JPH11337344A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 角速度センサ毎に感度がばらつく問題を防止
する。 【解決手段】 コリオリ力方向に連成振動する連成振動
体を設ける。連成振動とは異なる２つの共振周波数ｆ
１，ｆ２を持つという特有な周波数特性を有する振動で
ある。連成振動体の励振方向の共振周波数Ｆがコリオリ
力方向の共振周波数ｆ１とｆ２間の周波数となるように
連成振動体を形成する。連成振動体を共振周波数Ｆで励
振させた状態で回転によるコリオリ力が発生すると連成
振動体がコリオリ力方向に周波数Ｆで連成振動する。周
波数Ｆに対するコリオリ力方向の振動のＱ値は角速度検
出の感度が良いＱｒと高く、精度の良い角速度検出が成
される。共振周波数ｆ１，ｆ２の間の周波数領域では励
振方向の共振周波数の変動に対するコリオリ力方向の振
動のＱ値の変動が小さく、各角速度センサ間の感度ばら
つきを回避することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は角速度を検出する角
速度センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４には従来の角速度センサの一例が示
されている。同図に示すように、基台部材３０には固定
部３１ａ，３１ｂが互いに間隙を介して設けられてお
り、それら固定部３１ａと固定部３１ｂに挟まれる領域
内に向けて上記固定部３１ａ，３１ｂから各々ばね部３
２ａ，３２ｂが上記基台部材３０と間隙を介して伸長形
成されている。これらばね部３２ａと３２ｂの先端側は
共通の重り３３に連接されている。

【０００３】この重り３３は上記基台部材３０と間隙を
介して設けられており、上記ばね部３２ａ，３２ｂは上
記重り３３を図４に示すｘ方向とｚ方向の２方向に振動
させることが可能な形態に形成されている。

【０００４】また、この角速度センサには上記重り３３
を図４に示すｘ方向に励振振動させるための励振駆動手
段３４が設けられている。この励振駆動手段３４は、上
記重り３３から基台部材３０と間隙を介して伸長形成さ
れた櫛歯形状の電極３５と、基台部材３０に固定形成さ
れた支持部３６から伸長形成され上記電極３５と間隙を
介して噛み合う櫛歯形状の電極３７と、上記電極３５と
電極３７間に交流の電圧を印加するための電圧印加手段
（図示せず）とを有して構成されており、この励振駆動
手段３４は上記電圧印加手段から電極３５と電極３７間
に交流電圧を印加してそれら電極３５と電極３７間の静
電力の大きさを変化させることで、電極３５と電極３７
間の間隔を変動させて上記重り３３をｘ方向に励振振動
させるものである。

【０００５】さらに、この角速度センサには上記重り３
３のｚ方向の振動振幅変化を検出する振動検出手段（図
示せず）が設けられている。この振動検出手段は、例え
ば、上記基台部材３０に対向する重り３３の裏面に形成
された電極面（図示せず）と、この重り３３の裏面の電
極面に間隙を介して対向する基台部材３０の表面領域に
形成された電極（図示せず）と、それら重り３３の裏面
電極面と基台部材３０の表面電極面間の間隔の変化を静
電容量変化として検出する変位検出手段（図示せず）と
を有して構成されている。

【０００６】上記ｚ方向の振動により上記重り３３の裏
面電極面と基台部材３０の表面電極面との間隔が変化す
ると、上記重り３３の裏面電極面と基台部材３０の表面
電極面間の静電容量の大きさが上記重り３３の裏面電極
面と基台部材３０の表面電極面間の間隔の変動量に応じ
て変化するので、上記振動検出手段は上記変位検出手段
により検出される重り３３の裏面電極面と基台部材３０
の表面電極面間の静電容量変化量に基づき上記重り３３
のｚ方向のコリオリの力の大きさを検出するものであ
る。

【０００７】この角速度センサは上記のように構成され
ており、例えば、上記励振駆動手段３４により上記重り
３３がｘ方向に励振振動している状態で、図４に示すｙ
方向を中心として回転すると、回転軸方向（ｙ方向）と
励振方向（ｘ方向）の２方向に直交する方向、つまり、
図４ではｚ方向にコリオリ力が発生し、重り３３がコリ
オリ力方向に検出振動し、前記振動検出手段により検出
されるコリオリ力の大きさが上記回転の角速度の大きさ
として検出される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、重り３３
は、該重り３３の質量Ｍと、ばね部３２ａ，３２ｂの励
振振動方向のばね係数Ｋとによって定まる励振方向の共
振周波数ｆでもって励振振動させたときにその励振振動
振幅の大きさを増大させることができることから、通
常、励振方向の共振周波数ｆでもって重り３３を励振振
動させる。このように、励振方向の共振周波数ｆでもっ
て重り３３を励振振動させている状態で、上記の如く角
速度センサが回転した場合には、重り３３は上記励振方
向の共振周波数ｆと同じ周波数ｆでコリオリ力方向に振
動することになる。

