち、スパイラル
の中心から線路に沿って軌跡の回転角が２π＝１回転を
１単位として）表現している。その結果、トラック毎に
２πＰずつトラック線路長が増加していくという結果が
得られる。

【００４１】２π＝１回転の代わりに、或る任意の角度
θc を１単位とすると、（２）式は 、 ｒ＝Ｒ₀ ＋ｓθc Ｐ／（２π）（ｓ＝１，２，３，…) …………（６） で表される。なお、角度θc は２πより大きくても小さ
くてもよい。また、本発明では、このような角度θc に
よって切り出されるスパイラルトラック上の線分を“セ
グメント”と称するものとする（ｓはセグメント数であ
る）。

【００４２】（１）式と（６）式とによれば、 Ｌ＝Ｒ₀ｓθc ＋Ｐ(ｓθc)²／（４π） （ｓ＝１，２，３，…) …………（７） Ｌs ＝Ｒ₀θc ＋Ｐ(２ｓ−１)θc²／（４π） （ｓ＝１，２，３，…) …………（８） なる関係が成立する。（８）式から、隣接セグメント間
の線路長差は、 隣接セグメント間の線路長差＝Ｐθc²／（２π）＝一定 ………（９） で表されるように、常に一定であることが分かる。

【００４３】本実施の形態及び以降の各実施の形態で
は、このような隣接間の線路長差が常に一定であるとい
う関係を利用して、高精度なＣＬＶ駆動精度の評価ない
しは駆動制御を実現するものである。

【００４４】図１に戻り、ＣＬＶ駆動精度評価ユニット
２２ではスピンドル位相データ取込回路２１から得られ
る位相データＳＰpha に基づき位相差データに変換す
る。この変換処理を含むＣＬＶ駆動精度評価処理を図３
に示すフローチャートを参照して説明する。ここに、位
相差は現セグメント位置での位相と１つ前のセグメント
位置での位相との間の距離で表すものとする。従って、
位相差のグラフは直線で増加し続けるのではなく、図４
に示す場合と同様に、任意周期長カウンタ２４のカウン
タ長の１／２の位置で折り曲がる。まず、位相データを
１つ前のセグメント位置での位相データＰb から現セグ
メント位置での位相データＰc に書換えるものとし、こ
の位相データの取込点になった時点で、現セグメント位
置での位相データＰc をラッチ回路２５にラッチする
（Ｐb ，Ｐb は本実施の形態では、位相データＳＰpha
に相当する）。次いで、｜Ｐc −Ｐb ｜min により位相
差データを算出する。一方、理想的なＣＬＶ駆動時に得
られる位相差データΔＰt を求める。この理想的な位相
差データΔＰt と実際に測定された位相差データ｜Ｐc
−Ｐb ｜min とを比較することで、ＣＬＶ駆動誤差が求
まる。

【００４５】（９）式によれば、隣接セグメント間の線
路長差は常に一定であるので、一定線速（ＣＬＶ駆動）
でこの線路上を移動した場合、一定時間、即ち任意周期
長カウンタ２４における一定位相差の増加となる。例え
ば、線速をＶ1 とし、隣接セグメント間の線路長差に伴
うセグメント毎に要する所要時間の増加時間をＴ0 とす
ると、 Ｔ0 ＝（隣接セグメント間の線路長差）／Ｖ1 …………………（10） となる。これにより、或る時点におけるセグメント所要
時間を基準にして、ｓセグメント先のセグメントにおけ
る所要時間の増加時間Ｔs は、 Ｔs ＝Ｔ0 （１＋２＋３＋…………＋ｎ） ＝Ｔ0 （１＋ｓ）ｓ／２ ……………………（11） となる。

【００４６】そこで、隣接セグメント間の所要時間差Ｔ
d を求めると、 Ｔd ＝Ｔ0 ｓ …………………………………………（12） となり、セグメント毎に所要時間がＴ0 ずつ増加してい
くことが分かる。この一定時間Ｔ0 の増加は、任意周期
長カウンタ２４のカウンタ長データを位相データとした
とき、一定の割合で位相差が増加することに対応する。

【００４７】図４は隣接任意角間の位相差変化（計算
値）の様子を示すグラフである。ここで、任意周期長カ
ウンタ２４のカウンタ長に相当する光ディスク（ガラス
原盤１）上の物理的線路長（この長さは、ＣＬＶ駆動さ
れるので常に一定）を（９）式の隣接セグメント間の線
路長差で割った値を“Ｎs ”とすると、位相差ΔＰt
（計算値）はθs Ｎs 毎に同じ変化を繰り返す。正確な
ＣＬＶ駆動制御がなされていれば、図１、図２に示した
構成及び図３に示したフローチャートに従い求められる
位相差データは、各々の線速及び任意周期長カウンタ２
４のカウンタ長に応じて（９）式から求められる図４の
グラフ上に乗る筈である（ただし、横軸方向は測定開始
した時点に応じてシフトする）。つまり、図４に示す隣
接任意角間の位相差変化のグラフと、実際に測定された
位相差データとの差がスピンドルモータ２の駆動精度誤
差として評価できる。本実施の形態の方式によれば、評
価測定をいつの時点で開始させてもよく、任意のその時
点から正確な測定・評価を行うことができる。

