JPH11337621A - プローブ先端のクリーニング部材及びクリーニング方法 - Google Patents
プローブ先端のクリーニング部材及びクリーニング方法Info
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- JPH11337621A JPH11337621A JP14314998A JP14314998A JPH11337621A JP H11337621 A JPH11337621 A JP H11337621A JP 14314998 A JP14314998 A JP 14314998A JP 14314998 A JP14314998 A JP 14314998A JP H11337621 A JPH11337621 A JP H11337621A
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プローブ先端の摩耗量が少なく、異物が
確実に除去され、長命で廉価なクリーニング部材にする
ことにある。 【解決手段】 クリーニング部材は、それぞれが複数の
糸状物を用いた織布のようなシートからなる基材と、該
基材の一方の面又は前記基材内に形成された研磨材層と
を含む。クリーニング時、プローブは、その先端部を基
材の一方の面の側から研磨材層及び基材中に刺し込ま
れ、次いでクリーニング部材から抜き取られる。
確実に除去され、長命で廉価なクリーニング部材にする
ことにある。 【解決手段】 クリーニング部材は、それぞれが複数の
糸状物を用いた織布のようなシートからなる基材と、該
基材の一方の面又は前記基材内に形成された研磨材層と
を含む。クリーニング時、プローブは、その先端部を基
材の一方の面の側から研磨材層及び基材中に刺し込ま
れ、次いでクリーニング部材から抜き取られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
平板状被検査体の検査に用いるプローブの先端に付着し
た異物を除去するクリーニング部材及びこれを用いたク
リーニング方法に関する。
平板状被検査体の検査に用いるプローブの先端に付着し
た異物を除去するクリーニング部材及びこれを用いたク
リーニング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハに形成されたＩＣチップ
部のような集積回路の通電試験に用いるプローブにおい
ては、先端（針先）が集積回路の電極部（パッド又はリ
ード）に押圧されることにより、先端が電極部に対して
滑り、電極部に擦り作用を与える。このとき、電極部
は、その素材の一部を削り取られる。
部のような集積回路の通電試験に用いるプローブにおい
ては、先端（針先）が集積回路の電極部（パッド又はリ
ード）に押圧されることにより、先端が電極部に対して
滑り、電極部に擦り作用を与える。このとき、電極部
は、その素材の一部を削り取られる。
【０００３】このため、図５に示すように、この種のプ
ローブ１０においては、電極部の素材の削り屑であるア
ルミニウム粉のような異物１２がプローブ１０の先端
部、特にプローブ１０の先端部裏側（プローブ先端の滑
り方向後方側）に付着することを避けることができな
い。この種の異物は、一般に、プローブ１０の先端をク
リーニング部材に押圧することにより除去している。
ローブ１０においては、電極部の素材の削り屑であるア
ルミニウム粉のような異物１２がプローブ１０の先端
部、特にプローブ１０の先端部裏側（プローブ先端の滑
り方向後方側）に付着することを避けることができな
い。この種の異物は、一般に、プローブ１０の先端をク
リーニング部材に押圧することにより除去している。
【０００４】この種のクリーニング部材の１つとして、
サンドペーパのように、シート材に砥粒層を形成したも
のがある。しかし、このクリーニング部材では、プロー
ブの先端を砥粒層に押圧したことにより、プローブの先
端が砥粒層に対し滑るから、一回のクリーニングにおけ
るプローブ先端面の摩耗が激しく、プローブ自体の寿命
が短い。
サンドペーパのように、シート材に砥粒層を形成したも
のがある。しかし、このクリーニング部材では、プロー
ブの先端を砥粒層に押圧したことにより、プローブの先
端が砥粒層に対し滑るから、一回のクリーニングにおけ
るプローブ先端面の摩耗が激しく、プローブ自体の寿命
が短い。
【０００５】クリーニング部材の他の１つとして、ゴ
ム、スポンジ等の基材の表面に砥粒層を形成したもの又
はそのような基材に砥粒を混入したものがある。しか
し、このクリーニング部材では、プローブの先端を砥粒
層に押圧するだけでは基材が弾性変形するにすぎないか