【０００９】重り３３のコリオリ力方向の共振周波数が
上記励振振動の共振周波数と一致すれば、重り３３のコ
リオリ力方向における振動振幅の大きさを増大させるこ
とができてコリオリ力方向の検出振動のＱ値を向上させ
ることができ、角速度検出の精度を向上させることがで
きることから、重り３３の励振方向の共振周波数と、コ
リオリ力方向の共振周波数とが一致していることが望ま
れる。

【００１０】しかしながら、加工精度等の問題から、上
記励振方向の共振周波数とコリオリ力方向の共振周波数
とを一致させることは非常に困難であり、コリオリ力方
向の共振周波数と励振方向の共振周波数が異なっている
場合が殆どであり、その励振方向の共振周波数に対する
コリオリ力方向の共振周波数のずれ量は角速度センサ毎
に異なっている。図６には実線Ａにより励振方向の振動
の周波数とＱ値との関係例が示され、鎖線Ｂによりコリ
オリ力方向の振動の周波数とＱ値との関係例が示されて
いる。それら実線Ａや鎖線Ｂに示されるように、共振周
波数ｆ，ｆ’の近傍の周波数領域では周波数が僅かにず
れただけで振動のＱ値は大きく変動してしまうことか
ら、上記の如く、励振方向の共振周波数に対するコリオ
リ力方向の共振周波数のずれ量が角速度センサ毎に異な
ってしまうと、コリオリ力方向の振動のＱ値が角速度セ
ンサ毎に異なって角速度検出の感度が角速度センサ毎に
異なるという感度ばらつきが生じてしまう。

【００１１】すなわち、前述したように、重り３３を励
振方向の共振周波数ｆでもって励振振動させたときには
重り３３は励振方向の共振周波数ｆでもってコリオリ力
方向に検出振動することから、重り３３のコリオリ力方
向の振動が図６の鎖線Ｂに示す周波数特性を持つ場合に
は重り３３はコリオリ力方向にＱ値Ｑａでもって振動す
ることになるが、重り３３のコリオリ力方向の振動が図
６の鎖線Ｃに示す周波数特性を持つ場合には重り３３は
コリオリ力方向にＱ値Ｑａ’でもって振動することにな
るという如く、励振方向の共振周波数に対するコリオリ
力方向の共振周波数のずれ量が僅かに異なっただけで、
コリオリ力方向の振動のＱ値が大きく変動してしまい、
このことに起因して角速度検出の感度が角速度センサ毎
に大きく異なるという感度ばらつきの問題が生じてしま
う。

【００１２】また、温度変化等によって上記励振方向と
コリオリ力方向の各共振周波数はそれぞれ変化してしま
うので、励振方向の共振周波数とコリオリ力方向の共振
周波数のずれ量が変化し、温度変化により角速度センサ
の感度が変化してしまうという問題が生じる。

【００１３】さらに、図５に示すように、実線Ａに示す
励振方向の共振周波数ｆから鎖線Ｂに示すコリオリ力方
向の共振周波数ｆ’が大きくずれてしまった場合には、
コリオリ力方向の振動のＱ値は図５に示すＱ値Ｑｂとい
う非常に低いＱ値となってしまい、角速度検出の精度が
大幅に悪化してしまうという問題が生じる。