【００４８】このように、本実施の形態によれば、スピ
ンドルモータ２の１回転毎にフォーマッタ７用の基本ク
ロックＦclk 又はその整数倍なるそれ以上の周波数での
パルス数位置誤差として検出・評価可能であり、スピン
ドルモータ２のＣＬＶ駆動における線速誤差を従来にな
く高精度に評価することができる。

【００４９】本発明の第二の実施の形態を図１及び図３
ないし図６に基づいて説明する。本実施の形態は、光デ
ィスクカッティングマシンのＣＬＶ駆動精度評価系に適
用されている。光ディスクカッティングマシン自体の構
成及び動作は、図１６に示したものと同様であり、図１
に示すように、ＣＬＶ駆動精度評価を行うためのスライ
ダ位相データ取込回路２６とＣＬＶ駆動精度評価手段と
してのＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２とが付加されて
いる。

【００５０】図５に位相データ取込回路としてのスライ
ダ位相データ取込回路２６の構成例を示す。このスライ
ダ位相データ取込回路２６は、任意長パルス生成回路２
７と任意周期長カウンタ２８とラッチ回路２９とより構
成されている。任意長パルス生成回路２７は、スライダ
１０の移動をモニタするリニアエンコーダ１２から出力
されるリニアエンコーダパルスＳＬenc なるパルス列を
入力として、或る任意のスライダ移動長毎に、移動長パ
ルスＰ_Lsをラッチ回路２９に対して出力する。任意周期
長カウンタ２８は、フォーマッタ７を駆動させるための
基本クロックＦclk （又は、その整数倍クロック）がカ
ウントパルスとして基本クロック発生器９から入力さ
れ、任意周期長分を繰返し計数するカウンタ回路であ
る。この任意周期は、ＣＬＶフォーマットにおけるセク
タ長であってもよく、又は、それ以外の値であってもよ
く、さらには、図２中に示した任意周期長カウンタ２４
の任意周期と同じであっても異なっていてもよい。この
任意周期長カウンタ２８の計数値は、移動長パルスＰ_Ls
によってラッチ回路２９にラッチされ、スライダ用の位
相データＳＬpha としてＣＬＶ駆動精度評価ユニット２
２へ取り込まれる。

【００５１】ここに、理想的なＣＬＶ駆動が実現されて
いるならば、等ピッチのスパイラルトラックを前提とし
ているので、スピンドルモータ２の回転角θspとスライ
ダ１０の移動距離Ｌs との間には、（６）式より、 Ｌs ＝θspＰ／（２π） ……………………………………（13） が成立する。これにより、スピンドルモータ２の任意の
一定回転角θspに対しては、スライダ１０は一定移動長
Ｌs で移動することが分かる。図６はこの様子を示すグ
ラフである。

【００５２】即ち、スライダ１０の一定移動長Ｌs に対
してスピンドルモータ２の一定回転角θspが対応するこ
とになり、スライダ１０の一定移動長Ｌs 毎に位相デー
タ（移動長パルス）Ｐ_Ls及び位相差データについても、
前述した第一の実施の形態のスピンドルモータ２系で得
られた関係と同じ関係が得られることになる。従って、
スライダ１０系についても、正確なＣＬＶ駆動がなされ
ていれば、図１，図５に示した構成及び図３に示したフ
ローチャートの処理で得られる位相差データは、各々の
線速及び任意周期長カウンタ２８のカウンタ長に応じた
図４のグラフと同様のグラフ線上に乗る筈である（ただ
し、横軸方向は測定開始した時点に応じてシフトす
る）。つまり、図４に示す隣接任意角間の位相差変化の
グラフと同様なグラフと、実際に測定された位相差デー
タとの差がスライダ１０の駆動精度誤差として評価でき
る。本実施の形態の方式によれば、評価測定をいつの時
点で開始させてもよく、任意のその時点から正確な測定
・評価を行うことができる。

【００５３】このように、本実施の形態によれば、スラ
イダ１０のＣＬＶ駆動に関してフォーマッタ７用の基本
クロックＦclk 又はその整数倍なるそれ以上の周波数で
のパルス数位置誤差として検出・評価可能であり、スラ
イダ１０のＣＬＶ駆動における線速誤差を従来になく高
精度に評価することができる。

【００５４】本発明の第三の実施の形態を図７及び図８
に基づいて説明する。本実施の形態は、光ディスクカッ
ティングマシンのＣＬＶ駆動制御系に適用されている。
本実施の形態の光ディスクカッティングマシンでは、例
えば、図１及び図２に示したようなスピンドル位相デー
タ取込回路２１が付加されて構成されている。ここに、
スピンドルエンコーダ１１から得られるスピンドルエン
コーダパルスＳＰencは制御回路１４へは入力されず、
スピンドル位相データ取込回路２１にのみ入力されてい
る。また、スピンドル位相データ取込回路２１からの位
相データＳＰpha は駆動系コントローラ１３に入力され
ている。即ち、スピンドル位相データ取込回路２１は回
転制御ループ１６中に組込まれている。