ら、異物を除去することができず、またプローブの先端
を基材中に刺し込むと基材が切断されるから、クリーニ
ング部材が数回の使用で使用不能になってしまう。
ム、スポンジ等の基材の表面に砥粒層を形成したもの又
はそのような基材に砥粒を混入したものがある。しか
し、このクリーニング部材では、プローブの先端を砥粒
層に押圧するだけでは基材が弾性変形するにすぎないか
ら、異物を除去することができず、またプローブの先端
を基材中に刺し込むと基材が切断されるから、クリーニ
ング部材が数回の使用で使用不能になってしまう。
【０００６】クリーニング部材のさらに他の１つとし
て、ピアノ線のような多数の線材を板部材に植設し、各
線材の先端に研磨用の粉片を付着させたものがある。し
かし、このクリーニング部材では、多数の線材を板部材
に植設する作業、各線材の先端に研磨用の粉片を付着さ
せる作業等、煩雑な工程により製作しなければならない
から、クリーニング部材自体が高価になる。
て、ピアノ線のような多数の線材を板部材に植設し、各
線材の先端に研磨用の粉片を付着させたものがある。し
かし、このクリーニング部材では、多数の線材を板部材
に植設する作業、各線材の先端に研磨用の粉片を付着さ
せる作業等、煩雑な工程により製作しなければならない
から、クリーニング部材自体が高価になる。
【０００７】
【解決しようとする課題】本発明の目的は、プローブ先
端の摩耗量が少なく、異物が確実に除去され、長命で廉
価なクリーニング部材にすることにある。
端の摩耗量が少なく、異物が確実に除去され、長命で廉
価なクリーニング部材にすることにある。
【０００８】
【解決手段、作用及び効果】本発明のクリーニング部材
は、それぞれが複数の糸状物を用いたシートからなる基
材と、該基材の一方の面又は前記基材内に形成された研
磨材層とを含む。
は、それぞれが複数の糸状物を用いたシートからなる基
材と、該基材の一方の面又は前記基材内に形成された研
磨材層とを含む。
【０００９】クリーニング時、プローブは、その先端部
を基材の一方の面の側から研磨材層及び基材中に刺し込
まれ、次いでクリーニング部材から抜き取られる。この
とき、プローブの先端部が糸状物間を通るから、基材中
の糸状物がプローブにより切断される可能性は少なく、
クリーニング部材は長命である。また、プローブの先端
は、研磨材層を貫通するが、研磨材層に対して滑らない
から、プローブの先端が研磨材層に対して滑る場合に比
べ、プローブ先端の摩耗量は著しく少ない。
を基材の一方の面の側から研磨材層及び基材中に刺し込
まれ、次いでクリーニング部材から抜き取られる。この
とき、プローブの先端部が糸状物間を通るから、基材中
の糸状物がプローブにより切断される可能性は少なく、
クリーニング部材は長命である。また、プローブの先端
は、研磨材層を貫通するが、研磨材層に対して滑らない
から、プローブの先端が研磨材層に対して滑る場合に比
べ、プローブ先端の摩耗量は著しく少ない。
【００１０】プローブの先端部に付着している異物は、
プローブの先端部が研磨材層及び基材に刺し込まれると
き、研磨材層中の研磨材と基材中の糸状物とによりプロ
ーブから剥がされると共に、プローブの先端部がクリー
ニング部材から抜き取られるとき、糸状物及び研磨材に
よりさらに剥がされる。このため、異物はプローブ先端
部から確実に剥ぎ取られて除去される。
プローブの先端部が研磨材層及び基材に刺し込まれると
き、研磨材層中の研磨材と基材中の糸状物とによりプロ
ーブから剥がされると共に、プローブの先端部がクリー
ニング部材から抜き取られるとき、糸状物及び研磨材に
よりさらに剥がされる。このため、異物はプローブ先端
部から確実に剥ぎ取られて除去される。
【００１１】上記のように本発明のクリーニング部材に
よれば、プローブ先端の摩耗量が少なく、しかも異物が
プローブから確実に除去される。また、一回のクリーニ
ングによるプローブ先端の摩耗量が少ないから、プロー
ブが長命である。さらに、クリーニング部材の構造が簡
単であるし、その製作が容易であるから、クリーニング
部材自体が廉価になる。その上、一回のクリーニングに
おけるクリーニング部材の損耗が少ないから、クリーニ
ング部材が長命である。
よれば、プローブ先端の摩耗量が少なく、しかも異物が
プローブから確実に除去される。また、一回のクリーニ
ングによるプローブ先端の摩耗量が少ないから、プロー
ブが長命である。さらに、クリーニング部材の構造が簡
単であるし、その製作が容易であるから、クリーニング
部材自体が廉価になる。その上、一回のクリーニングに
おけるクリーニング部材の損耗が少ないから、クリーニ
ング部材が長命である。