【００１４】この発明は上記課題を解決するために成さ
れたものであり、その目的は、各角速度センサ間の感度
ばらつき、および、温度変化等に起因した角速度センサ
の感度変化の問題を解消することができ、しかも、角速
度検出の精度が高い角速度センサを提供することにあ
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は次のような構成をもって上記課題を解決
する手段としている。すなわち、第１の発明は、基台部
材に設けられた固定部から伸長形成された第１のばね部
と、該第１のばね部に連接された振動可能な第１の重り
と、この第１の重りから伸長形成された第２のばね部
と、この第２のばね部に連接された第２の重りとによっ
て連成振動体が構成されており、この連成振動体は励振
方向と該励振方向と異なるコリオリ力方向の２方向に振
動可能に形成され、それら励振方向とコリオリ力方向の
うちの少なくともどちらか一方の方向には、上記第１の
ばね部と第１および第２の重りによって定まる第１の共
振周波数と、第２のばね部と第２の重りによって定まる
第２の共振周波数との２つの共振周波数を持つ連成振動
を行う構成と成し、上記連成振動体のコリオリ力方向の
振動変化を検出して角速度を検出する角速度検出手段が
形成されている構成をもって前記課題を解決する手段と
している。

【００１６】第２の発明は、上記第１の発明を構成する
第２のばね部は第１の重りに対して第２の重りをコリオ
リ力方向に振動させることが可能な形態に形成され、連
成振動体はコリオリ力方向に連成振動する構成と成し、
連成振動体の励振方向における共振周波数がコリオリ力
方向の連成振動における第１の共振周波数と第２の共振
周波数との間の周波数となるように連成振動体が形成さ
れており、角速度検出手段は上記第２の重りのコリオリ
力方向の振動変化を検出して角速度を検出する構成と成
している構成をもって前記課題を解決する手段としてい
る。

【００１７】上記構成の発明において、連成振動の第１
の共振周波数と第２の共振周波数の間の周波数領域で
は、周波数の変化に対する連成振動のＱ値の変化は非常
に小さいことから、例えば、コリオリ力方向に連成振動
するように連成振動体を構成し、連成振動体の励振方向
における共振周波数がコリオリ力方向の連成振動におけ
る第１の共振周波数と第２の共振周波数との間の周波数
となるように連成振動体を形成した場合には、励振方向
の共振周波数に対する連成振動の第１と第２の各共振周
波数のずれ量が角速度センサ毎に異なっても、各角速度
センサにおけるコリオリ力方向の振動のＱ値は殆ど変化
せず、角速度センサ間の感度ばらつきの問題は解消され
る。

【００１８】また、温度変化等により励振方向の共振周
波数に対する連成振動の第１と第２の各共振周波数のず
れ量が変化しても、上記の如く、コリオリ力方向の振動
のＱ値は殆ど変化しないことから、温度変化に起因して
角速度センサの感度は殆ど変化せず、前記角速度センサ
の感度変化の問題は解決される。

【００１９】さらに、上記連成振動の第１と第２の各共
振周波数間の周波数領域では、周波数に対する連成振動
のＱ値は、角速度検出の感度を高めることが可能な高い
Ｑ値となることから、角速度検出の感度を高めることが
でき、精度の良い角速度センサを提供することが可能で
ある。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下に、この発明に係る実施形態
例を図面に基づき説明する。

【００２１】図１には本実施形態例の角速度センサが示
されている。同図に示すように、基台部材（例えば、シ
リコン基板等の半導体基板）１に固定部２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄが互いに間隙を介して形成されており、それら
各固定部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄから各々第１のばね部
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが上記基台部材１と間隙を介し
て伸長形成され、それら各第１のばね部３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄの先端部分は鉤爪状に曲折形成されている。

【００２２】上記第１のばね部３ａと第１のばね部３ｂ
の各伸長先端側は共通の第１の重り４ａに連接され、ま
た、上記第１のばね部３ｃと第１のばね部３ｄの伸長先
端側は共通の第１の重り４ｂに連接されている。上記第
１の重り４ａ，４ｂは基台部材１と間隙を介して形成さ
れており、振動可能な形態と成しており、上記の如く、
各第１のばね部３が鉤爪状に折曲形成されていることに
より、図１においては、各第１の重り４はｘ方向とｙ方
向の２方向に振動可能となっている。

【００２３】上記各第１の重り４にはそれぞれ櫛歯形状
の電極５が上記基台部材１と間隙を介して形成されてい
る。また、基台部材１には支持部６ａ，６ｂが形成さ
れ、これら支持部６ａ，６ｂにはそれぞれ上記櫛歯形状
の電極５と互いに間隙を介して噛み合う櫛歯形状の電極
７が連接されている。さらに、図示されていないが上記
電極５と電極７間に交流電圧を印加する電圧印加手段が
設けられており、上記電極５，７と電圧印加手段とによ
り励振駆動手段が構成されている。この励振駆動手段は
左右それぞれの電極５と電極７間に交互に交流電圧を印
加して、電極５と電極７間の静電力の大きさを変化させ
ることで、前述したと同様に電極５と電極７間の間隔を
変化させ、上記第１の重り４を、図１においては、ｘ方
向に励振振動させる構成を成している。