【００５５】駆動系コントローラ１３内では、スピンド
ル位相データ取込回路２１から得られる位相データＳＰ
pha 等に基づき、図８のフローチャートに示すような制
御処理を実行することで、回転制御ループ１６を通じて
スピンドルモータ２の回転速度に関してＣＬＶ駆動制御
を高精度に行う。即ち、基本的にはＣＬＶ駆動精度評価
ユニット２２における評価処理と同様であるが、理想的
なＣＬＶ駆動時に得られる位相差データΔＰt と現実の
位相差データ｜Ｐc −Ｐb ｜min との差が０であれば、
理想通りであるのでそのままとなるが、理想的な位相差
データΔＰt よりも小さい場合にはスピンドルモータ２
の回転速度を上げるように制御回路１４に指令を出し、
逆に理想的な位相差データΔＰt よりも大きい場合には
スピンドルモータ２の回転速度を下げるように制御回路
１４に指令を出し、このようなフィードバック制御を繰
返すことで、理想的な位相差データΔＰt との差がなく
なるように制御する。

【００５６】なお、本実施の形態のフィードバック用の
回転制御ループ系では、データのサンプリングが離散的
となるので、遅れ等を十分に考慮した制御回路１４とし
て構成することが望まれる。また、制御の基準となる位
相差データの計算については、図８に示すフローチャー
トを１回まわる毎に計算するようにしてもよく、或い
は、予め計算しておいてもよい。この場合の計算の精度
は、最近における高性能なＣＰＵ等によれば、演算精度
に伴う誤差が位相差データに現われないようにすること
は容易である。

【００５７】本実施の形態の光ディスクカッティングマ
シンにより、スピンドルモータ２のＣＬＶ駆動制御を適
正に行いながらＣＬＶフォーマットのカッティングを行
えば、各セクタの円周方向の配置を一律に同一配置とさ
せることができる。よって、例えば両面同時記録再生可
能なＣＬＶフォーマットのディスクのマスタリングが可
能となり、高速データ転送レートを有するＤＶＤ系の光
ディスクを提供できる。即ち、本実施の形態のようなス
ピンドルモータ２の理想的なＣＬＶ駆動制御により、Ｃ
ＬＶフォーマットのカッティングによって配置される各
セクタの角度位置を、異なるスタンパ間でも一致させる
ことができるので、転送レートが向上する両面同時記録
再生可能なＣＬＶフォーマットの光ディスクを製造する
ことができる。

【００５８】なお、本実施の形態においては、ＣＬＶフ
ォーマット開始時には、スピンドルモータ２の回転に関
して、１トラック内に存在するフォーマッタ７用の基本
クロックＦclk 数が同一となっていることが必要であ
る。このような制御は、目標とする回転数近傍において
位相差データが或る値で一定（“或る値”とは、スピン
ドルモータ２の回転数とカウントパルスの周波数と任意
周期長カウンタ２４の周期長と任意角の回転角パルスＰ
_θsとにより一意的に決まる値である）となるように制
御すること（例えば、ＣＡＶ回転駆動制御）により実現
できる。

【００５９】本発明の第四の実施の形態を図９に基づい
て説明する。本実施の形態は、光ディスクカッティング
マシンのＣＬＶ駆動制御系に適用されている。本実施の
形態の光ディスクカッティングマシンでは、例えば、図
１及び図５に示したようなスライダ位相データ取込回路
２６が付加されて構成されている。ここに、リニアエン
コーダ１２から得られるリニアエンコーダパルスＳＬen
c は制御回路１７へは入力されず、駆動系コントローラ
１３及びスライダ位相データ取込回路２６へ入力されて
いる。また、スライダ位相データ取込回路２６からの位
相データＳＬpha は駆動系コントローラ１３に入力され
ている。即ち、スライダ位相データ取込回路２６は移動
制御ループ１９中に組込まれている。なお、スピンドル
位相データ取込回路２１に関しては第三の実施の形態の
場合と同様である。

【００６０】駆動系コントローラ１３内では、スライダ
位相データ取込回路２６から得られる位相データＳＬph
a 等に基づき、図８のフローチャートに示したスピンド
ルモータ２のＣＬＶ駆動制御の場合と同様な制御処理を
実行することで、移動制御ループ１９を通じてスライダ
１０の移動に関してＣＬＶ駆動制御をフィードバック制
御により高精度に行う。