【００１２】前記シートとして織布を用い、複数の織布
を積層して前記基材とすることができる。これにより、
プローブ先端部の外周面が織布を構成している糸状物に
確実に接触するから、異物がより確実に除去され、しか
も織布を積層すればよいから、クリーニング部材の製作
がより容易になり、クリーニング部材がより廉価にな
る。
を積層して前記基材とすることができる。これにより、
プローブ先端部の外周面が織布を構成している糸状物に
確実に接触するから、異物がより確実に除去され、しか
も織布を積層すればよいから、クリーニング部材の製作
がより容易になり、クリーニング部材がより廉価にな
る。
【００１３】クリーニング部材は、さらに、前記基材の
他方の面を受ける基板を含むことができる。これによ
り、基材の変形が基板により防止されるから、研磨材層
中の研磨材が基材から剥がれるおそれが少なく、クリー
ニング部材の取り扱いが容易になる。
他方の面を受ける基板を含むことができる。これによ
り、基材の変形が基板により防止されるから、研磨材層
中の研磨材が基材から剥がれるおそれが少なく、クリー
ニング部材の取り扱いが容易になる。
【００１４】本発明のクリーニング方法は、１以上のプ
ローブと上記のようなクリーニング部材とを相対的に変
位させて前記プローブの先端部を前記基材の一方の面の
側から前記研磨材層及び前記基材に刺し込み、次いで前
記プローブと前記クリーニング部材とを前記と逆に変位
させて前記プローブの先端部を前記クリーニング部材か
ら抜き取ることを含む。
ローブと上記のようなクリーニング部材とを相対的に変
位させて前記プローブの先端部を前記基材の一方の面の
側から前記研磨材層及び前記基材に刺し込み、次いで前
記プローブと前記クリーニング部材とを前記と逆に変位
させて前記プローブの先端部を前記クリーニング部材か
ら抜き取ることを含む。
【００１５】本発明のクリーニング方法によれば、プロ
ーブ先端の摩耗量が少なく、しかも異物の除去が確実に
される。また、一回のクリーニングにおけるプローブ先
端の損耗が少ないから、プローブが長命であり、しかも
クリーニング部材の構造が簡単であるし、その製作が容
易であるから、クリーニング部材自体が廉価になる。
ーブ先端の摩耗量が少なく、しかも異物の除去が確実に
される。また、一回のクリーニングにおけるプローブ先
端の損耗が少ないから、プローブが長命であり、しかも
クリーニング部材の構造が簡単であるし、その製作が容
易であるから、クリーニング部材自体が廉価になる。
【００１６】前記プローブにオーバードライブをかける
ことにより、前記プローブと前記クリーニング部材とを
相対的に変位させて前記プローブの先端部を前記研磨材
層及び前記基材に刺し込むことができる。
ことにより、前記プローブと前記クリーニング部材とを
相対的に変位させて前記プローブの先端部を前記研磨材
層及び前記基材に刺し込むことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１及び図２を参照するに、クリ
ーニング部材２０は、基板２２と、該基板の上に配置さ
れた基材２４と、該基板の上に形成された研磨材層２６
とにより、ほぼ円板の形に製作されている。なお、図２
は、基材２４の上面を示すべく研磨材層を省略してい
る。
ーニング部材２０は、基板２２と、該基板の上に配置さ
れた基材２４と、該基板の上に形成された研磨材層２６
とにより、ほぼ円板の形に製作されている。なお、図２
は、基材２４の上面を示すべく研磨材層を省略してい
る。
【００１８】基板２２は、大きな弾性変形をしない樹脂
又は金属の板材から円形に製作されている。基材は、天
然又は人造の多数の糸状物を製織した複数の布すなわち
織布２８をシートとして用い、それらを積層している。
基材２４は、また、基板２２に接着されている。研磨材
層２６は、砥粒のように粒状又は粉状の研磨材を基材２
４に塗布して、研磨材を繊維のような糸状物に保持させ
ている。
又は金属の板材から円形に製作されている。基材は、天
然又は人造の多数の糸状物を製織した複数の布すなわち
織布２８をシートとして用い、それらを積層している。
基材２４は、また、基板２２に接着されている。研磨材
層２６は、砥粒のように粒状又は粉状の研磨材を基材２
４に塗布して、研磨材を繊維のような糸状物に保持させ
ている。
【００１９】図３に示すように、クリーニング部材２０
は、集積回路検査用のチャックトップ３０上に、研磨材
層２６を上方とした状態に及び移動しないように配置さ
れる。チャックトップ３０は、集積回路（特に、ＩＣチ
ップ部）の検査装置のような適宜な装置に設けられてお
り、また複数のプローブ１０を備えたプローブカード３