【００２４】さらに、上記各第１の重り４ａ，４ｂから
各々第２のばね部８ａ，８ｂが上記基台部材１と間隙を
介して伸長形成されており、これら第２のばね部８ａ，
８ｂの先端側は共通の第２の重り１０に連接されてい
る。この第２の重り１０は基台部材１と間隙を介して形
成され振動可能な構成と成し、上記第２のばね部８ａ，
８ｂは上記第１の重り４に対して第２の重り１０を図１
に示すｙ方向に振動させることが可能な形態に構成され
ている。

【００２５】上記第２の重り１０の図１に示す上下には
該第２の重り１０と共に振動することができる電極部１
１が形成されている。また、基台部材１には支持部１２
ａ，１２ｂが固定形成されており、これら支持部１２
ａ，１２ｂには上記電極部１１の電極面と間隙を介して
対向する電極面を有する電極部１３が連接されている。
上記電極部１１と電極部１３は互いに間隙を介して対向
する電極面面積の増加が容易な構成と成している。

【００２６】また、上記電極部１１と電極部１３の各電
極面間の間隔変動を静電容量の変化として検出する変位
検出手段（図示せず）が設けられている。上記電極部１
１，１３と変位検出手段とにより振動検出手段が構成さ
れている。図１に示すｙ方向に第２の重り１０が振動し
たときにその振動振幅の大きさに応じて電極部１１と電
極部１３の各電極面間の静電容量が変動することから、
上記振動検出手段は、上記変位検出手段により検出され
る電極部１１と電極部１３の各電極面間の静電容量の変
化を上記ｙ方向のコリオリ力として検出する構成と成し
ている。

【００２７】この実施形態例では、前記励振駆動手段の
左右電極５と電極７間の静電力を利用して第１の重り４
と第２の重り１０を一体的にｘ方向に励振振動させ、こ
のように、励振振動している状態で図１に示すｚ方向を
中心として回転すると、前述したように励振方向と回転
軸方向に直交する方向（つまり、図１ではｙ方向）にコ
リオリ力が発生し、第１の重り４と第２の重り１０は上
記コリオリ力方向に検出振動し、前記振動検出手段の変
位検出手段により検出される電極部１１と電極部１３間
の静電容量の変化に基づき角速度の大きさが検出される
構成となっている。

【００２８】上記第１のばね部３と第１の重り４と第２
のばね部８と第２の重り１０により連成振動体が構成さ
れており、この連成振動体は図１に示すｙ方向、つま
り、コリオリ力方向に連成振動する構成と成している。

【００２９】上記連成振動とは、図２の鎖線Ｌ１に示す
周波数とＱ値との関係例に表されるように、第１の共振
周波数ｆ１と第２の共振周波数ｆ２との異なる２つの共
振周波数を持つという特有な性質を備えた振動であり、
上記第１の共振周波数ｆ１と第２の共振周波数ｆ２間の
周波数領域では、周波数の変動に対する振動のＱ値の変
動を小さく抑えることが可能であり、また、その第１の
共振周波数ｆ１と第２の共振周波数ｆ２間の周波数領域
では、振動のＱ値を角速度検出の感度を向上させること
ができる高いＱ値にすることが可能である。

【００３０】図３には上記連成振動体の連成振動形態が
模式的に示されており、上記第１のばね部３のコリオリ
力方向の振動におけるばね係数をＫ１とし、第１の重り
４の質量をＭ１とし、第２のばね部８のコリオリ力方向
の振動におけるばね係数をＫ２とし、第２の重り１０の
質量をＭ２とした場合には、上記連成振動体の連成振動
における第１と第２の各共振周波数ｆ１，ｆ２は下式の
ように定まる。