【００６１】本実施の形態の光ディスクカッティングマ
シンにより、スライダ１０のＣＬＶ駆動制御を適正に行
いながらＣＬＶフォーマットのカッティングを行えば、
スライダ１０のＣＬＶ駆動制御を十分な精度で行うこと
ができる。即ち、ＣＬＶ駆動誤差の分解能は、フォーマ
ッタ７用の基本クロックＦclk 或いはその整数倍なる周
波数以上で設定可能であり、これはリニアエンコーダ１
２の分解能を遥かに上回る値となる。逆にいえば、リニ
アエンコーダ１２のエンコードパルス発生位置のばらつ
きが小さければスライダ移動のＣＬＶ駆動精度を、リニ
アエンコーダ１２の分解能は低くても高精度に実現でき
ることを意味する。また、ＣＬＶフォーマット開始時の
等速移動については、スピンドルモータ２の場合と同様
に、目標とする回転数近傍において位相差データが或る
値で一定（“或る値”とは、スライダ１０の移動速度と
カウントパルスの周波数と任意周期長カウンタ２４の周
期長と任意長の移動長パルスＰ_Lsとにより一意的に決ま
る値である）となるように制御すること（例えば、等速
移動駆動）により実現できる。

【００６２】本発明の第五の実施の形態を図１０に基づ
いて説明する。本実施の形態は、スピンドル用の位相デ
ータ取込回路２１の任意角パルス生成回路２３における
回転角パルスＰ_θsを出力させるタイミングをスピンド
ルモータ２の１回転分（＝２π）としたものであり、図
１０はそのタイミング例を模式的に示すタイムチャート
である本実施の形態によれば、スピンドルエンコーダ１
１の取付け偏心に伴う見掛け上の回転変動を排除するこ
とができ、スピンドルモータ２の回転に同期した誤差デ
ータに基づいた回転制御を行うことができ、安定した回
転制御となる。

【００６３】なお、本実施の形態は第一、三の何れの実
施の形態にも適用できる。また、本実施の形態における
タイミングに関して、スピンドルエンコーダ１１から得
られる１周当たり複数個のパルス列を分周して得るよう
にしてもよく、或いは、１周当たり１パルス出力される
原点パルスをそのまま任意角パルスとして利用するよう
にしてもよい。

【００６４】本発明の第六の実施の形態を図１１に基づ
いて説明する。本実施の形態は、第二又は第四の実施の
形態において、スライダ１０用の位相パルス取込回路２
６の任意長パルス生成回路２７における任意長パルスＰ
_Lsの移動長を変えることで、絶えず、スピンドルモータ
２の１回転近傍で位相データを取り込むようにしたもの
である。

【００６５】図１１は、任意長パルスＰ_Lsをトラックピ
ッチＰ近傍としたときの位相データの取込タイミング例
を模式的に示すタイムチャートである。即ち、リニアエ
ンコーダ１２から出力されるリニアエンコーダパルスＳ
Ｌenc なるパルス列の内、最もトラックピッチＰ位置近
くに発生するパルスを移動長パルスＰ_Lsとして、位相デ
ータの取り込みを行わせる。絶えず長さの変わる移動長
パルスＰ_Lsの発生は、図５中に示した任意長パルス生成
回路２７を分周回路で構成し、駆動系コントローラ１３
からその分周値を移動長パルスＰ_Lsの発生毎に設定し直
すことにより行われる。駆動系コントローラ１３は、現
在の分周値、トラックピッチＰ及びリニアエンコーダパ
ルスＳＬenc のパルス間最小距離を用いて、正確にトラ
ックピッチＰ近傍に移動長パルスＰ_Lsを発生させること
ができる。

【００６６】従って、本実施の形態によれば、スライダ
１０のＣＬＶ制御等に際して、スピンドルモータ２の回
転に同期した見掛け上の変動を排除した評価ないしは駆
動制御を行えるので、スライダ１０のより安定したＣＬ
Ｖ制御が可能となる。

【００６７】本発明の第七の実施の形態を図１２及び図
１３に基づいて説明する。本実施の形態は、第五又は第
六の実施の形態において、その位相データの取込点をス
ピンドルモータ２の１回転内で複数点設けるようにした
ものである。図１２はスピンドル用の位相データ取込回
路２１の任意角パルス生成回路２３における任意角パル
スＰ_θs＝２πの発生タイミング例を示す。この場合、
前述した実施の形態との違いは、スピンドルモータ２の
１回転中に複数の位相取込点が有る点である。例えば、
位相取込点Ｐ₀ ，Ｐ₁ ，Ｐ₂ は各々スピンドルモータ２
の１回転の或る角度位置に固定され、位相差データの生
成はＰ₀₀とＰ₀₁、Ｐ₁₀とＰ₁₁、Ｐ₂₀とＰ₂₁から、という
ようにスピンドルモータ２の回転に伴う変動の影響を受
けにくい同一回転位置からの位相データを用いて行われ
る。このような位相差データを用いることにより、より
詳細なＣＬＶ駆動精度の評価やＣＬＶ駆動制御を実現で
きる。