２に対し測定ステージ３４により、少なくとも、前後方
向、左右方向及び上下方向へ三次元的に移動される。
は、集積回路検査用のチャックトップ３０上に、研磨材
層２６を上方とした状態に及び移動しないように配置さ
れる。チャックトップ３０は、集積回路（特に、ＩＣチ
ップ部）の検査装置のような適宜な装置に設けられてお
り、また複数のプローブ１０を備えたプローブカード３
２に対し測定ステージ３４により、少なくとも、前後方
向、左右方向及び上下方向へ三次元的に移動される。
【００２０】クリーニング時、先ず、クリーニング部材
２０が全てのプローブ１０に対し所定の位置になるよう
に、チャックトップ３０が測定ステージ３４により前後
及び左右に移動される。
２０が全てのプローブ１０に対し所定の位置になるよう
に、チャックトップ３０が測定ステージ３４により前後
及び左右に移動される。
【００２１】次いで、チャックトップ３０が測定ステー
ジ３４により、上昇され、次いで下降される。クリーニ
ング部材２０及びチャックトップ３０は、プローブ１０
の先端が基板２２に接触しない高さ位置まで上昇され
る。その結果、クリーニング部材２０がチャックトップ
３０と共に上昇されかつ下降されるから、全てのプロー
ブ１０の先端部は同時に、クリーニング部材２０の研磨
材層２６の側から基材２４に刺し込まれ、次いで基材２
４及び研磨材層２６から抜き取られる。
ジ３４により、上昇され、次いで下降される。クリーニ
ング部材２０及びチャックトップ３０は、プローブ１０
の先端が基板２２に接触しない高さ位置まで上昇され
る。その結果、クリーニング部材２０がチャックトップ
３０と共に上昇されかつ下降されるから、全てのプロー
ブ１０の先端部は同時に、クリーニング部材２０の研磨
材層２６の側から基材２４に刺し込まれ、次いで基材２
４及び研磨材層２６から抜き取られる。
【００２２】クリーニング時には、クリーニング部材２
０をプローブ１０に対し上昇させ、次いで下降させる工
程が一回以上行われる。クリーニング部材２０の昇降を
複数回繰り返すときは、クリーニング部材２０を昇降さ
せるたびに、クリーニング部材２０を測定ステージ３４
により前後方向又は左右方向へ移動させて、クリーニン
グ部材２０の新たな箇所をプローブ１０の先端に対向さ
せることが好ましい。
０をプローブ１０に対し上昇させ、次いで下降させる工
程が一回以上行われる。クリーニング部材２０の昇降を
複数回繰り返すときは、クリーニング部材２０を昇降さ
せるたびに、クリーニング部材２０を測定ステージ３４
により前後方向又は左右方向へ移動させて、クリーニン
グ部材２０の新たな箇所をプローブ１０の先端に対向さ
せることが好ましい。
【００２３】プローブ１０の先端部に付着している異物
１２（図５参照）は、研磨材層２６中の研磨材と基材２
４中の糸状物とにより、プローブ１０の先端部が研磨材
層２６及び基材２４に刺し込まれるときにプローブ１０
から剥がされると共に、プローブ１０の先端部が基材２
４及び研磨材層２６から抜き取られるときに、さらに剥
がされる。このため、異物はプローブ１０から確実に除
去される。
１２（図５参照）は、研磨材層２６中の研磨材と基材２
４中の糸状物とにより、プローブ１０の先端部が研磨材
層２６及び基材２４に刺し込まれるときにプローブ１０
から剥がされると共に、プローブ１０の先端部が基材２
４及び研磨材層２６から抜き取られるときに、さらに剥
がされる。このため、異物はプローブ１０から確実に除
去される。
【００２４】プローブ１０の先端部が基材２４に刺し込
まれるとき、プローブ１０の先端部が糸状物間を通るか
ら、基材２４中の糸状物がプローブ１０により切断され
る可能性は少なく、従ってクリーニングを繰り返し行っ
ても、クリーニング部材の損傷は少なく、クリーニング
部材は長命である。また、プローブ１０の先端が、研磨
材層２６を貫通するが、研磨材層２６に対して滑らない
から、先端が研磨材層２６に対して滑る場合に比べ、プ
ローブ１０の先端面の摩耗量は著しく少ない。
まれるとき、プローブ１０の先端部が糸状物間を通るか
ら、基材２４中の糸状物がプローブ１０により切断され
る可能性は少なく、従ってクリーニングを繰り返し行っ
ても、クリーニング部材の損傷は少なく、クリーニング
部材は長命である。また、プローブ１０の先端が、研磨
材層２６を貫通するが、研磨材層２６に対して滑らない
から、先端が研磨材層２６に対して滑る場合に比べ、プ
ローブ１０の先端面の摩耗量は著しく少ない。
【００２５】クリーニング時、プローブ１０は、オーバ
ードライブをかけられる。このため、プローブ１０の先
端部は、プローブ１０の先端部が研磨材層２６及び基材