【００３１】 （１／２π）×√（Ｋ１／（Ｍ１＋Ｍ２））＝ｆ１・・・・（１）

【００３２】 （１／２π）×√（Ｋ２／Ｍ２）＝ｆ２・・・・（２）

【００３３】上記式（１）と（２）に示されるように、
上記第１の共振周波数ｆ１は第１のばね部３のばね係数
Ｋ１と第１の重り４の質量Ｍ１および第２の重り１０の
質量Ｍ２によって定まり、第２の共振周波数ｆ２は第２
のばね部８のばね係数Ｋ２と第２の重り１０の質量Ｍ２
により定まることから、この実施形態例では、上記第１
の共振周波数ｆ１と第２の共振周波数ｆ２間の周波数領
域で、周波数の変動に対する振動のＱ値の変動を小さく
抑えることが可能で、かつ、振動のＱ値を角速度検出の
感度を向上させることができる高いＱ値にすることが可
能である第１と第２の各共振周波数を定め、それら設定
の第１と第２の共振周波数を持つ連成振動を上記連成振
動体が行うことができるように上記第１のばね部３のば
ね係数Ｋ１と第１の重り４の質量Ｍ１と第２のばね部８
のばね係数Ｋ２と第２の重り１０の質量Ｍ２を設定す
る。

【００３４】なお、図３に示すＣは空気のダンピング等
の振動の減衰成分を模式的に示したものである。

【００３５】また、この実施形態例では、図２の実線Ｌ
２に示すように、上記連成振動体の励振方向の振動にお
ける共振周波数Ｆが、上記連成振動の第１の共振周波数
ｆ１と第２の共振周波数ｆ２の間の周波数となるように
構成され、連成振動体は上記共振周波数Ｆでもって励振
振動するように制御される。

【００３６】この実施形態例によれば、連成振動体を形
成し、この連成振動体はコリオリ力方向に連成振動する
構成と成し、連成振動体の励振方向の振動における共振
周波数Ｆがコリオリ力方向の振動における２つの共振周
波数ｆ１，ｆ２の間の周波数となるように連成振動体が
形成されており、上記連成振動の２つの共振周波数の間
の周波数領域では周波数の変動に対する振動のＱ値の変
動を小さく抑えることができることから、励振方向の共
振周波数Ｆと連成振動のコリオリ力方向の第１と第２の
各共振周波数とのずれ量が角速度センサ毎に異なって
も、コリオリ力方向の検出振動のＱ値をほぼ同様にする
ことができ、このことによって、各角速度センサ間の感
度をほぼ揃えることができ、各角速度センサ間の感度ば
らつきの問題を回避することができる。

【００３７】さらに、上記の如く、上記連成振動の２つ
の共振周波数の間の周波数領域では周波数の変動に対す
る振動のＱ値の変動を小さく抑えることができることか
ら、温度変化等により励振方向の共振周波数Ｆと連成振
動のコリオリ力方向の第１と第２の各共振周波数とのず
れ量が変化しても、コリオリ力方向の検出振動のＱ値は
殆ど変化せず、温度変化に起因した角速度センサの感度
変化の問題を回避することができる。

【００３８】その上、連成振動の２つの共振周波数の間
の周波数領域における振動のＱ値は角速度検出の感度を
高感度にするのに十分な高いＱ値にすることができるこ
とから、連成振動体は回転によるコリオリ力によって高
いＱ値でもってコリオリ力方向に検出振動することがで
き、角速度検出の感度の向上を図ることができる。

【００３９】また、上記の如く、励振方向の共振周波数
Ｆがコリオリ力方向の連成振動における２つの共振周波
数ｆ１，ｆ２の間の周波数となるように連成振動体を形
成すればよいので、従来例のように、励振方向の共振周
波数とコリオリ力方向の共振周波数を一致させるように
形成する場合に比べて、上記の如く、角速度センサの製
造を格段に容易にすることができる。

【００４０】なお、この発明は上記実施形態例に限定さ
れるものではなく、様々な実施の形態を採り得る。例え
ば、上記実施形態例では、連成振動体はコリオリ力方向
に連成振動する構成と成していたが、励振方向に連成振
動するように構成してもよい。この場合には、コリオリ
力方向の振動における共振周波数が励振方向の連成振動
における２つの共振周波数間の周波数となるように連成
振動体が形成される。

【００４１】上記のように、励振方向に連成振動するよ
うに連成振動体を形成した場合にも、上記実施形態例と
同様に、各角速度センサ間の感度ばらつきの問題や温度
変化等に起因した角速度センサの感度変動の問題をほぼ
防止することができる。

【００４２】また、上記実施形態例では、連成振動体は
コリオリ力方向と励振方向のうちの一方の方向にのみ連
成振動する構成であったが、コリオリ力方向と励振方向
の両方向に連成振動するように構成してもよい。この場
合にも、上記実施形態例と同様な効果を得ることができ
る。