【００６８】図１３はスピンドル用を例に採り、本実施
の形態を実現するための回路構成例を説明する。即ち、
位相データ取込回路２１中の任意角パルス生成回路２３
に代えて、複数の任意角パルスＰ₀ ，Ｐ₁ ，Ｐ₂ を生成
する複数任意角パルス生成回路３０が用いられている。
また、ラッチ回路としては各々の任意角パルスに対応さ
せたラッチ回路２５ａ，２５ｂ，２５ｃが設けられてい
る。ラッチ回路２５ａは任意角パルスＰ₀ 用とされ、Ｐ
₀ 用位相データを駆動系コントローラ１３或いはＣＬＶ
駆動精度評価ユニット２２に出力し、ラッチ回路２５ｂ
は任意角パルスＰ₁ 用とされ、Ｐ₁ 用位相データを駆動
系コントローラ１３或いはＣＬＶ駆動精度評価ユニット
２２に出力し、ラッチ回路２５ｃは任意角パルスＰ₂ 用
とされ、Ｐ₂ 用位相データを駆動系コントローラ１３或
いはＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２に出力するように
構成されている。もっとも、これらのラッチ回路２５
ａ，２５ｂ，２５ｃに関し、回路構成自体は１つのラッ
チ回路構成としてもよい。また、このような構成及び作
用は、スライダ１０用の位相データ取込回路２６につい
ても全く同様に適用し得るのはもちろんである。

【００６９】本発明の第八の実施の形態を図１４に基づ
いて説明する。本実施の形態は、例えば前述した第三又
は第四の実施の形態における駆動開始時等の改良を図っ
たものである。即ち、第三又は第四の実施の形態に示し
たようなＣＬＶ駆動制御は、ＣＬＶ駆動動作に対しては
有効に機能するが、ＣＬＶ駆動開始時のスピンドルモー
タ２の回転数やスライダ１０の移動速度を立上げること
については有効に機能しない。これは、図１８に示すＣ
ＬＶ駆動時のスピンドルモータ２の回転数と位相差との
関係からも分かる。即ち、位相データ取込回路２１にお
ける任意周期長カウンタ２４のカウンタ長はフォーマッ
タ７用の基本クロックＦclk でセクタ長相当に設定され
る。このとき、位相差は回転数の変化に伴い同じ変化を
繰返す。従って、このような状態では、或る位相差Ｐa
を設定してもこれに相当する回転数はＮa ，Ｎb ，Ｎc
，…で示すように複数個存在することになり、特定で
きない。この結果、スピンドルモータ２に関しては正常
な立上げ動作（ＣＡＶ駆動動作）を実現できず、スライ
ダ１０に関しては正常な立ち上げ動作（等速移動動作）
を実現できない。

【００７０】そこで、本実施の形態では、例えば第三又
は第四の実施の形態に示したハードウェア構成のまま、
任意周期長カウンタ２４又は２８のカウント周期を可変
とし、このカウント長を適宜設定することで、スピンド
ルモータ２やスライダ１０の立上げ動作、立下げ動作、
ＣＡＶ駆動動作或いは等速移動動作（ＣＬＶ駆動動作）
を実現するようにしたものである。図１４に本実施の形
態の方式によるスピンドルモータ２の回転数と位相差と
の関係を示す。ここでは、図１４との比較上、横軸を半
径方向の位置ｒとしてＣＬＶ駆動時の関係として示して
ある（これは、スライダ１０の移動速度と位相差との関
係についても同様である）。このような関係は、任意周
期長カウンタ２４又は２８のカウント周期を大きく設定
することによって、ハードウェア構成の変更なしに実現
できる。従って、このカウント長を適宜設定し直すこと
により、スピンドルモータ２やスライダ１０の立上げ動
作、立下げ動作、ＣＡＶ駆動動作或いは等速移動動作
（ＣＬＶ駆動動作）を実現できる。

【００７１】本発明の第九の実施の形態を説明する。本
実施の形態も第八の実施の形態と同じ目的のためのもの
であるが、ここでは、任意周期長カウンタ２４又は２８
に対する入力側（前段側）にカウントパルスＦclk を分
周する分周回路（図示せず）を介在させ、この分周回路
の分周数の設定を変えて周波数を変えることで、図１４
に示した場合と同様なスピンドルモータ２の回転数と位
相差との関係（スライダ１０についても同様）が得られ
るようにしたものである。

【００７２】従って、この分周回路の分周数を適宜設定
し直すことにより、スピンドルモータ２やスライダ１０
の立上げ動作、立下げ動作、ＣＡＶ駆動動作或いは等速
移動動作（ＣＬＶ駆動動作）を実現できる。

【００７３】

【発明の効果】請求項１及び９記載の発明の光ディスク
原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精
度評価方法及びその装置によれば、露光信号発生装置用
の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位
置誤差としてスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出
することが可能であり、理想的なスピンドルモータのＣ
ＬＶ駆動によって得られるＣＬＶフォーマットの各セク
タ間の位置関係をリアルタイムで高精度に評価すること
ができる。

【００７４】請求項３及び１１記載の発明の光ディスク
原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価方
法及びその装置によれば、スライダの一定移動長に対し
てスピンドルモータの一定の回転角が対応することを利
用することで、スライダの一定移動長毎に取り込まれる
位相データ及び位相差データについても、スピンドルモ
ータの場合と同じ関係が成立することから、露光信号発
生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパ
ルス数位置誤差としてスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出
することができ、極めて高精度に評価することができ
る。