２４に刺し込まれるとき、図１に破線１０ａで示すよう
に変位し、基材２４及び研磨材層２６から抜き去られる
とき元の状態に戻る。
ードライブをかけられる。このため、プローブ１０の先
端部は、プローブ１０の先端部が研磨材層２６及び基材
２４に刺し込まれるとき、図１に破線１０ａで示すよう
に変位し、基材２４及び研磨材層２６から抜き去られる
とき元の状態に戻る。
【００２６】上記の結果、プローブ１０の先端部を上記
のようにクリーニング部材２０に対して複数回抜き刺し
することにより、プローブ１０の先端角部は図４に破線
１０ｂで示すように研磨される。この現象は、プローブ
にオーバードライブをかけると、顕著に現れる。従っ
て、クリーニング部材２０は、プローブ先端の異物除去
のみならず、プローブ先端を細くするたあめの研磨用部
材としても用いることができる。
のようにクリーニング部材２０に対して複数回抜き刺し
することにより、プローブ１０の先端角部は図４に破線
１０ｂで示すように研磨される。この現象は、プローブ
にオーバードライブをかけると、顕著に現れる。従っ
て、クリーニング部材２０は、プローブ先端の異物除去
のみならず、プローブ先端を細くするたあめの研磨用部
材としても用いることができる。
【００２７】上記のように、複数の織布２８を基材２４
に用いるならば、プローブ１０の先端部の外周面が織布
２８を構成している糸状物に確実に接触するから、異物
がより確実に除去される。また、織布２８を積層すれば
よいから、クリーニング部材２０の製作が容易になり、
クリーニング部材２０が廉価になる。
に用いるならば、プローブ１０の先端部の外周面が織布
２８を構成している糸状物に確実に接触するから、異物
がより確実に除去される。また、織布２８を積層すれば
よいから、クリーニング部材２０の製作が容易になり、
クリーニング部材２０が廉価になる。
【００２８】しかし、複数の織布２８をシートとして用
いる代わりに、複数の糸状物を一方向に平行に並べてシ
ートとして用い、そのような複数のシートを糸状物の長
手方向が交差するように積層してもよい。また、研磨材
層２６を基材２２の上面に形成する代わりに、研磨材層
２６を基材２４内に形成してもよい。さらに、研磨材層
２６を基材２２の上面のみならず、例えばそれぞれが研
磨材層２６を有する複数の織布２８を研磨材層１６を上
にした状態に積層して、基材２４中にも研磨材層２６を
形成してもよい。
いる代わりに、複数の糸状物を一方向に平行に並べてシ
ートとして用い、そのような複数のシートを糸状物の長
手方向が交差するように積層してもよい。また、研磨材
層２６を基材２２の上面に形成する代わりに、研磨材層
２６を基材２４内に形成してもよい。さらに、研磨材層
２６を基材２２の上面のみならず、例えばそれぞれが研
磨材層２６を有する複数の織布２８を研磨材層１６を上
にした状態に積層して、基材２４中にも研磨材層２６を
形成してもよい。
【００２９】本発明は、基材を複数のシートにより形成
する代わりに、基材を単一のシートで形成してもよい
し、織布のような１以上のシートを、ゴム、スポンジ等
の弾性部材に積層した基材を用いてもよい。
する代わりに、基材を単一のシートで形成してもよい
し、織布のような１以上のシートを、ゴム、スポンジ等
の弾性部材に積層した基材を用いてもよい。
【００３０】クリーニング部材２０は、集積回路の検査
装置に直接装着して使用してもよいし、クリーニング専
用又はプローブ先端の研磨専用の装置に装着して使用し
てもよい。また、多数のプローブを同時にクリーニング
する場合のみならず、単一又は数個のプローブをクリー
ニングするように使用してもよい。
装置に直接装着して使用してもよいし、クリーニング専
用又はプローブ先端の研磨専用の装置に装着して使用し
てもよい。また、多数のプローブを同時にクリーニング
する場合のみならず、単一又は数個のプローブをクリー
ニングするように使用してもよい。
【００３１】本発明は、上記実施例に限定されない、例
えば、本発明は、集積回路の検査に用いるプローブ用の
クリーニング部材のみならず、液晶表示パネル用の基板
のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ用
のクリーニング部材にも適用することができる。
えば、本発明は、集積回路の検査に用いるプローブ用の
クリーニング部材のみならず、液晶表示パネル用の基板
のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ用
のクリーニング部材にも適用することができる。
【図１】本発明に係るクリーニング部材の一実施例の一
部を断面して示す図である。
部を断面して示す図である。