【００４３】さらに、上記実施形態例では、第２の重り
１０を挟み込む形態で、第１の重り４ａ，４ｂが形成さ
れており、図１においては、第２の重り１０を中心とし
た左右対称の形態であったが、例えば、右側の固定部２
ｃ，２ｄと第１のばね部３ｃ，３ｄと第１の重り４ｂと
第２のばね部８ｂ等が省略された形態でもよい。この場
合には、角速度センサの小型化を図ることができる。

【００４４】

【発明の効果】この発明によれば、コリオリ力方向と励
振方向のうちの少なくともどちらか一方の方向に連成振
動する連成振動体が設けられ、該連成振動体のコリオリ
力方向の振動変化を検出して角速度を検出する構成と
し、連成振動における第１の共振周波数と第２の共振周
波数の間の周波数領域では、周波数の変動に対する連成
振動のＱ値の変動を小さく抑えることができ、また、角
速度検出の感度を向上させることが可能な高いＱ値の振
動を行うことができることから、コリオリ力方向と励振
方向のうちの一方の連成振動における第１の共振周波数
と第２の共振周波数の間の周波数に他方向の振動の共振
周波数があるように連成振動体を形成することで、励振
方向の共振周波数とコリオリ力方向の共振周波数とのず
れ量が角速度センサ毎に変化しても、コリオリ力方向の
振動のＱ値をほぼ等しくすることができ、このことか
ら、各角速度センサ間の感度ばらつきの問題をほぼ回避
することができる。

【００４５】また、温度変化等により励振方向の共振周
波数とコリオリ力方向の共振周波数とのずれ量が変化し
ても、コリオリ力方向の振動のＱ値は殆ど変化せず、こ
のことから、温度変化等に起因した角速度センサの感度
変動の問題を防止することができ、角速度センサの感度
の信頼性を向上させることが可能である。

【００４６】その上、上記の如く、連成振動における第
１の共振周波数と第２の共振周波数の間の周波数領域で
は、角速度検出の感度を向上させることが可能な高いＱ
値の振動を行うことができることから、角速度センサの
感度の向上を図ることができる。

【００４７】連成振動体がコリオリ力方向に連成振動す
る構成と成しているものにあっては、連成振動体のコリ
オリ力方向の検出振動におけるＱ値を向上させることが
容易であり、角速度検出の感度をより一層向上させるこ
とが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施形態例を示す説明図である。

【図２】実施形態例において特徴的なコリオリ力方向の
連成振動の周波数特性と励振方向の振動の周波数特性と
を示すグラフである。

【図３】連成振動体を模式的に示すモデル図である。

【図４】従来の角速度センサの一例を示す説明図であ
る。

【図５】従来の課題を示す説明図である。

【図６】さらに、従来の課題を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 基台部材 ２ 固定部 ３ 第１のばね部 ４ 第１の重り ８ 第２のばね部 １０ 第２の重り

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台部材に設けられた固定部から伸長形
   成された第１のばね部と、該第１のばね部に連接された
   振動可能な第１の重りと、この第１の重りから伸長形成
   された第２のばね部と、この第２のばね部に連接された
   第２の重りとによって連成振動体が構成されており、こ
   の連成振動体は励振方向と該励振方向と異なるコリオリ
   力方向の２方向に振動可能に形成され、それら励振方向
   とコリオリ力方向のうちの少なくともどちらか一方の方
   向には、上記第１のばね部と第１および第２の重りによ
   って定まる第１の共振周波数と、第２のばね部と第２の
   重りによって定まる第２の共振周波数との２つの共振周
   波数を持つ連成振動を行う構成と成し、上記連成振動体
   のコリオリ力方向の振動変化を検出して角速度を検出す
   る角速度検出手段が形成されている構成としたことを特
   徴とする角速度センサ。
2. 【請求項２】 第２のばね部は第１の重りに対して第２
   の重りをコリオリ力方向に振動させることが可能な形態
   に形成され、連成振動体はコリオリ力方向に連成振動す
   る構成と成し、連成振動体の励振方向における共振周波
   数がコリオリ力方向の連成振動における第１の共振周波
   数と第２の共振周波数との間の周波数となるように連成
   振動体が形成されており、角速度検出手段は上記第２の
   重りのコリオリ力方向の振動変化を検出して角速度を検
   出する構成と成していることを特徴とする請求項１記載
   の角速度センサ。