【００７５】請求項４及び１２記載の発明の光ディスク
原盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法
及びその装置によれば、スピンドルモータの高精度なＣ
ＬＶ駆動精度評価に準じて露光信号発生装置用の基本ク
ロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差レ
ベルでスピンドルモータのＣＬＶ駆動制御を高精度に行
えるため、ＣＬＶフォーマットの各セクタを円周方向の
理想的な位置に配置させることができ、よって、両面同
時記録再生可能なＣＬＶディスクのマスタリングも可能
となり、高速データ転送レートを持たせることもでき
る。

【００７６】請求項２，９，５及び１３記載の発明によ
れば、上記各請求項記載の発明におけるスピンドルモー
タのＣＬＶ駆動精度評価或いはＣＬＶ駆動制御に際し
て、スピンドルエンコーダの取付け偏心に伴う見掛け上
の回転変動を排除することができ、よって、スピンドル
モータの回転に同期したＣＬＶ駆動誤差に基づいた回転
制御となるので、安定したスピンドルモータの回転制御
を行える。

【００７７】請求項７及び１５記載の発明の光ディスク
原盤露光装置におけるスライダの駆動制御方法及びその
装置によれば、スライダの高精度なＣＬＶ駆動精度評価
に準じて露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ
以上の周波数でのパルス数位置誤差レベルでスライダの
ＣＬＶ駆動制御を高精度に行えるため、リニアエンコー
ダの分解能以上に極めて高精度なスパイラルピッチでト
ラックを形成することができる。

【００７８】請求項６，８，１４及び１６記載の発明に
よれば、基本的に高精度なＣＬＶ駆動制御を維持しつ
つ、スピンドルモータの目標回転数やスライダの目標移
動速度への立上げ動作等に関しても支障なく動作させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一及び第二の実施の形態のＣＬＶ駆
動精度評価系を含む光ディスクカッティングマシン構成
を示すブロック構成図である。

【図２】スピンドル用の位相データ取込回路を示すブロ
ック図である。

【図３】ＣＬＶ駆動精度評価処理を示すフローチャート
である。

【図４】隣接任意角間の位相差の変化（計算値）の様子
を示すグラフである。

【図５】本発明の第二の実施の形態におけるスライダ用
の位相データ取込回路を示すブロック図である。

【図６】位相データの取込タイミング例を示すタイムチ
ャートである。

【図７】本発明の第三の実施の形態のＣＬＶ駆動制御系
を含む光ディスクカッティングマシン構成を示すブロッ
ク構成図である。

【図８】そのＣＬＶ駆動制御処理を示すフローチャート
である。

【図９】本発明の第四の実施の形態のＣＬＶ駆動制御系
を含む光ディスクカッティングマシン構成を示すブロッ
ク構成図である。

【図１０】本発明の第五の実施の形態の位相データの取
込タイミング例を示すタイムチャートである。

【図１１】本発明の第六の実施の形態の位相データの取
込タイミング例を示すタイムチャートである。

【図１２】本発明の第七の実施の形態の位相データの取
込タイミング例を示すタイムチャートである。

【図１３】その位相データ取込回路を示すブロック図で
ある。

【図１４】本発明の第八の実施の形態のＣＬＶ駆動時の
スピンドル回転数と位相差との関係を示すグラフであ
る。

【図１５】一般的なＣＬＶ駆動特性を示すグラフであ
る。

【図１６】従来の光ディスクカッティングマシン構成を
示すブロック構成図である。

【図１７】スピンドルエンコーダの取付け偏心に伴う見
掛け上の回転速度変動を示すグラフである。

【図１８】ＣＬＶ駆動時のスピンドル回転数と位相差と
の関係を示すグラフである。

【符号の説明】

１ ガラス原盤 ２ スピンドルモータ ４ レーザ光源 ５ 光ピックアップ ７ 露光信号発生装置 ８ 光変調器 １０ スライダ １１ スピンドルエンコーダ １２ リニアエンコーダ １６ 回転制御ループ １９ 移動制御ループ ２１ 位相データ取込回路 ２２ ＣＬＶ駆動精度評価手段 ２３ 任意角パルス生成回路 ２４ 任意周期長カウンタ ２５ ラッチ回路 ２６ 位相データ取込回路 ２７ 任意長パルス生成回路 ２８ 任意周期長カウンタ ２９ ラッチ回路