【図２】研磨材層を除去した状態で図１のクリーニング
部材を示す斜視図である。
部材を示す斜視図である。
【図３】プローブ先端の研磨状態を説明するための図で
ある。
ある。
【図４】図１に示すクリーニング部材の使用例を説明す
るための図である。
るための図である。
【図５】プローブへの異物に付着状態を説明するための
図である。
図である。
１０ プローブ １２ 異物 ２０ クリーニング部材 ２２ 基板 ２４ 基材 ２６ 研磨材層 ２８ 基材のシートを形成する織布 ３０ チャックトップ ３２ プローブカード ３４ 測定ステージ
Claims (5)
- 【請求項１】 プローブの先端に付着した異物を除去す
るクリーニング部材において、それぞれが複数の糸状物
を用いたシートからなる基材と、該基材の一方の面又は
前記基材内に形成された研磨材層とを含む、プローブ先
端のクリーニング部材。 - 【請求項２】 前記シートは織布であり、前記基材は複
数の織布を積層している、請求項１に記載のクリーニン
グ部材。 - 【請求項３】 さらに、前記基材の他方の面を受ける基
板を含む、請求項１又は２に記載のクリーニング部材。 - 【請求項４】 １以上のプローブと請求項１，２又は３
に記載のクリーニング部材とを相対的に変位させて前記
プローブの先端部を前記基材の一方の面の側から前記研
磨材層及び前記基材に刺し込み、次いで前記プローブと
前記クリーニング部材とを前記と逆に変位させて前記プ
ローブの先端部を前記クリーニング部材から抜き取るこ
とを含む、プローブ先端のクリーニング方法。 - 【請求項５】 前記プローブにオーバードライブをかけ
ることにより、前記プローブと前記クリーニング部材と
を相対的に変位させて前記プローブの先端部を前記研磨
材層及び前記基材に刺し込む、請求項４に記載のクリー
ニング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14314998A JPH11337621A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | プローブ先端のクリーニング部材及びクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14314998A JPH11337621A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | プローブ先端のクリーニング部材及びクリーニング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11337621A true JPH11337621A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15332076
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| JP14314998A Pending JPH11337621A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | プローブ先端のクリーニング部材及びクリーニング方法 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002326169A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-12 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 接触子クリーニングシート及び方法 |
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| WO2023188166A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 日本電子材料株式会社 | プローブ、プローブカード、およびプローブの製造方法 |
-
1998
- 1998-05-25 JP JP14314998A patent/JPH11337621A/ja active Pending
Cited By (7)
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| JP7439338B1 (ja) * | 2022-03-30 | 2024-02-27 | 日本電子材料株式会社 | プローブ、プローブカード、およびプローブの製造方法 |
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