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フォトレジストが塗布されたガラス原盤
   を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本クロ
   ックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を
   発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前
   記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせ
   る光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレ
   ーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照
   射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在
   に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドル
   モータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径
   方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの
   回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコーダ
   と、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置
   に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回転
   指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基づ
   き前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御す
   る回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコー
   ダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィード
   バック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンド
   ルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにし
   た光ディスク原盤露光装置において、 前記スピンドルエンコーダのパルス列出力に基づき或る
   任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パ
   ルスを出力させるとともに、前記基本クロック又はその
   整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定され
   た任意周期長分計数して、計数されたカウントパルス数
   を前記回転角パルス毎にラッチし、ラッチされたデータ
   から得られる任意周期長分における位相差データと対応
   する理想的な計算値による位相差データとの比較により
   前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出するよう
   にしたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置におけ
   るスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法。
2. 【請求項２】 前記回転角パルスを出力させる任意のス
   ピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分とし
   たことを特徴とする請求項１記載の光ディスク原盤露光
   装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方
   法。
3. 【請求項３】 フォトレジストが塗布されたガラス原盤
   を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本クロ
   ックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を
   発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前
   記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせ
   る光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレ
   ーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照
   射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在
   に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドル
   モータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径
   方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの
   回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコーダ
   と、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置
   に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回転
   指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基づ
   き前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御す
   る回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコー
   ダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィード
   バック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンド
   ルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにし
   た光ディスク原盤露光装置において、 前記リニアエンコーダのパルス列出力に基づき或る任意
   に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力
   させるとともに、前記基本クロック又はその整数倍クロ
   ックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期
   長分計数して、計数されたカウントパルス数を前記移動
   長パルス毎にラッチし、ラッチされたデータから得られ
   る任意周期長分における位相差データと対応する理想的
   な計算値による位相差データとの比較により前記スライ
   ダのＣＬＶ駆動誤差を検出するようにしたことを特徴と
   する光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ
   駆動精度評価方法。
4. 【請求項４】 フォトレジストが塗布されたガラス原盤
   を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本クロ
   ックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を
   発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前
   記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせ
   る光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレ
   ーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照
   射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在
   に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドル
   モータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径
   方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの
   回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコーダ
   と、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置
   に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回転
   指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基づ
   き前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御す
   る回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコー
   ダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィード
   バック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンド
   ルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにし
   た光ディスク原盤露光装置において、 前記スピンドルエンコーダのパルス列出力に基づき或る
   任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パ
   ルスを出力させるとともに、前記基本クロック又はその
   整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定され
   た任意周期長分計数して、計数されたカウントパルス数
   を前記回転角パルス毎にラッチし、ラッチされたデータ
   から得られる任意周期長分における位相差データと対応
   する理想的な計算値による位相差データとの比較により
   前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出
   されたＣＬＶ駆動誤差を前記回転制御ループへフィード
   バックさせるようにしたことを特徴とする光ディスク原
   盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法。
5. 【請求項５】 前記回転角パルスを出力させる任意のス
   ピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分とし
   たことを特徴とする請求項４記載の光ディスク原盤露光
   装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法。
6. 【請求項６】 前記任意周期長分の計数周期を可変と
   し、その計数周期の設定に応じて前記スピンドルモータ
   の目標回転数までの立上げ動作、立下げ動作又はＣＡＶ
   駆動動作を制御するようにしたことを特徴とする請求項
   ４又は５記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピン
   ドルモータの駆動制御方法。
7. 【請求項７】 フォトレジストが塗布されたガラス原盤
   を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本クロ
   ックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を
   発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前
   記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせ
   る光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレ
   ーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照
   射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在
   に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドル
   モータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径
   方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの
   回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコーダ
   と、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置
   に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回転
   指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基づ
   き前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御す
   る回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコー
   ダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィード
   バック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンド
   ルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにし
   た光ディスク原盤露光装置において、 前記リニアエンコーダのパルス列出力に基づき或る任意
   に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力
   させるとともに、前記基本クロック又はその整数倍クロ
   ックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期
   長分計数して、計数されたカウントパルス数を前記移動
   長パルス毎にラッチし、ラッチされたデータから得られ
   る任意周期長分における位相差データと対応する理想的
   な計算値による位相差データとの比較により前記スライ
   ダのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤
   差を前記移動制御ループへフィードバックさせるように
   したことを特徴とする光ディスク原盤露光装置における
   スライダの駆動制御方法。
8. 【請求項８】 前記任意周期長分の計数周期を可変と
   し、その計数周期の設定に応じて前記スライダの目標移
   動速度までの立上げ動作、立下げ動作又は等速移動動作
   を制御するようにしたことを特徴とする請求項７記載の
   光ディスク原盤露光装置におけるスライダの駆動制御方
   法。
9. 【請求項９】 フォトレジストが塗布されたガラス原盤
   を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本クロ
   ックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を
   発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前
   記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせ
   る光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレ
   ーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照
   射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在
   に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドル
   モータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径
   方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの
   回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコーダ
   と、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置
   に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回転
   指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基づ
   き前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御す
   る回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコー
   ダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィード
   バック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンド
   ルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにし
   た光ディスク原盤露光装置において、 前記スピンドルエンコーダのパルス列出力を入力として
   或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転
   角パルスを出力する任意角パルス生成回路、前記基本ク
   ロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして
   入力され任意に設定された任意周期長分を繰返し計数す
   る任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタ
   により計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎に
   ラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路と、 この位相データ取込回路中の前記ラッチ回路にラッチさ
   れた位相データから得られる任意周期長分における位相
   差データと対応する理想的な計算値による位相差データ
   との比較により前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差
   を検出するＣＬＶ駆動精度評価手段と、 を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置にお
   けるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価装置。
10. 【請求項１０】 前記任意角パルス生成回路から前記回
    転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角
    をスピンドルモータ１回転分としたことを特徴とする請
    求項９記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンド
    ルモータのＣＬＶ駆動精度評価装置。
11. 【請求項１１】 フォトレジストが塗布されたガラス原
    盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本ク
    ロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号
    を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき
    前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさ
    せる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされた
    レーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光
    照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自
    在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンド
    ルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半
    径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータ
    の回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコー
    ダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位
    置に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回
    転指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基
    づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御
    する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコ
    ーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィー
    ドバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピン
    ドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるように
    した光ディスク原盤露光装置において、 前記リニアエンコーダのパルス列出力を入力として或る
    任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを
    出力する任意長パルス生成回路、前記基本クロック又は
    その整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任
    意に設定された任意周期長分を繰返し計数する任意周期
    長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数
    されたカウントパルス数を前記移動長パルス毎にラッチ
    するラッチ回路を有する位相データ取込回路と、 この位相データ取込回路中の前記ラッチ回路にラッチさ
    れた位相データから得られる任意周期長分における位相
    差データと対応する理想的な計算値による位相差データ
    との比較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出す
    るＣＬＶ駆動精度評価手段と、を備えたことを特徴とす
    る光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆
    動精度評価装置。
12. 【請求項１２】 フォトレジストが塗布されたガラス原
    盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本ク
    ロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号
    を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき
    前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさ
    せる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされた
    レーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光
    照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自
    在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンド
    ルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半
    径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータ
    の回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコー
    ダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位
    置に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回
    転指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基
    づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御
    する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコ
    ーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィー
    ドバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピン
    ドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるように
    した光ディスク原盤露光装置において、 前記スピンドルエンコーダのパルス列出力を入力として
    或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転
    角パルスを出力する任意角パルス生成回路、前記基本ク
    ロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして
    入力され任意に設定された任意周期長分を繰返し計数す
    る任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタ
    により計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎に
    ラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路を前
    記回転制御ループ中に設け、前記ラッチ回路にラッチさ
    れた位相データから得られる任意周期長分における位相
    差データと対応する理想的な計算値による位相差データ
    との比較により前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差
    を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記回転制御ル
    ープへフィードバックさせるようにしたことを特徴とす
    る光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータの
    駆動制御装置。
13. 【請求項１３】 前記任意角パルス生成回路から前記回
    転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角
    をスピンドルモータ１回転分としたことを特徴とする請
    求項１２記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピン
    ドルモータの駆動制御装置。
14. 【請求項１４】 前記位相データ取込回路の前段に前記
    任意周期長分の計数周期を可変させる分周回路を備え、
    前記分周回路の分周数に対応する計数周期の設定に応じ
    て前記スピンドルモータの目標回転数までの立上げ動
    作、立下げ動作又はＣＡＶ駆動動作を制御するようにし
    たことを特徴とする請求項１２又は１３記載の光ディス
    ク原盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御装
    置。
15. 【請求項１５】 フォトレジストが塗布されたガラス原
    盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本ク
    ロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号
    を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき
    前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさ
    せる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされた
    レーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光
    照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自
    在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンド
    ルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半
    径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータ
    の回転に応じたパルス列を出力するスピンドルエンコー
    ダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位
    置に応じたパルス列を出力するリニアエンコーダと、回
    転指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基
    づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御
    する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコ
    ーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィー
    ドバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピン
    ドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるように
    した光ディスク原盤露光装置において、 前記リニアエンコーダのパルス列出力を入力として或る
    任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを
    出力する任意長パルス生成回路、前記基本クロック又は
    その整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任
    意に設定された任意周期長分を繰返し計数する任意周期
    長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数
    されたカウントパルス数を前記移動長パルス毎にラッチ
    するラッチ回路を有する位相データ取込回路を前記移動
    制御ループ中に設け、前記ラッチ回路にラッチされた位
    相データから得られる任意周期長分における位相差デー
    タと対応する理想的な計算値による位相差データとの比
    較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出
    されたＣＬＶ駆動誤差を前記移動制御ループへフィード
    バックさせるようにしたことを特徴とする光ディスク原
    盤露光装置におけるスライダの駆動制御装置。
16. 【請求項１６】 前記位相データ取込回路の前段に前記
    任意周期長分の計数周期を可変させる分周回路を備え、
    前記分周回路の分周数に対応する計数周期の設定に応じ
    て前記スライダの目標移動速度までの立上げ動作、立下
    げ動作又は等速移動動作を制御するようにしたことを特
    徴とする請求項１５記載の光ディスク原盤露光装置にお
    けるスライダの駆動制御装置。